KR19990000356A - 진공 흡착용 스핀척 - Google Patents

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 진공 흡착용 스핀척은 웨이퍼가 놓여지는 평면형의 흡착판과, 흡착판의 웨이퍼가 놓이는 면상에서 소정 거리를 두고 서로 대칭되고, 면상으로부터 소정 깊이로 형성되는 한쌍의 제 1 흡착홀들과, 흡착판의 중심에 대하여 제 1 흡착홀들과 직각을 이루도록 웨이퍼가 놓이는 면상에서 소정 거리를 두고 서로 대칭되고, 면상으로부터 소정 깊이로 형성되는 한쌍의 제 2 흡착홀들과, 흡착판의 내부에서 제 1 흡착홀들과 제 2 흡착홀들이 각각 연결되도록 하는 소정 크기의 진공라인과, 진공라인과 연결되고, 웨이퍼가 상기 흡착판에 흡착되도록 하는 진공 흡입장치와 연결되는 공급라인을 포함한다.

Description

진공 흡착용 스핀척

본 발명은 진공 흡착용 스핀척에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조공정에서 진공으로 흡착하여 웨이퍼를 고정하는 진공 흡착용 스핀척에 관한 것이다.

반도체 제조공정에서 웨이퍼 제조공정은 웨이퍼의 표면에 소정의 패턴을 형성하는 것이다. 상기 웨이퍼에 패턴을 형성하기 위하여 산화공정과 증착공정 및 세정공정과 식각공정 등의 여러 공정들이 복합적으로 수행되어 웨이퍼를 완성하게 된다. 각 공정에 사용되는 반도체장치에는 웨이퍼를 적당하게 이송하고 고정하는 등 웨이퍼를 공정이 수행될 수 있도록 하는 장치들이 필요하게 된다.

이와 같은 반도체 공정에서 웨이퍼를 고정하여 제조공정이 진행되도록 하는 반도체 제조장치 중에서 도 1에서 도시한 바와 같은 진공 흡착용 스핀척(20)이 있다.

종래 스핀척의 평면을 도시한 도 1과 그 측단면을 도시한 도 2를 참조하면, 스핀척(10)은 웨이퍼를 진공으로 흡착하여 회전 모터로부터 전달되는 회전에 의해서 고속으로 회전된다. 이때, 웨이퍼는 상기 스핀척(10)의 중심부에서 형성된 단 하나의 흡착홀(12)에 의해서 상기 스핀척(10)에 진공으로 흡착된다. 상기 웨이퍼가 상기 스핀척(10)에 진공 흡착되는 방법은 상기 스핀척(10)의 저면에 결합되는 진공장치가 작동하면, 상기 웨이퍼와 스핀척(10) 사이의 공기는 상기 흡착홀(12)을 통하여 상기 스핀척(10)의 저부에 형성된 결합홀(16)을 통하여 진공장치로 흡입되고, 상기 웨이퍼는 상기 스핀척(10)의 윗면에 흡착되게 된다. 그리고, 상기 스핀척(10)이 회전되도록 모터의 회전력이 전달되도록 하는 방법은 상기 스핀척(10)의 하단부에 돌출되어 형성된 결합대(14)의 상기 결합홀(16)상에 상기 모터의 샤프트(18)가 결합되어 상기 스핀척(10)이 회전되도록 한다.

그러나, 반도체 제조공저에서 사용되는 이와 같은 스핀척은 웨이퍼를 스핀척에 진공 흡착시키기 위한 흡착홀이 1개만 있으므로 웨이퍼 흡착시 불안정하다. 특히, 감광액 도포 공정에서 사용되는 스핀척의 경우에 웨이퍼 스핀척 홀 밑에 있는 스핀 모터의 샤프트로 감광액이 흡입되어 스핀 모터 불량을 유발하므로써 모터의 오동작으로 인한 웨이퍼의 깨짐이 발생한다. 또한, 웨이퍼 스핀척 홀이 1개이므로 웨이퍼를 흡착하는 힘과 회전이 불안정하다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 반도체 제조공정에서 진공으로 웨이퍼를 흡착하여 공정이 진행되도록 하는 진공 흡착용 스핀척에서 웨이퍼를 안정적으로 흡착할 수 있는 새로운 형태의 진공 흡착용 스핀척을 제공하는 데 있다.

