KR19990019292U - Mask case - Google Patents
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Abstract
본 고안은 마스크 케이스에 관한 것으로, 종래에는 마스크를 핸들링하여 마스크 케이스의 지지대 및 지지틀 위에 장착하였는데, 이때 페리클(pellicle) 부위에 스크래치(scratch)가 발생하거나 마스크의 귀퉁이가 파손되는 문제점이 있었던바, 본 고안의 마스크 케이스는 마스크를 슬라이딩시켜 장착할 수 있도록 슬라이딩부가 설치되고 이 슬라이딩부의 양단에는 장착된 마스크를 고정시킬 수 있는 고정틀을 설치함으로써, 마스크를 탈착시킬 때 핸들링에 의한 마스크의 손상을 최소화하고, 마스크 케이스 내 마스크의 유동을 최소화할 수 있게 한 것이다.The present invention relates to a mask case, and in the related art, a mask is handled and mounted on a support and a support frame of the mask case, where a scratch occurs in a pellicle or a corner of the mask is broken. Bar, the mask case of the present invention is provided with a sliding portion for sliding and mounting the mask, and by installing a fixing frame for fixing the mounted mask on both ends of the sliding portion, it is possible to prevent damage to the mask by handling when removing the mask It is to minimize the flow of the mask in the mask case.
Description
본 고안은 마스크를 보관하는데 사용하는 마스크 케이스에 관한 것이다.The present invention relates to a mask case for use in storing a mask.
일반적으로 마스크(mask)는 반도체 제작 공정중 웨이퍼 위에 패턴(pattern)을 이식시키기 위한 포토리소그래피(photolithography) 공정에 사용하는 유리와 같은 재질의 판으로서, 패턴의 오염 및 손상방지를 위해 특히 취급 및 보관이 중요하다.In general, a mask is a glass-like plate used in a photolithography process for implanting a pattern onto a wafer during a semiconductor fabrication process, and is particularly handled and stored to prevent contamination and damage to the pattern. This is important.
따라서, 보관시에는 통상 마스크를 노광장치에 로딩, 언로딩시킬 때 사용하는 마스크 케이스라는 장치에 넣어 보관한다.Therefore, during storage, the mask is normally stored in an apparatus called a mask case used for loading and unloading the mask in the exposure apparatus.
종래의 마스크 케이스는 도 1에 도시한 바와 같이, 케이스 몸체(1)와, 이 케이스 몸체(1)의 상면에 형성되어 마스크를 받치는 지지대(2)와, 상기 지지대(2)와 같이 마스크를 받치도록 상기 케이스 몸체(1)의 상면에 소정량 돌출형성되어 있는 지지틀(3)과, 상기 케이스 몸체(1)를 덮는 덮개(4)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, a conventional mask case is formed on a case body 1, a support 2 formed on an upper surface of the case body 1 to support a mask, and a mask like the support 2. It consists of a support frame (3) protruding a predetermined amount on the upper surface of the case body (1), and a cover (4) covering the case body (1).
상기 케이스 몸체(1)는 사각의 판형상이고, 상기 지지대(2)와 지지틀(3)은 사각형의 모서리에 해당하는 지점에 형성되어 있다.The case body 1 has a rectangular plate shape, and the support 2 and the support frame 3 are formed at points corresponding to the corners of the rectangle.
상기와 같은 구성을 가진 종래의 마스크 케이스는 마스크를 직접 작업자가 핸들링(handling)에 의해 상기 지지대(2)에 올려놓은 후 케이스 몸체(1)에 상기 덮개(4)를 덮어 마스크를 보관한다.In the conventional mask case having the above configuration, the mask is placed directly on the support 2 by a worker by handling, and then the cover 4 is covered with the case body 1 to store the mask.
그러나, 상기와 같은 종래의 마스크 케이스는 마스크를 상기 지지대(2) 및 지지틀(3) 위에 장착할 때 작업자의 실수로 인해 마스크에 형성된 페리클(pellicle) 부위에 스크래치(scratch)가 발생하거나 강한 충격으로 마스크의 귀퉁이가 파손되는 문제점이 있었다.However, such a conventional mask case has a scratch or a strong scratch on the pellicle formed on the mask due to an operator's mistake when mounting the mask on the support 2 and the support frame 3. There was a problem that the corner of the mask is broken by the impact.
