JPH103608A - Magnetic head and its manufacture - Google Patents

Magnetic head and its manufacture

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JPH103608A
JPH103608A JP15253896A JP15253896A JPH103608A JP H103608 A JPH103608 A JP H103608A JP 15253896 A JP15253896 A JP 15253896A JP 15253896 A JP15253896 A JP 15253896A JP H103608 A JPH103608 A JP H103608A
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JP
Japan
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magnetic
track width
width regulating
groove
track
Prior art date
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Withdrawn
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JP15253896A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiro Hoshi
一廣 星
Tadashi Saito
正 斎藤
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPH103608A publication Critical patent/JPH103608A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the effect due to adjacent cross talk. SOLUTION: Track width control grooves 24a, 24b in nearly same shape and with different groove depths are formed alternately. Then, by positioning these track width control grooves 24a, 24b with different groove depths, deviation according to a difference between the track width control groves 24a, 24b is given to a confronting position between magnetic gap forming projecting parts 24A of respective magnetic core half bodies.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばビデオテー
プレコーダー(VTR)やデジタルオーディオテープレ
コーダー(R−DAT)等の高密度記録可能な磁気記録
再生装置に搭載して好適な磁気ヘッド及びその製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head suitable for mounting on a magnetic recording / reproducing apparatus capable of high-density recording, such as a video tape recorder (VTR) or a digital audio tape recorder (R-DAT), and its manufacture. About the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、高密度記録化を行うためには、
磁気記録媒体に記録されているトラックパターンをなる
べく狭くすることが必要となる。その一つの手法とし
て、トラック間にガードバンドを設けずに記録を行う、
いわゆるガードバンドレス記録方式がある。かかる記録
方式では、ガードバンドがないことから記録密度の向上
を図ることができる。
2. Description of the Related Art For example, in order to perform high-density recording,
It is necessary to make the track pattern recorded on the magnetic recording medium as narrow as possible. As one method, recording without providing a guard band between tracks,
There is a so-called guard bandless recording method. In such a recording method, the recording density can be improved because there is no guard band.

【0003】しかし、このガードバンドレス記録方式に
おいては、各トラック間にガードバンドがないことか
ら、磁気ヘッドが隣接するトラックの信号をトレース
(再生)する際に生じる、いわゆる隣接クロストークが
問題となる。
However, in this guard bandless recording system, since there is no guard band between tracks, so-called adjacent crosstalk, which occurs when a magnetic head traces (reproduces) a signal of an adjacent track, poses a problem. Become.

【0004】これを、家庭用VTRに搭載される磁気ヘ
ッドにより説明すると、図1に示すように、この磁気ヘ
ッドでは、通常、記録と再生は兼用になっており、この
ため再生の互換性を確保するために、記録トラックピッ
チよりも再生ヘッドのヘッド幅(ギャップの幅)HWの
方が広く形成されている。
[0004] This will be described with reference to a magnetic head mounted on a home VTR. As shown in FIG. 1, in this magnetic head, recording and reproduction are usually used for both purposes. To ensure this, the head width (gap width) HW of the reproducing head is formed wider than the recording track pitch.

【0005】したがって、この家庭用VTRに搭載され
る磁気ヘッドによりガードバンドがない記録パターンを
再生する場合、上記磁気ギャップのズレが生じている部
分G1が求めるトラックTAに隣接する記録トラックT
Bの信号を拾うこととなり、上記隣接クロストークが生
じる。
Therefore, when a recording pattern having no guard band is reproduced by the magnetic head mounted on the home VTR, the recording track T adjacent to the track TA where the gap G1 in which the magnetic gap has shifted is found.
The signal of B is picked up, and the adjacent crosstalk occurs.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の磁気
ヘッドでは、例えば家庭用デジタルVTRの場合、アジ
マス記録された信号を再生してみると、再生C/Nを一
定にしても、得られるエラーレートに±1桁程度のバラ
ツキがあり、このバラツキの下限で磁気ヘッドが搭載さ
れる家庭用デジタルVTR等の磁気記録再生装置を設計
しなければならなかった。
By the way, in a conventional magnetic head, for example, in the case of a home digital VTR, when an azimuth-recorded signal is reproduced, even if the reproduction C / N is fixed, an error is obtained. There is a variation of about ± 1 digit in the rate, and a magnetic recording / reproducing apparatus such as a home digital VTR equipped with a magnetic head must be designed with a lower limit of the variation.

【0007】また、従来の磁気ヘッドでは、例えば家庭
用VTRの標準テープ送り速度を2/3にして、録画再
生時間を1.5倍にしようとする長時間録画において、
C/N不足で再生に充分なエラーレートが得られないと
いう問題を有してした。
In a conventional magnetic head, for example, in a long-time recording in which the standard tape feed speed of a home VTR is set to 2/3 and the recording / reproduction time is increased by 1.5 times,
There was a problem that an error rate sufficient for reproduction could not be obtained due to insufficient C / N.

【0008】他方、高密密度記録化に伴い、磁気テープ
上に記録されるパターンのピッチであるトラックピッチ
が狭くなると、上記隣接クロストークの影響が大きくな
り、S/Nやエラーレートの劣化の原因となることが知
られている。
On the other hand, when the track pitch, which is the pitch of the pattern recorded on the magnetic tape, becomes narrower with the increase in the recording density, the influence of the adjacent crosstalk increases, and the S / N and the error rate are degraded. It is known that

【0009】このため、従来の磁気ヘッドにおいて、再
生時の隣接クロストークの影響をできるだけ抑えるため
には、トラック幅規制溝の角度を磁気ギャップ対向面に
対してほぼ垂直になるように形成することが考えられ
る。
For this reason, in the conventional magnetic head, in order to minimize the influence of adjacent crosstalk during reproduction, the angle of the track width regulating groove is formed so as to be substantially perpendicular to the surface facing the magnetic gap. Can be considered.

【0010】しかしながら、このような形状の磁気ヘッ
ドは、磁気ギャップ近傍の磁気コアの断面積が小さくな
り、記録再生の点で好ましくない。
However, the magnetic head having such a shape has a small cross-sectional area of the magnetic core near the magnetic gap, which is not preferable in terms of recording and reproduction.

【0011】さらに、従来の磁気ヘッドの製造方法は、
一対の磁気コア半体の磁気ギャップ形成用突部が両端部
まで完全に一致して突き合わされるわけでなく、一対の
磁気コア半体の磁気ギャップ形成用突部の端部のズレが
生じる。このズレにより、隣接クロストークが生じるこ
とが知られているが、このズレと隣接クロストークとの
関係については具体的に明らかにされていない。
Further, a conventional method for manufacturing a magnetic head includes:
The projections for forming the magnetic gap of the pair of magnetic core halves are not completely aligned and butted to both ends, and the ends of the projections for forming the magnetic gap of the pair of magnetic core halves are displaced. It is known that adjacent crosstalk is caused by this shift, but the relationship between the shift and adjacent crosstalk is not specifically clarified.

【0012】このため、例えば、トラック幅規制溝の角
度を大きく、すなわち大きな角度のV字状溝に形成する
ことにより、一対の磁気コア半体の磁気ギャップ形成用
突部の両端縁まで可能な限り一致させることが考えられ
る。
For this reason, for example, by forming the track width regulating groove at a large angle, that is, by forming the track width regulating groove into a V-shaped groove having a large angle, both ends of the magnetic gap forming projections of the pair of magnetic core halves can be formed. As long as they match.

【0013】しかしながら、トラック幅規制溝の角度を
大きくすると、従来の磁気ヘッドの製造方法は、このト
ラック幅規制溝のエッジでのみ磁気ギャップの突き合わ
せ作業を行うために、加工歩留まりが著しく劣化する問
題を有していた。
However, when the angle of the track width regulating groove is increased, the conventional magnetic head manufacturing method performs the work of abutting the magnetic gap only at the edge of the track width regulating groove. Had.

【0014】そこで、本発明は、かかる従来の技術的な
課題に鑑みて提案されたものであって、隣接クロストー
クの影響を少なく抑えることができる磁気ヘッドを提供
するとともに、このような磁気ヘッドを加工歩留まり良
く製造する磁気ヘッドの製造方法を提供することを課題
とする。
The present invention has been proposed in view of such a conventional technical problem, and provides a magnetic head capable of suppressing the influence of adjacent crosstalk. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetic head for manufacturing a magnetic head with a high processing yield.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記の課
題を解決するために鋭意研究した結果、磁気ギャップの
トラック幅のズレ量、方向を規制することにより、隣接
クロストークの影響を少なく抑えることができることを
見い出すとともに、この磁気ギャップのトラック幅のズ
レ量、方向を一定にする磁気ヘッドの製造方法を見い出
した。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, the influence of adjacent crosstalk has been reduced by restricting the amount and direction of the track width of the magnetic gap. In addition to finding that the magnetic gap can be suppressed to a small value, the present inventors have found a method of manufacturing a magnetic head in which the deviation amount and the direction of the track width of the magnetic gap are constant.

