KR102671374B1 - 유체 이송용 커넥터 - Google Patents

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Abstract

유체 유로가 형성된 플러그 본체(3A)를 갖는 플러그와, 플러그가 접속되었을 때에 유체 유로에 연통하는 유체 유로가 형성된 소켓 본체(13)를 갖는 소켓과, 소켓 본체(13)에 설치되고, 접속 시에 플러그 본체(3A)의 선단이 삽입되어 수용되는 플러그 본체 수용부(13b)와, 플러그 본체 수용부(13b)에 설치되고, 소켓 본체(13)에 삽입된 플러그 본체(3A)의 외주를 밀봉하는 오링(64)과, 오링(64)에 대하여 플러그 본체(3A)의 선단과는 반대측의 위치에서 플러그 본체 수용부(13b) 내에 세정액을 공급하는 세정액 공급 구멍(60)을 포함하고 있다.

Description

유체 이송용 커넥터{FLUID TRANSFER CONNECTOR}
본 발명은, 예를 들면, 반도체 제조 장치에 사용되는 약액이나 가스를 이송하기 위한 유체 이송용 커넥터에 관한 것이다.
예를 들어, 특허문헌 1에 나타난 바와 같이, 반도체 제조 장치에 사용하는 유체(약액이나 가스)를 이송하기 위해 유체 이송용 커넥터가 사용된다. 유체 이송용 커넥터는, 예를 들면, 유체를 일시적으로 저장하는 버퍼 탱크가 설치된 건축물 측에 고정 설치된 소켓과, 탱크로리로부터 유도된 호스의 선단에 고정된 플러그를 구비하고 있다. 소켓에 플러그를 접속함으로써, 탱크로리로부터 버퍼 탱크로 유체가 이송된다.
상기 문헌에 기재되어 있는 바와 같이, 플러그를 소켓 측의 삽입구에 끼워넣어 고정시킨 후에, 플러그의 선단 및 소켓 본체의 선단의 세정을 실시한다. 그 후, 소켓 본체가 플러그 측으로 진출함으로써 플러그 선단의 밸브체와 소켓 본체 선단의 밸브체를 맞닿게 함과 동시에, 각각의 밸브체를 서로 퇴피(退避)시킴으로써 유로를 형성하여, 유체의 이송을 행한다.
[특허문헌 1] 일본 특허 제5046958호 공보 (도1)
상기 문헌에서는, 상기 문헌의 도 1에 나타나 있는 바와 같이, 플러그와 소켓을 접속하여 유로를 형성하기 전에 세정실(25a)을 세정하도록 되어 있다. 구체적으로, 세정실(25a)의 내면에 개구하는 분사구(46)로부터 세정액을 세정실(25a) 내에 분사하고, 배출 구멍(50)으로부터 세정액을 배출한다.
그러나, 상기 문헌에 나타난 분사구(46)는 플러그를 밀봉하는 밀봉부(47)보다 소켓 측에 위치하고 있다. 따라서, 플러그와 소켓이 접속되어 유로가 형성된 후에, 어떤 결함에 의해 세정액이 분사구(46)로부터 세정실(25a) 내로 유도된 경우에는, 약액 (유체)에 세정액이 혼입되어 약액을 오염시켜 버리는 문제가 있다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 세정액이 유체에 혼입되는 것을 방지할 수 있는 유체 이송용 커넥터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 태양(態樣)에 따른 유체 이송용 커넥터는, 유체 유로가 형성된 플러그 본체를 갖는 플러그와, 상기 플러그가 접속되었을 때에 상기 유체 유로에 연통되는 유체 유로가 형성된 소켓 본체를 갖는 소켓과, 상기 소켓 본체에 설치되고, 접속 시에 상기 플러그 본체의 선단이 삽입되어 수용되는 플러그 본체 수용부와, 상기 플러그 본체 수용부에 설치되고, 상기 소켓 본체에 삽입된 상기 플러그 본체의 외주를 밀봉하는 밀봉 부재와, 상기 밀봉 부재에 대하여 상기 플러그 본체의 선단과는 반대측의 위치에서 상기 플러그 본체 수용부 내에 세정액을 공급하는 세정액 공급 구멍을 포함하고 있다.
플러그와 소켓이 접속됨으로써 유체 유로가 형성되어 유체가 유체 이송용 커넥터를 통해 유통한다. 이 때, 플러그 본체 수용부에 설치된 밀봉 부재에 의해 플러그의 외주가 밀봉되어 유체의 누출을 방지한다.
플러그 본체와 소켓 본체를 세정할 때에는, 플러그 본체 수용부 내에 세정액 공급 구멍으로부터 세정액을 공급함으로써 행한다.
세정액 공급 구멍은 밀봉 부재에 대하여 플러그 본체의 선단부와는 반대측의 위치에 설치되어 있으므로, 플러그 본체와 소켓 본체를 접속시켜 유체를 이송하고 있을 때에도, 어떤 고장에 의해 세정액이 세정액 공급 구멍으로부터 유출되더라도, 밀봉 부재에 의해 플러그 본체의 선단과 분리되어 있으므로, 세정액이 플러그 본체의 선단 측으로 유도되어 이송되는 유체에 혼입되는 일이 없다.
또한, 본 발명의 일 태양에 따른 유체 이송용 커넥터에 의하면, 상기 세정액 공급 구멍은 상기 플러그 본체의 선단 측으로 경사진 방향으로 설치되어 있다.
세정액 공급 구멍을 플러그 본체의 선단 측으로 경사진 방향을 향해 설치하였으므로, 세정액 공급 구멍으로부터 분사된 세정액은 플러그 본체의 선단 측을 향해 흐른다. 따라서, 세정 시에는, 세정액을 플러그 본체의 선단 측으로 유도할 수 있어, 보다 효과적으로 세정을 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 태양에 따른 유체 이송용 커넥터에 의하면, 상기 세정액 공급 구멍과는 별개로, 상기 플러그 본체 수용부 내에 가스를 공급하는 가스 공급 구멍을 포함하고 있다.
세정액 공급 구멍과는 별개로, 플러그 본체 수용부 내에 가스를 공급하는 가스 공급 구멍을 설치하였으므로, 세정액이 공급된 위치와는 상이한 위치로부터 가스를 분사할 수 있다. 이에 의해, 보다 효과적으로 플러그 본체 수용부 내를 퍼지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 태양에 따른 유체 이송용 커넥터에 의하면, 상기 가스 공급 구멍은 상기 밀봉 부재에 대하여 상기 플러그 본체의 선단 측의 위치에 설치되어 있다.
