KR19990023461A

KR19990023461A - Magnetic head and its manufacturing method

Info

Publication number: KR19990023461A
Application number: KR1019980032223A
Authority: KR
Inventors: 요시히꼬 이노우에; 세이이찌 오가따; 다다시 사이또
Original assignee: 이데이 노부유끼; 소니 가부시끼 가이샤
Priority date: 1997-08-08
Filing date: 1998-08-07
Publication date: 1999-03-25
Also published as: JPH1166513A

Abstract

본 발명은 단선 등의 결함없이 박막으로 형성되어 바람직하게 동작하는 코일을 갖는 자기 헤드 및 수율을 상당히 개선시킨 자기 헤드의 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 자기 헤드(1)는 금속 자기 박막(5)이 경사지게 형성되어진 기판을 각각 포함하고 유리(6)를 충전하여 평탄한 접합면을 갖는 한 쌍의 자기 코어 반체(2, 3)를 포함한다. 상기 금속 자기 박막(5)의 단부면은 비자성 재료를 통해 서로 접합되어 자기 갭이 형성되고, 상기 자기 코어 반체(2, 3) 중 적어도 하나의 접합면 상에는 코일 형성 요부가 형성되어 상기 코일 형성 요부 내에 박막 코일이 형성된다. 상기 자기 코어 반체(2, 3) 중 적어도 하나는 코일 형성용 요부를 위해 절단 처리되어진 금속 자기 박막을 포함하고, 적어도 절삭 처리된 면(9)을 피복하기 위한 보호막(12)을 형성하여 이 보호막(12) 상에 유리(9)를 충전한다.The present invention provides a magnetic head having a coil which is preferably formed of a thin film without defects such as disconnection and the like, and a method of producing a magnetic head with a significant improvement in yield. The magnetic head 1 according to the present invention includes a pair of magnetic core halves 2 and 3 each comprising a substrate on which a metal magnetic thin film 5 is formed to be inclined and filled with glass 6 and having a flat bonding surface. do. End surfaces of the metal magnetic thin film 5 are bonded to each other through a nonmagnetic material to form a magnetic gap, and coil forming recesses are formed on at least one of the magnetic core halves 2 and 3 to form the coil. A thin film coil is formed in the recess. At least one of the magnetic core halves 2, 3 comprises a metal magnetic thin film cut for the coil forming recess, and forms a protective film 12 for covering at least the cut surface 9 to form the protective film. The glass 9 is filled on (12).

Description

Magnetic head and its manufacturing method

본 발명은 금속 자기 박막에 의해 자로(magnetic path)가 형성되는 박막 코일을 포함한 자기 헤드 및 그 제조에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic head including a thin film coil in which a magnetic path is formed by a metal magnetic thin film, and a manufacture thereof.

예를 들어, 비디오 테이프 레코더 등의 자기 기록/재생 장치에 있어서, 화질을 개선시키기 위해서는 신호를 기록하기 전에 디지탈화시키는 디지탈 기록이 개발되어 있다. 이에 대응하여, 기록 밀도 및 기록 주파수를 증가시키려는 노력이 행해져 왔다.For example, in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video tape recorder, in order to improve image quality, digital recording has been developed for digitalizing before recording signals. In response, efforts have been made to increase the recording density and recording frequency.

자기 기록 밀도 및 기록 주파수가 증가함에 따라, 자기 기록/재생 장치 상에 장착된 자기 헤드는 고주파수 대역에서 고출력 및 저 잡음을 가져야 한다. VTR 자기 헤드로서 종래부터 사용되어진 자기 헤드는 금속 자기 박막을 형성하여 권선(winding)을 행한 페라이트 재료로 준비된 소위 복합형 금속-인-갭 타입(metal-in-gap type) 자기 헤드이다. 그러나, 이러한 종류의 자기 헤드는 인덕턴스가 너무 커, 인덕턴스당의 출력 및 고주파수 대역에서의 출력이 낮게 되어 고주파수 및 고밀도를 요하는 디지탈 비디오 기록에 대응할 수 없다.As the magnetic recording density and recording frequency increase, the magnetic head mounted on the magnetic recording / reproducing apparatus must have high power and low noise in the high frequency band. A magnetic head conventionally used as a VTR magnetic head is a so-called composite metal-in-gap type magnetic head prepared from a ferrite material which is formed by winding a metal magnetic thin film. However, this kind of magnetic head has a large inductance, so that the output per inductance and the output in the high frequency band are low and cannot cope with digital video recording requiring high frequency and high density.

이것에 대처하기 위해, 박막 형성 단계를 통해 제조되는 소위 박막형의 자기 헤드가 고주파수용의 자기 헤드로서 검토되고 있다.In order to cope with this, a so-called thin film type magnetic head manufactured through the thin film forming step is considered as a magnetic head for high frequency.

도 1에서는 비자성체를 통해 서로 결합되어 있는 한 쌍의 자기 코어 반체(100)를 포함한 박막형 자기 헤드가 도시되어 있다. 자기 코어 반체(100)는 경사면(101a)을 갖는 기판(101)과, 기판(101)의 경사면(101a) 상에 형성된 금속 자기 박막(102)과, 금속 자기 박막(102)을 매립하도록 형성된 유리(103)를 포함한다. 이 자기 코어 반체(100)는 금속 자기 박막(102)의 부분 노출에 의해 형성된 전면 접합부(104) 및 배면 접합부(105)가 형성되는 주 면을 갖는다. 전면 접합부(104)와 배면 접합부(105) 사이에는 배면 접합부(105)를 중심으로 한 구형의 코일 형성용 요부(106)가 형성되어 있다.In FIG. 1, a thin film magnetic head including a pair of magnetic core halves 100 coupled to each other via a nonmagnetic material is shown. The magnetic core half body 100 includes a substrate 101 having an inclined surface 101a, a metal magnetic thin film 102 formed on the inclined surface 101a of the substrate 101, and a glass formed to fill the metal magnetic thin film 102. (103). This magnetic core half body 100 has a main surface on which the front junction 104 and the back junction 105 are formed by partial exposure of the metal magnetic thin film 102. Between the front junction 104 and the back junction 105, the spherical coil forming recess 106 centering on the back junction 105 is formed.

코일 형성용 요부(106)에는 박막 형성 단계에서 형성되는 코일(도시 안됨)이 형성되어 있다. 이 코일은 한 단이 단자(107)에 접속되어 있고 배면 접합부(105)를 중심으로 하여 권회되어 있다.The coil forming recess 106 is formed with a coil (not shown) formed in the thin film forming step. One end of this coil is connected to the terminal 107 and is wound around the back junction 105.

두개의 자기 코어 반체(100)는 비자성체를 통해 서로 접합되어 지되, 한 자기 코어 반체(100)의 전면 접합부(104)는 나머지 다른 한 자기 코어 반체(100)의 전면 접합부(104)와 접합되고, 한 자기 코어 반체(100)의 배면 접합부(105)는 나머지 다른 한 자기 코어 반체(100)의 배면 접합부(105)와 접합되어짐으로써 자기 헤드가 얻어진다.The two magnetic core halves 100 are joined to each other via a nonmagnetic material, wherein the front junction 104 of one magnetic core half 100 is joined to the front junction 104 of the other magnetic core half 100 and When the back junction 105 of one magnetic core half body 100 is joined to the back junction 105 of the other magnetic core half body 100, a magnetic head is obtained.

상술한 박막형 자기 헤드에서는, 판(plate) 형상으로 형성된 금속 자기 박막(102)에 대해 연삭 가공(grinding)을 행해 요부(108)를 형성하여 전면 접합부(104) 및 배면 접합부(105)를 형성하였다. 즉, 연삭 가공에 의해 요부(108)가 형성된 후, 전면 접합부(104)와 배면 접합부(105) 사이의 일부에서 금속 자기 박막(102)의 단면이 노출된다.In the above-described thin film magnetic head, the metal magnetic thin film 102 formed in a plate shape is ground to form a recess 108 to form the front junction 104 and the rear junction 105. . That is, after the recess 108 is formed by the grinding process, the cross section of the metal magnetic thin film 102 is exposed at a portion between the front junction 104 and the back junction 105.

상술한 자기 헤드를 제조할 때, 전면 접합부(104)와 배면 접합부(105) 간에서 금속 자기 박막(102)의 단면이 노출되어지는 부분을 고온 용융 유리(molten glass)를 충전하여 유리(103)를 형성한다. 이 때, 고온 용융 유리는 금속 자기 박막(102)의 단면과 반응하여 거품(foams)이 발생하게 된다. 이로써, 고온 용융 유리를 냉각시켜 유리(103)를 형성할 때 전면 접합부(104)와 배면 접합부(105) 간에서 금속 자기 박막(102)의 단면이 노출되어지는 부분의 유리(103)에서는 기포가 잔류하게 된다.When manufacturing the above-described magnetic head, the glass 103 is filled with hot molten glass in a portion where the cross section of the metal magnetic thin film 102 is exposed between the front junction 104 and the rear junction 105. To form. At this time, the hot molten glass reacts with the cross section of the metal magnetic thin film 102 to generate bubbles. As a result, bubbles are generated in the glass 103 at the portion where the cross section of the metal magnetic thin film 102 is exposed between the front junction 104 and the back junction 105 when the hot molten glass is cooled to form the glass 103. Will remain.

