KR19980018328U

KR19980018328U - 입자 포집장치

Info

Publication number: KR19980018328U
Application number: KR2019960031730U
Authority: KR
Inventors: 박병언
Original assignee: 구자홍; 엘지전자 주식회사
Priority date: 1996-09-25
Filing date: 1996-09-25
Publication date: 1998-07-06

Abstract

본 고안은 반도체 및 TFT-LCD 제조현장에서 부유하는 미립자를 포집하는 입자 포집장치에 관한 것으로서, 포집장치의 공기 흡입구를 깔대기 형상으로 형성하고, 포집장치의 상부몸체와 하부몸체를 나사 결합하며, 공기 유도판과 나사결합된 미립자 분석용 시편에 입자 포집판이 지지되도록 구성되어 있기 때문에, 흡입되는 공기의 양이 많아져 미립자의 포집시간이 단축되고 포집효율이 증가하며, 포집장치 상, 하부몸체의 분리시 충격을 완화하여 입자 포집판에 붙어있는 미립자의 유실을 방지하며, 별도로 입자 포집판을 탈착하지 않고 곧바로 미립자 분석용 시편을 탈착해 미립자를 검사하므로, 입자 포집기내 부착되어 있는 미립자들의 오염과 포집판의 훼손을 예방할 수 있는 고안에 관한 것이다.

Description

입자 포집장치

본 고안은 미립자를 포집하는 입자 포집장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 및 TFT-LCD 제조현장에서 부유하는 0.1㎛이상의 미립자를 포집하는 미립자 포집장치에 관한 것이다.

종래 기술에 의한 미립자 포집장치는 제 1도에 도시된 바와 같이 외부의 공기를 흡입하는 원통형 모양의 공기 흡입구(1)를 갖는 상부몸체(6)와, 공기 내에 부유하는 미립자를 포집하는 포집판(2)과, 포집판을 지지하는 지지판(3)과, 흡입된 공기를 하부로 유도하는 공기 유도판(4)과, 상부몸체(6)의 하측에 위치한 하부몸체(7)와, 상부몸체(6)의 하단부와 하부몸체(7)의 상단부에 끼워진 O-링(5)과, 공기를 흡입, 배출시키는 진공펌프(8)로 구성되어 있다.

상기와 같이 구성된 종래의 입자 포집장치는, 하부몸체(7)와 파이프(9)로 연결된 진공펌프(8)를 작동시켜 외부의 공기를 공기 흡입구(1)를 통해 포집장치 안으로 흡입시키면, 공기 속에 포함된 미립자(P)는 관성에 의하여 입자 포집판(2)에 부딪혀 포집판에 부착되고 공기는 공기 유도판(4)에 형성된 구멍을 통하여 하부몸체(7)로 흡입된 후, 파이프(9)를 통해 진공펌프(8)로 흡입, 외부로 배출된다.

또한, 포집된 미립자들의 형상과 성분분석을 위하여 입자 포집장치의 상부몸체(6)와 하부몸체(7)를 분리시켜 입자 포집판(2)을 지지판(3)으로부터 핀셋 등으로 분리시킨 다음, 분리된 입자 포집판(2)을 분석장치 시편에 다시 장착하여 미립자의 형상 및 성분을 분석하게 된다.

그러나 종래 기술에 의한 입자 포집장치는 공기 흡입구(1)가 원통형으로 포집장치 상부몸체(6)의 직경보다 작은 직경을 갖도록 형성되어 있으므로, 공기를 흡입할 때 미립자(P)의 일부가 외부로 유실되어, 미립자의 포집효율이 저하됨과 아울러 미립자 포집에 많은 시간이 소요되고, O-링(5)이 상, 하부몸체(6, 7) 사이에 끼워저 있어 미립자를 포집한후 입자 포집판(2)을 수거하기 위해 상부몸체(6)와 하부몸체(7)를 분리할 때 충격으로 인하여 입자 포집판(2)에 부착된 미립자들이 유실되며, 입자 포집판(2)을 지지대(3)로부터 분리시켜 이동할 때 포집된 미립자들이 오염되고 부주의로 인하여 입자 포집판(2)이 손상되는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 미립자의 포집시간을 단축함과 동시에 포집효율을 증가시키고, 미립자의 유실과 입자 포집판의 훼손을 예방할 수 있는 입자 포집장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 입자 포집장치의 단면도.

도 2는 본 고안에 따른 입자 포집장치의 단면도.

도 3은 도 2의 A부분 확대도.

도 4는 도 2의 B부분 확대도.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 공기 흡입구 12 : 입자 포집판

13 : 미립자 분석용 시편 14 : 공기 유도판

15 : O-링 16 : 상부몸체

17 : 하부몸체 18 : 진공펌프

19 : 파이프 20 : 나사부

21 : 나사봉 22 : 나사구멍

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 포집장치의 공기 흡입구를 깔대기 형상으로 형성하고, 포집장치의 상부몸체와 하부몸체를 나사결합하며, 입자 포집판이 공기 유도판에 착탈 가능토록 설치된 미립자 분석용 시편에 의하여 지지되도록 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 설명하면 다음과 같다.

