KR19990017650A - 박막 트랜지스터 어레이 테스터 - Google Patents
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Abstract
이 발명은 박막 트랜지스터 어레이 테스터에 관한 것으로서, 박막 트랜지스터 어레이 기판에 있는 박막 트랜지스터의 상태를 감지하는 모듈레이터와; 상기 모듈레이터를 지지하기 위한 모듈레이터 지지 수단과; 상기 어레이 기판과의 거리를 측정하기 위해 상기 모듈레이터 지지 수단에 설치되어 있는 측거 수단과; 상기 측거 수단에 의해 측정된 거리가 일정 거리가 되면 상기 모듈레이터의 동작을 정지시키는 제어 수단을 포함하며, 모듈레이터가 기판으로부터 일정 거리에 이르렀을 때 모듈레이터를 정지시킴으로서, 모듈레이터가 손상되는 것을 방지한다.
Description
이 발명은 박막 트랜지스터(TFT:Thin Film Transistor) 어레이 테스터(array tester)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하자면 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조 공정 중에서 박막 트랜지스터 어레이의 특성을 검사하는 장비인 어레이 테스터에 관한 것이다.
일반적으로, 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조 공정은 박막 트랜지스터를 형성하는 어레이 제조 공정과, 박막 트랜지스터 어레이 기판과 칼라 필터(color filter) 기판 사이에 액정 재료를 봉입해 넣는 셀(cell) 제조 공정과, 박막 트랜지스터 어레이 및 셀 기판을 구동시키기 위해 구동 전기 회로를 탑재하는 모듈(module) 제조 공정으로 구분할 수가 있다.
이 중, 어레이 제조 공정에서 제조된 어레이 기판의 박막 트랜지스터의 특성을 검사하기 위해서는 특수한 장비가 필요한데 이것이 어레이 테스터이다.
이러한 어레이 테스터는 박막 트랜지스터의 ITO(Indium Titan Oxide) 전극을 온(on)시켜서 이에 가해지는 전기장의 세기를 이용하여 박막 트랜지스터의 정상 여부를 판정한다.
종래의 박막 트랜지스터 어레이 테스터는 본체와 제어 컴퓨터 그리고 오토 로더(auto loader) 등으로 이루어진다.
여기에서, 본체는 ITO 전극을 온시켰을 때 가해지는 전기장의 세기를 감지하는 모듈레이터(modulator)를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 종래의 박막 트랜지스터 어레이 테스터에 대하여 설명한다.
도 1은 종래 박막 트랜지스터 어레이 테스터의 모듈레이터를 사용하여 기판을 시험하는 도면이다.
도 1에 도시되어 있듯이, 종래 박막 트랜지스터 어레이 테스터는 글래스 기판(1) 위에 놓이는 프루브 프레임(probe frame)(3)과; 모듈레이터(5)와; 모듈레이터(5)를 지지하는 카트리지(cartridge)(7)와; 모듈레이터(5)로부터의 결과를 제어 컴퓨터(도시되지 않음)로 전달하는 압전 변환부(PZT:PieZo electric Transducer)와(9)를 포함한다.
여기에서 박막 트랜지스터 어레이는 글래스 기판(1) 에 있고, 이러한 어레이의 각 라인들은 서로 묶여서 쇼트(short)되어 쇼팅 바(shorting bar)를 형성한다.
프루브 프레임(3)은 핀을 포함하고, 이러한 핀을 통해 기판(1)에 있는 쇼팅 바에 접촉된다.
한편, 모듈레이터(5)는 프루브 프레임(3)을 통해 ITO 전극이 온되어 전기장이 발생하며 이를 감지하여 그 신호를 출력하고, 이러한 신호는 압전 변환부(9)에 의해 제어 컴퓨터로 전달되어 박막 트랜지스터의 정상 또는 불량이 판정된다.
이 때, 모듈레이터(5)는 빛의 반사판 역할을 하는 골드 필름(gold film)을 포함하는데, 이 골드 필름이 전기장을 검사하는 기판(1) 쪽으로 되어 있기 때문에 검사하는 기판(1)의 표면에 큰 이물질이 묻어 있거나, 혹은 제어 컴퓨터의 제어 장애로 인한 오동작 등으로 프루브 프레임(3)에 닿게 되면 골드 필름이 손상을 입게되고 이로써 고가의 모듈레이터에 손상을 주게 되는 문제점이 있다.
따라서, 이 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 모듈레이터(5)를 지지하는 카트리지(7)의 하단부에 기판(1) 쪽을 향하여 거리를 측정할 수 있는 측거 센서를 두어 모듈레이터(5)가 기판으로부터 일정 거리에 이르렀을 때 모듈레이터(5)를 정지시킴으로서, 모듈레이터(5)가 손상되는 것을 방지하는 박막 트랜지스터 어레이 테스터를 제공하는 데 있다.
도 1은 종래 박막 트랜지스터 어레이 테스터의 모듈레이터를 사용하여 기판을 시험하는 도면이고,
도 2는 이 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 테스터의 구조도이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로서 이 발명은, 박막 트랜지스터 어레이 기판에 있는 박막 트랜지스터의 상태를 감지하는 모듈레이터와; 상기 모듈레이터를 지지하기 위한 모듈레이터 지지 수단과; 상기 어레이 기판과의 거리를 측정하기 위해 상기 모듈레이터 지지 수단에 설치되어 있는 측거 수단과; 상기 측거 수단에 의해 측정된 거리가 일정 거리가 되면 상기 모듈레이터의 동작을 정지시키는 제어 수단을 포함을 포함한다.