한편, 상술된 바와 같이, 전면 접합부(104)와 배면 접합부(105) 사이의 일부분에 코일 형성용 요부(106)가 형성된다. 즉, 기포 중 일부가 코일 형성용 요부(106)의 표면으로 노출되어진다. 따라서, 코일 형성용 요부(106)는 이들 기포에 의해 형성되는 구멍(109)을 갖게 된다.On the other hand, as described above, a coil forming recess 106 is formed in a portion between the front junction 104 and the back junction 105. That is, some of the bubbles are exposed to the surface of the coil forming recess 106. Therefore, the coil forming recess 106 has a hole 109 formed by these bubbles.

코일 형성용 요부(106)에서 박막 형성으로 코일을 형성하면, 구멍(109)에 의해 코일에 단선이 발생될 가능성이 있다. 이와 같이, 종래의 자기 헤드에서는, 코일에서 결함이 자주 발생하게 되어 수율이 상당히 떨어진다.When the coil is formed by the thin film formation in the coil forming recess 106, there is a possibility that disconnection occurs in the coil by the holes 109. As described above, in the conventional magnetic head, defects frequently occur in the coil, so that the yield is considerably lowered.

따라서, 본 발명의 목적은 종래 자기 헤드가 갖고 있는 상기 문제점을 해결하고 박막 형성으로 형성된 코일에서 단선과 같은 결함을 발생하지 않는 자기 헤드 및, 수율이 상당히 개선된 자기 헤드 제조 방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems of the conventional magnetic head and to provide a magnetic head which does not cause defects such as disconnection in a coil formed by thin film formation, and a method of manufacturing a magnetic head with a considerably improved yield. .

본 발명에 따른 상기 목적을 달성하는 자기 헤드는 금속 자기 박막이 경사지게 형성되어진 기판을 각각 포함하고 유리가 충전되어 평탄한 접합면을 갖는 한 쌍의 자기 코어 반체를 포함하고, 금속 자기 박막의 단부면들은 비자성 재료를 통해 서로 접합되어 자기 갭이 형성되고, 자기 코어 반체 중 적어도 하나의 접합면 상에는 코일 형성용 요부가 형성되어 코일 형성용 요부 내에 박막 코일이 형성되고, 자기 코어 반체 중 적어도 하나는 코일 형성용 요부를 위해 절단 처리되는 금속 자기 박막을 포함하고, 적어도 절삭 처리된 면을 피복하기 위한 보호막이 형성되어 이 보호막 상에 유리를 충전하는 것을 특징으로 한다.The magnetic head according to the present invention comprises a pair of magnetic core halves each comprising a substrate on which a metal magnetic thin film is formed to be inclined and filled with glass and having a flat bonding surface, and the end faces of the metal magnetic thin film are The non-magnetic material is bonded to each other to form a magnetic gap, a coil forming recess is formed on at least one joining surface of the magnetic core halves to form a thin film coil in the coil forming recess, and at least one of the magnetic core halves is a coil. And a protective film for covering at least the cut surface, the metal magnetic thin film being cut for the forming recess, and filled with glass on the protective film.

상기 구성을 갖는 본 발명에 따른 자기 헤드에서는, 절단 처리가 행해지는 금속 자기 박막의 부분에 보호막이 형성된다. 따라서, 이러한 자기 헤드에서는, 절삭 처리된 면이 유리와 접촉하지 않아 금속 자기 박막과 유리 사이에는 반응이 일어나지 않을 것이다. 즉, 금속 자기 박막과 유리 사이에서의 반응 가능성으로 인한 절삭 처리된 면으로부터의 거품은 발생되지 않을 것이다. 그 결과, 절삭 처리된 면 상에 바로 위치된 유리에는 기포가 함유되지 않는다. 환언하자면, 절삭 처리된 면 바로 위에는 대부분이 충전된 유리만이 존재한다.In the magnetic head according to the present invention having the above structure, a protective film is formed on a portion of the metal magnetic thin film to which the cutting process is performed. Thus, in such a magnetic head, the cut surface will not contact the glass so that no reaction will occur between the metal magnetic thin film and the glass. In other words, bubbles from the cut face will not be generated due to the possibility of reaction between the metal magnetic thin film and the glass. As a result, the glass placed directly on the cut surface does not contain bubbles. In other words, there is only a glass mostly filled directly above the cut surface.

그러므로, 이와 같은 자기 헤드에서는, 유리의 연삭 가공에 의해 형성된 코일 형성용 요부의 표면 상의 기포로 인한 요철은 존재치 않는다. 즉, 이와 같은 자기 헤드에서는, 코일 형성용 요부는 고도로 평탄한 표면을 갖는다. 따라서, 이러한 자기 헤드에서는, 박막 코일에 단선과 같은 결함이 발생되지 않아, 고도로 평탄한 표면을 갖는 코일 형성용 요부에 박막 코일을 형성할 수 있다.Therefore, in such a magnetic head, there are no irregularities due to bubbles on the surface of the coil forming recess formed by the grinding process of the glass. That is, in such a magnetic head, the coil forming recess has a highly flat surface. Therefore, in such a magnetic head, a defect such as disconnection does not occur in the thin film coil, so that the thin film coil can be formed in the main portion for forming the coil having a highly flat surface.

한편, 본 발명에 따른 상기 목적을 달성하는 자기 헤드의 제조 방법은 경사면을 갖는 기판 상에 금속 자기 박막을 형성하여 한 쌍의 자기 코어 반체를 형성하는 단계와, 자기 코어 반체 중 적어도 하나에 형성된 금속 자기 박막에 대해 코일 형성용 요부를 위해 절삭을 행하는 단계와, 금속 자기 박막 상의 절단면을 피복하기 위한 보호막을 형성하는 단계와, 기판 상에 유리를 충전하여 평탄한 접합면을 형성하는 단계와, 평탄한 접합면에 대향하게 유리 상에 코일 형성용 요부를 형성하는 단계와, 코일 형성용 요부에 박막 코일을 형성하는 단계와, 한 쌍의 자기 코어 반체를 금속 자기 박막의 단부면들이 서로 대향하도록 비자성 재료를 통해 결합시켜 자기 갭을 형성하는 단계를 포함한다.On the other hand, a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention comprises the steps of forming a magnetic metal thin film on a substrate having an inclined surface to form a pair of magnetic core half, and the metal formed on at least one of the magnetic core half Cutting the magnetic thin film for the main part for coil formation, forming a protective film for covering the cut surface on the metal magnetic thin film, filling glass on the substrate to form a flat bonding surface, and flat bonding Forming a coil forming recess on the glass opposite the surface; forming a thin film coil on the coil forming recess; and forming a pair of magnetic core halves such that the end faces of the metal magnetic thin film face each other. Coupling through to form a magnetic gap.

상기 구성을 갖는 자기 헤드 제조 방법에 따르면, 금속 자기 박막 접합부의 절단면 상에 보호막을 형성한다. 따라서, 고온 용융 유리를 충전할 때, 유리 재료가 금속 자기 박막의 절삭 처리된 면과 접촉하지 않게 될 것이다. 그 결과, 이 방법에 따르면, 고온 용융 유리 재료를 사용하더라도, 절삭 처리된 면 바로 위에 위치된 유리에서 기포가 발생되지 않는다.According to the magnetic head manufacturing method which has the said structure, a protective film is formed on the cut surface of a metal magnetic thin film junction part. Thus, when filling hot molten glass, the glass material will not come into contact with the cut face of the metal magnetic thin film. As a result, according to this method, even using a hot molten glass material, bubbles are not generated in the glass located directly above the cut surface.

그러므로, 이 방법에 따르면, 절단 처리를 통해 코일 형성용 요부를 형성하더라도, 코일 형성용 요부는 기포로 인한 어떠한 요철도 발생함이 없이 평탄한 표면을 가질 수 있다. 즉, 이 방법에 따르면, 고도로 평탄한 표면을 갖는 코일 형성용 요부를 형성할 수 있다. 즉, 이 방법에 따르면, 단선과 같은 결함을 발생시킴없이 박막 코일을 형성할 수 있다.Therefore, according to this method, even when the recess for forming the coil is formed through the cutting process, the coil forming recess can have a flat surface without any irregularities caused by bubbles. That is, according to this method, it is possible to form a coil forming recess having a highly flat surface. In other words, according to this method, a thin film coil can be formed without generating a defect such as disconnection.

도 1은 종래 자기 헤드를 제조할 때 기판의 주요부를 도시하는 투시도.1 is a perspective view showing the main part of a substrate when manufacturing a conventional magnetic head;

도 2는 본 발명에 따른 자기 헤드의 구성을 도시하는 확대 투시도.2 is an enlarged perspective view showing the configuration of a magnetic head according to the present invention;

도 3은 자기 헤드의 매체 접동면의 주요부를 도시하는 투시도.Fig. 3 is a perspective view showing the main part of the medium sliding surface of the magnetic head.

