KR102679390B1 - 밀봉 유닛 및 이를 갖는 반도체 소자 포장 장치 - Google Patents

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Abstract

반도체 소자 포장 장치의 밀봉 유닛은 다수의 포켓들을 갖는 캐리어 테이프 상에 커버 테이프를 열압착하여 상기 포켓들을 밀봉시킨다. 상기 밀봉 유닛은, 원판 형태를 가지며, 회전하면서 상기 커버 테이프의 폭 방향 양측 가장자리들을 각각 가압하는 한 쌍의 블레이드들 및 상기 블레이드들의 내부 또는 상기 블레이드들과 인접하도록 각각 배치되며, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열압착하도록 상기 블레이드들을 가열하는 히터들을 포함할 수 있다.

Description

밀봉 유닛 및 이를 갖는 반도체 소자 포장 장치{Sealing unit and apparatus for packaging a semiconductor device having the same}
본 발명은 밀봉 유닛 및 이를 갖는 반도체 소자 포장 장치에 관한 것으로, 캐리어 테이프와 커버 테이프를 밀봉하는 밀봉 유닛 및 이를 갖는 반도체 소자 포장 장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 검사가 완료되면 상기 반도체 소자를 캐리어 테이프와 커버 테이프를 이용하여 포장할 수 있다.
구체적으로, 상기 반도체 소자를 상기 캐리어 테이프에 형성된 포켓에 수납한 후 밀봉 유닛으로 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열압착하여 상기 포켓을 밀봉한다.
종래 기술에 따르면, 상기 밀봉 유닛은 히터가 구비된 사각형 모양의 블레이드를 포함한다. 상기 블레이드는 상하 방향을 따라 승강하면서 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열압착 한다.
상기 블레이드가 상기 커버 테이프를 열압착한 후 상승할 때, 상기 블레이드와 상기 커버 테이프 사이의 접착력으로 인해 상기 커버 테이프에 진동이 발생한다. 상기 진동으로 인해 상기 커버 테이프와 상기 캐리어 테이프의 정렬이 어긋날 수 있다. 따라서, 상기 커버 테이프가 상기 캐리어 테이프에 정확하게 열압착되지 않거나, 상기 포켓이 밀봉되지 않을 수 있다.
또한, 상기 블레이드가 상기 커버 테이프를 열압착할 때 중복되는 부분이 발생한다. 따라서, 상기 커버 테이프의 열압착 품질이 저하될 수 있고, 상기 커버 테이프의 열압착에 소요되는 시간이 늘어날 수 있다.
그리고, 상기 블레이드가 사각형 모양을 가지므로, 상기 블레이드의 온도를 전체적으로 균일하게 유지하기 어렵다.
본 발명은 커버 테이프를 캐리어 테이프에 중복없이 열압착하고, 상기 열압착시 상기 커버 테이프의 진동을 방지하며, 블레이드의 온도를 전체적으로 균일하게 유지할 수 있는 밀봉 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 밀봉 유닛을 갖는 반도체 소자 포장 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 다수의 포켓들을 갖는 캐리어 테이프 상에 커버 테이프를 열압착하여 상기 포켓들을 밀봉시키기 위한 밀봉 유닛에 있어서, 상기 밀봉 유닛은, 원판 형태를 가지며, 회전하면서 상기 커버 테이프의 폭 방향 양측 가장자리들을 각각 가압하는 한 쌍의 블레이드들 및 상기 블레이드들의 내부 또는 상기 블레이드들과 인접하도록 각각 배치되며, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열 압착하도록 상기 블레이드들을 가열하는 히터들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 블레이드들은 상기 캐리어 테이프의 가장자리 폭보다 넓은 폭을 갖도록 구비되며, 상기 히터들은 상기 각 블레이드들 내부에 상기 캐리어 테이프의 폭 방향을 따라 서로 이격되도록 다수개가 구비되며, 상기 캐리어 테이프의 폭이 변경될 경우, 상기 히터들 중 상기 캐리어 테이프의 가장자리와 대응하는 위치의 히터에 선택적으로 전원을 제공할 수 있다.
