KR19980063594U - 핸들러 시스템의 튜브 로더 - Google Patents

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KR19980063594U
KR19980063594U KR2019970008122U KR19970008122U KR19980063594U KR 19980063594 U KR19980063594 U KR 19980063594U KR 2019970008122 U KR2019970008122 U KR 2019970008122U KR 19970008122 U KR19970008122 U KR 19970008122U KR 19980063594 U KR19980063594 U KR 19980063594U
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전승원
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윤종용
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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Abstract

본 고안은 반도체 디바이스가 담겨 있는 튜브를 벌크 형태로 투입하면, 이를 정렬하여 효율적으로 공급할수 있도록 한 핸들러 시스템의 튜브 로더에 관한 것으로, 본 고안은 반도체 디바이스가 담겨 있는 복수개의 튜브를 낱개씩 공급하기 위한 튜브 공급수단과, 공급된 튜브의 위치를 수직 상태에서 수평 상태로 반전시키기 위한 반전 수단과, 반전된 튜브내의 반도체 디바이스가 정위치로 되어 있는지의 여부를 감지하기 위한 정위치 감지수단과, 정위치로 된 튜브를 수평 및 수직 상태로 이송시키기 위한 수평 및 수직 이송수단과, 이송된 튜브를 안착하여 공급 대기위치로 이동시키기 위한 이동 수단과, 안착된 튜브를 고정시키기 위한 고정 수단과, 고정된 튜브를 상승 및 하강시키기 위한 승강 구동수단과, 튜브 내부의 반도체 디바이스 공급수단과, 상승된 튜브 내부의 반도체 디바이스를 공급시 불량이 발생된 반도체 디바이스를 빼내기 위해 작동하는 불량 제거수단이 구비되므로써 튜브 공급시간의 대폭 단축에 따른 생산성을 향상시킬수 있으며, 작업자가 튜브를 벌크 상태로 투입하면 자동으로 정렬, 일정한 방향성을 갖도록 공급할수 있게 된다.

Description

핸들러 시스템의 튜브 로더
본 고안은 핸들러 시스템의 튜브 로더에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 핸들러 시스템의 튜브 로더에 반도체 디바이스가 담겨 있는 튜브를 벌크 형태로 적재하면 이를 올바른 방향으로 정렬하여 하나씩 순차적으로 공급할수 있도록 한 것이다.
일반적으로, 전자 산업계에서는 집적 회로 및 반도체 칩 등의 전자 부품을 보다 저렴하고 소형화하는 것이 절대적으로 요구되며, 이러한 전자 부품의 생산성을 높이기 위하여 단위 비용을 감소시키기 위한 방법중의 하나로 이러한 전자 부품을 동시에 많은 양을 테스트하는 것에 의하여 테스트 속도를 높이게 된다.
이와 같은 전자 부품 테스트 시스템(예를 들면 IC 핸들러 시스템)은 테스트에 응하여 다양한 테스트 신호를 발생시키고, 그 결과의 출력 신호를 판정하기 위한 마스터 유니트와, 자동적으로 테스트될 부품을 테스트 헤드로 이동시켜 테스트하고 테스트된 부품을 테스트 결과에 따라서 분류하는 오토매틱 테스트 핸들러로 구성된다.
한편, 종래의 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 로더(Tube Loader)에 복수개의 반도체 디바이스가 담겨 있는 튜브를 공급할 때에는 작업자가 처음부터 튜브를 정렬한 상태에서 튜브내의 반도체 디바이스가 정위치로 되어 있는지의 여부를 확인한 후 튜브를 공급해야 하므로 인해 공급시의 많은 불편함을 초래하게 되고, 튜브를 공급하기 위한 공급 시간이 많이 소요되어 생산성이 떨어지게 되는 등의 많은 문제점이 있었다.
