KR102675018B1 - 잉크젯 인쇄 장비 및 그를 이용한 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

잉크젯 인쇄 장비 및 그를 이용한 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기 발광 표시 장치의 열화를 방지할 수 있는 잉크젯 인쇄 장비 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법에 대한 발명으로, 챔버와 챔버 내부로 하강 기류를 형성하기 위한 기류 형성 장치를 포함한다. 기류 형성 장치는 외부의 공기 중에서 특정 성분을 필터링하는 필터부와 필터부의 후단에 배치되어 외부의 공기를 흡입하는 가스 흡입부, 및 가스 흡입부의 후단에 배치되어 상기 챔버 내부로 가스를 분배하는 가스 분배부를 갖는다.
이러한 잉크젯 인쇄 장비를 이용하여 기판 상에 액상의 패턴 물질을 도포하고, 도포된 액상의 패턴 물질을 건조하여 표시 장치를 제조함으로써, 분사된 잉크 잔유물의 비산을 방지할 수 있고, 외부의 공기 중에 함유된 오염물질을 보다 효율적으로 필터링 할 수 있다.

Description

잉크젯 인쇄 장비 및 그를 이용한 표시 장치의 제조 방법{Inkjet Printing Device and Method of manufacturing Display Device using the same}
본 발명은 인쇄 공정으로 표시 장치를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 잉크젯 인쇄 장비 및 그를 이용하여 표시 장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 등과 같은 표시 장치는 기판 상에 금속 또는 금속 산화물로 이루어진 도전물질, 및 유기물 또는 무기물로 이루어진 절연물질 등을 다양한 형태로 패턴 형성하는 공정을 통해 제조될 수 있다.
상기 패턴을 형성하는 공정으로는 포토 리소그라피 공정이 주로 사용되고 있다. 상기 포토 리소그라피 공정은 기판 상에 도전물질 또는 절연물질과 같은 패턴 물질을 증착하고, 상기 패턴 물질 상에 포토 레지스트를 도포한 후 노광 공정과 현상 공정을 통해 포토 레지스트 패턴을 형성하고, 상기 포토 레지스트 패턴을 마스크로 하여 상기 패턴 물질을 식각하여 원하는 패턴을 형성한 후, 상기 포토 레지스트 패턴을 스트립하는 일련의 공정을 포함하여 이루어진다. 이와 같은 포토 리소그라피 공정은 정밀한 패턴을 형성할 수 있는 장점이 있지만 공정이 복잡하고 공정 시간이 증가하는 단점이 있다.
상기 포토 리소그라피 공정의 단점을 해결하기 위해서 인쇄 공정을 통해 패턴을 형성하는 방법이 연구되었다. 상기 인쇄 공정은 기판 상에 원하는 패턴을 바로 형성할 수 있기 때문에 공정이 단순하고 공정 시간이 단축될 수 있다. 상기 인쇄 공정은 인쇄 방식에 따라 스크린 인쇄 공정, 롤 인쇄 공정, 및 잉크젯 인쇄 공정 등으로 구분될 수 있다. 상기 잉크젯 인쇄 공정은 잉크젯 헤드에 액상의 잉크를 수용한 후 잉크젯 헤드의 노즐을 통해 기판 상에 잉크를 분사하여 원하는 패턴을 형성하는 인쇄 방식이다. 이와 같은 잉크젯 인쇄 공정을 이용하여 액정 표시 장치의 컬러 필터를 화소별로 패턴 형성할 수도 있고, 유기 발광 표시 장치의 발광층을 화소별로 패턴 형성할 수도 있다.
이하에서는 도면을 참조로 종래의 잉크젯 인쇄 공정을 통해 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법에 대해서 설명하기로 한다.
도 1은 종래의 잉크젯 인쇄 공정을 통해 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법을 도시한 개략도이다.
도 1에서 알 수 있듯이, 기판(10) 상에 회로 소자층(20)을 형성하고, 상기 회로 소자층(20) 상에서 화소 별로 제1 전극(31)을 형성하고, 상기 제1 전극(31) 상에 화소 영역을 정의하는 뱅크층(32)을 형성한다. 그 후, 잉크젯 인쇄 장비(40)를 이용하여 상기 제1 전극(31) 상에 화소 별로 유기층(33)을 도포한다.
이와 같은 종래의 잉크젯 인쇄 공정은 대기 중에서 상기 잉크젯 인쇄 장비(40)를 이용하여 상기 유기층(33)을 도포한다.
그러나, 상기 잉크젯 인쇄 공정을 수행하게 되면 분사된 잉크 잔유물이 비산하여 기판을 오염시키는 오염물질로 작용할 수 있다. 또한, 상기 유기층(33)은 수분이나 산소에 취약하기 때문에 상기 유기층(33)을 도포하는 공정 중에서 대기 중에 함유된 수분이나 산소가 상기 유기층(33)에 침투하게 되어 유기 발광 표시 장치가 쉽게 열화되는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 유기층을 도포하는 공정 중에 분사된 잉크 잔유물이 비산하는 것을 방지함과 더불어 대기 중에 함유된 수분이나 산소가 상기 유기층에 침투하는 것을 방지할 수 있는 잉크젯 인쇄 장비 및 그를 이용한 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비는 챔버 내부로 하강 기류를 형성하기 위한 기류 형성 장치를 포함하고, 상기 기류 형성 장치는 외부의 공기 중에서 특정 성분을 필터링하는 필터부, 상기 필터부의 후단에 배치되어 외부의 공기를 흡입하는 가스 흡입부, 및 상기 가스 흡입부의 후단에 배치되어 상기 챔버 내부로 가스를 분배하는 가스 분배부를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 잉크젯 인쇄 공정으로 액상의 패턴 물질을 도포하는 공정을 포함하고, 상기 액상의 패턴 물질을 도포하는 공정은 외부의 공기 중에서 특정 성분을 필터링하는 필터부, 상기 필터부의 후단에 배치되어 외부의 공기를 흡입하는 가스 흡입부, 및 상기 가스 흡입부의 후단에 배치되어 상기 챔버 내부로 가스를 분배하는 가스 분배부를 포함하여 이루어진 잉크젯 인쇄 장비를 이용하여 수행한다.
