KR200158833Y1 - Pick-up handler unit - Google Patents

Pick-up handler unit Download PDF

Info

Publication number
KR200158833Y1
KR200158833Y1 KR2019960060663U KR19960060663U KR200158833Y1 KR 200158833 Y1 KR200158833 Y1 KR 200158833Y1 KR 2019960060663 U KR2019960060663 U KR 2019960060663U KR 19960060663 U KR19960060663 U KR 19960060663U KR 200158833 Y1 KR200158833 Y1 KR 200158833Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pickup
shaft
lifting plate
plate
picker
Prior art date
Application number
KR2019960060663U
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR19980047507U (en
Inventor
김두철
Original Assignee
정문술
미래산업주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정문술, 미래산업주식회사 filed Critical 정문술
Priority to KR2019960060663U priority Critical patent/KR200158833Y1/en
Publication of KR19980047507U publication Critical patent/KR19980047507U/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200158833Y1 publication Critical patent/KR200158833Y1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Abstract

본 고안은 수평식핸들러에서 복수개의 소자 상면을 동시에 흡착하여 이송시키는 픽커(picker)에 관한 것으로 이송하기 위한 소자의 수량에 따라 승강판의 구조를 변경하지 않고도 픽업의 갯수를 간단하게 가변시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a picker for simultaneously absorbing and transporting a plurality of element surfaces in a horizontal handler, so that the number of pickups can be easily changed without changing the structure of the lifting plate according to the number of elements to be transported. It is.

이를 위해, 프레임에 지지된 가이드레일을 따라 X-Y방향으로 이동하는 이송판(1)과, 상기 이송판에 LM가이더(3)로 결합되어 이송판에 설치된 실린더(7)의 구동에 따라 승강운동하는 승강판(2)과, 상기 승강판에 설치되어 소자의 상면을 흡착하는 복수개의 픽업(11)으로 구성된 것에 있어서, 상기 승강판에 고정된 축(9)과, 상기 축에 회전가능하게 끼워지는 삽입공 및 제 1,2 결합홈(10a)(10b)이 형성되고 일측에는 픽업이 결합되는 복수개의 픽업블럭(10)과, 상기 축의 일측에 위치되게 승강판에 고정되어 픽업블럭에 형성된 제 1,2 결합홈이 선택적으로 끼워지는 지지봉(12)과, 상기 축에 끼워진 복수개의 픽업블럭이 좌우로 유동되지 않도록 하는 유동방지수단으로 구성하여서 된 것이다.To this end, the transfer plate (1) moving in the XY direction along the guide rail supported on the frame and the LM guider (3) coupled to the transfer plate to move up and down by driving the cylinder (7) installed on the transfer plate A lifting plate 2 and a plurality of pickups 11 mounted on the lifting plate to suck the upper surface of the element, the shaft 9 fixed to the lifting plate and rotatably fitted to the shaft. Insertion holes and first and second coupling grooves 10a and 10b are formed and a plurality of pickup blocks 10 to which pickups are coupled to one side, and a first fixed to the elevating plate positioned on one side of the shaft, are formed on the pickup block. , 2 support grooves to which the coupling groove is selectively fitted, and a plurality of pickup blocks fitted to the shaft to prevent flow to prevent the flow from side to side.

Description

수평식핸들러의 소자흡착용 픽커Picker for element adsorption of horizontal handler

본 고안은 수평식핸들러에서 복수개의 소자 상면을 동시에 흡착하여 이송시키는 픽커(picker)에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 이송하기 위한 소자의 수량에 따라 승강판의 구조를 변경하지 않고도 픽업의 갯수를 간단하게 가변시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a picker for simultaneously absorbing and transporting a plurality of element tops in a horizontal handler. More specifically, the number of pickups can be changed without changing the structure of the lifting plate according to the number of elements to be transported. It is simply to make it variable.