【0016】すなわち、本発明者等は、図4及び図5に
示す実験結果を得たが、かかる実験結果を詳細に検討し
て、後述する作用・効果を実現し得る発明を完成した。
That is, the present inventors obtained the experimental results shown in FIGS. 4 and 5, and studied the experimental results in detail, and completed the invention capable of realizing the operation and effect described later.

【0017】まず、磁気ギャップのズレが生じている場
合としては、図3に示すように、一対の磁気コア半体の
磁気ギャップ形成用突部の端部のズレにより生じる中心
線Fの方向が求める記録トラックTAと隣接する記録ト
ラックTBのアジマス角に近くなる方向となる場合と、
図2に示すように、一対の磁気コア半体の磁気ギャップ
形成用突部の端部のズレにより生じる中心線Fの方向が
求める記録トラックTAと隣接する記録トラックTBの
アジマス角と遠くなる方向となる場合に分けられる。
First, as a case where the magnetic gap is shifted, as shown in FIG. 3, the direction of the center line F caused by the shift of the ends of the magnetic gap forming projections of the pair of magnetic core halves is changed. A case where the direction becomes closer to the azimuth angle of the recording track TB adjacent to the desired recording track TA;
As shown in FIG. 2, the direction of the center line F generated by the displacement of the ends of the magnetic gap forming projections of the pair of magnetic core halves is the direction in which the azimuth angle of the recording track TA and the recording track TB adjacent to the recording track TA become farther Is divided into

【0018】すなわち、ここで、磁気ギャップgのズレ
G1による開き角θの二等分線Fの方向と隣接する記録
トラックのアジマス記録の角度との関係を問題として、
図2の場合を「+方向の磁気ギャップのズレ」とし、図
3の場合、「−方向の磁気ギャップのズレ」と言うこと
とする。
That is, the relationship between the direction of the bisector F of the opening angle θ due to the displacement G1 of the magnetic gap g and the angle of azimuth recording of an adjacent recording track is considered.
The case of FIG. 2 is referred to as “a deviation of the magnetic gap in the + direction”, and the case of FIG. 3 is referred to as “a deviation of the magnetic gap in the − direction”.

【0019】なお、再生ヘッドのヘッド幅(ギャップの
幅)HWが隣接する記録トラックTBに及ぶ部分G2で
は、正規の磁気ギャップによって求められるトラックT
Aの信号が拾われ、いわゆる逆アジマスをスキャンする
ために、隣接する記録トラックTBの信号を拾うような
ことはない。
In the portion G2 where the head width (gap width) HW of the reproducing head extends over the adjacent recording track TB, the track T determined by the regular magnetic gap is used.
The signal of A is picked up, and the signal of the adjacent recording track TB is not picked up for scanning the so-called reverse azimuth.

【0020】そこで、これら両者の場合の隣接クロスト
ークの影響を検討すると、上記+方向の磁気ギャップの
ズレの場合は、図4に示すように、隣接クロストークの
影響が小さいことが分かる。他方、−方向の磁気ギャッ
プのズレの場合には、図5に示すように、隣接クロスト
ークの影響が大きいことが分かる。
Therefore, when the influence of adjacent crosstalk in both cases is examined, it can be seen that the influence of adjacent crosstalk is small as shown in FIG. On the other hand, when the magnetic gap is shifted in the negative direction, as shown in FIG. 5, it can be seen that the influence of the adjacent crosstalk is large.

【0021】ここで、図4及び図5は、上記磁気ギャッ
プのズレが生じている場合の隣接クロストークによりエ
ラーレートがどのように変化するかを示す特性図であ
る。また、図4及び図5は、磁気ヘッドのアジマス角が
±20°の場合である。また、図4及び図5に示すプロ
ット(縦線)は、隣接クロストークの影響を、「有
り」、「無し」で測定した結果であり、縦線の下はクロ
ストークの影響のない分のプロットであり、縦線の上は
クロストークの影響のある分のプロットである。一つの
線が1つの磁気ヘッドのデータを示す。
Here, FIGS. 4 and 5 are characteristic diagrams showing how the error rate changes due to adjacent crosstalk in the case where the magnetic gap is displaced. FIGS. 4 and 5 show the case where the azimuth angle of the magnetic head is ± 20 °. The plots (vertical lines) shown in FIGS. 4 and 5 are the results of measuring the influence of adjacent crosstalk with “present” and “absent”. It is a plot, and the upper part of the vertical line is a plot of a portion affected by crosstalk. One line indicates data of one magnetic head.

【0022】ところで、正規の磁気ギャップgで拾う隣
接のパターン成分は、アジマス損失によって周波数の高
い部分は抑えられるが、磁気ギャップのズレによる隣接
パターンは、−方向の磁気ギャップのズレの場合、アジ
マス損失はほとんど期待することができない。実際に、
周波数の高い部分では、正規の磁気ギャップから拾う量
よりも5dB程度高い場合がある。したがって、例え
ば、パーシャルレスポンスクラス4の信号のように、低
域の成分を信号検出に使わないシステムでは、このよう
な比較的高周波の隣接トラックからの漏れ込みが信号検
出にかなり影響を与えていることになる。
By the way, the adjacent pattern components picked up by the regular magnetic gap g can suppress the high frequency part due to the azimuth loss. Loss can hardly be expected. actually,
In a high frequency part, there is a case where it is about 5 dB higher than the amount picked up from the regular magnetic gap. Therefore, for example, in a system in which low-frequency components are not used for signal detection, such as a signal of a partial response class 4, such leakage from a relatively high frequency adjacent track has a considerable effect on signal detection. Will be.

【0023】以上の結果から、上記+方向の磁気ギャッ
プのズレとなるように製造するか、或いは、磁気ギャッ
プのズレが生じないように製造すれば良いことになる
が、従来の磁気ヘッドの製造方法により、磁気ギャップ
のズレの方向を一定にしながら磁気ギャップの突き合わ
せ作業を行うと、磁気ギャップのトラック幅方向のズレ
量の制御が困難であり、トラック精度を高精度に保つこ
とができない。
From the above results, it is sufficient to manufacture the magnetic head so that the magnetic gap is shifted in the + direction or to manufacture the magnetic gap so that the magnetic gap is not shifted. According to the method, when the magnetic gap abutment operation is performed while the direction of the magnetic gap deviation is kept constant, it is difficult to control the amount of deviation of the magnetic gap in the track width direction, and it is not possible to maintain high track accuracy.

【0024】そこで、本発明の磁気ヘッドは、上述の課
題を解決するために、トラック幅規制溝が形成され磁気
ギャップ形成用突部が形成された一対の磁気コア半体
を、トラック幅規制溝形成面が互いに対向するように突
き合わせて接合一体化し、上記磁気ギャップ形成用突部
の突き合わせ面間に所定のアジマス角を有する磁気ギャ
ップを形成してなる磁気ヘッドにおいて、各トラック幅
規制溝の形状が略同一形状とされるとともに、互いに対
向するトラック幅規制溝及び互いに隣接するトラック幅
規制溝において溝形状における変曲点の位置が溝深さ方
向で異なる位置とされ、各磁気コア半体の磁気ギャップ
形成用突部の突き合わせ位置にトラック幅方向のズレが
付与されていることを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a magnetic head according to the present invention includes a pair of magnetic core halves each having a track width regulating groove formed therein and a magnetic gap forming projection formed thereon. In a magnetic head having a magnetic gap having a predetermined azimuth angle between the butting surfaces of the magnetic gap forming projections, the shape of each of the track width regulating grooves is formed. Are substantially the same shape, and the positions of the inflection points in the groove shapes in the track width regulating grooves facing each other and the track width regulating grooves adjacent to each other are different from each other in the groove depth direction. It is characterized in that a deviation in the track width direction is given to the abutting position of the magnetic gap forming projection.

