KR19980026775A - Multi socket for semiconductor chip package inspection - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 복수개의 반도체 칩 패키지를 동시에 전기적 특성 검사를 할 수 있는 반도체 칩 패키지 검사용 멀티 소켓(multi socket)에 관한 것으로, 복수개의 반도체 칩 패키지가 각기 삽입될 수 있는 복수개의 개구부가 형성된 상부 몸체, 그 상부 몸체에 대하여 이격되어 있으며, 모서리 부분에 체결된 가이드들에 의해 상기 상부 몸체와 연결된 하부 몸체를 갖는 소켓 몸체; 상기 상부 몸체의 하부면에 체결되어 있으며, 상기 반도체 칩 패키지의 리드와 각기 전기적으로 연결될 복수개의 소켓 리드; 및 상기 하부 몸체의 하부면에 형성되어 있으며, 상기 소켓 리드들을 전기적으로 연결하는 회로 패턴들을 포함하는 반도체 칩 패키지 검사용 멀티 소켓을 제공함으로써, 멀티 소켓의 소켓 몸체에 복수개의 반도체 칩 패키지를 실장할 수 있으며, 반도체 칩 패키지들을 연결하는 회로 패턴들이 형성되어 있기 때문에 모듈로 제조되기 전에 멀티 소켓에서 모듈 테스트를 할 수 있으며, 소켓 리드들이 소켓 몸체에 대하여 외부로 돌출되지 않게 형성하여 소켓 리드의 망실에 의한 불량을 제거할 수 있는 장점이 있다.The present invention relates to a multi-socket for inspecting a semiconductor chip package capable of simultaneously inspecting electrical properties of a plurality of semiconductor chip packages, and having a plurality of openings through which a plurality of semiconductor chip packages can be inserted. A socket body having a lower body connected to the upper body by guides fastened to corners, the body being separated from the upper body; A plurality of socket leads fastened to the lower surface of the upper body and electrically connected to the leads of the semiconductor chip package; And a plurality of sockets formed on a lower surface of the lower body and including a plurality of circuit patterns for electrically connecting the socket leads to mount the plurality of semiconductor chip packages on the socket body of the multi-socket. Since the circuit patterns connecting the semiconductor chip packages are formed, the module test can be performed in the multi-socket before the module is manufactured. The socket leads are formed so as not to protrude outward from the socket body. There is an advantage that can remove the defects caused by.
Description
본 발명은 반도체 칩 패키지 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소켓의 하부면에 소켓 리드들을 전기적으로 연결하는 패턴들이 형성된 반도체 칩 패키지 검사용 멀티 소켓에 관한 것이다.The present invention relates to a socket for inspecting a semiconductor chip package, and more particularly, to a multi-socket for inspecting a semiconductor chip package having patterns for electrically connecting socket leads to a lower surface of the socket.
일반적으로, 반도체 칩 패키지는 제조된 후에 제품의 신뢰성을 확인하기 위하여 각종 검사를 실시한다.Generally, after the semiconductor chip package is manufactured, various tests are performed to confirm the reliability of the product.
상기 검사는 반도체 칩의 모든 입출력 단자를 검사 신호 발생 회로와 연결하여 정상적인 동작 및 단선 여부를 검사하는 전기적 특성 검사와 상기 반도체 칩의 전원 입력 단자 등 몇몇 입출력 단자들을 검사 신호 발생 회로와 연결하여 정상 동작 조건보다 높은 온도, 전압 및 전류 등으로 스트레스를 인가하여 반도체 칩의 수명 및 결합 발생 여부를 체크하는 번인 테스트가 있다.The inspection is performed by connecting all the input and output terminals of the semiconductor chip with the test signal generation circuit to check normal operation and disconnection, and by connecting some input and output terminals such as a power input terminal of the semiconductor chip with the test signal generator to operate normally. There is a burn-in test that checks the life of a semiconductor chip and whether a bond occurs by applying stress at a temperature, voltage, and current higher than the condition.