본 발명에 따른 반도체 소자 포장 장치는, 반도체 소자들을 수납하기 위한 포켓들이 형성된 캐리어 테이프를 공급하는 캐리어 테이프 공급 릴과, 상기 캐리어 테이프 공급 릴로부터 공급되는 상기 캐리어 테이프를 상기 포켓들의 각 입구가 상방을 향하도록 일 방향으로 이송하는 스프로킷들과, 상기 반도체 소자들이 수납된 상기 포켓들을 덮도록 커버 테이프를 공급하는 커버 테이프 공급 릴과, 상기 커버 테이프 공급 릴로부터 공급된 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프 상에 열압착시켜 상기 캐리어 테이프의 상기 포켓들을 밀봉시키는 밀봉 유닛 및 상기 밀봉 유닛에 의해 밀봉된 상기 캐리어 테이프를 권취하는 캐리어 테이프 권취 릴을 포함하고, 상기 밀봉 유닛은, 원판 형태를 가지며, 회전하면서 상기 커버 테이프의 폭 방향 양측 가장자리들을 각각 가압하는 한 쌍의 블레이드들 및 상기 블레이드들의 내부 또는 상기 블레이드들과 인접하도록 각각 배치되며, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열압착하도록 상기 블레이드들을 가열하는 히터들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열압착하는 동안 상기 커버 테이프의 이송이 중단되거나 지연되는 것을 방지하기 위해 상기 블레이드들의 회전 속도는 상기 스프로킷들의 회전 속도와 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 블레이드들은 상기 캐리어 테이프의 가장자리 폭보다 넓은 폭을 갖도록 구비되며, 상기 히터들은 상기 각 블레이드들 내부에 상기 캐리어 테이프의 폭 방향을 따라 서로 이격되도록 다수개가 구비되며, 상기 캐리어 테이프의 폭이 변경될 경우, 상기 히터들 중 상기 캐리어 테이프의 가장자리와 대응하는 위치의 히터에 선택적으로 전원을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 반도체 소자 포장 장치는, 원판 형태를 가지고, 상기 각 블레이드들의 수직 하방에 회전 가능하도록 배치되며, 상기 가열된 블레이드들이 상기 커버 테이프와 상기 캐리어 테이프를 열압착할 때 상기 캐리어 테이프의 폭 방향 양측 가장자리의 하부면을 지지하는 지지유닛들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 반도체 소자 포장 장치는, 상기 스프로킷들의 톱니들이 상기 캐리어 테이프와 접촉하는 부위에 각각 구비되며, 상기 접촉 부위에서 발생하는 이물질을 제거하기 위한 클리닝 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 클리닝 유리는, 상기 클리닝 유닛의 하부면에 일방향을 따라 형성되며, 상기 톱니들을 수용하는 수용 홈과, 상기 클리닝 유닛을 관통하여 상기 수용 홈까지 연장하며, 상기 접촉 부위로부터 상기 이물질을 분리하기 위해 상기 수용 홈으로 기체를 공급하는 공급 라인 및 상기 클리닝 유닛을 관통하여 상기 수용 홈까지 연장하며, 상기 분리된 이물질을 흡입하여 외부로 배출하는 배출 라인을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 상기 밀봉 유닛은, 상기 원판 형태의 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프의 가장자리와 선 접촉한 상태에서 회전하므로, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프의 가장자리를 일정한 압력으로 열압착할 수 있고, 상기 커버 테이프를 중복 없이 열압착할 수 있다. 따라서, 상기 커버 테이프의 열압착 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 반도체 소자 포장 장치는, 상기 블레이드들이 회전할 수 있으므로, 상기 블레이드들의 회전 속도를 상기 스프로킷의 회전 속도와 동일하게 조절할 수 있다. 따라서, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프를 열압착하기 위해 상기 커버 테이프의 이송이 중단되거나 지연되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프와 상기 캐리어 테이프를 가압한 상태에서 상기 커버 테이프를 열압착을 수행하므로, 상기 캐리어 테이프가 상하로 흔들리는 것을 최소화할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 테이프의 흔들림으로 인해 상기 커버 테이프가 불량으로 열압착되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 블레이드들이 상기 캐리어 테이프와 선 접촉한 상태에서 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 처음 매치시킬 수 있다. 따라서 작업자의 시야 확보가 용이하므로 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 쉽게 매치시킬 수 있다.
