JPH1010705A - Reticle case - Google Patents

Reticle case

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JPH1010705A
JPH1010705A JP16415496A JP16415496A JPH1010705A JP H1010705 A JPH1010705 A JP H1010705A JP 16415496 A JP16415496 A JP 16415496A JP 16415496 A JP16415496 A JP 16415496A JP H1010705 A JPH1010705 A JP H1010705A
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JP
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reticle
member
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Pending
Application number
JP16415496A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinobu Tokushima
忍 徳島
Original Assignee
Nikon Corp
株式会社ニコン
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Exposure apparatus for microlithography
    • G03F7/70691Handling of masks or wafers
    • G03F7/70733Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
    • G03F7/70741Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reticle case capable of placing a reticle at both of upper and lower positions, as for the reticle case for storing the reticle used in a semiconductor manufacturing process. SOLUTION: The reticle case 50 is provided with reticle 1 holding members 60 installed on both of a base plate 52 and an upper cover 58. The holding member 60 is provided with a tapered surface 62, then, the end face of the reticle 1 is supported by the tapered part 62. A lever-like fixing member 70 is freely rotatably supported by a supporting bar 80, and the member 70 is provided with a V-shaped groove 72 formed in the leading end part. The fixing member 70 is energized by a tension spring so that the reticle may be held by the V-shaped groove 72, then, the end face of the reticle is held and fixed from both sides. The reticle 1 is loaded/unloaded in/from the reticle case by releasing the fixing member 70 and opening a front gate 56.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造に用いられるレチクルあるいはマスク等のガラス基板を収納するケースに関するものである。 The present invention relates to relates to a case for accommodating a glass substrate such as a reticle or a mask used for semiconductor manufacturing.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来のレチクルケースは各装置専用に設計されている。 A conventional reticle case is designed to each of the devices only. たとえばレチクル検査機ではレチクルの膜面は上向きで収納されるが、ステッパーにおいてはレチクルケース内にレチクルの膜面は下向きに収納される。 For example a reticle inspection machines film surface of the reticle is housed in the upward, the film surface of the reticle in the reticle case in stepper is accommodated downward. また従来のレチクルケースにおいて、レチクルはレチクルのガラス面に接触する保持部材により保持・固定されている。 In the conventional reticle case, the reticle is held and fixed by the holding member in contact with the glass surface of the reticle. 具体的に従来のレチクルケースの例を説明する。 Specifically described an example of a conventional reticle case.

【0003】図8は従来の方式によるレチクルケースであり、図8はレチクルケース内部を示す平面図であり、 [0003] Figure 8 is a reticle case of the conventional method, FIG. 8 is a plan view showing an internal reticle case,
図9は図8の断面図である。 Figure 9 is a cross-sectional view of FIG. 全体を符号10で示すレチクルケースは、略正方形の底板12と、側壁板14で囲まれた箱状のケース本体を有し、側壁板のうちの前面のゲート18は、底板12に対して、例えばヒンジによりとりつけられており、ケース本体に対して開閉自在に支持されている。 The reticle case, generally indicated at 10, a bottom plate 12 of generally square, has a box-shaped case main body surrounded by the side wall plate 14, the gate 18 of the front of the side wall plate to the bottom plate 12, for example, attached by a hinge, and is openably supported by the case body. ケース本体の上面には、上面蓋16が開閉自在にとりつけられている。 On the upper surface of the case body, top cover 16 is mounted to be freely opened and closed.

【0004】底板12上には、例えば5個の保持部材2 [0004] On the bottom plate 12, for example, five of the holding member 2
0が設けられる。 0 is provided. この保持部材20は、平坦面21を有し、レチクル1の一方の平面1aの周縁部を面接触により支持する。 The holding member 20 has a flat surface 21, for supporting a peripheral portion of one of the plane 1a of the reticle 1 through the surface contact. 上面蓋16には、複数の固定ピン22がスプリング24を介してとりつけられていて、レチクル1 The top cover 16, a plurality of fixing pins 22 is not mounted via a spring 24, the reticle 1
の他方の平面1bに予圧をかけて押圧される。 It is pressed over a preload to the other plane 1b.

