KR19980014694A - Cd 픽-업 렌즈 경사도 검사장치 및 그 방법 - Google Patents

Cd 픽-업 렌즈 경사도 검사장치 및 그 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR19980014694A
KR19980014694A KR1019960033786A KR19960033786A KR19980014694A KR 19980014694 A KR19980014694 A KR 19980014694A KR 1019960033786 A KR1019960033786 A KR 1019960033786A KR 19960033786 A KR19960033786 A KR 19960033786A KR 19980014694 A KR19980014694 A KR 19980014694A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
reflected
pick
inspected
setting
Prior art date
Application number
KR1019960033786A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100212140B1 (ko
Inventor
김준우
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019960033786A priority Critical patent/KR100212140B1/ko
Publication of KR19980014694A publication Critical patent/KR19980014694A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100212140B1 publication Critical patent/KR100212140B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0207Details of measuring devices
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372Lenses
    • G11B7/1374Objective lenses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 레이져 광을 발사하는 레이져 발사 장치; 상기 발사된 레이져 광을 반사하고 투과시키는 프리즘; 상기 프리즘으로부터 반사된 레이져 광을 수광하여 집광시키고 상기 프리즘으로 레이져 광을 반사시키는 검사대상물체; 상기 검사대상물체에서 반사된 반사광을 입력받아 검출하는 CCD 카메라; 및 상기 CCD 카메라에 입력된 반사광을 영상해석하고 상기 검사대상물체의 경사도의 양/불량을 자동으로 판별하는 경사도 판별장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명은 CCD 카메라와 경사도 판별장치로 픽-업 렌즈의 양/불량을 판별함으로서, 픽-업 렌즈의 양/불량의 정확한 판별과 자동화에 따른 효율적인 업무처리 등의 효과가 있다.

Description

CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치 및 그 방법
본 발명은 CD 렌즈의 픽-업 경사도 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 검사대상물체의 반사광을 입력받는 CCD 카메라와 상기 검사대상물체의 반사광의 양/불량을 판별하는 경사도 판별장치를 이용하여 CD 렌즈의 픽-업 경사도를 검사하는 CD 렌즈의 픽-업 경사도 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 CD(Compact Disk) 드라이버 안에는 CD에 기록된 정보를 읽어내기 위한 레이져 광 발사장치와 그 광선을 유도하기 위한 렌즈가 있으며, 그러한 장치와 과정을 픽-업(Pick-up)이라고 한다. 상기 픽-업 장치의 렌즈는 입력 전원에 따라 포커싱(Focusing)과 트래킹(Tracking)을 위해 상/하/좌/우로 움직이며, 이러한 동작이 불규칙하게 되면 불량의 원인이 되고, 또한 그러한 불량을 방지하기 위해 CD의 픽-업 부품을 생산하는 모든 업체들은 픽-업 부품의 품질에 대한 보다 완벽한 검사와 품질 향상에 대한 연구개발을 꾸준히 진행하고 있다.
도 1은 종래의 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치 및 검사관를 나타낸 것으로서, 레이져 발사장치(1)와, 프리즘(3)과, 검사대상물체(5)와, 계측용눈금판(7), 및 검사대상물체의 양/불량을 판정하는 검사관(9)을 포함한다.
한편, 상기 레이져 발사장치(1)는 레이져 광을 발사하도록 구성되어 있고, 또한 프리즘(3)은 상기 발사된 레이져광을 분광하고 반사하도록 구성되어 있고, 또한 검사대상물체(5)는 상기 프리즘(3)에서 반사된 레이져 광을 유도하고 집광하는 대물렌즈와 검사베드 위에 놓인 CD로 구성되어 있다.
또한, 계측용눈금판(7)은 상기 검사대상물체(5)에서 반사된 반사광이 상기 프리즘(3)을 통해 다시 반사되어 소정의 반사광이 표시되어 상기 검사대상물체(5)의 경사도를 알 수 있도록 구성되어 있고, 또한 검사관(9)은 상기 계측용눈금판(7)에 맺힌 반사광의 위치를 눈으로 확인하여 검사대상물체(5)의 경사도의 양/불량을 판단한다.
상기와 같이 구성된 종래기술은 검사대상물체(5)가 CD의 포커싱과 트래킹을 위해 상/하/좌/우로 움직인다. 이때 상기 레이져 발사장치(1)로부터 발사된 레이져 광이 검사대상물체(5)에서 반사된 후 상기 계측용눈금판(7)에 반사광이 맺히게 되고, 상기 검사관(9)이 계측용눈금판(7)에 맺힌 반사광의 위치와 각도를 눈으로 확인하여 검사대상물체(5)의 양/불량의 판정을 내리게 된다.
