KR102668954B1 - Multi-layer electrostatic chuck with efficient repair structure - Google Patents
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Abstract
효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 다중 레이어 정전척은, 소정 두께를 가지는 블럭구조이고, 알루미늄합금 소재로 구성된 ESC바디부; 상기 ESC바디부의 상부면에 탑재되고, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전척 기능을 수행하는 구조의 ESC기능부; 및 상기 ESC기능부의 상부면에 다수 적층되는 유전층 구조의 멀티레이어부;를 포함하는 것을 구성의 요지로 한다.
본 발명에 따르면, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 손상된 부분의 멀티레이어부 중 일부 레이어를 제거함으로써, ESC기능부의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.A multi-layer electrostatic chuck including an efficient repair structure is disclosed. A multi-layer electrostatic chuck according to an embodiment of the present invention has a block structure with a predetermined thickness and includes an ESC body portion made of aluminum alloy material; An ESC function unit mounted on the upper surface of the ESC body unit and having a structure that performs an electrostatic chuck function by power applied from the outside; and a multi-layer portion having a dielectric layer structure stacked on the upper surface of the ESC functional portion.
According to the present invention, when scratch damage occurs on an electrostatic chuck jig, the surface of the ESC functional part can be quickly repaired by removing some layers of the multi-layer part of the damaged part, creating an efficient repair structure that can significantly reduce repair costs. A multi-layer electrostatic chuck comprising:
Description
본 발명은 다중 레이어 정전척에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-layer electrostatic chuck, and more specifically, to a multi-layer electrostatic chuck including an efficient repair structure.
정전척은 정전기의 힘인 정전력을 이용하여, 반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널용 글래스 등의 피흡착체를 고정시켜주는 것인데, 이러한 정전척은 반도체 웨이퍼를 수평으로 고정시키거나, 디스플레이 패널용 글래스를 수평으로 유지시키기 위해 주로 사용된다.Electrostatic chucks use electrostatic power, which is the power of electrostatic electricity, to fix objects to be absorbed, such as semiconductor wafers and display panel glass. These electrostatic chucks fix semiconductor wafers horizontally or hold display panel glass horizontally. It is mainly used to do this.
이러한 정전척의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.An example of such an electrostatic chuck is that of the patent document presented below.
일반적으로 상기 정전척은 도 1에 도시된 바와 같이 상기 정전척의 하부를 구성하는 베이스 부재(10)와, 상기 베이스 부재(10) 상에 배치되어 정전기를 유도하는 정전기 유도층(20) 및 상기 베이스 부재(10)에 삽입되는 전극 포트(30)로 구성된다.Generally, as shown in FIG. 1, the electrostatic chuck includes a base member 10 constituting the lower part of the electrostatic chuck, a static electricity induction layer 20 disposed on the base member 10 to induce static electricity, and the base. It consists of an electrode port 30 inserted into the member 10.
상기 정전기 유도층(20)은 상기 베이스 부재(10)의 테두리에 댐(40)을 설치하고, 상기 댐(40)에 의해 형성되는 공간인 상기 베이스 부재(10)의 상부에 용융 수지를 붓고 경화시킨 후 표면을 연마하는 공정을 거쳐 형성되는데, 상기와 같이 형성되는 상기 정전기 유도층(20)은 상기 베이스 부재(10)와 일체형으로 형성됨으로 인해 상기 피흡착체의 안착 등 임의적인 외부 충격에 의해 손상될 경우, 수리가 어려워 상기 정전척을 새로 제작해야 하는 단점이 있었다.(도 2 참조)The electrostatic induction layer 20 is formed by installing a dam 40 on the edge of the base member 10, pouring molten resin into the upper part of the base member 10, which is the space formed by the dam 40, and curing it. It is formed through a process of polishing the surface, and since the electrostatic induction layer 20 formed as described above is formed integrally with the base member 10, it is not damaged by arbitrary external impacts such as seating of the absorbent body. In this case, there was a disadvantage in that repairs were difficult and the electrostatic chuck had to be manufactured anew (see Figure 2).
따라서, 종래 기술에 따른 문제점을 해결할 수 있는 기술이 필요한 실정이다.Therefore, there is a need for technology that can solve the problems caused by the prior art.