본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 핸들러 시스템의 튜브 로더에 반도체 디바이스가 담겨 있는 튜브를 벌크 형태로 한꺼번에 효율적으로 공급할수 있도록 하여 튜브 공급시간을 대폭 단축시킬수 있어서 생산성을 향상시킬수 있을 뿐만 아니라 작업자가 튜브의 상,하 방향을 확인하지 않고도 편리하게 튜브를 공급할수 있는 핸들러 시스템의 튜브 로더를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 고안을 나타낸 전체 사시도
도 2는 도 1에서 반전 부재의 안착홈에 삽입된 튜브가 제 2 모터의 작동에 의해 반전된 상태를 나타낸 사시도
도 3은 도 2와 같은 상태에서 제 2 실린더의 작동에 의해 후방으로 이동된 튜브가 제 1 브라켓에 안착된 상태를 나타낸 평면도
도 4는 도 3과 같은 상태에서 제 1 브라켓에 안착된 튜브가 제 3 실린더의 작동에 의해 상부 프레임의 상단까지 이동된 상태를 나타낸 정면도
도 5는 도 4와 같은 상태에서 제 4 실린더의 작동에 의해 제 2 브라켓상에 튜브가 안착된 상태를 나타낸 평면도
도 6은 도 5와 같은 상태에서 제 5 실린더가 작동하여 스톱퍼가 제 2 브라켓에 안착된 튜브를 고정시키기 위한 작동 상태를 나타낸 사시도
도 7은 도 6과 같은 상태에서 튜브내의 반도체 디바이스를 공급하기 위해 튜브가 상승된 상태를 나타낸 정면도
도 8은 도 7과 같은 상태에서 튜브내의 반도체 디바이스를 낱개씩 공급하기 위한 작동 상태를 나타낸 종단면도
도 9는 도 8과 같은 상태에서 튜브내의 반도체 디바이스를 낱개로 공급시 불량 반도체 디바이스가 발생될 경우의 작동 상태를 나타낸 평면도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1; 튜브2; 반도체 디바이스
3; 하부 프레임4; 이동 플레이트
5; 안내 부재 6; 제 1 모터
7; 모터축 8; 구동 풀리
9; 타이밍 벨트 10; 종동 풀리
11; 제 1 기어 12; 제 2 기어
13; 로울러 14; 회전축
15; 안착홈 16; 반전 부재
17; 제 2 모터 18; 제 1 실린더
19,26,30,35,43; 작동 로드 20; 감지 센서
21; 제 2 실린더 22; 제 1 브라켓
23; 상부 프레임 24; 제 3 실린더
25; 제 4 실린더 27; 제 2 브라켓
28; 제 5 실린더 29; 스톱퍼
31; 축 32; 제 6 실린더
33; 안내 레일 34; 제 7 실린더
36; 브라켓 37; 제 1 스톱핀
38; 제 2 스톱핀 39; 스프링
40; 제 8 실린더41; 수거통
42; 제 9 실린더44; 수거 부재
상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안은 반도체 디바이스가 담겨 있는 튜브를 공급하기 위해 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 로더에 있어서, 상기 반도체 디바이스가 담겨 있는 복수개의 튜브를 낱개씩 정렬하여 공급하기 위한 튜브 공급수단과, 상기 튜브 공급수단에 의해 공급된 튜브의 위치를 수직 상태에서 수평 상태로 반전시키기 위한 반전 수단과, 상기 반전 수단에 의해 반전된 튜브내의 반도체 디바이스가 정위치로 되어 있는지의 여부를 감지하기 위한 정위치 감지수단과, 상기 정위치로 된 튜브를 수평 상태에서 이송시키기 위한 수평 이송수단과, 상기 수평 이송수단에 의해 이송된 튜브를 수직 방향으로 이송시키기 위한 수직 이송수단과, 상기 수직 이송수단에 의해 이송된 튜브를 안착하여 공급 대기위치로 이동시키기 위한 이동 수단과, 상기 이동 수단에 안착된 튜브를 고정시키기 위한 고정 수단과, 상기 고정 수단에 의해 고정된 튜브를 상승 및 하강시키기 위한 승강 구동수단과, 상기 승강 구동수단에 의해 상승된 튜브 내부의 반도체 디바이스를 낱개씩 공급하기 위한 반도체 디바이스 공급수단과, 상기 승강 구동수단에 의해 상승된 튜브 내부의 반도체 디바이스를 공급시 불량이 발생된 반도체 디바이스를 빼내기 위해 작동하는 불량 제거수단으로 구성된 핸들러 시스템의 튜브 로더가 제공되므로써 달성된다.