【0005】したがって、レチクル1は保持部材20に対してピン22により押圧固定されて保持される。 Accordingly, the reticle 1 is held by being pressed and fixed by a pin 22 to the holding member 20. この固定ピン22は前面ゲート18を開くと、レチクル1の固定を解除するように構成されている。 When the fixing pin 22 to open the front gate 18, it is configured to release the fixed reticle 1. またレチクルケース10にレチクル1を出し入れする場合は、上面蓋1 In the case of out of the reticle 1 on the reticle case 10 is a top lid 1
6を開いて行う。 Perform 6 open. さらに装置が自動でレチクル1をレチクルケースから搬入・搬出を行う場合には、装置のレチクル自動搬送装置が前面ゲート18を自動で開けて行う。 Furthermore if the device performs the loading and unloading the reticle 1 from the reticle case automatically performs reticle apparatus for automatically conveying device by opening the front gate 18 automatically.

【0006】 [0006]

【発明が解決しようとする課題】このように従来のレチクルケースでは、構造上レチクルケースを上下逆さまに設置したまま、レチクル1を取り出すことは不可能である。 BRIEF Problem to be Solved] In this way, conventional reticle case, hold established the structure on the reticle case upside down, it is impossible to take out the reticle 1. このためレチクル1の一方の平面に形成される膜面を下にして利用するステッパーなどの装置と、膜面を上にして利用するEB装置や検査装置とでは、レチクルケースを共通に使用することは不可能であった。 For this reason a device such as a stepper utilizing a film surface formed on one plane of the reticle 1 and the lower, the EB apparatus and inspection apparatus utilized in the above the membrane surface, the use of the reticle case to a common It was impossible. また従来のレチクルケースでは、レチクル1のガラス研磨面に保持部材20が直接接触するように構成されているので、 In the conventional reticle case, the holding member 20 on the polished glass surface of the reticle 1 is configured to be in direct contact,
接触部分から発生するゴミがガラス研磨面に付着しやすく、超精密に描画されているパターンにも悪影響を及ぼすこともあった。 Dust generated from the contact portion is likely to adhere to polished glass surface, also was also adversely affect the pattern being super precision drawn. さらにレチクル1は上下方向からのみ固定されているので、レチクル1の側面1d方向には動きやすく、このことがゴミの発生に拍車をかけているという欠点もあった。 Since further reticle 1 is fixed only in the vertical direction, easy to move on the side 1d direction of the reticle 1, this has a drawback of being spurred the generation of dust.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】前記のような従来のレチクルケースの欠点を解決するために、本発明においてはレチクルケースを上下逆にしても使用でき、ゴミ対策として、レチクル1の端面により保持する保持部材をレチクルの上面および下面の両方に上下対称に設置した。 To SUMMARY OF THE INVENTION To overcome the shortcomings of the conventional reticle cases like, it can be used even if the reticle case upside down in the present invention, as trash countermeasure, held by the end surface of the reticle 1 a holding member that has been placed vertically symmetrically on both upper and lower surfaces of the reticle. さらにレチクル固定部材に関してもレチクルの端面を左右から挟み込むように工夫して、従来のレチクルケースの欠点を克服した。 Further devised so as to sandwich the end face of the reticle from the left and right with regard reticle fixing member, which overcomes the drawbacks of the conventional reticle case.

【0008】このように本発明によると、レチクルケースを上下逆さまにしても使用できるので、全てのレチクル関連の装置に利用することが可能となり、工程ごとに異なったレチクルケースあるいはレチクルキャリアなどにレチクルを入れ替えたりする必要もなくなる。 [0008] Thus, according to the present invention, because it can be used even if the reticle case upside down, it is possible to utilize all of the reticle-related device, reticle, etc. different reticle case or reticle carrier for each step there is no need to or replace the. このためオペレータがレチクルに介在する機会が大幅に減少し、レチクルに付着するゴミは格段に減少する。 Opportunity Therefore the operator intervenes reticle is greatly reduced, dust adhering to the reticle is reduced remarkably. また、 Also,
本発明によるレチクルケースでは、レチクルケース内部で発生するゴミをも抑制するように構成されているので、超クリーンな環境を提供できる。 The reticle case according to the present invention, which is configured to be suppressed dust generated inside the reticle case, it is possible to provide the ultra-clean environment.

