KR102673099B1 - Inspection Apparatus For Diffuser Panel For Deposition Process - Google Patents
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Abstract
본 발명은 상면과 하면을 관통하는 다수의 홀이 형성된 증착 공정용 디퓨저 패널을 검사하는 장치로서, 본체 프레임과, 상기 본체 프레임 상부에 설치되고, 검사대상 디퓨저 패널을 X축을 따라 이송하는 이송 스테이지와, 라인스캔 카메라가 Y축을 따라 이동가능하게 결합되는 갠트리 유닛과, 상기 이송 스테이지의 하부에 위치하고 백라이트가 상기 카메라와 동기되어 Y축을 따라 이동가능하게 결합되는 백라이트 이송 유닛과, 상기 라인스캔 카메라에서 촬영된 이미지를 분석하여 상기 디퓨저 패널의 표면을 검사하는 분석부를 포함하되, 상기 분석부는 1차적으로 홀 유무를 판단하고, 홀이 존재하는 것으로 판단되는 경우 2차적으로 홀 내면에 버가 존재하는지 여부를 검출하는 것이 특징이다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 대면적 디퓨저 패널에 형성된 다수의 홀을 빠르고 정확하게 검사할 수 있는 효과가 있다. The present invention is an apparatus for inspecting a diffuser panel for a deposition process in which a plurality of holes penetrating the upper and lower surfaces are formed, comprising: a main body frame, a transfer stage installed on the upper part of the main body frame and transferring the diffuser panel to be inspected along the X-axis; , a gantry unit to which a line scan camera is movably coupled along the Y-axis, a backlight transfer unit located below the transfer stage and a backlight to which the backlight is synchronized with the camera and movably coupled to the Y-axis, and the line scan camera takes pictures. It includes an analysis unit that analyzes the image and inspects the surface of the diffuser panel, wherein the analysis unit primarily determines whether a hole exists, and if it is determined that a hole exists, secondarily determines whether a burr exists on the inner surface of the hole. The feature is detection.
According to the present invention as described above, there is an effect of quickly and accurately inspecting a plurality of holes formed in a large-area diffuser panel.
Description
본 발명은 증착 공정용 디퓨저 패널 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적 디퓨저 패널에 형성된 수만 ~ 수십만 개 이상의 홀의 가공 누락 및 버를 빠르고 정확하게 검사할 수 있는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a diffuser panel inspection device for a deposition process, and more specifically, to a technology that can quickly and accurately inspect machining omissions and burrs of tens to hundreds of thousands of holes formed in a large-area diffuser panel.
도 1은 화학기상 증착장비의 내부구조를 도시한 것이다.Figure 1 shows the internal structure of chemical vapor deposition equipment.
도 1을 참조하면, 화학기상 증착장치는 챔버(100)의 내부에 설치된 서셉터(110) 상에 기판(120)이 지지되어 있고, 챔버(100)의 상부에 형성된 가스 도입부를 통해 증착가스(G)가 챔버(100)의 내부로 유입되며, 챔버(100)의 하부에 형성된 가스 배출구를 통해 처리가 완료된 증착가스(G)가 외부로 배출되는 구조를 갖는다.Referring to FIG. 1, the chemical vapor deposition apparatus has a substrate 120 supported on a susceptor 110 installed inside the chamber 100, and a deposition gas ( G) is introduced into the interior of the chamber 100, and the processed deposition gas (G) is discharged to the outside through a gas outlet formed in the lower part of the chamber 100.
가스 도입부를 통해 유입된 증착가스(G)를 균일하게 기판(120)에 전달하기 위해 기판(120)의 상부에 가스 분배 및 확산 기능을 갖는 디퓨저 패널(130)이 위치한다. A diffuser panel 130 having a gas distribution and diffusion function is located on the upper part of the substrate 120 to uniformly deliver the deposition gas (G) introduced through the gas inlet to the substrate 120.
