KR19980024293A - 피가공물 이송 로봇 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼와같은 피가공물을 한 동작에서 다음 동작으로 전달하는데 사용되는 피가공물 이송 로봇에 관한 것이다. 상기 피가공물 이송 로봇은 하나의 아암 또는 로봇 몸체와 같은 구성 요소 내부에 물과 같은 액체가 들어가는 것을 방지하기 위한 방수 기구를 가진다. 상기 피가공물 이송 로봇은 로봇 몸체, 적어도 하나의 조인트에 의해 상기 로봇 몸체에 동작가능하게 결합된 적어도 하나의 아암, 피가공물을 지지하기 위하여 상기 아암 상에 장착된 홀더 기구, 액체가 조인트의 내부에 들어가는 것을 방지하기 위하여 상기 조인트에 제공된 오일리스 밀봉체를 포함한다.

Description

피가공물 이송 로봇

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 한 동작에서 다음 동작으로 전달하기 위한 피가공물 이송 로봇에 관한 것이고, 특히 물과 같은 액체가 아암, 로봇 몸체 등을 포함하는 구성 요소의 내부에 들어가는 것을 방지하기 위한 방수 매커니즘을 가진 피가공물 이송 로봇에 관한 것이다.

조인트를 통하여 로봇 몸체에 동작가능하게 결합되고 다수의 관절로된 아암 및 피가공물을 지지하기 위한 말단 아암 선단부에 장착된 홀더 기구를 갖는 피가공물 이송 로봇은 공지되어 있다.

첨부된 도면의 도 1은 반도체 웨이퍼를 전달하기 위하여 진공 척을 갖는 피가공물 이송 로봇(1)을 도시한다. 도 1에 도시된 바와같이, 상기 피가공물 이송 로봇(1)은 실질적으로 원통형인 로봇 몸체(10) 및 상기 로봇 몸체(10)의 상부 표면상에 지지된 한 쌍의 아암 기구를 포함한다.

상기 각 아암 기구(21)는 2개의 관절로된 아암(25, 27)을 포함한다. 상기 아암(25)은 조인트(35)에 의해 로봇 몸체(10)에 동작가능하게 연결되고 상기 아암(27)은 조인트(37)에 의하여 아암(25)에 동작가능하게 연결된다. 피가공물등의 반도체 웨이퍼를 진공으로 지지하기 위한 한 쌍의 진공 척 기구(33)는 조인트(38)에 의하여 각 아암(27)에 동작가능하게 연결된다.

상기 각 조인트(35, 37)는 조인트로부터 먼지 입자가 발생하는 것을 방지하기 위한 자기적인 액체 밀봉체를 구비한다.

피가공물 이송 로봇을 장착하고 소정의 공정에서 순수 물등의 액체를 사용하는 많은 제조 설비 및 장치가 있다. 피가공물 이송 로봇(1)의 동작동안에, 순수 물 등의 액체가 진공 척 기구에 의해 운반되는 반도체 웨이퍼 등의 피가공물 표면에 부착된다. 아암 기구(21)가 작동될 때, 상기 액체가 반도체 웨이퍼로부터 떨어져 로봇 몸체(10) 및 상기 아암(25, 27)상에 쌓이는 경향이 있다.

자기적인 액체 밀봉체는 물과 같은 액체에 방수성이 없기 때문에, 빗금친 부분(39)에 의해 도시된 바와같이 좀더 큰 양의 물 등의 액체가 조인트(35) 주위에 쌓일 때, 상기 액체는 자기적인 액체 밀봉체를 통하여 로봇 몸체(10) 및 아암(25)의 내부로 들어가고, 따라서 피가공물 이송 로봇(1)의 내부 기구에 부식을 초래한다.

상기 자기적인 액체 밀봉체는 조인트(35)를 방수 상태로 만들기 위하여 o-링으로 대치할 수 있다. 그러나, o-링은 슬라이딩 운동에 상대적으로 많은 저항을 부가하기 때문에, 상기 아암(25)을 회전하는데 과도한 힘이 필요하다.

