KR102674690B1 - 메탈마스크 자동 세정장치 - Google Patents

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손영균
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Abstract

본 발명은 마스크거치대 상에 거치된 메탈마스크에 대해 세정헤드가 2축 방향 또는 3축 방향으로 자동으로 이동되면서 고온형성광파를 가하여 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시킴과 동시에 흡입제거함에 따라 종래 세정액으로 인한 환경오염이 방지될 수 있고 세정헤드에 의해 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트가 용융 및 흡입제거된 직후에 메탈마스크의 해당 부위가 자동으로 냉각됨에 따라 메탈마스크의 열손상이 방지됨과 동시에 사용수명이 증대될 수 있도록 한 메탈마스크 자동 세정장치에 관한 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치는 상부면에 2개의 이송레일이 이격되어 X축 방향으로 설치되고 상기 이송레일 사이에는 메탈마스크가 안착되는 마스크거치대가 설치되는 본체와, 상기 본체의 상부면에 X축 방향으로 배열되는 X축이송유닛과, 상기 X축이송유닛에 연결되어 상기 이송레일을 따라 X축 방향으로 이송되는 하부장착대와 상기 마스크거치대의 상부를 가로질러 Y축 방향으로 연장되는 상부장착대가 서로 연결고정되는 X축이송블럭과, 상기 X축이송블럭의 상부장착대에 Z축 방향으로 배열되는 Z축이송유닛과, 상기 Z축이송유닛에 연결되어 Z축 방향으로 이송되고 상기 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시켜 흡입하는 세정헤드를 포함한다. 또한 상기 메탈마스크 자동 세정장치는 상기 X축이송블럭에 구비되고 상기 마스크거치대에 거치된 메탈마스크를 하부에서 냉각시키는 냉각유닛을 더 포함할 수 있고, 상기 X축이송블럭의 상부장착대와 상기 Z축이송유닛 사이에 개재되고 상기 Z축이송유닛을 상기 X축이송블럭의 상부장착대를 따라 Y축 방향으로 이송시키는 Y축이송유닛을 더 포함할 수 있다.

Description

메탈마스크 자동 세정장치{Automatic cleaning apparatus of metal mask}
본 발명은 예를 들어 솔더페이스트 인쇄 등을 위한 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트를 자동으로 제거하기 위한 메탈마스크 자동 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마스크거치대 상에 거치된 메탈마스크에 대해 세정헤드가 2축 방향 또는 3축 방향으로 자동으로 이동되면서 고온형성광파를 가하여 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시킴과 동시에 흡입제거함에 따라 종래 세정액으로 인한 환경오염이 방지될 수 있고 세정헤드에 의해 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트가 용융 및 흡입제거된 직후에 메탈마스크의 해당 부위가 자동으로 냉각됨에 따라 메탈마스크의 열손상이 방지됨과 동시에 사용수명이 증대될 수 있도록 한 메탈마스크 자동 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 인쇄회로기판((Printed Circuit Board; PCB)은 TV 등를 비롯한 가전제품부터 첨단 통신기기에 이르기까지 모든 전자제품에 광범위하게 사용되는 부품으로, 용도에 따라 범용 PCB, 모듈용 PCB, 패키지용 PCB 등으로도 분류된다.
이러한 인쇄회로기판은 페놀수지 절연판 또는 에폭시수지 절연판 등의 일측면에 구리 등의 박판을 부착시킨 후 회로의 배선패턴에 따라 식각(부식제거)하여 필요한 회로를 구성한 다음 부품들을 부착 탑재시키기 위한 구멍을 뚫어 형성된다.
또한 인쇄회로기판은 비교적 간단한 전자기기에는 단면이 사용되고 있으나, 최근에는 양면에 회로를 형성시키고 스루홀(through hole)을 통하여 상호 연결시킨 양면 기판 또는, 이를 양면 뿐만 아니라 복수개의 층으로 확대시킨 다층 기판이 사용이 증가되고 있으며, 근래 들어 전자산업의 발전으로 초박판의 인쇄회로기판(두께가 0.04mm ~ 0.2mm)이 널리 사용되고 있다.
한편, 인쇄회로기판에는 반도체칩이나 저항칩 등과 같은 다양한 형태의 소형 전자부품이 실장(surface mounting)될 수 있도록 용융상태의 솔더페이스트(solder phaste)가 일정한 패턴으로 도포된다.
