KR19980701575A - 폐가스 정제장치(waste gas purification device) - Google Patents

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루츠 파비안
디트마르 레쉬
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롤프 하르퉁
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Abstract

본 발명은 우산형 커버링에 의해 상부로 제한되며 외부 파이프의 내부에 수직으로 배치된 적어도 하나의 연소실, 연소 가스, 산소 또는 공기 및 폐가스가 공급되며 연소가스 노즐은 연소실내로 뻗는 내부 혼합 또는 외부 혼합 버너, 및 연소실 외부에 있는 세척실내로 산화제 및/또는 흡착제를 공급 및 유도하기 위한 수단을 포함하는, 폐가스, 특히 CVD, 플라즈마 에칭 또는 유사한 공정으로 부터의 폐가스 정제장치에 관한 것이다.
본 발명에 의해 저렴하게 제조될 수있고 선행기술의 단점이 피해지는 폐가스 정제장치를 제공해야 한다.
본 발명은 버너(12)가 커버링(5) 중심에 고정되고, 버너(12)가 연소실(6)에서 하부로 수직으로 향한 연소가스 노즐(13) 및 하나 이상의 폐가스 노즐(14)을 포함하며, 연소 공정시 발생하는 반응 생성물이 외부 파이프(1)의 내부면을 따라 세척실(7)내로 안내되는 것을 특징으로 한다.

Description

폐가스 정제장치
상기와 같은 폐가스의 정제는 통상적으로 2단계로 이루어진다. 즉, 먼저 폐가스가 연소된 다음, 세척 동안 정제된다. 폐가스의 연소, 또는 그것의 산화는 연소실 내부에서 가스로 작동되는 버너에 의해 이루어진다.
유럽 특허 제 0 346 893 B1호에는 하부로 폐쇄되고 상부가 개방되는 원형 횡단면의 본체로 이루어진 폐가스 정제장치가 공지되어 있다. 상기 본체는 원통형 외벽 및 이것에 대해 동심으로 배치되며 연소실을 제한하는 내벽으로 이루어진다. 상기 본체내에서 연소 가스와 함께 버너에 공급되는 폐가스를 연소시키기 위한 버너가 연소실내로 하부로 부터 돌출한다. 연소실은 상부로 분무 가아드에 의해 제한된다. 상기 분무 가아드 위에 세척실이 배치된다. 상기 세척실의 중심에는 노즐이 배치된다. 상기 노즐에 의해 세척제의 분무 콘이 생기고, 상기 분무 콘에 의해 연소된 폐가스의 에어로솔 및 고체 성분이 세척된다. 분무 가아드에 의해 세척제가 연소실내로 그리고 버너 위로 또는 불꽃내로 분무되는 것이 방지된다.
세척된 잔류물은 세척제와 함께 원통형 외벽의 내부면을 따라 하부로 이송되고 본체내에 있는 배출구을 통해 배출된다.
이러한 폐가스 정제장치의 단점으로는 장치의 정제 공정 자체가 복잡하고 특히 연소실을 세척하는 것이 어렵다는 것이다. 또한, 연소가스 노즐 및 폐가스 노즐 자체의 오염이 거의 불가피하므로, 확실한 작동을 위해 버너의 규칙적인 서비스가 필요하다.
본 발명은 우산형 커버링에 의해 상부로 제한되며 외부 파이프의 내부에 수직으로 배치된 적어도 하나의 연소실, 연소 가스, 산소 또는 공기 및 폐가스가 공급되며 연소가스 노즐은 연소실내로 뻗는 내부 혼합 또는 외부 혼합 버너, 및 연소실 외부에 있는 세척실내로 산화제 및/또는 흡착제를 공급 및 유도하기 위한 수단을 포함하는, 폐가스, 특히 CVD, 플라즈마 에칭 또는 유사한 공정으로 부터의 폐가스 정제장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 폐가스 정제장치의 개략적인 단면도이고,
도 2는 분할가능한 연소실을 가진 도 1에 따른 장치이며,
도 3은 폐가스가 반송되는 폐가스 정제장치이고,
도 4는 별도의 연소실를 갖지 않은 폐가스 정제장치이며,
도 5는 부가의 냉각장치를 가진 버너의 개략적인 단면도이고,
도 6은 연소가스 노즐 및 폐가스 노즐을 갖춘 버너의 단면도이며,
도 7은 도 6에 따른 버너의 평면도이다.
본 발명의 목적은 저렴하게 제조될 수 있고 선행기술의 단점이 피해지는 폐가스 정제장치을 제공하는 것이다.