밀봉 부재에 대하여 플러그 본체의 선단 측에 가스 공급 구멍을 설치하였다. 이에 의해, 밀봉 부재를 사이에 두고, 가스 공급 구멍과 세정액 공급 구멍을 배분하여 설치할 수 있어, 좁은 공간에도 효율적으로 배치할 수 있다.
세정액 공급 구멍은 밀봉 부재에 대하여 플러그 본체의 선단부와는 반대측의 위치에 설치되어 있으므로, 세정액이 이송되고 있는 유체에 혼입되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 유체 이송용 커넥터를 나타낸 사시도이다.
도 2는 소켓을 나타낸 종단면도이다.
도 3a는 실린더의 초기 위치를 나타낸 종단면도이다.
도 3b는 실린더의 제1 전진 위치를 나타낸 종단면도이다.
도 3c는 실린더의 제2 전진 위치를 나타낸 종단면도이다.
도 4는 덮개부를 폐쇄한 상태의 소켓을 나타낸 사시도이다.
도 5a는 슬리브가 로킹 볼의 이동을 규제한 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 5b는 슬리브가 로킹 볼의 이동을 해제한 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 6은 플러그의 키 플레이트를 회동시킨 상태를 나타낸 사시도이다.
도 7은 플러그를 나타낸 종단면도이다.
도 8은 도 6의 플러그에 설치한 키의 위치를 나타낸 정면도이다.
도 9a는 제1 전진 위치에 있어서의 플러그 본체 수용부의 주위를 확대하여 나타낸 종단면도이다.
도 9b는 제2 전진 위치에 있어서 플러그 본체 수용부의 주위를 확대하여 나타낸 종단면도이다.
도 10a는 도 9a에 대하여 세정액의 흐름을 나타낸 종단면도이다.
도 10b는 도 9b에 대하여 세정액의 흐름을 나타낸 종단면도이다.
도 11은 플러그의 선단을 소켓의 삽입구에 삽입한 상태를 나타낸 사시도이다.
도 12는 플러그의 키와 소켓의 키홈을 합치시킨 상태를 나타낸 사시도이다.
도 13은 플러그를 제1 전진 위치로 변위시켜, 전(前) 세정 공정을 행하고 있는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 14는 도 11의 제1 전진 위치의 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 15는 플러그를 제2 전진 위치까지 변위시켜, 유체 이송 공정을 행하고 있는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 16은 도 13의 제2 전진 위치의 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 17은 플러그를 제1 전진 위치로 변위시켜, 후 세정 공정을 행하고 있는 상태를 나타낸 사시도이다.
이하에서, 본 발명에 따른 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에는, 본 실시형태에 따른 플러그(3)와 소켓(5)이 나타나 있다. 플러그(3) 및 소켓(5)은 유체 이송용 커넥터(1)로 사용된다. 사용되는 유체로서는, 예를 들면, 반도체 제조 장치에 사용되는 약액이나 가스이다.
소켓(5)은 건축물의 벽부에 고정되어 있고, 후단에 배관(6)의 일단이 접속되어 있다. 배관(6)의 타단은 건축물 내에 설치된 버퍼 탱크(미도시)에 접속되어 있다. 소켓(5)은 전단(도 1에서 좌단)에 플러그(3)을 받아들이는 삽입구(8)를 구비하고 있다. 삽입구(8)는 원통형의 삽입 통체(플러그 본체 유지부)(10)의 내부에 형성되어 있다. 삽입 통체(10)의 선단에는, 일부가 절취되어 형성된 복수의 키홈(11)이 설치되어 있다. 키홈(11)은 삽입 통체(10)의 원주 방향으로 소정의 간격을 두고 복수 설치되어 있다. 연직 상방에 위치하는 키홈(11)은 메인 키홈(11a)으로 되어 있으며, 다른 키홈(11)보다 원주 방향의 폭이 큰 홈으로 되어 있다.
삽입 통체(10)는 원주 방향으로 이격되어 배치된 복수의 로킹 볼(9)(도 5a 등 참조)을 유지하고 있다. 각 로킹 볼(9)은 플러그(3)와 소켓(5)을 고정할 때에 사용된다.
삽입 통체(10)의 후방(도 1에서 우측)에는, 소켓 본체(13)가 설치되어 있다. 소켓 본체(13)는 수평 방향으로 중심 축선을 갖는 원통 형상으로 되어 있으며, 내부에 유로의 개폐를 행하는 밸브체(13a)(도 5a 등 참조)를 구비하고 있다. 소켓 본체(13)의 전후에는, 전방측 고정판(15)과 후방측 고정판(16)이 고정되어 있다. 양 고정판(15, 16)은 연직 방향으로 세워 설치된 직사각형의 판상체(板狀體)로 되어 있다. 양 고정판(15, 16)의 하방에는, 설치면에 대하여 고정하기 위한 다리부(17)가 설치되어 있다. 양 고정판(15, 16)의 네 모서리를 관통하도록 4 개의 지지 축체(18)가 수평 방향으로 연장되어 설치되어 있다.
각 지지 축체(18)의 전단 및 후단은 전방측 지지판(20)과 후방측 지지판(21)에 고정되어 있다. 양 지지판(20, 21)은 연직 방향으로 세워 설치된 직사각형의 판상체로 되어 있다. 전방측 지지판(20)은 전술한 삽입 통체(10)를 지지하고 있다.
각 지지 축체(18)에는, 실린더(23)가 부착되어 있다. 각 실린더(23)는 전방측 고정판(15)과 후방측 고정판(16) 사이에 고정되어 있다. 각 실린더(23)에는, 공기 공급 배관(24)이 접속되어 있으며, 공기 공급 배관(24)으로부터 공급된 공기압에 의해 지지 축체(18)가 실린더(23)에 대하여 축선 방향으로 왕복 이동하도록 되어 있다. 이에 의해, 소켓 본체(13)에 대하여, 전방측 지지판(20)에 지지된 삽입 통체(10)가 접근 및 이격되도록 되어 있다.
상방의 한쪽의 제1 지지 축체(18a)에는, 덮개부(27)가 설치되어 있다. 구체적으로, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 지지 축체(18a)의 중심 축선 상을 따라 관통하도록 내부에 덮개부 구동용 축체(18a1)가 설치되어 있다. 도 2는 소켓 본체(13)를 제거한 상태의 소켓(5)을 나타내고 있고, 제1 지지 축체(18a)를 연직면으로 절단한 종단면도로 되어 있다.
실린더(23)는 전방측 고정판(15)으로부터 후방측 고정판(16)을 향해 제1 통부(23a), 제2 통부(23b), 제3 통부(23c) 및 제4 통부(23d)를 구비하고 있다. 각 통부(23a, 23b, 23c, 23d)는 서로 공통의 축선을 갖고 직렬로, 또한 오링(O-ring)을 통해 액밀(液密)하게 접속되어 있다.