디퓨저(Diffuser)는 디스플레이 패널 및 반도체 제조 공정 중 증착 공정에서 증착대상물인 기판에 가스를 균일하게 배포하는 역할을 하는 고가의 대형부품으로서, CVD 공정의 높은 온도 350~400°C내에서 견딜 수 있는 열처리 기술과 수만 ~수십만 개 이상의 미세한 홀 가공 및 아노다이징(Anodizing) 기술이 요구된다.A diffuser is an expensive large component that plays the role of uniformly distributing gas to the substrate, which is the deposition object, during the deposition process during the display panel and semiconductor manufacturing process. It can withstand the high temperature of 350 to 400°C of the CVD process. Heat treatment technology, tens to hundreds of thousands of fine hole processing, and anodizing technology are required.
디퓨저 패널(130)에는 가스의 분배를 위해 매우 많은 홀이 형성되어 있다. 대면적 유리기판인 10.5세대용 디퓨저 패널의 경우 약 100,000 ~ 200,000개의 미세 홀이 존재한다. The diffuser panel 130 has many holes formed for distribution of gas. In the case of the 10.5 generation diffuser panel, which is a large-area glass substrate, there are approximately 100,000 to 200,000 micro holes.
디퓨저 가공은 황삭(면,각), 중삭(두께조절가공), 정삭(도입부, 가속부, 배출부(미세홀) 3종 홀 가공) 공정으로 이루어지며, 정삭 공정에서 프로그램 오류 등의 문제로 가스홀 또는 미세홀이 가공되지 않거나 가스홀에 치핑이 발생하는 경우가 있어 이에 대한 검사가 필수적이나, 가공중에는 절삭유가 사용되어 홀의 미가공, 치핑 등의 검사를 할 수 없고 가공 후 홀 검사가 이루어진다. Diffuser machining consists of rough machining (face, angle), medium machining (thickness control machining), and finish machining (three types of hole machining: introduction, acceleration, and discharge (micro holes)) processes. In the finishing process, gas is lost due to problems such as program errors. In some cases, holes or micro-holes are not machined or chipping occurs in gas holes, so inspection is essential. However, because cutting oil is used during processing, inspection of unmachined holes, chipping, etc. cannot be performed, and hole inspection is performed after processing.
가공 후 홀 검사는 휴대용 고배율 확대경으로 샘플링 검사만 하고 있으나, 실질적으로 전수검사를 하지 못하고, 가공회사의 가공 개선 프로그램에 의해 수직방향 좌측 1개 라인(아래 적색 박스 부분)과 수평방향 하단 1개 라인(아래 청색 박스 부분)만 검수를 하는 샘플 검사의 형태로 진행되고 있음에도 상당한 시간이 소요된다.Hole inspection after machining is only done through a sampling inspection using a portable high-magnification magnifying glass, but in reality, it is not possible to conduct a complete inspection, and due to the machining company's processing improvement program, one line on the left in the vertical direction (red box below) and one line on the bottom in the horizontal direction are inspected. Even though it is conducted in the form of a sample inspection that only inspects (the blue box below), it takes a considerable amount of time.
대형 디퓨저 패널은 육안에 의해 전수 검사가 불가능하여 자동검사 장치에 대한 요구가 높다. 기존에도 광학 홀 검사장치들이 제시된 바가 있으나, 이 검사 장치들은 홀의 사이즈가 크거나 검사대상물의 사이즈가 작아 제조가 용이하고 검사가 수월한 데 반해, 수만 개 이상의 미세홀이 형성된 초대형 디퓨저 패널(10.5G 기준 최대 3500 × 3200 mm)과 같은 대상물을 검사할 수 있는 장치는 거의 찾아보기 어려운 실정이다.Large diffuser panels cannot be fully inspected with the naked eye, so there is a high demand for automatic inspection devices. Optical hole inspection devices have previously been proposed, but while these inspection devices are easy to manufacture and inspect due to the large size of the hole or the small size of the inspection object, they are used in ultra-large diffuser panels (10.5G standard) with tens of thousands of micro-holes or more. It is difficult to find a device that can inspect objects up to 3500 × 3200 mm).