여기서, 반도체 칩 패키지의 전기적 특성 검사 공정은 검사 소켓에 반도체 칩 패키지가 탑재된 상태에서 진행된다.Here, the process of inspecting the electrical characteristics of the semiconductor chip package is performed in the state that the semiconductor chip package is mounted on the inspection socket.
도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 반도체 칩 패키지가 검사용 소켓에 삽입되는 상태를 나타내는 단면도이다.1 and 2 are cross-sectional views showing a state in which a semiconductor chip package according to the prior art is inserted into an inspection socket.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 기술에 따른 반도체 칩 패키지 검사용 소켓(70, 이하, 소켓이라 한다)을 이용한 반도체 칩 패키지(10)의 전기적 특성 검사가 이루어지는 구조는 테스터(도시 안됨)와 전기적으로 연결된 테스트 기판(40) 상면에 소켓(70) 하부면에 돌출된 소켓 리드들(71)이 삽입되어 테스트 기판(40)상의 회로 패턴들과 전기적으로 연결되어 있으며, 피커(80)와 같은 이송 수단에 의해 이송된 반도체 칩 패키지(10)가 상기 소켓(70)에 삽입·고정된 상태에서 테스터에서 검사 신호가 인가되어 그 반도체 칩 패키지(10)의 전기적 특성 검사가 진행되는 구조를 갖는다.1 and 2, a structure in which electrical characteristics of a semiconductor chip package 10 is inspected using a semiconductor chip package inspection socket 70 (hereinafter, referred to as a socket) according to the related art is a tester (not shown). Socket leads 71 protruding from the lower surface of the socket 70 are inserted into the upper surface of the electrically connected test board 40 to be electrically connected to the circuit patterns on the test board 40, such as the picker 80. In the state in which the semiconductor chip package 10 transferred by the transfer means is inserted into the socket 70 and fixed, the test signal is applied from the tester to test the electrical characteristics of the semiconductor chip package 10.
여기서, 소켓(70)은 그 하부면이 상기 테스트 기판(40) 상에 적층·고정되어 있으며, 그 상부면에는 반도체 칩 패키지(10)가 탑재될 상부면을 갖는 하부 몸체(75)와, 상기 하부 몸체(75) 상에 이격되어 있으며, 상기 하부 몸체(75)의 각 모서리에 형성된 가이드 바들(도시 안됨)에 의해 상기 하부 몸체(75)와 기계적으로 연결되어 있으며, 그 가이드 바를 따라서 상·하 운동하는 상부 몸체(73)로 형성된 소켓 몸체를 갖는다.Here, the socket 70 has a lower surface of which is laminated and fixed on the test substrate 40, and a lower body 75 having an upper surface on which the semiconductor chip package 10 is to be mounted. It is spaced on the lower body 75, is mechanically connected to the lower body 75 by guide bars (not shown) formed in each corner of the lower body 75, along the upper and lower guide bars It has a socket body formed of an upper body 73 that moves.
상부 몸체(73)는 반도체 칩 패키지(10)가 삽입되어 하부 몸체(75)의 상부면에 탑재될 수 있도록 개구부가 형성되어 있다.The upper body 73 has an opening so that the semiconductor chip package 10 may be inserted and mounted on the upper surface of the lower body 75.
그리고, 소켓 리드(71)는 하부 몸체(75)의 하부면에서 돌출된 전기적 연결부(71b), 그 전기적 연결부와(71b) 일체로 형성되어 있으며, 상기 하부 몸체(75)의 상부면의 가장 자리 부분에 접한 리드 접속부(71c) 및 상기 전기적 연결부(71b)와 리드 접속부(71c)와 일체로 형성되어 있으며, 상기 상부 몸체(73)의 하부면에 삽입·고정되어 있는 고정부(71a)를 갖는다.In addition, the socket lead 71 is formed integrally with the electrical connection portion 71b protruding from the lower surface of the lower body 75, the electrical connection portion 71b, and an edge of the upper surface of the lower body 75. It is formed integrally with the lead connecting portion 71c in contact with the portion, the electrical connecting portion 71b and the lead connecting portion 71c, and has a fixing portion 71a inserted and fixed to the lower surface of the upper body 73. .