이상과 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 챔버 내부로 하강 기류를 형성하기 위한 기류 형성 장치를 포함함으로써 잉크젯 인쇄 공정 중에 분사된 잉크 잔유물이 비산하는 것이 방지되고 그에 따라 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있고, 또한, 상기 기류 형성 장치가 외부의 공기 중에서 특정 성분을 필터링하는 필터부를 포함함으로써 외부의 공기 중에 함유된 오염물질이 기판 상에 도포된 유기물로 침투하는 것을 방지하여 유기 발광 표시 장치의 열화를 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기류 형성 장치가 외부의 공기 중에서 특정 성분을 필터링하는 필터부, 상기 필터부의 후단에 배치되어 외부의 공기를 흡입하는 가스 흡입부, 및 상기 가스 흡입부의 후단에 배치되어 상기 챔버 내부로 가스를 분배하는 가스 분배부를 포함하고, 이때, 상기 필터부, 상기 가스 흡입부, 및 상기 가스 분배부 모두가 상기 챔버의 상면에 구비될 수도 있고, 상기 필터부 및 상기 가스 흡입부는 상기 챔버의 측면에 구비되고 상기 가스 분배부는 상기 챔버의 상면에 구비될 수도 있으며, 이와 같은 구성들의 배치에 의해서 장비의 공간 활용을 용이하게 할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 가스 전달부와 가스 분배부 사이에 별도의 가스 필터부가 추가로 구비됨으로써, 상기 가스 전달부를 통과하면서 발생할 수 있는 오염물질을 추가로 필터링할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 가스 흡입부와 가스 분배부 사이에 온도 조절부가 추가로 구비됨으로써, 챔버 내로 공급되는 가스의 온도가 상승하여 챔버 내의 잉크 잔유물을 보다 원활히 배출할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 필터부가 여과재에 활성탄이 도포되어 있고, 상기 여과재와 상기 활성탄 중 적어도 하나의 표면에는 상기 특정 성분을 필터링하는 화합물이 구비됨으로써, 외부의 공기 중에 함유된 오염물질을 보다 효율적으로 필터링할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 여과재와 활성탄 중 적어도 하나의 표면에는 구비되어 특정 성분을 필터링하는 화합물이 제1 성분을 필터링하는 제1 화합물 및 제2 성분을 필터링하는 제2 화합물을 포함함으로써, 공기 중에 함유된 다양한 성분의 오염물질을 동시에 필터링할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 여과재와 활성탄 중 적어도 하나의 표면에는 구비되어 특정 성분을 필터링하는 화합물이 금속탄산염을 포함함으로써, 공기 중에 함유된 오존 성분을 필터링할 수 있고 그에 따라 유기 발광 소자의 열화를 방지할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 필터부는 서로 상이한 성분을 필터링하는 적어도 2개의 필터부가 서로 접하게 연결되어 구성됨으로써, 공기 중에 함유된 다양한 성분의 오염물질을 동시에 필터링할 수 있다.
도 1은 종래의 잉크젯 인쇄 공정을 통해 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법을 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 개략적인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기류 형성 장치의 구성을 보여주는 도면으로서, 잉크젯 인쇄 장비의 제1 챔버와 제1 기류 형성 장치를 함께 도시한 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기류 형성 장치의 개략적인 사시도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 필터의 모습을 도시한 개략도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 제1 챔버 및 제1 기류 형성 장치를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 기류 형성 장치의 구성을 보여주는 도면으로서, 잉크젯 인쇄 장비의 제2 챔버와 제2 기류 형성 장치를 함께 도시한 개략적인 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 제2 챔버 및 제2 기류 형성 장치를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 제2 챔버 및 제2 기류 형성 장치를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 개략적인 레이아웃이다.
도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정을 도시한 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급한 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 개략적인 사시도이다.
도 2에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비는 제1 챔버(110), 제2 챔버(120), 제1 기류 형성 장치(210), 및 제2 기류 형성 장치(220)를 포함하여 이루어진다.
상기 제1 챔버(110)는 잉크젯 인쇄 공정이 이루어지는 메인(main) 챔버이다. 따라서, 상기 제1 챔버(110) 내에는 잉크젯 장치가 설치되어 있다.
상기 제2 챔버(120)는 잉크젯 장치에 대한 유지보수 공정이 이루어지는 보조(auxiliary) 챔버이다. 따라서, 상기 제2 챔버(120) 내에는 세정 장치 등 유지보수 관련 장치가 설치되어 있다.
상기 제2 챔버(120)와 상기 제1 챔버(110)은 개폐할 수 있는 개폐부를 통해 서로 연통되어 있다. 따라서, 상기 제1 챔버(110)에 설치된 잉크젯 장치는 상기 제1 챔버(110)에서 잉크젯 인쇄 공정을 수행하고, 상기 개폐부를 통해 상기 제2 챔버(120)로 이동하여 세정 등과 같은 유지보수 공정을 받게 된다.
상기 제1 기류 형성 장치(210)는 상기 제1 챔버(110)와 연결되어 상기 제1 챔버(110) 내부에 기류를 형성한다. 상기 제1 챔버(110) 내에서 잉크젯 인쇄 공정을 수행하게 되면 분사된 잉크 잔유물이 비산할 수 있다. 따라서, 상기 제1 기류 형성 장치(210)에 의해 상기 제1 챔버(110) 내에 하강 기류를 형성함으로써 상기 잉크 잔유물이 비산하는 것을 방지하고 그에 따라 잉크젯 인쇄 공정시 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제1 기류 형성 장치(210)는 상기 제1 챔버(110)의 상면에 설치되어 상기 제1 챔버(110)의 상면에서 하부쪽으로 하강 기류를 형성할 수 있다.