근래에는 부품의 경박단소화 추세에 따라 반도체소자(이하 소자라함) 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 있는데, 그 중 대표적인 소자가 TSOP(Thin Small Outline Package)이다.Recently, semiconductor devices (hereinafter, referred to as devices) have also gradually become thinner according to the trend of lighter and shorter parts. Among them, a representative device is a thin small outline package (TSOP).

상기 TSOP(Thin Small Outline Package)는 그 두께가 약 1mm정도로써, 제조 공정에서 생산 완료하여 성능을 검사하는 테스트공정간에 취급부주의 등으로 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 테스트트레이에 로딩시 또는 테스트중 소자에 충격이 하개지지 않도록 세심한 주의를 하여야 된다.The thin small outline package (TSOP) has a thickness of about 1 mm, and when the impact is applied to the upper or lower surface due to carelessness or the like during the test process of producing the product in the manufacturing process and checking the performance, the characteristics of the device are deteriorated and applied. If the impact is severe, the molded chip is broken, so care must be taken to avoid impact on the device during loading into the test tray or during testing.

따라서 TSOP타입의 소자를 검사하기 위해서는 소자의 이송시 충격이 가해지지 않도록 소자를 금속재의 테스트트레이상에 다수개 로딩하여 수평이송시키면서 테스트를 실시한 다음 테스트결과에 따라 분류하여 합성수지재의 트레이(이하 고객트레이라 함)에 언로딩하는 수평식핸들러를 이용하게 된다.Therefore, in order to inspect TSOP type devices, test them by horizontally transporting a plurality of devices over a test tray of metal material so as not to be impacted when transferring them, and then classify them according to the test results. To use the horizontal handler unloading.

테스트전에 소자가 담겨져 보관되거나, 공정간 소자의 이송시 사용되는 고객트레이에는 소자가 담겨지는 요입홈이 형성되는데, 상기 요입홈은 단지 소자가 담겨져 고객트레이로 부터 이탈되지 않도록 하는 역할만을 하면 족하므로 정밀가공되지 않는다.Before the test, the device is stored in the customer tray, or used in the transfer of the device between the process is formed in the recessed groove containing the device, the recessed groove is sufficient to play the role that only the device is contained so as not to escape from the customer tray It is not precision machined.

따라서 상기 고객트레이내에 담겨진 소자를 픽업이 흡착하여 테스트트레이에 로딩할 경우에는 픽업에 흡착된 소자의 위치가 각각 달라 테스트트레이에 형성된 정위치에 로딩되지 않으므로 소자의 위치를 재정렬하여야만 된다.Therefore, when the pickup absorbs the elements contained in the customer tray and loads them into the test tray, the positions of the elements absorbed by the pickup are different so that they are not loaded at the correct positions formed in the test tray.

이에 따라 수평식핸들러에서는 소자흡착용 픽커를 구비하여야 된다.Accordingly, the horizontal handler should be equipped with a picker for element adsorption.

도 1은 종래의 픽커를 나타낸 정면도로써, 프레임에 설치된 가이드레일을 따라 X-Y방향으로 이동하는 이송판에 실린더의 구동에 따라 승강운동하는 승강판이(2)이 LM가이드에 의해 결합되어 있고 상기 승강판에 고정된 복수개의 지지판(4)에는 픽업(5)이 각각 고정되어 있다.1 is a front view showing a conventional picker, a lifting plate (2) for lifting in accordance with the driving of the cylinder to the transfer plate moving in the XY direction along the guide rail installed in the frame is coupled by the LM guide Pickups 5 are respectively fixed to the plurality of support plates 4 fixed to the support plates 4.

상기 지지판(4)에 고정되는 픽업(5)의 피치(S)는 고객트레이(6)에 형성된 요입홈(6a)의 중심간 거리이다.The pitch S of the pickup 5 fixed to the support plate 4 is the distance between the centers of the recesses 6a formed in the customer tray 6.