도 1은 종래 진공 흡착용 스핀척을 도시한 평면도,

도 2는 도 1의 스핀척의 중심부를 절단하여 도시한 측 단면도,

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 진공 흡착용 스핀척을 도시한 평면도,

도 4는 도 3의 스핀척의 중심부를 절단하여 도시한 측 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

20 : 스핀척 21 : 흡착판

22,22' : 제 1 흡착홀 24,24' : 제 2 흡착홀

26 : 제 1 진공라인 28 : 제 2 진공라인

30 : 공급라인 32 : 결합대

34 : 결합홀 36 : 모터 샤프트

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 진공 흡착용 스핀척은 웨이퍼가 놓여지는 평면형의 흡착판과; 상기 흡착판의 상기 웨이퍼가 놓이는 면상에서 소정 거리를 두고 서로 대칭되고, 상기 면상으로부터 소정 깊이로 형성되는 한쌍의 제 1 흡착홀들과; 상기 흡착판의 중심에 대하여 상기 제 1 흡착홀들과 직각을 이루도록 상기 웨이퍼가 놓이는 면상에서 소정 거리를 두고 서로 대칭되고, 상기 면상으로부터 소정 깊이로 형성되는 한쌍의 제 2 흡착홀들과; 상기 흡착판의 내부에서 상기 제 1 흡착홀들과 제 2 흡착홀들이 각각 연결되도록 하는 소정 크기의 진공라인과; 상기 진공라인과 연결되고, 웨이퍼가 상기 흡착판에 흡착되도록 하는 진공 흡입장치와 연결되는 공급라인을 포함한다.

이와 같은 본 발명은 상기 흡착판의 웨이퍼가 놓여지는 면에 대향되는 상기 흡착판의 면상에 형성되어 상기 웨이퍼가 상기 흡착판에 흡착되도록 하는 진공 흡입장치와 상기 흡착판이 회전되도록 회전력을 전달하는 모터 샤프트가 결합되는 결합대를 포함한다.

이와 같은 본 발명에서 상기 진공라인은 상기 제 1 흡착홀들을 수직으로 연결하는 제 1 진공라인과; 상기 제 1 진공라인과 상기 흡착판의 중심에서 연결되고, 상기 제 2 흡착홀들을 수직으로 연결하는 제 2 진공라인을 포함한다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 2 및 도 3에 의거하여 상세히 설명하며, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.

도 2 및 도 3에서 도시한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 진공 흡착용 스핀척은 웨이퍼가 놓여지는 평면형의 흡착판(21)과, 상기 흡착판(21)의 상기 웨이퍼가 놓이는 면상에서 소정 거리를 두고 서로 대칭되고, 상기 면상으로부터 소정 깊이로 형성되는 한쌍의 제 1 흡착홀(22,22')들과, 상기 흡착판(21)의 중심에 대하여 상기 제 1 흡착홀(22,22')들과 직각을 이루도록 상기 웨이퍼가 놓이는 면상에서 소정 거리를 두고 서로 대칭되고, 상기 면상으로부터 소정 깊이로 형성되는 한쌍의 제 2 흡착홀(24,24')들과, 상기 흡착판(21)의 내부에서 상기 제 1 흡착홀(22,22')들과 제 2 흡착홀(24,24')들이 각각 연결되도록 하는 소정 크기의 진공라인과, 상기 진공라인과 연결되고, 웨이퍼가 상기 흡착판(21)에 흡착되도록 하는 진공 흡입장치와 연결되는 공급라인(30)으로 구성된다.