따라서, 상술한 바와 같이 종래기술은 픽-업 렌즈의 양/불량의 판별을 검사관의 눈에 의존함으로서, 검사관의 피로를 유발하고 그에 따른 오판과 업무의 지연 등의 업무상의 비효율적인 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 검사대상물체의 반사광을 입력받는 CCD 카메라와 상기 검사대상물체의 반사광의 양/불량을 판별하는 경사도 판별장치를 이용하여 CD 렌즈의 픽-업 경사도를 자동으로 검사하는 CD 렌즈의 픽-업 경사도 검사 장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는, 레이져 광을 발사하는 레이져 발사 장치; 상기 발사된 레이져 광을 반사하고 투과시키는 프리즘; 상기 프리즘으로부터 반사된 레이져 광을 수광하여 집광시키고 상기 프리즘으로 레이져 광을 반사시키는 검사대상물체; 상기 검사대상물체에서 반사된 반사광을 입력받아 촬상하는 CCD 카메라; 및 상기 CCD 카메라에 입력된 반사광을 영상해석하고 상기 검사대상물체의 경사도의 양/불량을 자동으로 판별하는 경사도 판별장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 의한 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치의 작동 방법은, 측정 기구물의 정확한 위치와 각도를 세팅하는 기구물 세팅단계; 상기 기구물 세팅단계를 수행한 후 검사대상물체의 측정값의 양/불량을 판별하기 위한 측정환경을 설정하는 환경설정단계; 상기 환경설정단계를 설정한 후 검사대상물체의 양/불량을 결정하는 기준점인 중심광을 검출하여 설정하는 중심광 학습단계; 상기 중심광을 설정한 후 상기 설정된 중심광과 검사대상물체에서 반사된 반사광의 절대각도의 측정결과가 양호한지를 판단하는 절대각도 판단단계; 상기 절대각도 판단단계의 판단 결과, 절대각도의 측정결과가 양호한 경우 샘플링된 반사광 간의 상대각도의 측정결과가 양호한지를 판단하는 상대각도 판단단계; 및 상기 상대각도 판단단계의 측정 결과, 상대각도의 측정결과가 양호한 경우 검사대상물체의 픽-업 경사도가 양호함을 판별하는 최종판별단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
도 1 은 종래의 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치를 나타낸 도면.
도 2 는 본 발명에 의한 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치를 나타낸 도면.
도 3 은 본 발명에 의한 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치의 작동 과정을 나타낸 플로우챠트.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10 : 레이져 발사장치. 20 : 프리즘.
30 : 검사대상물체(CD 픽-업 렌즈). 40 : CCD 카메라.
50 : 경사도 판별장치.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명에 따른 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치를 나타낸 것으로서, 레이져 발사장치(10)와, 프리즘(20)과, 검사대상물체(30)와, CCD 카메라(40), 및 경사도 판별장치(50)를 포함한다.
한편, 상기 레이져 발사장치(10)는 레이져 광을 발사하도록 구성되어 있고, 또한 프리즘(20)은 상기 레이져 발사장치에서 발사된 레이져 광의 편광에 따라 입사면에 수직인 편광(S성분)은 반사하고 입사면에 평행인 성분(P성분)은 통과하도록 구성되어 있고, 또한 검사대상물체(30)는 상기 프리즘(20)에서 반사된 레이져 광을 유도하고 집광하는 렌즈와 검사베드 위에 놓인 CD로 구성되어 있다.
또한, CCD 카메라(40)는 상기 검사대상물체(30)를 통해 반사된 반사광을 입력받아 광신호를 소정의 전기신호로 변환하도록 구성되어 있고, 또한 경사도 판별장치(50)는 상기 CCD 카메라(40)의 출력신호를 컴퓨터 영상으로 취득한 후 해석하여 상기 검사대상물체(30)의 양/불량을 판단하도록 구성되어 있다.
도 3은 본 발명에 따른 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 방법을 나타낸 플로우챠트로서, 상기 도 2 및 동도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 기술하면 다음과 같다.
한편, 본 발명에 의한 CD 픽-업 렌즈의 경사도 검사 방법은 두 개의 양을 측정대상으로 하며, 측정 매체는 레이져에 의한 반사광의 각도이다. 상기 측정대상은 렌즈가 고정되어 있을 때 수평면에 대하여 기울어진 각도를 측정하는 절대각도 측정과, 또 하나의 측정대상은 렌즈가 포커싱과 트래킹 등의 제어신호로 진동 중에 있을 때 수평면에 대한 각도의 진폭을 측정하는 상대각도 측정이 있다.