상기 목적은 버너가 커버링 중심에 고정되고, 버너가 연소실에서 하부로 수직으로 향한 연소 가스 노즐 및 하나 이상의 폐가스 노즐을 포함하며, 연소 공정시 발생하는 반응 생성물이 외부 파이프의 내부면을 따라 세척실내로 안내되는 것을 특징으로 하는 폐가스 정제장치에 의해 달성된다.
간단히 구현되는 상기 폐가스 정제장치에 의해, 한편으로는 높은 이용가능성이 주어지고 폐가스 정제를 위한 장치의 현저한 개선이 이루어진다. 특히, 버너에, 연소실내에 또는 외부 파이프의 내부면에 또는 연소실 바닥에 침착된 연소 잔류물에 의한 연소 공정의 영향이 피해진다. 또한, 연소 가스 노즐의 횡단면 축소 또는 막힘이 방지된다.
연소가스와 폐가스의 매우 양호한 혼합을 위해, 버너가 연소가스 노즐에 의해 동심으로 둘러싸인 다수의 폐가스 노즐을 포함한다.
과열을 방지하기 위해, 버너에 냉각장치가 설치된다. 이것을 위해 외부 파이프의 내부에 그리고 버너의 상부에 흡착제 또는 세척제용 분무 노즐이 배치된다. 상기 분무 노즐은 한편으로는 연소실로부터 나온 폐가스를 분무하기 위해 사용되며 다른 한편으로는 동시에 버너의 하우징을 냉각시킨다. 분무 노즐은 링 노즐, 중실 콘 노즐 또는 중공 콘 노즐로서 형성될 수 있으므로, 충분한 양의 세척액이 버너의 하우징 위로 떨어진다.
링 노즐은 커버링의 상부에서 외부 파이프의 내벽에 고정된다. 이로 인해 발생되는 분무 링은 이 경우에 외부 파이프의 내벽에 대해 팽행하거나 또는 버너의 하우징을 향하므로, 외부 파이프 내부에서 전체 횡단면이 커버링된다.
분무 노즐에 흡착제 또는 세척제를 공급하는 공급 라인을 통해 분무 노즐이 버너 내부에 있는 챔버에 연결되면, 버너 냉각의 현저한 개선이 이루어진다.
이렇게 함으로써, 버너가 내부 냉각됨으로써, 보다 높은 연소 온도가 허용될 수 있다. 따라서, 상기 실시예는 수소 버너에 특히 적합하다. 이 경우에는, 챔버가 연소가스 노즐 및 폐가스 노즐 사이에서, 폐가스 노즐을 동심으로 둘러싸도록 배치되어야 한다.
커버링 및 버너의 과도한 가열을 피하기 위해, 연소실과 커버링 사이에 버너를 동심으로 둘러싸며 하부로 확대되는 열 시일드가 배치된다. 상기 열 시일드는 또한 연소될 폐가스의 너무 강력한 냉각을 방지한다.
연소실의 측면 제한을 위해, 외부 파이프의 내부에 내부 파이프가 제공된다. 상기 내부 파이프는 커버링으로부터 하부로 연장되며 열 시일드를 둘러싼다.
열 시일드와 내부 파이프의 내벽 사이에는 링형 갭이 형성되고, 커버링과 열 시일드 사이의 챔버가 개구를 통해 외부 파이프의 외부에 있는 챔버에 연결된다. 이로 인해, 연소실 내부의 저압과 관련해서, 열 시일드와 커버링 사이의 챔버가 항상 세척된다.
본 발명의 개선예에서는 커버링과 열 시일드 사이의 챔버에, 내부 파이프의 내벽에 대향하는 세척제 공급용 노즐을 가진 노즐 링이 배치된다. 이로 인해, 장치의 작동 포우즈 동안 연소실이 개방되지 않고도 물 또는 흡착제로 연소실이 세척될 수 있다.
연소실 하단부의 밀폐는 원추형 또는 하부로 볼록한 바닥을 가진 본체에 의해 이루어진다. 상기 바닥은 가장 낮은 지점에 배출구를 갖는다. 따라서, 연소 공정이 방해받지 않으면서 흡착제 또는 세척제의 지속적인 배출이 이루어진다.
양호한 가스 안내를 위해 그리고 특히 정제된 폐가스를 전향시켜 세척실로 안내하기 위해, 내부 파이프가 본체내로 돌출하고 바닥의 상부에서 간격을 두고 끝난다.