【0025】他方、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
トラック幅規制溝が形成され磁気ギャップ形成用突部が
形成された一対の磁気コア半体を、トラック幅規制溝形
成面が互いに対向するように突き合わせて接合一体化
し、上記磁気ギャップ形成用突部の突き合わせ面間に所
定のアジマス角を有する磁気ギャップを形成する磁気ヘ
ッドの製造方法において、略同一形状で溝深さの異なる
トラック幅規制溝を交互に形成し、これら溝深さの異な
るトラック幅規制溝を位置合わせすることで、各磁気コ
ア半体の磁気ギャップ形成用突部の突き合わせ位置にト
ラック幅規制溝の溝深さの相違に応じたズレを付与する
ことを特徴とする。
On the other hand, the method of manufacturing the magnetic head of the present invention
A pair of magnetic core halves, each having a track width regulating groove formed thereon and a magnetic gap forming protrusion formed thereon, are joined and integrated so that the track width regulating groove forming surfaces face each other, and the magnetic gap forming protrusion is formed. In a method of manufacturing a magnetic head for forming a magnetic gap having a predetermined azimuth angle between abutting surfaces of the magnetic heads, track width regulating grooves having substantially the same shape and different groove depths are alternately formed, and track widths having different groove depths are formed. By aligning the regulating grooves, a displacement corresponding to the difference in the groove depth of the track width regulating grooves is given to the abutting position of the magnetic gap forming protrusion of each magnetic core half.

【0026】また、上記ズレは、磁気ギャップ形成用突
部の突き合わせ面とこれと対向するトラック幅規制溝の
壁面との中心線と、隣接する記録トラックのアジマス方
向とがなす角度が、磁気ギャップと前記隣接する記録ト
ラックのアジマス方向とがなす角度よりも大きくなるズ
レであることを特徴とする。
The above deviation is caused by the fact that the angle formed by the center line between the butting surface of the magnetic gap forming projection and the wall surface of the track width regulating groove facing the magnetic recording medium and the azimuth direction of the adjacent recording track is the magnetic gap. And an azimuth direction between the adjacent recording tracks.

【0027】本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、
略同一形状で溝深さの異なるトラック幅規制溝を交互に
形成し、これら溝深さの異なるトラック幅規制溝を位置
合わせすることで、各磁気コア半体の磁気ギャップ形成
用突部の突き合わせ位置にトラック幅規制溝の溝深さの
相違に応じたズレを付与することにより、磁気ギャップ
のトラック幅方向のズレ量を一方向のみに一定に調整し
た高精度な突き合わせが行われる。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention,
The track width regulating grooves having substantially the same shape and different groove depths are alternately formed, and the track width regulating grooves having different groove depths are aligned, so that the magnetic gap forming protrusions of each magnetic core half abut. By providing a displacement corresponding to the difference in the groove depth of the track width regulating groove to the position, a high-precision butting in which the displacement of the magnetic gap in the track width direction is adjusted to be constant in only one direction is performed.

【0028】ここで、溝深さの異なるトラック幅規制溝
は、同じ形状のスライサー等を用いて、その深さのみを
制御することで容易に形成することができる。
Here, the track width regulating grooves having different groove depths can be easily formed by controlling only the depth using a slicer or the like having the same shape.

【0029】そして、磁気ギャップ形成用突部の突き合
わせ面とこれと対向するトラック幅規制溝の壁面との中
心線と、隣接する記録トラックのアジマス方向とがなす
角度が、磁気ギャップと前記隣接する記録トラックのア
ジマス方向とがなす角度よりも大きくなるようにズレを
付与することより、再生する際に隣接チャンネルからの
クロストークを抑制することができる磁気ヘッドが製造
される。
The angle formed by the center line between the abutting surface of the magnetic gap forming projection and the wall surface of the track width regulating groove facing the azimuth direction and the azimuth direction of the adjacent recording track is the magnetic gap and the adjacent magnetic track. A magnetic head capable of suppressing crosstalk from an adjacent channel at the time of reproduction is manufactured by giving a deviation so as to be larger than an angle formed between the recording track and the azimuth direction.

【0030】このような製造方法により製造された磁気
ヘッドは、各トラック幅規制溝の形状が略同一形状とさ
れるとともに、互いに対向するトラック幅規制溝及び互
いに隣接するトラック幅規制溝において溝形状における
変曲点の位置が溝深さ方向で異なる位置とされ、各磁気
コア半体の磁気ギャップ形成用突部の突き合わせ位置に
トラック幅方向のズレが付与されているが、この磁気ヘ
ッドは、再生する際に隣接チャンネルからのクロストー
クを抑制することができる。
In the magnetic head manufactured by such a manufacturing method, the track width regulating grooves have substantially the same shape, and the track width regulating grooves facing each other and the track width regulating grooves adjacent to each other have the same groove shape. The position of the inflection point is different in the groove depth direction, and a deviation in the track width direction is given to the abutting position of the magnetic gap forming protrusion of each magnetic core half. When reproducing, crosstalk from an adjacent channel can be suppressed.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した具体的な
実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0032】本実施の形態は、磁気ギャップ部を金属磁
性膜により形成するようにしたメタル・イン・ギャップ
(Metal in Gap)型の磁気ヘッド(以下、
「MIGヘッド」と称する。)に適用したものである。
In the present embodiment, a metal-in-gap (Metal in Gap) type magnetic head (hereinafter, referred to as a magnetic head) in which a magnetic gap portion is formed by a metal magnetic film.
It is called “MIG head”. ).

【0033】本例の磁気ヘッドは、図6に示すように、
フェライトよりなる磁気コア基板1,2とこの磁気コア
基板1,2の突き合わせ面にそれぞれ被着形成される金
属磁性膜3,4とからなる一対の磁気コア半体5,6と
によって閉磁路が構成され、その金属磁性膜3,4の突
き合わせ面間に記録再生ギャップとして動作するアジマ
ス角が付与された磁気ギャップgが形成されている。
As shown in FIG. 6, the magnetic head of this embodiment has
A closed magnetic path is formed by a pair of magnetic core halves 5 and 6 including ferrite magnetic core substrates 1 and 2 and metal magnetic films 3 and 4 respectively formed on butted surfaces of the magnetic core substrates 1 and 2. A magnetic gap g provided with an azimuth angle is formed between the butting surfaces of the metal magnetic films 3 and 4 and operates as a recording / reproducing gap.

【0034】上記磁気コア基板1,2は、例えばフェラ
イト等の酸化物磁性材料からなり、主コアとして機能す
るコア断面積が小さい金属磁性膜3,4をバックアップ
する補助コアとして機能するようになっている。つま
り、金属磁性膜3,4のコア断面積が小さい分、この磁
気コア基板1,2のコアボリュームによって再生出力の
劣化を防止するようになっている。
The magnetic core substrates 1 and 2 are made of an oxide magnetic material such as ferrite, for example, and function as auxiliary cores for backing up the metal magnetic films 3 and 4 having a small core cross-sectional area and functioning as a main core. ing. That is, since the core cross-sectional area of the metal magnetic films 3 and 4 is small, deterioration of the reproduction output is prevented by the core volumes of the magnetic core substrates 1 and 2.

【0035】また、この磁気コア基板1,2において
は、その突き合わせ面側の形状が断面略々台形状として
形成されている。すなわち、この磁気コア基板1,2の
突き合わせ面側は、上記磁気ギャップgと平行なギャッ
プ形成面7,8と、このギャップ形成面7,8の両端部
に上記磁気ギャップgのトラック幅Twを規制するため
のトラック幅規制溝9,10,11,12が形成されて
いる。
In each of the magnetic core substrates 1 and 2, the shape of the abutting surface is formed to have a substantially trapezoidal cross section. That is, the abutting surfaces of the magnetic core substrates 1 and 2 have the gap forming surfaces 7 and 8 parallel to the magnetic gap g and the track width Tw of the magnetic gap g at both ends of the gap forming surfaces 7 and 8. Track width regulating grooves 9, 10, 11, 12 for regulating are formed.

【0036】なお、上記トラック幅規制溝7,8,9,
10内には、それぞれ磁気記録媒体との当たり特性を確
保すると共に摺接による偏摩耗を防止する目的で、ガラ
ス等の非磁性材14が充填されている。
The track width regulating grooves 7, 8, 9,
A non-magnetic material 14 such as glass is filled in each of the layers 10 for the purpose of securing the contact characteristics with the magnetic recording medium and preventing uneven wear due to sliding contact.

【0037】また、一方の磁気コア基板1の突き合わせ
面には、磁気ギャップgのデプスを規制するとともに、
図示しないコイルを巻装するための断面略コ字状の巻線
溝13がコア厚方向に形成されている。
The depth of the magnetic gap g is restricted on the butted surface of one magnetic core substrate 1.
A winding groove 13 having a substantially U-shaped cross section for winding a coil (not shown) is formed in the core thickness direction.