이하, 본 고안을 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 고안을 나타낸 전체 사시도이고, 도 2는 도 1에서 반전 부재의 안착홈에 삽입된 튜브가 제 2 모터의 작동에 의해 반전된 상태를 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 2와 같은 상태에서 제 2 실린더의 작동에 의해 후방으로 이동된 튜브가 제 1 브라켓에 안착된 상태를 나타낸 평면도이고, 도 4는 도 3과 같은 상태에서 제 1 브라켓에 안착된 튜브가 제 3 실린더의 작동에 의해 상부 프레임의 상단까지 이동된 상태를 나타낸 정면도이며, 도 5는 도 4와 같은 상태에서 제 4 실린더의 작동에 의해 제 2 브라켓상에 튜브가 안착된 상태를 나타낸 평면도이다.
또한, 도 6은 도 5와 같은 상태에서 제 5 실린더가 작동하여 스톱퍼가 제 2 브라켓에 안착된 튜브를 고정시키기 위한 작동 상태를 나타낸 사시도이며, 도 7은 도 6과 같은 상태에서 튜브내의 반도체 디바이스를 공급하기 위해 튜브가 상승된 상태를 나타낸 정면도이고, 도 8은 도 7과 같은 상태에서 튜브내의 반도체 디바이스를 낱개씩 공급하기 위한 작동 상태를 나타낸 종단면도이며, 도 9는 도 8과 같은 상태에서 튜브내의 반도체 디바이스를 낱개로 공급시 불량 반도체 디바이스가 발생될 경우의 작동 상태를 나타낸 평면도이다.
본 고안은 반도체 디바이스가 담겨 있는 복수개의 튜브(1)를 낱개씩 공급하기 위한 튜브 공급수단과, 상기 튜브 공급수단에 의해 공급된 튜브(1)의 위치를 수직 상태에서 수평 상태로 반전시키기 위한 반전 수단과, 상기 반전 수단에 의해 반전된 튜브(1)내의 반도체 디바이스(2)가 정위치로 되어 있는지의 여부를 감지하기 위한 정위치 감지수단과, 상기 정위치로 된 튜브(1)를 수평 상태에서 이송시키기 위한 수평 이송수단과, 상기 수평 이송수단에 의해 이송된 튜브(1)를 수직 방향으로 이송시키기 위한 수직 이송수단과, 상기 수직 이송수단에 의해 이송된 튜브(1)를 안착하여 공급 대기위치로 이동시키기 위한 이동 수단과, 상기 이동 수단에 안착된 튜브(1)를 고정시키기 위한 고정 수단과, 상기 고정 수단에 의해 고정된 튜브(1)를 상승 및 하강시키기 위한 승강 구동수단과, 상기 승강 구동수단에 의해 상승된 튜브(1) 내부의 반도체 디바이스(2)를 낱개씩 공급하기 위한 반도체 디바이스(2) 공급수단과, 상기 승강 구동수단에 의해 상승된 튜브(1) 내부의 반도체 디바이스(2)를 공급시 불량이 발생된 반도체 디바이스(2)를 빼내기 위해 작동하는 불량 제거수단으로 구성된다.