특별한 실시예에서 외부 파이프 및 내부 파이프는 각각 서로 풀려질 수 있는 상부 및 하부로 이루어진다. 본체는 외부 파이프 또는 외부 파이프의 하부와 풀려질 수 있게 결합된다. 따라서, 외부 파이프의 상부, 그것에 고정된 버너, 커버링, 내부 파이프의 상부, 열 시일드, 개구 및 노즐 링이 축방향으로 상부로, 또는 본체가 축방향으로 하부로 이동됨으로써 보다 더 개선된 세척 또는 서비스 공정이 현저히 간단해진다.
본 발명의 또다른 변형예에서는 내부 파이프의 상부가 하단부에 횡단면 축소부를 가지며, 상기 횡단면 축소부는 하부의 상단부와 함께 링형 갭을 형성한다. 이로 인해 연소 공정의 효율이 높아지는데, 그 이유는 폐가스가 반복해서 연소 공정에 공급됨으로써 이미 연소된 폐가스 일부가 재활용되기 때문이다. 또한, 내부 파이프의 내부면 세척 및 침착물의 감소가 이루어진다.
이 경우에 세척제 또는 흡착제가 연소실내로 침투하는 것을 방지하기 위해, 외부 파이프의 상부와 내부 파이프의 상부 사이에 보호 파이프가 배치된다. 상기 보호 파이프는 하부의 상부 에지를 덮는다.
본 발명의 또다른 실시예에서는 연소실이 통로를 통해 파이프 외부에 있는 챔버에 연결되고, 상기 통로에는 버너의 점화 또는 모니터링을 위한 장치가 배치된다; 또는 버너 자체가 그것의 점화 및 모니터링을 위한 장치를 포함한다.
커버링 및 외부 파이프의 내부면 사이에는 브러시 에지가 배치되며, 상기 브러시 에지는 세척제 또는 흡착제를 외부 파이프의 내부면으로 유도하고 동시에 폐가스의 강력한 습윤을 야기시킨다.
외부 파이프는 커버링의 상부에서 하나 또는 다수의 수집기를 통해 연소실 및 세척실에서 저압을 발생시키기 위한 통풍장치에 연결된다. 저압의 발생에 의해 한편으로는 연소실로부터 폐가스의 흡입이 이루어지고, 동시에 폐가스가 세척구 및 배출구를 통해 배출되는 것이 방지된다.
본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참고로 구체적으로 설명하면 하기와 같다.
도 1에 따라 폐가스 정제장치는 수직으로 배치된 외부 파이프(1)로 이루어진다. 상기 파이프의 하단부는 본체(2)에 의해 폐쇄된다. 본체(2)는 원추형 또는 하부로 볼록한 바닥(3)을 포함한다. 상기 바닥(3)은 그것의 가장 낮은 지점에 배출구(4)을 갖는다.
외부 파이프(1)의 내부에는 하부로 확대되는 우산형 커버링(5)이 배치된다. 상기 커버링(5)은 하부 연소실(6)을 그 위에 있는 세척실(7)로부터 분할한다. 외부 파이프(5)에 커버링(5)를 고정하는 것은 개구(8)를 갖춘 연결 부재(9), 예컨대 커버링(5)이 고정된 파이프부를 통해 이루어진다. 연소실(6)로부터 세척실(7)로의 가스 통과를 가능하게 하기 위해, 커버링(5)의 직경이 외부 파이프(1)의 내경 보다 작아야 한다. 이로 인해, 외부 파이프(1)의 내벽 영역에 링형 갭(10)이 생기며, 상기 갭은 커버링(5)에 고정된 브러시 에지(11)에 의해 덮여진다.
또한, 우산형 커버링(5)의 중심에는 하부로 향한 연소가스 노즐 및 폐가스 노즐(13), (14)을 가진 버너(12)가 고정된다. 커버링(5)에 대한 버너(12)의 고정은 나사 또는 클램핑 링에 의해 이루어질 수 있다. 폐가스 노즐(14)을 통해 공급되는 폐가스와 연소가스의 양호한 혼합을 위해, 폐가스 노즐(14)은 중심 노즐로서 구현되고, 하나의 링형 연소가스 노즐(13) 또는 다수의 연소가스 노즐(13)에 의해 둘러싸인다. 연소 가스로는 특히 초과량분의 산소와 함께 연소되는 천연 가스, 또는 마찬가지로 초과량분의 산소와 함께 연소되는 수소가 있다.