한편, 상기 클리닝 유닛은 상기 스프로킷의 상기 톱니들과 상기 캐리어 테이프의 접촉으로 인해 발생하는 상기 이물질을 신속하게 제거할 수 있다. 따라서, 상기 이물질이 상기 캐리어 테이프의 상기 포켓들을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 포장 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 밀봉 유닛과 지지유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 밀봉 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 클리닝 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 포장 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 밀봉 유닛과 지지유닛을 설명하기 위한 단면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 밀봉 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 클리닝 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 반도체 소자 포장 장치(100)는 검사 결과 정상인 반도체 소자(30)를 피커(20)로부터 전달받아 캐리어 테이프(10)와 커버 테이프(14)로 포장한다.
상기 반도체 소자 포장 장치(100)는 캐리어 테이프 공급 릴(110), 스프로킷(120), 커버 테이프 공급 릴(130), 밀봉 유닛(140), 지지유닛(150), 캐리어 테이프 권취 릴(160), 클리닝 유닛(170)을 포함할 수 있다.
상기 캐리어 테이프 공급 릴(110)은 상기 캐리어 테이프(10)를 공급한다. 상기 캐리어 테이프(10)는 상기 반도체 소자(30)를 수납하기 위한 포켓(12)들이 형성된다. 상기 포켓(12)들은 상기 캐리어 테이프(10)의 길이 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 또한, 상기 캐리어 테이프(10)는 한쪽 가장자리에 상기 길이 방향을 따라 이송홀(미도시)들이 일렬로 형성될 수 있다.
상기 캐리어 테이프 공급 릴(110)은 상기 캐리어 테이프(10)를 권취한 상태에서 회전함에 따라 풀어서 상기 스프로킷(120)들로 공급할 수 있다. 이때, 상기 스프로킷(120)들이 상기 캐리어 테이프(10)를 이송하는 힘에 의해 상기 캐리어 테이프 공급 릴(110)이 회전할 수 있다.
상기 스프로킷(120)들은 상기 캐리어 테이프(10)의 길이 방향을 따라 배열된다. 상기 스프로킷(120)들은 상기 캐리어 테이프 공급 릴(110)로부터 공급되는 상기 캐리어 테이프(10)를 상기 포켓(12)들의 각 입구가 상방을 향한 상태로 일 방향으로 이송한다.
상기 스프로킷(120)들은 별도의 회전 모터에 의해 회전하며, 둘레를 따라 다수의 톱니들을 갖는다. 상기 스프로킷(120)들은 상기 캐리어 테이프(10)의 상기 이송홀들에 상기 톱니들을 끼운 상태로 회전하면서 상기 캐리어 테이프(10)를 이송한다.
상기 스프로킷(120)들이 상기 캐리어 테이프(10)를 안정적으로 이송하기 위해 상기 스프로킷(120)들은 상기 캐리어 테이프 공급 릴(110)과 상기 밀봉 유닛(140)과 상기 캐리어 테이프 권취 릴(160) 사이에 각각 배치될 수 있다.
한편 도시되지는 않았지만, 상기 스프로킷(120)들에 의해 이송되는 상기 캐리어 테이프(10)는 한 쌍의 가이드 레일들에 의해 가이드될 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 테이프(10)가 안정적으로 이송될 수 있다.
상기 캐리어 테이프(10)의 폭이 변경되는 경우, 상기 가이드 레일들 사이의 간격이 별도의 간격 조절기구에 의해 조절될 수 있다. 상기 간격 조절 기구는 회전 모터와, 회전 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 볼 스크류를 포함하여 구성되거나, 리니어 모터나 실린더를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 캐리어 테이프(10)가 상기 스프로킷(120)들에 의해 이송되는 동안 상기 피커(20)는 상기 정상인 반도체 소자(30)들을 상기 캐리어 테이프(10)의 상기 포켓(12)들에 수납할 수 있다.