이와 관련하여, 한국등록특허 제1988437호에는 플라즈마 에칭장치용 전극에 설치된 가스 도입 홀의 측정방법에 대한 기술이 일부 유사하게 기재되어 있으나, 가스 도입 홀의 형상, 측정 항목 등이 다를 뿐 아니라, 검사광학계가 복잡하며, 대면적의 검사대상물을 이송하면서 측정하는 구조적인 관점에 대해서는 전혀 제시하고 있지 않다.In relation to this, Korean Patent No. 1988437 describes some similar techniques for measuring the gas introduction hole installed in the electrode for the plasma etching device, but not only are the shape of the gas introduction hole and measurement items different, but the inspection optical system is different. It is complex, and does not provide any structural perspective on measuring while transporting a large-area inspection object.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 대면적 디퓨저 패널에 형성된 다수의 홀을 빠르고 정확하게 검사할 수 있도록 하는 것이다.The present invention was developed to solve the above problems, and the purpose of the present invention is to enable quick and accurate inspection of a number of holes formed in a large-area diffuser panel.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 상면과 하면을 관통하는 다수의 홀이 형성된 증착 공정용 디퓨저 패널을 검사하는 장치로서, 본체 프레임과, 상기 본체 프레임 상부에 설치되고, 검사대상 디퓨저 패널을 X축을 따라 이송하는 이송 스테이지와, 라인스캔 카메라가 Y축을 따라 이동가능하게 결합되는 갠트리 유닛과, 상기 이송 스테이지의 하부에 위치하고 백라이트가 상기 카메라와 동기되어 Y축을 따라 이동가능하게 결합되는 백라이트 이송 유닛과, 상기 라인스캔 카메라에서 촬영된 이미지를 분석하여 상기 디퓨저 패널의 표면을 검사하는 분석부를 포함하되, 상기 분석부는 1차적으로 홀 유무를 판단하고, 홀이 존재하는 것으로 판단되는 경우 2차적으로 홀 내면에 버가 존재하는지 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 디퓨저 패널 검사장치가 제공된다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, there is a device for inspecting a diffuser panel for a deposition process in which a plurality of holes penetrating the upper and lower surfaces are formed, and is installed on a main body frame and an upper part of the main body frame, A transfer stage that transfers the diffuser panel to be inspected along the It includes a combined backlight transfer unit and an analysis unit that analyzes the image captured by the line scan camera to inspect the surface of the diffuser panel, wherein the analysis unit primarily determines the presence or absence of a hole, and determines that a hole exists. In this case, a diffuser panel inspection device is provided that secondarily detects whether a burr exists on the inner surface of the hole.
여기서, 상기 분석부는 사용자로부터 입력되는 모드 선택신호에 기초하여 홀 유무만을 판단하는 제1 검사모드와, 상기 홀 유무와 버를 검출하는 제2 검사모드를 수행하는 것이 가능하다.Here, the analysis unit is capable of performing a first inspection mode that determines only the presence or absence of a hole based on a mode selection signal input from the user, and a second inspection mode that detects the presence of the hole and the burr.
그리고, 상기 갠트리 유닛에 Y축을 따라 이동가능하게 설치되는 리뷰 카메라 및 상기 리뷰 카메라의 하부에 설치되고, 디퓨저 패널 상면에 형성된 버의 검출시에만 구동되는 사이드 조명을 더 포함하고, 사이드 조명은 백라이트 조명보다 더 밝도록 설정되는 것이 바람직하다.And, it further includes a review camera movably installed on the gantry unit along the Y axis, and a side light installed below the review camera and driven only when a burr formed on the upper surface of the diffuser panel is detected, and the side light is a backlight illumination. It is desirable to set it to be brighter.
