JP2754941B2 - ダストサンプラ― - Google Patents

ダストサンプラ―

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JP2754941B2
JP2754941B2 JP3097712A JP9771291A JP2754941B2 JP 2754941 B2 JP2754941 B2 JP 2754941B2 JP 3097712 A JP3097712 A JP 3097712A JP 9771291 A JP9771291 A JP 9771291A JP 2754941 B2 JP2754941 B2 JP 2754941B2
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元明 岩崎
寿雄 高原
康弘 谷端
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘導プラズ
マ利用元素分析計などの分析装置に用いられ、大量の空
気を採取するにも拘らず圧力損失の大きなフィルタ上の
極小さな面積上にダストを収集できるようにしたダスト
サンプラ―に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば1m3/min.もの大量
の空気を吸引するサンプラーは、圧力損失の少ない微細
な繊維がメッシュ状になったもので、しかも大口径(例
えば外径110mm)のフィルタを使用していた。しか
し、このようなサンプラーは、メッシュの中にダストが
入り込んでしまい、後からダストを取り出して分析する
のが困難であるという欠点があった。また、大口径の部
分にダストが分散されるため、フィルタ上のダスト密度
が低くなり分析するのが困難であるという欠点もあっ
た。従って、このようなサンプラーで使用されているフ
ィルタで収集されたダストは、マイクロ波誘導プラズマ
利用元素分析計などで分析するのに不向きであった。
【0003】一方、マイクロ波誘導プラズマ利用元素分
析計などの分析に使用されるフィルタ―は、ポリカ―ボ
ネ―トなどのフィルムに微小の穴が開けられた所謂直交
型メンブレンフィルタ―を使用していた。しかし、この
ような直孔型メンブレンフィルタ―は圧力損失が大きい
ため、例えば1m3 /min.のような大量の空気を吸
引できないという欠点があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
例の欠点などに鑑みてなされたものであり、その 目的
は、大量の空気を採取するにもかかわらず圧力損失の大
きなフィルタ上の極小さな面積上にダストを収集できる
ようなダストサンプラーを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、サイクロンと、このサイクロンの
上方に設けられ大量の気体を吸引する第1の吸気手段
と、前記サイクロンの下方から前記第1の吸気手段の吸
引量より少ない流量で前記サイクロン内の気体を吸引す
る第2の吸気手段と、この第2の吸気手段の前段に配置
され前記気体に含まれるダストを収集する比較的小面積
の直孔型メンブレムフィルタ、からなり、少なくとも前
記サイクロンはダストの非常に少ない領域に配置され、
前記ダストは前記メンブレンフィルタの極小さな面積に
捕集されたことを特徴とするものである。
【0006】
【0007】
【作用】本発明の実施例は次のように作用する。即ち、
ブロアが駆動するとサイクロンはその入口から大容量の
空気を吸引し、該空気はサイクロン内で円運動しながら
サイクロン内で下方に移動し、その後、一気にサイクロ
ンの上部に吸い上げられる。また、サイクロン内に吸引
された空気に含まれているダストは、遠心力によって、
サイクロンの内壁に押し付けられてのち、サイクロンの
下部へ落下する。このようにして落下したダストは、ポ
ンプにより吸引され、チュ―ブを通って直孔型メンブレ
ンフィルタに捕集される。
【0008】また、本発明の他の実施例は次のように作
用する。即ち、ブロアが駆動するとサイクロンはその入
口から例えば1m3 /min.もの大容量の空気を吸引
する。このようにして吸引された空気は、サイクロン内
で円運動しながらサイクロン内で下方に移動し、その
後、一気にサイクロンの上部に吸い上げられる。また、
サイクロン内に吸引された空気に含まれているダスト
は、遠心力によって、サイクロンの内壁に押し付けら
れ、その後、サイクロンの下方へ落下してガラス板に付
着する。
【0009】
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。図1は本発明実施例の構成説明図であり、図中、
1はサイクロン、2aはサイクロンの下部1bとフィル
ターホルダー3を結ぶチューブ、4は例えば外径25m
mのニュークリポアフィルタなどでなりフィルタホルダ
ー3に固定されている圧力損失の大きな直孔型メンブレ
ンフィルタ、5は例えば5l/min.のような小流量
の流体を吸引して吐出する第2の吸気手段(以下、ポン
プという)、2bはフィルタホルダー3とポンプ5を結
ぶチューブ、6は流量計、6aは流量計6の流量を調節
するニードル弁、2cはポンプ5から吐出される流体を
流量計に導くチューブ、7は例えば1m3/min.の