본 발명의 목적은, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시 이를 신속히 리페어 할 수 있고, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공하는데 그 목적이 있다.The purpose of the present invention is to provide a multi-layer electrostatic chuck that includes an efficient repair structure that can quickly repair scratch damage to an electrostatic chuck jig and significantly reduce repair costs.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 다중 레이어 정전척은, 소정 두께를 가지는 블럭구조이고, 알루미늄합금 소재로 구성된 ESC바디부; 상기 ESC바디부의 상부면에 탑재되고, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전척 기능을 수행하는 구조의 ESC기능부; 및 상기 ESC기능부의 상부면에 다수 적층되는 유전층 구조의 멀티레이어부;를 포함하는 구성일 수 있다.A multi-layer electrostatic chuck according to one aspect of the present invention for achieving this purpose has a block structure with a predetermined thickness and includes an ESC body portion made of an aluminum alloy material; An ESC function unit mounted on the upper surface of the ESC body unit and having a structure that performs an electrostatic chuck function by power applied from the outside; and a multi-layer portion having a dielectric layer structure stacked on the upper surface of the ESC functional portion.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 ESC기능부는, 상기 ESC바디부의 상부면에 적층되는 하부절연층; 상기 하부절연층의 상부면에 적층되는 상부유전층; 및 상기 하부절연층과 상부유저층 사이에 배치되고, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전력을 발생하는 구조의 패턴층;을 포함하는 구성일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the ESC functional unit includes: a lower insulating layer laminated on the upper surface of the ESC body unit; an upper dielectric layer laminated on the upper surface of the lower insulating layer; and a pattern layer disposed between the lower insulating layer and the upper user layer and having a structure that generates electrostatic power by power applied from the outside.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 멀티레이어부는, 상기 상부유전층의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층과 동일한 구조의 유전층 구조인 제1레이어; 상기 제1레이어의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층과 동일한 구조의 유전층 구조인 제2레이어; 및 상기 제2레이어의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층과 동일한 구조의 유전층 구조인 제3레이어;를 포함하는 구성일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the multi-layer part includes: a first layer laminated with an adhesive material on the upper surface of the upper dielectric layer and having the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer; a second layer laminated with an adhesive material on the upper surface of the first layer and having the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer; and a third layer laminated on the upper surface of the second layer with an adhesive material and having the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 멀티레이어부는, 상기 제1레이어와 제2레이어 사이에 장착되고, 제1레이어의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제1레이어와 제2레이어 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조의 제1탈거필름부; 및 상기 제2레이어와 제3레이어 사이에 장착되고, 제2레이어의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제2레이어와 제3레이어 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조의 제2탈거필름부;를 포함하는 구성일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the multi-layer part is mounted between the first layer and the second layer, is laminated in the form of a strip having a predetermined width along the edge of the surface of the first layer, and is supplied from the outside. A first peeling film portion having a structure that separates the bonding layer of the first layer and the second layer along the edge by compressed air; and a layer that is mounted between the second layer and the third layer and is laminated in the form of a strip having a predetermined width along the edge of the surface of the second layer, and is bonded to the second layer and the third layer by compressed air supplied from the outside. It may be configured to include a second removal film portion having a structure that separates the film along the edge.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1탈거필름부는, 상기 제1레이어의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제1레이어의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성하는 필름본체부; 상기 필름본체부의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조의 내부팽창부; 및 상기 필름본체부의 일측에 장착되고, 제3레이어의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 내부팽창부의 내부와 연통하는 구조이고, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부 내부로 전달하는 구조의 제1주입노즐;을 포함하는 구성일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first release film portion has an outer edge identical to the surface edge of the first layer, has a width of a predetermined length, and is folded in an outward direction of the surface edge of the first layer. A film main body forming a structure in which multiple films are laminated; It is mounted between two films of the film body, is disposed at the exact center of the width direction of the film body, and is formed continuously along the extending longitudinal direction of the film body, and is expanded by compressed air supplied from the outside to form the film body into two sheets. An internal expansion portion having a structure that separates the films from each other; and a structure that is mounted on one side of the film body, protrudes from the upper surface of the third layer by a predetermined height, communicates with the inside of the internal expansion unit, and receives compressed air from the outside and delivers it to the inside of the internal expansion unit. It may be configured to include a first injection nozzle.
