KR19980047507U - Picker for element adsorption of horizontal handler - Google Patents
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Abstract
본 고안은 수평식핸들러에서 복수개의 소자 상면을 동시에 흡착하여 이송시키는 픽커(picker)에 관한 것으로 이송하기 위한 소자의 수량에 따라 승강판의 구조를 변경하지 않고도 픽업의 갯수를 간단하게 가변시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a picker for simultaneously absorbing and transporting a plurality of element surfaces in a horizontal handler, so that the number of pickups can be easily changed without changing the structure of the lifting plate according to the number of elements to be transported. It is.
이를 위해, 프레임에 지지된 가이드레일을 따라 X - Y 방향으로 이동하는 이송판(1)과, 상기 이송판에 LM가이더(3)로 결합되어 이송판에 설치된 실린더(7)의 구동에 따라 승강운동하는 승강판(2)과, 상기 승강판에 설치되어 소자의 상면을 흡착하는 복수개의 픽업(11)으로 구성된 것에 있어서, 상기 승강판에 고정된 축(9)과, 상기 축에 회전가능하게 끼워지는 삽입공 및 제 1, 2 결합홈(10a)(10b)이 형성되고 일측에는 픽업이 결합되는 복수개의 픽업블럭(10)과, 상기 축의 일측에 위치되게 승강판에 고정되어 픽업블럭에 형성된 제 1, 2 결합홈이 선택적으로 끼워지는 지지봉(12)과, 상기 축에 끼워진 복수개의 픽업블럭이 좌우로 유동되지 않도록 하는 유동방지수단으로 구성하여서 된 것이다.To this end, the conveying plate 1 moving in the X-Y direction along the guide rail supported by the frame, and LM guider 3 is coupled to the conveying plate to move up and down by driving the cylinder 7 installed on the conveying plate. In the movement comprising a lifting plate 2 and a plurality of pickups 11 mounted on the lifting plate to suck the upper surface of the element, the shaft 9 fixed to the lifting plate and the shaft rotatably rotated. Insertion holes and first and second coupling grooves 10a and 10b that are fitted are formed, and a plurality of pickup blocks 10 to which pickups are coupled to one side thereof are fixed to a lifting plate positioned on one side of the shaft, and formed on the pickup block. It consists of a support rod 12 to which the first and second coupling grooves are selectively fitted, and a flow preventing means for preventing the plurality of pickup blocks fitted to the shaft from flowing from side to side.
Description
본 고안은 수평식핸들러에서 복수개의 소자 상면을 동시에 흡착하여 이송시키는 픽커(picker)에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 이송하기 위한 소자의 수량에 따라 승강판의 구조를 변경하지 않고도 픽업의 갯수를 간단하게 가변시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a picker for simultaneously absorbing and transporting a plurality of element tops in a horizontal handler. More specifically, the number of pickups can be changed without changing the structure of the lifting plate according to the number of elements to be transported. It is simply to make it variable.
근래에는 부품의 경박단소화 추세에 따라 반도체 소자(이하 소자라 함) 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 있는데, 그 중 대표적인 소자가 TSOP(Thin Small Outline Package)이다.Recently, semiconductor devices (hereinafter, referred to as devices) have also gradually become thinner according to the trend of lighter and shorter parts. Among them, a representative device is a thin small outline package (TSOP).
상기 TSOP(Thin Small Outline Package)는 그 두께가 약 1mm정도로써, 제조공정에서 생산완료하여 성능을 검사하는 테스트공정간에 취급부주의 등으로 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 테스트트레이에 로딩시 또는 테스트중 소자에 충격이 가해지지 않도록 세심한 주의를 하여야 한다.The thin small outline package (TSOP) has a thickness of about 1 mm, and when the impact is applied to the upper or lower surface due to carelessness or the like during the test process of production completion in the manufacturing process to check performance, the characteristics of the device are deteriorated and applied. If the impact is severe, the molded chip is broken, so care must be taken to avoid impact on the device during loading into the test tray or during the test.