도 4는 본 발명에 따른 자기 헤드 제조 방법에 의한 기판을 도시하는 투시도.4 is a perspective view showing a substrate by a magnetic head manufacturing method according to the present invention;

도 5는 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따른 제1 홈 형성 후의 기판을 도시하는 투시도.Fig. 5 is a perspective view showing a substrate after formation of a first groove according to the magnetic head manufacturing method of the present invention.

도 6은 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따른 금속 자기 박막 형성 후의 기판을 도시하는 투시도.Fig. 6 is a perspective view showing a substrate after metal magnetic thin film formation according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention.

도 7은 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따른 제2 홈 형성 후의 기판을 도시하는 투시도.7 is a perspective view showing a substrate after formation of a second groove according to the magnetic head manufacturing method of the present invention.

도 8은 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따른 요부 후의 기판의 주요부를 도시하는 투시도.Fig. 8 is a perspective view showing the main part of the substrate after the main part according to the method of manufacturing the magnetic head of the present invention.

도 9는 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따라 요부 상에 보호막을 형성한 후의 기판의 주요부를 도시하는 투시도.Fig. 9 is a perspective view showing the main part of the substrate after the protective film is formed on the recessed part in accordance with the magnetic head manufacturing method of the present invention.

도 10은 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따라 금속 자기 박막 상에 보호막을 형성한 후의 기판의 주요부를 도시하는 확대 투시도.Fig. 10 is an enlarged perspective view showing the main part of the substrate after forming a protective film on the metal magnetic thin film according to the method of manufacturing the magnetic head of the present invention.

도 11은 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따라 저 용융점의 유리로 충전된 홈을 갖는 기판을 도시하는 투시도.11 is a perspective view showing a substrate having grooves filled with glass of low melting point according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention.

도 12는 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따라 저 용융점의 유리 상에 단자 홈을 형성한 후의 기판을 도시하는 투시도.12 is a perspective view showing a substrate after forming terminal grooves on glass of low melting point in accordance with the magnetic head manufacturing method of the present invention.

도 13은 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따라 코일 형성용 요부를 형성한 후의 기판을 도시하는 투시도.Fig. 13 is a perspective view showing a substrate after forming a main portion for forming a coil in accordance with the magnetic head manufacturing method of the present invention.

도 14는 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따라 코일을 형성한 후의 기판을 도시하는 투시도.Fig. 14 is a perspective view showing a substrate after forming a coil according to the magnetic head manufacturing method of the present invention.

도 15는 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따라 형성된 한 쌍의 자기 코어 반체를 도시하는 투시도.Fig. 15 is a perspective view showing a pair of magnetic core halves formed according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention.

도 16은 본 발명의 자기 헤드 제조 방법에 따라 제조된 자기 헤드 블럭을 도시하는 투시도.16 is a perspective view showing a magnetic head block manufactured according to the magnetic head manufacturing method of the present invention.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1: 자기 헤드 2, 3: 한 쌍의 자기 코어 반체1: magnetic head 2, 3: a pair of magnetic core half body

4: 비자성 기판 5: 금속 자기 박막4: nonmagnetic substrate 5: metal magnetic thin film

7: 코일7: coil

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자기 헤드 및 그 제조 방법에 대해 기술하고자 한다.Hereinafter, a magnetic head and a method of manufacturing the same according to a preferred embodiment of the present invention will be described.

도 2 및 도 3에서 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 자기 헤드(1)는 갭 물질 G를 통해 서로 결합되어 있는 한 쌍의 자기 코어 반체(2 및 3)로 구성된다. 자기 코어 반체(2 및 3) 각각은 비자성 기판(4), 비자성 기판(4) 상에 각을 이루고 형성된 금속 자기 박막(5), 및 비자성 기판(4) 상에 금속 자기 박막(5)을 피복하도록 형성된 유리 부재(6)를 포함한다. 또한, 자기 코어 반체(2 및 3) 중 적어도 하나에 여자용 또는 유도용 기전압 검출용 코일(7)이 형성된다. 이 자기 헤드(1)에서, 금속 자기 박막(5)은 한 쌍의 자기 코어 반체(2 및 3)가 갭 부재 물질 G를 통해 서로 결합될 때 자기 코어를 형성한다. 이 자기 헤드(1)에서는 자기 코어 반체(2 및 3)가 서로 결합되어 있어, 도 3의 화살표 A로 도시된 방향으로 자기 기록 매체가 접동함으로써, 자기 기록 매체 상에 기록된 신호 자계가 재생되거나 자기 기록 매체 상에 신호 자계가 기록되어 진다.As shown in FIGS. 2 and 3, the magnetic head 1 according to the invention consists of a pair of magnetic core halves 2 and 3 which are joined together via a gap material G. Each of the magnetic core halves 2 and 3 is a nonmagnetic substrate 4, a metal magnetic thin film 5 formed at an angle on the nonmagnetic substrate 4, and a metal magnetic thin film 5 on the nonmagnetic substrate 4. ) And a glass member 6 formed so as to cover. In addition, an excitation or induction electromotive voltage detection coil 7 is formed in at least one of the magnetic core halves 2 and 3. In this magnetic head 1, the metal magnetic thin film 5 forms a magnetic core when the pair of magnetic core halves 2 and 3 are bonded to each other through the gap member material G. In this magnetic head 1, the magnetic core halves 2 and 3 are coupled to each other, so that the magnetic recording medium is slid in the direction shown by the arrow A in FIG. 3, so that the signal magnetic field recorded on the magnetic recording medium is reproduced or The signal magnetic field is recorded on the magnetic recording medium.

또한, 이와 같은 자기 헤드(1)에서는, 자기 기록 매체와의 접촉 면적을 조절하기 위해, 접촉폭 조절 홈(8)이 형성된다. 이 접촉폭 조절 홈(8)은 접동 방향 A와 평행하게 자기 헤드(1)의 양측면 상에 형성된다. 게다가, 이 자기 헤드(1)에서는, 자기 기록 매체와의 접촉 상태를 조절하기 위해, 자기 기록 매체의 접동면을 원호형으로 하고 있다.Further, in such a magnetic head 1, a contact width adjusting groove 8 is formed in order to adjust the contact area with the magnetic recording medium. These contact width adjusting grooves 8 are formed on both sides of the magnetic head 1 in parallel with the sliding direction A. As shown in FIG. In addition, in this magnetic head 1, in order to adjust the contact state with a magnetic recording medium, the sliding surface of a magnetic recording medium is made into the arc shape.

이 자기 헤드(1)에서는, 비자성 기판(4) 상에 소정의 각을 이루고 금속 자기 박막(5)이 형성된다. 따라서, 한 쌍의 자기 코어 반체(2 및 3)가 갭 물질 G를 통해 서로 결합되면, 자기 코어는 자기 기록 매체의 접동 방향에 대해 경사진 상태로 배열되어 진다. 또한, 금속 자기 박막(5)은 거의 U자 형상의 단면을 갖도록 구성된다. 즉, 금속 자기 박막(5)은 결합되어질 자기 코어 반체(2 및 3)의 단부면의 거의 중심에서 요부(9)를 갖는다.In this magnetic head 1, a metal magnetic thin film 5 is formed on the nonmagnetic substrate 4 at a predetermined angle. Thus, when the pair of magnetic core halves 2 and 3 are joined to each other through the gap material G, the magnetic cores are arranged in an inclined state with respect to the sliding direction of the magnetic recording medium. In addition, the metal magnetic thin film 5 is comprised so that it may have a substantially U-shaped cross section. That is, the metal magnetic thin film 5 has recesses 9 at almost the center of the end faces of the magnetic core halves 2 and 3 to be joined.

따라서, 금속 자기 박막(5)은 자기 코어 반체(2 및 3)의 결합면(2A 및 3A)의 방향으로 노출 및 서로 이격되어 있는 전면 접합부(10) 및 배면 접합부(11)를 갖는다. 이 자기 헤드(1)에서, 자기 코어 반체(2)의 전면 접합부(10)는 갭 물질 G를 통해 다른 자기 코어 반체(3)의 전면 접합부(10)에 결합되어 자기 갭이 형성된다. 또한, 자기 헤드(1)에서는, 자기 코어 반체(2)의 배면 접합부(11)는 다른 자기 코어 반체(3)의 배면 접합부(11)에 결합되어 백 갭(back gap)이 형성된다.Accordingly, the metal magnetic thin film 5 has a front junction 10 and a rear junction 11 which are exposed and spaced apart from each other in the direction of the engaging surfaces 2A and 3A of the magnetic core halves 2 and 3. In this magnetic head 1, the front junction 10 of the magnetic core half 2 is coupled to the front junction 10 of the other magnetic core half 3 via a gap material G to form a magnetic gap. In the magnetic head 1, the back junction 11 of the magnetic core half body 2 is coupled to the back junction 11 of the other magnetic core half body 3 to form a back gap.