또한, 상기한 튜브 공급수단은 하부 프레임(3)상의 플레이트(4) 양측에 설치된 안내 부재(5)에 안착된 복수개의 튜브(1)를 공급시 구동하는 제 1 모터(6)와, 제 1 모터(6)의 모터축(7)에 설치된 구동 풀리(8)에 타이밍 벨트(9)로 연결되는 종동 풀리(10)와, 종동 풀리(10)에 일체로 설치되어 회전하는 제 1 기어(11)와, 제 1 기어(11)와 접속되어 회전하는 제 2 기어(12)와, 상기 제 1,2 기어(11)(12)에 연결되며 튜브(1)가 사이로 통과하는 복수개의 로울러(13)가 설치되어 튜브(1)의 공급시 회전하는 회전축(14)으로 구성된다.
또한, 상기한 반전 수단은 회전축(14)의 사이로 통과하는 튜브(1)를 수직 상태로 받기 위한 안착홈(15)이 형성되는 반전 부재(16)와, 반전 부재(16)의 안착홈(15)에 삽입된 튜브(1)를 수직 상태에서 수평 상태로 반전시키기 위해 작동하는 제 2 모터(17)로 구성된다.
또한, 상기한 정위치 감지수단은 이동 플레이트(3)의 바닥면에 설치된 제 1 실린더(18)와, 제 1 실린더(18)의 작동 로드(19)에 설치되어 반전된 튜브(1)내의 반도체 디바이스(2)가 정방향으로 되어 있는지의 여부를 감지하기 위한 감지 센서(20)로 구성된다.
또한, 상기한 수평 이송수단은 이동 플레이트(3)의 바닥면에 설치되어 정위치로 된 튜브(1)를 이송시키기 위해 작동하는 제 2 실린더(21)로 구성된다.
또한, 상기한 수직 이송수단은 튜브(1)를 수직 방향으로 이송시키기 위한 제 1 브라켓(22)과, 상부 프레임(23)에 설치되어 제 1 브라켓(22)을 수직 방향으로 이송시 동력을 발생시키기 위해 로드리스(rodless) 실린더로 된 제 3 실린더(24)로 구성된다.
또한, 상기한 이동 수단은 상부 프레임(23)에 설치되어 제 1 브라켓(22)에 의해 수직 방향으로 이송된 튜브(1)를 공급 대기 위치로 이동시 작동하는 로타리 실린더로 된 제 4 실린더(25)와, 제 4 실린더(25)의 작동 로드(26) 끝단에 설치되어 상기 튜브(1)를 공급 대기 위치로 이동시 파지하기 위한 제 2 브라켓(27)으로 구성된다.
또한, 상기한 고정 수단은 상부 프레임(23)에 설치되어 제 2 브라켓(27)에 안착된 튜브(1)를 고정시키기 위해 작동하는 제 5 실린더(28)와, 제 5 실린더(28)에 설치되어 제 2 브라켓(27)에 안착된 튜브(1)를 고정시키기 위해 승강하는 스톱퍼(29)로 구성된다.
또한, 상기한 승강 구동수단은 스톱퍼(29)에 의해 고정된 튜브(1)를 승강시키기 위해 작동하며 작동 로드(30)가 축(31)으로 상부 프레임(23)에 설치되는 제 6 실린더(32)로 구성된다.
또한, 상기한 반도체 디바이스 공급수단은 안내 레일(33)의 상부 일측에 설치되어 제 6 실린더(32)의 작동에 의해 상승된 튜브(1) 내부의 반도체 디바이스(2)를 안내 레일(33)로 공급시 작동하는 제 7 실린더(34)와, 제 7 실린더(34)의 작동 로드(35) 끝단에 설치된 브라켓(36)의 상,하부에 안내 레일(33)을 관통하도록 대향 설치되어 제 7 실린더(34)의 작동에 의해 안내 레일(33)을 따라 이송되는 반도체 디바이스(2)를 낱개씩 공급하기 위한 제 1,2 스톱핀(37)(38)과, 상기 브라켓(36)의 내부에 안내 레일(33)의 상,하부와 접촉되도록 설치되어 제 7 실린더(34)의 작동시 제 1,2 스톱핀(37)(38)에 탄성 복원력을 부여하기 위한 스프링(39)으로 구성된다.
