KR19980022522A - 정전기 방지형 액정 표시 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전기 방지형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 데이타선 쇼팅바를 두 개의 라인으로 제작하는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 구조는 박막 트랜지스터 기판, 기판에 평행하게 형성되어 있는 다수의 데이터선, 데이타선의 한쪽 끝에 형성되어 있는 입력 패드, 홀수번째 데이터선과 연결되어 있으며 입력 패드 부위에 형성되어 있는 제1 쇼팅바, 제1 쇼팅바와 평행하게 배열되어 있으며 짝수번째 데이터선과 연결된 제2 쇼팅바를 포함하고 있다.

Description

정전기 방지형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
본 발명은 정전기 방지형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 데이타선의 쇼팅바를 두 개의 라인으로 제작하여 화소 단위의 결함을 중간 검사하는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 박막 트랜지스터 기판의 제조 공정중에 수작업시나 또는 러빙천 등의 장비에 의해서 정전기가 발생한다. 기판에 정전기가 발생하면 대전 전하에 의해 배선이 단락되어 화소 불량의 원인이 된다. 이러한 정전기로 인한 피해를 최소화하기 위하여 게이트선과 데이터선을 쇼팅바를 이용하여 직접 연결시켜 주거나 저항이나 다이오드 또는 박막 트랜지스터로 연결하기도 한다.
통상적인 평판 표시 장치는 도1에 도시한 바와 같이 행렬형의 배선 구조를 이루고 있다. 즉, 기판(2)에 가로로 형성된 다수의 게이트선(4)과 세로로 형성된 다수의 데이터선(6)이 절연층(도시하지 않음)을 사이에 두고 직교로 교차하고 있다. 각 게이트선(4)과 데이터선(6)의 한쪽 끝에는 신호가 입력되는 입력 패드(8)가 형성되어 있으며 입력 패드(8)가 형성되어 있는 쪽의 기판(2) 가장자리에는 각각 쇼팅바(10, 12)가 형성되어 데이터선(6) 및 게이트선(4)을 묶고 있다.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 정전기 방지용 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.
도2는 종래의 정전기 방지형 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판에 형성된 데이타선 및 쇼팅바를 도시한 평면도이다.
도1에 도시한 바와 같이, 기판에 다수의 데이터선(6)이 세로로 평행하게 형성되어 있다.
데이터선(6)의 한쪽 끝에는 신호가 입력되는 입력 패드(8)가 형성되어 있다. 입력 패드(8)가 형성되어 있는 쪽의 기판(2) 가장자리에는 하나의 쇼팅바(10)가 형성되어 모든 데이타선(6)을 묶고 있다.
이러한 구조에서는 액정 표시 장치의 제조 공정중에 발생하는 기판 내의 정전기를 쇼팅바를 설치함으로써 제거하게 된다.
그러나 이러한 종래의 정전기 방지형 액정 표시 장치에서는 데이타선이 하나의 쇼팅바로 묶여 있어 오픈/쇼트 검사가 불가능하므로 액정 표시 장치내에 형성되어 있는 박막 트랜지스터의 성능을 중간 테스트할 수 없는 문제점을 가지고 있다.
그러므로 본 발명은 데이터선의 쇼팅바를 2라인식으로 변경하여 회로를 정전기로부터 보호함과 동시에 박막 트랜지스터의 성능을 조기에 테스트하여 화소 불량을 감소시킴으로써 공정수율을 높이는데 있다.
도1은 일반적인 박막 트랜지스터 기판의 배선을 도시한 평면도이고,
도2는 종래의 박막 트랜지스터 기판에 형성된 데이타선 및 쇼팅바를 도시한 평면도이고,
도3은 본 발명의 실시예에 따른 정전기 방지형 액정 표시 장치의 데이타선 및 쇼팅바의 구조를 도시한 단면도이고,
도4의 (가) 내지 (다)는 본 발명의 실시예에 따른 정전기 방지용 액정 표시 장치의 데이타선 및 쇼팅바의 제조 방법을 순서대로 도시한 평면도이고,
도5의 (가) 내지(다)는 도4의 A구간을 절단한 것으로서 본 발명의 실시예 따른 데이타선과 쇼팅바의 접촉 구간을 제조 순서에 따라 도시한 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
2 : 기판 4 : 게이트선 6 : 데이터선
8 : 입력패드 10 : 제1 쇼팅바 12 : 게이트선 쇼팅바
14 : 제2 쇼팅바 16 : 절연막 18 : 콘택홀
이러한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 정전기 방지형 액정 표시 장치는 박막 트랜지스터 기판, 기판에 평행하게 형성되어 있는 다수의 데이터선, 데이타선과 교차하도록 형성되어 있는 다수의 게이트선, 데이타선의 한쪽 끝에 형성되어 있는 입력 패드, 데이터선 가운데 홀수번째 데이터선과 연결되어 있으며 입력 패드 부위에 형성되어 있는 제1 쇼팅바, 제1 쇼팅바 간격을 두고 평행하게 형성되어 있으며 짝수번째 데이터선과 연결된 제2 쇼팅바를 포함하고 있다.
이러한 액정 표시 장치의 제조 방법은 기판에 게이트선을 형성함과 동시에 기판의 가장자리에 분지를 가지는 제1 쇼팅바를 형성하는 단계, 기판의 중앙에 활성 채널 및 절연막을 형성하고 제1쇼팅바의 분지에 상기 절연막을 식각하여 콘택홀을 형성하는 단계, 기판에 상기 게이트선과 교차하는 데이타선을 형성함과 동시에 기판의 가장자리에 홀수번째의 상기 데이타선을 연결하는 제2 쇼팅바를 형성하고 짝수번째의 데이타선과 콘택홀을 통하여 제1 쇼팅바와 연결하는 단계를 포함하고 있다.