제2 통부(23b)와 제3 통부(23c)의 내주 측에는 밀폐 공간(S)이 형성되어 있다. 이 밀폐 공간(S) 내에 대하여, 공기 공급 배관(24)을 통해 공기가 공급 및 배출되도록 되어 있다. 밀폐 공간(S) 내에는, 피스톤(25)이 배치되어 있다. 피스톤(25)은 제3 통부(23c)의 내주 및 덮개부 구동용 축체(18a1)의 외주에 대하여 기밀(氣密)하게 감합(嵌合)되어 있고, 밀폐 공간(S) 내를 축선 방향으로 왕복 이동한다.
피스톤(25)의 전방 측(도 2에서 좌측)에는, 밀폐 공간(S)을 구획하는 칸막이 링(26)이 설치되어 있다. 칸막이 링(26)은 제1 지지 축체(18a)에 대하여 고정되어 있으며, 제2 통부(23b)의 내주에 대하여 기밀하게 감합되어 있다. 이에 의해, 칸막이 링(26)은 밀폐 공간(S)을 칸막이 링(26)보다 전방 측(좌측)의 제1 공간(S1)과, 칸막이 링(26)보다 후방 측(우측)의 제2 공간(S2)으로 구획하도록 되어 있다. 또한, 도 2의 상태에서는, 칸막이 링(26)이 가장 전방 측(좌측)에 위치하고 있으며, 제1 공간(S1)의 부피가 대략 제로가 되고 있다. 피스톤(25)의 후방 측(우측)에는, 제3 공간(S3)이 형성되어 있다. 이와 같이, 밀폐 공간(S)은 칸막이 링(26) 및 피스톤(25)에 의해 제1 공간(S1), 제2 공간(S2) 및 제3 공간(S3)으로 구획되어 있다.
피스톤(25)은 전방 측의 소경부(小徑部)(25a)와 후방 측의 대경부(大徑部)(25b)를 구비하고 있다. 이에 의해, 피스톤(25)의 전방측 단면(端面)의 면적은 후방측 단면의 단면적보다 작게 되어 있다. 따라서, 제2 공간(S2)과 제3 공간(S3)에 동등한 압력의 공기가 공급되면, 후방측 단면에 가해지는 힘이 전방측 단면에 가해지는 힘보다 커지므로, 피스톤(25)은 밀폐 공간(S) 내를 전방 측(좌측)으로 변위하게 된다.
공기 공급 배관(24)은 전방 측으로부터 후방 측을 향해 제1 배관(24a), 제2 배관(24b), 제3 배관(24c) 및 제4 배관(24d)을 구비하고 있다. 제1 배관(24a)은 제1 공간(S1)에 대하여 공기를 공급하고, 또한 배기한다. 제2 배관(24b)은 제2 공간(S2) 중 피스톤(25)의 소경부(25a)가 왕복 이동하는 소경(小徑)으로 된 공간에 대하여 공기를 공급하고, 또한 배기한다. 제3 배관(24c)은 제2 공간(S2) 중 피스톤(25)의 대경부(25b)가 왕복 이동하는 대경(大徑)으로 된 공간에 대하여 공기를 공급하고, 또한 배기한다. 제4 배관(24d)은 제3 공간(S3)에 대하여 공기를 공급하고, 또한 배기한다. 각 배관(24a, 24b, 24c, 24d)에 급배기(給排氣)하는 타이밍은 제어부에 의해 제어된다.
상술한 실린더(23), 피스톤(25), 칸막이 링(26) 등에 의해 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13) 사이의 거리를 조정하는 구동기구가 구성된다.
다른 지지 축체인 제2 지지 축체(18b), 제3 지지 축체(18c) 및 제4 지지 축체(18d)에도 제1 지지 축체(18a)와 동일한 실린더(23)나 피스톤(25), 칸막이 링(26) 등이 설치되어 있다. 또한, 4 개의 각 실린더(23)에 접속되는 공기 공급 배관(24)의 길이는 각각이 동일한 길이 및 직경으로 되어 있다. 이에 의해, 4 개의 각 실린더(23)에 설치된 피스톤(25)을 정확하게 동기(同期)하여 구동할 수 있도록 되어 있다.
도 3a 내지 도 3c에는, 공기 공급 배관(24)으로부터의 급배기에 의해 실린더(23)를 작동시킨 각 상태가 나타나 있다. 도 3a는 실린더(23)가 가장 후방측 지지판(21)에 접근한 상태, 즉, 플러그 본체(3A)에 대하여 소켓 본체(13)가 가장 이격된 상태인 초기 위치(P0)를 나타내고, 도 3b는 초기 위치(P0)보다 전방측 지지판(20)으로 전진한 중간 위치가 되는 제1 전진 위치(P1)를 나타내고, 도 3c는 가장 전방측 지지판(20)에 접근한 상태, 즉, 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)가 접속되는 상태인 제2 전진 위치(P2)를 나타낸다.
도 3a 내지 도 3c에 나타나 있는 바와 같이, 실린더(23)에는, 전방 측(도면에서 좌측)으로부터 후방 측(도면에서 우측)을 향해, 제1 위치 센서(28a), 제2 위치 센서(28b) 및 제3 위치 센서(28c)가 순서대로 고정되어 있다. 각 위치 센서(28a, 28b, 28c)는 투광 소자(예를 들면, LED)와 수광 소자가 쌍으로 되어 있다. 각 위치 센서(28a, 28b, 28c)의 출력은 제어부로 송신된다.
각 위치 센서(28a, 28b, 28c)는 "コ"자 형상의 단면을 갖고 있으며, 이 "コ"자 형상 사이에 끼인 간극을 센서용 플레이트(31)가 통과하도록 되어 있다. 센서용 플레이트(31)는 후방측 지지판(21)에 고정된 로드(36)에 대하여 고정되어 있다. "コ"자 형상 사이에 끼인 간극을 센서용 플레이트(31)가 통과할 때에, 위치 센서(28a, 28b, 28c)가 센서용 플레이트(31)에 형성된 노치(31a)를 광학적으로 검출함으로써, 센서용 플레이트(31)가 고정된 후방측 지지판(21)에 대한 실린더(23)의 상대 위치가 검출되도록 되어 있다. 즉, 위치 센서(28a, 28b, 28c)에 의해, 플러그(3)에 대한 소켓 본체(13)의 상대 위치가 검출되도록 되어 있다.
도 3a에 나타낸 초기 위치(P0)는 제3 공간(S3)에 대하여 공기 공급 배관(24)의 제4 배관(24d)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되어 가압되고 있으며, 피스톤(25)이 이 도면에서 좌측으로 편향되어 있다. 또한, 제2 공간(S2)에도 제2 배관(24b)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되어 가압되고 있으며, 칸막이 링(26)이 이 도면에서 좌측으로 편향되어 있다. 피스톤(25)의 대경부(25b)와 소경부(25a)의 면적비에 의해, 제2 공간(S2)과 제3 공간(S3)에 동일한 압력의 공기가 공급되고 있어도, 피스톤(25)은 좌측으로 편향된 상태로 있다.