그리고, 상기한 불량 제거수단은 제 6 실린더(32)의 작동에 의해 상승된 튜브(1) 내부의 반도체 디바이스(2)를 안내 레일(33)로 공급시 불량으로 판정된 반도체 디바이스(2)를 빼내기 위해서 안내 레일(33)의 중앙부 일측에서 안내 레일(33)을 이동시키기 위해 작동하는 제 8 실린더(40)와, 상기 안내 레일(33)의 중앙부 타측에 설치되어 제 8 실린더(40)의 작동에 의해 이동된 중앙부의 안내 레일(33)에 있는 불량 반도체 디바이스(2)를 수거통(41)으로 집어넣기 위해 작동하는 제 9 실린더(42)와, 제 9 실린더(42)의 작동 로드(43) 끝단에 설치되어 제 9 실린더(42)의 작동에 의해 안내 레일(33)에 있는 불량 반도체 디바이스(2)를 수거통(41)으로 집어넣기 위한 수거 부재(44)로 구성된다.
이와같이 구성된 본 고안의 작용을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1과 같은 핸들러 시스템의 튜브 로더에 복수개의 반도체 디바이스(2)가 담겨 있는 튜브(1)를 공급시에는 먼저, 작업자가 하부 프레임(3)상의 플레이트(4) 양측에 설치된 안내 부재(5)에 복수개의 튜브(1)를 안착시킨후 제 1 모터(6)가 작동하게 되면 제 1 모터(6)의 모터축(7)에 설치된 구동 풀리(8)가 회전하게 됨과 동시에 구동 풀리(8)와 타이밍 벨트(9)로 연결되는 종동 풀리(10)가 회전하게 된다.
이와 동시에, 종동 풀리(10)에 일체로 설치된 제 1 기어(11)가 회전하게 됨과 동시에 제 1 기어(11)와 접속된 제 2 기어(12)가 회전함에 따라 상기 제 1,2 기어(11)(12)에 연결된 회전축(14)이 회전하여 회전축(14)에 설치된 복수개의 로울러(13) 사이로 튜브(1)가 통과하여 반전 부재(16)의 안착홈(15)에 수직 상태로 튜브(1)가 안착된다.
그 다음, 반전 부재(16)의 안착홈(15)에 삽입된 튜브(1)를 제 2 모터(17)가 작동함에 따라 수직 상태에서 도 2와 같이 수평 상태로 90°반전시키게 되는데, 이때 플레이트(4) 바닥면의 제 1 실린더(18)가 작동함에 따라 제 1 실린더(18)의 작동 로드(19)에 설치된 감지 센서(20)가 반전된 튜브(1)내의 반도체 디바이스(2)가 정위치로 되어 있는지의 여부를 감지하여 상기 반전된 튜브(1)내의 반도체 디바이스(2)가 정위치로 되어 있지 않을 경우에는 상기 제 2 모터(17)가 다시 작동하여 반전 부재(16)를 역방향으로 180°회전시킴에 따라 튜브(1)를 정위치로 반전시키게 된다.
그 후, 도 3과 같이 하부 프레임(3)상의 플레이트(4)의 바닥면에 설치된 제 2 실린더(21)가 작동함에 따라 후방으로 이동된 튜브(1)는 상부 프레임(23)에 수직 방향으로 설치되어 로드리스 실린더로 된 제 3 실린더(24)의 작동에 의해 이동되는 제 1 브라켓(22)에 안착되어 도 4와 같이 수직 방향으로 상부 프레임(23)의 상단까지 이동된다.
그 다음, 상부 프레임(23)의 상단까지 이동되어 제 1 브라켓(22)에 안착된 튜브(1)는 상부 프레임(23)에 설치되어 로타리 실린더로 된 제 4 실린더(25)가 작동함에 따라 도 5와 같이 제 4 실린더(25)의 작동 로드(26) 끝단에 설치된 제 2 브라켓(27)이 전진하여 제 2 브라켓(27)상에 안착됨과 동시에 상부 프레임(23)에 수직 방향으로 설치된 제 3 실린더(24)의 작동에 의해 제 1 브라켓(22)은 원위치로 하강하게 된다.
