KR19980076784A - 웨이퍼 플랫(Wafer Flat) 다단식 정렬 구동장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 특히 반도체 생산작업과정에서 번호인식작업이 수월하도록 웨이퍼의 외주면과 롤러를 접하게 한 다음 두 개의 롤러를 일측으로 380°회전시켜 웨이퍼 플랫존이 카세트의 하단에서 일정한 정렬을 이루게 하고 롤러를 다시 초기방향과 반대 방향으로 180°회전시켜 웨이퍼 플랫존을 상부쪽으로 이동시킨 후, 웨이퍼 플랫존에 기입된 인식번호를 외부의 감지장치에 의해서 수월하게 식별할 수 있도록 엘리베이터에 의해 다수 개의 경사지게 형성된 치형을 갖는 슬롯을 상부쪽으로 상승시켜 웨이퍼의 하단에서부터 웨이퍼 플랫존이 다단식으로 수납되게 하여 외부의 감지장치에 의해 수월하게 인식작업을 함으로써 반도체 생산작업의 효율성 및 제품의 신뢰성을 높일 수 있는 발명이다.

Description

웨이퍼 플랫(Wafer Flat) 다단식 정렬 구동장치

본 발명은 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치에 관한 것으로, 특히 반도체 생산작업과정에서 번호인식작업을 하기 위하여 웨이퍼 플랫존(Flatzone)이 일정하게 정렬 되도록 웨이퍼의 외주면과 접한 두 개의 롤러를 회전시켜 웨이퍼 플랫존이 카세트의 하단에서 일정한 정렬을 이루게 한 다음 롤러를 다시 초기방향과 반대 방향으로 회전시켜 웨이퍼 플랫존을 상부쪽으로 이동시킨 후, 웨이퍼 플랫존에 기입된 인식번호를 외부의 감지장치에 의해서 수월하게 식별할 수 있도록 엘리베이터에 의해 다수 개의 경사진 치형을 갖는 슬롯을 상부쪽으로 상승시켜 웨이퍼의 하단의 외주면에서부터 웨이퍼 플랫존이 수납되게함으로써 웨이퍼 플랫존이 식별가능하게 다단식으로 정렬을 이룰 수 있는 웨이퍼 정렬구동장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 정렬구동장치는 웨이퍼 플랫존이 일정하게 정렬된 상태에서 하여 번호인식작업을 함으로써 여러 생산라인의 제조공정에서 필요로 하는 선별적인 번호인식작업을 통해 효율적인 생산작업을 할 수 있도록 하는 과정이 요구되고 있다.

상기 기능을 수행하는 종래의 웨이퍼 플랫 다단식 정렬기의 구조를 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬기의 구조를 나타낸 사시도, 도 2는 도 1의 A-A 선 단면도이다.

종래 기술에 의한 웨이퍼 플랫 다단식 정렬기는 도 1에서 도시된 바와 같이, 하단에 사각판체형상의 베이스 플레이트(54)와, 이 베이스 플레이트의 단부에서 수직체결을 이루며 양측면이 일정각도로 경사진 커버(35)와, 이 커버의 경사진 면에 지지되며 하단에서 직각되게 체결된 브래킷(58)과 양측단에 가이드편(56)이 형성된 지지판체(50)와, 이 지지판체(50)의 면에 안착되어 중앙이 라운드지며 톱니형상의 요철면이 형성된 다수 개의 치형이 다단식으로 정렬된 대략 사면체형상의 슬롯(4)으로 이루어진다.

상기 구성을 이루는 종래 기술에 의한 웨이퍼 플랫 다단식 정렬기의 조립동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상기 베이스 플레이트의 단부에서 체결을 이룬 상기 커버의 내면에 상기 슬롯을 고정한 지지판체를 경사지게 장착하고 이 지지판체의 하단에서 긱각되게 상기 브래킷을 상기 슬롯의 바닥면이 안착되도록 볼트체결을 하여 고정시켜 그 조립을 완료하게 된다.

이어서, 다수 개의 웨이퍼가 수납되어 플랫존이 상부쪽으로 정렬된 카세트를 상기 커버의 경사진 양측단의 내측면을 따라 삽입을 하여 하단에 위치한 상기 슬롯이 카세트의 하단에 개방된 부위에 삽입되도록 한다.

이때, 상기 카세트의 내부에 수납된 웨이퍼는 다단식으로 정렬된 상기 슬롯의 층별을 이룬 요철면에 수납되면서 상기 웨이퍼는 차례대로 다단식으로 배열을 이루게 되는 것이다.