【0009】 [0009]

【発明の実施の形態】本発明によるレチクルケースの実施例を図1〜図4を用いて説明する。 It will be described with reference to FIGS an example of a reticle case according to the present invention DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION. 図1は本発明によるレチクルケースの斜視図であり、レチクルケースの上面蓋58および前面ゲート56が開いた状態を描いている。 Figure 1 is a perspective view of a reticle case according to the present invention, it depicts a state where the top cover 58 and the front gate 56 of the reticle case is opened. 図2はレチクル1を固定部材70により固定している状態を示す平面図、図3は図2のA−A矢視図、図4 Figure 2 is a plan view showing a state of fixing the reticle 1 by the fixing member 70, FIG. 3 A-A arrow view of FIG. 2, FIG. 4
は図2のB−B矢視図である。 It is a B-B arrow view of FIG.

【0010】全体を符号50で示すレチクルケースは、 [0010] The reticle case, generally indicated at 50,
略正方形の底板52と、底板52の3方の辺を囲む側壁板54を有し、残りの辺には不図示のヒンジにより前面ゲート56が開閉自在にとりつけられる。 The bottom plate 52 of substantially square, having a side wall plate 54 that surrounds the three sides of the sides of the bottom plate 52, the remaining sides front gate 56 is mounted freely opened and closed by an unillustrated hinge.

【0011】底板52上には保持部材60が固着される。 [0011] On the bottom plate 52 is secured holding member 60. 保持部材60は、例えば5個配設され、各保持部材60は、テーパー部62を有し、このテーパー部62でレチクル1の円周部を支持する。 Retaining member 60 is, for example, five disposed, each holding member 60 has a tapered portion 62, for supporting the circumferential portion of the reticle 1 in the tapered portion 62.

【0012】レチクル1は、研磨平面1a,1bと側面1dを有するガラス材料でつくられる略正方形の板材であって、一般的に研磨平面1a,1bと側面1dとの間には約45度の面取り部が形成されている。 [0012] The reticle 1 is polished plane 1a, a plate of substantially square made of a glass material having a 1b and side 1d, generally polished plane 1a, about 45 degrees between the 1b and the side surface 1d chamfered portions are formed. 従ってレチクル1は、レチクル1の面取り部で保持部材60のテーパー部62により線接触又は面接触にて支持されている。 Therefore reticle 1 is supported by a line contact or surface contact by the tapered portion 62 of the holding member 60 by the chamfered portion of the reticle 1.

【0013】本発明のレチクルケース50は、ケース本体に不図示のヒンジにより開閉自在にとりつけられる上面蓋58を有し、上面蓋58の裏面にも保持部材60が配設される。 [0013] reticle case 50 of the present invention has a top cover 58 which is mounted freely opened and closed by an unillustrated hinge on the case body, the holding member 60 is disposed on the back surface of the top cover 58.

【0014】したがって、上面蓋58を閉じた状態にあっては、レチクルケース50を底板52を下においた状態にあっても、又は上面蓋58を下に置いた状態にあっても、レチクル1は保持部材60によって、レチクル1 [0014] Thus, in the closed state of the top cover 58, even the reticle case 50 in a state where the bottom plate 52 placed underneath, or even a top lid 58 in a state placed under a reticle 1 depending holding member 60, the reticle 1
の端面で支持されることとなる。 A being supported by the end face of.

【0015】このレチクルケース50にあっては、ケース本体の対向する2つの側壁部に一対の固定部材70が配設される。 [0015] The In the reticle case 50, a pair of fixing members 70 into the two side walls facing the casing body is arranged. 固定部材70は、支柱80に対して回動自在に支持されており、レチクル1に対向する位置にV字形の溝72が形成されている。 Fixing member 70 is rotatably supported with respect to the column 80, the grooves 72 of the V-shaped at a position facing the reticle 1 is formed. 底板52上に立設されるピン84と、固定部材70に立設されるピン86との間には、引張りバネ82が張設されていて、V字溝72を常時レチクル1に向けて付勢する。 With a pin 84 erected on the bottom plate 52, between the pin 86 erected on the stationary member 70, tension spring 82 is being stretched toward the constantly reticle 1 to V-shaped groove 72 to energize.