이 때, 센서용 플레이트(31)의 노치(31a)가 제1 위치 센서(28a)에 위치하고 있다. 이에 의해, 제어부는 초기 위치(P0)라고 판단한다.
도 3b에 나타낸 제1 전진 위치(P1)에서는, 제2 공간(S2)으로부터 제2 배관(24b)(도 2 참조)을 통해 공기를 배기함과 동시에, 제1 공간(S1)에 제1 배관(24a)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되어 가압되고 있어서, 칸막이 링(26)이 우측으로 편향된다. 또한, 제3 공간(S3)은 제4 배관(24d)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되어 가압되고 있다. 이에 의해, 칸막이 링(26)과 함께 지지 축체(18)가 실린더(23)에 대하여 우측으로 변위한다.
이 때, 센서용 플레이트(31)의 노치(31a)가 제2 위치 센서(28b)에 위치하고 있다. 이에 의해, 제어부는 제1 전진 위치(P1)라고 판단한다.
도 3c에 나타낸 제2 전진 위치(P2)에서는, 제3 공간(S3)으로부터 제4 배관(24d)(도 2 참조)을 통해 공기를 배기함과 동시에, 제1 공간(S1)에 제1 배관(24a)(도 2 참조)을 통해 공기가 공급되어 가압되고, 또한 제3 배관(24c)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급됨으로써, 피스톤(25) 및 칸막이 링(26)이 우측으로 편향된다. 이에 의해, 칸막이 링(26)과 함께 지지 축체(18)가 실린더(23)에 대하여 더욱 우측으로 변위한다.
이 때, 센서용 플레이트(31)의 노치(31a)가 제3 위치 센서(28c)에 위치하고 있다. 이에 의해, 제어부는 제2 전진 위치(P2)라고 판단한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 덮개부 구동용 축체(18a1)의 선단에 덮개부(27)가 고정되어 있다. 덮개부 구동용 축체(18a1)는 제1 지지 축체(18a)의 후단에 설치된 제1 액추에이터(29a)에 의해 전후 방향(축선 방향)으로의 왕복 동작과, 축선 주위의 회전 동작이 행해지도록 되어 있다. 제1 액추에이터(29a)의 동작은 도시하지 않은 제어부에 의해 행해진다.
덮개부(27)는 유체 이송용 커넥터(1)가 미사용 상태에서 플러그(3)가 소켓(5)으로부터 분리되어 있을 때에 삽입구(8)를 막기 위해 사용된다. 도 4에는, 덮개부(27)를 폐쇄한 상태가 나타나 있다. 덮개부(27)가 삽입구(8)를 막음으로써 유체의 오염이 방지될 뿐만 아니라, 비사용 시에 덮개부(27)로 삽입구(8)를 막음으로써 덮개부(27)로부터 소켓 본체(13) 내의 밸브체까지의 유로의 오염을 방지할 수 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상방의 다른쪽의 제2 지지 축체(18b)와, 제2 지지 축체(18b)에 대하여 삽입 통체(10)를 사이에 두고 대각선 상에 위치하는 제3 지지 축체(18c)에는, 슬리브 구동판(19)이 부착되어 있다. 구체적으로, 제2 지지 축체(18b)의 중심 축선 상을 따라 관통하도록 설치된 슬리브 구동판용 축체(18b1)의 선단과, 제3 지지 축체(18c)의 중심 축선 상을 따라 관통하도록 설치된 슬리브 구동판용 축체(18c1)의 선단에, 슬리브 구동판(19)이 고정되어 있다. 각 슬리브 구동판용 축체(18b1, 18c1)는 각 지지 축체(18b, 18c)의 후단에 설치된 제2 액츄에이터(29b) 및 제3 액츄에이터(29c)에 의해 전후 방향(축선 방향)으로 왕복 이동되도록 되어 있다. 액츄에이터(29b, 29c)의 동작은 도시하지 않은 제어부에 의해 행해진다.
슬리브 구동판(19)은 중앙에 개구가 형성된 대략 마름모꼴 형상의 판상체로 되어 있다. 슬리브 구동판(19)의 개구에는, 원통 형상으로 된 슬리브(22)의 선단(22a)이 삽입되어 있다. 슬리브(22)는 도 7의 하반부에 부분적으로 나타낸 바와 같이, 삽입 통체(10)의 외주를 덮도록 배치되어 있으며, 삽입 통체(10)에 대하여 축선 방향으로 왕복 이동한다. 슬리브 구동판(19)은 소켓(5)에 대하여 고정된 플러그(3)를 떼어낼 때에 슬리브(22)를 변위시키도록 동작된다. 구체적으로, 도 5a에 나타낸 바와 같이, 슬리브(22)에서 로킹 볼(9)의 반경 방향 외측의 이동을 규제 한 상태에서, 도 5b에 나타낸 바와 같이, 슬리브 구동판(19)을 전방측 지지판(20) 측(이 도면에서 우측)으로 끌어당겨서 슬리브(22)를 변위시킴으로써 로킹 볼(9)의 반경 방향 외측으로의 이동을 허용하여, 로킹 해제를 행한다. 소켓(5)에 대하여 플러그(3)를 고정할 때는 플러그(3)를 삽입 통체(10)에 삽입하는 동작에 따라, 로킹 볼(9)을 전동(轉動)시켜서 제1 고정 링(39)의 오목 개소(39a)에 대하여 계합(係合)함으로써 행해진다. 이 때, 슬리브 구동판(19)은 동작하지 않는다. 이와 같이, 로킹 볼(9)이나 슬리브(22) 등에 의해, 플러그(3)를 삽입 통체(10), 즉, 소켓(5)에 대하여 로킹하는 로킹 기구가 구성된다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 제2 지지 축체(18b)의 하방이며 또한 제3 지지 축체(18c)의 측방에는, 제4 지지 축체(18d)가 설치되어 있다. 제4 지지 축체(18d)의 내부로부터 슬리브(22)의 내측에 걸쳐서 센서 선(18d1)이 설치되어 있다. 센서 선(18d1)의 선단에는 투광 소자(예를 들면, LED)와 수광 소자가 쌍으로 된 센서(미도시)가 설치되어 있다. 이 센서에 의해 삽입 통체(10) 내에 플러그(3)가 적정 위치까지 삽입되었는지 여부가 검출된다. 센서의 출력은 센서 선(18d1)을 통해 도시하지 않은 제어부로 전송된다.