따라서 TSOP타입의 소자를 검사하기 위해서는 소자의 이송시 충격이 가해지지 않도록 소자를 금속재의 테스트트레이상에 다수개 로딩하여 수평이송시키면서 테스트를 실시한 다음 테스트결과에 따라 분류하여 합성수지재의 트레이(이하 고객트레이라 함)에 언로딩하는 수평식핸들러를 이용하게 된다.Therefore, in order to inspect TSOP type devices, test them by horizontally transporting a plurality of devices over a test tray of metal material so as not to be impacted when transferring them, and then classify them according to the test results. To use the horizontal handler unloading.
테스트전에 소자가 담겨져 보관되거나, 공정간 소자의 이송시 사용되는 고객트레이에는 소자가 담겨지는 요입홈이 형성되는데, 상기 요입홈은 단지 소자가 담겨져 고객트레이로 부터 이탈되지 않도록 하는 역할만을 하면 족하므로 정밀가공되지 않는다.Before the test, the device is stored in the customer tray, or used in the transfer of the device between the process is formed in the recessed groove containing the device, the recessed groove is sufficient to play the role that only the device is contained so as not to escape from the customer tray It is not precision machined.
따라서 상기 고객트레이내에 담겨진 소자를 픽업이 흡착하여 테스트트레이에 로딩할 경우에는 픽업에 흡착된 소자의 위치가 각각 달라 테스트트레이에 형성된 정위치에 로딩되지 않으므로 소자의 위치를 재정렬하여야만 된다.Therefore, when the pickup absorbs the elements contained in the customer tray and loads them into the test tray, the positions of the elements absorbed by the pickup are different so that they are not loaded at the correct positions formed in the test tray.
이에 따라 수평식핸들러에서는 소자흡착용 픽커를 구비하여야 한다.Accordingly, the horizontal handler should be equipped with a picker for element adsorption.
도 1은 종래의 픽커를 나타낸 정면도로써, 프레임에 설치된 가이드레일을 따라 X - Y 방향으로 이동하는 이송판에 실린더의 구동에 따라 승강운동하는 승강판(2)이 LM가이드에 의해 결합되어 있고 상기 승강판에 고정된 복수개의 지지판(4)에는 픽업(5)이 각각 고정되어 있다.1 is a front view showing a conventional picker, the lifting plate (2) for lifting in accordance with the driving of the cylinder is coupled to the transfer plate moving in the X-Y direction along the guide rail installed in the frame by the LM guide Pickups 5 are respectively fixed to the plurality of support plates 4 fixed to the lifting plate.
상기 지지판(4)에 고정되는 픽업(5)의 피치(S)는 고객트레이(6)에 형성된 요입홈(6a)의 중심간 거리이다.The pitch S of the pickup 5 fixed to the support plate 4 is the distance between the centers of the recesses 6a formed in the customer tray 6.
따라서 이송판이 고객트레이(6)의 직하방으로 이송된 상태에서 실린더가 구동하여 승강판(2)을 하강시키면 지지판(4)에 고정된 복수개의 픽업(5) 저면에 요입홈(6a)내에 담겨진 소자(8)의 상면과 접속된다.Accordingly, when the cylinder is driven and the lifting plate 2 is lowered while the transfer plate is transferred directly below the customer tray 6, the bottom plate of the plurality of pickups 5 fixed to the support plate 4 is contained in the recess 6a. It is connected with the upper surface of the element 8.
이러한 상태에서 픽업(5)에 진공압이 걸리면 요입홈(6a)내에 담겨진 소자(8)가 픽업에 흡착되므로 전술한 바와는 역순으로 실린더에 의해 승강판(2)이 상승됨과 동시에 이송판이 X - Y 방향으로 이동하여 위치결정블럭(도시는 생략함)의 상면에 위치되므로 소자의 흡착시와 마찬가지로 승강판(2)이 하강한 다음 진공압을 해제하여 픽업(5)에 흡착된 소자를 위치결정블럭의 홈내에 위치시키므로써, 소자가 위치 결정된다.In this state, when the vacuum pressure is applied to the pickup 5, the element 8 contained in the recess 6a is attracted to the pickup, so that the lifting plate 2 is lifted by the cylinder in the reverse order as described above, and at the same time the transfer plate is X −. Since it moves in the Y direction and is located on the upper surface of the positioning block (not shown), the lifting plate 2 is lowered as in the case of adsorption of the element, and then the vacuum pressure is released to position the element adsorbed to the pickup 5. By positioning in the groove of the block, the element is positioned.
