KR19980082181A - 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법 - Google Patents

리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR19980082181A
KR19980082181A KR1019970016919A KR19970016919A KR19980082181A KR 19980082181 A KR19980082181 A KR 19980082181A KR 1019970016919 A KR1019970016919 A KR 1019970016919A KR 19970016919 A KR19970016919 A KR 19970016919A KR 19980082181 A KR19980082181 A KR 19980082181A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead
chip
semiconductor
semiconductor package
exposed
Prior art date
Application number
KR1019970016919A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100258607B1 (ko
Inventor
한임택
Original Assignee
황인길
아남산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 황인길, 아남산업 주식회사 filed Critical 황인길
Priority to KR1019970016919A priority Critical patent/KR100258607B1/ko
Publication of KR19980082181A publication Critical patent/KR19980082181A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100258607B1 publication Critical patent/KR100258607B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/4826Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73215Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법에 관한 것으로, 리드 온 칩 타입의 반도체 패키지를 반도체칩의 크기로 형성함으로서 반도체 패키지의 크기를 축소하여 경박단소화 함은 물론, 반도체 패키지의 고집적화 및 고성능화 할 수 있도록 된 것이다.

Description

리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법
본 발명은 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 리드 온 칩 타입의 반도체 패키지를 반도체칩의 크기로 형성함으로서 반도체 패키지의 크기를 축소하여 경박단소화 함은 물론, 반도체 패키지의 고집적화 및 고성능화 할 수 있도록 된 것이다.
일반적으로 리드 온 칩 반도체 패키지는 리드프레임의 인너리드를 반도체칩의 상면에 배치하는 구조로서, 도 1에 도시된 바와 같이 전자회로가 집적되어 있고, 이 전자회로의 신호를 외부로 인출하기 위한 본드패드(1')가 상면 중앙부에 배열되어 있는 반도체칩(1)과, 상기한 반도체칩(1)의 상면에 본드패드(1')의 양측으로 위치되도록 부착된 리드프레임의 인너리드(2)와, 상기한 반도체칩(1)의 신호를 외부로 전달하도록 반도체칩(1)의 본드패드(1')와 리드프레임의 인너리드(2)에 연결된 와이어(4)와, 상기한 반도체칩(1)의 회로부분과 그 외의 구성품을 외부의 산화 및 부식으로부터 보호하기 위하여 감싼 봉지재(5)와, 상기한 리드프레임의 인너리드(2)에 연장되어 봉지재(5)의 양측 하부로 절곡된 리드프레임의 아웃리드(3)로 이루어진 것이다.
이러한 종래의 리드 온 칩 반도체 패키지는 상기한 봉지재(5)가 리드프레임을 포함하여 반도체칩(1)을 감싸고 있을 뿐만 아니라, 상기한 리드프레임의 아웃리드(3)가 봉지재(5)의 양측으로 절곡되어 있음으로서 반도체 패키지의 전체적인 크기가 커지는 단점이 있었다.
또한, 이러한 리드 온 칩 반도체 패키지를 제조하기 위한 방법은, 복수개의 반도체칩(1)이 상하좌우로 반복되게 형성되어 있는 웨이퍼를 제공하는 단계와, 상기한 웨이퍼를 낱개의 반도체칩(1)으로 절단하는 단계와, 낱개로 분리된 반도체칩(1)의 상면에 리드프레임의 인너리드(2)를 부착하는 단계와, 상기한 반도체칩(1)의 신호가 외부로 전달되도록 리드프레임의 인너리드(2)와 와이어(4)로 연결하는 단계와, 상기한 반도체칩(1)의 내부회로와 그 외의 구성부품을 보호하기 위하여 봉지재(5)로 그 외부를 감싸는 단계와, 상기한 리드프레임의 인너리드(2)에 연장된 아웃 리드(3)를 봉지재의 양측 하부로 절곡하는 단계와, 상기한 단계를 거쳐 완성된 리드 온 칩 반도체 패키지의 불량을 검사하는 단계로 이루어진다.
이와같이 리드 온 칩 반도체 패키지의 제조 방법은 리드프레임의 아웃리드를 봉지재의 양측 하부로 절곡하는 단계 등에 의한 제조 방법이 복잡하고, 상기한 리드프레임의 아웃리드가 봉지재의 양측 하부로 절곡됨에 따른 반도체 패키지의 크기가 커지는 등의 단점이 있다.
본 발명의 목적은 이와같은 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 전자제품들이 소형화 되어가고 있는 추세에 따라 리드 온 칩 반도체 패키지의 크기를 기능 저하 없이 반도체칩의 크기로 형성하여 전자제품에 탑재시 그 탑재되는 면적을 최소화하여 제품의 소형화를 가져올 수 있는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지의 구조 및 제조방법을 제공함에 있다.
도 1은 종래의 리드 온 칩 타입의 반도체 패키지 구조를 나타낸 단면도