【0038】一方、金属磁性膜3,4は、磁気コア基板
1,2の突き合わせ面に、フロント側よりバック側にわ
たって成膜されている。すなわち、上記金属磁性膜3,
4は、磁気コア基板1,2のギャップ形成面7,8及び
この両端縁側に設けられるトラック幅規制溝9,10,
11,12上にそのフロント側よりバック側にわたって
形成されている。
On the other hand, the metal magnetic films 3 and 4 are formed on the butting surfaces of the magnetic core substrates 1 and 2 from the front side to the back side. That is, the metal magnetic film 3,
Reference numerals 4 denote gap forming surfaces 7 and 8 of the magnetic core substrates 1 and 2 and track width regulating grooves 9 and 10 provided on both end sides thereof.
It is formed on 11 and 12 from the front side to the back side.

【0039】上記金属磁性膜3、4には、高い飽和磁束
密度を有し、且つ軟磁気特性に優れた強磁性材料が使用
されるが、この強磁性材料としては、従来より公知の結
晶質、非結晶質、あるいは微結晶質のものが使用でき
る。
For the metal magnetic films 3 and 4, a ferromagnetic material having a high saturation magnetic flux density and excellent soft magnetic properties is used. , Non-crystalline or microcrystalline ones can be used.

【0040】例示するならば、Fe−Al−Si系合金
(センダスト)、Fe−Si−Co系合金、Fe−Ni
系合金、Fe−Al−Ge系合金、Fe−Ga−Ge系
合金、Fe−Si−Ge系合金、Fe−Si−Ga系合
金、Fe−Si−Ga−Ru系合金、Fe−Co−Si
−Al系合金等が挙げられる。また、耐蝕性や耐摩耗性
等の一層の向上を図るために、Ti,Cr,Mn,Z
r,Nb,Mo,Ta,W,Ru,Os,Rh,Ir,
Re,Ni,Pd,Pt,Hf,V等の少なくとも一種
を添加したものであってもよい。また、酸素含有センダ
スト,窒素含有センダスト、酸素含有Fe−Si−Ga
−Ru系合金、窒素含有Fe−Si−Ga−Ru系合金
等の結晶質磁性膜でも良い。さらには、Fe系微結晶
膜、Co系微結晶膜を用いてもよい。
For example, Fe-Al-Si alloy (Sendust), Fe-Si-Co alloy, Fe-Ni
Alloy, Fe-Al-Ge alloy, Fe-Ga-Ge alloy, Fe-Si-Ge alloy, Fe-Si-Ga alloy, Fe-Si-Ga-Ru alloy, Fe-Co-Si
-Al alloys and the like. In order to further improve corrosion resistance, wear resistance, etc., Ti, Cr, Mn, Z
r, Nb, Mo, Ta, W, Ru, Os, Rh, Ir,
At least one of Re, Ni, Pd, Pt, Hf, V and the like may be added. Also, oxygen-containing sendust, nitrogen-containing sendust, oxygen-containing Fe—Si—Ga
A crystalline magnetic film such as a -Ru alloy or a nitrogen-containing Fe-Si-Ga-Ru alloy may be used. Further, an Fe-based microcrystalline film or a Co-based microcrystalline film may be used.

【0041】これら金属磁性膜3,4の成膜方法として
は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティ
ング法、クラスター・イオンビーム法等に代表される真
空薄膜形成技術がいずれも採用される。
As a method for forming these metal magnetic films 3 and 4, any vacuum thin film forming technology represented by a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a cluster ion beam method, or the like is employed.

【0042】また、金属磁性膜3,4は、前記強磁性合
金材料の中間層であっても良いが、例えばSiO2 ,T
23 ,ZrO2 ,Si3 NO4 等の絶縁膜を介して
何層にも積層した積層膜とするようにしても良い。
Further, the metallic magnetic films 3 and 4 may be an intermediate layer of the ferromagnetic alloy material, for example SiO 2, T
A stacked film may be formed by stacking any number of layers via an insulating film such as a 2 O 3 , ZrO 2 , and Si 3 NO 4 .

【0043】また、上記基板3,4には、フェライト材
の他、非磁性フェライト、酸化ジルコニウム系セラミッ
ク、結晶化ガラス、非磁性酸化鉄系セラミック、BaT
iO3 ,K2 TiO3 等のチタン酸系セラミック等が用
いられる。
In addition to the ferrite material, non-magnetic ferrite, zirconium oxide-based ceramic, crystallized glass, non-magnetic iron oxide-based ceramic, BaT
Titanate-based ceramics such as iO 3 and K 2 TiO 3 are used.

【0044】そして、本例の磁気ヘッドにおいては特
に、図2に示すように、各磁気コア半体5,6の磁気ギ
ャップ形成用突部24Aの突き合わせ位置にトラック幅
方向のズレG1が付与されている。
In the magnetic head of the present embodiment, in particular, as shown in FIG. 2, a deviation G1 in the track width direction is applied to the butting position of the magnetic gap forming projections 24A of the magnetic core halves 5, 6. ing.

【0045】前記ズレG1は、磁気ギャップ形成用突部
24Aの突き合わせ面8とこれと対向するトラック幅規
制溝の壁面10との中心線Fと、隣接する記録トラック
TBのアジマス方向とがなす角度θ2が、磁気ギャップ
gと前記隣接する記録トラックTBのアジマス方向とが
なす角度θよりも大きくなる方向にズレである(前記
「+方向の磁気ギャップのズレ」)。
The deviation G1 is an angle formed by the center line F between the butting surface 8 of the magnetic gap forming projection 24A and the wall surface 10 of the track width regulating groove facing the same and the azimuth direction of the adjacent recording track TB. θ2 is a deviation in a direction that is larger than an angle θ formed between the magnetic gap g and the azimuth direction of the adjacent recording track TB (the above-mentioned “displacement of the magnetic gap in the positive direction”).

【0046】これは、図4に示すように、磁気ギャップ
のズレG1の部分が拾う隣接パターン信号の量は磁気ギ
ャップのズレG1の方向に強く依存するためである。す
なわち、トラック幅Twを規制するトラック幅規制溝1
0,11の磁気ギャップgのズレG1による開き角θの
二等分線Fの方向が隣接する記録トラックのアジマス記
録の角度から遠くなる方向に形成することにより、隣接
する記録トラックのアジマス記録に影響を与えるような
ことがなくなり、隣接チャンネルからのクロストークを
減少させることができるからである。
This is because, as shown in FIG. 4, the amount of the adjacent pattern signal picked up by the gap G1 of the magnetic gap strongly depends on the direction of the gap G1 of the magnetic gap. That is, the track width regulating groove 1 for regulating the track width Tw.
By forming the direction of the bisector F of the opening angle θ due to the deviation G1 of the magnetic gap g of 0, 11 away from the azimuth recording angle of the adjacent recording track, the azimuth recording of the adjacent recording track is performed. This is because there is no influence, and crosstalk from adjacent channels can be reduced.

【0047】そこで、本実施の形態では、トラック幅T
wを規制するトラック幅規制溝10,11の磁気ギャッ
プgのズレG1による開き角θの二等分線Fの方向が隣
接する記録トラックのアジマス記録の角度から遠くなる
方向に形成されている。
Therefore, in the present embodiment, the track width T
The direction of the bisector F of the opening angle θ due to the deviation G1 of the magnetic gap g of the track width regulating grooves 10 and 11 for regulating w is formed in a direction away from the azimuth recording angle of the adjacent recording track.

【0048】さらに、上記のように構成された一対の磁
気コア半体5,6は、ギャップ形成面7,8上に成膜さ
れた金属磁性膜3,4同士をトラック位置合わせをしな
がら突き合わせ、該磁気ギャップgの両端縁に形成され
る第1の傾斜面9,10と第2の傾斜面11,12の対
向部分に融着ガラス14を充填させることによって接合
一体化され、その金属磁性膜3,4間に磁気ギャップg
のトラック幅Twは、高密度磁気記録を目的として、1
3ミクロン以下となされている。なお、第1の傾斜面
9,10と第2の傾斜面11,12の対向部分に充填さ
れる融着ガラス14は、磁気記録媒体に対する当たりを
確保するようになっている。
Further, the pair of magnetic core halves 5, 6 configured as described above abut the metal magnetic films 3, 4 formed on the gap forming surfaces 7, 8 while aligning tracks. The opposite portions of the first inclined surfaces 9 and 10 and the second inclined surfaces 11 and 12 formed at both end edges of the magnetic gap g are bonded and integrated by filling the fused glass 14 with the metallic magnet. Magnetic gap g between films 3 and 4
The track width Tw is 1 for the purpose of high-density magnetic recording.
It is less than 3 microns. In addition, the fusion glass 14 filled in the opposing portions of the first inclined surfaces 9 and 10 and the second inclined surfaces 11 and 12 is designed to ensure contact with the magnetic recording medium.

