KR102682915B1 - System and Methoed for recycled capillary management through image data sharing - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 와이어본딩 공정에 사용되는 캐필러리를 세척하여 재생함에 있어 식별코드가 부여된 케이스를 캐필러리와 함께 고정지그를 통해 함께 이동시키며 재생 공정 전후의 캐필러리 영상을 식별코드별로 관리함으로 신뢰성과 추적성을 부여하는 영상 데이터 공유를 통한 재생 캐필러리 관리 시스템 및 방법에 관한 것이다.In the present invention, when cleaning and reproducing a capillary used in a semiconductor wire bonding process, a case assigned an identification code is moved together with the capillary through a fixing jig, and the capillary images before and after the regeneration process are recorded by identification code. It relates to a playback capillary management system and method through video data sharing that provides reliability and traceability through management.
Description
본 발명은 재생 캐필러리 관리에 관한 것으로, 자세하게는 반도체 와이어본딩 공정에 사용되는 캐필러리를 세척하여 재생함에 있어 식별코드가 부여된 케이스를 캐필러리와 함께 고정지그를 통해 함께 이동시키며 재생 공정 전후의 캐필러리 영상을 식별코드별로 관리함으로 신뢰성과 추적성을 부여하는 영상 데이터 공유를 통한 재생 캐필러리 관리 시스템 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to management of regenerative capillaries, and more specifically, in cleaning and regenerating capillaries used in the semiconductor wire bonding process, a case with an identification code is moved together with the capillary through a fixing jig for regeneration. This relates to a playback capillary management system and method through video data sharing that provides reliability and traceability by managing capillary images before and after the process by identification code.
여러 단계로 이루어지는 반도체 패키지 제조공정 중 반도체칩에 구비된 칩패드와 리드프레임의 리드를 와이어로 연결해주는 와이어본딩공정은 캐필러리(capillary)를 통해 리드프레임과 반도체칩의 칩패드를 금선(gold wire) 등을 사용하여 전기적으로 연결하는 공정이다.Among the multi-step semiconductor package manufacturing processes, the wire bonding process connects the lead frame of the lead frame and the chip pad provided on the semiconductor chip with a wire, connecting the lead frame and the chip pad of the semiconductor chip with a gold wire through a capillary. This is a process of electrically connecting using wires, etc.
통상적으로 캐필러리는 20~30㎛ 내외의 홀이 형성된 세라믹계 재질로 이루어져 미세한 와이어본딩을 수행하며, 미세한 이물질이 부착됨에 따라 본딩 형상이 불량해지고 결과적으로 반도체의 품질이 저하되므로 주기적인 교체가 필요한 소모품으로 관리되고 있다.Typically, the capillary is made of a ceramic material with holes of around 20 to 30㎛ and performs fine wire bonding. As fine foreign substances attach, the bonding shape becomes poor and the quality of the semiconductor deteriorates, so periodic replacement is required. It is managed as a necessary consumable.
근래 캐필러리의 가격이 많이 낮아지긴 했으나 주기적으로 이를 새것으로 교체하는 것은 반도체 제조공정의 원자재 비용상승의 주요 원인이 되므로 캐필러리의 팁(tip) 부분을 그라인딩(grinding)하거나 화학약품을 이용한 세척을 통해 재활용하는 방법을 사용하기도 한다.Although the price of capillaries has decreased significantly in recent years, periodically replacing them with new ones is a major cause of the increase in raw material costs in the semiconductor manufacturing process, so grinding the tip of the capillary or cleaning it with chemicals is recommended. A recycling method is also used.
하지만, 그라인딩의 경우 재생 횟수가 제한적이고 마모로 인한 수명이 단축되므로 효과적인 대안이 될 수 없으며, 화학약품을 이용한 처리의 경우 마모가 발생하지는 않으나 앞서 언급한 바와 같이 매우 미세한 홀을 갖고 있음에 따라 상태에 대한 신뢰성 확보가 쉽지 않아 1~2회 재사용 후 폐기하는 것이 일반적으로 여전히 반도체 제조공정에서 경제적인 부담을 주는 요인으로 자리 잡고 있다. However, in the case of grinding, it is not an effective alternative because the number of regenerations is limited and the lifespan is shortened due to wear. In the case of processing using chemicals, wear does not occur, but as mentioned earlier, it has very fine holes, so it is not an effective alternative. Since it is not easy to secure reliability, discarding it after reusing it once or twice is still a factor that poses an economic burden in the semiconductor manufacturing process.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 캐필러리를 수용하는 전용 케이스에 식별코드를 부여하고 캐필러리 재생 공정시 전용 고정지그를 통해 케이스와 함께 공정간 이동시키며 재생 전후의 영상을 식별코드별로 관리함으로 제품의 추적성을 부여하고 반복재생에도 신뢰성을 보장할 수 있는 영상 데이터 공유를 통한 재생 캐필러리 관리 시스템 및 방법을 제공하는 것이다.The present invention was created to solve the above problems, and the purpose of the present invention is to assign an identification code to a dedicated case that accommodates the capillary and to use a dedicated fixing jig during the capillary regeneration process to secure the capillary between the processes together with the case. It provides a playback capillary management system and method through video data sharing that can move and manage images before and after playback by identification code, giving product traceability and ensuring reliability even during repeated playback.
상기와 같은 목적을 위해 본 발명 영상 데이터 공유를 통한 재생 캐필러리 관리 시스템은 케이스 내부에 지지가 된 상태로 보관되는 캐필러리의 관리 시스템에 있어서, 상기 케이스에 캐필러리의 개별 추적관리를 위한 식별정보가 포함된 식별매체를 부여하는 정보부여모듈; 상기 케이스를 고정하는 제1고정부와, 상기 케이스에서 꺼낸 캐필러리를 고정하는 제2고정부가 형성된 고정지그; 세정공정에 따라 상기 고정지그를 움직여 위치 이동시키는 구동모듈; 세정공정 전후 고정지그를 통해 고정된 캐필러리의 단부 영상을 획득하는 촬영모듈; 부여된 식별매체에 대응하여 개별 캐필러리의 세척횟수 및 대응하는 세척 전후 영상을 포함하는 이력정보를 관리하는 관리모듈; 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.For the above purpose, the present invention's playback capillary management system through video data sharing is a management system for capillaries stored in a supported state inside a case, and includes identification for individual tracking and management of capillaries in the case. An information granting module that grants an identification medium containing information; A fixing jig having a first fixing part for fixing the case and a second fixing part for fixing the capillary taken out of the case; A driving module that moves the fixing jig and moves its position according to the cleaning process; A shooting module that acquires images of the end of the capillary fixed through a fixing jig before and after the cleaning process; A management module that manages history information including the number of times of washing of individual capillaries and corresponding images before and after washing in response to the assigned identification medium; It is characterized by consisting of.
이때 상기 식별매체로부터 식별정보를 읽는 리더와, 읽은 식별정보에 대응하는 이력정보를 상기 관리모듈로 요청하는 요청부와, 상기 관리모듈로부터 전송된 이력정보를 출력하는 디스플레이부를 구비하는 리딩모듈; 을 더 포함할 수 있다.At this time, a reading module including a reader that reads identification information from the identification medium, a request unit that requests history information corresponding to the read identification information from the management module, and a display unit that outputs history information transmitted from the management module; It may further include.
또한, 상기 촬영모듈은, 캐필러리의 단부 정면을 촬영하는 제1카메라 및 캐필러리 단부 측면을 촬영하는 제2카메라와, 상기 제1카메라 및 제2카메라의 위치 및 배율을 미세조절하는 조절부로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the photographing module includes a first camera for photographing the front of the end of the capillary, a second camera for photographing the side of the end of the capillary, and an adjustment unit for finely adjusting the position and magnification of the first camera and the second camera. It is desirable to make it happen.
또한, 상기 영상에 측정값을 입력하되 마모 및 변형에 따른 합격 여부를 판정하는 판정모듈; 을 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, a judgment module that inputs measured values into the image and determines whether the image passes or fails due to wear and deformation; It is desirable to further include.
또한, 상기와 같은 목적을 위해 본 발명 재생 캐필러리 관리 방법은, 상기 케이스에 캐필러리의 개별 추적관리를 위한 식별정보가 포함된 식별매체를 부여하는 정보부여단계; 상기 케이스와, 상기 케이스에서 꺼낸 캐필러리를 고정하는 고정지그에 고정하는 고정단계; 세정공정에 따라 상기 고정지그를 움직여 위치 이동시키는 구동단계; 세정공정 전후 고정지그를 통해 고정된 캐필러리의 단부 영상을 획득하는 촬영단계; 부여된 식별매체에 대응하여 개별 캐필러리의 세척횟수 및 대응하는 세척 전후 영상을 포함하는 이력정보를 생성하는 관리단계; 상기 영상에 측정값을 입력하되 마모 및 변형에 따른 합격 여부를 판정하는 판정단계; 상기 식별매체로부터 식별정보를 읽음에 따라 대응하는 이력정보를 출력하는 리딩단계; 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, for the above purpose, the present invention's regeneration capillary management method includes an information granting step of providing an identification medium containing identification information for individual tracking and management of the capillary to the case; A fixing step of fixing the case and the capillary taken out from the case to a fixing jig; A driving step of moving the fixing jig to move its position according to the cleaning process; A photographing step of acquiring images of the end of the capillary fixed through a fixing jig before and after the cleaning process; A management step of generating history information including the number of times of washing each capillary and corresponding images before and after washing in response to the assigned identification medium; A decision step of inputting measurement values into the image and determining whether the image passes or fails due to wear and deformation; A reading step of outputting corresponding history information as identification information is read from the identification medium; It is characterized by consisting of.
본 발명을 통해 종래 소모품으로 여겨지던 캐필러리의 재생하되 다수 재사용에도 신뢰성을 확보함으로 수명을 극대화할 수 있으며, 종래대비 45 ~ 45% 수준으로 캐필러리 관련 소요비용을 감소시킬 수 있다.Through the present invention, it is possible to maximize the lifespan of capillaries, which were conventionally considered consumables, by regenerating them and ensuring reliability even for multiple reuses, and to reduce capillary-related costs by 45 to 45% compared to the prior art.
특히 품질향상뿐 아니라 추적성이 부여된 이력관리를 통해 사용자가 현재 사용중인 캐필러리 상태를 정확히 인지할 수 있음에 따라 품질에 대한 자신감을 부여할 수 있다.In particular, in addition to quality improvement, traceability and history management allow users to accurately recognize the status of the capillary currently in use, giving them confidence in quality.
도 1은 본 발명의 개념도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 연결관계를 나타낸 블록도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 캐필러리 재생 절차를 나타낸 순서도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 캐필러리 및 케이스 구조를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 구조를 나타낸 평면도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 구조를 나타낸 제1사시도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 구조를 나타낸 제2사시도,
도 8은 본 발명을 통한 캐필러리의 세정 결과를 세정전과 비교하여 보여주는 사진,
도 9는 본 발명을 통한 캐필러리의 세정 후 측정결과가 반영된 사진,
도 10은 본 발명을 통한 재생 캐필러리의 합격 판정을 위한 방안을 나타내는 사진이다.1 is a conceptual diagram of the present invention;
Figure 2 is a block diagram showing the configuration and connection relationship according to an embodiment of the present invention;
3 is a flowchart showing a capillary regeneration procedure according to an embodiment of the present invention;
Figure 4 is a perspective view showing the capillary and case structure according to an embodiment of the present invention;
Figure 5 is a plan view showing the structure of a fixing jig according to an embodiment of the present invention;
Figure 6 is a first perspective view showing the structure of a fixing jig according to an embodiment of the present invention;
Figure 7 is a second perspective view showing the structure of a fixing jig according to an embodiment of the present invention;
Figure 8 is a photograph showing the cleaning results of the capillary according to the present invention compared to before cleaning;
Figure 9 is a photograph reflecting the measurement results after cleaning the capillary through the present invention;
Figure 10 is a photograph showing a method for judging the acceptance of a regenerative capillary according to the present invention.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명 영상 데이터 공유를 통한 재생 캐필러리 관리 시스템을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the present invention's playback capillary management system through video data sharing will be described in detail with reference to the attached drawings.
도 1은 본 발명의 개념도로서, 본 발명에서는 종래 반도체 제조시 와이어본딩 공정을 위한 소모품으로 인식되었던 캐필러리(230)를 재생함으로 신품제작에 소요되는 비용의 절감뿐 아니라 친환경적인 공정운용이 가능하도록 하되, 특히 단순 세정공정만 이루어졌던 기존의 캐필러리 재생방식과는 달리 각 캐필러리별 재생 이력을 전후 영상을 통해 관리함으로 고객의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.Figure 1 is a conceptual diagram of the present invention. In the present invention, the capillary 230, which was previously recognized as a consumable for the wire bonding process in semiconductor manufacturing, is recycled, thereby not only reducing the cost of manufacturing a new product but also enabling environmentally friendly process operation. However, unlike the existing capillary regeneration method, which only involves a simple cleaning process, customer reliability can be improved by managing the regeneration history of each capillary through before and after videos.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 연결관계를 나타낸 블록도, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 캐필러리 재생 절차를 나타낸 순서도, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 캐필러리 및 케이스 구조를 나타낸 사시도이다.Figure 2 is a block diagram showing the configuration and connection relationship according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a flow chart showing a capillary regeneration procedure according to an embodiment of the present invention, and Figure 4 is a capillary according to an embodiment of the present invention. This is a perspective view showing the structure and case structure.
캐필러리(230)는 언급한 바와 같이 20~30㎛ 내외의 매우 미세한 홀이 형성되어 정밀성이 요구되는 반도체 와이어본딩 공정을 수행하므로 홀을 기준으로 극도의 청결관리가 이루어져야 한다. 이를 위해 첨부된 도 4와 같은 케이스(210)에 수납된 상태로 보관 및 운반이 이뤄지게 된다.As mentioned, the capillary 230 performs a semiconductor wire bonding process that requires precision by forming a very fine hole of approximately 20 to 30 μm, so extreme cleanliness must be maintained based on the hole. For this purpose, it is stored and transported in a
상기 케이스(210)는 한쪽에 개구부가 형성된 원통형 구조체로 내부 캐필러리 수용 여부를 외부에서 확인할 수 있도록 투명 또는 반투명 재질로 이뤄지는 것이 바람직하다. 상기 개구부에는 수용된 캐필러리가 빠지지 않도록 캡(220)이 결합되며, 캡(220)의 내측에는 수용된 캐필러리를 지지할 수 있는 지지부(221)가 형성되어 운반, 보관중 수용된 캐필러리의 흔들림을 방지한다.The
본 발명의 실시예에서는 상기 캡(220)의 내측 중앙에 캐필러리(230)를 끼워 지지할 수 있는 형태의 지지부(221)가 형성된 모습을 도시하고 있으며, 기본적으로 이러한 형태의 케이스(210)에 수납된 형태로 캐필러리(230)의 입고 및 출고가 이뤄진다.In the embodiment of the present invention, a
본 발명은 이러한 캐필러리(230)의 재생 이력을 영상을 통해 전산 관리함에 있어 크기가 매우 작으므로 정보부여모듈(110)을 통해 상기 케이스(210)에 캐필러리의 개별 추적관리를 위한 식별정보가 포함된 식별매체(211)를 부여하게 된다.In the present invention, in computerized management of the playback history of the capillary 230 through video, the size is very small, so identification information for individual tracking and management of the capillary is provided to the
상기 식별매체(211)는 식별정보를 포함하여 전자적으로 판독 가능한 RFID TAG를 비롯하여 광학인식이 가능한 바코드, QR 코드 등 다양한 수단으로 구성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 비교적 작은 케이스(210) 외측에 부착하는 형태로 용이하게 적용 가능한 QR 코드를 통해 식별매체를 구성하고 있다.The
이러한 캐필러리(230)의 재생공정 중 캐필러리(230)를 케이스(210)와 함께 이동시켜 개별 캐필러리(230)의 재생 이력관리가 이루어지도록 하며 이를 위한 전용 고정지그(120)가 구비된다. During the regeneration process of the capillary 230, the capillary 230 is moved together with the
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 구조를 나타낸 평면도, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 구조를 나타낸 제1사시도, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 고정지그의 구조를 나타낸 제2사시도이다.Figure 5 is a plan view showing the structure of a fixing jig according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a first perspective view showing the structure of a fixing jig according to an embodiment of the present invention, and Figure 7 is a fixing jig according to an embodiment of the present invention. This is the second perspective view showing the structure of .
상기 고정지그(120)는 판형의 구조체로서 상기 케이스(210)를 고정하는 제1고정부(121)와, 상기 케이스(210)에서 꺼낸 캐필러리(230)를 고정하는 제2고정부(122)가 열을 맞추어 형성된다. 즉 세정을 위해 고정된 캐필러리(230)에 대응하여 식별매체가 부여된 케이스(210)가 함께 고정된 상태로 세정이 이루어지며 각각의 캐필러리의 재생 이력관리가 이루어지도록 하는 것으로, 캐필러리(230) 및 대응하는 케이스(210)가 함께 고정됨으로 케이스(210)로부터 캐필러리(230)를 꺼내고 넣는 과정에서 효과적으로 혼동을 방지할 수 있다.The
상기 제1고정부(121)는 상기 케이스(210)의 바깥지름에 대응하는 안지름을 갖는 구멍 또는 홈으로 이루어져 캡(220)을 결합한 상태 또는 결합하지 않은 상태에서 케이스를 끼워 넣는 방식으로 지지가 이뤄지며 바람직하게는 식별매체(211)가 외측으로 드러날 수 있도록 고정된다.The
상기 제2고정부(122)도 마찬가지로 캐필러리(230)의 바깥지름에 대응하는 안지름을 갖는 구멍으로 이루어져 캐필러리(230)가 관통하도록 끼워져 지지가 되며, 캐필러리의 손상을 방지하면서도 견고한 고정이 이뤄질 수 있도록 고무나 탄성을 갖는 합성수지로서 세정액에 침지시 손상되지 않는 내화학성 재질로 이루어져 캐필러리(230)를 감싸며 지지되도록 구성하는 것이 바람직하다.Likewise, the
첨부된 도 4에서는 원형의 구조체에 외측 테두리를 따라 각각 제1고정부(121) 및 제2고정부(122)를 10개 단위로 캐필러리의 세정공정이 이뤄질 수 있는 형태의 고정지그를 도시하고 있으나, 본 발명에서는 고정지그의 형상과 구비되는 제1고정부 및 제2고정부의 개수를 이에 한정하지 않으며 설정된 개수의 제1고정부 및 제2고정부가 함께 관리되도록 다양한 형태 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 예를 들어 고정지그를 다각형이나 반원형으로 구성하되 외측 테두리를 따라 제2고정부를 일정간격으로 형성하고 각 제2고정부의 위치에 대응하여 내측으로 제1고정부를 형성하는 방식으로 구성 가능하다.In Figure 4 attached, a fixing jig of a type in which the cleaning process of the capillary can be performed in units of 10 first fixing
본 발명의 실시예에서는 세정액에 침지하는 방식으로 캐필러리의 세척이 이뤄짐에 따라 제1고정부(121) 및 제2고정부(122)의 높이를 달리하는 구조를 채택하였다. 즉 원반형 구조체의 외측 테두리를 따라 제1고정부(121)를 형성하고 상기 제1고정부(121) 하측으로 연장되는 구조체의 단부에 제2고정부(122)를 형성하는 구조로, 캐필러리(230)의 고정이 이루어진 제2고정부(122)의 위치이동 및 세정이 용이하다.In the embodiment of the present invention, a structure was adopted in which the heights of the first fixing
이러한 고정지그(120)는 구동모듈(130)을 통해 세정공정에 따라 움직이며 위치 이동된다. 상기 구동모듈(130)은 고정지그(120)의 형상에 따라 달라질 수 있으나 기본적으로 첨부된 도면과 같은 형태의 고정지그의 경우 중앙에 설치되어 회전시키는 방식으로 각 제1고정부(121) 및 제2고정부(122)를 위치 이동시키게 된다.This fixing
본 발명의 실시예에서는 고정지그(120)에 10개의 제1고정부(121) 및 제2고정부(122)가 형성됨에 따라 10개의 위치에 따른 위치 이동이 이뤄지며 이러한 위치의 숫자는 구비되는 제1고정부(121) 및 제2고정부(122)의 숫자에 대응하여 가감될 수 있다. 이에 대응하여 상기 구동모듈(130)은 고정지그(120)의 회전과 승하강을 할 수 있도록 회전모터 및 승하강 실린더를 구비하여 고정지그(120) 회전을 통한 위치 이동시에는 고정지그(120)를 상승시키고 세정공정 중 캐필러리의 세정액 침지를 위해 고정지그(120)를 하강시킨다.In the embodiment of the present invention, as 10 first fixing
이후 상기 구동모듈(130)을 통해 이동된 고정지그(120)를 세정액에 침지하는 방식으로 제2고정부(122)에 지지된 캐필러리의 세정이 이루어진다.Thereafter, the capillary supported on the
세정부(140)는 기본적으로 전처리액 내지는 세정액이 담긴 세정조로 이루어지게 되며, 캐필러리(230)가 고정된 제2고정부(122)를 용액에 침지하는 형태로 세정 공정이 진행된다.The
세정공정은 도 1과 같이 전처리, 이물질제거, 세정작업, 건조의 순서로 이루어질 수 있으며, 다양한 화공약품 및 초음파, 압축공기 분사나 블로워 등과 병행하며 진행될 수 있다. 일례로 대한민국 공개특허 제10-2005-0099709호(2005.10.17)를 비롯한 다양한 공지의 캐필러리 세정방식을 사용할 수 있으며, 본 발명에서는 발명의 취지가 흐려지는 것을 방지하기 위해 구체적인 설명은 생략한다.The cleaning process can be performed in the order of pretreatment, foreign matter removal, cleaning, and drying as shown in Figure 1, and can be performed in parallel with various chemicals, ultrasonic waves, compressed air injection, or blowers. For example, various known capillary cleaning methods can be used, including Korean Patent Publication No. 10-2005-0099709 (October 17, 2005), and detailed descriptions are omitted in the present invention to prevent the purpose of the invention from being obscured.
공정을 위한 각 위치를 살펴보면, 회전 방향은 시계방향을 기준으로 1번 위치는 캐피러리의 투입 및 인출을 위한 위치로 촬영모듈(150)에 의해 영상을 취득하며 판독이 이뤄진다. 이때 식별매체(211)의 리딩을 위한 리더가 설치되며, 도면에서는 설명의 편의를 위해 2번 위치에 리더가 설치된 모습을 나타내고 있다. 해당 리더는 세정 전후에 촬영된 영상을 식별매체를 통해 관리하기 위한 역할을 한다.Looking at each position for the process, the rotation direction is clockwise, and position 1 is a position for inserting and withdrawing the capillary, and images are acquired and read by the
3번 및 4번 위치는 전처리 영역으로, 전처리를 위한 용액이 담겨진 용기에 제2고정부에 고정된 캐필러리가 침지될 수 있도록 상기 구동모듈(130)을 통해 고정지그(120)의 승강이 이뤄진다. Positions 3 and 4 are pretreatment areas, and the fixing
5 및 6번 위치는 이물질 제거 영역으로, 전처리된 캐필러리를 이물질 제거를 위한 용액에 침지시키고 필요에 따라 초음파 등을 인가하여 캐필러리 외부의 오염물질을 이탈시키게 된다.Positions 5 and 6 are the foreign matter removal areas, where the pretreated capillary is immersed in a solution for removing foreign matter and, if necessary, ultrasonic waves are applied to remove contaminants outside the capillary.
7 및 8번 위치는 세정 영역으로 동일한 구조로 세정액이 수용된 용기에 캐필러리를 침지시키게 된다. 3 ~ 8번 위치에는 용액의 공급을 위한 공급부가 도시되었으며, 상기 제2고정부(122)의 승하강 및 고정지그(120)의 회전에 영향을 주지 않는 위치에 적절히 배치된다.Positions 7 and 8 are cleaning areas with the same structure and the capillary is immersed in a container containing cleaning liquid. A supply part for supplying the solution is shown at positions 3 to 8, and is appropriately placed in a position that does not affect the raising and lowering of the
9 및 10번 위치는 건조 영역으로, 상측에서 하측으로 공기를 분사하여 캐필러리 외부의 세정액을 제거하고 건조시키게 된다. 제2고정부(122)의 상하측에 각각 공기를 분사하고 바람에 날린 세정액이 외부로 비산되는 것을 방지하기 위한 블로워 및 수용구조체가 각각 마련되며 마찬가지로 상기 제2고정부(122)의 승하강 및 고정지그(120)의 회전에 간섭되지 않도록 적절한 위치로 배치된다.
도 7에서는 세정공정을 전후로 촬영모듈(150)을 통해 고정지그(120)를 통해 고정된 캐필러리(230)의 단부 영상을 획득하는 모습을 나타내고 있다.FIG. 7 shows an image of the end of the capillary 230 fixed through the fixing
상기 촬영모듈(150)은 현미경이 장착된 광학 카메라로서 미세한 캐필러리(230)의 홀과 주변을 광학 100 내지 200배 수준으로 확대 촬영하여 캐필러리(230)의 세정 전후 상태를 파악할 수 있도록 한다.The
구체적으로 상기 촬영모듈(150)은 캐필러리(230)의 단부 정면, 즉 홀의 상태를 촬영하는 제1카메라(151) 및 캐필러리(230) 단부 측면, 즉 외부 상태를 촬영하는 제2카메라(152)와, 함께 상기 제1카메라(151) 및 제2카메라(152)의 위치 및 배율을 미세조절하는 조절부(153)로 이루어지게 되며, 촬영시 상기 식별매체(211)를 판독할 수 있는 리더(171)가 구비되어, 상기 제1카메라(151) 및 제2카메라(152)를 통해 촬영된 영상이 개별 캐필러리(230)의 식별정보와 함께 관리되도록 한다.Specifically, the photographing
도 8은 본 발명을 통한 캐필러리의 세정 결과를 세정전과 비교하여 보여주는 사진, 도 9는 본 발명을 통한 캐필러리의 세정 후 측정결과가 반영된 사진을 나타내고 있으며, 캐필러리의 세정 전후 상태를 비교하여 명확하게 확인할 수 있다.Figure 8 is a photograph showing the results of cleaning the capillary through the present invention compared with before cleaning, and Figure 9 shows a photograph reflecting the measurement results after cleaning the capillary through the present invention, comparing the state of the capillary before and after cleaning. You can see it clearly.
이러한 일련의 공정은 관리를 위한 서버에 해당하는 관리모듈(160)을 통해 이루어진다. 즉 상기 관리모듈(160)은 각 캐필러리(230)에 부여된 식별매체(211)에 대응하여 개별 캐필러리(230)의 세척횟수 및 대응하는 세척 전후 영상을 포함하는 이력정보를 저장하여 관리한다.This series of processes is performed through the
이후, 권한이 부여된 관리자의 요청을 통해 정보의 확인이 이루어질 수 있도록 한다. 이를 위해 상기 식별매체(211)로부터 식별정보를 읽는 리더(171)와, 읽은 식별정보에 대응하는 이력정보를 상기 관리모듈로 요청하는 요청부(172)와, 상기 관리모듈(160)로부터 전송된 이력정보를 출력하는 디스플레이부(173)로 구성되는 리딩모듈(170)이 구비된다.Afterwards, the information can be confirmed through a request from an authorized administrator. For this purpose, a
상기 리딩모듈(170)은 앞서 언급한 식별매체의 판독이 가능한 다양한 형태의 단말기가 될 수 있으며 실시예와 같이 식별매체가 QR 코드로 이루어질 시 상기 리더는 QR 코드 판독이 가능한 스마트폰과 같은 단말기로 구성되어, 상기 요청부(172)를 통해 원격의 서버에 해당하는 관리모듈(160)로 판독된 식별매체 관련 캐필러리(230)의 정보를 요청할 수 있다. 이후 구비된 디스플레이부(173)를 통해 관리모듈(160)로부터 전송된 캐필러리의 정보, 즉 세정전후의 촬영 이미지를 비롯하여 세정횟수 및 날짜 등의 정보를 쉽게 확인할 수 있다. The
또한, 이미지 분석방식으로 상기 촬영모듈(150)을 통해 얻어진 영상에 측정값을 입력하되 마모 및 변형에 따른 합격 여부를 판정하는 판정모듈(180)이 구비될 수 있다.In addition, a determination module 180 may be provided to input measured values into the image obtained through the photographing
도 10은 본 발명을 통한 재생 캐필러리의 합격 판정을 위한 방안을 나타내는 사진이다. 앞서 언급한 바와 같이 전자식 광학 현미경을 통해 촬영이 이루어짐에 따라 영상내 측정 치수의 입력이 이루어질 수 있으며, 세정 전후를 비롯하여 세정횟수가 누적됨에 따른 이력관리에 따른 이미지 비교를 통해 마모도나 오염도를 비롯하여 형태변형의 판단이 이뤄질 수 있다. 이를 통해 설정치 이상의 마모나 형태변형으로 인한 재사용 가능 합격 여부를 판단할 수 있다. Figure 10 is a photograph showing a method for judging the acceptance of a regenerative capillary according to the present invention. As mentioned earlier, as imaging is done through an electronic optical microscope, the measured dimensions in the image can be input, and the degree of wear and contamination, as well as the shape, can be measured through image comparison according to history management as the number of cleanings accumulates, including before and after cleaning. A judgment of transformation can be made. Through this, it is possible to determine whether or not the product can be reused due to wear or deformation beyond the set value.
본 발명에 따른 재생 캐필러리 관리 방법은 상술한 재생 캐필러리 관리 시스템을 통해 이루어지며, 구체적인 절차는 다음과 같다.The regeneration capillary management method according to the present invention is performed through the above-described regeneration capillary management system, and the specific procedures are as follows.
첫 번째 단계는 정보부여단계(S 110)로서, 정보부여모듈(110)을 통해 캐필러리(230)가 내장되어 입고된 케이스(210)에 캐필러리의 개별 추적관리를 위한 식별정보가 포함된 식별매체(211)를 부여한다.The first step is the information granting step (S 110), where the
두 번째 단계는 고정단계(S 120)로서, 상기 케이스(210)와, 상기 케이스(210)에서 꺼낸 캐필러리(230)를 고정하는 고정지그(120)에 고정하게 된다.The second step is the fixing step (S 120), in which the
세 번째 단계는 구동단계(S 130)로서, 세정공정에 따라 구동모듈(130)을 통해 상기 고정지그(120)를 움직여 위치 이동시키게 된다. 본 발명의 실시예와 같은 형태의 고정지그의 경우 회전 방식으로 시계방향으로 캐필러리를 이동시며, 고정지그의 수직이동 승하강을 통해 지지된 캐필러리가 세정액에 침지되어 세척이 이루어진다.The third step is the driving step (S 130), in which the fixing
네 번째 단계는 촬영단계(S 140)로서, 촬영모듈(150)을 통해 세정공정 전후 고정지그(120)를 통해 고정된 캐필러리(230)의 단부 영상을 획득하게 된다. 이 과정에서는 공지의 세정공정이 포함되며, 세정 전후로 각각 촬영이 이루어져 영상비교를 통해 입고된 캐필러리의 상태 및 세정상태의 확인이 이루어질 수 있도록 한다.The fourth step is the photographing step (S 140), in which an image of the end of the capillary 230 fixed through the fixing
다섯 번째 단계는 관리단계(S 140)로서 관리모듈(160)을 통해 앞서 첫 번째 단계(S 110)에서 부여된 식별매체(211)에 대응하여 개별 캐필러리(230)의 세척횟수 및 대응하는 세척 전후 영상을 포함하는 이력정보를 생성, 저장하게 된다.The fifth step is the management step (S 140), which determines the number of times of washing of the
여섯 번째 단계는 판정단계(S 160)로서, 판정모듈(180)을 통해 상기 네 번째 단계(S 140)에서 얻어진 영상에 측정값을 입력하되 마모 및 변형에 따른 합격 여부를 판정하게 된다. 이때 세척전 촬영 영상에서 심한 마모나 형태변형이 발견되어 재사용이 불가능하다고 판단될 경우 재생불가 판정을 통해 해당 캐필러리의 폐기가 이뤄질 수도 있다.The sixth step is the decision step (S 160), where measurement values are input to the image obtained in the fourth step (S 140) through the decision module 180, and pass is determined based on wear and deformation. At this time, if severe wear or shape deformation is found in the video taken before cleaning and it is determined that reuse is impossible, the capillary may be discarded through a judgment of non-recyclability.
마지막 단계는 리딩단계(S 170)로서 세척된 캐필러리의 재사용에 따라 권한이 부여된 관리자에 의해 개별 캐필러리의 재생 이력을 확인하기 위한 단계로, 리딩모듈(170)을 통해 상기 식별매체로부터 식별정보를 읽음에 따라 대응하는 이력정보를 출력하게 된다. 즉 상기 리더(171)를 통해 식별정보를 판독시 상기 요청부(172)를 통해 원격의 서버에 해당하는 관리모듈(160)로 판독된 식별매체 관련 캐필러리의 정보를 요청하게 되며, 구비된 디스플레이부(173)를 통해 관리모듈로부터 전송된 캐필러리의 정보, 즉 세정전후의 촬영 이미지를 비롯하여 세정횟수 및 날짜 등의 정보를 쉽게 확인하게 된다. The last step is the reading step (S 170), which is a step to check the regeneration history of individual capillaries by an authorized manager according to the reuse of the cleaned capillary, and is identified from the identification medium through the
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above but are defined by the claims, and those skilled in the art can make various changes and modifications within the scope of the claims. This is self-evident.
110: 정보부여모듈 120: 고정지그
121: 제1고정부 122: 제2고정부
130: 구동모듈 140: 세정부
141: 전처리부 142: 이물질제거부
143: 세정부 144: 건조부
150: 촬영모듈 151: 제1카메라
152: 제2카메라 153: 조절부
160: 관리모듈 170: 리딩모듈
171: 리더 172: 요청부
173: 디스플레이부 180: 판정모듈
210: 케이스 211: 식별매체
220: 캡 221: 지지부
230: 캐필러리110: Information granting module 120: Fixed jig
121: first fixing unit 122: second fixing unit
130: Drive module 140: Cleaning unit
141: Preprocessing unit 142: Foreign matter removal unit
143: washing unit 144: drying unit
150: Shooting module 151: First camera
152: second camera 153: control unit
160: Management module 170: Reading module
171: Leader 172: Request Department
173: Display unit 180: Judgment module
210: Case 211: Identification medium
220: cap 221: support
230: Capillary
Claims (5)
상기 케이스(210)에 캐필러리의 개별 추적관리를 위한 식별정보가 포함된 식별매체(211)를 부여하는 정보부여모듈(110);
상기 케이스(210)를 고정하는 제1고정부(121)와, 상기 케이스(210)에서 꺼낸 캐필러리(230)를 고정하는 제2고정부(122)가 형성된 고정지그(120);
세정공정에 따라 상기 고정지그(120)를 움직여 위치 이동시키는 구동모듈(130);
세정공정 전후 고정지그(120)를 통해 고정된 캐필러리(230)의 단부 영상을 획득하는 촬영모듈(150);
부여된 식별매체에 대응하여 개별 캐필러리(230)의 세척횟수 및 대응하는 세척 전후 영상을 포함하는 이력정보를 관리하는 관리모듈(160); 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 재생 캐필러리 관리 시스템.