그리고, 피커(80)는 소켓(70)의 상부 몸체(73)의 상부면에 대응되게 형성된 가압부(83) 및 그 가압부(83)의 사이에 위치하며, 반도체 칩 패키지(10)를 진공 흡착에 의해 이송하는 흡착부(85)를 갖는다.The picker 80 is positioned between the pressing portion 83 and the pressing portion 83 formed to correspond to the upper surface of the upper body 73 of the socket 70, and vacuums the semiconductor chip package 10. It has the adsorption part 85 conveyed by adsorption.
여기서, 반도체 칩 패키지(10)가 소켓(70)에 삽입되는 구조를 좀더 상세히 언급하면, 반도체 칩 패키지(10)를 흡착한 피커(80)가 하강하게 되면, 상기 가압부(83)가 상기 소켓의 상부 몸체(73)의 상부면을 가압하게 되고, 그 가압에 의해 상기 상부 몸체(73)의 하부면에 체결된 소켓 리드의 고정부(71a)가 하강하게 되어 상기 리드 접속부(71c)가 상기 하부 몸체(75)의 상부면에서 이격된다.Here, referring to the structure in which the semiconductor chip package 10 is inserted into the socket 70 in more detail, when the picker 80 that has absorbed the semiconductor chip package 10 is lowered, the pressing unit 83 is connected to the socket. The upper surface of the upper body of the 73 is pressed, and the pressing portion 71a of the socket lead fastened to the lower surface of the upper body 73 by the pressing lowers the lead connecting portion 71c Spaced apart from the upper surface of the lower body 75.
그리고, 피커의 흡착부(85)에 흡착된 반도체 칩 패키지(10)가 상기 하부 몸체(75)의 상부면에 떨어지게 된다.In addition, the semiconductor chip package 10 adsorbed by the adsorption part 85 of the picker is dropped on the upper surface of the lower body 75.
그리고, 피커(80)가 상승하게 되면 상부 몸체(73)가 소켓 리드(71)의 탄성에 의해 원래의 형상으로 복원되면서 상기 리드 접속부(71c)가 상기 반도체 칩 패키지(10)의 리드와 접속하게 된다.Then, when the picker 80 is raised, the upper body 73 is restored to its original shape by the elasticity of the socket lead 71, and the lead connecting portion 71c is connected to the lead of the semiconductor chip package 10. do.
여기서, 반도체 칩 패키지(10)의 탑재가 완료되면 테스터에서 보내진 검사 신호가 테스트 기판(40)에 전달되고, 그 테스트 기판(40)과 전기적으로 연결된 소켓 리드(71)가 반도체 칩 패키지(10)의 리드에 전달되어 전기적 특성 검사가 이루어진다.Here, when the mounting of the semiconductor chip package 10 is completed, the test signal sent from the tester is transmitted to the test substrate 40, and the socket lead 71 electrically connected to the test substrate 40 is the semiconductor chip package 10. It is delivered to the lead and the electrical property is checked.
이와 같은 구조를 갖는 소켓은 테스트 기판에 삽입되기 위하여 소켓 리드들이 소켓 몸체에 대하여 전기적 연결부가 외부로 돌출되어 있기 때문에 테스트 기판에 삽입되거나 분리될 때 소켓 리드의 전기적 연결부의 망실에 의한 반도체 칩 패키지의 전기적 특성 검사에 문제점을 발생시킬 수 있다.A socket having such a structure has a structure in which a semiconductor chip package is caused by a loss of electrical connection of a socket lead when the socket lead is inserted into or detached from the test board because the socket leads protrude outwardly with respect to the socket body in order to be inserted into the test board. It may cause problems in the electrical property test.
그리고, 소켓에는 동일한 종류의 반도체 칩 패키지를 반복적으로 테스트하게 된다.The same type of semiconductor chip package is repeatedly tested in the socket.