이러한 솔더페이스트의 도포과정은 통상 스크린 프린터(screen printer)로 명명되는 솔더페이스트 도포장치에 의해 수행된다. 솔더페이스트 도포장치는 특정 패턴의 개구부가 형성된 메탈마스크(metal mask) 상에 공급된 솔더페이스트를 스퀴지(squeegee)로 압착하여 인쇄회로기판의 부품 장착면에 도포하게 된다.
이러한 메탈마스크는 표면이 오염된 상태로 사용되거나 특정 패턴의 개구부 둘레에 솔더페이스트가 잔존하는 상태로 사용하게 될 경우에 인쇄회로기판의 불량이 초래될 뿐만 아니라 메탈마스크 자체에도 손상이 초래됨에 따라, 별도의 세정처리가 요구된다.
메탈마스크의 세정은 주로 표면에 잔류하는 유기물 또는 이물질을 각종 산성 용액이나 알칼리성 용액과 같은 세정액을 이용하여 제거하는 습식세정을 통해 이루어지고, 메탈마스크의 습식세정을 위한 다양한 메탈마스크 자동 세정장치가 사용되고 있다.
이러한 메탈마스크 자동 세정장치의 일 예로, 한국 특허등록 제10-0630843호(2006.10.02. 공고)에는 세척액의 온도를 유지 및 상승시키기 위한 온도조절수단과, 물과 혼합이 가능한 세척액을 보관 및 순환, 분사시켜 메탈 마스크를 세척하기 위한 제1세척수단과, 수도배관의 물을 이용하여 메탈 마스크를 세척하기 위한 제2세척수단과, 공압을 이용하여 메탈 마스크를 건조하기 위한 건조수단과, 상기 각 구성요소의 모든 동작을 제어하기 위한 전기회로 배전반으로 구성된 것을 특징으로 하는 메탈 마스크 자동세척장치가 개시된다.
또한 한국 특허공개 제10-2013-0023551호(2013.03.08. 공개)에는 전면과 후면이 개방되고 메탈마스크나 메쉬마스크가 장착될 수 있는 마스크거치대와, 상기 마스크거치대가 회동될 수 있게 베어링으로 상기 마스크거치대의 하단을 지지하는 베어링부와, 상기 마스크거치대가 상기 베어링부를 중심으로 회동할 수 있도록 상기 마스크거치대의 상부를 전후로 이동시키는 회동실린더와, 상기 마스크거치대의 전면에서 상기 마스크거치대에 거치된 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 접촉하여 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크를 진동시키기 위한 초음파진동부와, 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 상기 마스크거치대의 상단의 전후에 위치한 제 1 노즐수단과, 상기 마스크거치대의 후면에서 좌우로 이동하여 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 제 2 노즐수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치가 개시된다.
또한 한국 특허공개 제10-2020-0078737호(2020.07.02. 공개)에는 마스크부재의 세정 장치로서, 내부에 세정액이 저장된 챔버와, 상기 챔버로부터 유입된 상기 세정액의 일부를 통과시키는 필터를 갖는 순환부와, 상기 챔버의 내벽에 배치되어 상기 순환부로부터 유입된 상기 세정액의 상기 일부를 상기 마스크부재에 분사하는 복수의 노즐들을 구비하는 노즐부와, 상면이 상기 챔버의 내벽에 대향하도록 지지된 상기 마스크부재를 상기 챔버 내에서 승하강운동시키는 이송부;를 구비하는, 마스크부재의 세정장치가 개시된다.
그러나 전술한 바와 같이 세정액을 통한 습식세정에 기초하는 종래의 메탈마스크의 자동 세정장치의 경우에는 세정액의 폐기로 인해 환경오염이 유발될 수 있고, 금속마스크의 표면이 세정액에 의한 부식됨에 따라 메탈마스크의 수명이 단축될 수 있는 문제점이 있었다.
1. 한국 특허등록 제10-0630843호(2006.10.02. 공고) 2. 한국 특허공개 제10-2013-0023551호(2013.03.08. 공개) 3. 한국 특허공개 제10-2020-0078737호(2020.07.02. 공개)
따라서 본 발명은 마스크거치대 상에 거치된 메탈마스크에 대해 세정헤드가 2축 방향 또는 3축 방향으로 자동으로 이동되면서 고온형성광파를 가하여 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시킴과 동시에 흡입제거함에 따라 종래 세정액으로 인한 환경오염이 방지될 수 있도록 한 메탈마스크 자동 세정장치를 제공하는 과제를 기초로 한다.