그러나, 상기와 같은 종래의 웨이퍼 플랫 다단식 정렬기는, 카세트에 수납되어 상부측으로 플랫존이 정렬된 웨이퍼를 상기 웨이퍼 플랫 다단식 정렬기에 세팅하여 번호인식을 감지장치에 의해서 번호인식작업을 하기 위해서는 먼저, 상기 웨이퍼 플랫존의 외주면과 접촉한 두 개의 롤러를 회전시켜 카세트의 하단에서 웨이퍼 플랫존이 일정한 정렬을 이루게 한 다음 다시 롤러의 반대회전에 의해 상기 웨이퍼 플랫존의 면이 카세트의 상부측으로 이동시키는 웨이퍼 플랫 정렬구동장치에 의한 웨이퍼 플랫존 정렬작업을 한 다음 상기 일정한 정렬을 이룬 웨이퍼를 수납한 카세트를 상기 웨이퍼 플랫 다단식 정렬기에 이송하여 웨이퍼를 다단식으로 세팅하는 작업이 분할되어 있어 작업의 효율성 및 제품의 손상이 우려되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 카세트에 수납된 상기 웨이퍼 플랫존을 제 1 및 제 2 롤러에 의해서 카세트의 상측에서 웨이퍼 플랫존이 일정하게 정렬이루도록 하는 구동부와, 일정하게 정렬된 상기 웨이퍼 플랫존을 다단식으로 배열되도록 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼의 수에 대응하는 수로 다수 개의 치형이 형성된 일정각도로 경사면을 갖는 슬롯과 이 슬롯을 승강시키는 스크류봉에 의해 승강되는 엘리베이터가 형성된 승강부로 이루어진 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬기의 구조를 나타낸 사시도

도 2는 도 1의 A-A선 단면도

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치의 구조를 나타낸 정단면도

도 4는 본 발명에 따른 구동부의 구조를 나타낸 요부발췌 단면도

도 5는 본 발명에 따른 승강부의 구조를 나타낸 요부발췌 단면도

도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치의 구조 및 동작을 나타낸 측단면도

도 7은 본 발명에 따른 상단 커버와 체결부를 나타낸 평면도

도 8은 본 발명에 따른 상단 커버의 체결부만을 나타낸 요부 발췌도

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1 : 구동부2 : 승강부

3 : 제 1 롤러3a : 제 2 롤러

4 : 슬롯5 : 제 1 엔드 브래킷

5a : 제 2 엔드 브래킷6 : 슬롯 베이스

7 : 롤러풀리8 : 제 2 엘리베이터

9 : 제 1 엘리베이터10 : 베어링 하우징

11 : 플레이트12 : 모터 브래킷

13 : 플레이트 브래킷14 : 구동풀리

15, 15a : 구동벨트17, 17a : 모터풀리

19, 19a : 부시20 : 체결부

21, 21a : 샤프트22 : 푸셔 브래킷

23, 23a : 샤프트 하우징24, 24a : 가이드레일

25, 25a : 스크류봉26, 26a : 볼부시

27 : 엔코더28, 28a : 탄성스프링

29 : 너트30, 30a : 체결 브래킷

31 : 회전축32 : 카세트

32a : 지지편33 : 커플링

34 : 상단커버35 : 커버

36 : 안착홈50 : 지지판체

52 : 커버54 : 베이스 플레이트

56 : 가이드편58 : 브래킷

60 : 위치센서W : 웨이퍼

M1 : 제 1 스테핑 모터M2 : 제 2 스테핑 모터

M3 : 제 3 스테핑 모터

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치는, 웨이퍼를 다단식으로 배열시키기 위한 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치에 있어서, 상부에 카세트에 수납된 웨이퍼를 구동시키기 위한 제 1 및 제 2 롤러와 이를 지지한 제 1 및 제 2 엔드 브래킷과 상기 제 1 및 제 2 롤러를 구동시키는 제 1 스테핑 모터와 이 제 1 스테핑 모터를 지지하며 상기 제 1 및 제 2 엔드 브래킷을 지지한 제 1 엘리베이터와 이를 승강시키도록 스크류봉이 삽입된 제 2 스테핑 모터와 이를 지지하는 플레이트와 이 플레이트의 하단면을 지지하며 하단은 베이스 플레이트에 고정된 플레이트 브래킷으로 이루어지는 구동부와, 상기 제 1 및 제 2 엔드 브래킷의 양측면으로 일정각도로 경사면을 이룬 다수개의 치형을 가지는 슬롯을 지지한 슬롯 베이스와, 일단이 상기 슬롯 베이스를 지지하며 타단은 스크류봉에 삽입을 이루어 스크류봉을 구동시키는 제 3 스테핑 모터가 안착된 승강부와, 상기 구동부의 플레이트를 지지한 상기 플레이트 브래킷의 하단과 상기 승강부의 스크류봉을 지지한 모터 브래킷이 안착되어 고정된 베이스 플레이트와, 상기 전체구성을 감싸며 상단에 체결부가 형성된 커버로 이루어진다.