이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
도 2는 이 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 테스터의 구조도이다.
도 2에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 테스터는 박막 트랜지스터에 의해 발생되는 전기장의 세기를 감지하기 위한 모듈레이터(10)와; 모듈레이터(10)를 지지하기 위한 카트리지(20)와; 카트리지(20)에 설치되어 어레이 기판(40)과의 거리를 측정하는 측거 센서(30)와; 모듈레이터(10)로감지된 결과를 제어 컴퓨터(도시되지 않음)로 전달하는 압전 변환부(50)를 포함한다.
이 발명의 실시예에 따른 측거 센서(30)는 카트리지(20)의 양쪽 끝 단에 각각 설치되어 있다.
또한, 기판(40) 위에는 프루브 프레임(60)이 놓여 있다.
상기한 구성에 의한, 이 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 어레이 테스터의 작용은 다음과 같다.
먼저, 어레이 테스터는 프루브 프레임(60)을 이용하여 기판(40)에 있는 ITO 전극을 온시키고 이 때 발생하는 전기장의 세기를 측정하기 위해 모듈레이터(10)를 기판(40)에 근접시킨다.
한편, 기판(40)을 향해 카트리지(20)에 설치되어 있는 2개의 측거 센서(30)는 기판(40)과의 거리를 측정하여 제어 컴퓨터로 출력한다.
또한, 모듈레이터(10)가 기판(40)에 닿아서 손상되지 않도록 하기 위해 모듈레이터(10)와 기판(40) 사이의 최소 간격을 유지시켜야 한다.
여기에서는 모듈레이터(10)와 기판(40) 사이의 거리가 20 ∼ 100 ㎛ 이내이면 모듈레이터(10)가 기판(40)에 닿아서 손상을 입을 가능성이 있으므로 이 사이의 간격이 되지 않도록 한다.
결국, 모듈레이터(10)가 기판(40)을 향해 접근해 갈 때 측거 센서(30)가 기판(40)과의 거리를 계속 측정하여 제어 컴퓨터로 출력하면 제어 컴퓨터는 측거 센서(30)에 측정된 거리에 의해 모듈레이터(10)와 기판(40) 사이의 거리를 계산하고, 계산된 간격이 상기한 간격(20 ∼ 100 ㎛) 이내이면 모듈레이터(10)의 동작을 즉시 멈추고 경고 등을 통해 시험자가 알 수 있도록 한다.
여기에서, 측거 센서(30)로는 광 센서나 근접 센서 등이 사용될 수가 있다.
또한, 상기한 간격(20 ∼ 100 ㎛)은 어레이 기판(40)의 종류에 따라 다를 수가 있고, 이렇게 다른 간격은 미리 제어 컴퓨터에 입력되어야 한다.
상기한 바와 같이, 모듈레이터(10)와 기판(40) 사이의 간격이 상기한 간격(20 ∼ 100 ㎛) 보다 멀어서 모듈레이터(10)가 손상을 입지 않는 간격으로 떨어져서 근접된 다음 모듈레이터(10)는 박막 트랜지스터에 의해 발생되는 전기장의 세기를 감지하여 압전 변환부(50)를 통해 제어 컴퓨터로 전달하고, 제어 컴퓨터는 입력된 신호를 통하여 박막 트랜지스터의 정상/불량을 판정한다.
이상에서와 같이 이 발명의 실시예에서, 모듈레이터(10)와 기판(1) 사이의 간격을 측정하는 측거 센서(30)를 설치하여 모듈레이터(10)가 기판으로부터 일정 거리에 이르렀을 때 모듈레이터(10)를 정지시킴으로서, 모듈레이터(10)가 손상되는 것을 방지하는 박막 트랜지스터 어레이 테스터를 제공할 수 있다.
Claims (2)
- 박막 트랜지스터 어레이 기판에 있는 박막 트랜지스터의 상태를 감지하는 모듈레이터와; 상기 모듈레이터를 지지하기 위한 모듈레이터 지지 수단과; 상기 어레이 기판과의 거리를 측정하기 위해 상기 모듈레이터 지지 수단에 설치되어 있는 측거 수단과; 상기 측거 수단에 의해 측정된 거리가 일정 거리가 되면 상기 모듈레이터의 동작을 정지시키는 제어 수단을 포함하는 박막 트랜지스터 어레이 테스터.
- 제1항에 있어서, 상기한 일정 거리는 20 ∼ 100 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 어레이 테스터.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970040645A KR19990017650A (ko) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | 박막 트랜지스터 어레이 테스터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970040645A KR19990017650A (ko) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | 박막 트랜지스터 어레이 테스터 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990017650A true KR19990017650A (ko) | 1999-03-15 |
Family
ID=66046567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970040645A KR19990017650A (ko) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | 박막 트랜지스터 어레이 테스터 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990017650A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007015615A1 (en) | 2005-07-30 | 2007-02-08 | Cebt Co. Ltd. | Inspection equipment for fine pattern and morphology using microcolumn |
-
1997
- 1997-08-25 KR KR1019970040645A patent/KR19990017650A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007015615A1 (en) | 2005-07-30 | 2007-02-08 | Cebt Co. Ltd. | Inspection equipment for fine pattern and morphology using microcolumn |
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