상기 제2 기류 형성 장치(220)는 상기 제2 챔버(120)와 연결되어 상기 제2 챔버(120) 내부에 기류를 형성한다. 상기 제2 챔버(120) 내에서 유지 보수 공정을 수행할 때에도 잉크 잔유물이 비산할 수 있기 때문에, 잉크 잔유물의 비산을 방지하기 위해서, 상기 제2 기류 형성 장치(220)에 의해 상기 제2 챔버(120) 내에 하강 기류를 형성한다. 상기 제2 기류 형성 장치(220)는 상기 제2 챔버(120)의 상면과 측면에 설치되어 상기 제2 챔버(120)의 상면에서 하부쪽으로 하강 기류를 형성할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 기류 형성 장치(210)를 통해서 상기 제1 챔버(110) 내에 하강 기류를 형성하고 상기 제2 기류 형성 장치(220)를 통해서 상기 제2 챔버(120) 내에 하강 기류를 형성함으로써, 상기 제1 챔버(110) 및 상기 제2 챔버(120) 내에서 잉크 잔유물이 비산하는 것을 방지할 수 있고 그에 따라 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
도 2에는 상기 제1 기류 형성 장치(210)가 상기 제1 챔버(110)의 상면에 설치되고 상기 제2 기류 형성 장치(220)는 상기 제2 챔버(120)의 상면과 측면에 설치된 모습을 도시하였지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 제2 기류 형성 장치(220)의 구조가 상기 제1 챔버(110)의 상면과 측면에 설치될 수도 있고, 상기 제1 기류 형성 장치(210)의 구조가 상기 제2 챔버(120)의 상면에 설치될 수도 있다. 또한, 상기 제1 기류 형성 장치(210)의 구조가 상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120)의 상면에 각각 형성될 수도 있고, 상기 제2 기류 형성 장치(220)의 구조가 상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120)의 상면과 측면에 각각 형성될 수도 있다.
이하 상기 제1 기류 형성 장치(210)와 상기 제2 기류 형성 장치(220)의 구조에 대해서 보다 구체적으로 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기류 형성 장치(210)의 구성을 보여주는 도면으로서, 잉크젯 인쇄 장비의 제1 챔버(110)와 제1 기류 형성 장치(210)를 함께 도시한 개략적인 단면도이다.
상기 제1 챔버(110)는 전술한 바와 같이 잉크젯 인쇄 공정이 이루어지는 메인(main) 챔버로서, 상기 제1 챔버(110) 내에는 잉크젯 장치(400)가 설치되어 있다.
상기 잉크젯 장치(400)는 복수의 잉크젯 헤드(410) 및 상기 복수의 잉크젯 헤드(410)를 지지하는 지지부(420)를 포함하여 이루어진다. 따라서, 상기 복수의 잉크젯 헤드(410)에서 잉크를 분사하면 기판(10) 상에 소정 패턴으로 잉크가 도포된다.
상기 제1 챔버(110)의 하면에는 제1 가스 배기부(115)가 구비되어 있다. 상기 제1 가스 배기부(115)는 복수의 배기홀을 포함하여 이루어진다. 따라서, 상기 제1 기류 형성 장치(210)에서 형성된 기류는 상기 배기홀을 통해 배기된다.
상기 제1 기류 형성 장치(210)는 제1 필터부(212), 제1 가스 흡입부(214), 및 제1 가스 분배부(216)를 포함하여 이루어진다.
상기 제1 필터부(212)는 외부의 공기 성분 중에서 기판에 도포된 잉크에 악영향을 미치는 성분을 제거하는 역할을 한다. 예를 들어, 상기 기판에 도포된 잉크가 유기 발광 표시 장치의 유기층으로 기능하는 경우, 상기 유기층은 수분이나 산소에 취약하기 때문에 상기 잉크를 도포하는 공정 시에 상기 제1 챔버(110) 내부로 외부의 공기가 그대로 공급되면 상기 잉크에 외부 공기 내에 함유된 수분이나 산소가 침투하여 유기 발광 표시 장치가 쉽게 열화될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기류 형성 장치(210)에 상기 제1 필터부(212)가 구비됨으로써, 상기 잉크에 악영향을 미치는 성분이 제거된 상태의 공기가 상기 제1 챔버(110) 내부로 공급될 수 있다.
상기 제1 필터부(212)는 상기 제1 가스 흡입부(214)의 전단에 배치됨으로써, 상기 제1 가스 흡입부(214)에 의해서 외부의 공기를 흡입할 때 상기 제1 필터부(212)에 의해 특정 성분이 제거된 상태의 공기가 흡입될 수 있다.
상기 제1 가스 흡입부(214)는 상기 제1 필터부(212)의 후단, 보다 구체적으로 상기 제1 필터부(212)와 상기 제1 가스 분배부(216) 사이에 배치되어 외부의 공기를 흡입한다. 상기 제1 가스 흡입부(214)는 당업계에 공지된 다양한 흡입 장치, 예로서 팬(fan) 장치로 이루어질 수 있다.
본 명세서에서 어느 구성의 전단과 후단은 가스의 흐름을 중심으로 해석되는 것이다. 구체적으로, 어느 구성의 전단은 가스가 공기가 들어오는 방향을 의미하고 어느 구성의 후단은 가스가 나가는 방향을 의미한다.