상기 커버 테이프 공급 릴(130)은 상기 커버 테이프(14)를 권취한 상태에서 회전함에 따라 풀어서 공급한다. 상기 커버 테이프 공급 릴(130)은 모터와 같은 별도의 구동 기구에 의해 회전할 수 있다. 상기 커버 테이프 공급 릴(130)에 의해 공급되는 상기 커버 테이프(14)는 상기 반도체 소자(30)를 수납한 상기 캐리어 테이프(10)의 상기 포켓(12)을 덮는다.
상기 밀봉 유닛(140)은 상기 커버 테이프 공급 릴(130)로부터 공급된 상기 커버 테이프(14)를 상기 캐리어 테이프(10) 상에 접착시켜 상기 캐리어 테이프(10)의 상기 포켓(14)들을 밀봉시킨다.
상기 밀봉 유닛(140)은 블레이드(142)들과 히터(144)들을 포함할 수 있다.
상기 블레이드(142)들은 상기 커버 테이프(14)의 폭 방향 양측 가장자리들에 각각 배치된다. 상기 블레이드(140)들은 각각 원판 형태를 갖는다.
상기 각 블레이드(142)들은 승강 구동부에 의해 상하 방향을 따라 승강하고, 회전 구동부에 의해 회전할 수 있다. 상기 블레이드(142)가 승강하면서 상기 커버 테이프(14)의 가장자리와 접촉하거나, 상기 가장자리와 이격될 수 있다. 또한, 상기 블레이드(142)가 상기 커버 테이프(14)의 가장자리와 접촉한 상태에서 회전할 수 있다.
상기 히터(144)들은 상기 각 블레이드(142)들의 내부에 구비되거나, 상기 각 블레이드(142)들의 일측에 구비된다. 상기 각 히터(144)들은 상기 각 블레이드(142)들에 고정될 수도 있고, 상기 각 블레이드(142)들과 이격될 수도 있다. 상기 히터(144)들은 상기 각 블레이드(142)들을 가열한다.
상기 각 블레이드(142)들이 상기 각 히터(144)들에 의해 가열된 상태에서 상기 커버 테이프(14)의 가장자리와 접촉하여 회전함으로써 상기 커버 테이프(14)를 상기 캐리어 테이프(10)에 열압착시킬 수 있다.
상기 캐리어 테이프(10)의 폭이 변경될 경우, 상기 밀봉 유닛(140)들 사이의 간격은 상기 캐리어 테이프(10)의 변경 폭에 맞게 별도의 조절 기구에 의해 가변될 수 있다.
한편, 도 30에 도시된 바와 같이 상기 밀봉 유닛(140)들은 원기둥 형태를 갖는 블레이드(142) 및 상기 블레이드(142)의 내부에 상기 캐리어 테이프(10)의 폭 방향을 따라 서로 이격되도록 배치되는 다수의 히터(144)들을 포함할 수 있다. 이때, 상기 히터(144)들은 선택적으로 전원이 제공될 수 있다..
상기 캐리어 테이프(10)의 폭이 변경될 경우, 상기 캐리어 테이프(10)의 가장자리와 대응하는 위치의 히터(144)에 상기 전원을 제공한다. 상기 히터(144)에 의해 상기 블레이드(142)에서 상기 캐리어 테이프(10)의 가장자리와 대응하는 부위가 가열되면, 상기 블레이드(142)로 상기 커버 테이프(14)를 상기 캐리어 테이프(10)에 열압착할 수 있다.
상기 캐리어 테이프(10)의 폭이 변경되더라도 상기 밀봉 유닛(140)들 사이의 간격을 조절할 필요가 없다. 상기 밀봉 유닛(140)들의 사이의 간격을 조절하기 위한 별도의 조절 기구가 불필요하므로, 상기 밀봉 유닛(140)들의 구성을 단순화할 수 있다.