【0016】したがって、固定部材70でレチクル1の端面を両側から挾持して固定する際には、図4に示すようにレチクル1の端面は固定部材70のV字溝72とのみ接触し、保持部材60のテーパー部62とは接触しない(図3参照)。 [0016] Thus, when fixing by clamping an end face of the reticle 1 from both sides by a fixing member 70, the end face of the reticle 1, as shown in FIG. 4 is in contact only with the V-shaped groove 72 of the fixed member 70, the holding does not contact the tapered portion 62 of the member 60 (see FIG. 3).

【0017】この状態にあっては、支柱80を挾んでV [0017] According to this state, V across the struts 80
字溝72とは反対側に設けられるレバー部74は、ケースの側壁板54より外側に突出する。 The shaped groove 72 the lever portion 74 provided on the opposite side is protruded from the side wall plate 54 of the case to the outside.

【0018】図5は固定部材70がレチクル1を開放した状態を示す平面図、図6は図5のA−A矢視図、図7 [0018] Figure 5 is a plan view showing a state in which the fixing member 70 is open to the reticle 1, 6 A-A arrow view of FIG. 5, FIG. 7
は図5のB−B矢視図である。 It is a B-B arrow view of FIG. 固定部材70のレバー部74を押圧することにより、V字溝72はレチクル1の挾持を解き、レチクル1はレチクル1の端面で保持部材60のテーパー部62により支持される。 By pressing the lever portion 74 of the fixing member 70, V-shaped groove 72 solves the clamping of the reticle 1, the reticle 1 is supported by the tapered portion 62 of the holding member 60 at the end face of the reticle 1.

【0019】固定部材70は、クリック等のストッパ機構を備え開いた状態に保持される。 The fixing member 70 is held in an open state with the stopper mechanism such as a click. この状態にあっては、レチクル1は、オペレータあるいは自動搬送装置による取り出しが可能な状態となる。 In the this state, reticle 1 is in a state capable of taking out by an operator or automated transporter. 固定部材70を開放した状態では、レチクルケース50を置いた状態で下側の保持部材60にて支持されているだけであり、保持部材60は上下に配置されているので、レチクルケース5 In the state opening the fixing member 70, it is only being supported at the lower side of the holding member 60 in a state of placing the reticle case 50, the holding member 60 is disposed vertically, the reticle case 5
0を上向きに置いても下向きに置いても前ゲート56を開けるだけで取り出しは可能である。 Be placed downwards even upward at a 0 is possible retrieves only opening the front gate 56. また、再びレチクル1を固定する時は、レバー部74を押してストッパ機構を解除すればよい。 Furthermore, when securing the reticle 1 again, it is sufficient to release the stopper mechanism by pushing the lever portion 74.

【0020】また、本実施例は上記の構成だけに限られず、たとえば、レチクルケース50の前面ゲート56が開くと、それに連動して固定部材70がレチクル1の固定を解除したりすることも可能である。 Further, this embodiment is not limited to the above configuration, for example, the front gate 56 of the reticle case 50 is opened, it is also possible for the fixing member 70 in conjunction therewith or to release the fixed reticle 1 it is. 本実施例の図には図示されていないが、本実施例におけるレチクルケースにレチクル確認用の窓を設けたりしても便利である。 Figure of the present embodiment is not shown, it is convenient to or a window for confirmation reticle to the reticle case in the present embodiment.

【0021】 [0021]

【発明の効果】以上のように本発明によると、レチクルケースを上下逆さまに設置することが可能であるので、 According to the present invention as described above, according to the present invention, since it is possible to install the reticle case upside down,
レチクルの膜面を下にして利用する装置と、レチクルの膜面を上にして利用する装置とでレチクルケースを共有することが出来る。 A device utilizing the membrane surface of the reticle in the bottom, can share the reticle case in an apparatus for use in the above the membrane surface of the reticle. このためひとつの装置から、別の装置へレチクルを移動させる時に、レチクルをレチクルケースから取り出す必要がなく、ゴミがレチクルに付着することも無くなる。 Therefore from one device, when moving the reticle to another device, it is not necessary to take out the reticle from the reticle case, also eliminates the dust adheres to the reticle. また、本発明のレチクルケースでは、レチクルの端面を保持しているので、レチクルがレチクルケース内で動くこともなく、レチクルのガラス面や膜面にダメージを与えることもない。 Further, the reticle case of the present invention, since holding the end surface of the reticle, without the reticle moves within the reticle case, nor damage the glass surface or film surface of the reticle. このため、安全にかつクリーンな状態を維持することが可能である。 Therefore, it is possible to safely and maintain a clean state.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明によるレチクルケースの上面蓋を半分開いた状態を示す斜視図。 Perspective view showing an open state half a top cover of the reticle case according to the invention; FIG.