상기 제1 가스 분배부(216)는 상기 제1 가스 흡입부(214)의 후단에 배치되어 상기 제1 챔버(110) 내부로 가스를 분배한다. 상기 제1 가스 분배부(216)는 상기 제1 챔버(110) 내부에 설치될 수 있다. 상기 제1 가스 분배부(216)에서 분배한 가스는 상기 제1 가스 배기부(115)를 통해 배기되며 그에 따라 상기 제1 챔버(110) 내부에는 하강 기류(화살표 참조)가 생성된다. 따라서, 상기 하강 기류에 의해서 상기 제1 챔버(110) 내에 잉크 잔유물이 비산하는 것이 방지되고 그에 따라 잉크젯 인쇄 공정시 기판이 오염되는 것이 방지될 수 있다.
한편, 구체적으로 도시하지는 않았지만, 상기 제1 가스 흡입부(214)와 상기 제1 가스 분배부(216) 사이에 온도 조절부가 추가로 구성될 수도 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 기류 형성 장치(210)의 개략적인 사시도이고, 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 필터의 모습을 도시한 개략도이다.
도 4에서 알 수 있듯이, 상기 제1 기류 형성 장치(210)는 제1 필터부(212), 제1 가스 흡입부(214), 및 제1 가스 분배부(216)를 포함하여 이루어진다.
상기 제1 필터부(212)는 특성 성분을 필터링하는 필터(2121) 및 상기 필터(2121)를 고정하는 프레임(2122)을 포함하여 이루어진다. 상기 프레임(2122)은 전방과 후방이 개방되어 있어 상기 필터(2121)의 전방의 공기가 상기 필터(212)에 의해 필터링된 후 상기 필터(2121)의 후방으로 이동할 수 있다.
상기 제1 가스 흡입부(214)는 상기 프레임(2122)의 후방에 연결된 팬으로 이루어질 수 있다. 따라서, 상기 팬의 작동에 의해서 상기 필터(2121)의 전방의 공기가 상기 필터(2121)의 후방으로 흡입될 수 있다.
상기 제1 가스 분배부(216)는 상기 제1 가스 흡입부(214)의 후방에 연결되어 있다. 상기 제1 가스 분배부(216)는 흡입된 공기가 넓게 퍼져나갈 수 있게 구성된다. 상기 제1 가스 분배부(216)는 당업계에 공지된 다양한 가스 분배판으로 이루어질 수 있다.
도 5a 및 도 5b에서 알 수 있듯이, 상기 필터(2121)는 여과재(2121a)에 활성탄(2121b)이 도포된 구조로 이루어질 수 있다. 상기 여과재(2121a)는 도 5a와 같이 벌집 구조로 이루어질 수도 있고, 도 5b와 같이 주름 구조로 이루어질 수도 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 당업계에 공지된 다양한 형태로 이루어질 수 있다. 상기 활성탄(2121b)의 표면에는 화합물이 증착 또는 도포될 수 있으며 그에 따라 공기 중에 특정 성분을 필터링할 수 있다. 예로서, 상기 활성탄(2121b)의 표면에 금속탄산염이 증착될 수 있으며, 이 경우 공기 중의 오존을 효과적으로 필터링할 수 있다.
한편, 상기 활성탄(2121b)의 표면에 제1 성분을 필터링하는 제1 화합물 및 제2 성분을 필터링하는 제2 화합물을 증착 또는 도포함으로써, 하나의 필터(2121)를 통해서 서로 상이한 2개의 성분을 동시에 필터링하는 것도 가능하다. 3개 이상의 성분을 동시에 필터링하기 위해서 상기 활성탄(2121b)의 표면에 3종류 이상의 화합물을 증착 또는 도포하는 것도 가능하다. 또한, 상기 화합물을 상기 활성탄(2121b)의 표면이 아닌 상기 여과재(2121a)의 표면에 증착 또는 도포하는 것도 가능하고, 상기 활성탄(2121b)의 표면과 상기 여과재(2121a)의 표면 모두에 증착 또는 도포하는 것도 가능하다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 제1 챔버(110) 및 제1 기류 형성 장치(210)를 도시한 개략적인 단면도로서, 이는 제1 필터부(212)의 구성이 변경된 것을 제외하고 전술한 도 3과 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 이하에서는 상이한 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
도 6에서 알 수 있듯이, 제1 필터부(212)가 제1 성분을 필터링하는 제1 필터부(212a) 및 제2 성분을 필터링하는 제1 필터부(212b)로 이루어진다. 즉, 서로 상이한 성분을 필터링하는 두 개의 제1 필터부(212a,212b)를 서로 접하게 연결함으로써, 상기 제1 필터부(212)에서 서로 상이한 복수의 성분을 필터링할 수 있다. 상기 제1 필터부(212)는 전술한 도 5a 및 도 5b와 같이 다양하게 변경될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 기류 형성 장치(220)의 구성을 보여주는 도면으로서, 잉크젯 인쇄 장비의 제2 챔버(120)와 제2 기류 형성 장치(220)를 함께 도시한 개략적인 단면도이다.
상기 제2 챔버(120)는 전술한 바와 같이 잉크젯 장치에 대한 유지보수 공정이 이루어지는 보조(auxiliary) 챔버이다. 따라서, 상기 제2 챔버(120) 내에는 세정 장치 등 유지보수 장치(500)가 설치되어 있다. 상기 유지보수 장치(500)는 당업계에 공지된 장치를 포함한다.
상기 제2 챔버(120)의 하면에는 제2 가스 배기부(125)가 구비되어 있다. 상기 제2 가스 배기부(125)는 복수의 배기홀을 포함하여 이루어진다. 따라서, 상기 제2 기류 형성 장치(220)에서 형성된 기류는 상기 배기홀을 통해 배기된다.
상기 제2 기류 형성 장치(220)는 제2 필터부(222), 제2 가스 흡입부(224), 온도 조절부(225), 제2 가스 분배부(226), 및 가스 전달부(227)를 포함하여 이루어진다.
