KR19980065044A - 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치 - Google Patents

플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 안내레일(220)의 도입측에 배치되며 매거진(110) 상에 PBGA제조용 캐리어(11)를 하나씩 공급하는 캐리어공급부(100)와, 상기 캐리어공급부(100)에서 캐리어(11)를 픽업하여 안내레일(220)상에 올려놓는 캐리어픽업부(200)와, 상기 안내레일(220)을 따라 배치되며 안내레일(220)상에 올려진 캐리어(11)를 한피치씩 전진이송시키는 캐리어이송부(300)와, 안내레일(220)의 일측에 배치되며 접착테이프릴(410)에서 풀려나오는 접착테이프(13)를 절단하고 픽업하여 상기 안내레일(220)을 따라 이송중인 캐리어(11)에 올려놓는 접착테이프공급부(400)와, 접착테이프가 부착된 캐리어(11)를 가열압착하여 캐리어(11) 상면에 접착제를 전사하고 사용된 접착테이프를 박리하여 제거하는 접착제도포부(500)와, 회로필름릴(610)에서 공급되는 회로필름(12)을 절단하고 픽업하여 상기 안내레일(220)에 놓인 접착제가 도포된 캐리어(11)에 올려놓는 회로필름공급부(600)와, 캐리어(11)에 올려놓인 회로필름을 가압하여 부착하는 회로필름부착부(700)와, 안내레일(220)의 배출측에 배치되며 회로필름이 부착된 캐리어(11)를 안내레일(220) 상에서 픽업하여 배출하는 캐리어배출부(800)로 이루어진 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치가 제공된다.

Description

플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치
본 발명은 플렉시블 볼그리드어레이(FBGA) 회로기판의 제조장치에 관한 것으로서, 좀 더 상세히는 순차 이송되는 캐리어 상에 회로필름과 접착제테이프를 공급하여 자동화된 공정으로 회로기판을 제작하는 새로운 구조의 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치에 관한 것이다.
플렉시블 볼그리드어레이(FBGA) 회로기판 또는 파인피치 볼그리드어레이 회로기판은, 도 1과 같이, 집적회로가 인쇄된 회로필름(12)을 접착제로 캐리어(11)에 부착하는 공정을 통해서 제작하게 된다. 이때, 접착제를 캐리어(11)에 도포하기 위해 접착테이프(13)로 미리 핫멜트접착제를 캐리어(11)에 전사시킨다. 이러한 FBGA는 종래의 PBGA보다 더 높은 고밀도집적을 가능하게 한다. 그런데, 이러한 FBGA의 회로필름은 두께가 매우 얇고 정밀해서, 이러한 회로필름을 캐리어(11) 상에 소정의 공차 이내로 접착하는데는 많은 어려움이 따른다. 또한, 접착 후에 이어지는 후공정에서 일정한 접착강도를 갖도록 유지하거나 회로필름의 평탄도를 유지하도록 하는 것이 용이하지 않다. 따라서, 종래에는 이러한 모든 과정을 자동화된 공정을 통해 수행할 수 있는 FBGA 기판의 양산기술을 확보하지 못하여 대부분 수작업에 의존하는 실정이다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 FBGA 회로기판의 제조상의 어려움을 극복하기 위해 제안된 것으로서, FBGA 회로기판의 제조과정을 자동화된 공정을 통해 일괄적으로 수행할 수 있는 새로운 구조의 장치를 제공하고자 하는 것이다.