진공 척 기구(33)를 갖는 피가공물 이송 로봇(1)은 로봇 몸체(10)의 내부로부터 아암(25, 27)의 내부 및 조인트(35, 37, 38)의 내부를 통하여 진공 척 기구(33)로 연장되는 진공 경로를 포함한다.

만약 진공 경로에서 누설이 발생한다면, 상기 아암(25)에서 진공이 생길 것이다. 비록 상기 조인트(35)가 밀봉되었다 하더라도, 상기 조인트(35)는 상기 아암(25)에서 발생된 진공의 누설을 초래하는 밀봉 고장을 겪게될 것이다. 따라서, 조인트(35) 주위의 물(39)이 누설로 초래된 흡입으로 조인트(35)의 내부로 이끌릴 수 있고, 아암(25) 및 로봇 몸체(10)의 내부에 부식 손상을 초래할 수 있다. 동일한 문제가 조인트(37, 38)에서 발생한다.

하나의 해결책은 아암(25)내에 대기압보다 높은 내부 압력을 발생시켜 상기 물(39)을 아암(25)으로부터 추출하는 것이다. 그러나, 높은 내부 압력은 아암(25)으로부터 빠져나온 물뿐만 아니라 다른 외부 물질을 배출하게되고 따라서 아암(25)의 외부를 오염시키게 된다.

본 발명의 목적은 로봇 몸체 내부 및 로봇 몸체 위에 장착된 아암에 외부 액체가 들어가는 것을 막고, 슬라이딩 운동에 상대적으로 작은 저항을 부과하고, 구조가 상대적으로 간단한 방수 기구를 갖는 피가공물 이송 로봇을 제공하는 것이다.

본 발명의 제 1형태에 따라서, 로봇 몸체; 적어도 하나의 조인트에 의하여 로봇 몸체에 동작가능하게 연결된 적어도 하나의 아암; 피가공물을 지지하기 위하여 아암 상에 장착된 홀더 기구; 액체가 조인트 내부로 들어가는 것을 방지하기 위하여 조인트에 제공된 오일리스 슬라이딩 밀봉체를 포함하는 피가공물 이송 로봇을 제공한다.

본 발명의 제 2형태에 따라서, 로봇 몸체; 적어도 하나의 조인트에 의하여 로봇 몸체에 동작가능하게 연결된 적어도 하나의 아암; 피가공물을 지지하기 위하여 아암 상에 장착된 홀더 기구; 액체가 조인트 내부로 들어가는 것을 방지하기 위하여 조인트에 제공된 밀봉 기구를 포함하고, 상기 밀봉 기구의 밀봉 영역은 로봇 몸체 및 아암 중 하나의 상부 몸체상에 쌓인 액체의 최고의 표면 레벨보다 높은 위치에 제공되는 피가공물 이송 로봇을 제공한다.

본 발명의 제 3형태에 따라서, 로봇 몸체; 적어도 하나의 조인트에 의하여 로봇 몸체에 동작가능하게 연결된 적어도 하나의 아암; 진공으로 피가공물을 지지하기 위하여 아암 상에 장착된 홀더 기구; 조인트와 아암을 통하여 로봇 몸체로부터 진공 척 기구로 연장되는 진공 경로; 액체가 조인트 내부로 들어가는 것을 방지하기 위하여 조인트에 제공된 밀봉 기구; 아암에서의 압력과 상기 아암 외부 압력과 동일하게 하기 위하여 상기 아암에 제공된 가스 배출구를 포함하는 피가공물 이송 로봇을 제공한다.

본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시예를 나타내는 첨부된 도면과 함께 아래의 설명으로부터 명백할 것이다.

도 1은 피가공물 로봇의 부분 측면 입면도;

도 2는 본 발명의 제 1실시예에 따른 방수 기구를 포함하는 피가공물 이송 로봇의 조인트의 확대된 부분 단면도;

도 3은 본 발명의 제2실시예에 다른 방수 기구를 포함하는 피가공물 이송 로봇의 부분 측면 입면도;

도 4는 도 3에서 원 부분(D)의 확대된 부분 단면도;

도 5는 본 발명의 제 3실시예에 따른 방수 기구를 포함하는 피가공물 이송 로봇의 부분 측면 입면도;

도 6은 도 5에 도시된 피가공물 이송 로봇에서의 가스 배출구를 갖는 부분의 확대된 부분 단면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10 : 로봇 몸체 25 : 아암

26 : 환형 슬라이드 융기부 61 : 베어링 기구

본 발명의 원리는 도 1에 도시된 피가공물 이송 로봇과 기본적으로 유사한 피가공물 이송 로봇에 응용가능하다.

