KR19980036667A - Magnetic Head Manufacturing Method - Google Patents
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Abstract
[목적][purpose]
본 발명은 자기헤드의 갭간격이 정확히 형성되도록 함으로써 자기헤드의 고주파 기록 및 고정밀도의 기록 등이 개선되도록 한 것이다.The present invention is to improve the high-frequency recording, high-precision recording, etc. of the magnetic head by accurately forming the gap interval of the magnetic head.
[구성][Configuration]
본 발명은 제2반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래팽되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제2반체코어의 페라이트 코어에 권선구가 형성되는 권선구공정과, 상기 권선구가 형성된 제2반체코어에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어에 제1연질자성막, 절연막, 제2연질자성막, 저융점 글래스부 순서로 플라지마 스퍼터링에 의하여 다층의 갭막이 증착되는 증착공정과, 상기 갭막이 증착된 제2반체코어에 자기헤드 갭의 깊이인 뎁스가 형성되는 뎁스공정과, I 코어인 제1반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제1반체코어의 갭 대향면에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면이 마주보도록 글래스로 접합되는 용착공정과, 상기 용착되어 접합된 제1반체코어와 제2반체코어가 습동면이 연마되는 연마공정 및 상기 습동면이 연마된 페라이트 코어가 슬라이싱되는 슬라이싱 공정으로 되는 것이다.The present invention relates to a lapping process of lapping a gap facing surface of which a second half core is a joint surface, a winding hole process of forming a winding hole in a ferrite core of the wrapped second half core core, and a second half core having the winding hole formed therein. Regulated groove process for forming a track regulation groove on the substrate, and a plasma sputtering in the order of the first soft magnetic film, the insulating film, the second soft magnetic film, and the low melting glass part in the second half core in which the track control groove is formed. A deposition process in which a gap film is deposited, a depth process in which a depth that is a depth of a magnetic head gap is formed in a second half core on which the gap film is deposited, and a gap facing surface where the first half core of I core is a bonding surface A lapping process, a regulating groove process in which a track regulation groove is formed on a gap facing surface of the wrapped first half core, and a second half core in which the depth is formed and a first half core in which the track regulation groove is formed Wrapping surfaces while fitting tracks This is a welding process in which glass is bonded to face each other, a polishing process in which the first and second half-bonded cores are welded, and a slicing process in which the ferrite cores are polished. .
Description
제 1 도의 (가)는 종래 기술에 따른 자기헤드 평면도,1A is a plan view of a magnetic head according to the prior art,
(나)는 종래 기술에 따른 자기헤드 갭부위 확대도,(B) is an enlarged view of the magnetic head gap region according to the prior art;
제 2 도는 본 발명에 따른 자기헤드의 평면도,2 is a plan view of a magnetic head according to the present invention,
제 3 도는 본 발명에 따른 제 2 도의 갭부위 평면 확대도,3 is an enlarged plan view of the gap region of FIG. 2 according to the present invention;
제 4 도는 본 발명에 따른 제 2 도의 A-A' 절단 단면도,4 is a cross-sectional view taken along line A-A 'of FIG. 2 according to the present invention;
제 5 도는 본 발명에 따른 제 4 도의 갭부위 측면 확대도이다.5 is an enlarged side view of the gap portion of FIG. 4 according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10, 21 : 절연막12 : 에어갭10, 21 insulating film 12 air gap
16, 23 : 가공변질층28 : 저융점 글래스부16, 23: deformed layer 28: low melting glass part
29a : 제1연질자성막29b : 제2연질자성막29a: first soft magnetic film 29b: second soft magnetic film
101 : 제1반체코어102 : 제2반체코어101: first half core 102: second half core
본 발명은 자기헤드와 그의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 자기헤드의 출력이 향상되고 노이즈가 억제되도록 자기헤드의 갭이 정확하게 형성되는 자기헤드의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic head and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a method of manufacturing a magnetic head in which the gap of the magnetic head is accurately formed so that the output of the magnetic head is improved and noise is suppressed.