또한, 상기 제2탈거필름부는, 상기 제2레이어의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제2레이어의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성하는 필름본체부; 상기 필름본체부의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조의 내부팽창부; 및 상기 필름본체부의 일측에 장착되고, 제3레이어의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 제1주입노즐과 독립적으로 분리되어 소정 간격 이격되어 배치되고, 내부팽창부의 내부와 연통하는 구조이며, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부 내부로 전달하는 구조의 제2주입노즐;를 포함하는 구성일 수 있다.In addition, the second peeling film portion has an outer border identical to the surface border of the second layer, has a width of a predetermined length, and is folded in the outward direction of the surface border of the second layer to form a structure in which two films are stacked. forming a film body; It is mounted between two films of the film body, is disposed at the exact center of the width direction of the film body, and is formed continuously along the extending longitudinal direction of the film body, and is expanded by compressed air supplied from the outside to form the film body into two sheets. An internal expansion portion having a structure that separates the films from each other; and a structure that is mounted on one side of the film body, protrudes from the upper surface of the third layer by a predetermined height, is independently separated from the first injection nozzle, is disposed at a predetermined interval, and communicates with the interior of the internal expansion unit, It may be configured to include a second injection nozzle that receives compressed air from the outside and delivers it to the inside of the internal expansion unit.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 다중 레이어 정전척에 따르면, 특정 구조의 ESC바디부, ESC기능부 및 멀티레이어부를 구비함으로써, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 손상된 부분의 멀티레이어부 중 일부 레이어를 제거함으로써, ESC기능부의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.As described above, according to the multi-layer electrostatic chuck of the present invention, by providing an ESC body portion, an ESC function portion, and a multi-layer portion of a specific structure, when scratch damage occurs on the electrostatic chuck jig, some of the multi-layer portion of the damaged portion By removing layers, the surface of the ESC functional part can be quickly repaired, providing a multi-layer electrostatic chuck with an efficient repair structure that can significantly reduce repair costs.
도 1은 종래 기술에 따른 정전척을 나타내는 모식도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 정전척 리페어 방법을 나타내는 사진이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 레이어 정전척을 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 3의 A부분 확대도이다.
도 5는 도 3에 도시된 다중 레이어 정전척을 리페어하는 모습을 나타내는 사진이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 레이어 정전척의 정전력 시험 결과를 나타내는 표이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다중 레이어 정전척을 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 7의 B부분 확대도이다.
도 9는 도 8에 도시된 탈거필름의 제2주입노즐에 압축공기를 주입하여 내부팽창부를 팽창 및 파열시켜 제2레이어와 제3레이어를 서로 분리함으로써, 제3레이어를 제2레이어의 상부면으로부터 분리시키는 모습을 나타내는 부분확대도이다.
도 10은 도 8에 도시된 탈거필름의 제1주입노즐에 압축공기를 주입하여 내부팽창부를 팽창 및 파열시켜 제1레이어와 제2레이어를 서로 분리함으로써, 제2레이어를 제1레이어의 상부면으로부터 분리시키는 모습을 나타내는 부분확대도이다.1 is a schematic diagram showing an electrostatic chuck according to the prior art.
Figure 2 is a photograph showing an electrostatic chuck repair method according to the prior art.
Figure 3 is a cross-sectional view showing a multi-layer electrostatic chuck according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is an enlarged view of portion A of Figure 3.
FIG. 5 is a photograph showing repairing the multi-layer electrostatic chuck shown in FIG. 3.
Figure 6 is a table showing electrostatic power test results of a multi-layer electrostatic chuck according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a cross-sectional view showing a multi-layer electrostatic chuck according to another embodiment of the present invention.
Figure 8 is an enlarged view of portion B of Figure 7.
Figure 9 shows the separation of the second layer and the third layer from each other by injecting compressed air into the second injection nozzle of the peeling film shown in Figure 8 to expand and rupture the internal expansion portion, thereby attaching the third layer to the upper surface of the second layer. This is a partial enlarged view showing the separation from the.
Figure 10 shows the separation of the first layer and the second layer from each other by injecting compressed air into the first injection nozzle of the peeling film shown in Figure 8 to expand and rupture the internal expansion portion, thereby attaching the second layer to the upper surface of the first layer. This is a partial enlarged view showing the separation from the.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정하여 해석되어서는 아니되며, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Prior to this, terms and words used in this specification and claims should not be construed as limited to their usual or dictionary meanings, but should be construed as meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.