따라서 이송판이 고객트레이(6)의 직하방으로 이송된 상태에서 실린더가 구동하여 승강판(2)을 하강시키면 지지판(4)에 고정된 복수개의 픽업(5) 저면이 요입홈(6a)내에 담겨진 소자(8)의 상면과 접속된다.Accordingly, when the cylinder is driven and the lifting plate 2 is lowered while the transfer plate is transferred directly below the customer tray 6, the bottoms of the plurality of pickups 5 fixed to the support plate 4 are contained in the recesses 6a. It is connected with the upper surface of the element 8.

이러한 상태에서 픽업(5)에 진공압이 걸리면 요입홈(6a)내에 담겨진 소자(8)가 픽업에 흡착되므로 전술한 바와는 역순으로 실린더에 의해 승강판(2)이 상승됨과 동시에 이송판이 X-Y방향으로 이동하여 위치결정블럭(도시는 생략함)의 상면에 위치되므로 소자의 흡착시와 마찬가지로 승강판(2)이 하강한 다음 진공압을 해제하여 픽업(5)에 흡착된 소자를 위치결정블럭의 홈내에 위치시키므로써, 소자가 위치 결정된다.When the vacuum pressure is applied to the pickup 5 in such a state, the element 8 contained in the recess 6a is attracted to the pickup, so that the lifting plate 2 is lifted by the cylinder in the reverse order as described above, and the transfer plate is in the XY direction. Move to the upper surface of the positioning block (not shown), so that the lifting plate 2 is lowered as in the case of adsorption of the element, and then the vacuum pressure is released to release the element adsorbed to the pickup 5. By positioning in the groove, the element is positioned.

그러나 이러한 종래의 픽커는 픽업의 위치를 가변시키지 못하도록 되어 있어 픽커의 설계시 피치 및 소자의 흡착갯수가 결정되므로 장착된 픽업보다 적은 양의 소자만을 고객트레이에서 흡착하여 위치결정블럭측으로 이송시키고자 할 경우에는 사용하지 않는 픽업의 진공라인을 폐쇄시켜야 되지만, 통상 전체의 장비를 공장내에 설치된 진공라인을 이용하여 제어하기 때문에 불가능하게 되는 문제점이 있었다.However, since the picker cannot change the position of the pickup, the pitch and the number of adsorption of the elements are determined in the design of the picker. Therefore, only a small amount of the element is picked up from the customer tray and transferred to the positioning block. In this case, it is necessary to close the vacuum line of the unused pickup, but there is a problem in that it is impossible to control the entire equipment by using the vacuum line installed in the factory.

또한, 일정 피치를 갖는 고객트레이에 알맞게 설계된 픽커를 이용하여 소자를 흡착이송하다가 피치가 다른 고객트레이에 담겨진 소자를 이송시키고자 할 경우에는 픽커의 전체를 재설계하여 가공하여야 되었으므로 신속한 작업이 불가능하게 되는 문제점도 있었다.In addition, if you want to transfer the device contained in the customer tray with the different pitch by using the picker designed for the customer tray with a certain pitch, you need to redesign the entire picker and process it. There was also a problem.