그러나 이러한 종래의 픽커는 픽업의 위치를 가변시키지 못하도록 되어 있어 픽커의 설계시 피치 및 소자의 흡착갯수가 결정되므로 장착된 픽업보다 적은 양의 소자만을 고객트레이에서 흡착하여 위치결정블럭측으로 이송시키고자 할 경우에는 사용하지 않는 픽업의 진공라인을 폐쇄시켜야 되지만, 통상 전체의 장비를 공장내에 설치된 진공라인을 이용하여 제어하기 때문에 불가능하게 되는 문제점이 있었다.However, since the picker cannot change the position of the pickup, the pitch and the number of adsorption of the elements are determined in the design of the picker. Therefore, only a small amount of the element is picked up from the customer tray and transferred to the positioning block. In this case, it is necessary to close the vacuum line of the unused pickup, but there is a problem in that it is impossible to control the entire equipment by using the vacuum line installed in the factory.
또한, 일정 피치를 갖는 고객트레이에 알맞게 설계된 픽커를 이용하여 소자를 흡착이송하다가 피치가 다른 고객트레이에 담겨진 소자를 이송시키고자 할 경우에는 픽커의 전체를 재설계하여 가공하여야 되었으므로 신속한 작업이 불가능하게 되는 문제점오 있었다.In addition, if you want to transfer the device contained in the customer tray with the different pitch by using the picker designed for the customer tray with a certain pitch, you need to redesign the entire picker and process it. There was a problem.
본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조를 개선하여 승강판에 설치되는 픽업을 소자의 크기(피치)에 구애받지 않고 필요한 갯수만큼 흡착하여 이송시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve such a problem in the prior art, and the structure is improved so that the pickup installed on the elevating plate can be adsorbed and transported as many as necessary regardless of the size (pitch) of the element. There is a purpose.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 프레임에 지지된 가이드레일을 따라 X - Y 방향으로 이동하는 이송판과, 상기 이송판에 LM가이더로 결합되어 이송판에 설치된 실린더의 구동에 따라 승강운동하는 승강판과, 상기 승강판에 설치되어 소자의 상면을 흡착하는 복수개의 픽업으로 구성된 것에 있어서, 상기 승강판에 고정된 축과, 상기 축에 끼워지는 삽입공과 제 1, 2 결합홈이 형성되고 일측에는 픽업이 결합되는 픽업블럭과, 상기 축의 일측에 위치되게 승강판에 고정되어 픽업블럭에 형성된 제 1, 2 결합홈이 선택적으로 끼워지는 지지봉과, 상기 축에 끼워진 복수개의 픽업블럭이 좌우로 유동되지 않도록 하는 유동방지수단으로 구성된 수평식핸들러의 소자흡착용 픽커가 제공된다.According to a form of the present invention for achieving the above object, the transfer plate to move in the X-Y direction along the guide rail supported on the frame, and LM guider coupled to the transfer plate in accordance with the drive of the cylinder installed on the transfer plate A lifting plate for lifting and lowering, and a plurality of pickups mounted on the lifting plate to absorb the upper surface of the element, the shaft fixed to the lifting plate, the insertion hole fitted to the shaft and the first and second coupling grooves A pick-up block having a pick-up coupled to one side thereof, a support rod to which the first and second coupling grooves formed on the pick-up block are selectively fitted to the lifting plate positioned at one side of the shaft, and a plurality of pick-up blocks fitted to the shaft There is provided a picker for element adsorption of a horizontal handler composed of flow preventing means for preventing flow from side to side.