커버링(5)의 하부에는 버너(12) 또는 연소가스 노즐 및 폐가스 노즐(13), (14)를 둘러싸는 열 시일드(15)가 배치된다. 상기 시일드(15)는 하부로 원추형으로 확대되고 특히 커버링(5)의 열부하를 감소시키기 위해 사용된다. 연소실(6)을 제한하기 위해, 커버링(5)으로부터 이것에 고정된 내부 파이프(16)가 하부로 연장된다. 상기 파이프(16)는 열 시일드(15)를 둘러싼다. 열 시일드(15)와 내부 파이프(16)의 내벽 사이에 링형 갭(17)이 생기므로, 커버링(5)과 열 시일드(15) 사이의 챔버가 개구(8)를 통해 외부 파이프(1)의 외부에 있는 챔버에 연결된다. 이로 인해 연소실(6)내에 저압이 형성되면, 커버링(5)과 열 시일드(15) 사이의 챔버가 세척된다.
본체내로 뻗은 내부 파이프(16)는 동시에 연소실(6)의 불꽃을 열적 반응 영역에 첨가되는 폐가스로부터 분리하기 위해 사용된다. 상기 폐가스는 반응가스로서 본체(2)로부터 나와 외부 파이프(1)의 내부면에서 상부로 세척실(7)내로 안내된다.
흡착제의 공급 및 미세 분포를 위한 또는 가장 작은 방울을 발생시키기 위한 분무 노즐(18)이 세척실(7)내에서 버너(12)의 상부에 간격을 두고 배치된다. 상기 흡착제는 폐가스의 연소시 생기는 기체 또는 고체의 반응 생성물을 세척하기 위해 사용된다. 분무 노즐의 분무 콘은 중실 코운으로 형성되며 외부 파이프(1)의 내부면까지 이른다. 이렇게 함으로써, 동시에 버너(12)의 냉각이 이루어진다.
흡착제는 분무 노즐(18)을 통해 에어로솔과 같이 균일하게 세척실(7)에 분포된 다음, 커버링(5) 및 이것에 고정된 브러시 에지(11)를 통해 외부 파이프(1)의 내부면으로 안내되고 거기서 부터 본체(2)내로 그리고 배출구(4)를 통해 도시되지 않은 수집 용기내로 흐른다.
내부 파이프(16)의 내부면 세척을 위해, 작동 포우즈 동안 물 또는 흡착제를 내부 파이프(16)의 내부면에 분무하는 노즐 링(19)이 상기 내부 파이프의 상단부에서 커버링(5)에 배치됨으로써, 거기에 있는 침착물이 제거되거나 또는 감소될 수 있다.
고체 또는 액체 에어로솔을 보유하기 위한 수집기(20)가 세척실(7)의 상단부를 형성한다. 상기 수집기는 동시에 필요한 저압을 발생시키는 도시되지 않은 통풍장치에 접속된다.
버너 불꽃의 점화를 위해 그리고 연소공정의 모니터링을 위해, 통로(21)가 외부 파이프(1)로부터 커버링(5)을 통해 열 시일드(15)내로 연장된다. 상기 통로내에는 점화 버너 및/또는 UV-불꽃 센서가 배치될 수 있다.
도 2는 기본적으로 동일한 폐가스 정제장치를 나타낸다. 여기서는, 외부 파이프 및 내부 파이프(1), (16)가 분할되어 구현됨으로써, 장치가 특히 쉽게 분해되거나 관리될 수 있다. 외부 파이프(1)는 서로 분리 가능하게 결합된 상부 및 하부(1a), (1b)로 이루어지며, 내부 파이프(16)도 서로 분리 가능하게 결합된 상부 및 하부(16a), (16b)로 이루어진다. 부가로 본체(2)가 외부 파이프(1) 또는 외부 파이프(1)의 하부(1a)에 분리가능하게 결합될 수 있다.
외부 파이프(1)의 상부(1a) 및 그것에 고정된 버너(12), 커버링(5), 내부 파이프(16)의 상부(16a), 열 시일드(15), 개구(8) 및 노즐 링(19)이 축방향 상부로 이동가능하게 구현되거나, 또는 본체(2)가 축방향 하부로 이동가능하게 구현될 수 있다. 이로 인해, 연소실(6)이 특히 간단히 통합될 수 있다.