도 2는 본 발명의 제 1실시예에 따라서 방수 기구를 포함하는 피가공물 이송 로봇의 조인트(35)를 도시한다. 도 2에 도시된 조인트(35)는 도 1에 도시된 원 부분(A)과 상응한다. 도 1에 도시된 것과 동일한 도 2에 도시된 부분은 동일 참조 번호로 표시되고 아래에 상세히 설명될 것이다.

도 2에 도시된 바와같이, 조인트(35)는 상기 로봇 몸체(10) 및 아암(25)사이에 배치된 베어링 기구(61)를 포함하여 상기 아암(25)을 로봇 몸체(10)상에 회전가능하게 지지한다. 작동기 기구(도시되지 않았음)는 로봇 몸체(10)에 대하여 아암(25)을 각운동으로 이동시키기(angularly moving) 위하여 로봇 몸체(10)로부터 아암(25)까지 구동력을 전달하기 위한 베어링 기구(61)로 연장된다.

제 1실시예에 따르면, 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 베어링 기구(61) 주위에 배치되고 로봇 몸체(10)상에 배치된다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 상대적으로 적은 마모 및 상대적으로 낮은 슬라이딩 마찰을 겪는 플루오르카본 수지와 같은 합성 수지로 만들어진 링 부재를 포함한다. 상기 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 로봇 몸체(10)의 상부 표면에 고정된 축방향 하부 단부를 가진다. 아암(25)은 아래쪽으로 연장되는 환형 슬라이딩 융기부(26)를 가지고 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)의 내부에 반지름 방향으로 연장된다.

환형 슬라이딩 립(42)은 환형 슬라이딩 융기부(26)의 외부 환형 표면과 슬라이딩 접촉으로 지지된 선단부를 가지고, 이것에 의해 환형 슬라이딩 립(42) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)사이에 확실한 밀봉을 제공한다. 즉, 조인트(35)의 전체 환형 표면은 환형 슬라이딩 립(42) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)사이에서의 접촉에 의해 밀봉된다. 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 플루오르카본 수지로 만들어지기 때문에, o-링과 비교하여 보다 적은 슬라이딩 저항을 가진다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 조인트(37, 38)의 각 원 부분(B, C)(도 1참조)에 포함될 수 있다.

피가공물 이송 로봇(1)의 동작은 아래에 기술될 것이다. 진공 척 기구(33)(도 1참조)가 진공으로 피가공물 등의 반도체 웨이퍼(도시되지 않았음)를 지지하고, 반도체 웨이퍼에 부착된 순수 물 등의 액체가 떨어져 로봇 몸체(10)의 상부 표면상에 쌓인다.

(도 1의 빗금친 부분에 의해 도시된) 물(39)이 조인트(35) 주위에 점차적으로 쌓여 좀더 큰 량으로 될 때, 상기 물(39)은 조인트(35)를 통하여 로봇 몸체(10) 및 아암(25)의 내부에 들어가는 경향이 있다. 그러나, 서로 슬라이딩 접촉으로 근접하게 지지된 환형 슬라이딩 립(42) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)에 의하여 조인트(35)의 내부로 물(39)이 들어가는 것을 방지한다. 따라서, 피가공물 이송 로봇(1)의 내부 및 아암(25)의 내부는 부식으로부터 방지된다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 o-링과 비교하여 보다적은 슬라이딩 저항을 가지기 때문에, 아암 기구(21)(도 1참조)를 동작시키기 위한 전기 모터는 적은 출력 전원이 요구될 수 있다. 따라서, 전기 모터는 에너지를 절감할 수 있고 비용이 적고 크기가 소형으로 될 수 있다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 물이 쌓이기 쉬운 영역에 배치된 조인트에만 설치될 수 있다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 아암(25)에 고정될 수 있고, 환형 슬라이드 융기부(26)는 로봇 몸체(10)에 제공될 수 있다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 상대적으로 적은 마모를 겪고 상대적으로 낮은 슬라이딩 마찰을 갖는다면 플로오르카본 수지가 아닌 임의의 다른 합성 수지로도 만들어질 수 있다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 진공 척을 갖는 피가공물 이송 로봇이외에도 다양한 형태의 피가공물 이송 로봇에 인가될 수 있다.