【図2】本発明によるレチクルケースのレチクルを固定した状態を示す平面図。 Plan view illustrating a state of fixing a reticle of the reticle case according to the invention, FIG.

【図3】図2のA−A矢視図。 [Figure 3] A-A arrow view of Figure 2.

【図4】図2のB−B矢視図。 [4] taken along line B-B view of figure 2.

【図5】本発明によるレチクルケースのレチクルを固定していない状態を示す平面図。 Plan view showing a state that does not fix the reticle of the reticle case according the present invention; FIG.

【図6】図5のA−A矢視図。 [6] A-A arrow view of FIG.

【図7】図5のB−B矢視図。 [7] B-B arrow view of FIG.

【図8】従来のレチクルケースの平面図。 FIG. 8 is a plan view of a conventional reticle case.

【図9】従来のレチクルケースの側面図。 FIG. 9 is a side view of a conventional reticle case.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 レチクル 50 レチクルケース 52 底板 56 前面ゲート 58 上面蓋 60 保持部材 70 固定部材 82 引張りバネ 1 reticle 50 reticle case 52 bottom plate 56 front gate 58 top cover 60 retaining member 70 fixed member 82 tension spring

Claims (6)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 レチクルを該レチクルの端面により保持する保持部材がレチクルの表面側および裏面側の両方に配置されてなるレチクルケース。 1. A reticle case the holding member the reticle is held by the end surface of the reticle is disposed on both the front and back side of the reticle.
  2. 【請求項2】 レチクルを該レチクルの端面により固定するレチクル固定部材が配置されてなることを特徴とする請求項1記載のレチクルケース。 2. A reticle case according to claim 1, wherein the reticle, wherein the reticle fixing member for fixing the end surface of the reticle is disposed.
  3. 【請求項3】 前記レチクル固定部材をレチクルの端面方向に予圧をかけて固定する予圧手段と、前記レチクル固定部材のレチクルへの固定を解除する解除手段と、を有することを特徴とする請求項2記載のレチクルケース。 3. A process according to claim, characterized in that it comprises a pre-pressurizing section for fixing preload the reticle fixing member to the end surface direction of the reticle, and canceling means for canceling the fixed to the reticle of the reticle fixing member, the reticle case of the second aspect.
  4. 【請求項4】 略正方形の底板と、底板の三辺を囲む側壁板と、底板の残りの辺に開閉自在にとりつけられる前面ゲートと、底板上に配設されてレチクルの端面を支持する保持部材と、側壁材に対して開閉自在にとりつけられる上面蓋と、上面蓋の裏面に配設されてレチクルの端面を支持する保持部材を備えるレチクルケース。 4. A bottom of the substantially square plate, and side walls surrounding the three sides of the bottom plate, a front gate which is attached openably to the remaining sides of the bottom plate, holding that is disposed on the bottom plate for supporting the end face of the reticle reticle case comprising a member, a top lid that is attached openably to the sidewall material, a holding member which is disposed on the rear surface of the upper surface cover supporting an end surface of the reticle.
  5. 【請求項5】 レチクルケースの対向する側壁材に対して支柱により回動自在に支持される一対の固定部材と、 A pair of fixing members that are rotatably supported by 5. strut to the side wall member which faces the reticle case,
    固定部材をレチクルの端面に対して付勢する与圧手段を備える請求項4記載のレチクルケース。 Reticle case according to claim 4, further comprising a pressurizing means for urging the fixing member to the end face of the reticle.
  6. 【請求項6】 固定部材はレチクルの端面で挾持するV 6. A fixing member V for sandwiching the end face of the reticle
    字溝を備える請求項5記載のレチクルケース。 Reticle case of claim 5, further comprising a shaped groove.
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