상기 제2 필터부(222)는 외부의 공기 성분 중에서 특성 성분을 필터링함으로써 상기 제2 챔버(120) 내부에 오염물질이 침투하는 것을 방지한다. 상기 제2 챔버(120)는 잉크젯 장치에 대한 유지보수 공정이 이루어지는 보조(auxiliary) 챔버이므로, 상기 제2 챔버(120) 내부로 기판이 로딩되지는 않는다. 따라서, 상기 제2 필터부(222)가 상기 제1 필터부(212)와 상이한 성분을 필터링하도록 구성될 수 있다. 다만, 상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120) 사이는 잉크젯 장치(400)의 이동을 위해서 서로 연통되어 있기 때문에, 상기 제2 챔버(120)에 수분이나 산소가 침투할 경우 침투한 수분이나 산소가 상기 제1 챔버(110)로 이동할 수도 있으며, 따라서, 상기 제2 필터부(222)가 상기 제1 필터부(212)와 동일한 성분을 필터링하도록 구성될 수도 있다.
상기 제2 필터부(222)는 상기 제2 가스 흡입부(224)의 전단에 배치됨으로써, 상기 제2 가스 흡입부(224)에 의해서 외부의 공기를 흡입할 때 상기 제2 필터부(222)에 의해 특정 성분이 제거된 상태의 공기가 흡입될 수 있다.
상기 제2 필터부(222)의 구조는 전술한 제1 필터부(212)의 구조와 동일하게 구성될 수 있다. 즉, 상기 제2 필터부(222)는 전술한 도 4와 같이 특성 성분을 필터링하는 필터(2121) 및 상기 필터(2121)를 고정하는 프레임(2122)을 포함하여 이루어질 수 있고, 상기 필터(2121)는 전술한 도 5a 및 도 5b와 같이 벌집 구조 또는 주름 구조의 여과재(2121a)에 활성탄(2121b)이 도포된 구조로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 활성탄(2121b)에는 특정 성분을 필터링하는 적어도 하나의 화합물이 증착 또는 도포될 수 있고, 상기 특정 성분을 필터링하는 화합물이 상기 여과재(2121a)에 증착 또는 도포될 수도 있다. 이때, 상기 제2 필터부(222)에 적용되는 특정 성분을 필터링하는 화합물은 상기 제1 필터부(212)에 적용되는 특정 성분을 필터링하는 화합물과 동일할 수도 있고 상이할 수도 있다.
상기 제2 가스 흡입부(224)는 상기 제2 필터부(222)의 후단, 보다 구체적으로 상기 제2 필터부(222)와 상기 온도 조절부(225) 사이에 배치되어 외부의 공기를 흡입한다. 상기 제2 가스 흡입부(224)는 당업계에 공지된 다양한 흡입 장치, 예로서 팬(fan) 장치로 이루어질 수 있다. 상기 제2 가스 흡입부(224)는 상기 제1 가스 흡입부(214)와 동일한 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.
상기 온도 조절부(225)는 상기 제2 가스 흡입부(224)의 후단, 보다 구체적으로 상기 제2 가스 흡입부(224)와 상기 제2 가스 분배부(226) 사이에 배치되어 흡입된 가스의 온도를 조절한다. 이와 같이 상기 온도 조절부(225)에서 온도가 조절된 가스가 상기 제2 챔버(120) 내로 공급되기 때문에 상기 제2 챔버(120) 내에서의 유지보수 공정을 보다 원활히 수행할 수 있다. 상기 온도 조절부(225)는 도시된 바와 같이 상기 가스 전달부(227)의 전단에 배치됨으로써 온도가 조절된 가스가 상기 가스 전달부(227)로 공급될 수도 있다. 다만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 상기 가스 전달부(227)에 상기 온도 조절부(225)가 구비되어 가스가 전달되면서 온도가 조절되는 것도 가능하다. 상기 온도 조절부(225)는 당업계에 공지된 다양한 온도 조절 장치로 이루어질 수 있다.
상기 제2 가스 분배부(226)는 상기 가스 전달부(227)의 후단에 배치되어 상기 제2 챔버(120) 내부로 가스를 분배한다. 상기 제2 가스 분배부(226)는 상기 제2 챔버(120) 내부에 설치될 수 있다. 상기 제2 가스 분배부(226)에서 분배한 가스는 상기 제2 가스 배기부(125)를 통해 배기되며 그에 따라 상기 제2 챔버(120) 내부에는 하강 기류(화살표 참조)가 생성된다. 따라서, 상기 하강 기류에 의해서 상기 제2 챔버(120) 내에 잉크 잔유물이 비산하는 것이 방지될 수 있다.
상기 가스 전달부(227)는 상기 제2 가스 흡입부(224)와 상기 제2 가스 분배부(226) 사이에 배치되어, 상기 제2 가스 흡입부(224)에서 흡입한 가스를 상기 제2 가스 분배부(226)로 전달한다. 상기 가스 전달부(227)는 당업계에 공지된 가스 배관을 포함하여 이루어진다.