상기 로봇에서 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체 대신에 o-링이 사용될 지라도, 플로오르카본 수지 코팅이 o-링의 표면에 인가되면, 슬라이딩 저항은 줄어들 수 있고, 따라서 동일 효과가 얻어질 수 있다. 더욱이 o-링의 재료를 고무가 아닌 탄화수지와 같은 낮은 슬라이딩 저항을 갖는 재료로 변화시켜도 동일 효과가 얻어질 수 있다.

제 1실시예에서, 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)는 서로 기계적인 접촉으로 지지되고, 만약 피가공물 이송 로봇의 진공 경로로부터의 누설로 인하여 아암(25)에서 진공이 발생된다면, 오일리스 드라이 밀봉체(41) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)사이의 밀봉체를 통하여 대기압과 아암(25)에서의 압력과의 큰 압력 차로 인하여 물(39)이 조인트(35)의 내부로 들어갈 수 있다.

도 3 및 도 4는 대기압과 아암에서의 압력과의 큰 압력 차이에서도 물과 같은 액체가 조인트의 내부로 들어가는 것을 막을 수 있도록 설계된 본 발명의 제 3실시예에 따른 방수 기구를 포함하는 피가공물 이송 로봇을 나타낸다.

도 3에 도시된 바와같이, 피가공물 이송 로봇(1-2)은 실질적으로 원통형 로봇 몸체(10) 및 상기 로봇 몸체(10)의 상부 몸체상에 지지된 한 쌍의 아암 기구(21)를 포함한다. 상기 각 아암 기구(21)는 2개의 관절로된 아암(25, 27)을 포함한다. 상기 아암(25)은 조인트(35)에 의하여 로봇 몸체(10)에 동작가능하게 지지되고 상기 아암(27)은 조인트(37)에 의하여 아암(25)에 동작가능하게 접속된다. 진공으로 반도체 웨이퍼를 지지하기 위한 한 쌍의 진공 척 기구(33)는 조인트(38)에 의하여 각 아암(27)에 접속된다.

도 4는 도 3의 원 부분(D)의 확대 단면도이다.

제 4도에 도시된 바와같이, 조인트(35)는 아암(25)을 로봇 몸체(10)상에 회전가능하게 지지하기 위하여 로봇 몸체(10) 및 아암(25) 사이에 배치된 베어링 기구(61)를 포함한다. 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 베어링 기구(61) 주위에 배치되고 로봇 몸체(10)상에 지지된다. 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 보다 적은 내부 직경을 갖는 환형 슬라이딩 립(42)을 형성하도록 한쪽 끝이 좁아지는 축방향 상부 단부를 가진다. 아암(25)은 하부로 연장되는 환형 슬라이딩 융기부(26)를 가지고 오일리스 드라이 밀봉체(41)의 반지름 방향으로 내부를 향해 정렬된다. 환형 슬라이딩 립(42)은 환형 슬라이딩 융기부(26)의 외부 원형 표면과 슬라이딩 접촉으로 지지된 선단을 가지고, 이것에 의해 환형 슬라이딩 립(42) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)사이에 확실한 밀봉을 제공한다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 각 조인트(37, 38)에 포함된다.

도 3 및 도 4의 제 2실시예에 따라서, 환형 슬라이딩 립(42) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)에 의하여 제공된 밀봉체 즉 환형 슬라이딩 립(42) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)가 있는 영역은 로봇 몸체(10)의 상부 표면상의 표면 장력 때문에, 로봇 몸체(10)의 상부 표면상에 보다 큰 량으로 쌓인 물(39)에 의하여 이를 수 있는 최고의 표면 레벨보다 높은 위치에 제공된다.