또한 본 발명은 세정헤드에 의해 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트가 용융 및 흡입제거된 직후에 메탈마스크의 해당 부위가 자동으로 냉각됨에 따라 메탈마스크의 열손상이 방지됨과 동시에 사용수명이 증대될 수 있도록 한 메탈마스크 자동 세정장치를 제공하는 과제를 기초로 한다.
전술한 본 발명의 과제는, 상부면에 2개의 이송레일이 이격되어 X축 방향으로 설치되고 상기 이송레일 사이에는 메탈마스크가 안착되는 마스크거치대가 설치되는 본체와, 상기 본체의 상부면에 X축 방향으로 배열되는 X축이송유닛과, 상기 X축이송유닛에 연결되어 상기 이송레일을 따라 X축 방향으로 이송되는 하부장착대와 상기 마스크거치대의 상부를 가로질러 Y축 방향으로 연장되는 상부장착대가 서로 연결고정되는 X축이송블럭과, 상기 X축이송블럭의 상부장착대에 Z축 방향으로 배열되는 Z축이송유닛과, 상기 Z축이송유닛에 연결되어 Z축 방향으로 이송되고 상기 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시켜 흡입하는 세정헤드를 포함하는 메탈마스크 자동 세정장치를 제공함에 의해 달성된다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 메탈마스크 자동 세정장치는 상기 X축이송블럭의 하부장착대에 구비되고 상기 마스크거치대에 거치된 메탈마스크를 하부에서 냉각시키는 냉각유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 냉각유닛은 냉각팬으로 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 메탈마스크 자동 세정장치는 상기 X축이송블럭의 상부장착대와 상기 Z축이송유닛 사이에 개재되고 상기 Z축이송유닛을 상기 X축이송블럭의 상부장착대를 따라 Y축 방향으로 이송시키는 Y축이송유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 Y축이송유닛은 모터에 의해 회전구동되는 리드스크류로 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 마스크거치대는 상기 이송레일보다 상부로 이격되게 설치될 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 X축이송유닛과 상기 Z축이송유닛은 모터에 의해 회전구동되는 리드스크류로 형성될 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 세정헤드는 상기 Z축이송유닛에 연결되는 세정헤드본체와, 상기 세정헤드본체에 설치되고 상기 메탈마스크에 고온형성광파를 가하여 상기 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시키는 고온형성광파발생부와, 상기 세정헤드본체에 설치되고 상기 고온형성광파발생부에 의해 용융된 솔더페이스트를 흡입제거하는 석션부를 포함할 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 세정헤드본체에는 상기 메탈마스크의 온도를 측정하는 비접촉온도센서가 구비될 수 있다.
본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 고온형성광파발생부에서 발생되는 고온형성광파은 적외선, 레이저 및 하이퍼론 람다입자광 중 하나일 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치는, 마스크거치대 상에 거치된 메탈마스크에 대해 세정헤드가 X축이송유닛과 Z축이송유닛에 의해 2축 방향으로 자동으로 이동되거나 또는 X축이송유닛, Y축이송유닛 및 Z축이송유닛에 의해 3축 방향으로 자동으로 이동되면서 고온형성광파를 가하여 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시킴과 동시에 흡입제거함에 따라 종래 세정액으로 인한 환경오염이 방지될 수 있는 장점이 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치는 마스크거치대에 거치된 메탈마스크를 하부에서 냉각시키는 냉각유닛이 X축이송블럭에 구비되어 세정헤드에 의해 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트가 용융 및 흡입제거된 직후 메탈마스크의 해당 부위가 자동으로 냉각됨에 따라 메탈마스크의 열손상이 방지됨과 동시에 사용수명이 증대될 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치의 분해사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치의 작동도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치에 있어서, 세정헤드의 상세구조도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치의 사시도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치의 작동도.
이하에서는, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로 인해 본 발명의 기술적 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치(1)는 도 1 내지 도 3에 상부면에 2개의 이송레일(11)이 이격되어 X축 방향으로 설치되고 이송레일(11) 사이에는 메탈마스크(2)가 안착되는 마스크거치대(12)가 설치되는 본체(10)와, 본체(10)의 상부면에 X축 방향으로 배열되는 X축이송유닛(20)과, 상기 X축이송유닛(20)에 연결되어 상기 이송레일(11)을 따라 X축 방향으로 이송되는 하부장착대(31)와 상기 마스크거치대(12)의 상부를 가로질러 Y축 방향으로 연장되는 상부장착대(32)가 서로 연결고정되는 X축이송블럭(30)과, 상기 X축이송블럭(30)의 상부장착대(32)에 Z축 방향으로 배열되는 Z축이송유닛(40)과, 상기 Z축이송유닛(40)에 연결되어 Z축 방향으로 이송되고 상기 메탈마스크(2)에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시켜 흡입하는 세정헤드(50)를 포함한다.