도 3에는 내부의 폐가스 반송 및 내부 파이프(16)의 내부 세척이 이루어지는 본 발명의 변형예가 도시된다. 기본적인 구성은 도 2에 도시된 변형예에 상응하며, 내부 파이프(16)의 상부(16a)가 하단부에 횡단면 축소부(22)를 갖는다. 상기 축소부는 하부(16b)와 동심으로 배치되고 하부(16b)내로 돌출한다. 이렇게 형성된 링형 갭(23)을 통해, 하부(16b)와 하부(16b)의 내부면 사이에서 상부로 이송되는 폐가스의 일부가 연소실(6)에 재차 공급되고, 거기서 재차 고온 불꽃에 노출된다. 또한, 상기 반송에 의해 하부(16b)의 내부면이 세척됨으로써, 거기에 입자의 침착이 적어도 부분적으로 방지된다.
링형 갭(23)을 통해 흡착제가 연소실내로 침투하는 것을 방지하기 위해, 외부 파이프(1)의 상부(1a)와 상부(16a) 사이에 보호 파이프(24)가 배치된다. 상기 보호 파이프(24)는 하부(16b)의 상부 에지를 덮는다.
상기 보호 파이프(24)에 의해 동시에 연소실(6) 상부의 과도한 냉각이 방지된다.
도 4는 연소실(6)이 외부 파이프(1)에 의해서만 둘러싸이는 본 발명의 변형예를 도시한다. 여기서는 버너(12)의 보다 양호한 냉각을 위해, 버너(12)를 통해 분무 노즐(18)로의 흡착제의 공급이 후술되는 바와 같이 공급 라인(25)이 버너(12)의 하우징내로 뻗음으로써 이루어진다.
버너(12)의 냉각을 위한 매우 효과적인 변형예가 도 5에 도시된다. 폐가스 노즐(14) 및 연소 가스 노즐(들)(13) 사이에 챔버(26)가 배치된다. 상기 챔버(26)는 폐가스 노즐(14)을 동심으로 둘러싼다. 상기 챔버(26)는 한편으로는 라인(27)을 통해 분무 노즐(18)에 연결되고, 다른 한편으로는 세척제 또는 흡착제 공급장치에 연결된다. 이렇게 함으로써, 연소공정의 온도자체에 영향을 주지 않으면서도 버너의 강력한 냉각이 이루어진다. 따라서, 상기 변형예는 특히 수소 버너 또는 높은 온도를 가진 연소 공정에 적합하다.
도 6, 7는 상이한 공정으로부터 나온 폐가스의 동시 연소를 위한 장치를 나타낸다. 이것을 위해, 도 6에 나타나는 바와 같이 2개의 폐가스 노즐(14), (14')이 버너(12) 바로 근처에 배치된다. 폐가스의 공급은 분리된 폐가스 공급 수단(29), (29')을 통해 이루어진다. 연소가스 노즐(13)은 폐가스 노즐(14), (14')을 둘러싸며 도시되지 않은 연소가스 공급 수단을 통해 링형 보상 챔버(30)에 연소 가스를 공급한다. 부가의 산소 공급 수단(28)이 매우 많은 초량분의 산소에 의한 연소를 위해 제공된다.
상기 장치에 의해, 연소실 외부에서 혼합시 제어할 수 없이 서로 반응할 수 있는 폐가스를 동시에 연소시킬 수 있고, 이로 인해 동시에 폐가스 정제장치가 매우 효과적으로 이용된다.
기본적으로 폐가스 공급 수단(29), (29')의 수는 제한되지 않으며, 버너(12)의 크기만이 폐가스 노즐(14), (14')의 수를 제한한다. 다수의 폐가스 공급수단을가지고 보다 확실한 작동을 위해, 폐가스가 폐가스 공급수단(29), (29')으로 역류되는 것만이 확실히 방지되면 된다.