도 1은 종래의 픽커를 나타낸 정면도1 is a front view showing a conventional picker
도 2는 본 고안의 요부를 일부 분해하여 나타낸 사시도Figure 2 is a perspective view showing a part of the main part of the subject innovation
도 3a 및 도 3b는 도 2의 결합상태 정면도로써,3A and 3B are front views of the coupled state of FIG. 2,
도 3a는 승강판에 장착된 전체의 픽업을 이용하여 소자를 흡착하는 상태도3A is a diagram illustrating a state in which an element is sucked by using a whole pickup mounted on a lifting plate
도 3b는 승강판에 장착된 픽업중 일부의 픽업만을 이용하여 소자를 흡착하는 상태도3B is a diagram illustrating a state in which an element is sucked using only a part of pickups mounted on a lifting plate;
도 4는 도 3a의 A-A선 단면도4 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 3A
도 5는 소자의 크기에 따라 픽업의 간격을 가변시킨 상태의 정면도5 is a front view of a state in which the interval of pickup is varied according to the size of the device;
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
1 : 이송판2 : 승강판1: transfer plate 2: lifting plate
7 : 실린더9 : 축7: cylinder 9: shaft
10 : 픽업블럭10a : 제 1 결합홈10: pickup block 10a: first coupling groove
10b : 제 2 결합홈11 : 픽업10b: second coupling groove 11: pickup
12 : 지지봉12a : 소경부12: support rod 12a: small diameter portion
이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 첨부된 도 2 내지 도 5를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying Figures 2 to 5 showing an embodiment of the present invention in more detail as follows.
도 2는 본 고안의 요부를 일부 분해하여 나타낸 사시도이고 도 3a 및 도 3b는 도 2의 정면도이며 도 4는 도 3a의 A-A선 단면도로써, 본 고안은 프레임(도시는 생략함)에 지지된 가이드레일을 따라 W - Y 방향으로 이동하는 이송판(1)에 실린더(7)의 구동에 따라 승강운동하는 승강판(2)이 LM가이더(3)로 결합되어 있고 상기 승강판(2)에는 길이방향으로 기다란 축(9)이 고정되어 있으며 상기 축에는 복수개의 픽업블럭(10)이 회전가능하게 끼워져 있다.2 is an exploded perspective view of the main part of the present invention, and FIGS. 3A and 3B are front views of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3A, and the present invention is a guide supported on a frame (not shown). An elevating plate 2 which is moved up and down by driving of the cylinder 7 is coupled to the conveying plate 1 moving along the rail in the W-Y direction by the LM guider 3, and the elevating plate 2 has a length. The long shaft 9 is fixed in the direction, and a plurality of pickup blocks 10 are rotatably fitted in the shaft.
상기 각 픽업블럭(10)에는 소자의 상면을 흡착하는 픽업(11)이 고정되어 있고 양측면에는 제 1, 2 결합홈(10a)(10b)이 90°위상차를 갖도록 형성되어 있으며 상기 축의 일측에 위치되는 승강판(2)에는 픽업블럭(10)에 형성된 제 1, 2 결합홈(10a)(10b)이 선택적으로 끼워지는 지지봉(12)이 고정되어 있는데, 상기 지지봉(12)의 양단은 고정편(13)이 보울트(14)에 의해 승강판(2)에 체결되므로 지지된다.Each pickup block 10 is fixed with a pickup 11 for adsorbing the upper surface of the device, and the first and second coupling grooves 10a and 10b are formed on both sides thereof so as to have a 90 ° phase difference, and located on one side of the shaft. The lifting plate 2 is fixed to the support rods 12 to which the first and second coupling grooves 10a and 10b formed in the pickup block 10 are selectively fitted, and both ends of the support rods 12 are fixed pieces. Since 13 is fastened to the lifting plate 2 by the bolt 14, it is supported.
상기 축(9)에 끼워진 복수개의 픽업블럭(10)은 유동방지수단에 의해 축(9)에서 좌우로 유동되지 않는다.The plurality of pickup blocks 10 fitted to the shaft 9 do not flow from side to side on the shaft 9 by flow preventing means.