제어부는, 예를 들면 CPU(central processing unit), RAM(random access memory), ROM(read only memory) 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체 등으로 구성되어 있다. 그리고, 각종 기능을 실현하기 위한 일련의 처리는, 일례로서, 프로그램의 형식으로 기억 매체 등에 저장되어 있으며, 이 프로그램을 CPU가 RAM 등으로 판독하여, 정보의 가공·연산 처리를 실행함으로써, 각종 기능이 실현된다. 또한, 프로그램은 ROM이나 기타 기억 매체에 미리 인스톨해두는 형태나 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체에 기억된 상태로 제공되는 형태, 유선 또는 무선에 의한 통신 수단을 통해 송신되는 형태 등이 적용되어도 좋다. 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체는 자기 디스크, 광자기 디스크, CD-ROM, DVD-ROM, 반도체 메모리 등이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 플러그(3)는 대략 원통 형상으로 되어 있으며, 내부에 유체가 유통하는 유로를 구비하고 있다. 플러그(3)의 기단부(도 1에서 좌측)에는, 호스(4)의 일단이 고정되어 있다. 호스(4)의 타단은 탱크로리(미도시)에 고정되어 있다. 호스(4)의 내경은 25mm 이상, 바람직하게는 50mm 이상으로 되어 있다.
플러그(3)의 후방 위치에는, 키 플레이트(링 체)(30)가 부착되어 있다. 키 플레이트(30)는 무단(無端) 형태의 링 형상으로 되어 있다. 키 플레이트(30)의 원주 방향의 복수 개소에는, 선단 측(도 1에서 우측)으로 돌출하는 키(32)가 설치되어 있다. 복수 개 있는 키(32) 중의 1 개는 다른 키(32)보다 원주 방향으로의 폭이 큰 메인 키(32a)로 되어 있다. 키 플레이트(30)는 플러그 본체(3A)에 대하여 축선 주위로 상대적으로 회전 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 도 6에 나타낸 바와 같이, 작업자는 수동에 의해 키 플레이트(30)를 회동시켜서 메인 키(32a)를 소망의 위치인 연직 상방 위치로 이동시킬 수 있다.
도 7에는, 플러그(3)의 종단면도가 나타나 있다. 또한, 도 7의 하반부에는, 소켓(5) 측의 로킹 볼(9), 삽입 통체(10), 슬리브(22) 및 슬리브 구동판(19)이 나타나 있다.
플러그 본체(3A)는 선단 측(도 7에서 우측)으로부터 선단 통부(33), 중간 통부(34) 및 기단 통부(35)를 구비하고 있다. 이들 통부(33, 34, 35)는 공통의 플러그 중심 축선(L1)을 가지며 접속되고, 내부에 유체가 흐르는 유로가 형성된다.
선단 통부(33) 내에는, 밸브체(33a)가 수납되어 있다. 밸브체(33a)는 선단 통부(33)의 선단 측을 향해 스프링(33b)에 의해 편향되어 있다. 따라서, 밸브체(33a)는 선단 통부(33)의 선단 개구를 폐쇄하고 있다. 밸브체(33a)의 선단 측의 중앙에는, 플러그 중심 축선(L1) 상을 따라서 선단 측으로 돌출하는 돌출부(33c)가 설치되어 있다. 돌출부(33c)는 플러그(3)와 소켓(5)이 접속된 때에, 대향하는 소켓(5) 측의 밸브체의 돌출부(미도시)에 접촉하도록 되어 있다. 소켓(5) 측의 밸브체의 돌출부와 플러그(3)의 돌출부(33c)가 접촉하거나, 스프링(33b)에 의한 편향력을 극복함으로써 밸브체(33a)가 기단부 측으로 퇴피하여, 플러그(3) 내의 유로가 개방되게 된다.
선단 통부(33)의 기단 측(좌측)과 중간 통부(34)의 선단 측이 합치된 상태에서 열을 맞춰 접속되어 있다. 선단 통부(33)와 중간 통부(34) 사이에는, 오링(37)이 설치되어 있으며, 액밀하게 또는 기밀하게 접속되어 있다.
선단 통부(33)의 기단 측의 외주를 덮도록 제1 고정 링(39)이 설치되어 있다. 제1 고정 링(39)의 외주에는, 오목 개소(39a)가 원주 방향에 걸쳐서 설치되어 있다. 플러그(3)를 소켓(5) 측에 대하여 접속했을 때에, 삽입 통체(10)에 유지된 로킹 볼(9)이 슬리브(22)에 의해 반경 방향 내측으로 이동하여 오목 개소(39a)에 진입하도록 되어 있다. 로킹 볼(9)이 오목 개소(39a) 내에 감합함으로써, 플러그(3)가 소켓(5)에 대하여 고정되도록 되어 있다. 제1 고정 링(39)의 내주 측에는, 단차로 된 숄더부(39b)가 형성되어 있으며, 이 숄더부(39b)에 대하여 선단 통부(33)의 기단부에 설치된 대경부가 계합하도록 되어 있다. 제1 고정 링(39)의 기단 측의 내주에는 암 나사부(39c)가 형성되어 있다.
중간 통부(34)의 외주의 대략 전체를 덮도록 제2 고정 링(41)이 설치되어 있다. 제2 고정 링(41)의 내주 측에는, 단차로 된 숄더부(41b)가 형성되어 있으며, 이 숄더부(41b)에 대하여 중간 통부(34)의 선단 측에 설치된 대경부가 계합하도록 되어 있다. 제2 고정 링(41)의 선단 측의 외주에는 수 나사부(41c)가 형성되어 있다. 제2 고정 링(41)의 수 나사부(41c)와 제1 고정 링(39)의 암 나사부(39c)를 나사 결합함으로써, 선단 통부(33)과 중간 통부(34)가 서로 고정된다.
제2 고정 링(41)의 수 나사부(41c)에는 기단부 측으로부터 멈춤 너트(43)가 나사 결합되어 있다. 멈춤 너트(43)는 제1 고정 링(39)의 기단 측의 단부(端部)에 접촉된 위치에서 고정되어 있다. 멈춤 너트(43)는 키 플레이트(30)의 내주 측에 수납되어 있다. 멈춤 너트(43)의 기단부는 키 플레이트(30)의 기단부보다 선단 측에 위치하고 있다. 이에 의해, 멈춤 너트(43)는 키 플레이트(30)의 내부에 수납되어 있으며, 키 플레이트(30)의 기단부 측으로부터 돌출되어 있지 않다.