따라서, 여러 종류의 반도체 칩 패키지가 실장된 모듈의 테스트에 있어서, 하나 하나 테스트가 완료된 반도체 칩 패키지가 실장된 모듈 상태에서 테스트가 가능하기 때문에 하나의 반도체 칩 패키지라도 불량이 발생할 경우 모듈 자체에 대한 수리가 병행되어야 하기 때문에 수율이나 신뢰성 측면에서 떨어지는 문제점을 안고 있다.Therefore, in the test of a module mounted with several kinds of semiconductor chip packages, the test can be performed in a module state in which the tested semiconductor chip package is mounted one by one. Since repairs must be performed in parallel, there is a problem in terms of yield and reliability.
따라서, 본 발명의 목적은 소켓에 반도체 칩 패키지들을 연결하는 회로 패턴들이 형성되어 있어 모듈로 제조되기 전에 모듈 테스트를 할 수 있으며, 소켓 리드들이 소켓 몸체에 대하여 외부로 돌출되지 않게 형성하여 소켓 리드의 망실에 의한 불량을 제거할 수 있는 회로 패턴이 형성된 멀티 소켓을 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to form a circuit pattern for connecting semiconductor chip packages to a socket, so that the module can be tested before being manufactured as a module, and the socket leads are formed so that they do not protrude outward from the socket body. An object of the present invention is to provide a multi-socket in which a circuit pattern capable of eliminating defects caused by loss is formed.
도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 반도체 칩 패키지가 검사용 소켓에 삽입되는 상태를 나타내는 단면도.1 and 2 are cross-sectional views showing a state in which the semiconductor chip package according to the prior art is inserted into the inspection socket.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 칩 패키지 검사용 멀티 소켓이 테스트 소켓에 삽입되는 상태를 나타내는 결합 사시도.3 is a perspective view illustrating a state in which a multi-socket for inspecting a semiconductor chip package according to the present invention is inserted into a test socket;
도 4는 도 3의 반도체 칩 패키지 검사용 소켓의 하부면에 패턴들이 형성된 상태를 나타내는 저면도.4 is a bottom view illustrating a state in which patterns are formed on a lower surface of the socket for inspecting the semiconductor chip package of FIG. 3.
도 5는 도 3의 A-A'선 단면도.5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 3.
※ 도면의 주요 부분에 대한 설명 ※※ Description of the main parts of the drawings ※
110 : 반도체 칩 패키지 140 : 테스트 소켓110: semiconductor chip package 140: test socket
145 : 테스트 패턴 150 : 테스터145: test pattern 150: tester
160 : 연결 케이블 170 : 멀티 소켓160: connection cable 170: multi socket
171 : 소켓 리드 172 : 회로 패턴171: socket lead 172: circuit pattern
173 : 상부 몸체 175 : 하부 몸체173: upper body 175: lower body
상기 목적을 달성하기 위하여, 복수개의 반도체 칩 패키지가 각기 삽입될 수 있는 복수개의 개구부가 형성된 상부 몸체, 그 상부 몸체에 대하여 이격되어 있으며, 모서리 부분에 체결된 가이드들에 의해 상기 상부 몸체와 연결된 하부 몸체를 갖는 소켓 몸체; 상기 상부 몸체의 하부면에 체결되어 있으며, 상기 반도체 칩 패키지의 리드와 각기 전기적으로 연결될 복수개의 소켓 리드; 및 상기 하부 몸체의 하부면에 형성되어 있으며, 상기 소켓 리드들을 전기적으로 연결하는 회로 패턴들을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 패턴들이 형성된 반도체 칩 패키지 검사용 멀티 소켓을 제공한다.In order to achieve the above object, a plurality of semiconductor chip packages, the upper body is formed with a plurality of openings, each of which can be inserted, spaced apart from the upper body, the lower portion connected to the upper body by guides fastened to the corner portion A socket body having a body; A plurality of socket leads fastened to the lower surface of the upper body and electrically connected to the leads of the semiconductor chip package; And a circuit pattern formed on a bottom surface of the lower body, the circuit patterns electrically connecting the socket leads.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 칩 패키지 검사용 멀티 소켓이 테스트 소켓에 삽입되는 상태를 나타내는 결합 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a state in which a multi-socket for inspecting a semiconductor chip package according to the present invention is inserted into a test socket.