도 7에 도시한 제2 기류 형성 장치(220)의 경우, 상기 제2 필터부(222), 상기 제2 가스 흡입부(224), 및 상기 온도 조절부(225)는 상기 제2 챔버(120)의 측면에 위치하고, 상기 제2 가스 분배부(226)는 상기 제2 챔버(120)의 상면에 위치하며, 상기 가스 전달부(227)는 상기 제2 챔버(120)의 측면에서 상면으로 가스를 전달하는 구조로 이루어진다. 이와 같이, 상기 제2 기류 형성 장치(220)를 구성하는 구성요소가 상기 제2 챔버(120)의 상면과 측면에 나누어 위치하기 때문에, 장비의 전체 높이를 줄일 수 있고 장비의 공간 활용면에서 유리할 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 제2 챔버(120) 및 제2 기류 형성 장치(220)를 도시한 개략적인 단면도로서, 이는 제2 필터부(222)의 구성이 변경된 것을 제외하고 전술한 도 7과 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 이하에서는 상이한 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
도 8에서 알 수 있듯이, 제2 필터부(222)가 제1 성분을 필터링하는 제2 필터부(222a) 및 제2 성분을 필터링하는 제2 필터부(222b)로 이루어진다. 즉, 서로 상이한 성분을 필터링하는 두 개의 제2 필터부(222a,222b)를 서로 접하게 연결함으로써, 상기 제2 필터부(222)에서 서로 상이한 복수의 성분을 필터링할 수 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 제2 챔버(120) 및 제2 기류 형성 장치(220)를 도시한 개략적인 단면도로서, 이는 제3 필터부(228)가 추가로 구성된 것을 제외하고 전술한 도 7과 동일하다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 이하에서는 상이한 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
도 9에서 알 수 있듯이, 상기 제2 가스 분배부(226)의 전단, 보다 구체적으로 상기 가스 전달부(227)와 상기 제2 가스 분배부(226) 사이에 제3 필터부(228)가 추가로 구비되어 있다. 상기 제3 필터부(228)는 상기 제2 챔버(120)의 상면에 배치된다.
상기 제2 필터부(222)를 통과하면서 필터링된 가스가 상기 가스 전달부(227)를 통과하면서 상기 가스 전달부(227) 내의 오염물질에 의해 다시 오염될 가능성이 있다. 따라서, 상기 가스 전달부(227)를 통과한 후 상기 제2 가스 분배부(226)에서 가스를 분비하기 전에 다시 한번 필터링을 수행하기 위해서 상기 제3 필터부(228)가 구비된다. 상기 제3 필터부(228)는 상기 제2 필터부(222)와 동일한 구조로 이루어질 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비의 개략적인 레이아웃이다.
도 10에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비는 인쇄 영역과 반송 영역을 포함하여 이루어진다.
상기 인쇄 영역에는 제1 챔버(110), 제2 챔버(120), 제1 기류 형성 장치(210), 및 제2 기류 형성 장치(220)를 포함하여 이루어진다.
상기 제1 챔버(110)는 잉크젯 인쇄 공정이 이루어지는 메인(main) 챔버로서, 전술한 바와 같이 상기 제1 챔버(110) 내에는 잉크젯 장치(400)가 설치되어 있다.
상기 제1 챔버(110)에는 제1 개폐부(112)와 제2 개폐부(114)가 구비되어 있다. 상기 제1 개폐부(112)에 의해서 상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120)가 연통될 수 있고, 상기 제2 개폐부(114)에 의해서 상기 제1 챔버(110)와 상기 반송 영역 내의 제3 챔버(130)가 연통될 수 있다. 즉, 상기 제1 개폐부(112)는 상기 인쇄 영역 내에 있는 상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120) 사이를 연통시키고, 상기 제2 개폐부(114)는 상기 인쇄 영역 내에 있는 상기 제1 챔버(110)와 상기 반송 영역에 있는 제3 챔버(130) 사이를 연통시킨다. 상기 제1 개폐부(112)와 제2 개폐부(114)는 당업계에 공지된 게이트 밸브로 이루어질 수 있다.
상기 제2 챔버(120)는 잉크젯 장치에 대한 유지보수 공정이 이루어지는 보조(auxiliary) 챔버로서, 전술한 바와 같이 상기 제2 챔버(120) 내에는 유지보수 장치(500)가 설치되어 있다.
상기 제1 기류 형성 장치(210)는 상기 제1 챔버(110)와 연결되어 상기 제1 챔버(110) 내부에 하강 기류를 형성한다.
상기 제2 기류 형성 장치(220)는 상기 제2 챔버(120)와 연결되어 상기 제2 챔버(120) 내부에 하강 기류를 형성한다.
이와 같은 인쇄 영역을 구성하는 상기 제1 챔버(110), 제2 챔버(120), 제1 기류 형성 장치(210), 및 제2 기류 형성 장치(220)의 구체적인 구성은 전술한 실시예들과 동일하므로 반복 설명은 생략하기로 한다.
상기 반송 영역에는 제3 챔버(130), 제4 챔버(140), 제5 챔버(150), 제3 기류 형성 장치(230), 및 제4 기류 형성 장치(240)를 포함하여 이루어진다.
상기 제3 챔버(130)는 상기 제1 챔버(110)로 기판을 로딩 및 언로딩하기 위한 챔버로서, 상기 제3 챔버(130) 내에는 기판을 이송하기 위한 로봇 암과 같은 이송 장치가 구비되어 있다. 상기 제3 챔버(130)는 상기 제2 개폐부(114)를 통해서 상기 제1 챔버(110)와 연통되어 있다. 따라서, 상기 잉크젯 인쇄 공정을 수행하기 위한 기판은 상기 제3 챔버(130)에 구비된 이송 장치를 통해서 상기 제1 챔버(110) 내로 로딩되어 인쇄 공정을 수행하고, 그 후 상기 이송 장치를 통해서 상기 제1 챔버(110)에서 언로딩된 후 다시 제3 챔버(130)로 이송되고, 다시 상기 이송 장치를 통해서 상기 제5 챔버(150)로 이송된다.
상기 제4 챔버(140)는 인쇄 공정이 완료된 기판을 후속 공정 장치로 이송하기 위한 챔버로서, 상기 제4 챔버(140) 내에는 기판을 이송하기 위한 로봇 암과 같은 이송 장치가 구비되어 있다. 즉, 상기 제4 챔버(140)에 구비된 이송 장치는 상기 제5 챔버(150)에 수용된 기판을 후속 공정 장비로 이송한 후 상기 후속 공정 장비 내에 로딩한다.