상기 원판 형태의 상기 블레이드(142)들이 상기 커버 테이프(14)의 가장자리와 선 접촉한 상태에서 회전하므로, 상기 블레이드(142)들이 상기 커버 테이프(14)의 가장자리를 일정한 압력으로 열압착할 수 있고, 상기 커버 테이프(14)를 중복 없이 열압착할 수 있다. 따라서, 상기 커버 테이프(14)의 열압착 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 블레이드(142)들이 회전할 수 있으므로, 상기 블레이드(142)들의 회전 속도를 상기 스프로킷(120)의 회전 속도와 동일하게 조절할 수 있다. 따라서, 상기 블레이드(142)들이 상기 커버 테이프(14)를 열압착하기 위해 상기 커버 테이프(14)의 이송이 중단되거나 지연되는 것을 방지할 수 있다.
상기 블레이드(142)들이 상기 커버 테이프(14)와 상기 캐리어 테이프(10)를 가압한 상태에서 상기 커버 테이프(14)를 열압착을 수행하므로, 상기 캐리어 테이프(10)가 상하로 흔들리는 것을 최소화할 수 있다. 따라서, 상기 캐리어 테이프(10)의 흔들림으로 인해 상기 커버 테이프(14)가 불량으로 열압착되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 블레이드(142)들이 상기 캐리어 테이프(10)와 선 접촉한 상태에서 상기 커버 테이프(14)를 상기 캐리어 테이프(14)에 처음 매치시킬 수 있다. 따라서 작업자의 시야 확보가 용이하므로 상기 커버 테이프(14)를 상기 캐리어 테이프(14)에 쉽게 매치시킬 수 있다.
상기 지지유닛(150)들은 상기 캐리어 테이프(10)의 폭 방향 양측 가장자리들에 하방에 각각 배치된다. 이때, 상기 각 지지유닛(150)들은 상기 각 블레이드(142)들의 수직 하방에 위치할 수 있다. 상기 지지유닛(150)들은 각각 원판 형태를 갖는다.
상기 각 지지유닛(150)들은 승강 구동부에 의해 상기 상하 방향을 따라 승강하고, 회전 구동부에 의해 회전할 수 있다. 상기 지지유닛(150)들이 승강하면서 상기 캐리어 테이프(10)의 하부면 가장자리와 접촉하거나, 상기 가장자리와 이격될 수 있다. 또한, 상기 지지유닛(150)들은 상기 캐리어 테이프(10)의 하부면 가장자리와 접촉한 상태에서 회전할 수 있다.
상기 블레이드(142)들이 상기 커버 테이프(14)와 상기 캐리어 테이프(10)를 가압한 상태에서 상기 커버 테이프(14)를 열압착을 수행할 때, 상기 지지유닛(150)들은 상기 캐리어 테이프(10)의 하부면 가장자리를 지지한다. 따라서, 상기 커버 테이프(14)가 상기 캐리어 테이프(10)에 안정적으로 열압착될 수 있다.
상기 캐리어 테이프(10)의 폭이 변경될 경우, 상기 지지 부재(300)들 사이의 간격은 상기 캐리어 테이프(10)의 변경 폭에 맞게 별도의 조절 기구에 의해 가변될 수 있다.
상기 원판 형태의 상기 지지유닛(150)들이 상기 캐리어 테이프(10)와 선 접촉한 상태로 회전하므로, 상기 지지유닛(150)들과 상기 캐리어 테이프(10) 사이의 마찰을 최소화할 수 있다.
또한, 상기 지지유닛(150)들의 회전 속도를 상기 블레이드(142)들의 회전 속도 및 상기 스프로킷(120)의 회전 속도와 동일하게 조절할 수 있다. 따라서, 상기 지지유닛(150)들에 의해 상기 캐리어 테이프(10)의 이송이 중단되거나 지연되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 지지유닛(150)들은 상기 원판 형태가 아니라 평판 형태를 가질 수도 있다.