또한, 상기 분석부는 사전에 서로 다른 홀 규격을 갖는 디퓨저 패널들에 대하여 상기 백라이트에서 조사되는 빛의 색상을 가변시키면서 촬영된 이미지를 분석하여 이미지의 콘트라스트가 가장 높은 조명 색상을 결정하고, 상기 백라이트가 검사대상 디퓨저 패널의 홀 규격에 따라 결정된 조명 색상을 조사하도록 제어하는 것이 더욱 바람직하다.In addition, the analysis unit analyzes images taken while varying the color of light emitted from the backlight for diffuser panels having different hole specifications in advance to determine the lighting color with the highest contrast of the image, and determines the lighting color with the highest contrast of the backlight. It is more desirable to control the lighting color to be irradiated according to the hole size of the diffuser panel to be inspected.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 대면적 디퓨저 패널에 형성된 다수의 홀을 빠르고 정확하게 검사할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention as described above, there is an effect of quickly and accurately inspecting a plurality of holes formed in a large-area diffuser panel.
도 1은 화학기상 증착장비의 내부구조를 도시한 것이다.
도 2는 디퓨저 패널에 형성된 홀의 일례를 도시한 단면도이다.
도 3은 디퓨저 패널에 형성된 홀의 다양한 규격을 예시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 증착 공정용 디퓨저 패널 검사장치의 사시도이다.
도 5는 검사갠트리와 백라이트 이송 브릿지를 분리하여 도시한 것이다.
도 6은 리뷰 카메라와 사이드 조명을 분리하여 도시한 것이다.Figure 1 shows the internal structure of chemical vapor deposition equipment.
Figure 2 is a cross-sectional view showing an example of a hole formed in a diffuser panel.
Figure 3 illustrates various sizes of holes formed in the diffuser panel.
Figure 4 is a perspective view of a diffuser panel inspection device for a deposition process according to the present invention.
Figure 5 shows the inspection gantry and the backlight transfer bridge separated.
Figure 6 shows the review camera and side lights separated.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
도 2는 디퓨저 패널에 형성된 홀의 일례를 도시한 단면도이다. Figure 2 is a cross-sectional view showing an example of a hole formed in a diffuser panel.
통상적인 디퓨저 패널의 홀은 증착가스가 유입되는 도입부(131)와 도입부(131)보다 작은 직경으로 형성되는 가속부(132)와 가속부(132)보다 직경이 크고 하방으로 향할수록 직경이 증가하는 상협하광(上狹下廣)의 형상을 갖는 배출부(33)로 형성되어 유입된 증착가스를 고르게 하방으로 분사할 수 있도록 되어 있다.The hole of a typical diffuser panel has an introduction part 131 through which deposition gas flows and an acceleration part 132 formed with a smaller diameter than the introduction part 131. The hole is larger in diameter than the acceleration part 132, and the diameter increases as it goes downward. It is formed with a discharge portion 33 having an upper-lower-light shape so that the incoming deposition gas can be sprayed evenly downward.
도 3은 디퓨저 패널에 형성된 홀의 다양한 규격을 예시한 것으로서, 도 3에 도시된 것과 같이 대체적으로 도 2에 도시된 구조를 가지면서 개별 규격이 다른 형태와 도입부(131) 또는 가속부(132)가 생략된 구조를 갖는 형태 등 여러 형태의 규격으로 형성될 수 있다.Figure 3 illustrates various specifications of holes formed in the diffuser panel. As shown in Figure 3, it generally has the structure shown in Figure 2, but has different individual specifications and the introduction part 131 or the acceleration part 132. It can be formed in various types of specifications, such as those with omitted structures.
도 4는 본 발명에 따른 증착 공정용 디퓨저 패널 검사장치의 사시도, 도 5는 검사갠트리와 백라이트 이송 브릿지를 분리하여 도시한 것, 도 6은 리뷰 카메라와 사이드 조명을 분리하여 도시한 것이다.Figure 4 is a perspective view of the diffuser panel inspection device for the deposition process according to the present invention, Figure 5 shows the inspection gantry and backlight transfer bridge separated, and Figure 6 shows the review camera and side light separated.