한편, 이 자기 헤드(1)에서 있어서는, 상기 구성을 갖는 금속 자기 박막의 요부(9) 상에 보호막(12)이 형성된다. 즉, 이 자기 헤드(1)에서는 요부(9)는 유리 부재(6)와 직접 접촉되지 않는다. 요부(9) 및 유리 부재(6)는 보호막(12)을 통해 배열된다. 후술될 바와 같이, 보호막(12)은 연삭 가공에 의해 금속 자기 박막 상에 형성된 요부를 피복하도록 형성되어, 요부(9)로부터 기포가 발생되는 것을 방지시킨다.On the other hand, in this magnetic head 1, the protective film 12 is formed on the recessed part 9 of the metal magnetic thin film which has the said structure. That is, in this magnetic head 1, the recessed part 9 is not in direct contact with the glass member 6. The recess 9 and the glass member 6 are arranged through the protective film 12. As will be described later, the protective film 12 is formed to cover recesses formed on the metal magnetic thin film by the grinding process, thereby preventing bubbles from being generated from the recesses 9.

또한, 이 자기 헤드(1)에서는, 금속 자기 박막(5)은 비자성층(5A)을 통해 적층된 3개 금속 자성층(5B)으로 구성된다. 본 발명에 따른 자기 헤드는 이 실시예에서 도시된 3개 금속 자성층(5B)에만 제한되는 것은 아닌 것에 주목할 필요가 있다. 즉, 본 발명에 따른 자기 헤드(1)는 단층의 금속 자기 박막이나 수 십개로 이루어진 금속 자성층(5B)을 가질 수 있다.In the magnetic head 1, the metal magnetic thin film 5 is composed of three metal magnetic layers 5B laminated through the nonmagnetic layer 5A. It should be noted that the magnetic head according to the present invention is not limited to only the three metal magnetic layers 5B shown in this embodiment. That is, the magnetic head 1 according to the present invention may have a single layer of magnetic metal thin film or dozens of magnetic metal layers 5B.

자기 코어 반체(2 및 3)에서, 비자성 기판(4)은 예를 들어, MnO-NiO 비자성 재료로 제조되지만, 이것에 한정되지 않고 티탄산 칼슘, 티탄산 바륨, 산화 지르코늄(지르코니아), 알루미나, 알루미나 티탄 카바이드, SiO₂, Zn 페라이트, 결정화 유리, 고강도 유리 등으로 제조될 수 있다. 또한, 금속 자기 박막(5)은 예를 들어, Fe-Al-Si 합금(센더스트: sendust) 또는 다른 금속 자성 재료로 제조되지만, Fe-Al 합금, Fe-Si-Co 합금, Fe-Ga-Si 합금, Fe-Ga-Si-Ru 합금, Fe-Al-Ge 합금, Fe-Ga-Ge 합금, Fe-Si-Ge 합금, Fe-Co-Si-Al 합금, Fe-Ni 합금 등의 결정질 합금으로 제조될 수 있다. 또는, 금속 자기 박막(5)은 Fe, Co, Ni 중 하나 이상의 원소와 P, C, B, Si 중 하나 이상의 원소로 이루어진 합금; 상기 원소들을 주 성분으로 함유하고 Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf, Nb 등과 결합하는 금속-메탈로이드(metalloid) 비정질 합금; 주성분으로서 Co, Hf, Zr 등의 천이 금속 및 희토류 원소를 함유하는 금속-금속 비정질 합금; 또는 다른 비결정질 합금으로 제조될 수 있다.In the magnetic core halves 2 and 3, the nonmagnetic substrate 4 is made of, for example, MnO-NiO nonmagnetic material, but is not limited to this, calcium titanate, barium titanate, zirconium oxide (zirconia), alumina, Alumina titanium carbide, SiO ₂ , Zn ferrite, crystallized glass, high strength glass and the like. Further, the metal magnetic thin film 5 is made of, for example, a Fe-Al-Si alloy (sendust) or another metal magnetic material, but is made of Fe-Al alloy, Fe-Si-Co alloy, Fe-Ga- Crystalline alloys such as Si alloy, Fe-Ga-Si-Ru alloy, Fe-Al-Ge alloy, Fe-Ga-Ge alloy, Fe-Si-Ge alloy, Fe-Co-Si-Al alloy, Fe-Ni alloy It can be prepared as. Alternatively, the metal magnetic thin film 5 is an alloy composed of at least one element of Fe, Co, Ni and at least one element of P, C, B, Si; A metal-metalloid amorphous alloy containing the above elements as a main component and combining with Al, Ge, Be, Sn, In, Mo, W, Ti, Mn, Cr, Zr, Hf, Nb, etc .; Metal-metal amorphous alloys containing transition metals and rare earth elements such as Co, Hf and Zr as main components; Or other amorphous alloys.

또한, 보호막은 예를 들어, 비유기 산화물로 제조되는 것이 바람직하다. 이 비유기 산화물은 예를 들어, Si, Al, Ti, Cr 등의 산화물일 수 있다.In addition, the protective film is preferably made of, for example, an inorganic oxide. This inorganic oxide may be an oxide of Si, Al, Ti, Cr or the like, for example.

또한, 이 자기 헤드(1)에서는, 자기 코어 반체(2 및 3) 각각에 코일(7)이 형성된다. 코일(7)은 자기 코어 반체(2 및 3)의 접촉면(2A 및 3A) 상에 형성된 코일 형성용 요부(13)에 박막으로 형성된다. 코일(7)은 그 중심 단부(7A)가 코일 접속 단자(14)에 접속되어 있다. 코일(7)은 코일 접속 단자(14)에서 시작하여 배면 접합부(11)를 중심으로 하는 원을 그리도록 형성된다.In this magnetic head 1, a coil 7 is formed in each of the magnetic core halves 2 and 3. The coil 7 is formed in a thin film on the coil forming recess 13 formed on the contact surfaces 2A and 3A of the magnetic core halves 2 and 3. The central end 7A of the coil 7 is connected to the coil connection terminal 14. The coil 7 is formed so as to draw a circle centering on the back junction 11 starting from the coil connection terminal 14.

한 쌍의 자기 코어 반체(2 및 3) 상에 형성된 코일 접속 단자(14)는 코일(7)의 거의 중심부로서 작용하는 배면 접합부(11)의 부근에서 코일 형성용 요부(13)의 내측에 형성된다. 또한, 코일 접속 단자(14)는 한 쌍의 자기 코어 반체(2 및 3)의 결합면(2A 및 3A)과 동일 레벨을 갖도록 형성된다. 이 자기 헤드(1)에서는, 자기 코어 반체(2 및 3)가 서로 결합될 때, 한 쌍의 코일 접속 단자(14) 또한 결합된다. 이와 같이, 자기 헤드(1)에서는 한 쌍의 자기 코어 반체(2 및 3)가 서로 결합될 때, 한 쌍의 코일(7)도 전기적으로 결합된다.The coil connection terminals 14 formed on the pair of magnetic core halves 2 and 3 are formed inside the coil forming recess 13 in the vicinity of the back junction 11 serving as a near center of the coil 7. do. The coil connection terminal 14 is formed to have the same level as the engaging surfaces 2A and 3A of the pair of magnetic core halves 2 and 3. In this magnetic head 1, when the magnetic core halves 2 and 3 are coupled to each other, a pair of coil connection terminals 14 are also coupled. In this way, in the magnetic head 1, when the pair of magnetic core halves 2 and 3 are coupled to each other, the pair of coils 7 are also electrically coupled.

이 자기 헤드(1)에서는, 한 쌍의 자기 코어 반체(2 및 3)는 후술될 금속 확산 결합을 통해 서로 결합된다는 것에 주목할 필요가 있다. 이 경우, 결합면(2A 및 3A) 각각은 금 등의 비자성 도전 재료막으로 피복된다. 이들 막은 서로 결합된다. 이와 같이, 한 쌍의 자기 코어 반체(2 및 3)는 비자성 도전 재료를 통해 서로 결합되어 자기 갭이 형성된다. 즉, 이 자기 헤드(1)에서는, 상술된 갭 물질 G로서, 금속 확산 결합시에 사용되는 비자성 도전 재료를 사용한다.In this magnetic head 1, it should be noted that the pair of magnetic core halves 2 and 3 are joined to each other through metal diffusion bonding, which will be described later. In this case, each of the bonding surfaces 2A and 3A is covered with a nonmagnetic conductive material film such as gold. These membranes are bonded to each other. As such, the pair of magnetic core halves 2 and 3 are joined to each other through a nonmagnetic conductive material to form a magnetic gap. That is, in this magnetic head 1, as the above-mentioned gap material G, a nonmagnetic conductive material used at the time of metal diffusion bonding is used.