본 고안에 따른 입자 포집장치는 상부몸체(16)와, 입자 포집판(12)과, 입자 포집판(12)을 지지하고 있는 미립자 분석용 시편(13)과, 공기 유도판(14)과, 포집장치의 하부몸체(17)와, 진공펌프(18)와, 진공펌프(18)와 하부몸체(17)를 연결하여 주는 파이프(19)로 구성되어 있다.

상기 상부몸체(16)의 상측부에는 공기흡입구(11)가 깔대기 형상으로 형성되어 있고, 상부몸체(16)의 하단부와 하부몸체(17)의 상단부에는 각각 나사부(20)가 형성되어 상기 나사부(20)가 서로 맞물려 상부몸체(16)와 하부몸체(17)가 분리가능토록 결합되어 있으며, 하부몸체(17)의 단턱부에 환형홈(17´)이 형성되어 그 환형홈(17´)에 O-링(15)이 끼워져 상부몸체(16)와 하부몸체(17) 사이에 위치되어 있다.

또한, 상기의 공기 유도판(14)은 하부몸체(17)의 상단 내측에 형성된 단턱부(17a)상에 위치되어 상, 하부몸체(16, 17)가 나사결합 되면 상, 하부몸체(16, 17) 사이에서 고정되고, 상기 공기 유도판(14)은 중앙 상측에 나사봉(21)이 돌출 형성되어 있으며, 입자 포집판(12)이 상측에 부착된 미립자 분석용 시편(13)은 그 저면부 중앙에 형성된 나사홈(22)이 상기 나사봉(21)에 나사 결합 되어 미립자 분석용 시편(13)이 공기 유도판(14)에 착탈 가능하도록 결합되어 있다.

상기와 같이 구성된 본 고안은 진공펌프(18)를 작동시키면 외부공기가 깔때기 형상의 공기흡입구(11)를 통하여 포집장치 내부로 흡입되어 공기중에 함유된 미립자는 입자 포집판(12)에 부착되고 공기는 공기유도판(13), 하부몸체(17), 파이프(19) 및 진공펌프(18)를 거쳐 외부로 배출된다.

또한, 포집된 미립자들의 형상 및 성분을 분석을 하고자 하는 경우에는 상부몸체(16)를 회전시켜 하부몸체(17)로부터 분리시킨 다음, 미립자 분석용 시편(13)을 회전시켜서 공기 유도판(14)의 중간에 있는 나사봉(21)으로부터 미립자 분석용 시편(13)을 탈착시킨 후 SEM 분석장치에 장착시켜 입자포집판(12)에 부착된 미립자들의 형상 및 성분을 간편하게 검사할 수 있다.

본 고안에 의한 포집장치는 포집장치의 공기 흡입구가 깔때기 형상으로 형성되어 있으므로, 포집장치내로 흡입되는 미립자의 양이 많아져 미립자의 포집시간이 단축됨과 아울러 포집효율이 증가되고, 포집장치의 상부몸체와 하부몸체가 나사결합되어 있어 이를 쉽게 분리할 수 있으므로 상,하 몸체의 분리시 발생하는 충격이 완화되어 입자 포집판에 붙어있는 미립자들의 유실이 방지되며, 공기 유도판과 나사결합된 미립자 분석용 시편에 입자 포집판이 위치되어 있기 때문에 별도로 입자 포집판을 탈착하지 않고 곧바로 미립자 분석용 시편을 탈착해 입자포집판에 부착된 미립자를 검사할 수 있으므로, 입자 포집판에 부착되어 있는 미립자들의 오염과 입자 포집판의 훼손을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

공기흡입구가 형성된 상부몸체와, 상부몸체의 상측에 위치된 하부몸체와, 상,하부 몸체내에 설치된 입자포집판과, 하부몸체에 연결된 진공펌프를 포함하여 구성된 입자 포집장치에 있어서, 상기 상부몸체에 형성된 공기흡입구는 깔때기 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 입자 포집장치.
공기흡입구가 형성된 상부몸체와, 상부몸체의 상측에 위치된 하부몸체와, 상,하부몸체 사이에 설치된 공기유도판과, 공기유도판에 의하여 지지되고 상부에 입자 포집판이 위치된 지지판과, 하부몸체와 연결된 진공펌프로 구성된 입자 포집장치에 있어서, 상기 상부몸체의 하단부 내벽과 하부몸체에 상단부 외벽에 각각 나사부가 형성되어 상기 나사부가 나사 결합되어 상부몸체와 하부몸체가 상호 결합된 것을 특징으로 하는 입자 포집장치.
제2항에 있어서,

상기 상부몸체와 하부몸체의 접합부에 0 - 링이 설치된 것을 특징으로 하는 입자 포집장치.
제2항에 있어서,

상기 공기유도판은 그 상측 중앙에 나사봉이 돌출형성되고, 상기 지지판은 미립자 분석용 시편으로 형성되어 그 저면 중앙에 형성된 나사구멍과 상기 나사봉이 나사결합되어 지지판이 공기유도판에 조립된 것을 특징으로 하는 입자 포집장치.
제2항에 있어서,

상기 하부몸체는 그 상단부 내측에 단턱부가 형성되어 상기 지지판이 그 단턱부에 위치되고 하부몸체에 결합된 상부몸체에 의하여 상기 지지편의 상부면이 하방으로 압박되어 고정된 것을 특징으로 하는 입자 포집장치.