여기서, 본체(10)는 메탈마스크(2)가 바닥으로부터 일정 높이에 거치된 상태로 세정헤드(50)에 의해 세정처리될 수 있도록 하기 위한 테이블형 설치프레임에 해당한다.
본체(10)의 상부면에는 2개의 이송레일(11)이 서로 이격된 상태로 X축 방향으로 배열된다. 이러한 이송레일(11)은 후술될 X축이송블럭(30)이 X축이송유닛(20)의 작동에 따라 X축 방향으로 이동될 수 있도록 안내하는 역할을 한다.
본체(10)의 상부면에서 서로 이격된 상태로 X축 방향으로 배열되는 2개의 이송레일(11) 사이에는 메탈마스크(2)가 안착되는 마스크거치대(12)가 설치된다. 마스크거치대(12) 상에는 메탈마스크(2)의 가장자리를 지지하여 위치고정시키기 위한 액자형 거치프레임이 구비될 수 있다. 이러한 마스크거치대(12)는 이송레일(11)보다 상부로 이격되게 설치되는 것이 바람직한데, 이는 후술될 X축이송블럭(30)에 구비되는 냉각유닛(60)이 마스크거치대(12)의 하부에 설치되어 이동되도록 하는 공간이 형성되도록 하기 위함이다. 이를 위해 마스크거치대(12)의 하부면에는 본체(10)의 상부면에 하단이 고정되는 지지다리가 별도 구비될 수 있다.
전술한 본체(10)의 상부면에는 X축이송유닛(20)이 X축 방향으로 배열된다. X축이송유닛(20)은 후술될 X축이송블럭(30)이 이송레일(11)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있도록 하는 역할을 하는 것으로, 2개의 이송레일(11) 사이 및 마스크거치대(12)의 하부에 위치된다. 이러한 X축이송유닛(20)은 모터에 의해 회전구동되는 리드스크류로 형성될 수 있다.
전술한 X축이송유닛(20)에는 X축이송블럭(30)이 연결된다. X축이송블럭(30)은 이송레일(11)을 따라 X축 방향으로 이송되면서 궁극적으로 후술될 세정헤드(50)가 마스크거치대(12) 상에 거치된 메탈마스크(2)에 대해 X축(좌우) 방향으로 이동될 수 있도록 하는 역할을 한다.
이러한 X축이송블럭(30)은 도 2에 도시되는 바와 같이 X축이송유닛(20)에 연결되어 이송레일(11)을 따라 X축 방향으로 이송되는 하부장착대(31)의 양단과 상기 마스크거치대(12)의 상부를 가로질러 Y축 방향으로 연장되는 상부장착대(32)의 양단이 서로 연결고정되어 전체적으로 직사각형 프레임 형상을 가진다.
전술한 X축이송블럭(30)의 상부장착대(32)에는 Z축이송유닛(40)이 Z축 방향으로 배열된다. Z축이송유닛(40)은 후술될 세정헤드(50)가 마스크거치대(12) 상에 거치된 메탈마스크(2)에 대해 Z축(상하) 방향으로 이동될 수 있도록 하는 역할을 한다. 이러한 Z축이송유닛(40)은 모터에 의해 회전구동되는 리드스크류로 형성될 수 있다.
전술한 Z축이송유닛(40)에는 세정헤드(50)가 연결되어 Z축 방향으로 이송된다. 세정헤드(50)는 Z축이송유닛(40)에 의해 Z축(상하) 방향으로 이동되면서 하단 높이가 조절된 후 X축이송유닛(20)에 의해 X축(좌우) 방향으로 이동되면서 메탈마스크(2)에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시킨 후 흡입제거함으로써 마스크거치대(12) 상에 거치된 메탈마스크(2)를 세정처리하는 역할을 한다.