본 발명에 따른 이러한 정전기 방지형 액정 표시 장치의 제조 방법에서는 데이터 쇼팅바를 2라인을 형성하여 어레이 검사시에 서로 다른 극성의 전압을 걸어 주고 인접 화소간의 측정값을 비교함으로써 화소 단위의 불량 검출이 가능하게 된다.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 정전기 방지형 액정 표시장치 및 그 제조 방법의 실시예를 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명한다.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 정전기 방지형 액정 표시 장치의 데이타선 및 쇼팅바의 구조를 도시한 단면도이다.
도3에 도시한 바와 같이 기판(2)에 다수의 데이터선(6)이 평행하게 형성되어 있고 데이터선(6)의 한쪽 끝에는 입력 패드(8)가 형성되어 있다. 입력 패드(8)가 형성되어 있는 쪽의 기판(2) 가장자리에는 제1 및 제2의 쇼팅바(10, 14)가 평행하게 형성되어 있으며 제1 쇼팅바(10)에는 짝수번째 데이터선(6)이 연결되어 있고 제2 쇼팅바(14)에는 홀수번째 데이터선(6)이 연결되어 있다.
도4는 본 발명의 실시예에 따른 정전기 방지용 액정 표시 장치의 데이타선 및 쇼팅바의 제조 방법을 순서대로 도시한 평면도이고, 도5는 도4의 A구간을 절단한 단면도이다.
도4의 (가)에 도시한 바와 같이, 게이트선(도1 참조)(4) 형성시 기판(2)의 한쪽 가장자리를 따라 다수의 분지를 가지는 제2 쇼팅바(14)를 알루미늄을 재료로 하여 가로로 패터닝한다. 이때 제2 쇼팅바(14)에서 나온 분지는 이후 형성될 짝수번째 데이터선(6)과 동일한 위치와 수로 형성한다. 도5의(가)는 도4의(가)에서 A 부분을 절단한 단면도로서 기판의 한쪽 끝부분에 알루미늄막이 형성되어 있다.
다음 도4의 (나)에 도시한 바와 같이, 알루미늄 양극 산화막(16)을 형성한다. 이때 도5의 (나)에서처럼 제2 쇼팅바(14)의 분지 주변에는 절연막(16)이 도포되지 않도록 패터닝하여 이후 형성될 데이터선과의 콘택홀(18)을 형성한다.
다음 도4의 (다)에 도시한 바와 같이, 크롬으로 된 다수의 데이터선(6)을 평행하게 형성하고 기판(2) 한쪽 가장자리에 형성되어 있는 제2 쇼팅바(14) 보다 기판 안쪽으로 간격을 두고 평행하게 제1 쇼팅바(10)를 형성한다. 제1 쇼팅바(10)는 홀수번째 데이터선을 연결하고 짝수번째 데이터선(6)은 도5의 (다)에 도시한 바와 같이 알루미늄으로 된 제2 쇼팅바(14)와 콘택홀(18)을 통하여 접촉되도록 한다.
이상에서, 본 발명의 정전기 방지형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에서는 기존의 쇼팅바와 더불어, 게이트 패턴 형성시에 게이트 금속과 동일한 재료로 데이터선 쇼팅바를 추가로 형성하여 배선의 오픈/쇼트 테스트가 가능하고 막 인접불량, 라인 인접 불량등으로 인해 발생하는 화소 결함을 조기에 발견하는 것이 가능하다.
따라서 본 발명에 따른 정전기 방지형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에서는 화소 단위의 결함을 조기에 체크할 수 있으며 기판내의 정전기를 최소화시키는 구조를 게이트와 절연막 및 데이터선 형성시 마스크만 변경함으로써 쉽게 제조할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 박막 트랜지스터 기판,
    상기 기판에 평행하게 형성되어 있는 다수의 데이터선,
    상기 데이타선과 교차하도록 형성되어 있는 다수의 게이트선,
    상기 데이타선의 한쪽 끝에 형성되어 있는 입력 패드,
    상기 데이터선 가운데 홀수번째 데이터선과 연결되어 있으며 입력 패드 부위에 형성되어 있는 제1 쇼팅바,
    상기 제1 쇼팅바 간격을 두고 평행하게 형성되어 있으며 짝수번째 데이터선과 연결된 제2 쇼팅바
    를 포함하는 정전기 방지용 액정 표시 장치.
  2. 제1항에서, 상기 제2 쇼팅바는 게이트선과 동일한 물질로 이루어진 정전기 방지용 액정 표시 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에서, 상기 제2 쇼팅바는 알루미늄으로 이루어진 정전기 방지용 액정 표시 장치.
  4. 제1항에서, 상기 데이터선 및 제1 쇼팅바는 크롬으로 이루어진 정전기 방지용 액정 표시 장치.
  5. 기판에 게이트선을 형성함과 동시에 상기 기판의 가장자리에 분지를 가지는 제1 쇼팅바를 형성하는 단계,
    기판의 중앙에 활성 채널 및 절연막을 형성하고 상기 제1쇼팅바의 분지에 상기 절연막을 식각하여 콘택홀을 형성하는 단계,
    상기 기판에 상기 게이트선과 교차하는 데이타선을 형성함과 동시에 상기 기판의 가장자리에 홀수번째의 상기 데이타선을 연결하는 제2 쇼팅바를 형성하고 짝수번째의 상기 데이타선과 콘택홀을 통하여 상기 제1 쇼팅바와 연결하는 단계
    를 포함하는 정전기 방지형 액정 표시 장치의 제조 방법.
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