본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 그 구조를 개선하여 승강판에 설치되는 픽업을 소자의 크기(피치)에 구애받지 않고 필요한 갯수만큼 흡착하여 이송시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve such a problem in the prior art, and the structure is improved so that the pickup installed on the elevating plate can be adsorbed and transported as many as necessary regardless of the size (pitch) of the element. There is a purpose.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 프레임에 지지된 가이드레일을 따라 X-Y방향으로 이동하는 이송판과, 상기 이송판에 LM가이더로 결합되어 이송판에 설치된 실린더의 구동에 따라 승강운동하는 승강판과, 상기 승강판에 설치되어 소자의 상면을 흡착하는 복수개의 픽업으로 구성된 것에 있어서, 상기 승강판에 고정된 축과, 상기 축에 끼워지는 삽입공과 제 1,2 결합홈이 형성되고 일측에는 픽업이 결합되는 픽업블럭과, 상기 축의 일측에 위치되게 승강판에 고정되어 픽업블럭에 형성된 제 1,2 결합홈이 선택적으로 끼워지는 지지봉과, 상기 축에 끼워진 복수개의 픽업블럭이 좌우로 유동되지 않도록 하는 유동방지수단으로 구성된 수평식핸들러의 소자흡착용 픽커가 제공된다.According to a form of the present invention for achieving the above object, the lifting plate moving in the XY direction along the guide rail supported on the frame, and the lifting plate is coupled to the transfer plate by the drive of the cylinder installed on the transfer plate And a plurality of pickups mounted on the elevating plate to adsorb the upper surface of the device, wherein the shaft fixed to the elevating plate, the insertion hole fitted to the shaft and the first and second coupling grooves are formed. At one side, a pickup block to which the pickup is coupled, a support rod to be selectively fitted to the first and second coupling grooves formed on the pickup block and fixed to the lifting plate to be positioned at one side of the shaft, and a plurality of pickup blocks fitted to the shaft from side to side There is provided a picker for element adsorption of a horizontal handler configured to prevent flow.

도 1은 종래의 픽커를 나타낸 정면도1 is a front view showing a conventional picker

도 2는 본 고안의 요부를 일부 분해하여 나타낸 사시도Figure 2 is a perspective view showing a part of the main part of the subject innovation

도 3a 및 도 3b는 도 2의 결합상태 정면도로써,3A and 3B are front views of the coupled state of FIG. 2,

도 3a는 승강판에 장착된 전체의 픽업을 이용하여 소자를 흡착하는 상태도3A is a diagram illustrating a state in which an element is sucked by using a whole pickup mounted on a lifting plate

도 3b는 승강판에 장착된 픽업중 일부의 픽업만을 이용하여 소자를 흡착하는 상태도3B is a diagram illustrating a state in which an element is sucked using only a part of pickups mounted on a lifting plate;

도 4는 도 3a의 A-A선 단면도4 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 3A

도 5는 소자의 크기에 따라 픽업의 간격을 가변시킨 상태의 정면도.5 is a front view of a state in which the interval of pickup is varied according to the size of the element.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 이송판 2 : 승강판1: transfer plate 2: lifting plate

7 : 실린더 9 : 축7 cylinder 9: axis

10 : 픽업블럭 10a : 제 1결합홈10: pickup block 10a: the first coupling groove

10b : 제 2 결합홈 11 : 픽업10b: second coupling groove 11: pickup

12 : 지지봉 12a : 소경부12: support rod 12a: small diameter portion

이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 첨부된 도 2 내지 도 5를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying Figures 2 to 5 showing an embodiment of the present invention in more detail as follows.

도 2는 본 고안의 요부를 일부 분해하여 나타낸 사시도이고 도 3a 및 도 3b는 도 2의 정면도이며 도 4는 도 3a의 A-A선 단면도로써,. 본 고안은 프레임(도시는 생략함)에 지지된 가이드레일을 따라 W-Y방향으로 이동하는 이송판(1)에 실린더(7)의 구동에 따라 승강운동하는 승강판(2)이 LM가이더(3)로 결합되어 있고 상기 승강판(2)에는 길이방향으로 기다란 축(9)이 고정되어 있으며 상기 축에는 복수개의 픽업블럭(10)이 회전가능하게 끼워져 있다.Figure 2 is a perspective view showing a partially exploded portion of the subject innovation, Figures 3a and 3b is a front view of Figure 2 and Figure 4 is a cross-sectional view taken along line A-A of Figure 3a. According to an embodiment of the present invention, an elevating plate 2 which moves up and down in accordance with the driving of a cylinder 7 is moved to a conveying plate 1 moving in the WY direction along a guide rail supported by a frame (not shown). It is coupled to the elevating plate 2 is fixed to the longitudinal axis 9 in the longitudinal direction is fixed to the plurality of pickup block 10 is rotatably fitted.