일반적으로 자기 기록장치는 고포화가 가속화되면서 매체 단위 면적당 기록정보 증대, 즉, 고밀도화가 핵심적인 개선 과제로 되고 있으며, 이 고밀화의 발전은 자성 테이프나 디스크의 매체 성능 개선에 커다란 영향을 미치게 되고, 자성체의 보자력 증대 등의 매체 기술의 진보와 함께 기록, 재생의 주도적 역할을 하는 자기헤드의 자기 기록과 재생 감도의 향상 및 출력개선이 고밀도화를 실현시키는데 가장 중요한 과제로 되고 있다.In general, as the magnetic recording apparatus accelerates high saturation, increasing recording information per unit area of the media, that is, densification becomes a key improvement task. The development of the densification has a great effect on improving the media performance of magnetic tapes or disks. In addition to the advances in media technologies such as increasing the coercive force of magnetic materials, the improvement of the magnetic recording and reproduction sensitivity of the magnetic head, which play a leading role in recording and reproducing, and the improvement of output have become the most important tasks for achieving high density.
제 1 도의 (가)는 종래 기술에 따른 자기헤드 평면도이고, (나)는 종래 기술에 따른 자기헤드 갭부위 확대도이다.1 (a) is a plan view of the magnetic head according to the prior art, and (b) is an enlarged view of the magnetic head gap portion according to the prior art.
제 1 도에서의 종래 기술에 따른 자기헤드는 한쌍의 페라이트 코어로 되는 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)의 갭 대향면 위에 금속자성막이 증착된 후, 산화규소막이 증착되는 자기헤드의 갭막(10)이 형성되고, 자기헤드의 갭막(10)이 형성된 상기 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 서로 맞대어져서 결합된다.In the magnetic head according to the related art in FIG. 1, a metal oxide film is deposited on a gap facing surface of a first half core 101 and a second half core 102 that are a pair of ferrite cores. A gap film 10 of the magnetic head to be deposited is formed, and the first half core 101 and the second half core 102 on which the gap head 10 of the magnetic head are formed are joined to each other.
상기와 같이 맞대어져서 결합되는 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)는 접합되는 경계면에 일정한 규격의 갭간격을 유지하기 위하여 통상 스퍼터링박막제조 방법으로 절연막을 제1반체코어(101) 또는 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)에 코팅한 후 접합한다. 이때의 실질적인 갭간격(18)은 절연막인 갭막(10)과 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 접합됨으로서 자연적으로 형성되는 에어(Air)갭(12) 그리고 접합면 기계가공인 래핑공정중에서 응력의 영향으로 만들어진 특성 열화층인 가공변질층(16)등이 형성된다.As described above, the first half cores 101 and the second half cores 102 that are coupled to each other are bonded to the first half core by using a sputtering thin film manufacturing method in order to maintain a gap gap of a predetermined standard on the interface to be bonded. The air 101 or the first half core 101 and the second half core 102 are coated and then bonded. At this time, the gap gap 18 is formed by joining the gap film 10, which is an insulating film, the first half core 101 and the second half core 102, and the air gap 12 formed naturally. During the lapping process of surface machining, a processing deterioration layer 16 or the like, which is a characteristic deterioration layer made under the influence of stress, is formed.
상기와 같이 되는 자기헤드는 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)로 되는 각각의 블럭에 일정간격으로 트랙 가공을 한 후, 갭막(10)이 이루어지도록 절연체인 산화규소막으로 스퍼터링된다. 상기와 같이 스퍼터링된 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)는 트랙이 서로 마주보도록 위치시키고 적절한 장치와 현미경을 이용하여 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)의 트랙점이 일치되도록 되고, 이후 일정 압력을 가하면서 저융점 봉합용 글라스로 용착하여 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 접합된다.The magnetic head as described above is subjected to track processing on each block of the first half core 101 and the second half core 102 at a predetermined interval, and then silicon oxide as an insulator so that the gap film 10 is formed. Sputtered into the membrane. The sputtered first half core 101 and the second half core 102 are positioned so that the tracks face each other and the first half core 101 and the second half core are made by using a suitable device and a microscope. The track points of the fish 102 are coincident with each other, and then the first half core 101 and the second half core 102 are bonded to each other by welding with a low melting point sealing glass while applying a predetermined pressure.