상기 캐리어 테이프 권취 릴(160)은 상기 밀봉 유닛(140)에 의해 밀봉된 캐리어 테이프(10)를 권취한다. 상기 캐리어 테이프 권취 릴(160)의 별도의 구동부에 의해 회전하면서 상기 밀봉된 캐리어 테이프(10)를 권취할 수 있다.
상기 클리닝 유닛(170)들은 상기 스프로킷(120)들의 상기 톱니들이 상기 캐리어 테이프(10)와 접촉하는 부위에 각각 구비된다. 상기 각 상기 클리닝 유닛(170)들은 대략 원기둥 또는 육면체 형상을 가질 수 있다.
상기 클리닝 유닛(170)은 수용 홈(172), 공급 라인(174) 및 배출 라인(176)을 포함할 수 있다.
상기 수용 홈(172)은 상기 클리닝 유닛(170)의 하부면에 일 방향을 따라 형성된다. 상기 수용 홈(172)은 스프로킷(120)의 상기 톱니들을 수용한다.
상기 공급 라인(174)은 상기 클리닝 유닛(170)을 관통하여 상기 수용 홈(172)까지 연장한다. 상기 공급 라인(174)을 통해 상기 수용 홈(172)으로 공기, 불활성 기체와 같은 기체가 공급될 수 있다.
상기 톱니들과 상기 캐리어 테이프(10)와의 접촉으로 인해 이물질이 발생하더라도 상기 기체를 공급하여 상기 이물질을 상기 톱니들과 상기 캐리어 테이프(10)로부터 분리할 수 있다.
상기 배출 라인(176)은 상기 클리닝 유닛(170)을 관통하여 상기 수용 홈(172)까지 연장한다. 상기 배출 라인(176)을 통해 상기 톱니들과 상기 캐리어 테이프(10)로부터 분리된 상기 이물질을 상기 수용 홈(172)으로부터 외부로 배출할 수 있다.
상기 클리닝 유닛(170)은 상기 스프로킷(120)의 상기 톱니들과 상기 캐리어 테이프(10)의 접촉으로 인해 발생하는 상기 이물질을 신속하게 제거할 수 있다. 따라서, 상기 이물질이 상기 캐리어 테이프(10)의 상기 포켓(14)들을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.
상기 반도체 소자 포장 장치(100)는 제1 비전(180) 및 제2 비전(190)을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 비전(180)은 상기 캐리어 테이프(10)의 상기 포켓(12)들에 상기 반도체 소자(30)들이 수납되는 위치와 상기 커버 테이프 공급 릴(130) 사이에 배치된다. 상기 제1 비전(180)은 상기 반도체 소자(30)를 수납한 캐리어 테이프(10)의 상태를 검사한다.
구체적으로, 상기 제1 비전(180)은 상기 반도체 소자(30)를 수납한 상기 캐리어 테이프(10)의 상부를 촬상하고, 촬상된 이미지를 기초로, 상기 포켓(12) 내에 수납된 상기 반도체 소자(30)의 뒤집힘 여부, 빈 포켓(12) 여부, 포켓(12)의 경사 여부 등을 검사할 수 있다.
상기 제2 비전(190)은 상기 밀봉 유닛(140)과 상기 캐리어 테이프 권취 릴(160)의 사이에 배치되며 상기 밀봉된 캐리어 테이프(10)의 상방에 위치한다. 상기 제2 비전(190)은 상기 밀봉 유닛(140)에 의해 밀봉된 캐리어 테이프(10)의 상태를 검사한다.
구체적으로, 상기 제2 비전(190)은 상기 밀봉된 캐리어 테이프(10)를 촬상하고, 촬상된 이미지를 기초로, 상기 캐리어 테이프(10)의 밀봉상태를 검사할 수 있다.