멈춤 너트(43)의 선단 측의 외주는 기단 측보다 소경으로 되어 있다. 이에 의해, 멈춤 너트(43)와 제1 고정 링(39)의 기단 측의 단부 사이에 홈이 형성되고, 이 홈 내에 키 플레이트(30)의 선단 측의 내주 측에 돌출된 소경부(30a)가 삽입되어 있다. 소경부(30a)의 플러그 중심 축선(L1) 방향의 치수는, 삽입되는 홈보다 작게 되어 있다. 이와 같이, 키 플레이트(30)의 소경부(30a)를 홈 내에 헐겁게 끼워맞춤으로써, 키 플레이트(30)가 회전 방향으로 자유롭게 이동할 수 있는 한편, 플러그 중심 축선(L1) 방향의 위치가 규제되어 있다.
각 키(32)는 각각 키 플레이트(30)에 대하여 볼트(45)에 의해 고정되어 있다. 볼트(45)는 기단 측으로부터 선단 측을 향해 키 플레이트(30) 및 키(32)에 삽입되어 있다. 또한, 키(32)의 고정 방법은 볼트(45)에 의한 고정에 한정되지 않고, 예를 들면, 키 플레이트(30)와 키(32)를 일체적으로 형성하여도 좋다.
중간 통부(34)의 기단 측과 기단 통부(35)의 선단 측이 합치된 상태에서 열을 맞춰 접속되어 있다. 중간 통부(34)와 기단 통부(35) 사이에는, 오링(47)이 형성되어 있으며, 액밀하게 또는 기밀하게 접속되어 있다.
제2 고정 링(41)의 기단 측의 플랜지(41a)가 기단측 플랜지(49)에 대하여 볼트(50)에 의해 고정되어 있다. 기단측 플랜지(49)는 기단 통부(35)의 기단부의 외주에 계합된 상태로 고정되어 있다. 볼트(50)는 기단측 플랜지(49)에 대하여 나사 체결되어 있다. 이에 의해, 기단 통부(35)는 중간 통부(34) 및 선단 통부(33)에 대하여 고정된다.
기단측 플랜지(49)의 기단 측의 면에는, 복수의 고정 볼트(52)가 고정되어 있다. 각 고정 볼트(52)는 호스(4)를 고정하기 위한 호스용 플랜지(53)를 관통하고, 선단에 너트(51)가 나사 체결된다. 이에 의해, 호스용 플랜지(53)와 기단측 플랜지(49)가 고정됨으로써, 플러그(3)에 대하여 호스(4)가 고정된다.
도 8에는, 복수의 키(32)의 원주 방향으로의 각도 위치가 표시되어 있다. 이 도면에서는, 3 개의 키(32)가 나타나 있다. 연직 상방, 즉, 12시의 위치에는 메인 키(32a)가 키 플레이트(30)에 고정되어 있다. 또한, 도 5에서는, 회전 가능한 키 플레이트(30)의 원주 방향의 위치를, 메인 키(32a)가 12시의 위치로 되도록 위치시켰을 때의 상태이다.
제1 서브 키(32b)는 9시와 12시의 중간 위치에 키 플레이트(30)에 대하여 고정되어 있다. 제2 서브 키(32c)는 6시의 위치에 키 플레이트(30)에 대하여 고정되어 있다. 메인 키(32a)의 원주 방향의 폭은 제1 서브 키(32b)나 제2 서브 키(32c)보다 크게 되어 있으며, 약 2 배의 치수로 되어 있다. 제1 서브 키(32b)와 제2 서브 키(32c)의 원주 방향의 폭은 동등하게 되어 있다. 또한, 제1 서브 키(32b)와 제2 서브 키(32c)의 폭 방향의 치수를 다르게 하여도 좋다.
도 5a 및 도 5b에 나타낸 바와 같이, 소켓 본체(13)에는, 플러그 본체(3A)의 선단 측을 수용하는 플러그 본체 수용부(13b)가 설치되어 있다. 플러그 본체 수용부(13b)는 플러그 중심 축선(L1)과 공통의 중심 축선을 따라 형성되어 있으며, 플러그 본체(3A)의 선단부에 대응한 형상의 공간으로 되어 있다.
도 9a 및 도 9b에는, 플러그 본체 수용부(13b) 주위의 확대도가 나타나 있다. 소켓 본체(13)의 플러그 본체 수용부(13b)에는, 물 등의 세정액을 플러그 본체 수용부(13b) 내에 공급하는 세정액 공급 구멍(60)과, 건조용의 퍼지 가스를 플러그 본체 수용부(13b) 내에 공급하는 가스 공급 구멍(62)이 설치되어 있다. 세정액 공급 구멍(60)은 플러그 본체 수용부(13b)의 내주면을 따르는 접선 방향을 향해, 또한, 플러그 본체(3A)의 선단 측으로 경사져 세정액을 공급하도록 설치되어 있다. 가스 공급 구멍(62)은 플러그 본체 수용부(13b)의 내주면을 따르는 접선 방향을 향해 가스를 공급하도록 설치되어 있다.
세정액 공급 구멍(60)의 상류 측에는, 세정액용 밸브가 설치되어 있으며, 제어부의 지령에 의해 공급 타이밍이 결정되도록 되어 있다. 가스 공급 구멍(62)의 상류 측에는, 가스 밸브가 설치되어 있으며, 제어부의 지령에 의해 공급 타이밍이 결정되도록 되어 있다.
세정액 공급 구멍(60)과 가스 공급 구멍(62) 사이에는, 오링(밀봉 부재)(64)가 설치되어 있다. 오링(64)은 플러그 본체 수용부(13b)의 내주에 형성된 둘레홈 내에 삽입되어 있다. 이와 같이, 세정액 공급 구멍(60)은 오링(64)에 대하여 플러그 본체(3A)의 선단과는 반대측의 위치에 설치되어 있으며, 가스 공급 구멍(62)은 오링(64)에 대하여 플러그 본체(3A)의 선단 측의 위치에 설치되어 있다.
또한, 도시하지 않지만, 플러그 본체 수용부(13b)에는, 세정액 공급 구멍(60)의, 보다 더 플러그 본체(3A)의 기단 측(도 9a 및 도 9b에서 좌측)의 위치에, 세정액 및 가스를 배출하는 배출 경로가 설치되어 있다.
도 9a에 나타낸 상태, 즉, 플러그 본체(3A)의 밸브체(33a)와 소켓 본체(13)의 밸브체(13a)가 이격된 상태(구체적으로는 제1 전진 위치(P1))일 때에 세정이 행해진다. 도 10a에는, 화살표로 나타낸 바와 같이, 세정 시에 세정액이 세정액 공급 구멍(60)으로부터 분출하고 있는 상태가 나타나 있다. 세정액은 플러그 본체 수용부(13b)의 내주면을 따라 선회하면서 흐르는 동시에, 플러그 본체(3A)의 선단 측(이 도면에서 좌측)을 향해 흐른다. 이에 의해, 플러그 본체(3A)의 선단, 소켓 본체(13)의 밸브체(13a)의 선단 및 플러그 본체 수용부(13b)의 내부가 세정된다.