Claims (22)

  1. 우산형 커버링에 의해 상부로 제한되며 외부 파이프의 내부에 수직으로 배치된 적어도 하나의 연소실, 연소 가스, 산소 또는 공기 및 폐가스가 공급되며 연소가스 노즐은 연소실내로 뻗는 내부 혼합 또는 외부 혼합 버너, 및 연소실 외부에 있는 세척실내로 산화제 및/또는 흡착제를 공급 및 유도하기 위한 수단을 포함하는, 폐가스, 특히 CVD, 플라즈마 에칭 또는 유사한 공정으로부터의 폐가스 정제장치에 있어서, 버너(12)가 커버링(5) 중심에 고정되고, 버너(12)가 연소실(6)에서 하부로 수직으로 향한 연소가스 노즐(13) 및 하나 이상의 폐가스 노즐(14)을 포함하며, 연소 공정시 발생하는 반응 생성물이 외부 파이프(1)의 내부면을 따라 세척실(7)내로 안내되는 것을 특징으로 하는 폐가스 정제장치
  2. 제 1항에 있어서, 연소가스 노즐(13)이 폐가스 노즐(14)을 동심으로 둘러싸는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제 1항 및 2항에 있어서, 버너(12)에 냉각장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제 1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서, 외부 파이프(1)의 내부 및 버너(12)의 상부에 흡착제 또는 세척제용 분무 노즐(18)이 배치되고, 상기 분무 노즐은 링 노즐, 중실 콘 노즐 또는 중공 콘 노즐로 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 분무 노즐(18)에 흡착제 또는 세척제를 공급하는 라인(27)을 통해 분무 노즐(18)이 버너(12)의 내부에 있는 챔버(26)에 연결되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 챔버(26)가 연소가스 노즐(13) 및 폐가스 노즐(14) 사이에 배치되고 폐가스 노즐을 동심으로 둘러싸는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 1항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서, 연소실(6)과 커버링(5) 사이에 버너(12)를 동심으로 둘러싸며 하부로 확대되는 열 시일드(15)가 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 1항 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서, 외부 파이프(1)의 내부에 내부 파이프(16)가 제공되고, 상기 내부 파이프(16)가 커버링(5)으로부터 하부로 연장되며 열 시일드(15)를 둘러싸는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 8항에 있어서, 열 시일드(15)와 내부 파이프(16)의 내벽 사이에 링형 갭(17)이 형성되고, 커버링(5)과 열 시일드(15) 사이의 챔버는 개구(8)을 통해 외부 파이프(1) 외부에 있는 챔버에 연결되는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 1항 내지 9항 중 어느 한 항에 있어서, 내부 파이프(16)의 내벽에 대향하는 세척제 공급용 노즐을 가진 노즐 링(19)이 커버링(5)과 열 시일드(15) 사이의 챔버내에 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 1항 내지 10항 중 어느 한 항에 있어서, 연소실(6)의 하단부가 본체(2)에 의해 폐쇄되고, 본체의 바닥(3)은 그것의 가장 낮은 지점에 배출구(4)를 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제 1항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서, 내부 파이프(16)가 본체(2)내로 돌출하고 바닥(3)의 상부에서 간격을 두고 끝나는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제 1항 내지 12항 중 어느 한 항에 있어서, 외부 및 내부 파이프(1, 16)가 각각 서로 풀려질 수 있는 상부 및 하부(1a, 16a; 1b, 16b)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제 13항에 있어서, 본체(2)가 외부 파이프(1) 또는 외부 파이프(1)의 부분(1b)과 풀려질 수 있게 결합되는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제 13항 및 14항에 있어서, 외부 파이프(1)의 상부(1a)가 커버링(5) 및 그것에 고정된 버너(12), 내부 파이프(16)의 상부(16a), 열 시일드(15), 개구(8) 및 노즐 링(19)과 함께 축방향으로 상부로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제 13항 및 14항에 있어서, 본체(2)가 축방향으로 하부로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제 13항 내지 15항 중 어느 한 항에 있어서, 내부 파이프(16)의 상부(16a)가 하단부에 횡단면 축소부(22)를 가지며, 상기 횡단면 축소부는 하부(16b)의 상단부와 함께 링형 갭(23)을 형성하는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제 17항에 있어서, 외부 파이프(1)의 상부(1a)와 내부 파이프(16)의 상부(16a) 사이에 보호 파이프(24)가 배치되고, 상기 보호 파이프(24)는 하부(16b)의 상부 에지를 덮는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 제 1항 내지 18항에 있어서, 연소실(6)이 통로(21)를 통해 파이프(1)의 외부에 있는 챔버에 연결되며, 통로(21)에는 버너(12)의 점화 또는 모니터링을 위한 장치가 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 제 1항 내지 19항 중 어느 한 항에 있어서, 버너(12)가 그것의 점화 및 모니터링을 위한 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  21. 제 1항 내지 20항 중 어느 한 항에 있어서, 커버링(5)과 외부 파이프(1)의 내부면 사이에 브러시 에지(11)가 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  22. 제 1항 내지 21항 중 어느 한 항에 있어서, 외부 파이프(1)가 커버링(5)의 상부에서 하나 또는 다수의 수집기(20)를 통해 연소실(6) 및 세척실(7)에 저압을 발생시키기 위한 통풍 장치에 연결되는 것을 특징으로 하는 장치.
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