도 2는 본 발명에 따른 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지의 구조를 나타낸 단면도
도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 노출단자의 여러 실시예를 나타낸 사시도
도 4a 내지 도 4f는 본 발명에 따른 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지의 제조 방법을 나타낸 도면으로서,
도 4a는 본 발명에 따른 웨이퍼의 평면도
도 4b는 본 발명에 따른 비전도성 테이프의 평면도
도 4c는 웨이퍼에 비전도성 테이프가 부착된 상태의 평면도
도 4d는 반도체칩의 본드패드와 비전도성 테이프의 패턴리드가 와이어로 본딩된 상태의 평면도
도 4e는 봉지재로 감싸진 상태를 나타낸 평면도
도 4f는 낱개의 반도체 패키지로 분리된 상태의 평면도
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10 - 반도체칩11 - 본드패드
20 - 비전도성 테이프21 - 리드패턴
22 - 노출단자40 - 와이어
50 - 봉지재60 - 솔더볼
이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지의 구조를 나타낸 단면도로서, 그 구조는 전자회로가 집적되어 있고, 이 전자회로의 신호를 외부로 인출하기 위한 본드패드(11)가 상면 중앙부에 배열되어 있는 반도체칩(10)과, 상기한 반도체칩(10)의 상면에 본드패드(11)의 양측으로 위치되도록 부착되며 상부에는 리드패턴(21)이 형성되고, 이 리드패턴(21)의 상부로 노출단자(22)가 부착된 비전도성 테이프(20)와, 상기한 반도체칩(10)의 신호를 외부로 전달하도록 반도체칩(10)의 본드패드(11)와 비전도성 테이프(20)의 리드패턴(21)을 연결하는 와이어(40)와, 상기한 반도체칩(10)의 회로부분과 그 외의 구성부품을 외부의 산화 및 부식으로부터 보호하기 위하여 감싼 봉지재(50)로 이루어진 것이다.
상기한 비전도성 테이프(20)의 리드패턴(21) 상부에 부착되어 있는 노출단자(22)는 일렬 또는 다수의 열로서 배열될 수 있는 것으로, 상기한 노출단자(22)는 봉지재(50)의 외부로 돌출되어 직접 입출력단자로 사용될 수 있고, 또는 상기한 노출단자(22)에 솔더볼(60)을 융착하여 이 솔더볼(60)을 입출력단자로 사용할 수 있는 것이다.
또한, 상기한 노출단자(22)의 형상은 도 3a 내지 도 3d에 도시된 바와 같이 원형 또는 사각형으로 형성될 수 있고, 이러한 형상으로 된 노출단자(22)의 중앙부에 공간(22a)을 형성하여 상기 솔더볼(60)을 융착시 솔더볼(60)의 락킹 효과를 극대화할 수 있다.
이와 같은 구조를 갖는 본 발명의 반도체 패키지는 반도체칩(10)의 상면에 리드패턴(21)이 부착된 비전도성 테이프(20)를 부착하고, 상기한 리드패턴(21)의 상부로 부착되어 있는 노출단자(22)를 이용하여 입출력 단자로 사용함으로서 반도체 패키지의 크기를 반도체칩(10)의 크기와 유사한 크기로 형성할 수 있는 것이다. 즉, 종래의 리드 온 칩 타입의 반도체 패키지에서 봉지재의 양측 하부로 절곡된 아웃리드가 필요 없음으로서 반도체 패키지의 크기를 축소시킬 수 있는 것이다.
이와같은 본 발명의 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지의 제조 방법은 도 4a 내지 도 4f에 도시된 바와 같이 전자회로가 집적되어 있고, 이 전자회로의 신호를 외부로 인출하기 위한 본드패드(11)가 배열되어 있는 복수개의 반도체칩(10)이 상하좌우로 반복되게 형성되어 있는 웨이퍼(W)를 제공하는 단계와, 상기 웨이퍼(W)의 크기로 형성되고, 내부에는 복수개의 반도체칩(10)에 배열되어 있는 본드패드(11)가 오픈되도록 개방부(23)가 형성되며, 상기한 복수개의 반도체칩(10)에 대응하는 리드패턴(21)이 상부에 형성되고, 이 리드패턴(21)의 상부로 노출단자(22)가 부착되어 있는 비전도성 테이프(20)를 제공하는 단계와, 상기한 웨이퍼(W)의 상부에 상기한 비전도성 테이프(20)를 부착하는 단계와, 상기 복수개의 반도체 칩(10)에 배열되어 있는 각각의 본드패드(11)와 비전도성 테이프(20)의 리드패턴(21)을 와이어(40)로 연결하는 단계와, 상기한 반도체칩(10)의 회로 부분을 외부의 산화 및 부식으로부터 보호하도록 봉지재(50)로 감싸는 단계와, 소잉(Sawing)장비를 이용하여 웨이퍼(W) 상에 상하좌우로 반복되게 형성되어 있는 반도체칩(10)을 절단하는 단계로 이루어지는 것이다.
상기의 봉지재(50)로 감싸는 단계에서 비전도성 테이프(20)의 노출단자(22)는 상기한 봉지재(50)의 외부로 노출시키고, 이와같이 노출된 노출단자(22)에 솔더볼(60)을 융착하는 단계를 포함하여 상기한 솔더볼(60)을 입출력단자로 사용하는 것이다. 또는 상기한 노출단자(22)를 봉지재(50)의 외부로 돌출시켜 직접 입출력 단자로 사용할 수 있다.
또한, 상기한 비전도성 테이프(20)의 리드패턴(21) 상부에 부착되어 있는 노출단자(22)는 일렬 또는 다수의 열로서 배열되도록 하는 것이며, 이러한 노출단자(22)의 중앙부에는 공간(22a)을 형성하여 상기한 솔더볼(60)을 융착시킬 때 솔더볼(60)의 락킹 효과를 극대화 하는 것이다.
이와같은 제조방법에 의해 형성된 본 발명의 칩 사이즈 패키지는 종래의 리드 돈 칩 타입의 반도체 패키지의 제조 방법에서 봉지재의 양측 하부로 리드프레임의 아웃리드를 절곡하는 단계를 생략함으로서 제조 방법을 간단히 할 수 있다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 의하면, 리드 온 칩 타입의 반도체 패키지를 기능 저하 없이 반도체칩의 크기로 형성함으로서 전자제품에 탑재시 그 탑재되는 면적을 최소화하여 제품의 소형화를 가져올 수 있는 잇점이 있는 것이다.

