KR19980066814A - 가스 공급 장치의 시스템 제어부 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스 공급 시스템에 관한 것으로, 실린더 캐비넷 및 VMB 장치에 설치되어 있는 각각의 시스템 제어부에 밸브 상황 유지부를 설치하여 시스템 제어부에 이상이 발생한 경우 밸브 상황 유지부에서 일정시간 동안 밸브 제어부에 신호를 전달하여 에어 밸브가 폐쇄되는 것을 방지함으로써 웨이퍼 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

가스 공급 장치의 시스템 제어부 구조

본 발명은 가스 공급 장치의 시스템 제어부에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시스템 제어부에 밸브 상황 유기부를 설치하여 시스템 제어부에 이상이 발생하였을 경우 일정시간 동안 밸브가 개방되도록 한 가스 공급 장치의 시스템 제어부 구조에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 제조하는 반도체 제조 공정중에는 여러 종류의 가스를 이용하는 공정이 포함된다. 이와 같이 가스를 이용하는 공정이 적용되는 설비는 가스 용기에 고압으로 충진되어 있는 가스를 일정압력과 일정유량으로 조정하여 프로세서 챔버에 가스를 공급해주는 역할을 하며, 가스 용기 교체시에 가스 용기와 가스 공급라인에 남아 있는 가스를 퍼지하는 역할을 하는 가스 공급 시스템이 필요하다. 상기와 같은 역할을 하도록 구성된 시스템을 통상적으로 가스 실린더 시스템, 가스 실린더 캐비넷 및 가스 봄베 박스라 명명하고 있다.

도 1은 종래의 가스 공급 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 블록도이다.

도시된 바와 같이 가스 공급 장치는 공정에 사용될 가스를 일정압력과 일정유량으로 조정하여 공급하는 실린더 캐비넷(cylinder cabinet)(10)과, 실린더 캐비넷(10)으로부터 공급된 가스를 여러 가스 공급관으로 분기시키며 압력을 보상하는 VMB 장치(20)와, VMB 장치(20)에서 복수개의 분기관(23)으로 분기되어 공급되는 가스를 이용하여 공정을 진행하는 프로세서 설비(30)로 구성되어 있다.

실린더 캐비넷(10)과 VMB 장치(20)는 가스 공급관(13)으로 연통되어 있고, VMB 장치(20)와 프로세서 설비(30)는 복수개의 분기관(25)으로 연통되어 있어 실린더 캐비넷(10)에서 유입된 가스를 복수개의 분기관(25)으로 분기시켜 프로세서 챔버(30)에 공급하며, 가스 공급관(13)과 각각의 분기관(23) 일정영역에는 에어 밸브(15)(25)가 설치되어 있다. 여기서, 실린더 캐비넷(10)과 VMB 장치(20)에는 도 2에 도시된 바와 같이 각각의 시스템을 제어하는 시스템 제어부(40)와, 시스템 제어부(40)에 연결되어 각각의 에어 밸브(15)(25)를 제어하는 밸브 제어부(41)가 설치되어 있으며, 밸브 제어부(41)에는 상기 에어 밸브들(15)(25)이 연결되어 있다.

이와 같이 구성된 종래의 가스 공급 시스템의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 실린더 캐비넷(10) 및 VMB 장치(20) 각각의 시스템 제어부(40)에서 도 2에 도시된 바와 같이 각각의 밸브 제어부(41)에 신호를 전달하면 밸브 제어부(41)는 시스템 제어부(40)의 신호를 입력하여 가스 공급관(13) 및 각각의 분기관(23)에 설치되어 있는 에어 밸브(15)(25)에 신호를 전달하여 에어 밸브(15)(25)를 개방시킨다. 이와 같이 에어 밸브들(15)(25)이 개방되면 실린더 캐비넷(10)에서는 가스를 일정 압력과 유량으로 가스 공급관(13)에 공급하고 가스 공급관(13)으로 유입된 가스는 VMB 장치(20)에서 분기되어 각각의 분기관(23)을 따라 프로세서 설비(30)에 유입된다.

그러나, 공정 진행중 시스템 제어부 이상으로 인해 신호가 밸브 제어부에 전달되지 않을 경우 가스 공급관 및 분기관에 설치되어 있는 모든 에어 밸브는 자동적으로 폐쇄된다. 그러므로, 공정용 가스가 더 이상 프로세서 장비에 공급되지 않으므로 공정 진행중이던 웨이퍼에 불량이 발생되어 웨이퍼 수율이 저하되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 실린더 캐비넷 및 VMB 장치에 설치되어 있는 시스템 제어부에 이상이 발생되었을 경우 어느 일정시간 동안 에어 밸브가 개방될 수 있도록 밸브 상황 유지부를 설치하여 공정 진행중인 웨이퍼에 불량이 발생되는 것을 방지하여 웨이퍼 수율을 향상시키도록 한 가스 공급 장치의 시스템 제어부 구조에 관한 것이다.