도 4는 도 3의 반도체 칩 패키지 검사용 소켓의 하부면에 패턴들이 형성된 상태를 나타내는 저면도이다.4 is a bottom view illustrating a state in which patterns are formed on a bottom surface of the socket for inspecting the semiconductor chip package of FIG. 3.
도 5는 도 3의 A-A'선 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 3.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 칩 패키지 검사용 멀티 소켓(170, 이하, 멀티 소켓이라 한다)은 복수개의 반도체 칩 패키지(110)가 삽입될 수 있는 소켓 몸체(174)와 그 소켓 몸체(174) 내부에 체결되어 있으며, 반도체 칩 패키지(110)의 리드들과 각기 접속되어 전기적 신호를 전달하는 소켓 리드(171)를 갖고 있으며, 그 소켓 리드들(171)을 각기 전기적으로 연결하며, 외부의 테스트 소켓(140)의 테스트 패턴들(145)과 전기적으로 접속되는 회로 패턴들(172)이 소켓 몸체(174)의 하부면에 형성된 구조를 갖고 있다.3 to 5, the multi-socket 170 (hereinafter, referred to as a multi-socket) for inspecting a semiconductor chip package according to the present invention may include a socket body 174 into which a plurality of semiconductor chip packages 110 may be inserted. It is fastened in the socket body 174 and has a socket lead 171 connected to the leads of the semiconductor chip package 110 to transmit an electrical signal, respectively, the socket leads 171 electrically The circuit patterns 172 connected to the test patterns 145 of the external test socket 140 have a structure formed on the bottom surface of the socket body 174.
좀더 상세히 언급하면, 소켓 몸체(174)는 반도체 칩 패키지(110)가 삽입될 수 있는 개구부가 형성된 상부 몸체(173)와, 상기 상부 몸체(173)에 대하여 이격되어 있으며, 네 변의 모서리 부분에 체결된 가이드 바들(176)에 의해 연결된 하부 몸체(175)를 갖는다.In more detail, the socket body 174 is spaced apart from the upper body 173 and the upper body 173 having an opening through which the semiconductor chip package 110 can be inserted, and fastened to four corner portions. Has a lower body 175 connected by guide bars 176.
하부 몸체(173)의 하부면 상에는 소켓 리드들(171)을 전기적으로 연결하며, 테스트 소켓의 테스트 패턴들(145)과 각기 전기적으로 접속될 회로 패턴들(172)이 형성되어 있다.On the bottom surface of the lower body 173, circuit patterns 172 electrically connecting the socket leads 171 and electrically connected to the test patterns 145 of the test socket are formed.
그리고, 그 회로 패턴들(172)은 하부 몸체(175)의 하부면과 이웃하는 네 측면에 일부가 연장되어 형성된 구조를 갖는다.The circuit patterns 172 have a structure in which a part of the circuit patterns 172 are extended to be formed at four neighboring side surfaces of the lower body 175.
여기서, 반도체 칩 패키지(110)의 전기적 특성 검사가 이루어지는 구조는 반도체 칩 패키지들(110)이 삽입된 멀티 소켓(170)이 테스트 소켓(140)에 삽입된다.Here, in the structure in which the electrical characteristic test of the semiconductor chip package 110 is performed, the multi-socket 170 into which the semiconductor chip packages 110 are inserted is inserted into the test socket 140.
여기서, 테스트 소켓(140)은 멀티 소켓(170)이 삽입될 수 있는 개구부가 형성되어 있으며, 그 개구부의 안쪽의 측면에 테스트 패턴들(145)이 형성된 구조를 갖는다.Here, the test socket 140 has an opening in which the multi-socket 170 can be inserted, and has a structure in which test patterns 145 are formed on an inner side of the opening.