따라서, 전체 구성에 의한 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치는, 상기 카세트의 상부쪽으로 상기 웨이퍼를 이동시키는 제 1 스테핑 모터와, 이 제 1 스테핑 모터에 의해서 회전되는 제 1 및 제 2 롤러를 지지한 제 1 엘리베이터와, 이 제 1 엘리베이터를 지지하고 승강시키는 스크류봉이 삽입된 제 2 스테핑 모터가 장착된 플레이트로 이루어지는 구동부를 형성하고, 하단에 다단식의 치형을 갖는 슬롯을 승강시키는 엘리베이터와 이를 스크류봉에 의해 지지하며 승강하도록 구동되는 제 3 스테핑 모터로 이루어진 승강부로 구성됨으로써 반도체 생산작업의 효율성을 극대화할 수 있는 것이다.

상기 구성에 더하여, 상기 커버의 상단의 안착홈의 일단에 상기 카세트 하단면을 체결하여 고정할 수 있도록 탄성스프링에 의해 지지된 푸셔 브래킷을 상기 안착홈에 대해서 가로질러 장착하고 이 푸셔 브래킷의 양단이 좌우 슬라이딩되도록 양측에 브래킷에 의해 지지된 가이드 레일이 형성되며 이 가이드 레일의 외경면에 상기 푸셔 브래킷을 지지한 볼이 내장된 원통형상의 볼부시가 슬라이딩 삽입되고 이 볼부시의 일측에 탄성스프링이 체결되어 상기 가이드 레일의 양단을 지지한 체결 브래킷에 지지되어 상기 푸셔 브래킷을 지지하여 이루어지는 체결부가 형성되는 것이 바람직하다.

상기 구성에 더하여, 상기 제 1 및 제 2 롤러를 구동벨트에 의해 회전시키는 제 1 스테핑 모터와 이 제 1 스테핑 모터가 안착되어 스크류봉에 의해 상하 승강되도록 제 1 엘리베이터를 지지하는 플레이트로 이루어지는 구동부와, 상기 제 1 및 제 2 롤러를 지지한 제 1 및 제 2 엔드 브래킷의 양측으로 형성된 슬롯을 지지한 슬롯 베이스와 상단이 베어링 하우스에 고정되며 하단은 모터 브래킷에 지지된 스크류봉과 상기 슬롯 베이스의 하단면을 고정하며 타단은 상기 스크류봉을 지지하여 상하 승강되는 제 2 엘리베이터로 이루어지는 승강부가 조합되어 이루어지는 것이 바람직하다.

[실시예]

이하, 상기 구성을 이루는 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치의 바람직한 실시예를 도 3내지 도 8을 참조하여 설명하도록 한다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치의 구조를 나타낸 정단면도, 도 4는 본 발명에 따른 구동부의 구조를 나타낸 요부발췌 단면도, 도 5는 본 발명에 따른 승강부의 구조를 나타낸 요부발췌 단면도, 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치의 구조 및 동작을 나타낸 측단면도, 도 7은 본 발명에 따른 상단 커버를 나타낸 평면도, 도 8은 본 발명에 따른 상단 커버의 체결부를 나타낸 요부 발췌도이다.