또한, 마스크가 상기 지지대(2)와 지지틀(3)에 얹혀져 있는 형태이므로 마스크 케이스를 기울일 경우 케이스 안에서 마스크의 유동이 생기는 문제점이 있었던바, 이에 대한 보완이 요구되어 왔다.In addition, since the mask is mounted on the support 2 and the support frame 3, there is a problem that the mask flows in the case when the mask case is tilted, and a supplement thereof has been required.
따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 마스크를 마스크 케이스에 보관할 때 작업자의 핸들링에 의한 페리클 스크래치 및 기타 불량을 최소화할 수 있는 마스크 케이스를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a mask case capable of minimizing the scratches and other defects caused by the handling of the operator when the mask is stored in the mask case.
본 고안의 다른 목적으로는 마스크 케이스 내 마스크의 유동을 최소화할 수 있는 마스크 케이스를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a mask case that can minimize the flow of the mask in the mask case.
도 1은 종래의 마스크 케이스를 도시한 분해사시도.1 is an exploded perspective view showing a conventional mask case.
도 2는 본 고안의 마스크 케이스를 도시한 사시도.Figure 2 is a perspective view showing a mask case of the present invention.
도 3은 본 고안의 마스크 케이스를 도시한 부분 종단면도.Figure 3 is a partial longitudinal cross-sectional view showing a mask case of the present invention.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)
10; 케이스 몸체 20; 슬라이딩부10; Case body 20; Sliding part
21; 슬라이딩홈 22; 슬라이딩볼21; Sliding groove 22; Sliding ball
23; 장착대 24; 커버23; Mounting 24; cover
30; 고정틀30; Fixing frame
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 케이스 몸체와, 이 케이스 몸체에 마스크가 미끄러져 장착할 수 있도록 상기 케이스 몸체의 상면에 설치되는 슬라이딩부와, 상기 슬라이딩부의 양단에 회동가능하게 설치되어 상기 마스크가 유동하지 않도록 고정해주는 고정틀을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크 케이스가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a case body, a sliding part installed on an upper surface of the case body so that a mask slides on the case body, and rotatably installed at both ends of the sliding part. Mask case is provided, characterized in that it comprises a fixing frame for fixing the mask does not flow.
상기 슬라이딩부는 상기 케이스 몸체의 양측으로 길게 형성된 직사각형의 슬라이딩홈과, 이 슬라이딩홈에 삽입되어 상기 마스크가 쉽게 장착할 수 있도록 구름운동을 하는 슬라이딩볼로 구성되는 것을 특징으로 한다.The sliding part is characterized by consisting of a rectangular sliding groove formed long on both sides of the case body, and a sliding ball inserted into the sliding groove to perform a rolling motion so that the mask can be easily mounted.
또한, 상기 슬라이딩홈의 바깥쪽을 향하는 장변에는 소정 높이의 장착대가 설치되어 있고, 이 장착대에는 회동하여 개폐가능한 커버가 힌지결합된다.In addition, the long side facing the outer side of the sliding groove is provided with a mounting height of a predetermined height, the mounting cover is hinged coupled to the opening and closing.
이하, 본 고안에 따른 마스크 케이스를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, described in detail with reference to the accompanying drawings the mask case according to the present invention.
본 고안의 마스크 케이스는 도 2에 도시한 바와 같이, 케이스 몸체(10)와, 이 케이스 몸체(10)에 마스크가 미끄러져 장착할 수 있도록 상기 케이스 몸체(10)의 상면에 설치되는 슬라이딩부(20)와, 상기 슬라이딩부(20)의 양단에 설치되어 장착된 마스크가 유동하지 않도록 고정해주는 고정틀(30)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 2, the mask case of the present invention includes a case body 10 and a sliding part installed on an upper surface of the case body 10 so that a mask slides on the case body 10. 20 and a fixing frame 30 installed at both ends of the sliding part 20 to fix the mask so as not to flow.
상기 케이스 몸체(10)는 종래와 동일하게 사각의 판형상이고, 상기 슬라이딩부(20)는 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 케이스 몸체(10)의 양측으로 길게 형성되어 있는 슬라이딩홈(21)과, 이 슬라이딩홈(21)에 삽입되어 상기 마스크가 쉽게 장착할 수 있도록 상기 슬라이딩홈(21)내에서 구름운동을 하는 슬라이딩볼(22)로 구성된다.The case body 10 has a rectangular plate shape as in the prior art, and the sliding part 20, as shown in Figure 3, the sliding groove 21 is formed long on both sides of the case body 10 and It is inserted into the sliding groove 21 is composed of a sliding ball 22 for rolling movement in the sliding groove 21 so that the mask can be easily mounted.