상기 측정대상인 절대각도와 상대각도를 측정하기 위해서는, 먼저 레이져 발사장치(10)와, 프리즘(20)과 검사대상물체(30), 및 CCD 카메라(40) 등의 측정기구물이 정확한 위치와 각도를 이루도록 세팅한다. 이때 상기 레이져 발사장치(10)에서 발사된 레이져 광이 프리즘(20)에서 직접 반사되어 CCD 카메라(40)에 맺힌 중앙 반사광과 상기 검사대상물체(30)의 검사베드 위에 놓인 표준모형에서 반사되어 CCD 카메라(40)에 맺힌 반사광이 상기 CCD 카메라(40)의 한 점에서 만나도록 조정하고, 그런 상태에서 일치한 두 점들이 화상의 중앙에 나오도록 CCD 카메라(40)를 조정한다(S1).
또한, 검사대상물체(30)의 측정값의 양/불량을 결정하기 위한 절대각도와 상대각도의 한계값을 CCD 카메라(40)의 화면 상의 화소좌표 거리로 입력하고, 또한 검사대상물체(30)에 제어신호를 인가할 때의 포커싱과 트래킹을 위한 교류전압의 폭과, 중심전압, 및 주파수를 설정하고, 또한 CCD 카메라(40)가 검사대상물체(30)의 상대각도 진동을 측정하기 위해서 여러번 촬영해야 하는데 그에 필요한 샘플 화면의 갯수 등의 검사에 필요한 변수값들을 설정한다(S2).
또한, 검사대상물체(30)의 측정값의 양/불량을 결정하기 위하여 검사베드 위에 CD 픽-업을 올려 놓지않은 상태에서 한 화면을 촬영하여 프리즘(20)으로부터 직접 반사된 레이져광의 광점(기준점) 위치를 CCD 카메라(40)로 촬영하고, 그 화상을 X,Y 프로젝션(Projection)하여 각각 XP[], YP[]라는 배열로 경사도 판별장치(50)에 저장하고 상기 배열로부터 중심광의 위치를 파악하기 위해 피크(Peak)값을 추출하는 중심점 학습단계를 수행한다(S3).
또한, 상기 중심광의 위치를 검출하는 중심점 학습단계(S3)를 수행한 후 CD 픽-업을 검사베드 위에 놓고 제어전압을 인가하여 CD 픽-업 렌즈를 진동시키고, 상기 검사베드 위에 놓인 CD 픽-업에서 반사된 반사광을 설정된 샘플링 갯수만큼 CCD 카메라(40)에서 촬영하여 반사광 좌표를 계산하고, 상기 샘플링된 반사광 중에 가장 멀리 떨어진 반사광의 위치와 상기 중심점 학습 단계에서 추출된 중심광의 위치를 측정하는 절대각도 측정단계를 수행한다(S4).
또한, 상기 절대각도를 측정단계(S4)를 수행한 후 상기 절대각도를 측정하기 위해 추출한 반사광의 좌표 중에 중심광의 좌표와는 무관하게 상기 반사광 서로 간에 가장 멀리 떨어진 두 개의 점 사이의 거리를 측정하는 상대각도 측정단계를 수행한다(S5).
또한, 상기 절대각도 측정단계(S4)와 상대각도 측정단계(S5)에서 검출한 샘플들의 측정값이 허용 기준각도 안에 포함되면 경사도 판별장치(50)는 검사대상물체(30)가 양호함을 판별하게 된다(S6).
그리고, 상기 절대각도 측정단계(S4)와 상대각도 측정단계(S5)에서 검출한 샘플들의 측정값이 허용 기준각도를 초과하게 되면 경사도 판별장치(50)는 검사대상물체(30)를 불량으로 판별하게 된다(S61).
상기와 같이 본 발명의 CD 픽-업의 경사도 측정은, 픽-업 렌즈(30)가 수평면과 이루는 각도가 기준각도보다 큰 지를 레이져광의 반사각도를 이용하여 CCD 카메라(40)로 측정하는 것이다. 이때 검사 CD 픽-업과 무관하게 프리즘(20)으로부터 반사되는 중앙의 반사광(중심광)을 기준으로 삼아 렌즈(30)로부터 반사되는 광선(반사광)의 화면상 위치를 비교하여 절대각도를 측정하고, 진동에 따라 움직이는 반사광의 궤적을 샘플링 촬영하여 그 반사광 간의 최대 거리로부터 상대각도를 측정한다. 계산하는 방법은 화소 밝기값의 X,Y 프로젝션을 이용하며 검사시 중심광과 반사광 2개의 광점이 기록된 프로젝션으로부터 학습된 중심광만의 프로젝션을 빼는 연산을 통하여 반사광의 좌표를 분리해 내는 기술을 사용한다. 이러한 방법은 화면에 나타나는 노이즈나 영상의 흔들림에 대하여 안정성을 유지할 수 있다.