상기 각 픽업블럭(10)에는 소자의 상면을 흡착하는 픽업(11)이 고정되어 있고 양측면에는 제 1,2 결합홈(10a)(10b)이 90°위상차를 갖도록 형성되어 있으며 상기 축의 일측에 위치되는 승강판(2)에는 픽업블럭(10)에 형성된 제 1,2 결합홈(10a)(10b)이 선택적으로 끼워지는 지지봉(12)이 고정되어 있는데, 상기 지지봉(12)의 양단은 고정편(13)이 보울트(14)에 의해 승강판(2)이 체결되므로 지지된다.Each pickup block 10 is fixed with a pickup 11 for adsorbing the upper surface of the device, and the first and second coupling grooves 10a and 10b are formed on both sides so as to have a 90 ° phase difference, and located on one side of the shaft. The lifting plate 2 is fixed to the support rods 12 to which the first and second coupling grooves 10a and 10b formed in the pickup block 10 are selectively fitted, and both ends of the support rods 12 are fixed pieces. 13 is supported because the lifting plate 2 is fastened by the bolt 14.

상기 축(9)에 끼워진 복수개의 픽업블럭(10)은 유동방지수단에 의해 축(9)에서 좌우로 유동되지 않는다.The plurality of pickup blocks 10 fitted to the shaft 9 do not flow from side to side on the shaft 9 by flow preventing means.

본 고안의 일 실시예에서는 상기 지지봉(12)에 픽업블럭(10)의 폭과 동일하고 제 1,2 결합홈(10a)(10b)의 폭보다 직경이 작은 소경부(12a)를 형성하여 상기 소경부에 픽업블럭(10)에 형성된 제 1,2 결합홈(10a)(10b)중 어느 하나의 결합홈이 끼워져 픽업블럭의 간격이 유지되도록 하므로써, 상기 지지봉(12)이 유동방지수단의 역할을 하게 된다.In one embodiment of the present invention by forming a small diameter portion (12a) the same as the width of the pickup block 10 in the support rod 12 and the diameter smaller than the width of the first and second coupling grooves (10a) (10b) The supporting rod 12 serves as a flow preventing means by inserting one of the first and second coupling grooves 10a and 10b formed in the pickup block 10 into the small diameter part so that the interval between the pickup blocks is maintained. Will be

이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 도 2 및 도 3a에 나타난 바와 같이 축(9)에 11개의 픽업블럭(10)을 끼운 상태에서 8개의 픽업(11)만을 이용하여 소자를 흡착이송시키고자 할 경우에는 승강판(2)에 보울트(14)로 체결되어 있던 고정편(13)을 분리시킨 다음 승강판(2)으로 부터 지지봉(12)을 빼낸다.First, as shown in FIG. 2 and FIG. 3A, in the state in which the eleven pickup blocks 10 are inserted into the shaft 9, the elevating plate 2 is used when the element is to be sucked and transferred using only the eight pickups 11. The fixing piece 13 which was fastened to the bolt 14 was removed, and then the support rod 12 was removed from the lifting plate 2.

그후, 8개의 픽업블럭(10)에 형성된 제 1 체결홈(10a)이 전방을 향하고 제 2 체결홈(10b)은 하방을 향하도록 픽업블럭의 위치를 조절함과 동시에 나머지 3개의 픽업블럭(10)에 형성된 제 2 체결홈(10b)이 전방을 향하고 제 1 체결홈(10a)은 상방을 향하도록 픽업블럭의 위치를 조절한 다음 각 픽업블럭(10)에 형성된 체결홈내에 지지봉(12)의 소경부(12a)를 위치시키고 승강판(2)에서 분리하였던 고정편(13)을 보울트(14)로 다시 체결하여 주면 도 3b와 같이 픽업블럭(10)이 축(9)에서 좌우로 유동되지 않는다.Thereafter, the first fastening grooves 10a formed in the eight pickup blocks 10 face the front and the second fastening grooves 10b face downward, and at the same time, the remaining three pickup blocks 10 are adjusted. Position of the pickup block so that the second fastening groove (10b) formed in the forward direction and the first fastening groove (10a) is upward, and then in the fastening grooves formed in the respective pickup blocks (10) When the small diameter portion 12a is positioned and the fixing piece 13 removed from the elevating plate 2 is fastened again with the bolt 14, the pickup block 10 does not flow left and right on the shaft 9 as shown in FIG. 3B. Do not.