그 후, 제 4 실린더(25)의 작동에 의해 제 2 브라켓(27)에 안착된 튜브(1)는 다시 상기 제 4 실린더(25)의 작동에 의해 제 2 브라켓(27)이 공급 대기 위치로 이동하여 원위치됨과 동시에 도 6과 같이 상부 프레임(23)에 설치된 제 5 실린더(28)가 작동함에 따라 제 5 실린더(28)에 설치된 스톱퍼(29)가 하강하여 제 2 브라켓(27)에 안착된 튜브(1)를 고정시키게 된다.
이와 동시에, 상부 프레임(23)에 설치된 제 6 실린더(32)가 작동함에 따라 작동 로드(30)가 전진함과 동시에 스톱퍼(29)에 의해 고정된 튜브(1)를 공급 대기 위치로 도 7과 같이 상승시킴과 동시에 도 8과 같이 안내 레일(33)의 상부 일측에 설치된 제 7 실린더(34)가 작동함에 따라 제 7 실린더(34)의 작동 로드(35) 끝단에 설치된 브라켓(36)의 상,하부에 안내 레일(33)을 관통하도록 대향 설치된 제 1,2 스톱핀(37)(38)이 교대로 작동하면서 안내 레일(33)을 따라 반도체 디바이스(2)를 낱개씩 공급하게 된다.
즉, 제 1 스톱핀(37)이 안내 레일(33)에 있는 반도체 디바이스(2)의 이송을 차단하기 위해 하강된 상태로 있으면 제 2 스톱핀(38)은 안내 레일(33)의 하부에 위치하게 되고, 상기 제 1 스톱핀(37)이 안내 레일(33)에 있는 반도체 디바이스(2)를 이송시키기 위해 상승된 상태로 있으면 제 2 스톱핀(38)은 안내 레일(33)의 하부를 관통하여 그 다음번의 반도체 디바이스(2)가 한꺼번에 이송되는 것을 방지하기 위해 상승되는 동작을 반복하면서 제 7 실린더(34)의 작동에 의해 안내 레일(33)을 따라 이송되는 반도체 디바이스(2)를 낱개씩 공급하게 된다.
이때, 상기 브라켓(36)의 내부에는 안내 레일(33)의 상,하부와 접촉되도록 스프링(39)이 설치되므로 제 7 실린더(34)의 작동시 제 1,2 스톱핀(37)(38)이 효과적으로 작동하도록 탄성 복원력을 부여하게 된다.
그 후, 안내 레일(33)을 따라 하나씩 이송되는 반도체 디바이스(2)는 하강하면서 안내 레일(33)의 끝단에 설치되어 8개 반도체 디바이스(2)의 수납 공간을 갖는 로딩 이송부재(45)에 순차적으로 안착됨에 따라 반도체 디바이스(2)의 공급이 완료된다.
한편, 튜브(1) 내부의 반도체 디바이스(2)를 안내 레일(33)로 공급시 반도체 디바이스(2)가 안내 레일(33)의 중앙부로 이송되면 센서가 반도체 디바이스(2)의 불량 유무를 감지 센서(46)가 감지하여 불량으로 판정되면 도 9와 같이 안내 레일(33)의 중앙부 일측에 설치된 제 8 실린더(40)가 작동하여 중앙부의 안내 레일(33)을 이동시킴과 동시에 상기 안내 레일(33)의 중앙부 타측에 설치된 제 9 실린더(42)가 작동함에 따라 작동 로드(43)의 끝단에 설치된 수거 부재(44)가 이동된 중앙부의 안내 레일(33)에 있는 불량 반도체 디바이스(2)를 수거통(41)으로 집어넣어 별도로 담아두게 된다.