도 1은 본 발명이 적용되는 플렉시블 볼그리드어레이회로기판의 예시도
도 2와 도 3는 본 발명의 실시예의 정면도와 평면도
도 4의 a 와 b는 상기 실시예의 캐리어공급부의 구성도
도 5는 상기 실시예의 캐리어픽업부의 구성도
도 6의 a 내지 c는 캐리어이송부의 구성도
도 7은 안내레일의 구성도
도 8은 접착테이프공급부의 구성도
도 9는 접착테이프픽업이송부의 구성도
도 10은 가열 및 냉각장치의 구성도
도 11의 a 내지 c는 필오프유닛의 구성도
도 12는 회로필름공급릴 주변부의 구성도
도 13은 회로필름 절단유닛의 구성도
도 14의 a와 b는 회로필름이송부의 구성도
도 15는 칩단위 피치이송기구의 구성도
도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
100. 캐리어공급부 200. 캐리어픽업부
300. 캐리어이송부 400. 접착테이프공급부
500. 접착테이프도포부 600. 회로필름공급부
700. 회로필름부착부 800. 캐리어배출부
본 발명에 따르면, 캐리어에 회로필름이 부착된 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치에 있어서, 안내레일(220)의 도입측에 배치되며 매거진(110) 상에 PBGA제조용 캐리어(11)를 하나씩 공급하는 캐리어공급부(100)와, 상기 캐리어공급부(100)에서 캐리어(11)를 픽업하여 안내레일(220)상에 올려놓는 캐리어픽업부(200)와, 상기 안내레일(220)을 따라 배치되며 안내레일(220)상에 올려진 캐리어(11)를 한피치씩 전진이송시키는 캐리어이송부(300)와, 안내레일(220)의 일측에 배치되며 접착테이프릴(410)에서 풀려나오는 접착테이프(13)를 절단하고 픽업하여 상기 안내레일(220)을 따라 이송중인 캐리어(11)에 올려놓는 접착테이프공급부(400)와, 접착테이프가 부착된 캐리어(11)를 가열압착하여 캐리어(11) 상면에 접착제를 전사하고 사용된 접착테이프를 박리하여 제거하는 접착제도포부(500)와, 회로필름릴(610)에서 공급되는 회로필름(12)을 절단하고 픽업하여 상기 안내레일(220)에 놓인 접착제가 도포된 캐리어(11)에 올려놓는 회로필름공급부(600)와, 캐리어(11)에 올려놓인 회로필름을 가압하여 부착하는 회로필름부착부(700)와, 안내레일(220)의 배출측에 배치되며 회로필름이 부착된 캐리어(11)를 안내레일(220) 상에서 픽업하여 배출하는 캐리어배출부(800)로 이루어진 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 반도체칩 또는 회로필름이 부착된 캐리어(11)가 탑재되어 안내되는 안내레일(220)과, 이 안내레일(220)에 놓인 캐리어(11)를 이송하는 캐리어이송부(300)를 포함하는 반도체칩 제조장치에 있어서, 상기 캐리어이송부(300)는, 캐리어(11)의 후단에 맞닿아 캐리어(11)를 밀어서 전진시키는 핑거(312)가 소정 간격으로 돌출형성된 제1 핑거아암(310)과, 캐리어(11)의 선단을 규제하는 핑거(322)가 소정 간격으로 돌출형성되며 상기 제1 핑거아암(310)에 상대적으로 슬라이드가능하게 인접배치된 제2 핑거아암(320)을 포함하며, 상기 제1 핑거아암(310)과 상기 제2 핑거아암(320)의 상대위치에 의해 이송피치를 조절하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체칩 제조장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 안내레일(220)은 한쌍이 평행하게 배치되고, 이 안내레일(220)이 탑재되어 장착되며 중심축(223)을 중심으로 회동가능한 다수의 스페이서(222)와, 이들 스페이서(222)의 일단에 접속되는 연결바(224)와, 이 연결바(224)에 접속되어 이 연결바(224)를 축방향으로 위치조절하는 구동부(226)를 포함하여 상기 안내레일(220)의 폭을 조절하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체칩 제조장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 접착테이프공급부(400)는, 일면에 핫멜트접착제가 도포된 접착테이프를 공급하는 접착테이프릴(410)과, 이 접착테이프를 안내하는 안내롤(422) 또는 가이드레일(424)을 포함하는 가이드부(420)와, 이 가이드부(420)를 통과한 접착테이프를 소정 형태로 절단하는 절단유닛(440)과, 절단된 접착테이프를 커팅금형(442)에서 픽업하여 상기 안내레일(220)에 놓인 캐리어(11) 위에 중첩시키는 접착테이프 픽업이송부(450)를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 접착제도포부(500)는, 안내레일(221)을 따라 배치되며 캐리어(11)에 중첩된 접착테이프를 가압가열하여 부착하는 히터블록(520)과, 상기 히터블록(520)의 후단에 배치되어 부착된 접착테이프를 냉각하는 냉각블록(540)과, 상기 냉각블록(540)의 후단에 배치되며 접착제가 전사되고 남은 커버테이프의 일단을 맞물어서 박리시키는 핀치부재(564)를 포함하는 필오프유닛(560)을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 회로필름공급부(600)는, 회로필름공급릴(610)과, 이 회로필름공급릴(610)에서 나오는 회로필름테이프를 안내하는 복수개의 안내롤(630)과, 이 회로필름테이프를 소정형태로 절단하는 절단유닛(640)과, 절단된 개별회로필름을 진공흡착하여 안내레일(221) 상의 접착제가 도포된 캐리어(11) 위로 올려놓은 회로필름이송부(650)과, 상기 회로필름공급릴(610)에서 인출되어 늘어진 회로필름의 유무를 검출하는 센서부(660)를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 회로필름부착부(700)는 캐리어(11)상에 놓인 개별회로필름을 가열가압하여 부착하는 히터블록(720)과, 부착된 회로필름을 냉각하는 냉각블록(740)을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치가 제공된다.