상기 제5 챔버(150)는 상기 제3 챔버(130)와 상기 제4 챔버(140) 사이에 위치하여 인쇄 공정이 완료된 기판을 수용하는 챔버이다. 따라서, 상기 제5 챔버(150)는 상기 제3 챔버(130) 및 상기 제4 챔버(140)와 각각 연통되어 있다.
상기 제3 기류 형성 장치(230)는 상기 제3 챔버(130)와 연결되어 상기 제3 챔버(130) 내부에 하강 기류를 형성한다. 상기 제3 기류 형성 장치(230)는 전술한 제2 기류 형성 장치(220)와 유사하게 상기 제3 챔버(130)의 상면과 측면에 설치될 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 전술한 제1 기류 형성 장치(210)와 유사하게 상기 제3 챔버(130)의 상면에 설치될 수도 있다.
상기 제4 기류 형성 장치(240)는 상기 제4 챔버(140)와 연결되어 상기 제4 챔버(140) 내부에 하강 기류를 형성한다. 상기 제4 기류 형성 장치(240)는 전술한 제2 기류 형성 장치(220)와 유사하게 상기 제4 챔버(140)의 상면과 측면에 설치될 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니고, 전술한 제1 기류 형성 장치(210)와 유사하게 상기 제4 챔버(140)의 상면에 설치될 수도 있다.
상기 제5 챔버(150)에는 별도의 기류 형성 장치를 설치하지 않아도 되지만, 전술한 제1 기류 형성 장치(210) 또는 제2 기류 형성 장치(220)와 같은 기류 형성 장치를 설치하는 것도 가능하다.
도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 공정을 도시한 것으로서, 특히, 유기 발광 표시 장치의 제조 공정을 도시한 것이다.
우선, 도 11a에서 알 수 있듯이, 기판(10) 상에 회로 소자층(20)을 형성하고, 상기 회로 소자층(20) 상에 화소 별로 제1 전극(31)을 형성하고, 상기 제1 전극(31) 상에 뱅크층(32)을 형성하고, 그 후 잉크젯 인쇄 장비(400)를 이용하여 상기 화소 별로 유기층용 잉크(33a)를 도포한다.
상기 회로 소자층(20)은 화소 별로 구비되는 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하며, 상기 박막 트랜지스터(TFT)는 상기 제1 전극(31)과 연결되어 있다. 상기 회로 소자층(20)은 스위칭 박막 트랜지스터, 구동 박막 트랜지스터, 센싱 박막 트랜지스터, 및 커패시터를 포함하여 이루어질 수 있으며, 이와 같은 회로 소자층(20)의 구성은 당업계에 공지된 다양한 형태로 변경될 수 있다.
상기 제1 전극(31)은 유기 발광 표시 장치의 양극(Anode)으로 기능할 수 있다.
상기 뱅크층(32)은 상기 화소 별로 형성된 제1 전극(31)의 끝단과 오버랩되면서 매트릭스 구조로 형성되며, 상기 뱅크층(32)에 의해서 복수의 화소 영역이 정의된다.
상기 유기층용 잉크(33a)는 상기 뱅크층(32)에 의해서 정의된 복수의 화소 영역 각각에서 상기 제1 전극(31) 상에 도포된다.
상기 유기 발광 표시 장치의 유기층은 정공 주입층(Hole Injecting Layer), 정공 수송층(Hole Transporting Layer), 발광층(Emitting Layer), 전자 수송층(Electron Transporting Layer), 및 전자 주입층(Electron Injecting Layer)을 포함하여 이루어질 수 있다. 이때, 상기 정공 주입층(Hole Injecting Layer), 정공 수송층(Hole Transporting Layer), 및 발광층(Emitting Layer)은 잉크젯 인쇄 공정으로 형성하고, 상기 전자 수송층(Electron Transporting Layer) 및 전자 주입층(Electron Injecting Layer)은 증발법(Evaporation)으로 형성할 수 있다.
따라서, 상기 유기층용 잉크(33a)는 정공 주입층(Hole Injecting Layer), 정공 수송층(Hole Transporting Layer), 및 발광층(Emitting Layer) 중 적어도 하나의 유기층을 구성하는 유기물을 용매에 용해시켜 제조될 수 있다.
상기 유기층용 잉크(33a)를 도포하는 공정은 전술한 다양한 실시예에 따른 잉크젯 인쇄 장비를 이용하여 수행한다.
다음, 도 11b에서 알 수 있듯이, 상기 유기층용 잉크(33a)를 건조하여 화소 별로 유기층(33)을 얻는다.
상기 유기층용 잉크(33a)를 건조하는 공정은 감압 챔버 내에서 감압 건조 공정을 통해 수행할 수 있다.
다음, 도 11c에서 알 수 있듯이, 상기 유기층(33) 상에 제2 전극(34)을 형성하고, 상기 제2 전극(34) 상에 봉지층(35)을 형성한다.
상기 제2 전극(34)은 유기 발광 표시 장치의 음극(Cathode)으로 기능할 수 있다.
상기 봉지층(35)은 상기 유기층(33)으로 수분이 침투하는 것을 방지하는 역할을 하는 것으로서, 당업계에 공지된 다양한 물질로 형성될 수 있다.