【0049】そして特に、図18に示すように、各トラ
ック幅規制溝7,8,9,10,11,12の形状が略
同一形状とされるとともに、互いに対向するトラック幅
規制溝及び互いに隣接するトラック幅規制溝において溝
形状における変曲点O1,O2の位置が溝深さ方向で異
なる位置とされている。
In particular, as shown in FIG. 18, each of the track width regulating grooves 7, 8, 9, 10, 11, 12 has substantially the same shape, and the track width regulating grooves opposing each other and adjacent to each other. In the track width regulating groove, the positions of the inflection points O1 and O2 in the groove shape are different from each other in the groove depth direction.

【0050】すなわち、トラック幅規制溝の第1の傾斜
面9,10近傍のギャップ形成面7,8の垂線M1がト
ラック幅規制溝の底面に相当する位置Z1までの長さL
1と、第2の傾斜面11,12近傍のギャップ形成面
7,8の垂線M2がトラック幅規制溝の底面に相当する
位置Z2までの長さL2が異なる長さとされている(L
1<L2)。これは、後述する製造方法により製造する
に際して、容易な製造方法で、磁気ギャップの幅方向の
ズレ量δを一定に調整することができるようにするため
である。
That is, the perpendicular line M1 of the gap forming surfaces 7, 8 near the first inclined surfaces 9, 10 of the track width regulating groove has a length L up to a position Z1 corresponding to the bottom surface of the track width regulating groove.
1 and a length L2 from the perpendicular M2 of the gap forming surfaces 7, 8 near the second inclined surfaces 11, 12 to a position Z2 corresponding to the bottom surface of the track width regulating groove is different.
1 <L2). This is to make it possible to adjust the amount of deviation δ of the magnetic gap in the width direction to be constant by an easy manufacturing method when manufacturing by a manufacturing method described later.

【0051】本実施の形態では、これら垂線M1とM2
の長さL1とL2の差dは、1.3μmとされている。
本発明では、この差dは、0.5〜3.0μmのもので
あれば、本実施の形態にかかるものには限られない。
In this embodiment, these perpendiculars M1 and M2
The difference d between the lengths L1 and L2 is 1.3 μm.
In the present invention, the difference d is not limited to the one according to the present embodiment as long as the difference d is 0.5 to 3.0 μm.

【0052】この値は、第1の傾斜面9,10近傍のギ
ャップ形成面7,8の垂線M1がトラック幅規制溝の底
面に相当する位置Z1までの長さL1と、第2の傾斜面
11,12近傍のギャップ形成面7,8の垂線M2がト
ラック幅規制溝の底面に相当する位置Z2までの長さL
2との差をd、第1の傾斜面9,10とギャップ形成面
7,8の垂線とのなす角度をθ2、第2の傾斜面11,
12とギャップ形成面7,8の垂線とのなす角度をθ
3、上記磁気ギャップの幅方向のズレ量をδとした場
合、d=δ/(tanθ2+tanθ3)の式で求めら
れる。
This value is determined by the length L1 to the position Z1 where the perpendicular M1 of the gap forming surfaces 7, 8 near the first inclined surfaces 9, 10 corresponds to the bottom surface of the track width regulating groove, and the second inclined surface. The perpendicular line M2 of the gap forming surfaces 7, 8 near 11 and 12 has a length L up to a position Z2 corresponding to the bottom surface of the track width regulating groove.
2, the angle between the first inclined surfaces 9, 10 and the perpendiculars of the gap forming surfaces 7, 8 is θ2, and the second inclined surface 11,
12 and the angle between the perpendiculars of the gap forming surfaces 7 and 8 are θ
3. Assuming that the amount of deviation of the magnetic gap in the width direction is δ, it can be obtained by the equation d = δ / (tan θ2 + tan θ3).

【0053】ところで、トラック幅規制溝の溝形状は、
磁気ヘッドの種類によって異なる。例えば、図19、図
20に示すような磁気ヘッドがあるが、これらの場合、
これらの図19,図20に示すように、第1の傾斜面
9,10の長さL1と第2の傾斜面11,12の長さL
2は、各々その変曲点O1,O2までの長さとする。な
お、図中、符号S1は磁気記録媒体摺動面を示し、S2
は当たり幅加工部を示す。
By the way, the groove shape of the track width regulating groove is as follows.
It depends on the type of magnetic head. For example, there are magnetic heads as shown in FIGS. 19 and 20. In these cases,
As shown in FIGS. 19 and 20, the length L1 of the first inclined surfaces 9 and 10 and the length L of the second inclined surfaces 11 and 12 are determined.
2 is the length to the inflection points O1 and O2, respectively. In the drawing, reference numeral S1 indicates a sliding surface of the magnetic recording medium, and S2
Indicates a hit width processed portion.

【0054】次に、本実施の形態の磁気ヘッドの製造方
法について説明する。
Next, a method for manufacturing the magnetic head of this embodiment will be described.

【0055】先ず、図7に示すように、フェライト材よ
りなる基板21を用意する。そして、平面研削盤を用い
て基板21の平面出しを行う。
First, as shown in FIG. 7, a substrate 21 made of a ferrite material is prepared. Then, the surface of the substrate 21 is set using a surface grinder.

【0056】本例では、上記基板21として、磁性フェ
ライト材の単結晶あるいは多結晶、これらの接合材、又
は、非磁性フェライト,BaTiO3 ,K2 TiO3
結晶化ガラス等の非磁性のものが挙げられる。
In this example, the substrate 21 is a single crystal or polycrystal of a magnetic ferrite material, a bonding material thereof, or a nonmagnetic ferrite, BaTiO 3 , K 2 TiO 3 ,
Non-magnetic materials such as crystallized glass can be used.

【0057】また、本実施の形態に用いた単結晶フェラ
イトの面方位は図7に示す通りであるが、他の面方位の
単結晶基板、多結晶基板や、単結晶フェライトと多結晶
フェライトとの接合基板等を用いてもよい。
The plane orientation of the single crystal ferrite used in the present embodiment is as shown in FIG. 7. However, single crystal substrates and polycrystal substrates having other plane orientations, and single crystal ferrite and polycrystal ferrite are used. May be used.

【0058】次に、スライサーを用いて、図8に示すよ
うに、基板21の長手方向に巻線溝22と、ガラス溝2
3を二つずつ形成する。すなわち、基板21の中央から
これら巻線溝22と、ガラス溝23が各々対称となるよ
うにして形成する。このように形成することにより、上
記一つの基板21から一対の磁気コア半体となる一対の
磁気コアブロック21a,21bが形成されることにな
る。
Next, as shown in FIG. 8, a winding groove 22 and a glass groove 2 are formed in the longitudinal direction of the substrate 21 by using a slicer.
3 are formed two by two. That is, the winding groove 22 and the glass groove 23 are formed symmetrically from the center of the substrate 21. By forming in this manner, a pair of magnetic core blocks 21a and 21b to be a pair of magnetic core halves are formed from the one substrate 21.

【0059】次いで、スライサーを用いて、図9に示す
ように、巻線溝22、ガラス溝23と直角の方向、すな
わち基板21の幅方向にトラック幅規制溝24を形成す
る。なお、これらトラック幅規制溝24を形成した後
は、ポリッシング等により基板21の表面の鏡面加工を
行う。
Next, as shown in FIG. 9, a track width regulating groove 24 is formed in a direction perpendicular to the winding groove 22 and the glass groove 23, that is, in the width direction of the substrate 21, using a slicer. After the formation of the track width regulating grooves 24, the surface of the substrate 21 is mirror-finished by polishing or the like.

【0060】ここで、このトラック幅規制溝24の形成
に際しては、溝深さ(d)が異なるとともに、開口幅W
1,W2が異なるトラック幅規制溝24a,24bを交
互に形成する。
In forming the track width regulating groove 24, the groove depth (d) is different and the opening width W is different.
1 and W2 alternately form track width regulating grooves 24a and 24b.

【0061】本実施の形態では、図10に示すように、
広い方の開口幅W1が201.5μmであり、狭い方の
開口幅W2が200μmである。また、磁気ギャップ形
成用突部24Aの幅H1が13μmであり、隣接するト
ラック幅規制溝24a,24bの溝深さの差dは、1.
3μmである。
In the present embodiment, as shown in FIG.
The wide opening width W1 is 201.5 μm, and the narrow opening width W2 is 200 μm. The width H1 of the magnetic gap forming protrusion 24A is 13 μm, and the difference d between the groove depths of the adjacent track width regulating grooves 24a and 24b is 1.
3 μm.