본 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다. 본 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout this specification, when a member is said to be located “on” another member, this includes not only cases where a member is in contact with another member, but also cases where another member exists between the two members. Throughout this specification, when a part "includes" a certain component, this means that it may further include other components rather than excluding other components, unless specifically stated to the contrary.
도 3에는 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 레이어 정전척을 나타내는 단면도가 도시되어 있고, 도 4에는 도 3의 A부분 확대도가 도시되어 있으며, 도 5에는 도 3에 도시된 다중 레이어 정전척을 리페어하는 모습을 나타내는 사진이 도시되어 있다.Figure 3 shows a cross-sectional view showing a multi-layer electrostatic chuck according to an embodiment of the present invention, Figure 4 shows an enlarged view of portion A of Figure 3, and Figure 5 shows a multi-layer electrostatic chuck shown in Figure 3. A photo showing repair is shown.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 다중 레이어 정전척(100)은 특정 구조의 ESC바디부(110), ESC기능부(120) 및 멀티레이어부(130)를 구비함으로써, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 손상된 부분의 멀티레이어부(130) 중 일부 레이어를 제거함으로써, ESC기능부(120)의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.Referring to these drawings, the multi-layer electrostatic chuck 100 according to this embodiment is provided with an ESC body part 110, an ESC function part 120, and a multi-layer part 130 of a specific structure, so that it is attached to an electrostatic chuck jig. When scratch damage occurs, the surface of the ESC functional part 120 can be quickly repaired by removing some layers of the multi-layer part 130 of the damaged area, and includes an efficient repair structure that can significantly reduce repair costs. A multi-layer electrostatic chuck can be provided.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 다중 레이어 정전척(100)를 구성하는 각 구성에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, each component constituting the multi-layer electrostatic chuck 100 according to this embodiment will be described in detail with reference to the drawings.
본 실시예에 따른 ESC바디부(110)는 소정 두께를 가지는 블럭구조이고, 알루미늄합금 소재로 구성된다.The ESC body portion 110 according to this embodiment has a block structure with a predetermined thickness and is made of aluminum alloy material.
본 실시예에 따른 ESC기능부(120)는 상기 ESC바디부(110)의 상부면에 탑재되는 구성으로서, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전척 기능을 수행하는 구조이다.The ESC function unit 120 according to this embodiment is mounted on the upper surface of the ESC body unit 110 and has a structure that performs an electrostatic chuck function by power applied from the outside.
본 실시예에 따른 멀티레이어부(130)는 ESC기능부(120)의 상부면에 다수 적층되는 유전층 구조이다.The multi-layer portion 130 according to this embodiment has a dielectric layer structure in which multiple layers are stacked on the upper surface of the ESC functional portion 120.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 ESC기능부(120)는 특정 구조의 하부절연층(121), 상부절연층(122) 및 패턴층(123)을 포함하는 구성일 수 있다.As shown in FIG. 3, the ESC functional unit 120 according to this embodiment may be configured to include a lower insulating layer 121, an upper insulating layer 122, and a pattern layer 123 of a specific structure.
구체적으로, ESC기능부(120)의 하부절연층(121)은 ESC바디부(110)의 상부면에 적층되는 구조이다. 상부유전층(122)은 하부절연층(121)의 상부면에 적층되는 구조이다. 또한, 패턴층(123)은 하부절연층(121)과 상부유저층 사이에 배치되는 구성으로서, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전력을 발생하는 구조이다.Specifically, the lower insulating layer 121 of the ESC functional portion 120 is laminated on the upper surface of the ESC body portion 110. The upper dielectric layer 122 has a structure laminated on the upper surface of the lower insulating layer 121. In addition, the pattern layer 123 is a component disposed between the lower insulating layer 121 and the upper user layer, and has a structure that generates electrostatic power by power applied from the outside.
본 실시예에 따른 멀티레이어부(130)는 특정 구조의 제1레이어(131), 제2레이어(132) 및 제3레이어(133)를 포함하는 구성일 수 있다.The multi-layer unit 130 according to this embodiment may be configured to include a first layer 131, a second layer 132, and a third layer 133 of a specific structure.