Claims (9)

  1. 전자회로가 집적되어 있고, 이 전자회로의 신호를 외부로 인출하기 위한 본드패드가 상면 중앙부에 배열되어 있는 반도체칩과, 상기한 반도체칩의 상면에 본드패드의 양측으로 위치되도록 상부에는 리드패턴이 형성되고, 이 리드패턴의 상부로 노출단자가 부착된 비전도성 테이프와, 상기한 반도체칩의 신호를 외부로 전달하도록 반도체칩의 본드패드와 비전도성 테이프의 리드패턴을 연결하는 와이어와, 상기한 반도체칩의 회로부분과 그 외의 구성부품을 외부의 산화 및 부식으로부터 보호하기 위하여 감싼 봉지재로 이루어진 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기한 노출단자는 봉지재의 외부로 돌출된 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기한 노출단자는 봉지재의 외부로 노출되어 솔더볼이 융착된 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기한 노출단자의 중앙부에는 공간이 형성된 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조.
  5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기한 노출단자는 일렬 또는 다수의 열로서 배열된 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 만도체 패키지 구조.
  6. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기한 노출단자는 원형 또는 사각형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조.
  7. 전자회로가 집적되어 있고, 이 전자회로의 신호를 외부로 인출하기 위한 본드패드가 배열되어 있는 복수개의 반도체칩이 상하좌우로 반복되게 형성되어 있는 웨이퍼를 제공하는 단계와, 상기 웨이퍼의 크기로 형성되고, 내부에는 복수개의 반도체칩에 배열되어 있는 본드패드가 오픈되는 개방부가 형성되며, 상기한 복수개의 반도체칩에 대응하는 리드패턴이 상부에 형성되고, 이 리드패턴의 상부로 노출단자가 부착되어 있는 비전도성 테이프를 제공하는 단계와, 상기한 웨이퍼의 상부에 상기한 비전도성 테이프를 부착하는 단계와, 상기 복수개의 반도체칩에 배열되어 있는 각각의 본드패드와 비전도성 테이프의 리드패턴을 와이어로 연결하는 단계와, 상기한 반도체칩의 회로 부분을 외부의 산화 및 부식으로부터 보호하도록 봉지재로 감싸는 단계와, 소잉(Sawing)장비를 이용하여 웨이퍼 상에 상하좌우로 반복되게 형성되어 있는 반도체칩을 절단하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 제조방법.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기의 봉지재로 감싸는 단계에서 노출단자는 상기한 봉지재의 외부로 노출시키고, 노출된 노출단자에 솔더볼을 융착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 제조방법.
  9. 청구항 7에 있어서, 상기의 봉지재로 감싸는 단계에서 노출단자는 상기한 봉지재의 외부로 돌출되도록 감싸는 것을 특징으로 하는 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 제조방법.
KR1019970016919A 1997-05-01 1997-05-01 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법 KR100258607B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970016919A KR100258607B1 (ko) 1997-05-01 1997-05-01 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970016919A KR100258607B1 (ko) 1997-05-01 1997-05-01 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980082181A true KR19980082181A (ko) 1998-12-05
KR100258607B1 KR100258607B1 (ko) 2000-06-15