【0062】この点、従来のトラック幅規制溝の形成に
際しては、トラック幅規制溝のギャップ対向面から底面
までの距離がすべて均一になるように形成していた。ま
た、トラック幅規制溝は、基板の垂直方向に対して30
°とし、すべて均一になるように形成していた。
In this regard, when the conventional track width regulating groove is formed, the track width regulating groove is formed such that the distance from the gap opposing surface to the bottom surface is all uniform. Also, the track width regulating groove is 30
° and were formed to be all uniform.

【0063】しかし、従来の磁気ヘッドの製造方法は、
一対の磁気コア半体の磁気ギャップ形成用突部の端部の
ズレが生じ、このズレは、いわゆる疑似ギャップとなっ
て上述した隣接クロストークの問題を生じさせていた。
このために、基板にトラック幅規制溝を形成する際に、
基板の一部にマーカとなる溝を入れたり、突き合わせの
ための特別の加工を施すことが考えられるが、このよう
な特別の加工は、時間がかかったり、生産性が悪くな
る。
However, the conventional method of manufacturing a magnetic head is as follows.
The end portions of the magnetic gap forming projections of the pair of magnetic core halves are displaced, and the dislocations are so-called pseudo gaps, causing the above-described problem of adjacent crosstalk.
For this reason, when forming the track width regulating groove on the substrate,
It is conceivable that a groove serving as a marker is formed in a part of the substrate, or a special process for abutting is performed. However, such a special process takes time or lowers productivity.

【0064】これに対して、本実施の形態では、図10
に示すように、磁気ギャップの幅方向のズレ量δを一定
に調整するために、第1の傾斜面9,10近傍のギャッ
プ形成面7,8の垂線M1がトラック幅規制溝24の底
面に相当する位置Z1までの長さL1と、第2の傾斜面
11,12近傍のギャップ形成面7,8の垂線M2がト
ラック幅規制溝24の底面に相当する位置Z2までの長
さL2が異なるように形成する。すなわち、トラック幅
規制溝24a,24bのギャップ形成面7,8から溝底
面までの距離L1,L2を異なるように形成する。
On the other hand, in the present embodiment, FIG.
As shown in FIG. 5, in order to adjust the amount of deviation δ in the width direction of the magnetic gap, the perpendicular M1 of the gap forming surfaces 7, 8 near the first inclined surfaces 9, 10 is formed on the bottom surface of the track width regulating groove 24. The length L1 to the corresponding position Z1 is different from the length L2 to the position Z2 where the perpendicular M2 of the gap forming surfaces 7, 8 near the second inclined surfaces 11, 12 corresponds to the bottom surface of the track width regulating groove 24. It is formed as follows. That is, the distances L1, L2 from the gap forming surfaces 7, 8 of the track width regulating grooves 24a, 24b to the groove bottom are formed to be different.

【0065】このようなトラック幅規制溝24の形成に
際しては、このトラック幅規制溝24と同じ形状をした
スライサーを用いて、このスライサーを基板21に対し
て深く研磨するか浅く研磨するかにより形成すれば足り
る。このように形成することにより、磁気ギャップの幅
方向のズレ量δの調整のためだけに特別の加工を複数回
施すような必要がなく、又、加工のために時間がかかる
こともない。
When such a track width regulating groove 24 is formed, a slicer having the same shape as the track width regulating groove 24 is used, and the slicer is formed by polishing the substrate 21 deeply or shallowly. I suffice. By forming in this manner, it is not necessary to perform a special process a plurality of times only for adjusting the displacement amount δ of the magnetic gap in the width direction, and it does not take much time for the process.

【0066】なお、本実施の形態では、略々台形状のト
ラック幅規制溝24を用いたが、このトラック幅規制溝
24の形状は、例えば、上述した図19、図20に示す
ように、トラック幅規制溝24がV字状のものや溝内に
変曲点O1,O2を有する等の他の形状であっても良
い。
In this embodiment, the track width regulating groove 24 having a substantially trapezoidal shape is used, but the shape of the track width regulating groove 24 is, for example, as shown in FIGS. The track width regulating groove 24 may have another shape such as a V-shaped groove or having inflection points O1 and O2 in the groove.

【0067】次いで、図11に示すように、上記基板2
1をその中央から切断して、切断された基板21a,2
1bを作製する。
Next, as shown in FIG.
1 is cut from the center thereof, and the cut substrates 21a, 2
1b is prepared.

【0068】ここで、本実施の形態では、1つの基板2
1に、巻線溝22、ガラス溝23の他、トラック幅規制
溝24を形成するものであることから、上記切断によ
り、各々対称な上記1つおきに溝深さ(d)と開口幅W
1,W2が異なるトラック幅規制溝24が形成されるこ
ととなる。
In this embodiment, one substrate 2
In addition, since the track width regulating groove 24 is formed in addition to the winding groove 22 and the glass groove 23, the above-described cutting allows the groove depth (d) and the opening width W of every other one to be symmetrical.
Track width regulating grooves 24 having different widths 1 and W2 are formed.

【0069】次いで、上記切断された基板21a,21
bに、図12及び図13に示すように、スパッタリング
を用いて金属磁性膜27を形成し、その上にギャップ膜
28を形成する。この金属磁性膜27の成膜に際して
は、図13に示すように、先のトラック幅規制溝内も含
めて成膜する。この金属磁性膜27としては、本実施の
形態では、Fe−Si−Ga−Ru系合金を用いた。
Next, the cut substrates 21a, 21
12B, a metal magnetic film 27 is formed by sputtering, and a gap film 28 is formed thereon, as shown in FIGS. When forming the metal magnetic film 27, as shown in FIG. 13, the metal magnetic film 27 is formed including the inside of the track width regulating groove. In this embodiment, an Fe-Si-Ga-Ru alloy is used as the metal magnetic film 27.

【0070】ここで、基板21a,21bと金属磁性膜
27との付着力の向上のために、SiO2,Ta2 5
の酸化物膜、Si3 4 等の窒化物膜、或いは、Cr,
Al、Si,Pt等の金属膜及びこれらの合金膜、さら
に、これらを組み合わせた積層膜を金属磁性膜27の下
地膜として用いても良い。本実施の形態では、この付着
力の向上のために、厚さ5nmのSiO2 膜を用いた。
Here, in order to improve the adhesion between the substrates 21a and 21b and the metal magnetic film 27, an oxide film such as SiO 2, Ta 2 O 5 , a nitride film such as Si 3 O 4 , or Cr,
A metal film of Al, Si, Pt or the like, an alloy film thereof, or a stacked film combining these may be used as a base film of the metal magnetic film 27. In the present embodiment, an SiO 2 film having a thickness of 5 nm is used to improve the adhesive force.

【0071】また、ギャップ膜には、SiO2 単層膜を
用いたが、融着ガラス11との反応防止膜として、上層
に例えばCr膜等を設けた2層膜、多層膜を用いても良
い。
Although a single-layer SiO 2 film is used as the gap film, a two-layer film or a multilayer film having a Cr film or the like as an upper layer may be used as a film for preventing the reaction with the fused glass 11. good.

【0072】次いで、以上のようにして作製された基板
21a,21bを圧着しながら500〜700°Cに加
熱して、図14に示すように、低融点ガラス14にて接
合して接合基板30を作製する。
Next, the substrates 21a and 21b manufactured as described above are heated to 500 to 700 ° C. while being pressed, and are bonded with the low melting glass 14 as shown in FIG. Is prepared.

【0073】この接合に際しては、図15に示すよう
に、基板21a,21bに形成された異なるトラック幅
規制溝24a,24bが対向するように突き合わせを行
った。
At the time of this joining, as shown in FIG. 15, butting was performed so that different track width regulating grooves 24a and 24b formed on the substrates 21a and 21b face each other.

【0074】ここで、溝深さと開口幅が異なるトラック
幅規制溝24a,24bは、各基板21a,21bに形
成されているため、基板21a,21bの突き合わせの
際に、トラック幅規制溝24a,24bを一つずらした
上で、交互にトラックズレがないようにギャップ突き合
わせを行うことにより、磁気ギャップの幅方向のズレ量
δを一定に生じさせながら高精度で接合されることにな
る。この例では、磁気ギャップの幅方向のズレ量δは、
上述したように、1.5μmである。
Here, since the track width regulating grooves 24a, 24b having different groove depths and opening widths are formed in the respective substrates 21a, 21b, when the substrates 21a, 21b are abutted, the track width regulating grooves 24a, 24b are formed. By shifting the gap 24b by one and then performing the gap abutting so that there is no track shift alternately, the magnetic gap can be joined with high precision while generating a constant shift δ in the width direction. In this example, the displacement δ in the width direction of the magnetic gap is
As described above, it is 1.5 μm.