도 9b에 나타낸 상태는 도 9a의 상태로부터 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)를 근접시켜서 플러그(3)와 소켓(5)의 유로를 연통시킨 상태(구체적으로는 제2 전진 위치(P2))를 나타낸다. 이 도면으로부터 알 수 있는 바와 같이, 플러그 본체(3A)의 선단은 플러그 본체 수용부(13b)의 종단 측(우측)을 메우도록 감합되어 있다. 또한, 플러그 본체(3A)의 외주는 오링(64)에 의해 액밀하게 밀봉되어 있다. 만약 이 상태에서 세정액 공급 구멍(60)으로부터 세정액이 유출되었다고 하여도, 도 10b에 화살표로 나타낸 바와 같이, 오링(64)에 의해 밀봉되어, 플러그 본체(3A)의 선단 측으로 세정액이 유도되는 일이 없다.
다음으로, 상술한 플러그(3)를 소켓(5)에 접속·해제하는 동작에 대하여 설명한다.
<접속 전 준비 공정>
먼저, 도 1에 나타낸 바와 같이, 소켓(5)에 대향하는 위치에 플러그(3)를 위치시킨다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 키 플레이트(30)를 작업자의 수동에 의해 회전시켜, 작업자가 상방으로부터 시인하기 쉬운 위치, 즉, 메인 키(32a)가 연직 상방에 위치하도록 위치 결정한다.
<삽입 공정>
키 플레이트(30)를 위치 결정한 후에, 도 11에 나타낸 바와 같이, 플러그(3)의 선단을 소켓(5)의 삽입구(8)에 삽입한다. 그 상태로 플러그(3)를 소켓(5)에 대하여 축선 방향으로 삽입해 가면, 도 12에 나타낸 바와 같이, 소켓(5)의 삽입 통체(10)에 설치한 키홈(11)에 키(32)가 합치되어 감합된다. 키(32)와 키홈(11)이 합치되어 감합되면, 소켓(5)에 대응한 플러그(3)인 것이 확인되어 오접속이 방지된다. 만약, 키(32)에 대하여 키홈(11)이 합치하지 않는 경우에는, 플러그(3)를 소켓(5)에 대하여 접속 위치까지 압입할 수 없으므로, 작업자는 플러그(3)와 소켓(5)이 대응하지 않는다는 것을 알 수 있다.
<로킹 공정>
키(32)와 키홈(11)이 합치되어 삽입 통체(10)에 대하여 플러그(3)가 적정하게 삽입되면, 플러그(3)를 삽입 통체(10)에 대하여 축선 방향으로 압입하는 동작에 따라, 도 7의 하반부에 나타낸 바와 같이, 삽입 통체(10)에 유지된 각 로킹 볼(9)이 플러그(3)의 제1 고정 링(39)에 설치된 오목 개소(39a) 내에 삽입되어, 플러그(3)와 소켓(5)의 고정이 행해진다. 이 때, 도 5a에 나타낸 바와 같이, 로킹 볼(9)의 반경 방향 외측으로의 이동은 슬리브(22)에 의해 규제되어 있다.
<전(前) 세정 공정>
도 13에 나타낸 바와 같이, 도 12의 상태로부터 플러그(3)를 소켓 본체(13) 측으로 끌어당겨서 제1 전진 위치(P1)까지 변위시킨다. 구체적으로, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 제어부의 지시에 의해, 공기 공급 배관(24)으로부터 각 실린더(23)에 공급된 공기를 이용하여 각 지지 축체(18)를 축선 방향으로 동작시킴으로써 자동적으로 행해진다. 이 제1 전진 위치(P1)의 종단면도가 도 14에 나타나 있다.
그리고, 도 13에 화살표 A1 및 A2로 나타낸 바와 같이, 플러그(3)의 선단과 소켓(5) 사이의 공간을 순수(純水)에 의해 세정하고(도 10a 참조), 그 후, 질소 등의 불활성 가스로 건조를 행한다. 이러한 전 세정 공정에서는, 플러그(3)의 밸브체(33a)(도 7 참조) 및 소켓(5)의 밸브체(13a)는 폐쇄 위치로 되어 있으며, 각각의 유로를 차단하고 있다.
<유체 이송 공정>
다음으로, 도 15에 나타낸 바와 같이, 도 13의 제1 전진 위치(P1)로부터 더욱 플러그(3)를 소켓 본체(13) 측으로 끌어당겨서 접속 위치로 되는 제2 전진 위치(P2)까지 변위시킨다. 구체적으로, 도 3c에 나타낸 바와 같이, 제어부의 지시에 의해, 공기 공급 배관(24)으로부터 각 실린더(23)에 공급된 공기를 이용하여 각 지지 축체(18)를 축선 방향으로 동작시킴으로써 자동적으로 행해진다. 이 제2 전진 위치(P2)의 종단면도가 도 16에 나타나 있다.
이와 같이, 플러그(3)는 도 12에 나타낸 초기 위치(P0)에 대하여, 도 13의 제1 전진 위치(P1) 및 도 15의 제2 전진 위치(P2)의 2 단계로 나눠서 전진되도록 되어 있다.
제2 전진 위치(P2)까지 플러그(3)가 위치되면, 플러그(3)의 밸브체(33a)의 돌출부(33c)(도 7 참조)와 소켓(5)의 밸브체(13a)의 돌출부가 접촉하거나, 서로를 압박하여 개방 위치까지 변위시킴으로써 각각의 유로를 해방시킨다. 이에 의해, 화살표 A3 및 A4로 나타낸 바와 같이, 유체 이송용 커넥터(1)를 통해 탱크로리로부터 건축물 내의 버퍼 탱크로 유체를 이송한다.
<후 세정 공정>
유체의 이송이 종료되면, 도 17에 나타낸 바와 같이, 도 13과 동일한 제1 전진 위치(P1)까지 후퇴시킨다. 그리고, 도 17에 화살표 A1 및 A2으로 나타낸 바와 같이, 플러그(3)의 선단과 소켓(5) 사이의 공간을 순수에 의해 세정하고(도 10a 참조), 그 후, 질소 등의 불활성 가스로 건조를 행한다. 이러한 후 세정 공정에서는, 플러그(3)의 밸브체(33a)(도 7 참조) 및 소켓(5)의 밸브체(13a)는 폐쇄 위치로 되어 있으며, 각각의 유로를 차단하고 있다.