특히 만약 로봇 몸체(10)의 상부 표면으로부터 상기 쌓인 물(39)에 의하여 이를 수 있는 최고 표면 레벨이 t1 = 5mm이라면, 로봇 몸체(10)의 상부 표면으로부터 환형 슬라이딩 립(42) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)에 의하여 제공된 밀봉체의 높이는 t2 = 8mm이다.

이러한 장치를 사용하면, 물(39)이 로봇 몸체(10)의 상부 표면상의 가장 큰 량으로 쌓이더라도, 상기 물(39)이 환형 슬라이딩 립(42) 및 환형 슬라이딩 융기부(26)사이의 밀봉 부분에 이르는 것을 방지한다. 결론적으로, 피가공물 이송 로봇(1)의 진공 경로로부터의 누설로 인하여 진공이 아암(25)에서 발생될지라도, 밀봉체를 통하여 조인트(35)의 내부로 물이 들어가지 않는다.

각 조인트(37, 38)에서, 각 아암(25, 27)의 상부 표면상의 표면 장력으로 인하여 최대량으로 쌓인 물(39)이 이를 수 있는 최고 표면 레벨보다 높은 위치에 유사한 밀봉이 제공된다.

제 2실시예에서는 밀봉이 제 1실시예에서와 같이 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체를 포함하였지만, 상기 밀봉체는 o-링 또는 금속 밀봉체와 같은 다양한 다른 밀봉 기구일 수 있다.

실시예에서는 슬라이딩 드라이 밀봉체는 진공 척을 갖는 피가공물 이송 로봇에 인가되었지만, 상기 밀봉체는 피가공물 이송 로봇의 다양한 형태에 적용될 수 있다.

도 5 및 도 6은 본 발명의 제 3실시예에 따라서 방수 기구를 포함하는 피가공물 이송 로봇을 도시한다.

도 5에 도시된 바와같이, 피가공물 이송 로봇(1-3)은 외부 직경(ΦA) 및 로봇 몸체(10)의 상부 표면상에 장착된 한 쌍의 아암 기구(21)를 갖는 실질적으로 원통형 로봇 몸체(10)를 포함한다. 각 아암 기구(21)는 2개의 관절로된 아암(25, 27)을 포함한다. 상기 아암(25)은 조인트(35)에 의하여 로봇 몸체(10)에 동작가능하게 연결되고 아암(27)은 조인트(37)에 의하여 아암(25)에 연결된다. 진공으로 반도체 웨이퍼를 붙들기 위하여 한 쌍의 진공 척 기구(33)는 조인트(38)에 의하여 각 아암(27)에 동작가능하게 연결된다.

각 조인트(35, 36, 37)는 도 2에 도시된 밀봉 기구와 동일한 밀봉 기구를 가진다.

제 3실시예에 따르면, 로봇 몸체(10)의 상부 표면과 접촉하지 않는 위치 즉 로봇 몸체(10)의 외부 직경(ΦA)의 외측 위치에서 각 아암(25)의 하부 표면에 가스 배출구(70)가 형성되고 상기 가스 배출구는 로봇 몸체(10)의 상부 표면상에 쌓인 물(39)로부터 떨어져 있다.

도 6에 도시된 바와같이, 상기 가스 배출구(70)는 아암(25)의 하부 표면상에 지지되고 하부 표면을 통하여 연장되는 관모양 부재(71)에 의하여 형성되고 아암(25)의 내부 및 아암(25)의 외부사이에 연통을 제공한다.

관모양 부재(71)는 각각 다른 외부 직경을 가지고 실질적으로 중앙 영역에서 서로 결합되는 2개 부분을 포함한다. 상기 관모양 부재(71)의 보다 작은 직경 부분은 아암(25)에 삽입되고, 관 모양 부재(71)의 보다 큰 직경 부분은 아암(25)으로부터 하부로 돌출하고 환형 뱅크(73)를 포함한다. 상기 관형부재(71)는 아암(25)과 일체형으로 형성될 수 있고, 단일 내부 직경을 가질 수 있다.