그러나, 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)의 접합면 가공이 발생되는 가공변질층(16)과, 가공변질층(16)의 래핑조건에 따라 층두께의 불균일과, 기계접합에 따러 에어갭(12)이 생성되거나, 상기 에어갭(12)의 접합압력 블록자세에 따라 변화되는 불균일 등의 문제점이 있기 때문에 고주파 기록 및 고정밀도의 기록을 위한 정확한 갭의 접합 등이 어려운 문제점이 있었다.However, due to the lapping conditions of the processing deformed layer 16 and the processing deformed layer 16 where the bonding surface processing of the first half core 101 and the second half core 102 occurs, The air gap 12 is generated depending on the mechanical joining, or there is a problem such as a nonuniformity that changes according to the joining pressure block posture of the air gap 12. Therefore, the gap is precisely bonded for high frequency recording and high accuracy recording. There was this difficult issue.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 발명의 주된 목적은 자기헤드의 갭간격이 정확히 형성되도록 함으로써 자기헤드의 고주파 기록 및 고정밀도의 기록 등이 개선되도록 한 자기헤드 제조방법에 있는 것이다.Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. The main object of the present invention is to manufacture a magnetic head to improve the high-frequency recording and high-precision recording of the magnetic head by precisely forming a gap gap of the magnetic head. It's in the way.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은 ;Features of the present invention for achieving the above object;
제2반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제2반체코어의 페라이트 코어에 권선구가 형성되는 권선구공정과, 상기 권선구가 형성된 제2반체코어에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어에 제1연질자성막, 절연막, 제2연질자성막, 저융점 글래스부 순서로 플라지마 스퍼터링에 의하여 다층의 갭막이 증착되는 증착공정과, 상기 갭막이 증착된 제2반체코어에 자기헤드 갭의 깊이인 뎁스가 형성되는 뎁스공정과, I 코어인 제1반체코어가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제1반체코어의 갭 대향면에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면이 마주보도록 글래스로 접합되는 융착공정과, 상기 융착되어 접합된 제1반체코어와 제2반체코어가 습동면이 연마되는 연마공정 및 상기 습동면이 연마된 페라이트 코어가 슬라이싱되는 슬라이싱 공정으로 되는 자기헤드 제조방법에 있는 것이다.A lapping step of lapping a gap facing surface where the second half core is a joint surface; a winding step of forming a winding hole in a ferrite core of the wrapped second half core core; and a track regulation on the second half core in which the winding hole is formed. A multi-layered gap film is formed by plasma sputtering in order of a regulation groove process of forming a groove, and a first soft magnetic film, an insulating film, a second soft magnetic film, and a low melting glass part in the second half core in which the track regulation groove is formed. Deposition process to be deposited, Depth process to form the depth of the magnetic head gap in the second half core on which the gap film is deposited, and Lapping process of lapping the gap facing surface of the first half core, the core I And a regulating groove step of forming a track regulating groove on the gap facing surface of the wrapped first half core, and a second half core having the depth and a first half core having the track regulating groove aligned with each other. Lapping side facing Manufacture of a magnetic head comprising a fusion process bonded by rock glass, a polishing process in which the first and second half-bonded cores are polished in sliding surfaces, and a slicing process in which the ferrite cores in which the sliding surfaces are polished are sliced. It's in the way.
이하 첨부도면에 의하여 본 발명에 따른 자기헤드 제조방법의 바람직한 일실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제 2 도는 본 발명에 따른 자기헤드의 평면도이고, 제 3 도는 본 발명에 따른 제 2 도의 갭부위 평면 확대도이고, 제 4 도는 본 발명에 따른 제 2도의 A-A' 절단 단면도이고, 제 5 도는 본 발명에 따른 제 4 도의 갭부위 측면 확대도이다.2 is a plan view of a magnetic head according to the present invention, FIG. 3 is an enlarged plan view of the gap portion of FIG. 2 according to the present invention, FIG. 4 is a sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2 according to the present invention, and FIG. 4 is an enlarged side view of the gap portion of FIG.