구체적으로, 제1레이어(131)는 상부유전층(122)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되는 구성으로서 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조이다. 제2레이어(132)는 제1레이어(131)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조이다. 또한, 제3레이어(133)는 제2레이어(132)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조이다. 경우에 따라서, 제3레이어(133)의 상부면에 다수의 레이어를 더 추가할 수 있다.Specifically, the first layer 131 is laminated with an adhesive material on the upper surface of the upper dielectric layer 122 and has the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer 122. The second layer 132 is laminated on the upper surface of the first layer 131 with an adhesive material and has the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer 122. In addition, the third layer 133 is laminated on the upper surface of the second layer 132 with an adhesive material and has the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer 122. In some cases, multiple layers may be added to the upper surface of the third layer 133.
이러한 구성을 포함하는 본 실시예에 따르면, 도 5 도시된 바와 같이, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 손상된 부분의 멀티레이어부(130) 중 일부 레이어를 제거함으로써, ESC기능부(120)의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.According to this embodiment including this configuration, as shown in FIG. 5, when scratch damage occurs on the electrostatic chuck jig, some layers of the multi-layer portion 130 in the damaged portion are removed, thereby removing the ESC function portion 120. It is possible to provide a multi-layer electrostatic chuck with an efficient repair structure that can quickly repair the surface and significantly reduce repair costs.
한편, 도 6에는 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 레이어 정전척의 정전력 시험 결과를 나타내는 표가 도시되어 있다.Meanwhile, Figure 6 shows a table showing electrostatic power test results of a multi-layer electrostatic chuck according to an embodiment of the present invention.
도 6에 도시된 바와 같이, 제1레이어(131), 제2레이어(132) 및 제3레이어(133) 적층 상태에서도 정전력에 의해 척킹포스(Chucking force) 값이 일정 수준을 유지하는 것을 확인할 수 있다.As shown in FIG. 6, it can be seen that the chucking force value is maintained at a certain level due to electrostatic force even in the stacked state of the first layer 131, the second layer 132, and the third layer 133. You can.
도 7에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다중 레이어 정전척을 나타내는 단면도가 도시되어 있고, 도 8에는 도 7의 B부분 확대도가 도시되어 있다. 또한, 도 9에는 도 8에 도시된 탈거필름의 제2주입노즐에 압축공기를 주입하여 내부팽창부를 팽창 및 파열시켜 제2레이어와 제3레이어를 서로 분리함으로써, 제3레이어를 제2레이어의 상부면으로부터 분리시키는 모습을 나타내는 부분확대도가 도시되어 있고, 도 10에는 도 8에 도시된 탈거필름의 제1주입노즐에 압축공기를 주입하여 내부팽창부를 팽창 및 파열시켜 제1레이어와 제2레이어를 서로 분리함으로써, 제2레이어를 제1레이어의 상부면으로부터 분리시키는 모습을 나타내는 부분확대도가 도시되어 있다.Figure 7 shows a cross-sectional view showing a multi-layer electrostatic chuck according to another embodiment of the present invention, and Figure 8 shows an enlarged view of portion B of Figure 7. In addition, in Figure 9, compressed air is injected into the second injection nozzle of the stripping film shown in Figure 8 to expand and rupture the internal expansion portion to separate the second layer and the third layer from each other, thereby separating the third layer from the second layer. A partially enlarged view showing separation from the upper surface is shown, and in FIG. 10, compressed air is injected into the first injection nozzle of the peeling film shown in FIG. 8 to expand and rupture the internal expansion portion to separate the first layer and the second layer. A partial enlarged view is shown showing the separation of the second layer from the upper surface of the first layer by separating the layers from each other.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 다중 레이어 정전척(100)의 멀티레이어부(130)는 특정 구조의 제1탈거필름부(141) 및 제2탈거필름부(142)를 포함하는 구성일 수 있다.Referring to these drawings, the multi-layer portion 130 of the multi-layer electrostatic chuck 100 according to this embodiment includes a first peeling film portion 141 and a second peeling film portion 142 of a specific structure. It can be.
구체적으로, 본 실시예에 따른 제1탈거필름부(141)는 제1레이어(131)와 제2레이어(132) 사이에 장착되는 구성으로서, 제1레이어(131)의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제1레이어(131)와 제2레이어(132) 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조이다.Specifically, the first removal film unit 141 according to this embodiment is a component mounted between the first layer 131 and the second layer 132, and is located along the edge of the surface of the first layer 131. It is laminated in the form of a strip with a width, and has a structure in which the bonding layer of the first layer 131 and the second layer 132 is separated along the edge by compressed air supplied from the outside.