본 고안의 일 실시예에서는 상기 지지봉(12)에 픽업블럭(10)의 폭과 동일하고 제 1, 2 결합홈(10a)(10b)의 폭보다 직경이 작은 소경부(12a)를 형성하여 상기 소경부에 픽업블럭(10)에 형성된 제 1, 2 결합홈(10a)(10b)중 어느 하나의 결합홈이 끼워져 픽업블럭의 간격이 유지되도록 하므로써, 상기 지지봉(12)이 유동방지수단의 역할을 하게 된다.In one embodiment of the present invention by forming a small diameter portion 12a that is the same as the width of the pickup block 10 in the support rod 12 and smaller than the width of the first and second coupling grooves 10a, 10b The supporting rod 12 serves as a flow preventing means by inserting one of the first and second coupling grooves 10a and 10b formed in the pickup block 10 into the small diameter part so that the interval between the pickup blocks is maintained. Will be
이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 도 2 및 도 3a에 나타난 바와 같이 축(9)에 11개의 픽업블럭(10)을 끼운 상태에서 8개의 픽업(11)만을 이용하여 소자를 흡착이송시키고자 할 경우에는 승강판(2)에 보울트(14)로 체결되어 있던 고정편(13)을 분리시킨 다음 승강판(2)으로 부터 지지봉(12)을 빼낸다.First, as shown in FIG. 2 and FIG. 3A, in the state in which the eleven pickup blocks 10 are inserted into the shaft 9, the elevating plate 2 is used when the element is to be sucked and transferred using only the eight pickups 11. The fixing piece 13 which was fastened to the bolt 14 was removed, and then the support rod 12 was removed from the lifting plate 2.
그후, 8개의 픽업블럭(10)에 형성된 제 1 체결홈(10a)이 전방을 향하고 제 2 체결홈(10b)은 하방을 향하도록 픽업블럭의 위치를 조절함과 동시에 나머지 3개의 픽업블럭(10)에 형성된 제 2 체결홈(10b)이 전방을 향하고 제 1 체결홈(10a)은 상방을 향하도록 픽업블럭의 우치를 조절한 다음 각 픽업블럭(10)에 형성된 체결홈내에 지지봉(12)의 소경부(12a)를 위치시키고 승강판(2)에서 분리하였던 고정편(13)을 보울트(14)로 다시 체결하여 주면 도 3b와 같이 픽업블럭(10)이 축(9)에서 좌우로 유동되지 않는다.Thereafter, the first fastening grooves 10a formed in the eight pickup blocks 10 face the front and the second fastening grooves 10b face downward, and at the same time, the remaining three pickup blocks 10 are adjusted. The second fastening groove (10b) formed in the front toward the front and the first fastening groove (10a) is adjusted upward of the pick-up block so that the support rod 12 in the fastening groove formed in each pickup block (10) When the small diameter portion 12a is positioned and the fixing piece 13 removed from the elevating plate 2 is fastened again with the bolt 14, the pickup block 10 does not flow left and right on the shaft 9 as shown in FIG. 3B. Do not.
이와 같이 각 픽업블럭(10)에 형성된 제 1, 2 체결홈(10a)(10b)을 지지봉(12)에 형성된 소경부(12a)에 끼우면 상기 소경부의 폭(R)이 픽업블럭(10)의 폭(B)과 같거나, 픽업블럭이 유동되지 않을 정도로 약간 크게 형성되어 있으므로 이송판(1)의 이동시 축(9)에 끼워진 픽업블럭(10)이 일정간격을 유지하게 된다.As such, when the first and second fastening grooves 10a and 10b formed in each pickup block 10 are inserted into the small diameter portion 12a formed in the support rod 12, the width R of the small diameter portion is equal to the pickup block 10. It is equal to the width (B) of, or is formed so large that the pickup block does not flow, so that the pickup block 10 fitted to the shaft (9) during the movement of the transfer plate 1 maintains a constant interval.
이에 따라 이송판(1)이 고객트레이(6)의 직하방으로 이동하여 한꺼번에 8개의 소자를 흡착이송시킬 수 있게 된다.As a result, the transfer plate 1 moves directly under the customer tray 6, thereby allowing the transfer of eight elements at once.