또한, 코일(7)은 자기 갭을 갖지 않는 대향측에서 인출되는 외측단인 다른 단을 갖는다. 코일(7)의 외측단은 외부 접속 단자(15)에 접속된다. 이 외부 접속 단자(15)는 자기 코어 반체(2 및 3)의 폭방향으로 소정의 깊이로 형성된 단자 홈(16) 내에 매립된 구리 등의 도전 재료로 구성된다. 이들 외부 접속 단자(15)는 자기 헤드(1)의 측면 상에서 코일(7)이 외부와 전기적으로 접속되도록 노출된다. 이들 외부 접속 단자(15)는 상이한 높이를 갖는 자기 코어 반체(2 및 3)에 형성되어 자기 코어 반체(2 및 3)가 서로 결합될 때 단락이 발생되지 않을 것이다.In addition, the coil 7 has another end which is an outer end which is drawn out on the opposite side which does not have a magnetic gap. The outer end of the coil 7 is connected to the external connection terminal 15. The external connection terminal 15 is made of a conductive material such as copper embedded in the terminal groove 16 formed at a predetermined depth in the width direction of the magnetic core halves 2 and 3. These external connection terminals 15 are exposed so that the coil 7 is electrically connected to the outside on the side of the magnetic head 1. These external connection terminals 15 are formed in the magnetic core halves 2 and 3 having different heights so that a short circuit will not occur when the magnetic core halves 2 and 3 are joined to each other.

이 실시예에 따른 상술한 구성을 갖는 자기 헤드(1)에 있어서, 자기 기록 매체 상에 기록된 자기 신호를 재생할 시에는 자기 기록 매체로부터의 신호 자계를 자기 갭 주변에 인가시킨다. 인가되는 신호 자계의 방향 변화에 의해 자기 코어로 유입되는 자속 방향이 변화하게 된다. 그 결과, 자기 헤드(1)에서는 전기 인덕턴스가 발생되어 소정의 전류가 코일(7) 내로 흐르게 된다.In the magnetic head 1 having the above-described configuration according to this embodiment, when reproducing the magnetic signal recorded on the magnetic recording medium, a signal magnetic field from the magnetic recording medium is applied around the magnetic gap. The direction of the magnetic flux flowing into the magnetic core is changed by the change in the direction of the applied signal magnetic field. As a result, electric inductance is generated in the magnetic head 1 so that a predetermined current flows into the coil 7.

또한, 자기 헤드(1)를 사용하는 자기 기록 매체 상에 자기 신호를 기록할 시에는, 코일(7)에 소정의 전류를 인가한다. 자기 헤드(1)에서는, 코일(7)에 의해 발생된 자계로 인해 저기 코어 내로 소정의 자속이 흐르게 된다. 이와 같이, 자기 헤드(1)에서는 자기 갭을 샌드위치하도록 누설 자계가 발생된다. 자기 헤드(1)는 이 누설 자계를 자기 기록 매체에 인가함으로써 자기 신호가 기록된다.Further, when recording a magnetic signal on the magnetic recording medium using the magnetic head 1, a predetermined current is applied to the coil 7. In the magnetic head 1, a predetermined magnetic flux flows into the core there due to the magnetic field generated by the coil 7. In this way, in the magnetic head 1, a leakage magnetic field is generated to sandwich the magnetic gap. The magnetic head 1 records the magnetic signal by applying this leakage magnetic field to the magnetic recording medium.

이 실시예에서의 자기 헤드(1)에서는 요부(9)는 보호막(12)으로 피복되어 있다. 이 요부(9)는 후술될 바와 같이 금속 자기 박막(5)의 연삭 가공에 의해 형성된다. 따라서, 요부(9)의 표면은 금속 자기 박막(5)의 단면이 된다. 이 요부(9)가 고온 용융 유리와 접촉하여 반응하게 되어 요부(9)의 표면으로부터 기포가 발생하게 된다.In the magnetic head 1 in this embodiment, the recess 9 is covered with a protective film 12. This recessed portion 9 is formed by grinding the metal magnetic thin film 5 as will be described later. Therefore, the surface of the recess 9 becomes a cross section of the metal magnetic thin film 5. This recessed part 9 is brought into contact with the hot molten glass to react, and bubbles are generated from the surface of the recessed part 9.

그러나, 자기 헤드(1)에서는 요부(9)가 보호막(12)으로 피복되어 있어 요부(9)의 표면이 유리와 직접 접촉하지 않게 될 것이다. 즉, 자기 헤드(1)에서는, 보호막(12)에 의해 요부(9)의 표면과 유리 간의 직접 접촉이 방지된다. 따라서, 자기 헤드(1)에서는 요부(9) 상의 유리에서는 기포가 존재치 않는다.However, in the magnetic head 1, the recess 9 is covered with a protective film 12 such that the surface of the recess 9 will not be in direct contact with the glass. That is, in the magnetic head 1, the direct contact between the glass of the surface of the recessed part 9 and the glass is prevented by the protective film 12. Therefore, no bubbles exist in the glass on the recess 9 in the magnetic head 1.

결과적으로, 자기 헤드(1)에서는 코일 형성용 요부(13)는 기포에 의한 요철 발생 가능성없이 평탄한 표면을 가질 수 있다. 즉, 자기 헤드(1)에서는 코일 형성용 요부(13)는 바람직한 표면 상태를 갖는다. 그러므로, 자기 헤드(1)에서는 코일 형성용 요부(13)의 표면 상에 박막으로 형성된 코일(7)은 코일 형성용 요부(13)의 바람직한 표면 상태 때문에 바람직한 상태를 갖는다. 이와 같이, 자기 헤드(1)에서는 코일(7)에 바람직한 전류가 흘러 바람직한 기록/재생 특성이 얻어진다.As a result, in the magnetic head 1, the coil forming recess 13 can have a flat surface without the possibility of unevenness caused by bubbles. That is, in the magnetic head 1, the coil formation recess 13 has a preferable surface state. Therefore, in the magnetic head 1, the coil 7 formed of a thin film on the surface of the coil forming recess 13 has a preferable state because of the desirable surface state of the coil forming recess 13. In this way, in the magnetic head 1, a desirable current flows in the coil 7 to obtain desirable recording / reproducing characteristics.

다음으로, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조 방법에 대해 기술하기로 한다. 여기서는 상술된 자기 헤드를 제조하기 위한 제조 방법에 대해 설명할 것이다.Next, a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Here, the manufacturing method for manufacturing the above-described magnetic head will be described.

본 실시예에 따른 자기 헤드(1)를 제조할 때, 동일 기판 상에 다수의 자기 코어 반체(2 및 3)를 형성한다. 이 기판 두개를 접합시키고 개개의 자기 헤드(1)로 절단한다.When manufacturing the magnetic head 1 according to this embodiment, a plurality of magnetic core halves 2 and 3 are formed on the same substrate. The two substrates are bonded together and cut into individual magnetic heads 1.

우선, 자기 헤드(1)를 제조하기 위해 도 4에서 도시된 바와 같이, 판형의 기판(21)을 준비한다. 이 기판(21)으로 자기 헤드(1)의 비자성 기판(4)을 형성한다. 기판(21)은 예를 들어, MnO-NiO 등의 비자성 재료로 제조된다. 이 기판(21)은 예를 들어, 약 2㎜의 두께와 약 30㎜의 길이와 폭을 갖는다.First, in order to manufacture the magnetic head 1, as shown in Fig. 4, a plate-like substrate 21 is prepared. This substrate 21 forms a nonmagnetic substrate 4 of the magnetic head 1. The substrate 21 is made of a nonmagnetic material such as MnO-NiO, for example. The substrate 21 has, for example, a thickness of about 2 mm and a length and width of about 30 mm.

다음으로, 도 5에서 도시된 바와 같이, 기판(21)의 한 측면(21A)에 대해 제1 홈 형성을 행한다. 이 제1 홈 형성 시에는, 연마석 등을 사용하여 기판(21)의 측면(21A) 상에 예를 들어, 약 45도의 각을 갖도록 서로에 대해 평행하게 형성된 다수의 자기 코어 형성 홈(24)을 형성한다. 제1 홈 형성의 결과로서, 자기 코어 형성 홈(24)에 의해 다수의 경사면(24A)이 얻어진다.Next, as shown in FIG. 5, a first groove is formed on one side 21A of the substrate 21. In forming the first grooves, a plurality of magnetic core forming grooves 24 formed in parallel with each other to have an angle of, for example, about 45 degrees on the side surface 21A of the substrate 21 using abrasive stone or the like is formed. Form. As a result of the first groove formation, a large number of inclined surfaces 24A are obtained by the magnetic core forming grooves 24.

여기서 형성된 경사면(24A)은 기판 평면에 대해 약 25도 내지 60도의 경사를갖는 것이 바람직하고, 의사-갭 및 트랙폭 정밀도를 고려하면 35 내지 50도가 보다 바람직하다. 또한, 제1 홈 형성에 의해 형성된 자기 코어 형성 홈(24)은 130㎛의 깊이와 150㎛의 폭을 갖도록 형성된다.The inclined surface 24A formed here preferably has an inclination of about 25 degrees to 60 degrees with respect to the substrate plane, and more preferably 35 to 50 degrees in consideration of pseudo-gap and track width precision. In addition, the magnetic core forming grooves 24 formed by the first groove formation are formed to have a depth of 130 μm and a width of 150 μm.