이와 같이 각 픽업블럭(10)에 형성된 제 1,2 체결홈(10a)(10b)을 지지봉(12)에 형성된 소경부(12a)에 끼우면 상기 소경부의 폭(R)이 픽업블럭(10)의 폭(B)과 같거나, 픽업블럭이 유동되지 않을 정도로 약간 크게 형성되어 있으므로 이송판(1)의 이동시 축(9)에 끼워진 픽업블럭(10)이 일정간격을 유지하게 된다.As such, when the first and second fastening grooves 10a and 10b formed in each pickup block 10 are inserted into the small diameter portion 12a formed in the support rod 12, the width R of the small diameter portion is increased in the pickup block 10. It is equal to the width (B) of, or is formed so large that the pickup block does not flow, so that the pickup block 10 fitted to the shaft (9) during the movement of the transfer plate 1 maintains a constant interval.

이에 따라 이송판(1)이 고객트레이(6)의 직하방으로 이동하여 한꺼번에 8개의 소자를 흡착이송시킬 수 있게 된다.As a result, the transfer plate 1 moves directly under the customer tray 6, thereby allowing the transfer of eight elements at once.

한편, 상기한 바와 같이 한꺼번에 8개의 소자를 흡착하여 이송시키다가 고객트레이에 담겨진 11개의 소자를 동시에 흡착 이송시키고자 할 경우에는 픽업블럭(10)의 제 1,2 체결홈(10a)(10b)에 끼워져 있던 지지봉(12)을 승강판(2)으로 분리한 다음 축(9)에 끼워진 픽업블럭(10)의 위치를 조절하여 도 3a와 같이 흡착패드(11a)가 하부를 향하도록 픽업블럭의 위치를 조절한 후 각 픽업블럭(10)의 제 1 체결홈(10a)내에 지지봉(12)의 소경부(12a)가 위치되도록 상기 지지봉(12)을 승강판(2)에 고정하므로써, 고객트레이에 담겨져 있던 11개의 소자를 동시에 흡착할 수 있게 되는 것이다.On the other hand, as described above, if the eight elements are adsorbed and transported at the same time, and the eleven elements contained in the customer tray are to be adsorbed and transported at the same time, the first and second fastening grooves 10a and 10b of the pickup block 10. The support rod 12 inserted into the lifting plate 2 is separated, and then the position of the pickup block 10 fitted to the shaft 9 is adjusted so that the suction pad 11a faces downward as shown in FIG. 3A. After adjusting the position, by fixing the support rod 12 to the lifting plate 2 so that the small diameter portion 12a of the support rod 12 is located in the first fastening groove 10a of each pickup block 10, the customer tray The eleven elements contained in it can be adsorbed simultaneously.

도 5는 소자의 크기에 따라 픽업의 간격을 가변시킨 상태의 정면도로써, 지지봉(12)에 형성되는 소경부(12a)의 간격은 일정하게 유지시키면서 대경부(12b)의 길이(P)를 가변시켜 픽업블럭(10)의 구조를 변경하지 않고도 픽업(11)의 피치(S)를 가변시킨 것이다.FIG. 5 is a front view of a state in which pickup intervals are varied according to sizes of elements, and the length P of the large-diameter portion 12b is variable while maintaining a constant interval between the small-diameter portions 12a formed in the supporting rod 12. In this way, the pitch S of the pickup 11 is varied without changing the structure of the pickup block 10.