상기 밀봉된 캐리어 테이프(10)가 권취된 상기 캐리어 테이프 권취 릴(160)은 캐리어와 같은 수납 용기에 담긴 상태로 상기 천장 이송 장치에 의해 이송될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 밀봉 유닛 및 이를 갖는 반도체 소자 포장 장치는 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열압착하여 상기 반도체 소자를 신속하고 정확하게 포장할 수 있다. 따라서, 상기 반도체 소자 포장 공정의 효율성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 반도체 소자 포장 장치 110 : 캐리어 테이프 공급 릴
120 : 스프로킷 130 : 커버 테이프 공급 릴
140 : 밀봉 유닛 150 : 지지유닛
160 : 캐리어 테이프 권취 릴 170 : 클리닝 유닛
180 : 제1 비전 190 : 제2 비전
10 : 캐리어 테이프 12 : 포켓
14 : 커버 테이프 20 : 피커
30 : 반도체 소자

Claims (12)

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  5. 반도체 소자들을 수납하기 위한 포켓들이 형성된 캐리어 테이프를 공급하는 캐리어 테이프 공급 릴;
    상기 캐리어 테이프 공급 릴로부터 공급되는 상기 캐리어 테이프를 상기 포켓들의 각 입구가 상방을 향하도록 일 방향으로 이송하는 스프로킷들;
    상기 반도체 소자들이 수납된 상기 포켓들을 덮도록 커버 테이프를 공급하는 커버 테이프 공급 릴;
    상기 커버 테이프 공급 릴로부터 공급된 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프 상에 열압착시켜 상기 캐리어 테이프의 상기 포켓들을 밀봉시키는 밀봉 유닛;
    상기 밀봉 유닛에 의해 밀봉된 상기 캐리어 테이프를 권취하는 캐리어 테이프 권취 릴; 및
    상기 스프로킷들의 톱니들이 상기 캐리어 테이프와 접촉하는 부위에 각각 구비되며 상기 접촉 부위에서 발생하는 이물질을 제거하기 위한 클리닝 유닛을 포함하고,
    상기 밀봉 유닛은,
    원판 형태를 가지며, 회전하면서 상기 커버 테이프의 폭 방향 양측 가장자리들을 각각 가압하는 한 쌍의 블레이드들; 및
    상기 블레이드들의 내부 또는 상기 블레이드들과 인접하도록 각각 배치되며, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열압착하도록 상기 블레이드들을 가열하는 히터들을 포함하며,
    상기 클리닝 유닛은,
    상기 클리닝 유닛의 하부면에 일방향을 따라 형성되며, 상기 톱니들을 수용하는 수용 홈;
    상기 클리닝 유닛을 관통하여 상기 수용 홈까지 연장하며, 상기 접촉 부위로부터 상기 이물질을 분리하기 위해 상기 수용 홈으로 기체를 공급하는 공급 라인; 및
    상기 클리닝 유닛을 관통하여 상기 수용 홈까지 연장하며, 상기 분리된 이물질을 흡입하여 외부로 배출하는 배출 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 포장 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 블레이드들이 상기 커버 테이프를 상기 캐리어 테이프에 열압착하는 동안 상기 커버 테이프의 이송이 중단되거나 지연되는 것을 방지하기 위해 상기 블레이드들의 회전 속도는 상기 스프로킷들의 회전 속도와 동일한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 포장 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 블레이드들은 상기 캐리어 테이프의 가장자리 폭보다 넓은 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 포장 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 히터들은 상기 각 블레이드들 내부에 상기 캐리어 테이프의 폭 방향을 따라 서로 이격되도록 다수개가 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 포장 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 캐리어 테이프의 폭이 변경될 경우, 상기 히터들 중 상기 캐리어 테이프의 가장자리와 대응하는 위치의 히터에 선택적으로 전원을 제공하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 포장 장치.
  10. 제5항에 있어서, 원판 형태를 가지고, 상기 각 블레이드들의 수직 하방에 회전 가능하도록 배치되며, 상기 가열된 블레이드들이 상기 커버 테이프와 상기 캐리어 테이프를 열압착할 때 상기 캐리어 테이프의 폭 방향 양측 가장자리의 하부면을 지지하는 지지유닛들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 포장 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002145206A (ja) * 2000-11-13 2002-05-22 Fujitsu Media Device Kk テーピング装置
JP2002362517A (ja) * 2001-06-05 2002-12-18 Sony Corp 梱包装置および梱包方法

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