도 1은 가스 공급 시스템의 구조를 개략적으로 나타낸 블록도이고,

도 2는 종래의 시스템 제어부의 구성을 나타낸 블록도이며,

도 3은 본 발명에 의한 시스템 제어부의 구성을 나타낸 블록도이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 실린더 케비넷과, 상기 실린더 캐비넷과 가스 공급관에 의해 연통되며 공정용 가스를 분기시키는 VMB 장치와, 상기 VMB 장치와 복수개의 분기관에 의해서 연통되며 공정이 진행되는 프로세서 설비로 구성되며, 상기 실린더 캐비넷 및 상기 VMB 장치에 설치된 시스템 제어부와, 상기 시스템 제어부에 연결되어 상기 가스 공급장치 및 상기 분기관 일정영역에 설치된 에어 밸브를 제어하는 밸브 제어부를 포함하는 가스 공급 장치에 있어서, 상기 시스템 제어부에 이상이 발생된 경우 상기 에어 밸브가 폐쇄되는 것을 방지하기 위해서 상기 시스템 제어부에 밸브 상황 유지부가 설치되며, 상기 밸브 상황 유지부는 상기 밸브 제어부와 연결된 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 의한 가스 공급 시스템을 첨부된 도면 도 1 및 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 의한 가스 공급 시스템의 구성은 도 1에 도시된 것과 동일하므로 생략하기로 한다.

도 3은 본 발명에 의한 시스템 제어부의 구성을 나타낸 블록도로서, 가스 공급 장치의 실린더 캐비넷(10)과 VMB 장치(20)에는 각각의 시스템을 제어하는 시스템 제어부(50)는 시스템 제어부(50)와 연결되어 있으며 시스템 제어부(50)의 신호에 따라 에어 밸브(15)(25)를 제어하는 밸브 제어부(51)와, 시스템 제어부(50) 및 밸브 제어부(51)에 연결되어 시스템 제어부(50)에 이상이 발생되었을 경우 밸브 제어부(51)에 신호를 전달하는 밸브 상황 유지부(55)와, 밸브 제어부(51)에 의해서 개폐되는 에어 밸브(15)(25)와, 시스템 제어부(50) 이상이 발생되었을 경우 이를 작업자에게 알려주기 위한 경보 발생 장치(57)로 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 가스 공급 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 실린더 캐비넷(10) 및 VMB 장치(20) 각각의 시스템 제어부(50)에서 도 3에 도시된 바와 같이 각각의 밸브 제어부(51) 및 밸브 상황 유지부(55)에 신호를 전달하면 밸브 제어부(51)는 시스템 제어부(50)의 신호를 입력하여 가스 공급관(13) 및 각각의 분기관(23)에 설치되어 있는 에어 밸브(15)(25)에 신호를 전달하여 에어 밸브(15)(25)를 개방시킨다. 이와 같이 에어 밸브들(15)(25)이 개방되면 실린더 캐비넷(10)에서는 가스를 일정 압력과 유량으로 가스 공급관(13)에 공급하고 가스 공급관(13)으로 유입된 가스는 VMB 장치(20)에서 분기되어 각각의 분기관(23)을 따라 프로세서 설비(30)에 유입된다.

한편, 시스템 제어부(50)의 이상으로 인하여 신호가 밸브 제어부(51)와 밸브 상황 유지부(55) 및 경보 발생 장치(57)에 전달되지 않으면 경보 발생 장치(57)에서는 경보를 발생시켜 작업자에게 이를 알리고 밸브 상황 유지부(55)는 시스템 제어부(50)에 이상이 발생하기 전에 전달받은 신호를 밸브 제어부(51)에 전달한다. 이후, 밸브 제어부(51)는 밸브 상황 유지부(55)에서 전달된 신호를 입력하여 일정시간 동안 에어 밸브(15)(25)를 개방하여 공정 진행 중이 웨이퍼에 불량이 발생되는 것을 방지한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 각각의 시스템 제어부에 밸브 상황 유지부를 설치하여 시스템 제어부에 이상이 발생한 경우 밸브 상황 유지부에서 일정시간 동안 밸브 제어부에 신호를 전달하여 에어 밸브가 폐쇄되는 것을 방지함으로써 웨이퍼 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 실린더 캐비넷과, 상기 실린더 캐비넷과 가스 공급관에 의해 연통되며 공정용 가스를 분기시키는 VMB 장치와, 상기 VMB 장치와 복수개의 분기관에 의해서 연통되며 공정이 진행되는 프로세서 설비로 구성되며, 상기 실린더 캐비넷 및 상기 VMB 장치에 설치된 시스템 제어부와, 상기 시스템 제어부에 연결되어 상기 가스 공급장치 및 상기 분기관 일정영역에 설치된 에어 밸브를 제어하는 밸브 제어부를 포함하는 가스 공급 장치에 있어서,

   상기 시스템 제어부에 이상이 발생된 경우 상기 에어 밸브가 폐쇄되는 것을 방지하기 위해서 상기 시스템 제어부에 밸브 상황 유지부가 설치되며, 상기 밸브 상황 유지부는 상기 밸브 제어부와 연결된 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 시스템 제어부 구조.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 시스템 제어부에 이상이 발생한 경우 경보를 발생하는 경보 발생 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치의 시스템 제어부 구조.