【0075】次いで、上記接合基板30を平面研削除盤
を用いて所定の厚みにした後に、磁気記録媒体摺動面と
なる部分を円筒研削を行う。
Next, after the bonding substrate 30 is made to have a predetermined thickness by using a flat surface removing plate, a portion to be a sliding surface of the magnetic recording medium is subjected to cylindrical grinding.

【0076】次いで、磁気記録媒体摺動面に磁気記録媒
体との当たりを確保するために、図16に示すように、
当たり幅加工、上記巻線溝22等の加工を行った後に、
図17に示すように、目的とするアジマス角と同角度で
切り出し、多数のヘッドチップ31を製作する。
Next, in order to secure contact with the magnetic recording medium on the sliding surface of the magnetic recording medium, as shown in FIG.
After performing the contact width processing and the processing of the winding groove 22 and the like,
As shown in FIG. 17, a large number of head chips 31 are manufactured by cutting out at the same angle as the target azimuth angle.

【0077】今回の切り出しに際しては、アジマス角が
±20°となるように作製したが、その際、前述した+
方向の磁気ギャップのズレが生じるようにアジマス角を
決定した。このようにして、磁気ヘッドが図6に示すよ
うに完成する。
In this cutting, the azimuth angle was made to be ± 20 °.
The azimuth angle was determined so that the magnetic gap in the direction was shifted. Thus, the magnetic head is completed as shown in FIG.

【0078】以上のようにして作製された磁気ヘッドの
磁気ギャップのトラック幅方向のズレ量δを測定した。
The deviation δ in the track width direction of the magnetic gap of the magnetic head manufactured as described above was measured.

【0079】その結果、従来の磁気ヘッドのトラック幅
規制溝のみで一方向にずらしてギャップの突き合わせ作
業を行った場合には、3σ=1.5μmであったが、本
実施の形態により製造された磁気ヘッドは、3σ=0.
7μmと大幅な改善が見られた。
As a result, when the gap abutting operation was performed in one direction only with the track width regulating groove of the conventional magnetic head, 3σ = 1.5 μm. The magnetic head has 3σ = 0.
A significant improvement of 7 μm was observed.

【0080】以上、このように製造された磁気ヘッド
は、再生信号のエラーレートの向上が図られる高精度の
磁気ヘッドである。したがって、家庭用デジタルVTR
によれば、長時間録画においても充分なエラーレートが
得られ、過去の判定状況を記憶しておくことによりエラ
ーレートを向上させる回路である、ビタビ複合器を不要
とすることが期待される。
The magnetic head manufactured as described above is a high-precision magnetic head capable of improving the error rate of a reproduced signal. Therefore, a home digital VTR
According to this method, a sufficient error rate can be obtained even during long-time recording, and it is expected that a Viterbi multifunction device, which is a circuit for improving the error rate by storing past determination conditions, is not required.

【0081】なお、本発明を適用した具体的な実施の形
態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限
定されることなく種々の変更が可能である。例えば先の
例では、金属磁性膜を主コアとしたが、かかる膜を磁気
コア基板に成膜せずに、フェライトコアのみによって閉
磁路を構成した磁気ヘッドとしても良い。もちろん、こ
の場合のヘッドでも先の磁気ヘッドと同様な作用効果が
得られる。また、このような磁気ヘッドを用いた磁気記
録再生装置は、家庭用デジタルVTRのほかにもデータ
ストリーマなどのデジタル信号蓄積装置にも応用可能で
ある。
Although the specific embodiments to which the present invention is applied have been described, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made. For example, in the above example, a metal magnetic film is used as the main core, but a magnetic head in which a closed magnetic path is formed only by a ferrite core without forming such a film on the magnetic core substrate may be used. Needless to say, the same operation and effect as those of the above magnetic head can be obtained with this head. Further, a magnetic recording / reproducing apparatus using such a magnetic head can be applied to a digital signal storage device such as a data streamer in addition to a home digital VTR.

【0082】[0082]

【発明の効果】本発明の磁気ヘッドの製造方法によれ
ば、略同一形状で溝深さの異なるトラック幅規制溝を交
互に形成し、これら溝深さの異なるトラック幅規制溝を
位置合わせすることで、各磁気コア半体の磁気ギャップ
形成用突部の突き合わせ位置にトラック幅規制溝の溝深
さの相違に応じたズレを付与することにより、磁気ギャ
ップのトラック幅方向のズレ量を一定に調整した高精度
な突き合わせが行われる。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, track width regulating grooves having substantially the same shape and different groove depths are alternately formed, and the track width regulating grooves having different groove depths are aligned. In this way, by providing a displacement corresponding to the difference in the groove depth of the track width regulating groove to the abutting position of the magnetic gap forming protrusion of each magnetic core half, the displacement amount of the magnetic gap in the track width direction is fixed. High-precision butting adjusted.

【0083】そして、磁気ギャップ形成用突部の突き合
わせ面とこれと対向するトラック幅規制溝の壁面との中
心線と、隣接する記録トラックのアジマス方向とがなす
角度が、磁気ギャップと前記隣接する記録トラックのア
ジマス方向とがなす角度よりも大きくなるようにズレを
付与することより、再生する際に隣接チャンネルからの
クロストークを抑制することができる磁気ヘッドが製造
される。
The angle formed by the center line between the abutting surface of the magnetic gap forming protrusion and the wall surface of the track width regulating groove facing the magnetic recording medium and the azimuth direction of the adjacent recording track is equal to the angle between the magnetic gap and the adjacent magnetic track. A magnetic head capable of suppressing crosstalk from an adjacent channel at the time of reproduction is manufactured by giving a deviation so as to be larger than an angle formed between the recording track and the azimuth direction.

【0084】このような製造方法により製造された磁気
ヘッドは、各トラック幅規制溝の形状が略同一形状とさ
れるとともに、互いに対向するトラック幅規制溝及び互
いに隣接するトラック幅規制溝において溝形状における
変曲点の位置が溝深さ方向で異なる位置とされ、各磁気
コア半体の磁気ギャップ形成用突部の突き合わせ位置に
トラック幅方向のズレが付与されているが、この磁気ヘ
ッドは、再生する際に隣接チャンネルからのクロストー
クを抑制することができる。
In the magnetic head manufactured by such a manufacturing method, the track width regulating grooves have substantially the same shape, and the track width regulating grooves facing each other and the track width regulating grooves adjacent to each other have the same groove shape. The position of the inflection point is different in the groove depth direction, and a deviation in the track width direction is given to the abutting position of the magnetic gap forming protrusion of each magnetic core half. When reproducing, crosstalk from an adjacent channel can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】磁気ヘッドが磁気テープの記録パターンを再生
する状態を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a state in which a magnetic head reproduces a recording pattern on a magnetic tape.

【図2】+方向の磁気ギャップのズレが生じている場合
の磁気ヘッドが磁気テープの記録パターンを再生する状
態を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a state in which a magnetic head reproduces a recording pattern of a magnetic tape when a deviation of a magnetic gap in a + direction occurs.

【図3】−方向の磁気ギャップのズレが生じている場合
の磁気ヘッドが磁気テープの記録パターンを再生する状
態を示す模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a state in which a magnetic head reproduces a recording pattern of a magnetic tape when a magnetic gap in a negative direction is displaced;

【図4】+方向の磁気ギャップのズレの場合のエラーレ
ートとC/Nとの関係を示す特性図である。
FIG. 4 is a characteristic diagram showing a relationship between an error rate and C / N in the case of a deviation of a magnetic gap in a + direction.

【図5】−方向の磁気ギャップのズレの場合のエラーレ
ートとC/Nとの関係を示す特性図である。
FIG. 5 is a characteristic diagram showing a relationship between an error rate and C / N when a magnetic gap is shifted in a negative direction.

【図6】本発明を適用した磁気ヘッドの一例を示す斜視
図である。
FIG. 6 is a perspective view showing an example of a magnetic head to which the present invention is applied.

【図7】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、基板
の平面出しを行う工程を示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head, and showing a process of making a substrate flat.

【図8】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、基板
に巻線溝とガラス溝を形成する工程を示す斜視図であ
る。
FIG. 8 is a perspective view illustrating a step of forming a winding groove and a glass groove in a substrate, illustrating a manufacturing process of the magnetic head.

【図9】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、基板
にトラック幅規制溝と突出部を形成する工程を示す斜視
図である。
FIG. 9 is a perspective view showing a process of manufacturing the magnetic head, showing a process of forming a track width regulating groove and a projection on a substrate.

【図10】図9のa部の拡大斜視図であり、トラック幅
規制溝を示す。
FIG. 10 is an enlarged perspective view of a part a in FIG. 9, showing a track width regulating groove.