이하에서 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 도 2와 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 장치의 정면도와 평면도이다. 도시된 바와같이, 본 발명에 따르면, 장치의 전장에 걸쳐서 안내레일(220)이 연장되고, 이 안내레일(220)의 도입부에는 캐리어(11)가 다수 적재되는 매거진(110)과, 이 매거진(110)이 탑재된 승강판(120)과, 이 승강판(120)을 승강구동하는 가이드포스트(140)와 볼스크류(130)를 포함하는 캐리어공급부(100)가 구비된다. 도 4에 도시된 캐리어공급부(100)의 실시예에는, 매거진(110)을 2단으로 구비하여 하나의 매거진(110)에 담긴 캐리어(11)가 다 소모되면 인접하는 매거진(110)이 횡방향으로 이동하여 캐리어를 공급하고, 이때, 다른 매거진에는 새로이 캐리어를 채움으로써 작업의 연속성을 확보할 수 있도록 한다.
이 매거진(110)의 상부에는 도 5에 도시된 바와 같은 캐리어픽업부(200)가 구비된다. 이 캐리어픽업부(200)는 다수의 배큠헤드(210)가 구비된 아암(212)과, 이 아암(212)을 업다운구동하는 실린더(214) 및 이 아암(212)을 매거진(110)과 안내레일(220) 사이에서 횡방향 이동시키는 볼스크류(216) 등을 포함한다. 또한, 배큠헤드(210)에 부착된 캐리어(11)가 2매 이상인지의 여부를 검출하는 센서(218)가 구비된다.
한편, 안내레일(220)의 상부에는 안내레일(220)을 따라 캐리어이송부(300)가 구비된다. 이 캐리어이송부(300)는 도 6에 도시된 바와같이, 안내레일(220)을 따라 그 일측에 구비된 제1 핑거아암(310)과, 이 제1 핑거아암(310)에 상대적으로 슬라이드가능하게 인접배치된 제2 핑거아암(320)을 포함한다. 이들 핑거아암(310,320)에는 각각 핑거(312)와 핑거(322)가 소정 간격으로 돌출형성된다. 이송되는 캐리어(11)는 후방 핑거(312)에 밀려서 전진되고, 전방 핑거(322)는 이송되는 캐리어(11)의 선단부의 위치를 규제하게 된다. 상기 제1 핑거아암(310)과 제2 핑거아암(320)의 상대위치를 조절하기 위해, 제어모터(340)의 축에는 피니언기어(342)가 장착되고, 상기 제1 핑거아암(310)과 제2 핑거아암(320)측에는 랙기어(344)가 장착되어, 이 제어모터(340)의 회전각도에 의해 제1 핑거아암(310)과 제2 핑거아암(320)의 상대위치가 조절되고, 이에 따라, 핑거(312)와 핑거(322)의 간격이 조절되어, 캐리어의 이송피치나 캐리어의 길이에 적응할 수 있다.
한편, 운반될 캐리어(11)의 폭에 따라 안내레일(220)의 간격을 조절하기 위해, 도 7에 도시된 바와 같이, 한쌍의 평행한 안내레일(220)이 중심축(223)을 중심으로 회동되는 다수의 스페이서(222)의 양단에 브라켓(225)을 통해 힌지결합된다. 이들 스페이서(222)의 일단에는 연결바(224)가 접속되고, 이 연결바(224)에는 볼스크류축(227)을 통해 구동부(226)인 스테핑모터(226)가 접속된다. 이에 따라, 스테핑모터(226)를 구동하여 연결바(224)를 통해 스페이서(222)를 미세하게 회동시킴으로써 한쌍의 안내레일(220)의 간격을 조절할 수 있으므로, 다양한 폭의 캐리어(11)를 안내레일(220)을 통해 운반할 수 있다.