도 4 ~ 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 증착 공정용 디퓨저 패널 검사장치는 본체 프레임(10), 이송 스테이지(20). 갠트리(30), 라인스캔 카메라(40), 리뷰 카메라(50), 백라이트 이송 유닛(60) 및 분석부(미 도시)를 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 4 to 6, the diffuser panel inspection device for the deposition process according to the present invention includes a main body frame 10 and a transfer stage 20. It consists of a gantry 30, a line scan camera 40, a review camera 50, a backlight transfer unit 60, and an analysis unit (not shown).
본체 프레임(10)은 장치 전체의 골격을 이루면서 후술하는 구성들을 안정적으로 지지하는 기능을 수행하는 것으로서, 최대하중 1.5톤을 지지할 수 있는 강성을 갖도록 제조된다.The main body frame 10 forms the framework of the entire device and performs the function of stably supporting the components described later, and is manufactured to have the rigidity to support a maximum load of 1.5 tons.
이송 스테이지(20)는 본체 프레임(10)의 상부에 설치되고, 검사 대상 디퓨저 패널을 X축을 따라 이송하는 기능을 수행하는 것으로서, 통상의 LM 가이드를 이용한 이송 구조가 사용될 수 있다.The transfer stage 20 is installed on the upper part of the main body frame 10 and performs the function of transferring the diffuser panel to be inspected along the X-axis, and a transfer structure using a conventional LM guide can be used.
갠트리(30)는 본체 프레임(10)의 상부 중앙 영역에 상기 본체 프레임(10)의 양측면을 가로지르도록 설치되고, 내부 또는 정면 일측에는 라인스캔 카메라(40)와 리뷰 카메라(50)를 Y축 방향으로 이송하기 위한 이송수단이 설치되어 있다. 이송수단 또한 통상의 LM 가이드를 이용한 이송 구조가 사용될 수 있다. The gantry 30 is installed in the upper central area of the main body frame 10 to cross both sides of the main body frame 10, and a line scan camera 40 and a review camera 50 are installed on the inside or on one side of the front along the Y axis. A transport means is installed for transport in this direction. The transfer means may also be a transfer structure using a typical LM guide.
라인스캔 카메라(40)는 이송 스테이지(20)에 안착된 디퓨저 패널을 검사하기 위한 이미지 센서의 일종이다. 라인스캔 카메라(40)는 에이리어 카메라에 비해 검사속도가 빨라 대형 디퓨저 패널의 검사에 효과적이고 1대의 카메라로도 매우 빠른 속도로 홀 검사가 이루어질 수 있는 장점이 있다.The line scan camera 40 is a type of image sensor for inspecting the diffuser panel mounted on the transfer stage 20. The line scan camera 40 has a faster inspection speed than an area camera, so it is effective in inspecting large diffuser panels and has the advantage of being able to inspect holes at a very high speed even with a single camera.
리뷰 카메라(50)는 라인스캔 카메라(40)를 이용하여 1차 검사를 통해 결함 또는 불량이 검출된 것으로 판단되는 경우 2차적으로 재검사를 수행하는 이미지 센서로서, 리뷰 카메라(50)가 촬영된 영상을 디스플레이 장치에 표시하여 검사자가 불량 여부를 최종적으로 검사하는 형태 또는 리뷰 카메라(50)가 촬영된 영상에 대한 영상 분석을 통한 최종 불량을 판단하는 형태 모두 가능하다. The review camera 50 is an image sensor that performs a second re-inspection when it is determined that a defect or defect has been detected through the first inspection using the line scan camera 40, and the image captured by the review camera 50 is It is possible to display on the display device and allow the inspector to finally check for defects, or in a form where the review camera 50 determines the final defect through image analysis of the captured image.
백라이트 이송 유닛(60)은 이송 스테이지(20)의 하부에서 갠트리(30)와 평행하게 설치되고, 백라이트 이송 레일(61)을 통해 백라이트(70)가 라인스캔 카메라(40)와 동기되어 Y축을 따라 이동가능하게 결합한다. The backlight transfer unit 60 is installed parallel to the gantry 30 at the lower part of the transfer stage 20, and the backlight 70 is synchronized with the line scan camera 40 through the backlight transfer rail 61 and moves along the Y axis. Combined so that it can be moved.