이상에서와 같이 본 고안은 고객트레이에 담겨지는 소자의 갯수에 따라 승강판에 고정된 축에 복수개의 픽업블럭을 회전가능하게 조립한 다음 필요에 따라 픽업블럭의 위치만을 가변시키면 되므로 1개의 픽커를 이용하여 이송하기 위한 소자의 갯수가 달라지더라도 적용가능하게 된다.As described above, according to the present invention, a plurality of pickup blocks can be rotatably assembled on an axis fixed to the lifting plate according to the number of elements contained in the customer tray, and then only one picker can be changed as needed. Even if the number of elements to be transferred by using is changed, it becomes applicable.

또한, 지지봉에 형성되는 소경부의 피치를 가변시킴에 따라 축에 결합되는 픽업의 피치가 가변되도록 구성되어 있어 고객트레이에 담겨지는 소자의 피치가 달라질 경우에도 소경부의 피치가 다른 지지봉으로 교체하여 주면 되므로 픽커를 호환성있게 사용가능하게 되고, 이에 따라 이송하고자 하는 소자의 크기 및 갯수에 따라 픽커의 교체작업을 신속하게 진행하게 되므로 고가장비의 가동률을 증대시키게 된다.In addition, the pitch of the pick-up coupled to the shaft is variable by varying the pitch of the small diameter portion formed in the support rod, so even if the pitch of the element contained in the customer tray is changed, the pitch of the small diameter portion is replaced with another support rod Since the picker can be used interchangeably, according to the size and number of elements to be transferred, the picker can be quickly replaced, thereby increasing the operation rate of expensive equipment.

Claims (4)

프레임에 지지된 가이드레일을 따라 X-Y방향으로 이동하는 이송판(1)과, 상기 이송판에 LM 가이더(3)로 결합되어 이송판에 설치된 실린더(7)의 구동에 따라 승강운동하는 승강판(2)과, 상기 승강판에 설치되어 소자의 상면을 흡착하는 복수개의 픽업(11)으로 구성된 것에 있어서, 상기 승강판에 고정된 축(9)과, 상기 축에 회전가능하게 끼워지는 삽입공(10c)과 제 1,2 결합홈(10a)(10b)이 형성되고 일측에는 픽업이 결합되는 복수개의 픽업블럭(10)과, 상기 축의 일측에 위치되게 승강판에 고정되어 픽업블럭에 형성된 제 1,2 결합홈이 선택적으로 끼워지는 지지봉(12)과, 상기 축에 끼워진 복수개의 픽업블럭이 좌우로 유동되지 않도록 하는 유동방지 수단으로 구성된 수평식핸들러의 소자흡착용 픽커.A lifting plate 1 moving in the XY direction along the guide rail supported by the frame, and a lifting plate coupled to the transfer plate by an LM guider 3 to move up and down by driving the cylinder 7 installed on the transfer plate ( 2) and a plurality of pickups 11 mounted on the elevating plate to suck the upper surface of the element, the shaft 9 fixed to the elevating plate and an insertion hole rotatably fitted to the shaft ( 10c) and first and second coupling grooves 10a and 10b are formed and a plurality of pickup blocks 10 to which pickups are coupled to one side, and a first fixed to the lifting plate positioned on one side of the shaft, are formed on the pickup block. 2, Pickers for horizontal adsorption of the horizontal handler consisting of a support rod 12, the coupling groove is selectively fitted, and a flow preventing means for preventing the plurality of pickup blocks fitted to the shaft does not flow from side to side. 제 1 항에 있어서, 유동방지수단이 픽업블럭(10)의 폭과 동일하고 제 1,2 결합홈(10a)(10b)의 폭보다 좁은 소경부(12a)를 갖는 지지봉(12)임을 특징으로 하는 수평식핸들러의 소자흡착용 픽커.The method of claim 1, wherein the flow preventing means is characterized in that the support rod 12 having a small diameter portion 12a equal to the width of the pickup block 10 and narrower than the width of the first and second coupling grooves 10a and 10b. Picker for element adsorption of horizontal handler. 제 1 항에 있어서, 픽업블럭(10)에 형성되는 제 1,2 결합홈(10a)(10b)이 90° 위상차를 갖도록 하고 승강판(2)에 설치되는 축(9)과 지지봉(12)은 평행하게 설치함을 특징으로 하는 수평식핸들러의 소자흡착용 픽커.2. The shaft (9) and the support bar (12) according to claim 1, wherein the first and second coupling grooves (10a) and (10b) formed in the pickup block (10) have a phase difference of 90 degrees and are installed on the elevating plate (2). Picker for adsorption of the horizontal handler, characterized in that the parallel installation. 제 1 항에 있어서, 지지봉을 승강판(2)에 고정편(13)으로 지지되게 고정함을 특징으로 하는 수평식핸들러의 소자흡착용 픽커.2. The picker for element adsorption of a horizontal handler according to claim 1, wherein the supporting rod is fixed to the lifting plate (2) so as to be supported by a fixing piece (13).
KR2019960060663U 1996-12-28 1996-12-28 Pick-up handler unit KR200158833Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019960060663U KR200158833Y1 (en) 1996-12-28 1996-12-28 Pick-up handler unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019960060663U KR200158833Y1 (en) 1996-12-28 1996-12-28 Pick-up handler unit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980047507U KR19980047507U (en) 1998-09-25
KR200158833Y1 true KR200158833Y1 (en) 1999-10-15