한편, 안내레일(220)의 일측에는 접착테이프공급부(400)가 구비된다. 이 접착테이프공급부(400)는 도 8에 도시된 바와 같이, 일면에 핫멜트접착제가 도포된 테이프(13)가 접착테이프릴(410)에 감겨서 공급되며, 이 접착테이프(13)는 안내롤(422)과 가이드레일(424)을 거쳐서 절단유닛(440)으로 도입된다. 절단유닛(440)의 상부금형(442)는 상부실린더(444)에 의해 승강가능하게 구비된다. 이 절단유닛(440)에서 접착테이프(13)는 소정의 형상, 즉, 도 1에 도시된 바와 같은 형상으로 절단된다. 절단유닛(440)에서 절단된 접착테이프(13)는 도 9에 도시된 바와 같이, 접착테이프 픽업이송부(450)의 배큠헤드(452)에 의해 픽업되어 횡방향이송되어 안내레일(220)에 놓여있는 캐리어(11)에 중첩되게 된다. 번호 454는 배큠헤드(452)가 지지되는 아암454이고, 번호 456은 이 배큠헤드(452)를 업다운하는 실린더이다.
안내레일(220)의 하부에 구비되며 실린더(512)에 의해 승강되는 히터블록(510)이 절단된 접착테이프(13)가 캐리어(11)로 하강하기 직전에 상승하여 캐리어(11)에 맞닿음으로써 캐리어(11)를 지지하면서 캐리어(11)를 예열시켜서 접착테이프(13)의 핫멜트접착제를 녹여서 캐리어(11)에 가접시킨다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 장치에 구비되는 가열 및 냉각장치의 배치를 보여주는데, 도시된 바와 같이, 접착테이프(13)를 캐리어(11)에 가접시키도록 캐리어를 예열시키는 히터블록(510)과, 이 히터블록(510)의 후단에 배치되어 가접된 접착테이프(13)를 가열가압시켜서 견고하게 접착시키는 히터블록(520)과, 이 히터블록(520)의 후단에 배치되어 접착테이프(13)가 부착된 캐리어(11)를 냉각시키는 냉각블록(540)이 순차구비된다.
이와 같이, 접착테이프(13)와 캐리어(11)의 부착이 완료되면, 필오프유닛(560)에 의해 캐리어(11)에 전사된 접착제성분을 남기고 커버테이프를 박리제거하게 된다. 도 11은 커버테이프를 박리제거하는 필오프유닛(560)의 구조를 보여주는데, 도시된 바와 같이, 안내레일(220)의 경로상에는 커버테이프의 일단을 맞물도록 된 핀치부재(564)가 작동실린더(562)에 의해 맞물림 또는 해제되도록 구성된다. 이 핀치부재(564)는 요동아암(566)의 일단에 구비된 회전실린더(568)에 의해 회동축(569)을 중심으로 승강된다. 이 핀치부재(564)의 일측에는 작동실린더(572)에 의해 전후왕복되는 수거함(574)이 구비된다. 이 수거함(574)은 요동암(566)이 상승한 상태에서 전진하고, 이어서 핀치부재(564)의 맞물림이 해제되어 커버테이프를 낙하시키면 수거함(574)이 후퇴하게 된다.
이러한 과정을 거쳐서 접착제가 도포된 캐리어(11)는 이후의 회로필름부착부(700)로 도입된다. 캐리어(11)에 회로필름(12)을 부착하기 위해서는 먼저, 회로필름공급부(600)의 회로필름공급릴(610)로부터 회로필름(12)이 공급되어야 한다. 도 12는 회로필름공급릴(610) 주변부 구성을 보여주는데, 도시된 바와 같이, 회로필름이 공급릴(610)에서 풀려서 커버테이프(14)는 권취릴(620)에서 감겨서 회수되고, 회로패턴이 인쇄된 회로필름(12)만이 안내롤(630)을 거쳐서 절단유닛(640)으로 도입된다. 다수의 안내롤(630) 사이에서 회로필름(12)이 늘어진 상태로 공급되는데, 이 늘어진 루프의 하단을 검출하는 센서부(660)가 수개 구비된다. 하단부 센서(661)는 회로필름(12)이 최대한 늘어진 상태를 검출하여 권취릴(620)의 작동을 멈추고, 그 상부의 센서(662)는 회로필름(12)이 거의 늘어지지 않은 상태를 검출하여 회로필름공급릴(610)을 작동하여 회로필름(12)의 공급을 재개한다. 또한, 최상단 센서(663)는 회로필름(12)의 끝단이 통과된 것을 검출하여 회로필름(12)이 소모된 것을 알려준다.