본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치는 도 3내지 도 8에서 도시한 바와 같이, 크게 제 1 및 제 2 롤러를 지지한 제 1 및 제 2 엔드 브래킷(5),(5a)과, 상기 제 1 엔드 브래킷(5)에 장착된 제 1 스테핑 모터(M1)와 이 제 1 스테핑 모터를 고정하며 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)를 지지하는 제 1 엘리베이터(9)와, 상기 제 1 및 제 2 엔드 브래킷(5),(5a)을 지지하여 중앙면에 제 2 스테핑 모터(M2)가 장착된 플레이트(11)와, 이 플레이트(11)를 지지하여 하단에서 고정된 플레이트 브래킷(13)으로 이루어지는 구동부(1)와, 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)를 지지한 제 1 및 제 2 엔드 브래킷(5),(5a)의 양측에 장착되어 제 3 스테핑 모터(M3)에 의해 승강되도록 스크류봉(25a)에 삽입된 다단식으로 배열된 치형을 갖는 슬롯(4)의 하단을 지지한 제 2 엘리베이터(8)와 이 제 2 엘리베이터를 구동시키는 제 3 스테핑 모터(M3)가 장착된 승강부(2)로 이루어진다.

상기 구동부(1)는, 상단의 일측에 베어링이 삽입되어 롤러풀리(7)가 형성된 제 1 엔드 브래킷(5)에 지지된 회전축(31)과 타단에 제 2 엔드 브래킷(5a)에 삽입되어 회전가능하도록 지지된 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)와, 상기 제 1 엔드 브래킷(5)에 의해 지지된 회전축(31)에 삽입된 롤러풀리(7)와 하단에 장착된 모터풀리(17)를 연결하는 구동벨트(15)가 연결되는 위치에 장착된 제 1 스테핑 모터(M1)와, 이 제 1 스테핑 모터(M1)가 안착되며 바닥면에 형성된 홀의 내경면에 암나사가 형성된 너트(29)가 삽입되고 이 너트(29)의 양측으로 하단에서부터 관통되어 체결을 이루며 베어링이 내장된 원통형상의 부시(19),(19a)가 형성되며 양단에 상기 제 1 및 제 2 엔드 브래킷(5),(5a)의 일단이 체결된 제 1 엘리베이터(9)와, 상단이 회전축(31)에 축이음을 할 수 있는 커플링(33)이 형성되며 이 커플링(33) 위에 외주면에 다수개의 타이밍 홀이 형성된 원판형상의 엔코더(27)가 삽입되고 상기 회전축(31)에 삽입된 커플링(33)에 체결을 이루어 상기 제 1 엘리베이터(9)의 중앙에 관통형성된 홀에 삽입된 너트(29)의 내경면에 긴밀한 삽입을 이루어 상하 승강되도록 상단에 스크류봉(25)이 형성된 제 2 스테핑 모터(M2)와, 이 제 2 스테핑 모터(M2)가 안착되도록 중앙에 일정크기의 홈이 형성되며 상단에 위치한 상기 제 1 엘리베이터(9) 양측의 원통형상의 부시(19),(19a)의 내경면에 삽입을 이룬 샤프트(21),(21a)를 지지하며 고정하는 샤프트 하우징(23),(23a)이 상기 제 2 스테핑 모터(M2)의 양측으로 형성된 플레이트(11)와, 이 플레이트를 지지한 플레이트 브래킷(13)으로 이루어진다.

상기 승강부(2)는, 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)를 지지한 제 1 및 제 2 엔드 브래킷(5),(5a)의 양측으로 다수개의 치형이 형성된 슬롯(4)이 장착되어 지지된 슬롯 베이스(6)와, 일단이 상기 슬롯 베이스(6)의 하단면을 고정하며 타단은 스크류봉(25a)이 슬라이딩 삽입되어 상하 승강을 이루는 제 2 엘리베이터(8)와, 상단이 베어링 하우징(10)에 지지되어 상기 제 2 엘리베이터(8)를 지지하며 회전하도록 하단에 구동풀리(14)를 고정하는 모터 브래킷(12)에 지지된 스크류봉(25a)과, 이 스크류봉(25a)의 하단에 형성된 구동풀리(14)에 감긴 구동벨트(15a)에 의해 연결을 이루도록 형성된 모터풀리(17a)가 모터 브래킷(12)에 고정되어 상기 제 2 엘리베이터(8)가 승강되도록 구동하는 제 3 스테핑 모터(M3)와, 상기 구동부(1)의 플레이트(11)를 지지한 상기 플레이트 브래킷(13) 및 상기 승강부(2)의 스크류봉(25a)을 지지한 모터 브래킷(12)이 안착되어 고정된 베이스 플레이트(54)와, 상기 전체구성을 감싸는 커버(35)로 이루어진다.