이러한 세정헤드(50)는 도 4에 도시되는 바와 같이, Z축이송유닛(40)에 연결되는 세정헤드본체(51)와, 세정헤드본체(51)에 설치되고 마스크거치대(12) 상에 거치된 메탈마스크(2)에 고온형성광파를 가하여 메탈마스크(2)에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시키는 고온형성광파발생부(52)와, 세정헤드본체(51)에 설치되고 고온형성광파발생부(52)에 의해 용융된 솔더페이스트를 흡입제거하는 석션부(53)를 포함할 수 있다.
세정헤드본체(51)는 Z축이송유닛(40)에 연결되어 Z축(상하) 방향으로 이동시되는 일종의 이송블럭에 해당되며, 고온형성광파발생부(52)와 석션부(53)의 설치프레임을 형성하는 역할을 한다.
또한 고온형성광파발생부(52)는 메탈마스크(2)에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시킬 수 있는 고온형성광파를 발생시켜 메탈마스크(2)로 제공하는 역할을 한다. 이러한 고온형성광파발생부(52)에서 발생되는 고온형성광파는 적외선광, 레이저광 및 하이퍼론 람다입자파 중 하나일 수 있다.
여기서 하이퍼론(hyperon)은 중입자에 속하는 소립자 가운데 스트레인지니스가 0이 아닌 것을 통틀어 이르는 것으로. 람다(Λ) 중입자, 시그마(Σ) 중입자 등이 있다. 이 중 람다 중입자는 양성자나 중성자보다 질량이 큰 하이퍼론(초핵자)에 속하는 입자로 다른 하이퍼론과 달리 전기적으로 중성인 것만 존재하며, 위 쿼크와 아래 쿼크, 또 제3의 무거운 쿼크 (기묘 쿼크, 맵시 쿼크, 바닥 쿼크, 꼭대기 쿼크)로 이루어진다. 또한 람다 중입자는 하이퍼론 중에서 가장 질량이 작으며 스핀양자수는 1/2인 것으로 알려져 있다.
또한 세정헤드본체(51)에는 비접촉온도센서(54)가 구비될 수 있다. 비접촉온도센서(54)는 메탈마스크(2) 중 세정헤드(50)에 의해 세정처리된 부위의 온도를 측정함에 따라 후술될 냉각유닛(60)의 작동이 제어될 수 있도록 하기 위한 것으로, 통상의 적외선 온도센서로 형성 가능하다.
전술한 X축이송블럭(30)의 하부장착대(31)에는 냉각유닛(60)이 구비될 수 있다. 냉각유닛(60)은 X축이송유닛(20)에 의해 X축 방향으로 이동되면서 세정헤드(50)에 의해 세정처리된 메탈마스크의 해당 부위를 하부에서 냉각시키는 역할을 하는 것으로, 통상의 냉각팬으로 형성되는 것이 바람직하지만, 실시예에 따라서는 전열소자의 콜드싱크로도 형성 가능하고 순환냉매에 의해 냉각처리되는 냉기공급용 열교환기로도 형성 가능하다.
또한 본 발명의 다른 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치(1)는 도 5 및 도 6에 도시되는 바와 같이, X축이송블럭(30)의 상부장착대(32)와 Z축이송유닛(40) 사이에 개재되는 Y축이송유닛(70)을 더 포함할 수 있다.
Y축이송유닛(70)은 전술한 Z축이송유닛(40)을 X축이송블럭(30)의 상부장착대(32)를 따라 Y축(전후) 방향으로 이송시킴에 따라 궁극적으로 세정헤드(50)가 마스크거치대(12) 상에 거치된 메탈마스크(2)에 대해 Y축(전후) 방향으로 이동될 수 있도록 하는 역할을 한다. 이러한 Y축이송유닛(70)은 모터에 의해 회전구동되는 리드스크류로 형성될 수 있다.
따라서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치(1)의 경우에는, 마스크거치대(12) 상에 거치된 메탈마스크(2)에 대해 고온형성광파발생부(52)와 석션부(53)를 포함하는 세정헤드(50)가 X축이송유닛(20)과 Z축이송유닛(40)에 의해 2축 방향으로 자동으로 이동되거나 또는 X축이송유닛(20), Y축이송유닛(70) 및 Z축이송유닛(40)에 의해 3축 방향으로 자동으로 이동되면서 고온형성광파를 가하여 메탈마스크(2)에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시킴과 동시에 흡입제거함에 따라 세정액 없이도 메탈마스크(2)에 잔존하는 솔더페이스트를 제거할 수 있어 종래 세정액으,로 인한 환경오염이 방지될 수 있게 된다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 메탈마스크 자동 세정장치(1)의 경우에는 마스크거치대(12)에 거치된 메탈마스크(2)를 하부에서 냉각시키는 냉각유닛(60)이 X축이송블럭(30)의 하부장착대(31)에 구비되어 세정헤드(50)에 의해 메탈마스크에 잔존하는 솔더페이스트가 용융 및 흡입제거된 직후 메탈마스크(2)의 해당 부위가 자동으로 냉각됨에 따라 메탈마스크(2)의 열손상이 방지됨과 동시에 사용수명이 증대될 수 있게 된다.