도 13은 회로필름 절단유닛(640)의 구조를 보여주는데, 도시된 바와 같이, 실린더(641)의 로드(642)에 의해 터치블록(643)이 타격되어 승강되고, 이 터치블록(643)에 장착된 커팅날(644)이 회로필름(12)을 개개의 칩필름(15)으로 절단시키게 된다. 이와같이, 칩단위로 절단된 칩필름(15)은 도 14에 도시된 바와 같은 회로필름이송부(650)에 의해 안내레일(220)상에 놓인 캐리어(11) 위로 횡방향 이송된다. 이 회로필름이송부(650)에는 개별 칩필름(15)을 흡착하는 배큠헤드(652)이 이송블록(654)과, 이 이송블록(654)을 업다운하는 승강실린더(656)과, 상승된 이송블록(654)을 횡방향으로 이송하기 위한 볼스크류(658)가 구비된다.
이때, 안내레일(220)은 순차공급되는 개별칩의 크기에 대응하기 위해 그 이송피치가 전반부의 캐리어단위 피치이송과는 달리, 칩단위 피치이송을 수행하게 된다. 따라서, 칩필름(15)을 캐리어에 부착하는 회로필름부착부(700)에서는 전반부의 캐리어단위 피치이송기구와는 별도의 피치이송기구를 구비하게 된다.
도 15는 이러한 칩단위 피치이송기구(670)를 보여주는데, 도시된 바와 같이, 안내레일(220) 상에 별도의 구동원으로서 서보모터(671)과 볼스크류축(672)에 접속된 핑거아암(673)의 선단에는 캐리어(11)의 일측을 맞물어서 전진시키는 이송클램프(674)가 구비된다. 이 이송클램프(674)는 작동실린더(675)에 의해 캐리어를 맞물고, 스프링(686)에 의해 해제되도록 구성된다.
이와같이, 칩단위 피치이송기구(670)에 의해 피치이송되는 접착제가 처리된 캐리어(11)의 상면 소정위치에 전술한 회로필름이송부(650)에 의해 공급된 칩필름(15)이 중첩되면서 접착제에 의해 가접되고, 히터블록(720)과 냉각블록(740)을 포함하는 회로필름부착부(700)에 의해 가열가압과 냉각공정을 거쳐서 칩필름의 부착이 완료된다. 이어서, 잉크젯방식 마킹부(780)에서 필요한 정보가 인쇄된 후에, 캐리어배출부(800)에서 배큠헤드(810)에 의해 픽업되어 배출용 매거진(820)에 적재되어 반출되게 된다.
이상에서 설명한 본 발명에 따르면, 콤팩트한 장치에 의해, 순차공급되는 캐리어(11) 상에 접착테이프(13)로부터 접착제를 전사시켜서 도포하고, 릴상태로 공급되는 회로필름을 절단하여 개개의 칩필름을 캐리어상에 부착하는 모든 공정을 자동화된 공정을 통해 신뢰성있게 수행할 수 있어서, 제품의 품질을 높은 수준으로 유지하면서도 생산성을 높여서 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 양산체제를 달성할 수 있는 획기적인 효과를 달성하게 된다.