<분리 공정>
도 17에 나타낸 후 세정 공정이 종료되면, 도 12에 나타낸 초기 위치(P0)까지 플러그(3)를 후퇴시키고, 제어부의 지시에 의해, 슬리브 구동판(19)를 동작시켜서 슬리브(22)를 플러그(3)의 선단 방향(도 12에서 우측 방향)으로 이동시켜 로킹 볼(9)의 로킹을 해제한 후에(도 5b 참조), 플러그(3)를 소켓(5)으로부터 분리한다.
본 실시형태에 의하면, 이하의 작용 효과를 달성한다.
세정액 공급 구멍(60)은 오링(64)에 대하여 플러그 본체(3A)의 선단과는 반대측의 위치에 설치되어 있으므로, 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)를 접속하여 유체를 이송하고 있을 때에도, 어떤 고장에 의해 세정액이 세정액 공급 구멍(60)으로부터 유출되어도, 오링(64)에 의해 플러그 본체(3A)의 선단과 분리되어 있으므로, 도 10b에 나타낸 바와 같이, 세정액이 플러그 본체(3A)의 선단 측으로 유도되어, 이송되고 있는 유체에 혼입되는 일이 없다.
세정액 공급 구멍(60)을, 도 9a에 나타낸 바와 같이, 플러그 본체(3A)의 선단 측으로 경사진 방향을 향해 설치하는 것으로 하였으므로, 세정액 공급 구멍(60)으로부터 분사된 세정액은 플러그 본체(3A)의 선단 측을 향해 흐른다(도 10a 참조). 이에 의해, 세정 시에는, 세정액을 플러그 본체(3A)의 선단 측으로 유도할 수 있어, 보다 효과적으로 세정을 행할 수 있다.
세정액 공급 구멍(60)과는 별도로, 플러그 본체 수용부(13b) 내에 가스를 공급하는 가스 공급 구멍(62)을 설치하는 것으로 하였으므로, 세정액이 공급된 위치와는 상이한 위치로부터 가스를 분사할 수 있다. 이에 의해, 보다 효과적으로 플러그 본체 수용부(13b) 내를 퍼지할 수 있다.
오링(64)에 대하여 플러그 본체(3A)의 선단 측에 가스 공급 구멍(62)을 설치하는 것으로 하였다. 이에 의해, 오링(64)을 사이에 두고, 가스 공급 구멍(62)과 세정액 공급 구멍(60)을 배분하여 설치할 수 있어, 좁은 공간이라도 효율적으로 배치할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 이송하는 유체로서 액체를 이용하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 가스에도 적용할 수 있다.
또한, 플러그 본체(3A)를 플러그 본체 수용부(13b) 내에서 밀봉하는 부재로서 오링(64)을 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 액밀하게 밀봉할 수 있는 것이라면 다른 밀봉 부재를 사용하여도 좋다.
이상, 본 발명에 따른 실시형태를 설명하였지만, 상술한 실시형태는 모든 면에서 예시적인 것이고 한정적인 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 구성요소의 추가, 교체, 생략, 결합, 변형 등을 포함하는 다양한 수정이나 변경이 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 이하의 특허청구범위에 기재된 기술적 구성 및 그 균등범위에 속하는 모든 실시형태 및 변형예를 포함하도록 최대한 광의적으로 해석되어야 할 것이다.
1 유체 이송용 커넥터 3 플러그
3A 플러그 본체 4 호스
5 소켓 6 배관
8 삽입구 9 로킹 볼
10 삽입 통체(플러그 본체 유지부) 11 키홈
11a 메인 키홈 13 소켓 본체
13a 밸브체 13b 플러그 본체 수용부
15 전방측 고정판 16 후방측 고정판
17 다리부 18 지지 축체
18a 제1 지지 축체 18a1 덮개부 구동용 축체
18b 제2 지지 축체 18b1, 18c1 슬리브 구동판용 축체
18c 제3 지지 축체 18d 제4 지지 축체
18d1 센서 선 19 슬리브 구동판
20 전방측 지지판 21 후방측 지지판
22 슬리브 22a 선단
23 실린더 23a 제1 통부
23b 제2 통부 23c 제3 통부
23d 제4 통부 24 공기 공급 배관
24a 제1 배관 24b 제2 배관
24c 제3 배관 24d 제4 배관
25 피스톤 25a 소경부
25b 대경부 26 칸막이 링
27 덮개부 28a 제1 위치 센서
28b 제2 위치 센서 28c 제3 위치 센서
29a 제1 액추에이터 29b 제2 액츄에이터
29c 제3 액츄에이터 30 키 플레이트(링 체)
30a 소경부 31 센서용 플레이트
31a 노치 32 키
32a 메인 키 32b 제1 서브 키
32c 제2 서브 키 33 선단 통부
33a 밸브체 33b 스프링
33c 돌출부 34 중간 통부
35 기단 통부 36 로드
37, 64 오링 39 제1 고정 링
39a 오목 개소 39b, 41b 숄더부
39c 암 나사부 41 제2 고정 링
41a 플랜지 41c 수 나사부
43 멈춤 너트 45, 50 볼트
49 기단측 플랜지 51 너트
52 고정 볼트 53 호스용 플랜지
60 세정액 공급 구멍 62 가스 공급 구멍
L1 중심 축선 P0 초기 위치
P1 제1 전진 위치 P2 제2 전진 위치
S 밀폐 공간 S1 제1 공간
S2 제2 공간 S3 제3 공간

Claims (5)

  1. 유체 유로가 형성된 플러그 본체를 갖는 플러그와,
    상기 플러그가 접속되었을 때에 상기 유체 유로와 연통하는 다른 유체 유로가 형성된 소켓 본체를 갖는 소켓과,
    상기 소켓 본체에 설치되고, 접속 시에 상기 플러그 본체의 선단이 삽입되어 수용되는 플러그 본체 수용부와,
    상기 플러그 본체 수용부에 설치되고, 상기 소켓 본체에 삽입된 상기 플러그 본체의 외주를 밀봉하는 밀봉 부재와,
    상기 밀봉 부재에 대하여 상기 플러그 본체의 선단과는 반대측의 위치에서 상기 플러그 본체 수용부 내에 세정액을 공급하는 세정액 공급 구멍과,
    상기 밀봉 부재에 대하여 상기 플러그 본체의 선단 측의 위치에서, 상기 플러그 본체 수용부 내에 가스를 공급하는 가스 공급 구멍을 포함하는 유체 이송용 커넥터.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 세정액 공급 구멍은 상기 플러그 본체의 선단 측으로 경사진 방향을 향해 설치되는 유체 이송용 커넥터.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 플러그 본체 수용부에는, 상기 밀봉 부재에 대하여 상기 세정액 공급 구멍보다 더 상기 플러그 본체의 기단 측의 위치에, 상기 세정액 및 상기 가스를 배출하는 배출 경로가 설치된 유체 이송용 커넥터.
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