가스 배출구(70)는 아래와 같이 동작한다. 피가공물 이송 로봇(1-3)은 진공 척 기구가 진공으로 반도체 웨이퍼를 붙들고 반도체 웨이퍼를 전달하도록 동작할 때, 반도체 웨이퍼에 부착된 순수 물 등이 떨어져 로봇 몸체(10)의 상부 표면상에 물(39)과 같이 쌓인다.

아암(25)의 내부가 가스 배출구(70)를 통하여 아암(25)의 외부와 연통하기 때문에, 아암(25)에서의 압력은 실질적으로 대기압과 동일하고 아암(25)에서의 진공 경로가 누설될지라도 아암(25)에서 진공이 발생하지 않는다. 따라서 로봇 몸체(10)의 상부 표면상에서 물(39)의 량이 증가되어 조인트(35)와 접촉할지라도, 조인트(35)의 내부로 물(39)이 들어가지 않을 것이다. 그러므로 조인트(35)에서의 오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체(41)는 물(39)이 조인트(35)의 내부로 들어가는 것을 효율적으로 방지한다.

물(39)이 미치지 않는 곳에 가스 배출구(70)가 배치되는 한, 가스 배출구(70)를 통하여 아암(25)으로 공기가 도입되더라도 물(39)은 가스 배출구(70)로 이끌어지지 않을 것이다.

심지어 물(39)이 아암(25)의 하부 표면을 따라서 가스 배출구(70)에 이를지라도, 물이 아암(25)의 내부로 들어가는 것을 아암(25)의 하부 표면으로부터 하부로 돌출하는 뱅크(73)에 의하여 방지된다.

아암(25)의 상부 표면상에 쌓인 물이 조인트(37)를 통하여 아암(27)의 내부에 들어가는 것을 방지하기 위하여 각 아암(25, 27)에 가스 배출구가 형성될 수 있다.

상기 각 실시예에서, 상기 로봇 몸체 상에 지지된 아암 부재 및 조인트는 상기 언급된 갯수에 제한되는 것이 아니며 하나 또는 그 이상이 될 수도 있다.

상기 실시예에서, 방수 기구는 반도체 웨이퍼를 전달하기 위한 진공 척을 갖는 피가공물 이송 로봇에 구현되었다. 그러나 본 발명의 원리는 다른 형태의 피가공물 이송 로봇에도 적용 가능하다.

상기 기술된 바와같이, 본 발명은 아래의 장점을 제공한다.

물과 같은 액체가 아암의 내부 또는 로봇 몸체의 내부로 들어가는 것을 막기 때문에, 상기 아암 내부 및 상기 로봇 내부 기구 내부는 부식으로부터 보호된다. 결과적으로, 밀봉 기구를 갖지 않는 종래 피가공물 이송 로봇보다 피가공물 이송 로봇은 서비스를 덜 요구하게되고, 긴 서비스 수명을 가지고 반도체 장치와 같은 제품에 대하여 보다 높은 생산율을 가진다.

오일리스 슬라이딩 드라이 밀봉체는 o-링과 비교하여 보다 적은 슬라이딩 저항을 가지고, 전기 모터는 보다 적은 출력 전원을 요구하고 에너지가 절감될 수 있고, 크기도 소형이 될 수 있다.

더욱이 본 발명의 제 2 및 제 3형태는 피가공물 이송 로봇에서 진공 경로가 누설되면 액체가 피가공물 이송 로봇의 내부로 들어가는 것을 확실히 방지할 수 있다. 그러므로, 본 발명의 제 2 및 제 3 피가공물 이송 로봇은 반도체 제조 환경과 같은 높은 레벨의 청정도를 요구하는 환경에서 사용하기에 적합하다.

비록 본 발명의 어떤 바람직한 실시예가 도시되고 상세히 기술될지라도, 첨부된 청구범위로부터 벗어나지 않고 다양한 변화 및 변형이 이루어질 수 있다.