【図11】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、基
板を切断する工程を示す斜視図である。
FIG. 11 is a perspective view illustrating a step of cutting the substrate, showing a step of manufacturing the magnetic head.

【図12】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、金
属磁性膜を成膜する工程を示す斜視図である。
FIG. 12 is a perspective view showing a process of manufacturing the magnetic head, showing a process of forming a metal magnetic film.

【図13】図12のd部の拡大斜視図であり、トラック
幅規制溝とギャップ部に金属磁性膜が成膜された状態を
示す斜視図である。
13 is an enlarged perspective view of a portion d in FIG. 12, showing a state where a metal magnetic film is formed in a track width regulating groove and a gap portion.

【図14】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、切
断された基板を突き合わせて接合する状態を示す斜視図
である。
FIG. 14 is a perspective view showing a step of manufacturing the magnetic head, showing a state in which cut substrates are joined together by butting.

【図15】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、磁
気ギャップにズレを生じさせる方向を調整して突き合わ
せる工程を示す模式図である。
FIG. 15 is a schematic diagram illustrating a manufacturing process of the magnetic head, and illustrating a process of adjusting a direction in which a magnetic gap is caused to shift and abutting the gap.

【図16】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、磁
気記録媒体摺動面を円筒研磨する工程を示す斜視図であ
る。
FIG. 16 is a perspective view showing a step of manufacturing the magnetic head, showing a step of cylindrically polishing the sliding surface of the magnetic recording medium.

【図17】上記磁気ヘッドの製造工程を示すもので、所
定の大きさのヘッドチップに切断する工程を示す斜視図
である。
FIG. 17 is a perspective view showing a step of manufacturing the magnetic head, and showing a step of cutting into head chips of a predetermined size.

【図18】本発明を適用した磁気ヘッドの一例を模式的
に示す平面図である。
FIG. 18 is a plan view schematically showing an example of a magnetic head to which the present invention is applied.

【図19】本発明を適用した磁気ヘッドの他の例を模式
的に示す平面図である。
FIG. 19 is a plan view schematically showing another example of the magnetic head to which the invention is applied.

【図20】本発明を適用した磁気ヘッドの他の例を模式
的に示す平面図である。
FIG. 20 is a plan view schematically showing another example of the magnetic head to which the invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2 磁気コア基板、3,4,27 金属磁性膜、
5,6 磁気コア半体、7,8 ギャップ形成面、9,
10,11,12,24,24a,24b トラック幅
規制溝、21 基板、21a,21b 磁気コアブロッ
ク(基板)、24A 磁気ギャップ形成用突部、O1,
O2 トラック幅規制溝の変曲点、Twトラック幅、F
磁気ギャップ形成用突部の突き合わせ面とこれと対向
するトラック幅規制溝の壁面との中心線、θ 磁気ギャ
ップと隣接する記録トラックのアジマス方向とがなす角
度、θ1 磁気ギャップ形成用突部の突き合わせ面とこ
れと対向するトラック幅規制溝の壁面との中心線と隣接
する記録トラックのアジマス方向とがなす角度、δ 磁
気ギャップのトラック幅方向のズレ量、θ2 第1の傾
斜面とギャップ形成面の垂線とのなす角度、θ3 第2
の傾斜面とギャップ形成面の垂線とのなす角度、H1
磁気ギャップ形成用突部
1, 2, magnetic core substrate, 3, 4, 27 metal magnetic film,
5,6 magnetic core half, 7,8 gap forming surface, 9,
10, 11, 12, 24, 24a, 24b Track width regulating groove, 21 substrate, 21a, 21b magnetic core block (substrate), 24A magnetic gap forming protrusion, O1,
O2 Inflection point of track width regulating groove, Tw track width, F
The center line between the butting surface of the magnetic gap forming protrusion and the wall surface of the track width regulating groove facing the same, the angle formed by the θ magnetic gap and the azimuth direction of the adjacent recording track, the butting of the θ1 magnetic gap forming protrusion Angle between the center line between the surface and the wall surface of the track width regulating groove opposed thereto and the azimuth direction of the adjacent recording track, δ the amount of deviation of the magnetic gap in the track width direction, θ2 the first inclined surface and the gap forming surface Angle with the perpendicular to the angle, θ3
The angle formed between the inclined surface of and the perpendicular of the gap forming surface, H1
Projection for forming magnetic gap

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 トラック幅規制溝が形成され磁気ギャッ
プ形成用突部が形成された一対の磁気コア半体を、トラ
ック幅規制溝形成面が互いに対向するように突き合わせ
て接合一体化し、上記磁気ギャップ形成用突部の突き合
わせ面間に所定のアジマス角を有する磁気ギャップを形
成してなる磁気ヘッドにおいて、 各トラック幅規制溝の形状が略同一形状とされるととも
に、互いに対向するトラック幅規制溝及び互いに隣接す
るトラック幅規制溝において溝形状における変曲点の位
置が溝深さ方向で異なる位置とされ、 各磁気コア半体の磁気ギャップ形成用突部の突き合わせ
位置にトラック幅方向のズレが付与されていることを特
徴とする磁気ヘッド。
A pair of magnetic core halves each having a track width regulating groove formed thereon and a magnetic gap forming projection formed thereon are joined and integrated so that the track width regulating groove forming surfaces face each other. In a magnetic head in which a magnetic gap having a predetermined azimuth angle is formed between abutting surfaces of gap forming projections, each track width regulating groove has substantially the same shape, and the track width regulating grooves facing each other are formed. In the track width regulating grooves adjacent to each other, the position of the inflection point in the groove shape is set to a position different in the groove depth direction, and a deviation in the track width direction is abutted by the magnetic gap forming protrusion of each magnetic core half. A magnetic head, which is provided.
【請求項2】 上記ズレは、磁気ギャップ形成用突部の
突き合わせ面とこれと対向するトラック幅規制溝の壁面
との中心線と、隣接する記録トラックのアジマス方向と
がなす角度が、磁気ギャップと前記隣接する記録トラッ
クのアジマス方向とがなす角度よりも大きくなるズレで
あることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
2. An angle between a center line between an abutting surface of a protrusion for forming a magnetic gap and a wall surface of a track width regulating groove opposed to the magnetic recording medium and an azimuth direction of an adjacent recording track. 2. The magnetic head according to claim 1, wherein the deviation is larger than an angle between the azimuth direction of the adjacent recording track and the azimuth direction.
【請求項3】 トラック幅規制溝が形成され磁気ギャッ
プ形成用突部が形成された一対の磁気コア半体を、トラ
ック幅規制溝形成面が互いに対向するように突き合わせ
て接合一体化し、上記磁気ギャップ形成用突部の突き合
わせ面間に所定のアジマス角を有する磁気ギャップを形
成する磁気ヘッドの製造方法において、 略同一形状で溝深さの異なるトラック幅規制溝を交互に
形成し、これら溝深さの異なるトラック幅規制溝を位置
合わせすることで、各磁気コア半体の磁気ギャップ形成
用突部の突き合わせ位置にトラック幅規制溝の溝深さの
相違に応じたズレを付与することを特徴とする磁気ヘッ
ドの製造方法。
3. A pair of magnetic core halves, each having a track width regulating groove formed thereon and a magnetic gap forming projection formed thereon, are joined and integrated so that the track width regulating groove forming surfaces face each other. In a method of manufacturing a magnetic head for forming a magnetic gap having a predetermined azimuth angle between butting surfaces of gap forming projections, track width regulating grooves having substantially the same shape and different groove depths are alternately formed, and these groove depths are formed. By aligning the track width regulating grooves having different lengths, a deviation corresponding to the difference in the groove depth of the track width regulating groove is provided at the abutting position of the magnetic gap forming protrusion of each magnetic core half. A method of manufacturing a magnetic head.
【請求項4】 磁気ギャップ形成用突部の突き合わせ面
とこれと対向するトラック幅規制溝の壁面との中心線
と、隣接する記録トラックのアジマス方向とがなす角度
が、磁気ギャップと前記隣接する記録トラックのアジマ
ス方向とがなす角度よりも大きくなるようにズレを付与
することを特徴とする請求項3記載の磁気ヘッドの製造
方法。
4. An angle formed by a center line between an abutting surface of a protrusion for forming a magnetic gap and a wall surface of a track width regulating groove opposed thereto and an azimuth direction of an adjacent recording track is equal to the magnetic gap and the adjacent magnetic track. 4. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 3, wherein the misalignment is provided so as to be larger than the angle formed between the recording track and the azimuth direction.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999059146A1 (en) * 1998-05-14 1999-11-18 Sony Corporation Magnetic head and method of manufacture

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