제1탈거필름부(141)는 특정 구조의 필름본체부(140a), 내부팽창부(140b) 및 제1주입노즐(140c)을 포함하는 구성일 수 있다. 필름본체부(140a)는 제1레이어(131)의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제1레이어(131)의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성한다. 내부팽창부(140b)는 필름본체부(140a)의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부(140a)의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부(140a)의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부(140a)를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조이다. 제1주입노즐(140c)은 필름본체부(140a)의 일측에 장착되고, 제3레이어(133)의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 내부팽창부(140b)의 내부와 연통하는 구조이고, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부(140b) 내부로 전달하는 구조이다.The first peeling film portion 141 may include a film body portion 140a, an internal expansion portion 140b, and a first injection nozzle 140c of a specific structure. The film body portion 140a has an outer edge that is the same as the surface edge of the first layer 131, has a width of a predetermined length, and is folded in the outward direction of the surface edge of the first layer 131 to stack two films. forms a structure. The internal expansion portion 140b is mounted between the two films of the film body portion 140a, is disposed at the exact center of the film body portion 140a in the width direction, and is continuously extended along the longitudinal direction of the film body portion 140a. It is formed and expanded by compressed air supplied from the outside to separate the film body portion 140a from the two films. The first injection nozzle 140c is mounted on one side of the film body 140a, protrudes from the upper surface of the third layer 133 by a predetermined height, and communicates with the inside of the internal expansion portion 140b. , It is a structure that receives compressed air from the outside and delivers it to the inside of the internal expansion unit (140b).
본 실시예에 따른 제2탈거필름부(142)는 제2레이어(132)와 제3레이어(133) 사이에 장착되고, 제2레이어(132)의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제2레이어(132)와 제3레이어(133) 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조이다.The second release film unit 142 according to this embodiment is mounted between the second layer 132 and the third layer 133, and has a strip shape with a predetermined width along the edge of the surface of the second layer 132. It is laminated and has a structure in which the bonding layers of the second layer 132 and the third layer 133 are separated along the edge by compressed air supplied from the outside.
제2탈거필름부(142)는 특정 구조의 필름본체부(140a), 내부팽창부(140b) 및 제2주입노즐(140d)을 포함하는 구성일 수 있다. 필름본체부(140a)는 제2레이어(132)의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제2레이어(132)의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성한다. 내부팽창부(140b)는 필름본체부(140a)의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부(140a)의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부(140a)의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부(140a)를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조이다. 또한, 제2주입노즐(140d)은 필름본체부(140a)의 일측에 장착되고, 제3레이어(133)의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 제1주입노즐(140c)과 독립적으로 분리되어 소정 간격 이격되어 배치되고, 내부팽창부(140b)의 내부와 연통하는 구조이며, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부(140b) 내부로 전달하는 구조이다.The second peeling film portion 142 may include a film body portion 140a, an internal expansion portion 140b, and a second injection nozzle 140d of a specific structure. The film body portion 140a has an outer edge that is the same as the surface edge of the second layer 132, has a width of a predetermined length, and is folded in the outward direction of the surface edge of the second layer 132 to stack two films. forms a structure. The internal expansion portion 140b is mounted between the two films of the film body portion 140a, is disposed at the exact center of the film body portion 140a in the width direction, and is continuously extended along the longitudinal direction of the film body portion 140a. It is formed and expanded by compressed air supplied from the outside to separate the film body portion 140a from the two films. In addition, the second injection nozzle 140d is mounted on one side of the film body 140a, protrudes from the upper surface of the third layer 133 by a predetermined height, and is independently separated from the first injection nozzle 140c. It is arranged at a predetermined distance apart, has a structure that communicates with the inside of the internal expansion part (140b), and has a structure that receives compressed air from the outside and delivers it to the inside of the internal expansion part (140b).