또한, 튜브(1)의 내부에 있는 반도체 디바이스(2)의 공급이 완료되면 상부 프레임(23)에 설치된 제 6 실린더(32)가 작동함에 따라 작동 로드(30)가 후퇴함과 동시에 스톱퍼(29)에 의해 고정된 튜브(1)가 수평 상태로 원위치됨과 동시에 제 5 실린더(28)가 작동함에 따라 제 5 실린더(28)에 설치된 스톱퍼(29)가 상승하여 제 2 브라켓(27)에 안착된 튜브(1)를 고정 상태에서 해제시키게 된다.
이와 동시에, 제 4 실린더(25)가 작동함에 따라 제 4 실린더(25)의 작동 로드(26) 끝단에 설치된 제 2 브라켓(27)이 전진하여 상부 프레임(23)의 상단까지 이동되어 제 1 브라켓(22)에 안착되어 있는 튜브(1)가 제 2 브라켓(27)에 안착됨과 동시에 다시 상기 제 4 실린더(25)가 작동함에 따라 제 2 브라켓(27)이 원위치로 이동되면서 빈 튜브(1)를 밀어서 자유 낙하시키는 상기와 같은 일련의 작동을 반복하므로써 반도체 디바이스(2)가 담겨 있는 튜브(1)를 효율적으로 공급할수 있게 된다.
이상에서와 같이, 본 고안은 핸들러 시스템의 튜브 로더에 반도체 디바이스가 담겨 있는 튜브를 별도의 정렬 작업이 없이 벌크 상태로 한꺼번에 효율적으로 공급할수 있으므로써 튜브 공급시간의 단축에 의한 생산성을 크게 증대시킬수 있으며, 작업자가 튜브의 공급 방향을 확인하지 않고도 편리하게 튜브를 공급하여 작업을 능률적으로 수행할수 있으므로 인해 장비의 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 매우 유용한 고안이다.
본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구 범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구 범위 기재의 범위내에 있게 된다.

Claims (12)

  1. 반도체 디바이스가 담겨 있는 튜브를 공급하기 위해 핸들러 시스템에 설치되는 튜브 로더에 있어서,
    상기 반도체 디바이스가 담겨 있는 복수개의 튜브를 낱개씩 정렬하여 공급하기 위한 튜브 공급수단과,
    상기 튜브 공급수단에 의해 공급된 튜브의 위치를 수직 상태에서 수평 상태로 반전시키기 위한 반전 수단과,
    상기 반전 수단에 의해 반전된 튜브내의 반도체 디바이스가 정위치로 되어 있는지의 여부를 감지하기 위한 정위치 감지수단과,
    상기 정위치로 된 튜브를 수평 상태에서 이송시키기 위한 수평 이송수단과, 상기 수평 이송수단에 의해 이송된 튜브를 수직 방향으로 이송시키기 위한 수직 이송수단과,
    상기 수직 이송수단에 의해 이송된 튜브를 안착하여 공급 대기위치로 이동시키기 위한 이동 수단과,
    상기 이동 수단에 안착된 튜브를 고정시키기 위한 고정 수단과,
    상기 고정 수단에 의해 고정된 튜브를 상승 및 하강시키기 위한 승강 구동수단과,
    상기 승강 구동수단에 의해 상승된 튜브 내부의 반도체 디바이스를 낱개씩 공급하기 위한 반도체 디바이스 공급수단과,
    상기 승강 구동수단에 의해 상승된 튜브 내부의 반도체 디바이스를 공급시 불량이 발생된 반도체 디바이스를 빼내기 위해 작동하는 불량 제거수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기한 튜브 공급수단이 하부 프레임상의 이동 플레이트양측에 설치된 안내 부재에 안착된 복수개의 튜브를 공급시 구동하는 제 1 모터와, 제 1 모터의 모터축에 설치된 구동 풀리에 타이밍 벨트로 연결되는 종동 풀리와, 종동 풀리에 일체로 설치되어 회전하는 제 1 기어와, 제 1 기어와 접속되어 회전하는 제 2 기어와, 제 1,2 기어에 연결되며 튜브가 사이로 통과하는 복수개의 로울러가 설치되어 튜브의 공급시 회전하는 회전축으로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기한 반전 수단이 회전축의 사이로 통과하는 튜브를 수직 상태로 받기 위한 안착홈이 형성되는 반전 부재와, 반전 부재의 안착홈에 삽입된 튜브를 수직 상태에서 수평 상태로 반전시키기 위해 