Claims (7)

  1. 캐리어에 회로필름이 부착된 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치에 있어서, 안내레일(220)의 도입측에 배치되며 매거진(110) 상에 PBGA제조용 캐리어(11)를 하나씩 공급하는 캐리어공급부(100)와, 상기 캐리어공급부(100)에서 캐리어(11)를 픽업하여 안내레일(220)상에 올려놓는 캐리어픽업부(200)와, 상기 안내레일(220)을 따라 배치되며 안내레일(220)상에 올려진 캐리어(11)를 한피치씩 전진이송시키는 캐리어이송부(300)와, 안내레일(220)의 일측에 배치되며 접착테이프릴(410)에서 풀려나오는 접착테이프(13)를 절단하고 픽업하여 상기 안내레일(220)을 따라 이송중인 캐리어(11)에 올려놓는 접착테이프공급부(400)와, 접착테이프가 부착된 캐리어(11)를 가열압착하여 캐리어(11) 상면에 접착제를 전사하고 사용된 접착테이프를 박리하여 제거하는 접착제도포부(500)와, 회로필름릴(610)에서 공급되는 회로필름(12)을 절단하고 픽업하여 상기 안내레일(220)에 놓인 접착제가 도포된 캐리어(11)에 올려놓는 회로필름공급부(600)와, 캐리어(11)에 올려놓인 회로필름을 가압하여 부착하는 회로필름부착부(700)와, 안내레일(220)의 배출측에 배치되며 회로필름이 부착된 캐리어(11)를 안내레일(220) 상에서 픽업하여 배출하는 캐리어배출부(800)로 이루어진 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치.
  2. 반도체칩 또는 회로필름이 부착된 캐리어(11)가 탑재되어 안내되는 안내레일(220)과, 이 안내레일(220)에 놓인 캐리어(11)를 이송하는 캐리어이송부(300)를 포함하는 반도체칩 제조장치에 있어서, 상기 캐리어이송부(300)는, 캐리어(11)의 후단에 맞닿아 캐리어(11)를 밀어서 전진시키는 핑거(312)가 소정 간격으로 돌출형성된 제1 핑거아암(310)과, 캐리어(11)의 선단을 규제하는 핑거(322)가 소정 간격으로 돌출형성되며 상기 제1 핑거아암(310)에 상대적으로 슬라이드가능하게 인접배치된 제2 핑거아암(320)을 포함하며, 상기 제1 핑거아암(310)과 상기 제2 핑거아암(320)의 상대위치에 의해 이송피치를 조절하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체칩 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 안내레일(220)은 한쌍이 평행하게 배치되고, 이 안내레일(220)이 탑재되어 장착되며 중심축(223)을 중심으로 회동가능한 다수의 스페이서(222)와, 이들 스페이서(222)의 일단에 접속되는 연결바(224)와, 이 연결바(224)에 접속되어 이 연결바(224)를 축방향으로 위치조절하는 구동부(226)를 포함하여 상기 안내레일(220)의 폭을 조절하도록 된 것을 특징으로 하는 반도체칩 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 접착테이프공급부(400)는, 일면에 핫멜트접착제가 도포된 접착테이프를 공급하는 접착테이프릴(410)과, 이 접착테이프를 안내하는 안내롤(422) 또는 가이드레일(424)을 포함하는 가이드부(420)와, 이 가이드부(420)를 통과한 접착테이프를 소정 형태로 절단하는 절단유닛(440)과, 절단된 접착테이프를 커팅금형(442)에서 픽업하여 상기 안내레일(220)에 놓인 캐리어(11) 위에 중첩시키는 접착테이프 픽업이송부(450)를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 접착제도포부(500)는, 안내레일(221)을 따라 배치되며 캐리어(11)에 중첩된 접착테이프를 가압가열하여 부착하는 히터블록(520)과, 상기 히터블록(520)의 후단에 배치되어 부착된 접착테이프를 냉각하는 냉각블록(540)과, 상기 냉각블록(540)의 후단에 배치되며 접착제가 전사되고 남은 커버테이프의 일단을 맞물어서 박리시키는 핀치부재(564)를 포함하는 필오프유닛(560)을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 회로필름공급부(600)는, 회로필름공급릴(610)과, 이 회로필름공급릴(610)에서 나오는 회로필름테이프를 안내하는 복수개의 안내롤(630)과, 이 회로필름테이프를 소정형태로 절단하는 절단유닛(640)과, 절단된 개별회로필름을 진공흡착하여 안내레일(221) 상의 접착제가 도포된 캐리어(11) 위로 올려놓은 회로필름이송부(650)과, 상기 회로필름공급릴(610)에서 인출되어 늘어진 회로필름의 유무를 검출하는 센서부(660)를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치가 제공된다.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 회로필름부착부(700)는 캐리어(11)상에 놓인 개별회로필름을 가열가압하여 부착하는 히터블록(720)과, 부착된 회로필름을 냉각하는 냉각블록(740)을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 볼그리드어레이 회로기판의 제조장치.
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