이상은 본 발명의 다양한 잉크젯 인쇄 장비 및 그를 이용하여 유기층을 도포하는 공정을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 대해서 설명하였는데, 본 발명은 유기 발광 표시 장치 이외에도 상기 잉크젯 인쇄 장비를 이용하여 액상의 패턴 물질을 도포할 수 있는 다양한 표시 장치의 제조 방법을 포함한다. 예로서, 본 발명은 잉크젯 인쇄 공정으로 컬러 필터를 화소별로 도포하여 제조할 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 액정 표시 장치의 제조 방법을 포함할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 기판 110: 제1 챔버
120: 제2 챔버 130: 제3 챔버
140: 제4 챔버 150: 제5 챔버
210: 제1 기류 형성 장치 220: 제2 기류 형성 장치
230: 제3 기류 형성 장치 240: 제4 기류 형성 장치

Claims (11)

  1. 인쇄 영역과 반송 영역;
    상기 인쇄 영역에 구비되며, 잉크젯 장치가 설치되어 인쇄 공정이 수행되는 제1 챔버;
    상기 인쇄 영역에 구비되며, 상기 제1 챔버와 제1 개폐부를 통해 연통되고 상기 잉크젯 장치를 세정하는 세정 장치가 설치되어 상기 제1 개폐부를 통해 상기 제1 챔버로부터 이동한 상기 잉크젯 장치에 대한 유지 보수 공정이 수행되는 제2 챔버;
    상기 인쇄 영역에 구비되며, 상기 제1 챔버와 연결되어 상기 제1 챔버 내부로 하강 기류를 형성하여 상기 잉크젯 인쇄 공정이 수행되면서 비산되는 잉크 잔유물을 제거하기 위한 제1 기류 형성 장치;
    상기 인쇄 영역에 구비되며, 상기 제2 챔버와 연결되어 상기 제2 챔버 내부로 하강 기류를 형성하여 상기 유지 보수 공정이 수행되면서 비산되는 잉크 잔유물을 제거하기 위한 제2 기류 형성 장치;
    상기 반송 영역에 구비되며, 상기 제1 챔버와 제2 개폐부를 통해 연통되고 이송 장치가 설치되어 있는 제3 챔버; 및
    상기 반송 영역에 구비되며, 상기 제3 챔버와 연결되어 상기 제3 챔버 내부로 하강 기류를 형성하기 위한 제3 기류 형성 장치를 포함하여 이루어지고,
    상기 제1 기류 형성 장치, 제2 기류 형성 장치, 및 제3 기류 형성장치는 각각 외부의 공기 중에서 특정 성분을 필터링하는 필터부, 상기 필터부의 후단에 배치되어 외부의 공기를 흡입하는 가스 흡입부, 및 상기 가스 흡입부의 후단에 배치되어 상기 각각의 챔버 내부로 가스를 분배하기 위해서 상기 챔버 내부와 접하면서 상기 각각의 챔버 내부에 설치되어 흡입한 공기를 상기 각각의 챔버 하부로 넓게 퍼져나갈 수 있도록 하여 하강 기류를 형성하는 가스 분배부를 포함하고,
    상기 제1 기류 형성 장치, 제2 기류 형성 장치 및 제3 기류 형성 장치 중 어느 하나에 포함된 상기 필터부, 가스 흡입부 및 가스 분배부는 상기 제1 챔버 내지 제3 챔버 중에 어느 하나의 챔버의 상면에 구비되고,
    상기 제1 기류 형성 장치, 제2 기류 형성 장치 및 제3 기류 형성 장치 중 다른 하나에 포함된 상기 필터부 및 가스 흡입부는 상기 제1 챔버 내지 제3 챔버 중에 다른 하나의 챔버의 측면에 구비되며, 상기 제1 기류 형성 장치, 제2 기류 형성 장치 및 제3 기류 형성 장치 중 다른 하나에 포함된 상기 가스 분배부는 상기 제1 챔버 내지 제3 챔버 중에 다른 하나의 챔버의 상면에 구비되고, 상기 제1 기류 형성 장치, 제2 기류 형성 장치 및 제3 기류 형성 장치 중 다른 하나에 포함된 상기 가스 흡입부와 상기 가스 분배부는 가스 전달부에 의해 연결되고,
    상기 제1 기류 형성 장치, 제2 기류 형성 장치 및 제3 기류 형성 장치 중 어느 하나에 포함된 상기 가스 흡입부 및 상기 가스 분배부 사이에 제1 온도 조절부가 구비되어 있고,
    상기 제1 기류 형성 장치, 제2 기류 형성 장치 및 제3 기류 형성 장치 중 다른 하나에 포함된 상기 가스 흡입부 및 상기 가스 전달부 사이에 제2 온도 조절부가 구비되어 있고,
    상기 제1 내지 제3 챔버 각각의 하면에 가스 배기부가 구비되어 상기 가스 분배부를 통해 분배된 공기를 상기 각각의 챔버의 하면으로 배출하여 하강 기류를 생성하여 상기 잉크젯 인쇄 공정 또는 상기 유지 보수 공정 중 적어도 하나의 공정이 수행되면서 비산되는 잉크 잔유물을 제거하며,
    상기 필터부는 여과재에 활성탄이 도포되어 있고, 상기 여과재와 상기 활성탄 중 적어도 하나의 표면에는 상기 특정 성분을 필터링하는 화합물이 구비되며,
    상기 화합물은 금속탄산염을 포함하는 잉크젯 인쇄 장비.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가스 전달부와 상기 가스 분배부 사이에 별도의 필터부가 추가로 구비되어 있는 잉크젯 인쇄 장비.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 화합물은 제1 성분을 필터링하는 제1 화합물 및 제2 성분을 필터링하는 제2 화합물을 포함하는 잉크젯 인쇄 장비.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 필터부는 서로 상이한 성분을 필터링하는 적어도 2개의 필터부가 서로 접하게 연결되어 구성된 잉크젯 인쇄 장비.
  10. 삭제
  11. 기판 상에 액상의 패턴 물질을 도포하는 공정; 및
    상기 액상의 패턴 물질을 건조하는 공정을 포함하고,
    상기 액상의 패턴 물질을 도포하는 공정은 잉크젯 인쇄 공정으로 이루어지고,
    상기 잉크젯 인쇄 공정은 전술한 제1항 및 제4항, 제7항 및 제9항 중 어느 한 항에 따른 잉크젯 인쇄 장비를 이용하여 수행하는 표시 장치의 제조방법.
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