Family

ID=19504734

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970016919A KR100258607B1 (ko) 1997-05-01 1997-05-01 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100258607B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100432137B1 (ko) * 2001-09-20 2004-05-17 동부전자 주식회사 칩 스케일 패키지 제조 방법
KR100587031B1 (ko) * 1999-06-22 2006-06-07 주식회사 하이닉스반도체 웨이퍼 레벨 패키지

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3279841B2 (ja) * 1994-10-18 2002-04-30 三菱電機株式会社 樹脂封止型半導体装置、その製造方法およびその実施に用いる金型
JPH08306853A (ja) * 1995-05-09 1996-11-22 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法及びリードフレームの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100587031B1 (ko) * 1999-06-22 2006-06-07 주식회사 하이닉스반도체 웨이퍼 레벨 패키지
KR100432137B1 (ko) * 2001-09-20 2004-05-17 동부전자 주식회사 칩 스케일 패키지 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100258607B1 (ko) 2000-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5677566A (en) Semiconductor chip package
US5508556A (en) Leaded semiconductor device having accessible power supply pad terminals
KR100260997B1 (ko) 반도체패키지
US20030006055A1 (en) Semiconductor package for fixed surface mounting
KR100187715B1 (ko) 리드 프레임을 이용한 칩 스케일 패키지 제조 방법
US20070176269A1 (en) Multi-chips module package and manufacturing method thereof
TW429567B (en) Stack package and method of fabricating the same
KR20040097152A (ko) 멀티-열 리드프레임
KR100239695B1 (ko) 칩 사이즈 반도체 패키지 및 그 제조 방법
US20040188818A1 (en) Multi-chips module package
KR19990024255U (ko) 적층형 볼 그리드 어레이 패키지
KR100258607B1 (ko) 리드 온 칩 타입의 칩 스케일 반도체 패키지 구조 및 제조방법
US20070267756A1 (en) Integrated circuit package and multi-layer lead frame utilized
KR100437821B1 (ko) 반도체 패키지 및 그 제조방법
KR100891649B1 (ko) 반도체 패키지 제조방법
KR100247641B1 (ko) 적층형 볼 그리드 어레이 패키지 및 그의 제조방법
KR200172710Y1 (ko) 칩 크기의 패키지
KR100390453B1 (ko) 반도체 패키지 및 그 제조방법
KR100462373B1 (ko) 칩스케일 패키지 및 그 제조방법
KR100216845B1 (ko) CSP ( Chip Scale Package ; 칩 스케일 패키지)의 구조 및 제조방법
KR100704311B1 (ko) 내부리드 노출형 반도체 칩 패키지와 그 제조 방법
KR100370480B1 (ko) 반도체 패키지용 리드 프레임
KR950010866B1 (ko) 표면 실장형(surface mounting type) 반도체 패키지(package)
KR200313831Y1 (ko) 바텀리드패키지
KR970007842B1 (ko) 플라스틱 반도체 패키지

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130307

Year of fee payment: 14

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140311

Year of fee payment: 15

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150312

Year of fee payment: 16

LAPS Lapse due to unpaid annual fee