백라이트(70)는 다수의 RGB LED가 탑재된 형태로서, 백색광 또는 미리 설정된 형태의 색상의 광원을 제공한다. The backlight 70 is equipped with a plurality of RGB LEDs and provides white light or a light source of a preset color.
분석부는 라인스캔 카메라(40)와 리뷰 카메라(50)에서 촬영된 이미지를 분석하여 디퓨저 패널의 표면, 보다 상세하게는 미세홀의 가공누락 여부와 미세홀의 에지부 버의 존재 여부를 검사한다. 본 발명에서 디퓨저 패널의 검사 항목은 홀(hole)과 버(burr)일 수 있다.The analysis unit analyzes the images taken by the line scan camera 40 and the review camera 50 to inspect the surface of the diffuser panel, more specifically, whether there is missing processing of the micro holes and the presence of burrs at the edge of the micro holes. In the present invention, inspection items of the diffuser panel may include holes and burrs.
디퓨저 패널의 용도 또는 홀(hole)의 규격에 따라 홀(hole)과 버(burr) 중 어느 하나만을 검사하는 것도 가능하다. Depending on the purpose of the diffuser panel or the size of the hole, it is also possible to inspect either the hole or the burr.
이를 위해, 분석부는 1차적으로 홀 유무를 판단하고, 홀이 존재하는 것으로 판단되는 경우에만 2차적으로 홀 내면에 버가 존재하는지 여부를 검출하도록 할 수 있다. 그리고, 홀 검사에서는 홀 내면의 품질(내벽면 거칠기, 수직정도)을 검사하지 않고 홀 유무만을 검사하여 검사 속도를 향상시킬 수 있다. To this end, the analysis unit may primarily determine whether a hole exists, and secondarily detect whether a burr exists on the inner surface of the hole only when it is determined that a hole exists. In addition, in hole inspection, inspection speed can be improved by only inspecting the presence or absence of a hole without inspecting the quality of the inner surface of the hole (inner wall surface roughness, verticality).
다른 실시예에서, 분석부는 홀 유무만을 판단하는 제1 검사모드와, 홀 유무와 버를 검출하는 제2 검사모드의 2개의 검사모드를 갖고, 사용자로부터 입력되는 모드 선택신호에 기초하여 제1 검사모드 또는 제2 검사모드에서 검사를 수행한다. 제1 검사모드에서만 검사가 이루어지는 경우에는 홀 유무만을 검사하므로 다수의 홀이 형성된 대면적 디퓨저 패널도 매우 짧은 시간에 전수 검사가 가능하게 된다. In another embodiment, the analysis unit has two inspection modes, a first inspection mode that determines only the presence or absence of a hole, and a second inspection mode that detects the presence or absence of a hole and a burr, and performs the first inspection based on a mode selection signal input from the user. Perform the inspection in mode or second inspection mode. When the inspection is performed only in the first inspection mode, only the presence or absence of holes is inspected, so even large-area diffuser panels with multiple holes can be fully inspected in a very short time.
도 6을 참조하면, 리뷰 카메라(50)의 하부에는 하방으로 일정 경사각을 이루도록 조명광을 조사하는 사이드 조명(80)이 설치된다. Referring to FIG. 6, a side light 80 is installed below the review camera 50 to irradiate illumination light at a certain inclination angle downward.
본 발명에서 홀 유무 검사에서는 백라이트(70)만 조사할 때, 홀 형상이 더 선명하게 획득되므로 사이드 조명(80)이 사용되지 않고 버를 검사할 때만 사이드 조명(80)이 구동되도록 하는 것이 바람직하다.In the present invention, when only the backlight 70 is illuminated in the hole presence inspection, the hole shape is obtained more clearly, so it is preferable that the side light 80 is not used and the side light 80 is driven only when inspecting the burr. .