한편, 상기 상단커버(34)는 상기 카세트(32)가 안착될 수 있는 안착홈(36)이 장방향으로 형성됨과 동시에 일측에는 상기 카세트(32)가 안착되었을 때 흔들림을 방지하기 위하여 상기 카세트(32) 일단의 하단면을 체결하여 고정할 수 있도록 탄성 스프링(28),(28a)에 의해 지지된 푸셔 브래킷(22)을 상기 카세트(32)의 양단을 지지할 수 있도록 상기 안착홈(36)에 대해서 가로질러 장착하고 이 푸셔 브래킷(22)의 양단이 좌우 왕복이동을 하면서 슬라이딩되도록 양측에 가이드 레일(24),(24a)이 형성되며 이 가이드 레일(24),(24a)의 외주면상에는 상기 푸셔 브래킷(22)을 지지한 볼이 내장된 원통형상의 볼부시(26),(26a)가 슬라이딩 삽입되고 이 볼부시(26),(26a)의 일측에 탄성스프링(28),(28a)이 체결되어 상기 양측의 가이드 레일(24),(24a)의 양단을 지지한 체결 브래킷(30),(30a)에 지지되어 상기 푸셔 브래킷(22)을 지지하여 이루어지는 체결부(20)로 구성된다.

상기 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치의 조립 및 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 하단이 일부 개방된 카세트(32)의 하단에 형성된 지지편(32a)을 상단커버(34)의 안착홈(36)에 안착시키면서 상기 체결부(20)의 탄성스프링(28),(28a)에 지지된 푸셔 브래킷(22)을 외부쪽으로 끌어당긴 후 상기 카세트(32)를 안착시킨 다음, 상기 푸셔 브래킷(22)을 초기상태로 탄성스프링(28),(28a)에 의해 복귀시키면 푸셔 브래킷(22)의 양단의 돌기가 상기 카세트(32)의 양측면에 삽입되어 고정된다.

이때, 상기 커버의 안착홈(36)에 형성된 센서핀이 상기 카세트(32)의 지지편에 눌려 상기 센서핀(미도시) 이 누름작동됨과 동시에 상기 센서핀이 삽입된 위치센서(60)는 상기 카세트(32)의 안착됨을 감지하게 된다.

한편, 상기 카세트(32)에 수납된 상기 웨이퍼(W)의 외주면이 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)의 외주면에서 일정거리 이격된 상태를 이룬다.

상기 카세트(32)의 안착됨을 위치센서에 의해 감지한 상기 제 2 스테핑 모터(M2)는 스크류봉(25)에 의해 상기 양측의 상기 샤프트(21),(21a)에 지지되면서 상기 제 1 엘리베이터(9)가 승강되어 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)를 상기 웨이퍼(W)의 외주면과 접촉시킨다.

일단 상기 웨이퍼(W)의 하단 외주면과 접촉한 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)는 상기 플레이트(11)에 장착된 상기 제 2 스테핑 모터(M2)의 회전으로 1차 상승하여 상기 웨이퍼(W)의 외주면과 접촉을 이룸과 동시에 상기 제 1 엘리베이터(9)에 장착된 제 1 스테핑 모터(M1)가 구동하여 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)를 시계방향으로 380° 회전시켜 상기 웨이퍼 플랫존이 상기 카세트(32)의 개방된 하방으로 이동되면서 다시 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)와 일정간격 이격된다.

그리고, 380°회전된 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)는 상기 플레이트(11)에 안착된 제 2 스테핑 모터(M2)에 의해 상기 스크류봉(25)이 회전하여 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)를 지지한 상기 제 1 엘리베이터(9)는 2차 상승을 하여 상기 웨이퍼 플랫존의 외주면과 접촉을 이루고 있어서, 상기 웨이퍼 플랫존과 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)의 외주면이 접속된 것을 감지한 상기 제 1 스테핑 모터(M1)는 최초의 1차 회전과 반대방향으로 180°로 2차 회전을 하여 상기 웨이퍼 플랫존과 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)의 외주면과 접촉한 상태를 이루면서 상기 카세트(32)의 상측으로 일정하게 정렬된다.

이때, 상기 제 1 및 제 2 롤러(3),(3a)가 180°로 2차회전을 할 때 상기 웨이퍼 플랫존의 외주면과 상기 롤러의 외주면과 접촉하면서 회전하면서 슬라이딩되는 것을 방지하기 위해 처음에 제 1 스테핑 모터(M1)가 슬로우(Slow)로 동작을 이루며 회전을 이루고 상기 웨이퍼 플랫존이 상기 카세트(32)의 상측으로 이동이 완료되면 상기 제 2 스테핑 모터(M2)에 의해 다시 최초상태로 하강하여 복원되면서 다음작업을 대기하게 된다.