작동하는 제 2 모터로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기한 정위치 감지수단이 이동 플레이트의 바닥면에 설치된 제 1 실린더와, 제 1 실린더의 작동 로드에 설치되어 반전된 튜브내의 반도체 디바이스가 정위치로 되어 있는지의 여부를 감지하기 위한 감지 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기한 수평 이송수단이 이동 플레이트의 바닥면에 설치되어 정위치로 된 튜브를 이송시키기 위해 작동하는 제 2 실린더로 된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기한 수직 이송수단이 튜브를 수직 방향으로 이송시키기 위한 제 1 브라켓과, 상부 프레임에 설치되어 제 1 브라켓을 수직 방향으로 이송시 동력을 발생시키기 위해 로드리스 실린더로 된 제 3 실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기한 이동 수단이 상부 프레임에 설치되어 제 1 브라켓에 의해 수직 방향으로 이송된 튜브를 공급 대기 위치로 이동시 작동하는 로타리 실린더로 된 제 4 실린더와, 제 4 실린더의 작동 로드 끝단에 설치되어 튜브를 공급 대기 위치로 이동시 파지하기 위한 제 2 브라켓으로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기한 고정 수단이 상부 프레임에 설치되어 제 2 브라켓에 안착된 튜브를 고정시키기 위해 작동하는 제 5 실린더와, 제 5 실린더에 설치되어 제 2 브라켓에 안착된 튜브를 고정시키기 위해 승강하는 스톱퍼로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기한 승강 구동수단이 스톱퍼에 의해 고정된 튜브를 승강시키기 위해 작동하며 작동 로드가 축으로 상부 프레임에 설치되는 제 6 실린더로 된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기한 디바이스 공급 수단이 안내 레일의 상부 일측에 설치되어 제 6 실린더의 작동에 의해 상승된 튜브 내부의 반도체 디바이스를 안내 레일로 공급시 작동하는 제 7 실린더와, 제 7 실린더의 작동 로드 끝단에 설치되는 브라켓과, 브라켓의 상,하부에 안내 레일을 관통하도록 대향 설치되어 제 7 실린더의 작동에 의해 안내 레일을 따라 이송되는 반도체 디바이스를 낱개씩 공급하기 위한 제 1,2 스톱핀으로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 브라켓의 내부에는 안내 레일의 상,하부와 접촉되도록 설치되어 제 7 실린더의 작동시 제 1,2 스톱핀에 탄성 복원력을 부여하기 위한 스프링이 설치된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기한 불량 제거수단이 제 6 실린더의 작동에 의해 상승된 튜브 내부의 반도체 디바이스를 안내 레일로 공급시 불량으로 판정된 반도체 디바이스를 빼내기 위해서 안내 레일의 중앙부 일측에서 안내 레일을 이동시키기 위해 작동하는 제 7 실린더와, 상기 안내 레일의 중앙부 타측에 설치되어 제 7 실린더의 작동에 의해 이동된 중앙부의 안내 레일에 있는 불량 반도체 디바이스를 수거통으로 집어넣기 위해 작동하는 제 8 실린더와, 제 8 실린더의 작동 로드 끝단에 설치되어 제 8 실린더의 작동에 의해 안내 레일에 있는 불량 반도체 디바이스를 수거통으로 집어넣기 위한 수거 부재로 구성된 것을 특징으로 하는 핸들러 시스템의 튜브 로더.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100367907B1 (ko) * 2001-01-19 2003-02-12 주식회사 아남인스트루먼트 반도체 마킹 장비의 스트립 취출 장치
KR100394800B1 (ko) * 2000-11-27 2003-08-19 한국 고덴시 주식회사 핸들러의 반도체소자 분리 감지장치

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