다음으로, 도 6에서 도시된 바와 같이, 기판(21) 상의 경사면(24A)을 상술된 재료로 형성된 금속 자기 박막(5)으로 피복한다. 이 박막 형성 단계에서는, 금속 자기 박막(5)은 경사면(24A)에 대해 균일한 두께를 갖도록 형성된다. 여기서는 금속 자기 박막(5)은 비자성층을 통해 적층된 3층의 금속 자성 재료로 형성된다. 이 박막 형성 단계는 예를 들어, 자석 스퍼터링 방법이나, 다른 PVD 방법 또는 CVD 방법에 의해 행해진다.Next, as shown in FIG. 6, the inclined surface 24A on the substrate 21 is covered with the metal magnetic thin film 5 formed of the above-described material. In this thin film forming step, the metal magnetic thin film 5 is formed to have a uniform thickness with respect to the inclined surface 24A. Here, the metal magnetic thin film 5 is formed of three layers of magnetic metal materials laminated through a nonmagnetic layer. This thin film forming step is performed by, for example, a magnet sputtering method, another PVD method or a CVD method.

또한, 금속 자기 박막(5)은 다수층의 금속 자성층에만 제한되지 않고 단층의 금속 자성층일 수 있다.In addition, the metal magnetic thin film 5 is not limited to a plurality of metal magnetic layers but may be a single metal magnetic layer.

이 실시예에서, 금속 자기 박막(5)이 예를 들어, 다수층으로 구성되면, 이 박막은 3개의 Fe-Al-Si 합금층을 형성하도록 교대로 적층된 5㎛의 Fe-Al-Si 합금(센더스트) 및 0.15㎛의 알루미나를 포함한다. 또한, 금속 자기 박막(5)이 다수의 층으로 이루어지면, 비자성층은 알루미나, SiO₂, SiO의 단독 또는 결합으로 제조된다. 비자성층은 서로 인접 배치된 금속 자성층 간에서의 절연을 얻을 수 있는 두께를 가져야 한다.In this embodiment, if the metal magnetic thin film 5 is composed of, for example, a plurality of layers, the thin film is a 5 µm Fe-Al-Si alloy alternately stacked to form three Fe-Al-Si alloy layers. (Cender) and 0.15 탆 of alumina. In addition, when the metal magnetic thin film 5 is composed of a plurality of layers, the nonmagnetic layer is made of alumina, SiO ₂ , SiO alone or in combination. The nonmagnetic layer should have a thickness that allows insulation between the metal magnetic layers disposed adjacent to each other.

다음으로, 도 7에서 도시된 바와 같이, 금속 자기 박막(5)을 갖는 표면에 대해 자기 코어 형성 홈(24)과 거의 직각으로 교차하는 방향으로 제2 홈 형성을 행한다. 제2 홈 형성은 희망 사이즈의 자기 코어로 분리되도록 형성된 분리 홈(26)과, 분리된 자기 코어 각각 상에 코일 형성 요부(13)를 형성하기 위한 권선 홈(27)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 7, the second grooves are formed in a direction substantially perpendicular to the magnetic core forming grooves 24 with respect to the surface having the metal magnetic thin film 5. The second groove formation forms a separation groove 26 formed to be separated into a magnetic core of a desired size, and a winding groove 27 for forming a coil forming recess 13 on each of the separated magnetic cores.

여기서, 분리 홈(26)은 기판(21) 상에서 자기 코어를 전후 방향으로 자기적으로 분리시키도록 자기 코어를 형성하고, 자기 코어 각각 상에서 폐자로를 형성한다. 도 7의 실시예에서는, 두개의 분리 홈(26)이 형성되지만, 형성될 자기 코어 반체의 개수에 대응하여 분리 홈의 개수를 제공할 필요가 있다. 또한, 자기 코어를 서로 자기적으로 분리시키기 위해, 분리 홈(26)은 금속 자기 박막(5)을 완전히 절단시키기 위한 깊이를 가져야 한다. 보다 상세히 기술하자면, 분리 홈(26)은 자기 코어 형성 홈(24)의 저면보다 150㎛ 더 깊어야 하는 데, 즉 280㎛의 깊이를 가져야 한다.Here, the separation groove 26 forms a magnetic core on the substrate 21 to magnetically separate the magnetic core in the front-rear direction, and forms a waste path on each of the magnetic cores. In the embodiment of Figure 7, two separation grooves 26 are formed, but it is necessary to provide the number of separation grooves corresponding to the number of magnetic core halves to be formed. In addition, in order to magnetically separate the magnetic cores from each other, the separation groove 26 must have a depth for completely cutting the metal magnetic thin film 5. More specifically, the separation groove 26 should be 150 μm deeper than the bottom of the magnetic core forming groove 24, ie have a depth of 280 μm.

한편, 도 8에서 도시된 바와 같이, 권선 홈(27)은 상술된 자기 헤드(1)에서 금속 자기 박막(5) 내에 요부(8)를 형성한다. 따라서, 권선 홈(27)은 전면 접합부(10) 및 배면 접합부(11)를 갖는 자기 코어를 형성하고 코일 형성용 요부(13)를 형성하기 위해 금속 자기 박막(5)을 절단시키지 않는 정도의 깊이를 가져야 한다. 이와 같이, 권선 홈(27)이 형성되면, 금속 자기 박막(5)의 단면이 요부(9)의 표면 상에서 노출된다.On the other hand, as shown in FIG. 8, the winding groove 27 forms a recess 8 in the metal magnetic thin film 5 in the above-described magnetic head 1. Therefore, the winding groove 27 forms a magnetic core having the front junction 10 and the rear junction 11 and a depth not to cut the metal magnetic thin film 5 to form the coil forming recess 13. Should have As such, when the winding groove 27 is formed, the cross section of the metal magnetic thin film 5 is exposed on the surface of the recess 9.

또한, 권선 홈(27)은 전면 접합부(10) 및 배면 접합부(11)의 길이에 따라 정해지는 구성을 갖는다. 여기서, 권선 홈(27)은 전면 접합부(10)의 길이가 약 300㎛이고 배면 접합부(11)의 길이가 약 85㎛인 경우 약 140㎛의 폭을 갖도록 형성하였다. 권선 홈(27)은 금속 자기 박막(5)을 절단하지 않는 깊이를 가져야 한다는 것에 주목해야 한다. 깊이가 너무 깊으면, 자로 길이가 증가되어 자속 전달 효율이 감소될 수 있다. 또한, 권선 홈(27)은 후술될 제조 단계에서 형성될 코일(7)의 두께에 따른 깊이를 갖는다. 여기서, 이러한 깊이는 예를 들어, 약 20㎛로 정해진다. 더욱이, 권선 홈(27)은 특정 형상에만 제한되지 않는 구성을 가질 수 있다. 여기서, 예를 들어, 전면 접합부(10)는 약 45도 경사진 측면(27A)을 갖는다. 따라서, 금속 자기 박막(5)에서는 자속이 전면 접합부(10)로 집중되어 감도가 향상된다.In addition, the winding groove 27 has a configuration determined according to the length of the front junction 10 and the rear junction 11. Here, the winding grooves 27 are formed to have a width of about 140 μm when the length of the front junction 10 is about 300 μm and the length of the back junction 11 is about 85 μm. It should be noted that the winding groove 27 should have a depth that does not cut the metal magnetic thin film 5. If the depth is too deep, the length of the furnace may be increased, thereby reducing the flux transfer efficiency. In addition, the winding groove 27 has a depth according to the thickness of the coil 7 to be formed in the manufacturing step to be described later. Here, this depth is set to, for example, about 20 μm. Moreover, the winding groove 27 may have a configuration that is not limited only to a particular shape. Here, for example, the front junction 10 has a side surface 27A that is inclined about 45 degrees. Therefore, in the metal magnetic thin film 5, the magnetic flux is concentrated to the front junction 10 so that the sensitivity is improved.

다음으로, 도 9에서 도시된 바와 같이, 권선 홈(27)은 보호막(12)으로 피복된다. 이 보호막(12)은 상술된 비유기 산화물로 제조되고 권선 홈(27)의 전면을 피복하도록 형성된다. 이로써, 권선 홈(27)이 형성되었을 때 노출된 금속 자기 박막의 단면을 피복할 수 있다.Next, as shown in FIG. 9, the winding groove 27 is covered with the protective film 12. This protective film 12 is made of the above-mentioned inorganic oxide and formed to cover the entire surface of the winding groove 27. Thereby, the cross section of the metal magnetic thin film exposed when the winding groove 27 was formed can be covered.

보호막(12)은 또한 금속 자기 박막(5)의 전면을 피복하도록 형성될 수도 있다. 즉, 이 기술에서, 보호막(12)은 적어도 요부(9)의 표면을 피복하도록 형성되어야 한다.The protective film 12 may also be formed to cover the entire surface of the metal magnetic thin film 5. That is, in this technique, the protective film 12 should be formed so as to cover at least the surface of the recessed portion 9.