이때, 상기 흡착판(21)의 웨이퍼가 놓여지는 면에 대향되는 상기 흡착판(21)의 면상에 형성되어 상기 웨이퍼가 상기 흡착판(21)에 흡착되도록 하는 진공 흡입장치와 상기 흡착판(21)이 회전되도록 회전력을 전달하는 모터 샤프트(36)가 결합되는 결합대(32)가 있다. 상기 결합대(32)에는 결합홀(34)이 형성되어 있으며, 상기 결합홀(34)에 모터 샤프트(36)가 결합되어 상기 스핀척(20)을 회전시키게 된다. 그리고, 상기 결합홀(34)에는 상기 웨이퍼가 상기 흡착판(21)에 흡착되도록 하기 위하여 상기 웨이퍼와 흡착판(21) 사이의 공기를 흡입하여 진공상태로 만드는 진공장치가 연결이 된다.

그리고, 상기 진공라인은 상기 제 1 흡착홀(22,22')들을 수직으로 연결하는 제 1 진공라인(26)과 상기 제 1 진공라인(26)과 상기 흡착판(21)의 중심에서 연결되고, 상기 제 2 흡착홀(24,24')들을 수직으로 연결하는 제 2 진공라인(28)으로 구성된다.

이와 같은 구성을 갖는 진공 흡착용 스핀척에 웨이퍼가 놓이면 상기 결합대(32)에 결합된 진공장치가 작동하여 상기 웨이퍼를 상기 흡입판(21)에 안정적으로 흡착시키게 된다. 이때, 상기 흡착판(21)에는 4개의 흡착홀(22,22',24,24')들이 상기 웨이퍼의 외주면 근처에 위치하므로 회전시 웨이퍼의 이탈이나 불량한 회전을 방지할 수 있다.

이와 같은 본 발명을 적용하면 웨이퍼를 진공 흡착하기 위한 스핀척의 흡착홀이 4개이므로 웨이퍼를 안정되게 흡착할 수 있다. 또한, 웨이퍼의 원주방향으로 스핀척에 흡착하여 고정하므로 작업시 실수로 인하여 감광액 등의 공정시 사용되는 재료가 모터로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 4개의 흡착홀로 인하여 웨이퍼가 스핀척에 안정되게 흡착되므로 회전불량으로 인한 웨이퍼의 깨짐을 방지할 수 있다.

Claims (3)

1. 웨이퍼가 놓여지는 평면형의 흡착판(21)과;

   상기 흡착판(21)의 상기 웨이퍼가 놓이는 면상에서 소정 거리를 두고 서로 대칭되고, 상기 면상으로부터 소정 깊이로 형성되는 한쌍의 제 1 흡착홀(22,22')들과;

   상기 흡착판(21)의 중심에 대하여 상기 제 1 흡착홀(22,22')들과 직각을 이루도록 상기 웨이퍼가 놓이는 면상에서 소정 거리를 두고 서로 대칭되고, 상기 면상으로부터 소정 깊이로 형성되는 한쌍의 제 2 흡착홀(24,24')들과;

   상기 흡착판(21)의 내부에서 상기 제 1 흡착홀(22,22')들과 제 2 흡착홀(24,24')들이 각각 연결되도록 하는 소정 크기의 진공라인과;

   상기 진공라인과 연결되고, 웨이퍼가 상기 흡착판(21)에 흡착되도록 하는 진공 흡입장치와 연결되는 공급라인(30)을 포함하는 진공 흡착용 스핀척.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 흡착판(21)의 웨이퍼가 놓여지는 면에 대향되는 상기 흡착판(21)의 면상에 형성되어 상기 웨이퍼가 상기 흡착판(21)에 흡착되도록 하는 진공 흡입장치와 상기 흡착판(21)이 회전되도록 회전력을 전달하는 모터 샤프트(36)가 결합되는 결합대(32)를 포함하는 진공 흡착용 스핀척.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 진공라인은 상기 제 1 흡착홀(22,22')들을 수직으로 연결하는 제 1 진공라인(26)과;

   상기 제 1 진공라인(26)과 상기 흡착판(21)의 중심에서 연결되고, 상기 제 2 흡착홀(24,24')들을 수직으로 연결하는 제 2 진공라인(28)을 포함하는 진공 흡착용 스핀척.