또한, 상기 슬라이딩홈(21)의 바깥쪽을 향하는 장변에는 소정 높이의 장착대(23)가 설치되어 있고, 이 장착대(23)에는 회동하여 개폐가능한 커버(24)가 힌지결합되어 있다.In addition, a mounting table 23 having a predetermined height is provided on the long side facing the outer side of the sliding groove 21, and the mounting table 23 is hinged to a cover 24 which can be rotated and opened.
상기 고정틀(30)은 상기 장착대(23)의 양단에 회동가능하도록 힌지결합되어 있다.The fixing frame 30 is hinged to be rotatable at both ends of the mounting table (23).
상기와 같은 구성의 마스크 케이스에 마스크를 장착시키는 방법과 이에 따른 작용을 설명하면 다음과 같다.The method of attaching the mask to the mask case having the above configuration and the operation thereof will be described below.
먼저, 마스크를 상기 슬라이딩부(20)에 삽입할 수 있도록 상기 고정틀(30)을 회동시켜 개방한다.First, the fixing frame 30 is rotated and opened so that a mask can be inserted into the sliding part 20.
이후 마스크를 케이스 몸체(10)의 일측에서 상기 슬라이딩부(20) 내로 밀어넣어 삽입하면 상기 슬라이딩볼(22)이 슬라이딩홈(21) 내에서 구르면서 상기 마스크를 부드럽게 장착시킨다.Then, when the mask is inserted into the sliding part 20 from one side of the case body 10, the sliding ball 22 is rolled in the sliding groove 21 to gently mount the mask.
마스크의 장착이 끝나면 상기 고정틀(30)을 개방시 회동방향의 반대방향으로 회동시킨다.When the mounting of the mask is finished, the fixing frame 30 is rotated in the direction opposite to the rotation direction when opening.
본 고안은 핸들링으로 마스크를 지지틀(3)에 얹혀놓는 종래의 방식에서 슬라이딩부(20)에 마스크를 밀어넣는 방식으로 마스크를 장착하므로 작업자의 실수로 인해 마스크의 페리클 부위에 스크래치가 생기거나 강한 충격으로 마스크의 귀퉁이가 파손되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, since the mask is mounted by sliding the mask to the sliding part 20 in the conventional method of placing the mask on the support frame 3 by handling, the operator may make a scratch on the pericle portion of the mask or A strong impact can prevent the corners of the mask from breaking.
또한, 마스크가 양측의 장착대(23)와 고정틀(30)에 의해 4방향으로 구속되므로 마스크 케이스를 기울이게 될 경우에도 마스크 케이스 내에서 마스크의 유동이 생기지 않는다.In addition, since the mask is constrained in four directions by the mounting bases 23 and the fixing frame 30 on both sides, even when the mask case is tilted, the mask does not flow in the mask case.
한편, 본 고안의 마스크 케이스는 슬라이딩부(20)의 상부에 설치된 커버(24)가 회동하여 개폐가 가능하므로 마스크를 장치에 장착시킬 때 상기 커버(24)를 열면 장착을 더욱 용이하게 할 수 있다.On the other hand, in the mask case of the present invention, since the cover 24 installed on the upper portion of the sliding part 20 can be rotated and opened, it can be more easily mounted by opening the cover 24 when mounting the mask to the device. .
본 고안의 마스크 케이스에 의하면 작업자의 마스크 취급 부주위로 인한 페리클의 스크래치를 방지할 수 있으며 마스크의 부분이 파손되는 등의 기타 불량을 최소화할 수 있다.According to the mask case of the present invention, it is possible to prevent the scratch of the pericle due to the worker around the mask handling, and to minimize other defects such as damage to the part of the mask.
또한, 마스크가 마스크 케이스 내에서 장착대와 고정틀에 의해 구속되어 있으므로 마스크 케이스 이동시에도 마스크의 유동을 최소화할 수 있는 효과가 있다.In addition, since the mask is restrained by the mounting table and the fixing frame in the mask case, there is an effect of minimizing the flow of the mask even when the mask case is moved.
Claims (3)
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019970032589U KR200280912Y1 (en) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | Mask case |
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Family Applications (1)
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| KR2019970032589U KR200280912Y1 (en) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | Mask case |
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| KR (1) | KR200280912Y1 (en) |
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1997
- 1997-11-18 KR KR2019970032589U patent/KR200280912Y1/en not_active IP Right Cessation
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