다음으로, 도 11에서 도시된 바와 같이, 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)를 자기 코어 형성 홈(24), 분리 홈(26), 권선 홈 및 보호막(12)이 기술된 순서로 형성되어진 기판(21)의 주 표면 상에 충전시킨다. 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)로 충전된 주 표면에 대해 표면 평탄 처리를 행한다.Next, as shown in FIG. 11, the hot-melt glass 29 having the low melting point is formed in the order described in the magnetic core forming grooves 24, the separating grooves 26, the winding grooves, and the protective film 12. The main surface of the substrate 21 is filled. Surface planarization is performed on the main surface filled with the hot molten glass 29 having a low melting point.

보호막(12)이 적어도 요부(9)의 표면을 피복하도록 형성되기 때문에, 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)와 요부(9)의 표면 간에는 접촉이 발생하지 않는다. 다시 말하자면, 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)는 금속 자기 박막(5)의 단면과 접촉하지 않을 것이다. 즉, 이 기술에서, 보호막(12)은 요부(9)의 표면과 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29) 간의 접촉을 방지시킨다.Since the protective film 12 is formed so that at least the surface of the recessed part 9 may be coat | covered, a contact will not generate | occur | produce between the high temperature molten glass 29 and the surface of the recessed part 9 which have a low melting point. In other words, the hot melting glass 29 having a low melting point will not be in contact with the cross section of the metal magnetic thin film 5. That is, in this technique, the protective film 12 prevents contact between the surface of the recess 9 and the hot molten glass 29 having a low melting point.

따라서, 고온의 저 융점 유리와 요부(9)의 표면 사이에서는 어떠한 반응도 일어나지 않을 것이다. 그 결과, 이러한 반응에 의한 기포도 발생되지 않을 것이다. 즉, 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)에는 기포가 존재치 않을 것이다.Therefore, no reaction will occur between the high temperature low melting glass and the surface of the recess 9. As a result, no bubbles are generated by this reaction. That is, no bubbles will be present in the hot molten glass 29 having a low melting point.

다음으로, 도 12에서 도시된 바와 같이, 연삭 가공 처리를 위해 연마석 등을 사용하여 단자 홈(30)을 형성한다. 이 단자 홈(30)은 약 200㎛의 폭과 약 100㎛의 깊이를 갖는 상술된 분리 홈(26) 바로 위의 일정 위치에 형성된다. 이 단자 홈(30)은 도금 등을 통해 Cu 등의 양호한 도체로 충전된다. 이 후에, 평탄화 처리를 행한다. 이 단자 홈(30)에 충전된 Cu 등의 양호한 도체는 자기 헤드(1)에 있어서 상술된 외부 접속 단자(15)로서 기능을 할 것이다.Next, as shown in FIG. 12, the terminal groove 30 is formed using abrasive stone or the like for the grinding processing. This terminal groove 30 is formed at a predetermined position directly above the above-described separating groove 26 having a width of about 200 μm and a depth of about 100 μm. This terminal groove 30 is filled with a good conductor such as Cu through plating or the like. After this, the planarization process is performed. A good conductor such as Cu filled in the terminal groove 30 will function as the external connection terminal 15 described above in the magnetic head 1.

다음으로, 도 13에서 도시된 바와 같이, 코일(7)이 박막 형성으로 형성되어질 코일 형성용 요부(13)가 형성된다. 이 코일 형성용 요부(13)는 배면 접합부(11)를 중심으로 한 거의 구형을 갖고 배면 접합부(11)를 제외시킨 에칭에 의해 형성된다. 또한, 이 코일 형성용 요부(13)는 단자 홈(30)까지 도달하는 홈(13A)을 갖는다.Next, as shown in Fig. 13, the coil forming recess 13 in which the coil 7 is to be formed by thin film formation is formed. This coil formation recessed part 13 is formed by the etching which has a substantially spherical shape centering on the back junction part 11, and removed the back junction part 11. As shown in FIG. In addition, the coil forming recess 13 has a groove 13A that reaches the terminal groove 30.

상술된 바와 같이, 이 기술에서, 보호막(12)은 요부(9) 바로 위의 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)에 기포가 존재하지 않도록 형성된다. 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)에 기포가 존재하면, 코일 형성용 요부(13)는 기포로 인한 요철 표면을 갖는다. 그러나, 이 기술에서는, 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)에 기포가 존재치 않으므로, 바람직한 표면을 갖는 코일 형성용 요부(13)를 형성할 수 있다.As described above, in this technique, the protective film 12 is formed so that no bubbles exist in the hot molten glass 29 having a low melting point just above the recess 9. If bubbles exist in the hot molten glass 29 having a low melting point, the coil forming recess 13 has an uneven surface due to the bubbles. However, in this technique, since bubbles do not exist in the hot molten glass 29 having a low melting point, the recess 13 for coil formation having a desirable surface can be formed.

다음으로, 도 14에서 도시된 바와 같이, 코일(7)은 코일 형성용 요부(13) 내에 박막으로 형성된다. 이 코일(7)은 한 단(7A)에서 시작하여 배면 접합부(11)를 중심으로 하는 스파이럴 형상을 갖는다. 또한, 이 코일(7)은 코일 형성용 요부(13)의 한 단에서 형성된 홈(13A)으로 인출되고, 코일(7)의 다른 단(7B)은 단자 홈(30)에 충전된 양호한 도체로 제조된 외부 접속 단자(15)에 전기적으로 접속된다.Next, as shown in FIG. 14, the coil 7 is formed in a thin film in the recess 13 for coil formation. This coil 7 has a spiral shape starting from one end 7A and centering on the back junction 11. In addition, the coil 7 is drawn out to the groove 13A formed at one end of the coil forming recess 13, and the other end 7B of the coil 7 is a good conductor filled in the terminal groove 30. It is electrically connected to the manufactured external connection terminal 15.

이 코일(7)을 형성할 때, 상술된 코일 형상은 포토레지스트에 의해 패턴화된다. 다음에, 코일 형성용 요부(13)를 약 3㎛의 두께를 갖도록 도금에 의해 Cu 등의 양호한 도체로 박막으로 피복시킨다. 이 후에, 포토레지스트를 제거시킴으로써 패턴화된 코일(7)이 얻어진다. 이 코일(7)은 상술된 도금 이외에 스퍼터링 또는 피착 방법을 통해 형성될 수도 있다.When forming this coil 7, the coil shape mentioned above is patterned by photoresist. Next, the coil forming recess 13 is coated with a thin film with a good conductor such as Cu by plating so as to have a thickness of about 3 µm. After that, the patterned coil 7 is obtained by removing the photoresist. This coil 7 may be formed through a sputtering or deposition method in addition to the above-described plating.

여기서, 코일(7)은 코일 형성용 요부(13)의 표면 상태에 의해 영향을 받으면서 형성된다. 이 기술에서, 바람직한 표면 상태를 갖는 코일 형성용 요부(13)를 형성할 수 있으므로, 이에 따라 단선 등의 결함없이도 코일(7)을 형성할 수 있다.Here, the coil 7 is formed while being affected by the surface state of the coil forming recess 13. In this technique, since the main portion 13 for forming the coil having a desirable surface state can be formed, the coil 7 can be formed without defects such as disconnection.

다음에는, 코일(7)이 외부 공기와 접촉하는 것을 방지시키기 위한 보호층(도시 안됨)을 형성한다. 이 보호층은 상술된 코일(7)이 형성되어진 코일 형성용 요부(13)를 충전시키도록 형성된다. 이 후에, 보호층의 표면에 대해 평탄화 처리를 행한다. 이 평탄화 처리는 전면 접합부(10), 배면 접합부(11) 및 코일 접속 단자(15)가 외부에 노출될 때까지 행해진다.Next, a protective layer (not shown) is formed to prevent the coil 7 from contacting the outside air. This protective layer is formed to fill the coil forming recess 13 in which the coil 7 described above is formed. Thereafter, the surface of the protective layer is planarized. This planarization process is performed until the front junction part 10, the back junction part 11, and the coil connection terminal 15 are exposed to the exterior.

다음으로, 도 15에서 도시된 바와 같이, 자기 코어 반체(2 및 3)가 다수의 행으로 형성되어진 기판을 개별 행으로 절단하고 이 개별 행 두개를 금속 확산 결합에 의해 코일(7)을 갖는 표면이 서로 대향하도록 결합시킨다.Next, as shown in FIG. 15, the surface in which the magnetic core halves 2 and 3 are formed in a plurality of rows is cut into individual rows, and the two rows are surfaces having the coil 7 by metal diffusion bonding. Combine so that they face each other.