한편, 상기 구동부(1)의 동작이 완료됨을 감지한 상기 승강부(2)의 제 3 스테핑 모터(M3)가 일측으로 회전하여 상기 슬롯(4)을 지지한 상기 제 2 엘리베이터(8)를 상기 스크류봉(25a)에 의해 지지된 상태로 상방향으로 승강하면서 상기 슬롯(4)의 다수 개 형성된 치형에 상기 카세트(32)에 다수 개 수납된 상기 웨이퍼(W)가 수납되면서 상기 웨이퍼 플랫존면이 외부로 돌출되도록 다단식으로 배열을 이루게 된다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치는, 제 1 및 제 2 롤러에 의해서 웨이퍼 플랫존을 카세트의 상부쪽으로 일정하게 정렬시키는 구동부와, 상기 롤러의 양측으로 형성된 일정경사면을 이루는 다수 개의 치형을 갖는 슬롯을 제 2 엘리베이터에 의해 상부쪽으로 승강시켜 상기 웨이퍼가 삽입을 이루면서 상측의 카세트의 외부로 돌출되도록 다단식으로 배열을 이루는 승강부를 상기 구동부와 조성을 조합함으로써 생산작업의 효율성 및 제품의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 웨이퍼를 다단식으로 배열시키기 위한 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치에 있어서, 상부에 카세트에 수납된 웨이퍼를 구동시키기 위한 제 1 및 제 2 롤러와 이를 지지한 제 1 및 제 2 엔드 브래킷과 상기 제 1 및 제 2 롤러를 구동시키는 제 1 스테핑 모터와 이 제 1 스테핑 모터를 지지하며 상기 제 1 및 제 2 엔드 브래킷을 지지한 제 1 엘리베이터와 이를 승강시키도록 스크류봉이 삽입된 제 2 스테핑 모터와 이를 지지하는 플레이트와 이 플레이트의 하단면을 지지하며 하단은 베이스 플레이트에 고정된 플레이트 브래킷으로 이루어지는 구동부와,

   상기 제 1 및 제 2 엔드 브래킷의 양측면으로 일정각도로 경사면을 이룬 다수개의 치형을 가지는 슬롯을 지지한 슬롯 베이스와, 일단이 상기 슬롯 베이스를 지지하며 타단은 스크류봉에 삽입을 이루어 스크류봉을 구동시키는 제 3 스테핑 모터가 안착된 승강부와,

   상기 구동부의 플레이터를 지지한 상기 플레이트 브래킷의 하단과 상기 승강부의 스크류봉을 지지한 모터 브래킷이 안착되어 고정된 베이스 플레이트와,

   상기 전체구성을 감싸며 상단에 체결부가 형성된 커버로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 커버의 상단의 안착홈의 일단에 상기 카세트 하단면을 체결하여 고정할 수 있도록 탄성스프링에 의해 지지된 푸셔 브래킷을 상기 안착홈에 대해서 가로질러 장착하고 이 푸셔 브래킷의 양단이 좌우 슬라이딩되도록 양측에 브래킷에 의해 지지된 가이드 레일이 형성되며 이 가이드 레일의 외경면에 상기 푸셔 브래킷을 지지한 볼이 내장된 원통형상의 볼부시가 슬라이딩 삽입되고 이 볼부시의 일측에 탄성스프링이 체결되어 상기 가이드 레일의 양단을 지지한 체결 브래킷에 지지되어 상기 푸셔 브래킷을 지지하여 이루어지는 체결부가 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 롤러를 구동벨트에 의해 회전시키는 제 1 스테핑 모터와 이 제 1 스테핑 모터가 안착되어 스크류봉에 의해 상하 승강되도록 제 1 엘리베이터를 지지하는 플레이트로 이루어지는 구동부와, 상기 제 1 및 제 2 롤러를 지지한 제 1 및 제 2 엔드 브래킷의 양측으로 형성된 슬롯을 지지한 슬롯 베이스와 상단이 베어링 하우징에 고정되며 하단은 모터 브래킷에 지지된 스크류봉과 상기 슬롯 베이스의 하단면을 고정하며 타단은 상기 스크류봉을 지지하여 상하 승강되는 제 2 엘리베이터로 이루어지는 승강부가 조합되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫 다단식 정렬구동장치.