ような大流量の流体を吸引して吐出する第1の吸気手段
(以下、ブロアという)、2dはサイクロン1の上部1
aとブロア7を結ぶチューブである。尚、ポンプ5の吸
引流量は流量計(更に詳しくはニードル弁6a)によっ
て所望の値に調整されるようになっている。
【0010】図1のような構成からなる本発明の実施例
において、ブロア7が駆動するとサイクロン1はその入
口1cから例えば1m3 /min.もの大容量の空気を
吸引する。このようにして吸引された空気は、図1の破
線で示すように、サイクロン1内で円運動しながらサイ
クロン1内で下方に移動し、その後、一気にサイクロン
の上部1aに吸い上げられる。また、サイクロン1内に
吸引された空気に含まれているダストは、遠心力によっ
て、サイクロン1の内壁に押し付けられ、その後、サイ
クロンの下部1bへ落下する。
【0011】このようにして落下したダストは、ポンプ
5により吸引され、チュ―ブ2aを通って圧力損失の大
きな直孔型メンブレンフィルタ4上の極小さな面積(例
えば直径5〜10mm)上に捕集される。
【0012】図2は図1に示したような本発明実施例を
用いて実際に集塵効率を測定したときの特性曲線図であ
り、図中、横軸はサイクロン1の吸引流量(m3/mi
n.)を示し、縦軸はサイクロンを用いないで空気を5
(l/min.)で吸引したときと比較して何倍のスピ
ードで同等量のダストが吸引できたかを示す集塵加速倍
率Kを示している。図において、破線Aはサイクロンが
理想的な集塵性能を示すと仮定したときの理論値に基づ
く特性を示し、曲線Bはサイクロンを用いて実際に集塵
性能を測定した実測値に基づく特性曲線である。図によ
れば、サイクロンの吸引流量が1.4(m3/mi
n.)程度で理論値に近づき、その時の集塵加速倍率が
290倍程度となっている。従ってこのような実験値に
基づいて第1,第2の吸引手段の吸引流量を決定する。
【0013】
【0014】
【0015】尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能であり、例えば、図1のサイク
ロンの下部1bにフィルタを直接設置してもよい。
【0016】
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明の実施
例によれば、次の〜のような効果が得られる。大
量の空気を吸引し、その中のダストだけを集めて小流量
で集塵できるため、小流量しか流せない小口径(例えば
直径25mm)の直行型メンブレンフィルタに大流量と
同等の効率でダストを集塵できる。
【0017】ダストの非常に少ない雰囲気(例えばク
ラス10のクリーンルーム)からも短時間であるまとま
った数(例えば10,000ケ)のダストを捕集でき
る。サイクロンの中で、外径0.5μm以下の超微粒
子と呼ばれる小さなダストは、お互いに凝集又は素粒子
に付着するなど粒径の大きい微粒子として捕集されるた
め、従来分析困難とされていた小さなダストも分析可能
となる。
【0018】また、本発明の他の実施例によれば、次の
〜のような効果が得られる。ガラス板上に微粒子
が採取でき、それを微粒子導入装置に適用できるため、
微粒子導入装置の制御が簡素化され、しかも動作時間が
早くなった。サイクロンを使用しているため短時間に
大量の空気を処理でき、ダストの採取時間が大幅に短縮
される。ダスト吸引のためのポンプなどが不要で構成
が簡略化される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施例の構成説明図である。
【図2】本発明実施例を用いて実際に集塵効率を測定し
たときの特性曲線図である。 1 サイクロン 2a〜2d チューブ 4 フィルタ 5 ポンプ 6 流量計 6a ニードル弁 7 ブロア 8 微粒子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭47−45794(JP,A) 実開 昭58−84552(JP,U) 実開 昭63−87543(JP,U) 実開 昭59−71152(JP,U) 実開 昭59−82561(JP,U) 実開 昭59−175157(JP,U) 実開 昭64−30428(JP,U) 実開 昭52−107193(JP,U)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】サイクロンと、このサイクロンの上方に設
    けられ大量の気体を吸引する第1の吸気手段と、 前記サイクロンの下方から前記第1の吸気手段より少な
    い流量で前記サイクロン内の気体を吸引する第2の吸気
    手段と、 この第2の吸気手段の前段に配置され前記気体に含まれ
    るダストを収集する比較的小面積の直孔型メンブレム
    ィルタ、からなり、少なくとも前記サイクロンはダストの非常に
    少ない領域に配置され、前記ダストは前記メンブレンフ
    ィルタの極小さな面積に捕集された ことを特徴とするダ
    ストサンプラー。
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JPS6430428U (ja) * 1987-08-17 1989-02-23

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