Family

ID=19485223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019960060663U KR200158833Y1 (en) 1996-12-28 1996-12-28 Pick-up handler unit

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200158833Y1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100835135B1 (en) * 2007-04-13 2008-06-04 (주)제이티 Tool for transferring semiconductor device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101045029B1 (en) * 2009-08-21 2011-07-01 주식회사 포틱스 Cell Wafer Picker

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100835135B1 (en) * 2007-04-13 2008-06-04 (주)제이티 Tool for transferring semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
KR19980047507U (en) 1998-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100248704B1 (en) Device for adjusting spacing of semiconductor device in tester
US6048259A (en) Wafer loading and unloading mechanism for loading robot
KR100349942B1 (en) Rambus handler
KR101139371B1 (en) Panel display clamping apparatus and transfering and inspecting apparatuses having the same
US20060272987A1 (en) Transfer mechanism and transfer method of semiconductor package
JP2774264B2 (en) Device loading / unloading device for semiconductor device inspection machine
KR101424017B1 (en) Substrate inspection apparatus
KR100822995B1 (en) Pick and place unit in singulation handler
KR102019377B1 (en) Sawing Apparatus of Semiconductor Materials
KR101017711B1 (en) Driving gripper, automatic processing apparatus comprising the same and material transfer method using the same
KR100814448B1 (en) dry system of semiconductor package
KR200158833Y1 (en) Pick-up handler unit
KR100596739B1 (en) Loader hand of test handler
KR101069742B1 (en) Pick and place apparatus
KR20190002303A (en) Hand of industrial robot and industrial robot
KR20000002851U (en) Handler for Semiconductor Package Transfer
KR102235451B1 (en) Pitch control apparatus and pick-up device for semiconductor having the same
KR100721529B1 (en) reversing apparatus for semiconductor package
KR100190926B1 (en) Lead-frame unloading apparatus
KR100262270B1 (en) Device for loading and unloading semiconductor device into test tray in horizontal-type handler and method thereof
KR100396982B1 (en) Table Device For Loading The Semiconductor Package
TW201806839A (en) Apparatus and method for sorting dual substrates
KR100312080B1 (en) Buffer Driving Apparatus of Handler
KR100287556B1 (en) device for transferning movable track in horizontal-type handler
KR100451050B1 (en) Semiconductor Device Loading Apparatus of Test Handler

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090702

Year of fee payment: 11

LAPS Lapse due to unpaid annual fee