따라서, 상술한 바와 같이 본 발명은 CCD 카메라와 경사도 판별장치로 픽-업 렌즈의 양/불량을 판별함으로서, 픽-업 렌즈의 양/불량의 정확한 판별과 자동화에 따른 효율적인 업무처리 등의 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 레이져 광을 발사하는 레이져 발사 장치; 상기 발사된 레이져 광을 반사하고 투과시키는 프리즘; 상기 프리즘으로부터 반사된 레이져 광을 수광하여 집광시키고 상기 프리즘으로 레이져 광을 반사시키는 검사대상물체; 상기 검사대상물체에서 반사된 반사광을 입력받아 촬상하는 CCD 카메라; 및 상기 CCD 카메라에 입력된 반사광을 영상해석하고 상기 검사대상물체의 경사도의 양/불량을 자동으로 판별하는 경사도 판별장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 경사도 판별장치의 영상 해석은 X,Y 프로젝션 방법인 것을 특징으로 하는 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 장치.
  3. 측정 기구물의 정확한 위치와 각도를 세팅하는 기구물 세팅단계; 상기 기구물 세팅단계를 수행한 후 검사대상물체의 측정값의 양/불량을 판별하기 위한 측정환경을 설정하는 환경설정단계; 상기 환경설정단계를 설정한 후 검사대상물체의 양/불량을 결정하는 기준점인 중심광을 검출하여 설정하는 중심광 학습단계; 상기 중심광을 설정한 후 상기 설정된 중심광과 검사대상물체에서 반사된 반사광의 절대각도의 측정결과가 양호한지를 판단하는 절대각도 판단단계; 상기 절대각도 판단단계의 판단 결과, 절대각도의 측정결과가 양호한 경우 샘플링된 반사광 간의 상대각도의 측정결과가 양호한지를 판단하는 상대각도 판단단계; 및 상기 상대각도 판단단계의 측정 결과, 상대각도의 측정결과가 양호한 경우 검사대상물체의 픽-업 경사도가 양호함을 판별하는 최종판별단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 CD 픽-업 렌즈 경사도 검사 방법.
KR1019960033786A 1996-08-14 1996-08-14 컴팩트디스크 픽업렌즈의 경사도 검사방법 KR100212140B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960033786A KR100212140B1 (ko) 1996-08-14 1996-08-14 컴팩트디스크 픽업렌즈의 경사도 검사방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960033786A KR100212140B1 (ko) 1996-08-14 1996-08-14 컴팩트디스크 픽업렌즈의 경사도 검사방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980014694A true KR19980014694A (ko) 1998-05-25
KR100212140B1 KR100212140B1 (ko) 1999-08-02

Family

ID=19469642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960033786A KR100212140B1 (ko) 1996-08-14 1996-08-14 컴팩트디스크 픽업렌즈의 경사도 검사방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100212140B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100429637B1 (ko) * 2001-12-17 2004-05-03 엘지전자 주식회사 다중 광로 광원장치 및 그 동작방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100429637B1 (ko) * 2001-12-17 2004-05-03 엘지전자 주식회사 다중 광로 광원장치 및 그 동작방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100212140B1 (ko) 1999-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210341353A1 (en) System and method for inspecting optical power and thickness of ophthalmic lenses immersed in a solution
US4417149A (en) Apparatus for detecting and measuring defects
US5872860A (en) Calibration cassette for use in calibrating an automated agglutination reaction analyzing system
JPH03267745A (ja) 表面性状検出方法
US5880843A (en) Apparatus and method for determining the optical distortion of a transparent substrate
JPH06294749A (ja) 板ガラスの欠点検査方法
JPH01192486A (ja) スポット溶接電極検査方法
JP3480176B2 (ja) ガラス基板の表裏欠陥識別方法
JPS6345542A (ja) 透明材料要素の表面の不整及び吸蔵の試験方法
JP2002168793A (ja) 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法
EP0401909A1 (en) Method of and device for determining the position of a surface
CN113125343A (zh) 光学检测设备与光学检测方法
KR19980014694A (ko) Cd 픽-업 렌즈 경사도 검사장치 및 그 방법
CN111638226B (zh) 检测方法、图像处理器以及检测系统
JP2557650B2 (ja) 試料形状測定装置
WO1999064845A1 (en) Defect detecting unit
JPH01406A (ja) 試料形状測定装置
JP2000193434A (ja) 異物検査装置
JP2007003332A (ja) 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP3277400B2 (ja) 光ディスク欠陥検査装置
JPH10267858A (ja) ガラス基板の欠陥の良否判定方法
JP2001513594A (ja) 素子の端子の位置検出および/またはコプラナリティ検査および/または分離検査のための方法および装置
JPS62267650A (ja) 面板欠陥検出方法およびその検出器
JPH063279A (ja) ハードディスク又はウエハーの検査方法及び検査装置
JPH09257444A (ja) ディスク試験装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070427

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee