（吸着ノズル検査装置の概略） 以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。本実施形態の吸着ノズル検査装置１００は、図１〜図３に示すように、主に、基台１１、ガイドレール１２、移動台１３、スライド部材１４、回転装置２０、回転テーブル３０、ノズル保持パレット４０、流量検査部５０、突上装置６０、識別部撮像装置７０、吸着ノズル撮像装置８０、制御部９０とから構成されている。
(Outline of suction nozzle inspection apparatus) Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 3, the suction nozzle inspection apparatus 100 of the present embodiment mainly includes a base 11, a guide rail 12, a moving base 13, a slide member 14, a rotating device 20, a rotating table 30, and a nozzle holding. It comprises a pallet 40, a flow rate inspection unit 50, a lifting device 60, an identification unit imaging device 70, a suction nozzle imaging device 80, and a control unit 90.
基台１１上には、複数のガイドレール１２が並設されている。各ガイドレール１２には、それぞれスライド部材１４がスライド可能に取り付けられている。スライド部材１４に板状の移動台１３が取り付けられている。移動台１３は、エアシリンダ等のアクチュエータ１５によって、基台１１上のセット位置Ａと検査位置Ｂ間を移動する。
On the base 11, a plurality of guide rails 12 are arranged in parallel. A slide member 14 is slidably attached to each guide rail 12. A plate-shaped moving table 13 is attached to the slide member 14. The moving table 13 is moved between the set position A and the inspection position B on the base 11 by an actuator 15 such as an air cylinder.
（回転装置） 次に、図３を用いて、回転装置２０について説明する。回転装置２０は、ノズル保持パレット４０のノズル保持部４０ｆを各検査位置（１）〜（３）（図１示）に順次割り出すものであり、主に、揺動部材２１、回転部材２２、アクチュエータ２３、第１ストッパ部材２４、第２ストッパ部材２５、回転テーブル３０とから構成されている。揺動部材２１は、円板状の本体部２１ａと、当該本体部２１ａの外縁から外周側に突出した板状の突出部２１ｂとから構成されていて、本体部２１ａの中心を揺動中心として、移動台１３上に揺動可能に取り付けられている。
(Rotating device) Next, the rotating device 20 is demonstrated using FIG. The rotating device 20 sequentially calculates the nozzle holding portion 40f of the nozzle holding pallet 40 to each of the inspection positions (1) to (3) (shown in FIG. 1), and mainly includes the swing member 21, the rotating member 22, and the actuator. 23, the first stopper member 24, the second stopper member 25, and the rotary table 30. The swing member 21 includes a disk-shaped main body 21a and a plate-shaped protrusion 21b that protrudes from the outer edge of the main body 21a to the outer peripheral side. The center of the main body 21a is the center of swing. It is attached to the movable table 13 so as to be swingable.
回転部材２２は、外周部に所定角度をおいて複数のラッチ２２ａが形成された円板状であり、揺動部材２１上において、移動台１３に回転可能に取り付けられている。本実施形態では、ラッチ２２ａは、１５°間隔をおいて、回転部材２２の外周部に形成されている。なお、回転部材２２は、揺動部材２１に対して回転可能となっている。
The rotating member 22 has a disk shape in which a plurality of latches 22 a are formed at a predetermined angle on the outer peripheral portion, and is rotatably attached to the movable table 13 on the swing member 21. In the present embodiment, the latch 22a is formed on the outer peripheral portion of the rotating member 22 with an interval of 15 °. The rotating member 22 is rotatable with respect to the swing member 21.
第１ストッパ部材２４は、移動台１３に揺動可能に取り付けられ、図示しない付勢部材によって、回転部材２２のラッチ２２ａ側に付勢されていて、ラッチ２２ａと係合している。このような構造によって、回転部材２２は、一方向（本実施形態では、時計回り）のみに回転可能となっている。
The first stopper member 24 is swingably attached to the movable table 13, and is urged toward the latch 22a of the rotating member 22 by an urging member (not shown) and is engaged with the latch 22a. With such a structure, the rotating member 22 can rotate only in one direction (clockwise in the present embodiment).
第２ストッパ部材２５は、揺動部材２１の突出部２１ｂに揺動可能に取り付けられ、図示しない付勢部材によって、回転部材２２のラッチ２２ａ側に付勢されていて、ラッチ２２ａと係合している。
The second stopper member 25 is swingably attached to the protruding portion 21b of the swing member 21, and is biased to the latch 22a side of the rotation member 22 by an unillustrated biasing member, and engages with the latch 22a. ing.
アクチュエータ２３は、本実施形態では、エアシリンダであり、本体２３ａと、当該本体２３ａから退出可能に摺動するロッド２３ｂを有している。アクチュエータ２３は、後述する制御部９０と接続し、制御部９０からの制御信号によって、ロッド２３ｂを退出させる。本体２３ａは、移動台１３上に揺動可能に取り付けられている。ロッド２３ｂの先端は、ブラケット２６を介して、揺動部材２１の突出部２１ｂに揺動可能に取り付けている。
In the present embodiment, the actuator 23 is an air cylinder, and includes a main body 23a and a rod 23b that slides so as to be retractable from the main body 23a. The actuator 23 is connected to a control unit 90 to be described later, and retracts the rod 23b by a control signal from the control unit 90. The main body 23a is swingably mounted on the movable table 13. The tip of the rod 23b is swingably attached to the protrusion 21b of the swing member 21 via the bracket 26.
このような構造により、ロッド２３ｂが本体２３ａ内に退避している状態から、当該ロッド２３ｂが突出すると、揺動部材２１が所定角度揺動する。すると、第２ストッパ部材２５は、回転部材２２のラッチ２２ａと係合しているので、回転部材２２が、所定角度だけ（ラッチ２２ａ１ピッチ分だけ）時計回りに回動する。そして、ロッド２３ｂが本体２３ａ内に退避すると、第１ストッパ部材２４がラッチ２２ａに係合しているので、回転部材２２の反時計回りの回動が阻止される。このように、ロッド２３ｂが突出し退避するアクチュエータ２３の１作動によって、回転部材２２がラッチ２２ａ１ピッチ分だけ回動する。
With such a structure, when the rod 23b protrudes from the state in which the rod 23b is retracted into the main body 23a, the swing member 21 swings by a predetermined angle. Then, since the second stopper member 25 is engaged with the latch 22a of the rotating member 22, the rotating member 22 rotates clockwise by a predetermined angle (by the pitch of the latch 22a1). When the rod 23b is retracted into the main body 23a, the first stopper member 24 is engaged with the latch 22a, so that the rotation member 22 is prevented from rotating counterclockwise. In this way, by one operation of the actuator 23 in which the rod 23b protrudes and retracts, the rotating member 22 rotates by the latch 22a1 pitch.
回転テーブル３０は、略円柱形状であり、回転部材２２と回転中心を同軸にして、回転部材２２上に取り付けられている。このようにして、回転テーブル３０が、移動台１３上に回転可能に取り付けられている。回転テーブル３０の上部には、他の部分と比べて外径が小さい円柱形状の係合部３０ａが形成されている。係合部３０ａの基部の周囲には、回転テーブル３０の回転軸と垂直な平面である載置面３０ｂが形成されている。載置面３０ｂ上には、位置決め突起３０ｃが形成されている。回転テーブル３０の係合部３０ａ上には、所定角度をおいて複数の識別センサ３０ｄが設けられている。識別センサ３０ｄは、当該識別センサ３０ｄに物体が近接すると検知信号を制御部９０に出力する近接センサである。
The turntable 30 has a substantially cylindrical shape, and is mounted on the rotation member 22 with the rotation center of the rotation member 22 being coaxial. In this way, the rotary table 30 is rotatably mounted on the movable table 13. A cylindrical engagement portion 30 a having a smaller outer diameter than the other portions is formed on the upper portion of the turntable 30. A mounting surface 30b that is a plane perpendicular to the rotation axis of the turntable 30 is formed around the base of the engaging portion 30a. A positioning projection 30c is formed on the mounting surface 30b. A plurality of identification sensors 30d are provided on the engaging portion 30a of the turntable 30 at a predetermined angle. The identification sensor 30d is a proximity sensor that outputs a detection signal to the control unit 90 when an object approaches the identification sensor 30d.
（ノズル保持パレット） 次に、図４を用いて、ノズル保持パレット４０について説明する。ノズル保持パレット４０は、後述する複数の吸着ノズル５００を垂直状態で保持するものである。ノズル保持パレット４０は、その下部に形成された円柱形状の取付部４０ａと、取付部４０ａと同軸に、取付部４０ａ上に形成された円板状の保持部４０ｂとから構成されている。
(Nozzle holding pallet) Next, the nozzle holding pallet 40 will be described with reference to FIG. The nozzle holding pallet 40 holds a plurality of suction nozzles 500 described later in a vertical state. The nozzle holding pallet 40 includes a columnar mounting portion 40a formed in the lower portion thereof, and a disk-shaped holding portion 40b formed on the mounting portion 40a coaxially with the mounting portion 40a.
取付部４０ａの下面には、係合部３０ａ（図３示）の外径よりも僅かに大きい内径の円柱形状の空間である係合凹部４０ｃが形成されている。取付部４０ａの下面の係合凹部４０ｃの外周部には、位置決め突起３０ｃ（図３示）の外径よりも僅かに大きい内径の円柱形状の空間である位置決め凹部４０ｄが形成されている。係合凹部４０ｃが係合部３０ａに係合するとともに、位置決め凹部４０ｄが位置決め突起３０ｃに係合して、ノズル保持パレット４０が回転テーブル３０上に同軸に位置決めされて取り付けられる（図１、図２示）。このように、ノズル保持パレット４０は、回転テーブル３０に着脱可能に取り付けられる。
An engaging recess 40c, which is a cylindrical space having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the engaging portion 30a (shown in FIG. 3), is formed on the lower surface of the mounting portion 40a. A positioning recess 40d, which is a cylindrical space having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the positioning protrusion 30c (shown in FIG. 3), is formed on the outer peripheral portion of the engaging recess 40c on the lower surface of the mounting portion 40a. The engaging recess 40c engages with the engaging portion 30a, the positioning recess 40d engages with the positioning protrusion 30c, and the nozzle holding pallet 40 is coaxially positioned on and attached to the rotary table 30 (FIG. 1, FIG. 2). Thus, the nozzle holding pallet 40 is detachably attached to the rotary table 30.
係合凹部４０ｃの底面には、所定角度をおいて単一又は複数の識別突起４０ｅが形成されている。識別突起４０ｅは、ノズル保持パレット４０を回転テーブル３０に取り付けた際に、回転テーブル３０の識別センサ３０ｄに対応する位置配置されている。識別突起４０ｅの数や位置は、ノズル保持パレット４０によって異なる。例えば、ノズル保持部４０ｆの数、つまり、隣接するノズル保持部４０ｆの角度によって、識別突起４０ｅの数や位置が異なる。ノズル保持パレット４０を回転テーブル３０に取り付けた際に、各識別センサ３０ｄが識別突起４０ｅを検知し又は検知しないことによって、制御部９０において、回転テーブル３０に取り付けられたノズル保持パレット４０が識別される。
Single or a plurality of identification protrusions 40e are formed at a predetermined angle on the bottom surface of the engaging recess 40c. The identification protrusion 40e is disposed at a position corresponding to the identification sensor 30d of the rotary table 30 when the nozzle holding pallet 40 is attached to the rotary table 30. The number and position of the identification protrusions 40e vary depending on the nozzle holding pallet 40. For example, the number and position of the identification protrusions 40e differ depending on the number of nozzle holding portions 40f, that is, the angle of the adjacent nozzle holding portions 40f. When the nozzle holding pallet 40 is attached to the rotary table 30, each identification sensor 30 d detects or does not detect the identification protrusion 40 e, whereby the control unit 90 identifies the nozzle holding pallet 40 attached to the rotary table 30. The
保持部４０ｂには、図４の一点鎖線で示す円周上等間隔をおいて（等角度をおいて）、ノズル保持部４０ｆが貫通形成されている。本実施形態では、ノズル保持部４０ｆは、その上部の位置決部４０ｇと、その下部の挿通部４０ｈとから構成されていて、位置決部４０ｇの内径は挿通部４０ｈの内径よりも大きくなっている。位置決部４０ｇと挿通部４０ｈの間には、水平な面である載置面４０ｉが形成されている。
In the holding portion 40b, nozzle holding portions 40f are formed so as to penetrate at equal intervals on the circumference indicated by the alternate long and short dash line in FIG. 4 (at equal angles). In the present embodiment, the nozzle holding part 40f is composed of an upper positioning part 40g and a lower insertion part 40h, and the inner diameter of the positioning part 40g is larger than the inner diameter of the insertion part 40h. Yes. A placement surface 40i, which is a horizontal surface, is formed between the positioning portion 40g and the insertion portion 40h.
保持部４０ｂには、各ノズル保持部４０ｆに対応する位置に、表示部４０ｊが設けられている。本実施形態では、表示部４０ｊは、各ノズル保持部４０ｆの外周側に設けられている。表示部４０ｊは、円柱形状の表示筒４０ｋと、保持部４０ｂに貫通形成され、表示筒４０ｋを上下方向摺動可能に収容する収容部４０ｍと、表示筒４０ｋの外周面を押圧する押圧部材４０ｎとから構成されている。表示筒４０ｋには、上から下方向に異なる位置にそれぞれ、全周に渡って上側位置決め溝４０ｐと下側位置決め溝４０ｑが形成されている。押圧部材４０ｎは、本実施形態では、位置決め溝４０ｐ、４０ｑと係合するボール４０ｒを有するボールプランジャーである。このような構造により表示筒４０ｋは、ボール４０ｒが上側位置決め溝４０ｐと係合し、表示筒４０ｋが完全に収容部４０ｍ内に収容されている位置と、ボール４０ｒが下側位置決め溝４０ｑと係合し、表示筒４０ｋが保持部４０ｂの上面から突出した位置の２つの位置に位置決めされる。
The holding unit 40b is provided with a display unit 40j at a position corresponding to each nozzle holding unit 40f. In the present embodiment, the display unit 40j is provided on the outer peripheral side of each nozzle holding unit 40f. The display unit 40j is formed to penetrate the columnar display tube 40k, the holding unit 40b, the storage unit 40m that houses the display tube 40k so as to be slidable in the vertical direction, and the pressing member 40n that presses the outer peripheral surface of the display tube 40k. It consists of and. In the display cylinder 40k, an upper positioning groove 40p and a lower positioning groove 40q are formed over the entire circumference at different positions from the top to the bottom. In this embodiment, the pressing member 40n is a ball plunger having a ball 40r that engages with the positioning grooves 40p and 40q. With such a structure, the display cylinder 40k is engaged with the position where the ball 40r is engaged with the upper positioning groove 40p and the display cylinder 40k is completely accommodated in the accommodating portion 40m, and the ball 40r is engaged with the lower positioning groove 40q. Accordingly, the display tube 40k is positioned at two positions that protrude from the upper surface of the holding portion 40b.
（吸着ノズル）次に図５を用いて、本実施形態の吸着ノズル検査装置１００で検査される吸着ノズル５００について説明する。部品装着装置の吸着ノズル５００は、順次供給位置に供給された電子部品等の部品を吸着して基板等の被装着物の装着位置まで搬送して、当該部品を被装着物に装着するためのものである。図５の（Ｂ）に示すように、吸着ノズル５００は、固定部５０１、可動部５０２、コイルスプリング５０３とから構成されている。
(Suction nozzle) Next, the suction nozzle 500 inspected by the suction nozzle inspection apparatus 100 of this embodiment will be described with reference to FIG. The suction nozzle 500 of the component mounting apparatus sucks components such as electronic components sequentially supplied to the supply position, conveys them to the mounting position of the mounted object such as a substrate, and mounts the component on the mounted object. Is. As shown in FIG. 5B, the suction nozzle 500 includes a fixed part 501, a movable part 502, and a coil spring 503.
固
定部５０１は、部品装着装置のノズルホルダに着脱可能に取り付けられ、円筒状の筒部５０１ａと、この筒部５０１ａの途中部分から外周側に形成された円板状のフランジ部５０１ｂとから構成されている。フランジ部５０１ｂよりも上部の筒部５０１ａには、外周側に突出する取付レバー５０１ｃが形成されている。筒部５０１ａの上部がノズルホルダに嵌合し、取付レバー５０１ｃがノズルホルダに係合して、吸着ノズル５００がノズルホルダに取り付けられる。
The fixing portion 501 is detachably attached to the nozzle holder of the component mounting device, and includes a cylindrical tube portion 501a and a disk-like flange portion 501b formed on the outer peripheral side from the middle portion of the tube portion 501a. Has been. A mounting lever 501c is formed on the cylindrical portion 501a above the flange portion 501b so as to protrude outward. The upper portion of the cylindrical portion 501a is fitted into the nozzle holder, the attachment lever 501c is engaged with the nozzle holder, and the suction nozzle 500 is attached to the nozzle holder.
図５の（Ａ）に示すように、フランジ部５０１ｂの上面には、識別部５０１ｄが設けられている。識別部５０１ｄには、各吸着ノズル５００に固有の「識別情報」が２次元又は３次元のパターン５０１ｅ（二次元コード又は三次元コード）で記載されている。吸着ノズル５００がノズルホルダに装着されると、識別部５０１ｄはノズルホルダに設けられた撮像装置で読み取られ、部品装着装置は、読み取られた識別部５０１ｄのパターン５０１ｅに基づいて吸着ノズル５００の仕様を認識する。
As shown in FIG. 5A, an identification portion 501d is provided on the upper surface of the flange portion 501b. In the identification unit 501d, “identification information” unique to each suction nozzle 500 is described in a two-dimensional or three-dimensional pattern 501e (two-dimensional code or three-dimensional code). When the suction nozzle 500 is mounted on the nozzle holder, the identification unit 501d is read by an imaging device provided in the nozzle holder, and the component mounting device uses the read pattern 501e of the identification unit 501d to specify the specifications of the suction nozzle 500. Recognize
可動部５０２は、基部側ノズル５０２ａと、吸着部５０２ｂと、スプリング受部５０２ｃとから構成されている。基部側ノズル５０２ａは、円筒形状であり、その上部が筒部５０１ａ内に摺動可能に挿通している。吸着部５０２ｂは、基部側ノズル５０２ａの下端に取り付けられ、下端の外径が他の部分の外径に比べて小さくなっている。基部側ノズル５０２ａ及び吸着部５０２ｂの流路は、ノズル穴５０２ｆとなっていて、当該ノズル穴５０２ｆからエアを吸引することにより、部品を吸着部５０２ｂで吸着する。
The movable portion 502 includes a base side nozzle 502a, a suction portion 502b, and a spring receiving portion 502c. The base side nozzle 502a has a cylindrical shape, and an upper portion thereof is slidably inserted into the cylindrical portion 501a. The suction part 502b is attached to the lower end of the base side nozzle 502a, and the outer diameter of the lower end is smaller than the outer diameter of the other part. The flow path of the base side nozzle 502a and the suction part 502b is a nozzle hole 502f. By sucking air from the nozzle hole 502f, the part is sucked by the suction part 502b.
スプリング受部５０２ｃは、基部側ノズル５０２ａの途中部分又は下部から外周側に形成された円板形状の受部５０２ｄと、この受部５０２ｄの外縁に上方に形成された円筒形状のスプリング保持部５０２ｅとから構成されている。
The spring receiving portion 502c includes a disc-shaped receiving portion 502d formed on the outer peripheral side from the middle or lower portion of the base side nozzle 502a, and a cylindrical spring holding portion 502e formed on the outer edge of the receiving portion 502d. It consists of and.
コイルスプリング５０３は、筒部５０１ａの下部の外周側とスプリング保持部５０２ｅの内周側の間に配設され、その上部がフランジ部５０１ｂの下面と当接するとともに、その下端が受部５０２ｄと当接し、可動部５０２を固定部５０１に対して下方に付勢している。このような構造により、可動部５０２が固定部５０１に対して上下方向摺動可能に取り付けられている。
The coil spring 503 is disposed between the outer peripheral side of the lower part of the cylindrical part 501a and the inner peripheral side of the spring holding part 502e. The upper part of the coil spring 503 contacts the lower surface of the flange part 501b and the lower end of the coil spring 503 contacts the receiving part 502d. In contact therewith, the movable portion 502 is biased downward with respect to the fixed portion 501. With such a structure, the movable portion 502 is attached to the fixed portion 501 so as to be vertically slidable.
可動部５０２がノズル保持部４０ｆに挿通し、フランジ部５０１ｂが載置面４０ｉ上に載置されて、複数の吸着ノズル５００がノズル保持パレット４０のノズル保持部４０ｆで、垂直状態で保持される（図１示）。なお、位置決部４０ｇ（図４示）の内径は、フランジ部５０１ｂ（図５示）の外径よりも僅かに大きい寸法となっている。このため、吸着ノズル５００がノズル保持パレット４０の水平方向に関して位置決めされる。
The movable portion 502 is inserted into the nozzle holding portion 40f, the flange portion 501b is placed on the placement surface 40i, and the plurality of suction nozzles 500 are held in the vertical state by the nozzle holding portion 40f of the nozzle holding pallet 40. (Shown in FIG. 1). The inner diameter of the positioning portion 40g (shown in FIG. 4) is slightly larger than the outer diameter of the flange portion 501b (shown in FIG. 5). For this reason, the suction nozzle 500 is positioned in the horizontal direction of the nozzle holding pallet 40.
（流量検査部）次に、図１及び図２を用いて、流量検査部５０について説明する。なお、図２において、後述の上下動装置５２は表示していない。流量検査部５０は、図１に示すように、ノズル接続部５１、上下動装置５２、エア流路５４、ポンプ５５、蓄圧部５６、電磁弁５７、流量検出センサ５８、圧力センサ５９とから構成されている。図１に示すように、ノズル接続部５１は、ブロック状であり、検査位置（３）に割り出されるノズル保持パレット４０のノズル保持部４０ｆの直上に配設されている。図２に示すように、ノズル接続部５１には、その下端に開口するエア通路５１ａが形成されている。また、エア通路５１ａの開口部には、ゴムや樹脂等の柔軟な材料で構成されたリング状のパッキン５１ｂが取り付けられている。
(Flow Rate Inspection Unit) Next, the flow rate inspection unit 50 will be described with reference to FIGS. In FIG. 2, a vertical movement device 52 described later is not displayed. As shown in FIG. 1, the flow rate inspection unit 50 includes a nozzle connection unit 51, a vertical movement device 52, an air flow path 54, a pump 55, a pressure accumulation unit 56, an electromagnetic valve 57, a flow rate detection sensor 58, and a pressure sensor 59. Has been. As shown in FIG. 1, the nozzle connecting portion 51 has a block shape and is disposed immediately above the nozzle holding portion 40 f of the nozzle holding pallet 40 that is indexed to the inspection position (3). As shown in FIG. 2, the nozzle connection portion 51 is formed with an air passage 51 a that opens to the lower end thereof. A ring-shaped packing 51b made of a flexible material such as rubber or resin is attached to the opening of the air passage 51a.
上下動装置５２は、ノズル接続部５１を支持するとともに上下方向に移動させる装置であり、基台１１に取り付けられている。上下動装置５２は、ノズル接続部５１を上下方向移動可能に取り付けるリニアガイド等のガイド部（不図示）と、ノズル接続部５１を上下方向に移動させる、ボールネジ、ボールナット、ボールネジを回転させるモータ等から構成された移動部５２ａを備えている。移動部５２ａは、制御部９０と通信可能に接続され、制御部９０から出力される制御信号によって、移動部５２ａが稼働して、ノズル接続部５１が上下方向に移動する。
The vertical movement device 52 is a device that supports the nozzle connecting portion 51 and moves it in the vertical direction, and is attached to the base 11. The vertical movement device 52 includes a guide portion (not shown) such as a linear guide that attaches the nozzle connecting portion 51 so as to be movable in the vertical direction, and a motor that rotates the ball screw, ball nut, and ball screw that moves the nozzle connecting portion 51 in the vertical direction. The moving part 52a comprised from the above is provided. The moving unit 52a is communicably connected to the control unit 90, and the moving unit 52a is operated by the control signal output from the control unit 90, and the nozzle connecting unit 51 moves in the vertical direction.
ポンプ５５は、ノズル接続部５１のエア通路５１ａにエア流路５４によって接続し、エア通路５１ａにエアを供給するものである。図１に示すように、エア流路５４の途中には、ポンプ５５側から順に、蓄圧部５６、電磁弁５７、流量検出センサ５８が設けられている。
The pump 55 is connected to the air passage 51a of the nozzle connection portion 51 through the air passage 54, and supplies air to the air passage 51a. As shown in FIG. 1, a pressure accumulating portion 56, an electromagnetic valve 57, and a flow rate detection sensor 58 are provided in the air flow path 54 in order from the pump 55 side.
蓄圧部５６は、ポンプ５５によって生成された圧縮空気を溜めるタンクである。蓄圧部５６には、蓄圧部５６の圧力を検出し、検出信号を制御部９０に出力する圧力センサ５９が設けられている。
The pressure accumulating unit 56 is a tank that stores the compressed air generated by the pump 55. The pressure accumulator 56 is provided with a pressure sensor 59 that detects the pressure of the pressure accumulator 56 and outputs a detection signal to the controller 90.
電磁弁５７は、常時は、エア流路５４を閉塞していて、制御部９０と通信可能に接続している。制御部９０からの制御信号により、電磁弁５７は、エア流路５４を開放又は閉塞する。
The electromagnetic valve 57 normally closes the air flow path 54 and is communicably connected to the control unit 90. The electromagnetic valve 57 opens or closes the air flow path 54 according to a control signal from the control unit 90.
流量検出センサ５８は、エア流路５４を流通するエアの流量を検出するセンサであり、制御部９０に検出信号を出力する。
The flow rate detection sensor 58 is a sensor that detects the flow rate of air flowing through the air flow path 54, and outputs a detection signal to the control unit 90.
（突上装置）次に、図２を用いて突上装置６０について説明する。突上装置６０は、ノズル保持パレット４０の表示筒４０ｋを上方に突き上げるものであり、移動台１３上に設けられている。突上装置６０は、本体６１と、本体６１の上端面から突出し、本体６１に対して上下方向移動可能に取り付けられた突上ピン６２とから構成されている。突上ピン６２は、検査位置（３）に割り出されるノズル保持パレット４０の表示筒４０ｋの直下に配設されている。本体６１は、突上ピン６２を上下方向に移動させ、制御部９０に通信可能に接続されたアクチュエータ（不図示）を有している。制御部９０からの制御信号によって、アクチュエータは、突上ピン６２を上方に移動させ、又は、下方に退避させる。突上ピン６２が上方に移動すると、突上ピン６２がその直上にある表示筒４０ｋを突き上げる。
(Raising device) Next, the raising device 60 will be described with reference to FIG. The thrusting device 60 pushes up the display cylinder 40 k of the nozzle holding pallet 40 upward, and is provided on the moving table 13. The protrusion device 60 includes a main body 61 and a protrusion pin 62 that protrudes from the upper end surface of the main body 61 and is attached to the main body 61 so as to be movable in the vertical direction. The protrusion pin 62 is disposed directly below the display tube 40k of the nozzle holding pallet 40 that is indexed to the inspection position (3). The main body 61 includes an actuator (not shown) that is connected to the control unit 90 so as to be communicable by moving the protrusion pin 62 in the vertical direction. In accordance with a control signal from the control unit 90, the actuator moves the protrusion pin 62 upward or retracts downward. When the push-up pin 62 moves upward, the push-up pin 62 pushes up the display cylinder 40k immediately above it.
（識別部撮像）次に、図１、図２を用いて、識別部撮像装置７０について説明する。識別部撮像装置７０は、吸着ノズル５００の識別部５０１ｄのパターン５０１ｅ（図５（Ａ）示）を読み取る装置である。識別部撮像装置７０は、撮像装置７１とブラケット７２とから構成されている。撮像装置７１は、検査位置（１）に割り出されるノズル保持パレット４０のノズル保持部４０ｆの直上に配設されている。撮像装置７１は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子と、この撮像素子に被写像を結像するレンズを有していて、識別部５０１ｄを撮像し、撮像データを制御部９０に出力する。ブラケット７２は、基台１１上に取り付けられ、撮像装置７１を検査位置（１）に割り出されるノズル保持部４０ｆの直上で保持している。
(Identification part imaging) Next, the identification part imaging device 70 is demonstrated using FIG. 1, FIG. The identification unit imaging device 70 is a device that reads the pattern 501e (shown in FIG. 5A) of the identification unit 501d of the suction nozzle 500. The identification unit imaging device 70 includes an imaging device 71 and a bracket 72. The imaging device 71 is disposed immediately above the nozzle holding portion 40f of the nozzle holding pallet 40 that is indexed to the inspection position (1). The imaging device 71 has an imaging element such as a CCD or CMOS, and a lens that forms an image on the imaging element, images the identification unit 501d, and outputs the imaging data to the control unit 90. The bracket 72 is mounted on the base 11 and holds the imaging device 71 directly above the nozzle holding portion 40f that is indexed to the inspection position (1).
（吸着ノズル撮像装置）次に、図１、図２、図６を用いて、吸着ノズル撮像装置８０について説明する。吸着ノズル撮像装置８０は、ノズル保持パレット４０のノズル保持部４０ｆで保持されている吸着ノズル５００の吸着部５０２ｂを撮像するものである。吸着ノズル撮像装置８０は、撮像装置８１、光反射部８２、ブラケット８３とから構成されている。吸着ノズル撮像装置８０は、ノズル保持パレット４０（回転テーブル３０）の側方位置に、ブラケット８３を介して基台１１に取り付けられている。撮像装置８１は、下方が開口した有底筒状の筐体８１ａと、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子８１ｂと、この撮像素子８１ｂに被写像を結像する単数又は複数のレンズ８１ｃを有している。
(Suction nozzle imaging device) Next, the suction nozzle imaging device 80 will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 6. FIG. The suction nozzle imaging device 80 images the suction portion 502b of the suction nozzle 500 held by the nozzle holding portion 40f of the nozzle holding pallet 40. The suction nozzle imaging device 80 includes an imaging device 81, a light reflection unit 82, and a bracket 83. The suction nozzle imaging device 80 is attached to the base 11 via a bracket 83 at a side position of the nozzle holding pallet 40 (the rotary table 30). The imaging device 81 includes a bottomed cylindrical casing 81a that is open at the bottom, an imaging element 81b such as a CCD or a CMOS, and one or more lenses 81c that form an image on the imaging element 81b. Yes.
光反射部８２は、撮像装置８１及びノズル保持パレット４０の下方位置に、ブラケット８３を介して基台１１に取り付けられている。光反射部８２は、上方が開口した箱形の筐体８２ａ、筐体８２ａ内に収納されて取り付けられたプリズム等の反射部材８２ｂ、８２ｃとから構成されている。反射部材８２ｂは、撮像装置８１の直下に配設されている。反射部材８２ｃは、検査位置（２）に割り出されるノズル保持パレット４０のノズル保持部４０ｆの直下に配設されている。図６の二点鎖線で示すように、吸着ノズル５００の吸着部５０２ｂの周囲から出光した光は、反射部材８２ｃ及び反射部材８２ｂで反射して、撮像装置８１の入光し、撮像装置８１で撮像される。
The light reflecting portion 82 is attached to the base 11 via a bracket 83 at a position below the imaging device 81 and the nozzle holding pallet 40. The light reflecting portion 82 includes a box-shaped housing 82a having an open top, and reflecting members 82b and 82c such as prisms housed and attached in the housing 82a. The reflection member 82b is disposed directly below the imaging device 81. The reflection member 82c is disposed directly below the nozzle holding portion 40f of the nozzle holding pallet 40 that is indexed to the inspection position (2). As indicated by a two-dot chain line in FIG. 6, the light emitted from the periphery of the suction portion 502 b of the suction nozzle 500 is reflected by the reflection member 82 c and the reflection member 82 b, enters the image pickup device 81, and enters the image pickup device 81. Imaged.
（制御部）次に制御部９０について説明する。制御部９０は、吸着ノズル検査装置１００を統括制御するものであり、マイクロコンピュータ（不図示）を有しており、マイクロコンピュータは、バスを介してそれぞれ接続された入出力インターフェース、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、不揮発性メモリー等の記憶部９０ａを備えている。ＣＰＵは、図８に示すフローチャートに対応したプログラムを実行する。ＲＡＭは同プログラムの実行に必要な変数を一時的に記憶するものであり、ＲＯＭや記憶部９０ａは前記プログラムを記憶している。
(Control Unit) Next, the control unit 90 will be described. The control unit 90 performs overall control of the suction nozzle inspection device 100 and includes a microcomputer (not shown). The microcomputer includes an input / output interface, a CPU, a RAM, A storage unit 90a such as a ROM or a nonvolatile memory is provided. The CPU executes a program corresponding to the flowchart shown in FIG. The RAM temporarily stores variables necessary for executing the program, and the ROM and the storage unit 90a store the program.
制御部９０は、流量検出センサ５８からの検出信号が入力され、エア流路５４を流通するエアの流量、つまり、ノズル接続部５１を介して吸着ノズル５００に供給されるエアの流量を算出する。また、制御部９０には、圧力センサ５９からの検出信号が入力され、ポンプ５５に制御信号を出力する。制御部９０は、圧力センサ５９で検出された蓄圧部５６の圧力が所定以下に低下したと判断した場合には、ポンプ５５を稼働させる。また、制御部９０は、アクチュエータ１５に制御信号を出力することにより、移動台１３を基台１１上のセット位置Ａと検査位置Ｂ間（図１示）に移動させる。また、制御部９０は、電磁弁５７に制御信号を出力して、電磁弁５７を開放又は閉塞する。また、制御部９０は、アクチュエータ２３に制御信号を出力して、アクチュエータ２３のロッド２３ｂ（図３示）を退出させる。また、制御部９０は、撮像装置７１、８１に制御信号を出力し、撮像装置７１、８１での撮像を実行させる。そして、制御部９０には、撮像装置７１、８１からの撮像画像が入力される。
The control unit 90 receives a detection signal from the flow rate detection sensor 58 and calculates the flow rate of air flowing through the air flow path 54, that is, the flow rate of air supplied to the suction nozzle 500 via the nozzle connection unit 51. . Further, the detection signal from the pressure sensor 59 is input to the control unit 90, and the control signal is output to the pump 55. When the control unit 90 determines that the pressure of the pressure accumulating unit 56 detected by the pressure sensor 59 has decreased to a predetermined value or less, the control unit 90 operates the pump 55. Further, the control unit 90 outputs a control signal to the actuator 15 to move the movable table 13 between the set position A and the inspection position B on the base 11 (shown in FIG. 1). In addition, the control unit 90 outputs a control signal to the electromagnetic valve 57 to open or close the electromagnetic valve 57. Further, the control unit 90 outputs a control signal to the actuator 23, and causes the rod 23b (shown in FIG. 3) of the actuator 23 to exit. In addition, the control unit 90 outputs a control signal to the imaging devices 71 and 81 to cause the imaging devices 71 and 81 to perform imaging. Then, captured images from the imaging devices 71 and 81 are input to the control unit 90.
制御部９０には、操作部９１が通信可能に接続されている。操作部９１は、吸着ノズル検査装置１００を操作するためのものである。作業者が操作部９１を操作すると、当該操作に対応した信号が、制御部９０に入力される。
An operation unit 91 is communicably connected to the control unit 90. The operation unit 91 is for operating the suction nozzle inspection device 100. When the operator operates the operation unit 91, a signal corresponding to the operation is input to the control unit 90.
制御部９０は、ホストコンピュータ２００と通信可能に接続されていて、ホストコンピュータ２００に、各吸着ノズル５００の「識別情報」と対応付けされた各吸着ノズル５００の検査結果である「吸着ノズル検査情報」（図９示）を送信する。ホストコンピュータ２００は、例えば所謂パーソナルコンピュータであり、「吸着ノズル検査情報」が順次記憶されて蓄積される。
The controller 90 is communicably connected to the host computer 200, and “adsorption nozzle inspection information” that is an inspection result of each adsorption nozzle 500 associated with “identification information” of each adsorption nozzle 500 is connected to the host computer 200. (Shown in FIG. 9). The host computer 200 is, for example, a so-called personal computer, and “adsorption nozzle inspection information” is sequentially stored and accumulated.
（吸着ノズルの洗浄・検査工程） 次に、図７に示すフローチャートを用いて、吸着ノズルの洗浄・検査工程について説明する。部品装着装置において使用後の吸着ノズル５００は、ノズル保持パレット４０の各ノズル保持部４０ｆで保持された状態で、ストックされる（Ｐ１）。次に、各吸着ノズル５００がノズル保持パレット４０で保持された状態で、清掃装置によって、吸着ノズル５００の吸着部５０２ｂや、ノズル穴５０２ｆ、識別部５０１ｄが清掃され（Ｐ２）、ブロー装置によってノズル穴５０２ｆ内に圧縮空気が送給され、ノズル穴５０２ｆ内の洗浄液や異物が除去される（Ｐ３）。次に、後述の「吸着ノズル検査処理」において、各吸着ノズル５００がノズル保持パレット４０で保持された状態で、各吸着ノズル５００が検査される（Ｐ４）。検査後の各吸着ノズル５００は、ノズル保持パレット４０で保持された状態で、ストックされる（Ｐ５）。
(Adsorption nozzle cleaning / inspection process) Next, the adsorption nozzle cleaning / inspection process will be described with reference to the flowchart shown in FIG. The suction nozzle 500 after use in the component mounting apparatus is stocked while being held by each nozzle holding portion 40f of the nozzle holding pallet 40 (P1). Next, in a state where each suction nozzle 500 is held by the nozzle holding pallet 40, the suction unit 502b, the nozzle hole 502f, and the identification unit 501d of the suction nozzle 500 are cleaned by the cleaning device (P2), and the nozzle is cleaned by the blow device. Compressed air is fed into the hole 502f, and the cleaning liquid and foreign matter in the nozzle hole 502f are removed (P3). Next, in the “adsorption nozzle inspection process” described later, each adsorption nozzle 500 is inspected in a state where each adsorption nozzle 500 is held by the nozzle holding pallet 40 (P4). Each suction nozzle 500 after the inspection is stocked while being held by the nozzle holding pallet 40 (P5).
（吸着ノズル検査処理） 次に、図８に示すフローチャートを用い、制御部９０で実行される「吸着ノズル検査処理」について説明する。「吸着ノズル検査処理」において、図９に示す「吸着ノズル検査情報」が順次生成される。「吸着ノズル検査情報」は、「識別情報」と、後述のＳ１５「吸着部検査」及びＳ１６「流量検査」の検査結果を対応付けした情報であり、記憶部９０ａに記憶されたうえで、ホストコンピュータ２００に送信される。
(Suction Nozzle Inspection Processing) Next, the “suction nozzle inspection processing” executed by the control unit 90 will be described using the flowchart shown in FIG. In the “adsorption nozzle inspection process”, “adsorption nozzle inspection information” shown in FIG. 9 is sequentially generated. The “suction nozzle inspection information” is information in which “identification information” is associated with the inspection results of S15 “suction part inspection” and S16 “flow rate inspection” described later, and is stored in the storage unit 90a and then the host. It is transmitted to the computer 200.
ブロー（図７のＰ３）後において、吸着ノズル５００を保持したノズル保持
パレット４０は、セット位置Ａ（図１示）にある回転テーブル３０に装着され、「吸着ノズル検査処理」が開始し、Ｓ１１に進む。
After the blow (P3 in FIG. 7), the nozzle holding pallet 40 holding the suction nozzle 500 is mounted on the rotary table 30 at the set position A (shown in FIG. 1), and the “suction nozzle inspection process” is started. Proceed to
Ｓ１１において、制御部９０は、アクチュエータ１５に制御信号を出力し、移動台１３を検査位置Ｂに移動させ、プログラムをＳ１２に進める。
In S11, the control unit 90 outputs a control signal to the actuator 15, moves the moving table 13 to the inspection position B, and advances the program to S12.
Ｓ１２において、制御部９０は、複数の識別センサ３０ｄから出力された検知信号に基づいて、ノズル保持パレット４０を識別し、隣接するノズル保持部４０ｆの角度を認識しプログラムをＳ１３に進める。
In S12, the control unit 90 identifies the nozzle holding pallet 40 based on the detection signals output from the plurality of identification sensors 30d, recognizes the angle of the adjacent nozzle holding unit 40f, and advances the program to S13.
Ｓ１３において、制御部９０は、撮像装置７１に撮像指令を出力し、撮像装置７１で検査位置（１）（図１示）に割り出された吸着ノズル５００の識別部５０１ｄを撮像して読み取る。この際に、制御部９０が、識別部５０１ｄのパターン５０１ｅが認識できない場合には、識別部５０１ｄの洗浄が不十分であり汚損しているとして、識別部５０１ｄの読み取り異常を「吸着ノズル検査情報」の「識別情報」の欄に記憶させる。一方で、制御部９０が、識別部５０１ｄのパターン５０１ｅを認識した場合には、パターン５０１ｅに対応する吸着ノズル５００の「識別情報」を、「吸着ノズル検査情報」の「識別情報」の欄に記憶させる。Ｓ１３が終了すると、プログラムは、Ｓ１４に進む。
In S13, the control unit 90 outputs an imaging command to the imaging device 71, and images and reads the identification unit 501d of the suction nozzle 500 determined by the imaging device 71 at the inspection position (1) (shown in FIG. 1). At this time, if the control unit 90 cannot recognize the pattern 501e of the identification unit 501d, the identification unit 501d is not sufficiently cleaned and contaminated. "In the" Identification information "column. On the other hand, when the control unit 90 recognizes the pattern 501e of the identification unit 501d, the “identification information” of the suction nozzle 500 corresponding to the pattern 501e is displayed in the “identification information” column of the “suction nozzle inspection information”. Remember. When S13 ends, the program proceeds to S14.
Ｓ１４において、制御部９０は、アクチュエータ２３に制御信号を出力して、アクチュエータ２３にロッド２３ｂを突出させるとともに退避させる動作を１回又は複数回行わせ、Ｓ１２において認識した隣接するノズル保持部４０ｆの角度分だけ回転テーブル３０を回動させる。Ｓ１４が終了すると、プログラムは、Ｓ１５に進む。
In S14, the control unit 90 outputs a control signal to the actuator 23 to cause the actuator 23 to perform the operation of causing the rod 23b to be protruded and retracted once or a plurality of times, and the adjacent nozzle holding unit 40f recognized in S12. The rotary table 30 is rotated by an angle. When S14 ends, the program proceeds to S15.
Ｓ１５において、制御部９０は、撮像装置８１に撮像指令を出力し、撮像装置８１で検査位置（２）（図１示）に割り出された吸着ノズル５００の吸着部５０２ｂを撮像させる。制御部９０は、撮像された吸着部５０２ｂの撮像画像を画像処理することにより、吸着部５０２ｂの外周部や吸着部５０２ｂに開口するノズル穴５０２ｆ内への異物の付着、或いは、吸着部５０２ｂの破損等の異常があるか否かを判断し、異常が有る場合には、吸着部５０２ｂの異常を、上述の「識別情報」と関連付けて、「吸着ノズル検査情報」の「流量検査」の欄に記憶させる。Ｓ１５が終了すると、プログラムは、Ｓ１６に進む。
In S <b> 15, the control unit 90 outputs an imaging command to the imaging device 81, and causes the imaging unit 81 to image the suction unit 502 b of the suction nozzle 500 determined at the inspection position (2) (shown in FIG. 1). The control unit 90 performs image processing on the picked-up image of the suction unit 502b, thereby attaching foreign matters to the outer periphery of the suction unit 502b or the nozzle hole 502f opening in the suction unit 502b, or the suction unit 502b. It is determined whether or not there is an abnormality such as breakage. If there is an abnormality, the abnormality of the suction unit 502b is associated with the above-mentioned “identification information” and the “flow rate inspection” column of “adsorption nozzle inspection information”. Remember me. When S15 ends, the program proceeds to S16.
Ｓ１６において、制御部９０は、上下動装置５２に制御信号を出力して、ノズル接続部５１を降下させて、エア通路５１ａを検査位置（３）（図１示）に割り出された吸着ノズル５００のノズル穴５０２ｆの開口部と接続させて連通させる。次に、制御部９０は、電磁弁５７に制御信号を出力して、電磁弁５７を開放させて、蓄圧部５６から、エアを吸着ノズル５００のノズル穴５０２ｆに供給する。この際に、制御部９０は、流量検出センサ５８で検知されたエアの流量を、上述した「識別情報」と関連付けて、「吸着ノズル検査情報」と関連付けて記憶する。そして、制御部９０は、流量検出センサ５８で検知されたエアの流量に基づいて、吸着ノズル５００の流路であるノズル穴５０２ｆに異常があるか否かを判断し、異常が有る場合には、ノズル穴５０２ｆの異常を、上述した「識別情報」と関連付けて、「吸着ノズル検査情報」の「流量検査」の欄に記憶させる。
In S16, the control unit 90 outputs a control signal to the vertical movement device 52, lowers the nozzle connection unit 51, and the suction nozzle that is indexed to the inspection position (3) (shown in FIG. 1). It connects with the opening part of the nozzle hole 502f of 500, and is connected. Next, the control unit 90 outputs a control signal to the electromagnetic valve 57 to open the electromagnetic valve 57 and supply air from the pressure accumulating unit 56 to the nozzle hole 502 f of the suction nozzle 500. At this time, the control unit 90 stores the air flow rate detected by the flow rate detection sensor 58 in association with the “identification information” described above and in association with the “suction nozzle inspection information”. Then, the control unit 90 determines whether or not there is an abnormality in the nozzle hole 502 f that is the flow path of the suction nozzle 500 based on the air flow rate detected by the flow rate detection sensor 58. The abnormality of the nozzle hole 502f is stored in the “flow rate inspection” column of the “adsorption nozzle inspection information” in association with the “identification information” described above.
具体的には、制御部９０は、流量検出センサ５８で検知されたエアの流量が適正流量の範囲内で無いと判断した場合には、ノズル穴５０２ｆに異常が有ると判断する。つまり、ノズル穴５０２ｆの清掃が不十分であり、当該ノズル穴５０２ｆに異物が残存している場合には、流量検出センサ５８で検知されたエアの流量が適正流量の下限よりも下回ることから、吸着ノズル５００の流路の異常と判断する。一方で、ノズル穴５０２ｆが破損していると判断した場合には、流量検出センサ５８で検知されたエアの流量が適正流量の上限よりも上回ることから、ノズル穴５０２ｆの異常と判断する。なお、上述した適正流量の範囲は、吸着ノズル５００の仕様によって異なるため、制御部９０は、上述の「識別情報」に基づいて、検査する吸着ノズル５００に対応する適正流量（記憶部９０ａに記憶されている）を選択して、ノズル穴５０２ｆの異常の有無を判断する。Ｓ１６が終了すると、プログラムは、Ｓ１７に進む。
Specifically, when determining that the air flow rate detected by the flow rate detection sensor 58 is not within the range of the appropriate flow rate, the control unit 90 determines that there is an abnormality in the nozzle hole 502f. That is, if the nozzle hole 502f is not sufficiently cleaned and foreign matter remains in the nozzle hole 502f, the air flow rate detected by the flow rate detection sensor 58 is lower than the lower limit of the appropriate flow rate. It is determined that the flow path of the suction nozzle 500 is abnormal. On the other hand, if it is determined that the nozzle hole 502f is damaged, the flow rate of air detected by the flow rate detection sensor 58 exceeds the upper limit of the appropriate flow rate, so that it is determined that the nozzle hole 502f is abnormal. In addition, since the range of the appropriate flow rate described above varies depending on the specification of the suction nozzle 500, the control unit 90 stores the appropriate flow rate (stored in the storage unit 90 a) corresponding to the suction nozzle 500 to be inspected based on the “identification information” described above. Is selected) to determine whether the nozzle hole 502f is abnormal. When S16 ends, the program proceeds to S17.
Ｓ１７において、制御部９０は、Ｓ１３、Ｓ１５、及びＳ１６の少なくともいずれかで異常と判断された吸着ノズル５００を保持しているノズル保持部４０ｆに対応する表示筒４０ｋが突上装置６０上に位置していると判断した場合には、突上装置６０に制御信号を出力し、突上装置６０で前記表示筒４０ｋを突上させ、吸着ノズル５００の異常を表示筒４０ｋに反映させる。Ｓ１７の処理が終了すると、プログラムは、Ｓ１８に進む。
In S17, the control unit 90 determines that the display cylinder 40k corresponding to the nozzle holding unit 40f holding the suction nozzle 500 determined to be abnormal in at least one of S13, S15, and S16 is positioned on the protrusion device 60. If it is determined that the control tube 60 has been operated, a control signal is output to the lifting device 60, the lifting device 60 causes the display tube 40k to protrude, and the abnormality of the suction nozzle 500 is reflected in the display tube 40k. When the process of S17 ends, the program proceeds to S18.
Ｓ１８において、制御部９０は、ノズル保持パレット４０で保持されている全ての吸着ノズル５００の検査が完了したと判断した場合には（Ｓ１８：ＹＥＳ）、プログラムをＳ１９に進め、ノズル保持パレット４０で保持されている全ての吸着ノズル５００の検査が完了していないと判断した場合には（Ｓ１８：ＮＯ）、プログラムをＳ１３に戻す。
In S18, when it is determined that the inspection of all the suction nozzles 500 held by the nozzle holding pallet 40 has been completed (S18: YES), the control unit 90 advances the program to S19 and uses the nozzle holding pallet 40. When it is determined that the inspection of all the suction nozzles 500 that are held is not completed (S18: NO), the program is returned to S13.
Ｓ１９において、制御部９０は、アクチュエータ１５に制御信号を出力することにより、移動台１３をセット位置Ａに移動させ、プログラムをＳ２０に進める。 Ｓ２０において、制御部９０は、記憶部９０ａに記憶されている、各吸着ノズル５００の「識別情報」と対応付けされた各吸着ノズル５００の異常情報である「吸着ノズル検査情報」を、ホストコンピュータ２００に送信し、「吸着ノズル検査処理」が終了する。
In S19, the control unit 90 outputs a control signal to the actuator 15, thereby moving the movable table 13 to the set position A and advances the program to S20. In S <b> 20, the control unit 90 stores “adsorption nozzle inspection information”, which is abnormality information of each adsorption nozzle 500 associated with “identification information” of each adsorption nozzle 500, stored in the storage unit 90 a. 200, and the “suction nozzle inspection process” is completed.
作業者は、各ノズル保持部４０ｆに対応する表示筒４０ｋが突き上げられているか否かを確認することにより、吸着ノズル５００の異常を容易に認識することができる。また、作業者は、ホストコンピュータ２００の表示画面で、図９に示す「吸着ノズル検査情報」を確認することにより、吸着ノズル５００の異常の種類を認識することができる。
The operator can easily recognize the abnormality of the suction nozzle 500 by checking whether or not the display cylinder 40k corresponding to each nozzle holding portion 40f is pushed up. Further, the operator can recognize the type of abnormality of the suction nozzle 500 by confirming the “suction nozzle inspection information” shown in FIG. 9 on the display screen of the host computer 200.
（本実施形態の効果） 上述した説明から明らかなように、図８のＳ１６において、ポンプ５５がノズル接続部５１を介して吸着ノズル５００のノズル穴５０２ｆにエアを流通させ、制御部９０（清掃状態判定部）が流量検査センサ５８（流量検出部で）検出されたノズル穴５０２ｆを流通するエアの流量に基づいて吸着ノズル５００の清掃状態を判定する。つまり、制御部９０がノズル穴５０２ｆを流通するエアの流量が所定の適正値の下限よりも下回ると判断した場合には、ノズル穴５０２ｆ内に異物が残存し、吸着ノズル５００の清掃状態が不十分であると判定する。このように、実際にノズル穴５０２ｆにエアを流通させることにより、ノズル穴５０２ｆ内に異物が残存しているか否かを判断して吸着ノズル５００の清掃状態を判定することにしているので、吸着ノズル５００の吸引力の低下を確実に検出することができる。
(Effect of this embodiment) As is clear from the above description, in S16 of FIG. 8, the pump 55 causes air to flow through the nozzle connection portion 51 to the nozzle hole 502f of the suction nozzle 500 and the control portion 90 (cleaning). The state determination unit determines the cleaning state of the suction nozzle 500 based on the flow rate of air flowing through the nozzle hole 502f detected by the flow rate inspection sensor 58 (by the flow rate detection unit). That is, when the control unit 90 determines that the flow rate of the air flowing through the nozzle hole 502f is lower than the lower limit of the predetermined appropriate value, foreign matter remains in the nozzle hole 502f, and the suction nozzle 500 is not clean. Judge that it is sufficient. Thus, since the air is actually circulated through the nozzle hole 502f, it is determined whether or not the foreign matter remains in the nozzle hole 502f and the cleaning state of the suction nozzle 500 is determined. A decrease in the suction force of the nozzle 500 can be reliably detected.
また、ノズル保持パレット４０は、回転テーブル３０に着脱可能に取り付けられる。これにより、使用後の吸着ノズル５００を、ノズル保持パレット４０で保持した状態で、清掃装置で吸着ノズル５００を清掃することができることから、吸着ノズル５００の清掃状態の検査のために、洗浄後の吸着ノズル５００をノズル保持パレット４０に移し替える必要が無く、作業性が良好となる。
The nozzle holding pallet 40 is detachably attached to the rotary table 30. Thereby, since the suction nozzle 500 can be cleaned with the cleaning device in a state where the suction nozzle 500 after use is held by the nozzle holding pallet 40, the cleaning nozzle 500 after cleaning is used for inspection of the cleaning state of the suction nozzle 500. There is no need to transfer the suction nozzle 500 to the nozzle holding pallet 40, and workability is improved.
また、図８のＳ１５において、制御部９０は、撮像装置８１（吸着ノズル撮像装置）によって撮像された吸着ノズル５００の先端部である吸着部５０２ｂの画像に基づいて、吸着ノズル５００の清掃状態を判定する。つまり、制御部９０が、撮像された吸着部５０２ｂの画像に基づいて、吸着部５０２ｂに開口するノズル穴５０２ｆに異物が残存していると判断した場合には、吸着ノズル５００の清掃状態が不十分であると判定する。これにより、ノズル穴５０２ｆにエアを流通させることによる検査に加えて、ノズル穴５０２ｆの開口部の異物の残存の有無も検査するので、吸着ノズル５００の吸引力の低下の兆候を検出することができる。また、ノズル穴５０２ｆの開口部からの異物の落下を防止することができる。また、制御部９０が、撮像された吸着部５０２ｂの画像に基づいて、吸着部５０２ｂの外周部に異物が付着していると判断した場合に、吸着ノズル５００の清掃状態が不十分であると判定する。このため、吸着ノズル５００での部品の吸引時における、吸着部５０２ｂの外周部に付着した異物の落下を防止することができる。更に、制御部９０が、撮像された吸着ノズル５００の先端部の画像に基づいて、吸着部５０２ｂの破損も検出することができる。
In S15 of FIG. 8, the control unit 90 sets the cleaning state of the suction nozzle 500 based on the image of the suction unit 502b that is the tip of the suction nozzle 500 imaged by the imaging device 81 (suction nozzle imaging device). judge. That is, when the control unit 90 determines that foreign matter remains in the nozzle hole 502f opened in the suction unit 502b based on the captured image of the suction unit 502b, the cleaning state of the suction nozzle 500 is not good. Judge that it is sufficient. Thereby, in addition to the inspection by circulating air through the nozzle hole 502f, the presence / absence of foreign matter remaining in the opening of the nozzle hole 502f is also inspected, so that a sign of a decrease in the suction force of the suction nozzle 500 can be detected. it can. Further, it is possible to prevent the foreign matter from dropping from the opening of the nozzle hole 502f. In addition, when the control unit 90 determines that foreign matter is attached to the outer peripheral portion of the suction unit 502b based on the captured image of the suction unit 502b, the cleaning state of the suction nozzle 500 is insufficient. judge. For this reason, it is possible to prevent the foreign matter from adhering to the outer peripheral portion of the suction portion 502b from dropping when the suction nozzle 500 sucks the component. Furthermore, the control unit 90 can also detect damage to the suction unit 502b based on the image of the tip of the suction nozzle 500 that has been imaged.
また、図８のＳ１３において、撮像装置７１（識別情報読取部）が吸着ノズル５００の「識別情報」を読み取り、制御部９０（対応付け部）が、吸着ノズル５００の清掃状態と「識別情報」とを対応付けし、記憶部９０ａに「識別情報」と対応付けされた吸着ノズル５００の清掃状態が記憶される。これにより、記憶部９０ａを参照することにより、各吸着ノズル５００の清掃状態を確認することができる。また、記憶部９０ａに対応付けされた吸着ノズル５００の清掃状態と「識別情報」が順次記憶されるので、吸着ノズル５００の清掃状態の履歴管理を行うことができる。つまり、図８のＳ１６に示す「流量検査」において、ある特定の吸着ノズル５００の流量が徐々に低下しつつある場合には、当該吸着ノズル５００のノズル穴５０２ｆ内に異物が徐々に蓄積しつつあると認識することができる。また、ある特定の吸着ノズル５００の流量の変化に基づいて、吸着ノズル５００を清掃するスパンを変更することもできる。
In S13 of FIG. 8, the imaging device 71 (identification information reading unit) reads “identification information” of the suction nozzle 500, and the control unit 90 (association unit) detects the cleaning state of the suction nozzle 500 and “identification information”. And the cleaning state of the suction nozzle 500 associated with “identification information” is stored in the storage unit 90a. Thereby, the cleaning state of each suction nozzle 500 can be confirmed by referring to the storage unit 90a. In addition, since the cleaning state and “identification information” of the suction nozzle 500 associated with the storage unit 90a are sequentially stored, it is possible to manage the history of the cleaning state of the suction nozzle 500. That is, in the “flow rate inspection” shown in S16 of FIG. 8, when the flow rate of a specific suction nozzle 500 is gradually decreasing, foreign matter is gradually accumulated in the nozzle hole 502f of the suction nozzle 500. It can be recognized that there is. Further, the span for cleaning the suction nozzle 500 can be changed based on a change in the flow rate of a specific suction nozzle 500.
また、図５の（Ａ）に示すように、吸着ノズル５００の表面には、当該吸着ノズル５００を識別するためのパターン５０１ｅが記載された識別部５０１ｄが設けられている。そして、図８のＳ１３において、制御部９０（清掃状態判定部）は撮像装置７１（識別部撮像装置）によって撮像されたパターン５０１ｅの汚損状態に基づいて、吸着ノズル５００の清掃状態を判定する。これにより、部品装着装置が吸着ノズル５００を識別するためのパターン５０１ｅの汚損状態が判定されるので、部品装着装置でのパターン５０１ｅの読み取りエラーを回避することができる。
Further, as shown in FIG. 5A, an identification portion 501d on which a pattern 501e for identifying the suction nozzle 500 is described is provided on the surface of the suction nozzle 500. In S13 of FIG. 8, the control unit 90 (cleaning state determination unit) determines the cleaning state of the suction nozzle 500 based on the contamination state of the pattern 501e imaged by the imaging device 71 (identification unit imaging device). Thereby, since the contamination state of the pattern 501e for the component mounting apparatus to identify the suction nozzle 500 is determined, an error in reading the pattern 501e in the component mounting apparatus can be avoided.
また、図８のＳ１７において、突上装置６０（判定結果反映部）は、ノズル保持部４０ｆに対応する位置に設けられた各表示部４０ｊの表示筒４０ｋを突き上げることにより、吸着ノズル５００の清掃状態の良否の結果を反映させる。これにより、作業者は、どの吸着ノズル５００に清掃不良等の異常が有るかを容易に認識することができる。
In S17 of FIG. 8, the lifting device 60 (determination result reflecting unit) cleans the suction nozzle 500 by pushing up the display cylinder 40k of each display unit 40j provided at a position corresponding to the nozzle holding unit 40f. Reflect the result of the condition. Thereby, the operator can easily recognize which suction nozzle 500 has an abnormality such as poor cleaning.
また、図１や図２に示されるように、回転テーブル３０が取り付けられた移動台１３（取付台）は、基台１１上のセット位置Ａと検査位置Ｂ間を移動する。また、吸着ノズル検査装置１００は、セット位置Ａにおいて回転テーブル３０にノズル保持パレット４０がセットされ、検査位置Ｂにおいてノズル保持パレット４０で保持されている各吸着ノズル５００の清掃状態が判定される構造となっている。このため、作業者は、セット位置Ａにおいて、回転テーブル３０にノズル保持パレット４０をセットすることができるので、セット時において、ノズル保持パレット４０が、流量検査部５０や、識別部撮像装置７０、吸着ノズル撮像装置８０に干渉すること無く、作業性が良好である。また、作業者は、回転テーブル３０にノズル保持パレット４０をセット後に、操作部９１操作するだけで、吸着ノズル５００の清掃状態の検査が開始して実行されるので、作業性が良好である。
As shown in FIGS. 1 and 2, the movable table 13 (mounting table) to which the rotary table 30 is mounted moves between the set position A and the inspection position B on the base 11. Further, the suction nozzle inspection device 100 has a structure in which the nozzle holding pallet 40 is set on the rotary table 30 at the set position A, and the cleaning state of each suction nozzle 500 held by the nozzle holding pallet 40 at the inspection position B is determined. It has become. For this reason, since the operator can set the nozzle holding pallet 40 on the rotary table 30 at the set position A, at the time of setting, the nozzle holding pallet 40 is connected to the flow rate inspection unit 50, the identification unit imaging device 70, Workability is good without interfering with the suction nozzle imaging device 80. In addition, since the operator starts and executes the inspection of the cleaning state of the suction nozzle 500 only by operating the operation unit 91 after setting the nozzle holding pallet 40 on the rotary table 30, the workability is good.
（別の実施形態） なお、以上説明した実施形態では、ポンプ５５がノズル接続部５１のエア通路５１ａにエアを供給し、流量検出センサ５８がポンプ５５によってノズル接続部５１を介してノズル穴５０２ｆに供給されたエアの流量を検出し、制御部９０が流量検出センサ５８で検出されたエアの流量に基づいて、ノズル穴５０２ｆの清掃状態を判定している。しかし、ポンプ５５がノズル接続部５１のエア通路５１ａからエアを吸引し、流量検出センサ５８がポン
プ５５によってノズル接続部５１を介してノズル穴５０２ｆから吸引されたエアの流量を検出し、制御部９０が流量検出センサ５８で検出されたエアの流量に基づいて、ノズル穴５０２ｆの清掃状態を判定する実施形態であっても差し支え無い。
(Another embodiment) In the embodiment described above, the pump 55 supplies air to the air passage 51a of the nozzle connection portion 51, and the flow rate detection sensor 58 is connected to the nozzle hole 502f via the nozzle connection portion 51 by the pump 55. The control unit 90 determines the cleaning state of the nozzle hole 502f based on the air flow rate detected by the flow rate detection sensor 58. However, the pump 55 sucks air from the air passage 51a of the nozzle connection portion 51, and the flow rate detection sensor 58 detects the flow rate of air sucked from the nozzle hole 502f via the nozzle connection portion 51 by the pump 55, and the control unit 90 may be an embodiment in which the cleaning state of the nozzle hole 502f is determined based on the air flow rate detected by the flow rate detection sensor 58.
また、以上説明した実施形態では、ポンプ５５がノズル接続部５１のエア通路５１ａにエアを供給している。しかし、吸着ノズル検査装置１００の外部に設けられたポンプ等のエア供給源から、ノズル接続部５１のエア通路５１ａにエアを供給する実施形態であっても差し支え無い。同様に、吸着ノズル検査装置１００の外部に設けられたポンプ等のエア吸引装置が、ノズル接続部５１のエア通路５１ａからエアを吸引する実施形態であっても差し支え無い。
In the embodiment described above, the pump 55 supplies air to the air passage 51 a of the nozzle connection portion 51. However, there is no problem even in an embodiment in which air is supplied to the air passage 51a of the nozzle connecting portion 51 from an air supply source such as a pump provided outside the suction nozzle inspection device 100. Similarly, an air suction device such as a pump provided outside the suction nozzle inspection device 100 may be an embodiment that sucks air from the air passage 51 a of the nozzle connection portion 51.
また、以上説明した実施形態では、吸着ノズル５００を識別するための識別部５０１ｄは、吸着ノズル５００の表面に記載されたパターン５０１ｅであり、識別部５０１ｄの「識別情報」であるパターン５０１ｅを読み取る識別情報読取部は、撮像装置７１である。しかし、吸着ノズル５００を識別するための識別部は、吸着ノズル５００の「識別情報」が記憶されたＩＣタグや、ＩＣチップ、磁気テープ等であっても差し支え無い。この実施形態の場合には、識別部の「識別情報」を読み取る識別情報読取部は、ＩＣタグに記憶されている「識別情報」を読み取るＩＣタグリーダや、ＩＣチップに記憶されている識別情報を読み取るＩＣチップリーダ、磁気テープに記憶されている「識別情報」を読み取る磁気テープリーダ等である。
In the embodiment described above, the identification unit 501d for identifying the suction nozzle 500 is the pattern 501e written on the surface of the suction nozzle 500, and reads the pattern 501e that is the “identification information” of the identification unit 501d. The identification information reading unit is the imaging device 71. However, the identification unit for identifying the suction nozzle 500 may be an IC tag, an IC chip, a magnetic tape, or the like in which “identification information” of the suction nozzle 500 is stored. In the case of this embodiment, the identification information reading unit that reads “identification information” of the identification unit reads the identification information stored in the IC tag or the IC tag reader that reads “identification information” stored in the IC tag. IC chip readers for reading, magnetic tape readers for reading “identification information” stored on magnetic tape, and the like.
また、以上説明した実施形態では、吸着ノズル５００の清掃状態の良否の結果が表示される表示部４０ｊは、ノズル保持パレット４０に設けられている。しかし、吸着ノズル５００の清掃状態の良否の結果が表示される表示部を、各ノズル保持部４０ｆと対応する位置の回転テーブル３０にそれぞれ設けることにしても差し支え無い。
In the embodiment described above, the display unit 40j on which the result of the cleaning state of the suction nozzle 500 is displayed is provided on the nozzle holding pallet 40. However, a display unit that displays the result of the cleaning state of the suction nozzle 500 may be provided on the rotary table 30 at a position corresponding to each nozzle holding unit 40f.
また、以上説明した実施形態では、吸着ノズル５００のノズル穴５０２ｆの基端は、ノズル接続部５１のエア通路５１ａと直接接続するようになっている。しかし、吸着ノズル５００のノズル穴５０２ｆの基端が、ノズル穴５０２ｆの基端とノズル接続部５１のエア通路５１ａを接続する部材を介して、エア通路５１ａと接続する実施形態であっても差し支え無い。
In the embodiment described above, the base end of the nozzle hole 502 f of the suction nozzle 500 is directly connected to the air passage 51 a of the nozzle connection portion 51. However, the base end of the nozzle hole 502f of the suction nozzle 500 may be connected to the air passage 51a via a member that connects the base end of the nozzle hole 502f and the air passage 51a of the nozzle connection portion 51. No.