Claims (8)

1. 로봇 몸체;

   적어도 하나의 조인트에 의하여 상기 로봇 몸체에 동작가능하게 결합된 적어도 하나의 아암;

   피가공물을 지지하기 위하여 상기 아암상에 장착된 홀더 기구;및

   액체가 상기 조인트 내부로 들어가는 것을 막기 위하여 상기 조인트에 제공된 오일리스 슬라이딩 밀봉체를 포함하는 것을 특징으로 하는 피가공물 이송 로봇.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 오일리스 슬라이딩 밀봉체는 합성 수지로 만들어지고 그 선단에 환형 슬라이딩 립을 갖는 링 부재를 포함하고,

   상기 환형 슬라이딩 립은 환형 슬라이딩 융기부와 접촉하고, 상기 링 부재는 상기 로봇 몸체 및 상기 아암 중 하나를 포함하는 제 1부재상에 장착되고,

   상기 환형 슬라이딩 융기부는 상기 제 1부재에 인접하여 배치되고 상기 로봇 몸체 및 상기 아암중 하나를 포함하는 제 2부재 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 피가공물 이송 로봇.
3. 로봇 몸체;

   적어도 하나의 조인트에 의해 상기 로봇 몸체에 동작가능하게 연결된 적어도 하나의 아암;

   피가공물을 지지하기 위하여 상기 아암 상에 장착된 홀더 기구; 및

   액체가 조인트 내부로 들어가는 것을 막기 위하여 상기 조인트에 제공된 밀봉 기구를 포함하고, 상기 밀봉 기구의 밀봉 영역은 상기 로봇 몸체 및 상기 아암중 하나의 상부 표면상에 쌓인 액체의 최고 표면 레벨 보다 높은 위치에 제공되는 것을 특징으로 하는 피가공물 이송 로봇.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 밀봉 기구는 오일리스 슬라이딩 밀봉체를 포함하는 것을 특징으로 하는 피가공물 이송 로봇.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 오일리스 슬라이딩 밀봉체는 합성 수지로 만들어지고 그 선단에 환형 슬라이딩 립을 갖는 링 부재를 포함하고,

   상기 환형 슬라이딩 립은 환형 슬라이딩 융기부와 접촉하고, 상기 링 부재는 상기 로봇 몸체 및 상기 아암 중 하나를 포함하는 제 1부재상에 장착되고,

   상기 환형 슬라이딩 융기부는 상기 제 1부재에 인접하여 배치되고 상기 로봇 몸체 및 상기 아암중 하나를 포함하는 제 2부재 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 피가공물 이송 로봇.
6. 로봇 몸체;

   적어도 하나의 조인트에 의해 상기 로봇 몸체에 동작가능하게 연결된 적어도 하나의 아암;

   진공으로 피가공물을 지지하기 위하여 상기 아암상에 장착된 진공 척 기구;

   상기 조인트 및 상기 아암을 통하여 상기 로봇 몸체로부터 상기 진공 척 기구으로 연장되는 진공 경로;

   액체가 상기 조인트 내부로 들어가는 것을 방지하기 위하여 상기 조인트에 제공된 밀봉 기구; 및

   상기 아암에서의 압력과 상기 아암 외부의 압력과 실질적으로 동일하게 하기 위하여 상기 아암상에 제공된 가스 배출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 피가공물 이송 로봇.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 밀봉 기구는 오일리스 슬라이딩 밀봉체를 포함하는 것을 특징으로 하는 피가공물 이송 로봇.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 오일리스 슬라이딩 밀봉체는 합성 수지로 만들어지고 그 선단에 환형 슬라이딩 립을 갖는 링 부재를 포함하고,

   상기 환형 슬라이딩 립은 환형 슬라이딩 융기부와 접촉하고, 상기 링 부재는 상기 로봇 몸체 및 상기 아암 중 하나를 포함하는 제 1부재상에 장착되고,

   상기 환형 슬라이딩 융기부는 상기 제 1부재에 인접하여 배치되고 상기 로봇 몸체 및 상기 아암중 하나를 포함하는 제 2부재 상에 제공되는 것을 특징으로 하는 피가공물 이송 로봇.