통상적으로 홀 내면에 형성되는 버는 백라이트(70)가 조사되는 상태에서 버 발생 부분이 어둡게 나타나므로 검출이 용이하나, 버가 디퓨저 패널의 상면부에 위치하는 경우에는 버가 디퓨저 패널의 상면부와 같이 매우 어둡게 보여 버 판별이 어려울 수 있다. Typically, burrs formed on the inner surface of the hole are easy to detect because the burr generation area appears dark when the backlight 70 is illuminated, but when the burr is located on the upper surface of the diffuser panel, the burr is similar to the upper surface of the diffuser panel. It may look very dark and difficult to identify.
따라서, 버를 검출하기 위해 백라이트(70)를 소등하고, 사이드 조명(80)만을 구동하면 디퓨저 패널의 상면부에서는 전반사가 일어나는데 반해, 버에서는 난반사가 일어나 버가 상대적으로 밝게 나타나므로 버 검출이 용이할 수 있다.Therefore, in order to detect the burr, if the backlight 70 is turned off and only the side lights 80 are driven, total reflection occurs on the upper surface of the diffuser panel, but diffuse reflection occurs in the burr, making the burr appear relatively bright, making burr detection easy. can do.
그리고, 홀 검사와 버 검사를 동시에 구현하기 위해, 사이드 조명(80)의 밝기를 백라이트(70)보다 밝게 유지한 상태에서, 홀 검사와 버 검사를 수행하는 것도 가능하다. 이 경우, 백라이트(70)의 조명을 통해 홀 유무와 홀 내면에 형성된 버를 검출하고, 밝은 사이드 조명(80)을 통해 디퓨저 패널 표면의 버를 검출할 수 있다. 이 경우, 사이드 조명(80)의 밝기는 백라이트 조명 밝기의 3배 이상인 것이 바람직하다.Additionally, in order to simultaneously implement the hole test and the burr test, it is possible to perform the hole test and the burr test while maintaining the brightness of the side light 80 brighter than the backlight 70. In this case, the presence of a hole and burrs formed on the inner surface of the hole can be detected through illumination of the backlight 70, and burrs on the surface of the diffuser panel can be detected through bright side lighting 80. In this case, the brightness of the side light 80 is preferably three times or more than the brightness of the backlight.
한편, 도 3에서 설명한 바와 같이, 디퓨저 패널은 제조사 및 적용 공정에 따라 다양한 형태를 가지며, 본 발명자는 동일한 백라이트 조명에서 홀 규격에 따라 촬영 영상의 홀 이미지의 콘트라스트가 다른 것을 발견하였다. Meanwhile, as described in FIG. 3, the diffuser panel has various shapes depending on the manufacturer and application process, and the present inventor found that the contrast of the hole image of the captured image is different depending on the hole standard under the same backlight illumination.
이에, 백라이트에서 조사되는 빛을 가변시키면서 촬영된 이미지들을 분석한 결과 특정 규격의 홀 형상의 이미지 취득에 적합한 파장대역이 조금씩 다른 것을 알게 되었다.Accordingly, as a result of analyzing images taken while varying the light emitted from the backlight, it was found that the wavelength band suitable for acquiring images of a hole shape of a specific standard is slightly different.
따라서, 분석부는 사전에 서로 다른 홀 규격을 갖는 디퓨저 패널들에 대하여 백라이트에서 조사되는 빛의 색상을 가변시키면서 촬영된 이미지를 분석하여 이미지의 콘트라스트가 가장 높은 조명 색상을 결정하고, 상기 백라이트가 검사대상 디퓨저 패널의 홀 규에 따라 결정된 조명 색상을 조사하도록 제어하는 것을 통해 검사 속도 및 정확도를 높일 수 있게 된다. Therefore, the analysis unit analyzes images taken while varying the color of light emitted from the backlight for diffuser panels with different hole specifications in advance to determine the lighting color with the highest contrast in the image, and the backlight is the inspection target. Inspection speed and accuracy can be increased by controlling the lighting color determined according to the hole size of the diffuser panel.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the scope of the appended claims will include such modifications or variations as fall within the gist of the present invention.