In the management system for the regenerative capillary stored in a supported state inside the case 210,
An information granting module 110 that provides the case 210 with an identification medium 211 containing identification information for individual tracking and management of the capillary;
A fixing jig 120 having a first fixing part 121 for fixing the case 210 and a second fixing part 122 for fixing the capillary 230 taken out from the case 210;
A driving module 130 that moves the fixing jig 120 and moves its position according to the cleaning process;
An imaging module 150 that acquires images of the end of the capillary 230 fixed through the fixing jig 120 before and after the cleaning process;
A management module 160 that manages history information including the number of times of washing each capillary 230 and corresponding images before and after washing in response to the assigned identification medium; A regenerative capillary management system comprising:
상기 식별매체(211)로부터 식별정보를 읽는 리더(171)와, 읽은 식별정보에 대응하는 이력정보를 상기 관리모듈(160)로 요청하는 요청부(172)와, 상기 관리모듈(160)로부터 전송된 이력정보를 출력하는 디스플레이부(173)를 구비하는 리딩모듈(170); 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 재생 캐필러리 관리 시스템.
According to paragraph 1,
A reader 171 that reads identification information from the identification medium 211, a request unit 172 that requests history information corresponding to the read identification information to the management module 160, and transmission from the management module 160. A reading module 170 including a display unit 173 that outputs history information; A regenerative capillary management system further comprising:
상기 촬영모듈(150)은,
캐필러리(230)의 단부 정면을 촬영하는 제1카메라(151) 및 캐필러리(230) 단부 측면을 촬영하는 제2카메라(152)와, 상기 제1카메라(151) 및 제2카메라(152)의 위치 및 배율을 미세조절하는 조절부(153)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 재생 캐필러리 관리 시스템.
According to paragraph 1,
The photographing module 150,
A first camera 151 for photographing the front end of the capillary 230 and a second camera 152 for photographing the end side of the capillary 230, and the first camera 151 and the second camera ( A regenerative capillary management system, characterized in that it consists of an adjustment unit 153 that finely adjusts the position and magnification of 152).
상기 영상에 측정값을 입력하되 마모 및 변형에 따른 합격 여부를 판정하는 판정모듈(180); 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 재생 캐필러리 관리 시스템.
According to paragraph 3,
A judgment module 180 that inputs measured values into the image and determines whether the image passes or fails due to wear and deformation; A regenerative capillary management system further comprising:
상기 케이스(210)에 캐필러리(230)의 개별 추적관리를 위한 식별정보가 포함된 식별매체를 부여하는 정보부여단계(S 110);
상기 케이스(210)와, 상기 케이스(210)에서 꺼낸 캐필러리(230)를 고정하는 고정지그(120)에 고정하는 고정단계(S 120);
세정공정에 따라 상기 고정지그(120)를 움직여 위치 이동시키는 구동단계(S 130);
세정공정 전후 고정지그(120)를 통해 고정된 캐필러리(230)의 단부 영상을 획득하는 촬영단계(S 140);
부여된 식별매체에 대응하여 개별 캐필러리(230)의 세척횟수 및 대응하는 세척 전후 영상을 포함하는 이력정보를 생성하는 관리단계(S 140);
상기 영상에 측정값을 입력하되 마모 및 변형에 따른 합격 여부를 판정하는 판정단계(S 160);
상기 식별매체로부터 식별정보를 읽음에 따라 대응하는 이력정보를 출력하는 리딩단계(S 170); 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 재생 캐필러리 관리 방법.In the regeneration capillary management method performed through a management system for the regeneration capillary stored in a supported state inside the case 210,
An information provision step (S 110) of providing the case 210 with an identification medium containing identification information for individual tracking and management of the capillary 230;
A fixing step (S 120) of fixing the case 210 and the capillary 230 taken out from the case 210 to a fixing jig 120;
A driving step (S 130) to move the fixing jig 120 according to the cleaning process;
A photographing step (S 140) of acquiring an image of the end of the capillary 230 fixed through the fixing jig 120 before and after the cleaning process;
A management step (S 140) of generating history information including the number of times of washing each capillary 230 and corresponding images before and after washing in response to the assigned identification medium;
A determination step (S 160) of inputting measurement values into the image and determining whether the image passes or fails due to wear and deformation;
A reading step (S 170) of outputting corresponding history information as identification information is read from the identification medium; A regenerative capillary management method comprising:
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005197417A (en) | 2004-01-06 | 2005-07-21 | Seiko Instruments Inc | Capillary and capillary regenerating method |
WO2019198345A1 (en) | 2018-04-12 | 2019-10-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Automatic analysis device |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100403141B1 (en) * | 2000-12-26 | 2003-10-30 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | Capillary Structure for Bonding Wire of Semiconductor Chip |
JP3463043B2 (en) * | 2001-01-24 | 2003-11-05 | Necセミコンダクターズ九州株式会社 | Cleaning method and cleaning apparatus for cleaning capillary of wire bonding apparatus |
KR20050099709A (en) | 2004-04-12 | 2005-10-17 | 삼성전자주식회사 | Method for washing capillary of wire bonding process |
JP4700570B2 (en) * | 2006-07-14 | 2011-06-15 | 株式会社新川 | Bonding apparatus, bonding tool tip cleaning method and program |
-
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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