본 발명에 따른 자기헤드 제조방법은;Magnetic head manufacturing method according to the present invention;
C 코어인 제2반체코어(102)가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제2반체코어(102)의 페라이트 코어에 권선구가 형성되는 권선구공정과, 상기 권선구가 형성된 제2반체코어(102)에 트랙규체홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어(102)에 제1연질자성막(29a), 절연막(21), 제2연질자성막(29b), 저융점 글래스부(28) 순서로 플라지마 스퍼터링에 의하여 다층의 갭막이 증착되는 증착공정과, 상기 갭막이 증착된 제2반체코어(102)에 자기헤드 갭의 깊이인 뎁스가 형성되는 뎁스공정과, I 코어인 제1반체코어(101)가 접합면인 갭 대향면이 래핑되는 래핑공정과, 상기 래핑된 제1반체코어(101)의 갭 대향면에 트랙규제홈이 형성되는 규제홈공정과, 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어(102)와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어(101)가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면이 마주보도록 글래스로 접합되는 용착공정과, 상기 용착되어 접합된 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 습동면이 연마되는 연마공정 및 상기 습동면이 연마된 페라이트 코어가 슬라이싱되는 슬라이싱 공정으로 되는 것이다.A lapping process of lapping a gap facing surface of the second half core core 102, which is a C core, and a winding end process of forming a winding hole in a ferrite core of the wrapped second half core core 102; A regulating groove process in which a track restricting groove is formed in the second half core core 102 having the recess, and a first soft magnetic film 29a and an insulating film 21 in the second half core core 102 in which the track restricting groove is formed. And a deposition process in which a multilayer gap film is deposited by plasma sputtering in the order of the second soft magnetic film 29b and the low melting glass portion 28, and the magnetic head on the second half core core 102 on which the gap film is deposited. A depth step of forming a depth that is a depth of a gap, a lapping step of lapping a gap facing surface of the first half core core 101 as an I-join, and a gap of the wrapped first half core 101 A regulating groove step of forming a track regulating groove on an opposing surface, and a second half core core 102 having the depth formed therein and a track regulating groove formed therein; A welding process in which the first half cores 101 are bonded to each other by glass so that the lapping surfaces face each other while keeping the tracks together, and the first half cores 101 and the second half cores 102 that are welded and joined are sliding surfaces. The polishing step to be polished and the slicing step of slicing the ferrite core to which the sliding surface is polished is performed.
다음은 상기와 같이 구성된 본 발명의 작동상태에 대해서 설명한다.The following describes the operating state of the present invention configured as described above.
C 코어인 제2반체코어(102)가 접합면인 갭 대향면이 I 코어인 제1반체코어(101)과 접합되도록 접합면이 래핑되고, 상기 래핑된 제2반체코어(102)의 페라이트 코어에 코일이 감기는 권선구가 형성된다. 그리고, 권선구가 형성된 제2반체코어(102)에 자기헤드가 자기테이프에서 정보를 읽고 쓰기 위한 물리적인 폭으로 되는 트랙이 형성되기 위하여 트랙규제홈이 형성된다. 그리고, 상기 트랙규제홈이 형성된 제2반체코어(102)에 제1연질자성막(29a), 절연막(21), 제2연질자성막(29b), 저융점 글래스부(28) 순서로 플라지마 스퍼터링에 의하여 다층의 갭막이 증착되는데, 상기 제1연질자성막(29a)은 래핑에 의한 제2반체코어(102)의 가공변질층(23)과 절연막(21)이 인접하는 것이 방지되도록 된다. 그리고 상기 절연막(21)이 증착된 후에 연속하여 제2연질자성막(29b)이 증착됨으로써, 상기 제2반체코어에 I 코어인 제1반체코어(101) 및 C 코어인 제2반체코어(102)가 결합될 때, 가공변질층(23) 위에 기계적인 접합에 의하여 발생되는 에어갭(22)이 발생되는 것이 방지되게 된다. 그리고, 상기 저융점 글래스부(28)는 제1반체코어(101) 및 제2반체코어(102)가 결합이 양호하게 되도록 되는 것이다. 그리고, 절연막(21) 두께는 실질적인 자기헤드의 갭으로 되고, 상기 갭막이 증착된 제2반체코어(102)에 자기헤드 갭의 깊이인 뎁스가 형성된다.The joint surface is wrapped such that the second half core core 102, which is a C core, is joined to the first half core core 101, which is an I core, with a gap facing surface that is a joint surface, and the second half core core 102 that is wrapped The winding hole is wound around the ferrite core of the coil is formed. In addition, a track restricting groove is formed in the second half core core 102 in which the winding hole is formed so as to form a track in which the magnetic head becomes a physical width for reading and writing information from the magnetic tape. Then, the first soft magnetic film 29a, the insulating film 21, the second soft magnetic film 29b, and the low melting glass portion 28 are placed on the second half core 102 having the track regulation groove. A multi-layered gap film is deposited by sputtering, and the first soft magnetic film 29a is formed so as to prevent the processing deterioration layer 23 and the insulating film 21 of the second half core 102 from being adjacent by lapping. do. After the insulating film 21 is deposited, the second soft magnetic film 29b is deposited in succession, so that the first half core 101, which is an I core, and the second half core, which is a C core, are deposited on the second half core. When the fish 102 are engaged, the air gap 22 generated by the mechanical bonding on the work alteration layer 23 is prevented from being generated. In addition, the low melting glass portion 28 is such that the first half core 101 and the second half core 102 are well bonded. The thickness of the insulating film 21 is substantially a gap between the magnetic heads, and a depth that is the depth of the magnetic head gap is formed in the second half core 102 on which the gap film is deposited.