10 : 본체 프레임 20 : 이송 스테이지
30 : 갠트리 40 : 라인스캔 카메라
50 :리뷰 카메라 60 : 백라이드 이송유닛
70 : 백라이트 80 : 사이드 조명10: main body frame 20: transfer stage
30: Gantry 40: Line scan camera
50: Review camera 60: Back ride transfer unit
70: Backlight 80: Side light
Claims (5)
본체 프레임과;
상기 본체 프레임 상부에 설치되고, 검사대상 디퓨저 패널을 X축을 따라 이송하는 이송 스테이지와;
라인스캔 카메라가 Y축을 따라 이동가능하게 결합되는 갠트리 유닛과;
상기 이송 스테이지의 하부에 위치하고 백라이트가 상기 카메라와 동기되어 Y축을 따라 이동가능하게 결합되는 백라이트 이송 유닛과;
상기 라인스캔 카메라에서 촬영된 이미지를 분석하여 상기 디퓨저 패널의 표면을 검사하는 분석부를 포함하되,
상기 분석부는 1차적으로 홀 유무를 판단하고, 홀이 존재하는 것으로 판단되는 경우 2차적으로 홀 내면에 버가 존재하는지 여부를 검출하고, 사용자로부터 입력되는 모드 선택신호에 기초하여 홀 유무만을 판단하는 제1 검사모드와 상기 홀 유무와 버를 검출하는 제2 검사모드를 수행하며, 사전에 서로 다른 홀 규격을 갖는 디퓨저 패널들에 대하여 상기 백라이트에서 조사되는 빛의 색상을 가변시키면서 촬영된 이미지를 분석하여 이미지의 콘트라스트가 가장 높은 조명 색상을 결정하고, 상기 백라이트가 검사대상 디퓨저 패널의 홀 규격에 따라 결정된 조명 색상을 조사하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 디퓨저 패널 검사장치.A device for inspecting a diffuser panel for a deposition process in which a plurality of holes penetrating the upper and lower surfaces are formed,
a body frame;
a transfer stage installed on the upper part of the main body frame and transferring the diffuser panel to be inspected along the X-axis;
A gantry unit to which a line scan camera is movably coupled along the Y axis;
a backlight transfer unit located below the transfer stage and having a backlight movable along the Y axis in synchronization with the camera;
It includes an analysis unit that analyzes the image captured by the line scan camera and inspects the surface of the diffuser panel,
The analysis unit primarily determines the presence or absence of a hole, and if it is determined that a hole exists, secondarily detects whether a burr exists on the inner surface of the hole, and determines only the presence or absence of a hole based on the mode selection signal input from the user. Perform a first inspection mode and a second inspection mode to detect the presence of holes and burrs, and analyze images taken by changing the color of light emitted from the backlight for diffuser panels with different hole specifications in advance. A diffuser panel inspection device characterized in that the lighting color with the highest contrast of the image is determined, and the backlight is controlled to emit the lighting color determined according to the hole standard of the diffuser panel to be inspected.
상기 갠트리 유닛에 Y축을 따라 이동가능하게 설치되는 리뷰 카메라; 및
상기 리뷰 카메라의 하부에 설치되고, 디퓨저 패널 상면에 형성된 버의 검출시에만 구동되는 사이드 조명을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디퓨저 패널 검사장치.
According to claim 1,
a review camera movably installed on the gantry unit along the Y axis; and
A diffuser panel inspection device installed below the review camera and further comprising a side light that is driven only when a burr formed on the upper surface of the diffuser panel is detected.
상기 사이드 조명은 백라이트 조명보다 더 밝도록 설정되는 것을 특징으로 하는 디퓨저 패널 검사장치.
According to paragraph 3,
A diffuser panel inspection device, characterized in that the side lighting is set to be brighter than the backlight lighting.
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