한편, 상기한 바와 같이 한꺼번에 8개의 소자를 흡착하여 이송시키다가 고객트레이에 담겨진 11개의 소자를 동시에 흡착 이송시키고자 할 경우에는 픽업블럭(10)의 제 1, 2 체결홈(10a)(10b)에 끼워져 있던 지지봉(12)을 승강판(2)으로 분리한 다음 축(9)에 끼워진 픽업블럭(10)의 위치를 조절하여 도 3a와 같이 흡착패드(11a)가 하부를 향하도록 픽업블럭의 위치를 조절한 후 각 픽업블럭(10)의 제 1 체결홈(10a)내에 지지봉(12)의 소경부(12a)가 위치되도록 상기 지지봉(12)을 승강판(2)에 고정하므로써, 고객트레이에 담겨져 있던 11개의 소자를 동시에 흡착할 수 있게 되는 것이다.On the other hand, as described above, when the eight elements are adsorbed and transported at the same time, the first and second fastening grooves 10a and 10b of the pickup block 10 are to be adsorbed and transported at the same time to eleven elements contained in the customer tray. The support rod 12 inserted into the lifting plate 2 is separated, and then the position of the pickup block 10 fitted to the shaft 9 is adjusted so that the suction pad 11a faces downward as shown in FIG. 3A. After adjusting the position, by fixing the support rod 12 to the lifting plate 2 so that the small diameter portion 12a of the support rod 12 is located in the first fastening groove 10a of each pickup block 10, the customer tray The eleven elements contained in it can be adsorbed simultaneously.
도 5는 소자의 크기에 따라 픽업의 간격을 가변시킨 상태의 정면도로써, 지지봉(12)에 형성되는 소경부(12a)의 간격은 일정하게 유지시키면서 대경부(12b)의 길이(P)를 가변시켜 픽업블럭(10)의 구조를 변경하지 않고도 픽업(11)의 피치(S)를 가변시킨 것이다.FIG. 5 is a front view of a state in which pickup intervals are varied according to sizes of elements, and the length P of the large-diameter portion 12b is variable while maintaining a constant interval between the small-diameter portions 12a formed in the supporting rod 12. In this way, the pitch S of the pickup 11 is varied without changing the structure of the pickup block 10.
이상에서와 같이 본 고안은 고객트레이에 담겨지는 소자의 갯수에 따라 승강판에 고정된 축에 복수개의 픽업블럭을 회전가능하게 조립한 다음 필요에 따라 픽업블럭의 위치만을 가변시키면 되므로 1개의 픽커를 이용하여 이송하기 위한 소자의 갯수가 달라지더라도 적용가능하게 된다.As described above, according to the present invention, a plurality of pickup blocks can be rotatably assembled on an axis fixed to the lifting plate according to the number of elements contained in the customer tray, and then only one picker can be changed as needed. Even if the number of elements to be transferred by using is changed, it becomes applicable.
또한, 지지봉에 형성되는 소경부의 피치를 가변시킴에 따라 축에 결합되는 픽업의 피치가 가변되도록 구성되어 있어 고객트레이에 담겨지는 소자의 피치가 달라질 경우에도 소경부의 피치가 다른 지지봉으로 교체하여 주면 되므로 픽커를 호환성있게 사용가능하게 되고, 이에 따라 이송하고자 하는 소자의 크기 및 갯수에 따라 픽커의 교체작업을 신속하게 진행하게 되므로 고가장비의 가동률을 증대시키게 된다.In addition, the pitch of the pick-up coupled to the shaft is variable by varying the pitch of the small diameter portion formed in the support rod, so even if the pitch of the element contained in the customer tray is changed, the pitch of the small diameter portion is replaced with another support rod Since the picker can be used interchangeably, according to the size and number of elements to be transferred, the picker can be quickly replaced, thereby increasing the operation rate of expensive equipment.
Claims (4)
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019960060663U KR200158833Y1 (en) | 1996-12-28 | 1996-12-28 | Pick-up handler unit |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019960060663U KR200158833Y1 (en) | 1996-12-28 | 1996-12-28 | Pick-up handler unit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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|---|---|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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-
1996
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
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