이러한 금속 확산 결합에서는, 우선, 코일(7)을 갖는 표면의 소정의 면적을 스퍼터링 등을 통해 Cr 및 Au 등을 함유한 금속 재료막으로 피복한다. 이러한 금속 확산 결합시에, 금속막을 소정의 면적으로 형성한 후 다수의 자기 코어 반체(2 및 3)가 일렬로 배열되어진 기판(21)을 이와 같은 다른 기판(21) 상에 배치시킨다. 여기서, 한 기판의 전면 접합부(10)는 다른 기판의 전면 접합부(10)와 정확하게 정합되어야 한다. 또한, 동일하게, 한 기판의 코일 접속 단자(14)는 다른 코일 접속 단자(14)와 정확하게 정합되어야 한다. 이와 같은 접합 상태에서, 두 기판(21)이 서로에 대해 결합되도록 소정의 온도와 압력을 인가한다. 이로써, 도 16에서 도시된 바와 같이, 일렬로 배열된 다수의 자기 헤드(1)를 갖는 자기 헤드 블럭(32)이 얻어진다.In such metal diffusion bonding, first, a predetermined area of the surface with the coil 7 is covered with a metal material film containing Cr, Au, or the like through sputtering or the like. In this metal diffusion bonding, after forming a metal film to a predetermined area, a substrate 21 having a plurality of magnetic core halves 2 and 3 arranged in a row is disposed on such another substrate 21. Here, the front junction 10 of one substrate must be accurately matched with the front junction 10 of the other substrate. In the same way, the coil connection terminals 14 of one substrate must be accurately matched with the other coil connection terminals 14. In this bonding state, a predetermined temperature and pressure are applied so that the two substrates 21 are bonded to each other. Thus, as shown in Fig. 16, a magnetic head block 32 having a plurality of magnetic heads 1 arranged in a line is obtained.

다음으로, 도 16에서 도시된 바와 같이, 자기 헤드 블럭(32)은 자기 헤드(1)로 분리된다. 여기서, 자기 헤드 블럭(32)은 도 16의 B-B선을 따라 절단된다.Next, as shown in FIG. 16, the magnetic head block 32 is separated into the magnetic head 1. Here, the magnetic head block 32 is cut along the line B-B in FIG.

이로써, 전면 접합부(10) 간에서 자기 갭을 갖는 자기 헤드(1)가 얻어진다. 비록 도시되지는 않았지만, 자기 헤드(1)에 대해 원통 형상의 매체 접동면을 갖도록 연삭 가공 처리를 행한다. 또한, 자기 기록 매체와 바람직한 접촉을 얻기 위해, 매체 접동면에 접촉 조절 홈(8)을 형성한다. 이 접촉 조절 홈(8)은 자기 기록 매체의 접동 방향과 거의 평행하게 되도록 형성되어 자기 기록 매체와의 마찰을 조절한다.Thereby, the magnetic head 1 which has a magnetic gap between the front joining parts 10 is obtained. Although not shown, the grinding processing is performed to have a cylindrical medium sliding surface with respect to the magnetic head 1. Further, in order to obtain desirable contact with the magnetic recording medium, a contact adjusting groove 8 is formed in the medium sliding surface. This contact adjusting groove 8 is formed to be substantially parallel to the sliding direction of the magnetic recording medium to adjust the friction with the magnetic recording medium.

본 발명에 따른 상술된 자기 헤드의 제조 방법에서는, 요부(9)를 형성하고 이 요부(9)에 보호막(12)을 형성한다. 이와 같이, 이 기술에서는, 이 보호막(12)에 의해 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)와 요부(9)의 표면 간에서의 접촉이 방지된다. 따라서, 이 기술에서는, 요부의 표면, 즉 금속 자기 박막(5)의 단면은 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)와 반응하지 않게 될 것이다. 이로써 고형화시키기 위해 냉각되어진 저 융점을 갖는 고온 용융 유리(29)에는 기포가 존재하지 않게 된다.In the above-described manufacturing method of the magnetic head according to the present invention, the recessed portion 9 is formed and the protective film 12 is formed on the recessed portion 9. As described above, in this technique, the contact between the high-temperature molten glass 29 having the low melting point and the surface of the recessed portion 9 is prevented by the protective film 12. Therefore, in this technique, the surface of the recess, that is, the cross section of the metal magnetic thin film 5, will not react with the hot molten glass 29 having a low melting point. As a result, bubbles are not present in the hot molten glass 29 having the low melting point cooled to solidify.

이 경우, 고형화된 유리(6)에 대해 연삭 가공함으로써 형성된 코일 형성용 요부(13)는 기포에 의해 초래될 수 있는 요철없이 바람직한 표면을 가질 수 있다. 따라서, 이 기술에서는 단선 등의 결함없이 코일 형성용 요부(13)에 코일(7)을 형성할 수 있다. 바꾸어 말하자면, 이 기술에서는 단선 등의 결함을 가져 수율을 상당히 떨어뜨리는 코일(7)을 형성하지 않을 것이다.In this case, the coil forming recesses 13 formed by grinding the solidified glass 6 can have a desirable surface without irregularities that may be caused by bubbles. Therefore, in this technique, the coil 7 can be formed in the coil forming recess 13 without defects such as disconnection. In other words, this technique will not form a coil 7 that has defects such as disconnection and thus significantly lowers the yield.

보다 상세히 기술하자면, 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조 방법(본 발명의 방법)으로 얻어진 수율을 보호층(12)의 형성 단계를 생략한 기술(종래 방법)로 얻어진 수율과 비교해 보기로 한다. 비교 결과는 이하의 표 1에서 도시하였다.In more detail, the yield obtained by the manufacturing method of the magnetic head (method of the present invention) according to the present invention will be compared with the yield obtained by the technique (conventional method) omitting the step of forming the protective layer 12. The comparison results are shown in Table 1 below.

수율yield 본 발명The present invention 99.8%99.8% 종래 방법Conventional method 31.6%31.6%

표 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 자기 헤드의 제조 방법은 코일(7)의 도전 결함을 거의 일으키지 않아 수율이 상당히 개선된다.As can be seen from Table 1, the manufacturing method of the magnetic head according to the present invention hardly causes a conductive defect of the coil 7, so that the yield is significantly improved.

상술된 바와 같이, 본 발명에 따른 자기 헤드는 결함없는 바람직한 코일을 가져 코일 내로 바람직한 전류를 흐르게 할 수 있어 바람직한 기록/재생 특성을 얻을 수 있다.As described above, the magnetic head according to the present invention can have a desirable coil free of defects and can flow a desired current into the coil to obtain desirable recording / reproducing characteristics.

또한, 본 발명에 따른 자기 헤드는 금속 자기 박막의 요부 상에 보호막을 형성한 후 금속 자기 박막을 피복하도록 고온 용융 유리를 충전시키는 단계를 포함한다. 따라서, 이 방법에서는 유리 내에 기포가 발생되지 않을 것이다. 그 결과, 바람직한 표면을 갖는 코일 형성용 요부를 형성할 수 있다. 따라서, 이 방법에 의하면 결함없이 코일을 형성할 수 있어 수율이 개선된다.The magnetic head according to the present invention also includes forming a protective film on the main portion of the metal magnetic thin film and then filling the hot molten glass to cover the metal magnetic thin film. Thus, no bubbles will be generated in the glass in this method. As a result, the recessed part for coil formation which has a preferable surface can be formed. Therefore, according to this method, a coil can be formed without a defect and the yield is improved.

Claims

In the magnetic head,

A pair of magnetic core halves each comprising a substrate on which a metal magnetic thin film is formed obliquely and filled with glass and having a flat bonding surface,

End faces of the metal magnetic thin films are bonded to each other through a nonmagnetic material to form a magnetic gap, and a coil forming recess is formed on at least one of the magnetic core halves to form a thin film coil in the coil forming recess. ,

At least one of the magnetic core halves includes the metal magnetic thin film cut for the coil forming recess, and forms a protective film for covering at least the cutting surface to fill glass on the protective film.

Magnetic head, characterized in that.

The method of claim 1, wherein the protective film to cover the entire surface of the metal magnetic thin film in contact with the glass

Magnetic head, characterized in that.

The protective film of claim 1, wherein the protective film is made of an inorganic oxide as a main component.

Magnetic head, characterized in that.

In the manufacturing method of the magnetic head,

Forming a metal magnetic thin film on a substrate having an inclined surface to form a pair of magnetic core halves,

Cutting the metal magnetic thin film formed on at least one of the magnetic core halves for recesses for forming coils,

Forming a protective film for covering a cutting surface on the metal magnetic thin film;

Filling glass on the substrate to form a flat bonding surface;

Forming a coil forming recess on the glass opposite the planarized bonding surface;

Forming a thin film coil in the coil forming recess;

Coupling the pair of magnetic core halves through a nonmagnetic material such that the end faces of the metal magnetic thin films face each other to form a magnetic gap

Method of producing a magnetic head comprising a.

5. The protective film according to claim 4, wherein the protective film covers the entire surface of the metal magnetic thin film in contact with the glass.

The manufacturing method of the magnetic head characterized by the above-mentioned.

The protective film according to claim 4, wherein the protective film contains an inorganic oxide as a main component.