위에서 실시예가 예시적으로 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서 상술된 실시예는 제한적인 것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다고 할 것이다.
1 : 메탈마스크 자동 세정장치
2 : 메탈마스크
10 : 본체
11 : 이송레일
12 : 마스크거치대
20 : X축이송유닛
30 : X축이송블럭
31 : 하부장착대
32 : 상부장착대
40 : Z축이송유닛
50 : 세정헤드
51 : 세정헤드본체
52 : 고온형성광발생부
53 : 석션부
54 : 비접촉온도센서
60 : 냉각유닛
70 : Y축이송유닛

Claims (10)

  1. 상부면에 2개의 이송레일(11)이 이격되어 X축 방향으로 설치되고 상기 이송레일(11) 사이에는 메탈마스크(2)가 안착되는 마스크거치대(12)가 지지다리에 의해 상기 이송레일(11)보다 상부로 이격되게 설치되는 본체(10);
    상기 본체(10)의 상부면에 X축 방향으로 배열되고 상기 마스크거치대(12)의 하부에 위치되는 X축이송유닛(20);
    상기 X축이송유닛(20)에 연결되어 상기 이송레일(11)을 따라 X축 방향으로 이송되는 하부장착대(31)와 상기 마스크거치대(12)의 상부를 가로질러 Y축 방향으로 연장되는 상부장착대(32)가 서로 연결고정되는 X축이송블럭(30);
    상기 X축이송블럭(30)의 상부장착대(32)에 Z축 방향으로 배열되는 Z축이송유닛(40);
    상기 Z축이송유닛(40)에 연결되어 Z축 방향으로 이송되고 상기 메탈마스크(2)에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시켜 흡입하는 세정헤드(50); 및
    상기 X축이송블럭(30)의 하부장착대(31)에 구비되고 상기 마스크거치대(12)에 거치된 메탈마스크(2)를 하부에서 냉각시키는 냉각유닛(60)을 포함하는 메탈마스크 자동 세정장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 냉각유닛(60)은 냉각팬으로 형성되는 것을 특징으로 하는 메탈마스크 자동 세정장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 X축이송블럭(30)의 상부장착대(32)와 상기 Z축이송유닛(40) 사이에 개재되고 상기 Z축이송유닛(40)을 상기 상부장착대(32)를 따라 Y축 방향으로 이송시키는 Y축이송유닛(70)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메탈마스크 자동 세정장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 Y축이송유닛(70)은 모터에 의해 회전구동되는 리드스크류로 형성되는 것을 특징으로 하는 메탈마스크 자동 세정장치.
  6. 삭제
  7. 청구항 1, 청구항 3, 청구항 4 및 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 X축이송유닛(20)과 상기 Z축이송유닛(40)은 모터에 의해 회전구동되는 리드스크류로 형성되는 것을 특징으로 하는 메탈마스크 자동 세정장치.
  8. 청구항 1, 청구항 3, 청구항 4 및 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 세정헤드(50)는 상기 Z축이송유닛(40)에 연결되는 세정헤드본체(51)와, 상기 세정헤드본체(51)에 설치되고 상기 메탈마스크(2)에 고온형성광파를 가하여 상기 메탈마스크(2)에 잔존하는 솔더페이스트를 용융시키는 고온형성광파발생부(52)와, 상기 세정헤드본체(51)에 설치되고 상기 고온형성광파발생부(52)에 의해 용융된 솔더페이스트를 흡입제거하는 석션부(53)를 포함하는 것을 특징으로 하는 메탈마스크 자동 세정장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 세정헤드본체(51)에는 상기 메탈마스크의 온도를 측정하는 비접촉온도센서(54)가 구비되는 것을 특징으로 하는 메탈마스크 자동 세정장치.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 고온형성광파발생부(52)에서 발생되는 고온형성광파는 적외선광, 레이저광 및 하이퍼론 람다입자파 중 하나인 것을 특징으로 하는 메탈마스크 자동 세정장치.
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