따라서, 멀티 소켓(170)이 테스트 소켓(140)에 삽입되면 멀티 소켓(170)의 하부 몸체(175)의 네 측면에 연장 형성된 회로 패턴들(172)과 테스트 소켓의 테스트 패턴들(145)이 각기 기계적인 접속에 의해 전기적으로 연결된다.Therefore, when the multi-socket 170 is inserted into the test socket 140, the circuit patterns 172 and the test patterns 145 of the test socket are formed on four sides of the lower body 175 of the multi-socket 170. Each is electrically connected by mechanical connection.
그리고, 테스트 소켓의 테스트 패턴들(145)은 연결 케이블(160)에 의해 테스터(150)와 전기적으로 연결된다.The test patterns 145 of the test socket are electrically connected to the tester 150 by the connection cable 160.
여기서, 상기 멀티 소켓(170)이 테스트 소켓(140)에 삽입이 완료되면, 테스터(150)에서 검사 신호가 연결 케이블(170)을 통해서 인가되고, 그 검사 신호는 테스트 패턴(145), 회로 패턴(172) 및 소켓 리드(171)를 거쳐 반도체 칩 패키지들(110)의 리드들에 전달되어 전기적 특성 검사가 이루어진다.Here, when the multi-socket 170 is inserted into the test socket 140, the test signal is applied from the tester 150 through the connection cable 170, and the test signal is transmitted to the test pattern 145 and the circuit pattern. The electrical characteristics of the semiconductor chip packages 110 are transferred to the leads of the semiconductor chip packages 110 through the 172 and the socket leads 171.
그리고, 반도체 칩 패키지들(110)의 리드들과 직접 전기적으로 연결된 소켓 리드들(171)도 회로 패턴들(172)에 의해 전기적으로 연결되어 있기 때문에 반도체 칩 패키지들(110)의 상호 연결에 의한 전기적 특성 검사도 가능하다.In addition, since the socket leads 171 directly connected to the leads of the semiconductor chip packages 110 are also electrically connected by the circuit patterns 172, the interconnections of the semiconductor chip packages 110 may be reduced. Electrical characterization is also possible.
상기한 반도체 칩 패키지들(110)의 상호 연결하는 구조에 따라서 회로 패턴(172)을 설계하면 된다.The circuit pattern 172 may be designed according to the interconnection structure of the semiconductor chip packages 110.
그리고, 반도체 칩 패키지(110)가 멀티 소켓(170)에 삽입되어 전기적으로 연결되는 구조는 종래 기술에서 언급된 피커를 이용하여 멀티 소켓의 소켓 리드들(171)의 탄성력을 이용하는 구조를 동일한다.(도 1 및 도 2 참조)In addition, the structure in which the semiconductor chip package 110 is inserted into and electrically connected to the multi-socket 170 has the same structure using the elastic force of the socket leads 171 of the multi-socket using the picker mentioned in the related art. (See Figures 1 and 2)
여기서, 종래 기술과의 차이점은 복수개의 반도체 칩 패키지(110)를 멀티 소켓(170)에 동시에 삽입시킨다는 것이다.Here, the difference from the prior art is that the plurality of semiconductor chip package 110 is inserted into the multi-socket 170 at the same time.
따라서, 본 발명의 의한 구조를 따르면, 멀티 소켓의 소켓 몸체에 복수개의 반도체 칩 패키지를 실장할 수 있으며, 반도체 칩 패키지들을 연결하는 회로 패턴들이 형성되어 있기 때문에 모듈로 제조되기 전에 멀티 소켓에서 모듈 테스트를 할 수 있으며, 소켓 리드들이 소켓 몸체에 대하여 외부로 돌출되지 않게 형성하여 소켓 리드의 망실에 의한 불량을 제거할 수 있는 이점(利點)이 있다.Therefore, according to the structure of the present invention, a plurality of semiconductor chip packages can be mounted on the socket body of the multi-socket, and since the circuit patterns connecting the semiconductor chip packages are formed, the module test in the multi-socket before the manufacture of the module It can be, and the socket leads are formed so as not to protrude to the outside relative to the socket body has the advantage that can eliminate the defects caused by the loss of the socket lead (利 點).
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