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 다중 레이어 정전척에 따르면, 특정 구조의 ESC바디부(110), ESC기능부(120), 멀티레이어부(130), 제1탈거필름부(141) 및 제2탈거필름부(142)를 구비함으로써, 정전척 지그에 스크레치 손상 발생 시, 제1탈거필름부(141) 및 제2탈거필름부(142)를 이용하여 손상된 부분의 멀티레이어부(130) 중 일부 레이어를 손쉽고 정확하며 안정적으로 제거함으로써, ESC기능부(120)의 표면을 신속히 리페어 할 수 있어, 리페어 비용을 현저히 절감할 수 있는 효율적인 리페어구조를 포함하는 다중 레이어 정전척을 제공할 수 있다.As described above, according to the multi-layer electrostatic chuck of the present invention, the ESC body portion 110, the ESC function portion 120, the multi-layer portion 130, the first stripping film portion 141, and the first stripping film portion 141 have a specific structure. By providing a second peeling film portion 142, when scratch damage occurs on the electrostatic chuck jig, the first peeling film portion 141 and the second peeling film portion 142 are used to remove the damaged portion of the multi-layer portion 130. By easily, accurately, and reliably removing some layers, the surface of the ESC functional portion 120 can be quickly repaired, providing a multi-layer electrostatic chuck with an efficient repair structure that can significantly reduce repair costs.
이상의 본 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.In the above detailed description of the present invention, only special embodiments thereof have been described. However, it should be understood that the present invention is not limited to the particular form mentioned in the detailed description, but rather is understood to include all modifications, equivalents and substitutes within the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims. It has to be.
즉, 본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 본 발명의 보호 범위 내에 있게 된다.That is, the present invention is not limited to the specific embodiments and descriptions described above, and various modifications may be made by anyone skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. is possible, and such modifications fall within the scope of protection of the present invention.
100: 다중 레이어 정전척
110: ESC바디부
120: ESC기능부
121: 하부절연층
122: 상부유전층
123: 패턴층
130: 멀티레이어부
131: 제1레이어
132: 제2레이어
133: 제3레이어
141: 제1탈거필름부
142: 제2탈거필름부
140a: 필름본체부
140b: 내부팽창부
140c: 제1주입노즐
140d: 제2주입노즐100: Multi-layer electrostatic chuck
110: ESC body part
120: ESC function part
121: Lower insulating layer
122: Upper dielectric layer
123: Pattern layer
130: Multi-layer unit
131: 1st layer
132: 2nd layer
133: Third layer
141: First removal film part
142: Second removal film part
140a: Film main body
140b: internal expansion part
140c: First injection nozzle
140d: 2nd injection nozzle
Claims (5)
상기 ESC바디부(110)의 상부면에 탑재되고, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전척 기능을 수행하는 구조의 ESC기능부(120); 및
상기 ESC기능부(120)의 상부면에 다수 적층되는 유전층 구조의 멀티레이어부(130);
를 포함하고,
상기 ESC기능부(120)는,
상기 ESC바디부(110)의 상부면에 적층되는 하부절연층(121);
상기 하부절연층(121)의 상부면에 적층되는 상부유전층(122); 및
상기 하부절연층(121)과 상부유저층 사이에 배치되고, 외부로부터 인가되는 전력에 의해 정전력을 발생하는 구조의 패턴층(123);
을 포함하고,
상기 멀티레이어부(130)는,
상기 상부유전층(122)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조인 제1레이어(131);
상기 제1레이어(131)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조인 제2레이어(132);
상기 제2레이어(132)의 상부면에 접착물질에 의해 적층되고, 상부유전층(122)과 동일한 구조의 유전층 구조인 제3레이어(133);
상기 제1레이어(131)와 제2레이어(132) 사이에 장착되고, 제1레이어(131)의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제1레이어(131)와 제2레이어(132) 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조의 제1탈거필름부(141); 및
상기 제2레이어(132)와 제3레이어(133) 사이에 장착되고, 제2레이어(132)의 표면의 테두리를 따라 소정 폭을 가지는 띠 형태로 적층되며, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 제2레이어(132)와 제3레이어(133) 접합층을 테두리를 따라 분리하는 구조의 제2탈거필름부(142);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 레이어 정전척.