한편, 가공변질층(23)은 절연막(21)보다 상대적으로 얇은 약 1/5 정도의 두께로 되고, 자기헤드 갭으로 되는 절연막(21)과 제1연질자성막(29a) 및 제2연질자성막(29b) 사이의 거리는 서로 약 3㎛의 일정거리 이상 떨어져 있도록 형성되고, 바람직하게는 상기 제1연질자성막(29a) 또는 제2연질자성막(29b)는 3㎛ - 10㎛의 두께로 증착되어 형성되는 것이며, 상기 제1, 2연질자성막(29a)(29b)은 망간아연 페라이트 또는 센더스트 또는 Fe 계열 연질자성 재질로 되는 것이다.On the other hand, the modified layer 23 is about 1/5 thinner than the insulating film 21, and the insulating film 21, the first soft magnetic film 29a, and the second soft magnet, which form a magnetic head gap. The distances between the film formations 29b are formed to be spaced apart from each other by a predetermined distance of about 3 μm or more. Preferably, the first soft magnetic film 29a or the second soft magnetic film 29b has a thickness of 3 μm to 10 μm. The first and second soft magnetic films 29a and 29b are formed by depositing, and are made of manganese zinc ferrite, sender, or Fe-based soft magnetic material.
또한, I 코어인 제1반체코어(101)가 접합면인 갭 대향면이 래핑되고, 트랙규제홈이 형성된다. 따라서 상기 뎁스가 형성된 제2반체코어(102)와 상기 트랙규제홈이 형성된 제1반체코어(101)가 서로 트랙을 맞추면서 래핑면이 마주보도록 글래스로 접합되는 용착되는데, 바람직하게는 상기 용착은 온도 500℃ - 750℃와 Ar 가스 분위기 또는 N2가스 분위기의 불활성 분위기에서 글래스로 용착되는 것이다.In addition, the gap facing surface that is the joining surface of the first half-core core 101, which is the I core, is wrapped, and a track restricting groove is formed. Therefore, the second half core 102 having the depth formed thereon and the first half core 101 having the track regulating groove formed thereon are bonded to each other by glass so that the lapping surfaces face each other while matching the tracks. temperature 500 ℃ - will be welded to the glass at 750 ℃ and Ar gas atmosphere or an inert atmosphere of N 2 gas atmosphere.
그리고, 상기 용착되어 접합된 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 습동면이 연마되는 연마공정 및 상기 습동면이 연마된 제1반체코어(101)와 제2반체코어(102)가 슬라이싱 되어서 자기헤드가 제조된다.The welded and bonded first and second half cores 101 and 102 have a polishing process in which sliding surfaces are polished and the first half cores 101 and second in which the sliding surfaces are polished. Half core 102 is sliced to produce a magnetic head.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 자기헤드 제조방법은 절연막이 실질적인 자기헤드 갭이 되도록 함으로써 정확한 자기헤드 갭의 제조가 되어 자기헤드의 주파수 특성이 개선되고, 균질한 특성을 갖는 자기헤드의 제조가 되며, 자기헤드의 잡음이 개선되는 특징을 지닌 것이다.As described in detail above, in the magnetic head manufacturing method according to the present invention, an accurate magnetic head gap is produced by making the insulating film substantially a magnetic head gap, thereby improving frequency characteristics of the magnetic head, and manufacturing a magnetic head having homogeneous characteristics. The noise of the magnetic head is improved.
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960055254A KR100206058B1 (en) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | Manufacturing method of magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100206058B1 (en) |
-
1996
- 1996-11-19 KR KR1019960055254A patent/KR100206058B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100206058B1 (en) | 1999-07-01 |
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