ESC body portion 110, which has a block structure with a predetermined thickness and is made of aluminum alloy material;
An ESC function unit 120 mounted on the upper surface of the ESC body unit 110 and having a structure that performs an electrostatic chuck function by power applied from the outside; and
A multi-layer part 130 having a dielectric layer structure stacked on the upper surface of the ESC functional part 120;
Including,
The ESC function unit 120,
A lower insulating layer 121 laminated on the upper surface of the ESC body portion 110;
an upper dielectric layer 122 laminated on the upper surface of the lower insulating layer 121; and
a pattern layer 123 disposed between the lower insulating layer 121 and the upper user layer and having a structure that generates electrostatic power by power applied from the outside;
Including,
The multi-layer unit 130,
A first layer 131 laminated with an adhesive material on the upper surface of the upper dielectric layer 122 and having the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer 122;
A second layer 132 is laminated with an adhesive material on the upper surface of the first layer 131 and has the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer 122;
A third layer 133 is laminated with an adhesive material on the upper surface of the second layer 132 and has the same dielectric layer structure as the upper dielectric layer 122;
It is mounted between the first layer 131 and the second layer 132, and is laminated in the form of a strip having a predetermined width along the edge of the surface of the first layer 131, and is controlled by compressed air supplied from the outside. A first release film portion 141 having a structure that separates the bonding layer of the first layer 131 and the second layer 132 along the edge; and
It is mounted between the second layer 132 and the third layer 133, and is laminated in the form of a strip having a predetermined width along the edge of the surface of the second layer 132, and is controlled by compressed air supplied from the outside. A second peeling film portion 142 having a structure that separates the bonding layers of the second layer 132 and the third layer 133 along the edge;
A multi-layer electrostatic chuck comprising a.
상기 제1탈거필름부(141)는,
상기 제1레이어(131)의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제1레이어(131)의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성하는 필름본체부(140a);
상기 필름본체부(140a)의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부(140a)의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부(140a)의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부(140a)를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조의 내부팽창부(140b); 및
상기 필름본체부(140a)의 일측에 장착되고, 제3레이어(133)의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 내부팽창부(140b)의 내부와 연통하는 구조이고, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부(140b) 내부로 전달하는 구조의 제1주입노즐(140c);
을 포함하고,
상기 제2탈거필름부(142)는,
상기 제2레이어(132)의 표면 테두리와 동일한 외각 테두리를 가지고, 소정 길이의 폭을 가지며, 제2레이어(132)의 표면 테두리의 바깥쪽 방향으로 접혀져 두 장의 필름이 적층된 구조를 형성하는 필름본체부(140a);
상기 필름본체부(140a)의 두 장의 필름 사이에 장착되고, 필름본체부(140a)의 폭 방향 정중앙에 배치되며, 필름본체부(140a)의 연장 길이방향으로 따라 연속적으로 형성되고, 외부로부터 공급되는 압축공기에 의해 팽창하여 필름본체부(140a)를 두 장의 필름을 서로 분리하는 구조의 내부팽창부(140b); 및
상기 필름본체부(140a)의 일측에 장착되고, 제3레이어(133)의 상부면으로 소정 높이만큼 돌출 장착되며, 제1주입노즐(140c)과 독립적으로 분리되어 소정 간격 이격되어 배치되고, 내부팽창부(140b)의 내부와 연통하는 구조이며, 외부로부터 압축공기를 제공받아 내부팽창부(140b) 내부로 전달하는 구조의 제2주입노즐(140d);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 레이어 정전척.
According to paragraph 1,
The first removal film portion 141,
A film that has an outer edge identical to the surface edge of the first layer 131, has a width of a predetermined length, and is folded in the outward direction of the surface edge of the first layer 131 to form a structure in which two films are stacked. Main body portion 140a;
It is mounted between two films of the film body portion 140a, is disposed at the exact center of the width direction of the film body portion 140a, is formed continuously along the extending longitudinal direction of the film body portion 140a, and is supplied from the outside. an internal expansion portion (140b) that is expanded by compressed air to separate the two films of the film body portion (140a) from each other; and
It is mounted on one side of the film body portion 140a, protrudes from the upper surface of the third layer 133 by a predetermined height, has a structure that communicates with the inside of the internal expansion portion 140b, and provides compressed air from the outside. A first injection nozzle (140c) structured to receive and deliver it into the internal expansion unit (140b);
Including,
The second removal film portion 142,
A film that has an outer edge identical to the surface edge of the second layer 132, has a width of a predetermined length, and is folded in the outward direction of the surface edge of the second layer 132 to form a structure in which two films are stacked. Main body (140a);
It is mounted between two films of the film body portion 140a, is disposed at the exact center of the width direction of the film body portion 140a, is formed continuously along the extending longitudinal direction of the film body portion 140a, and is supplied from the outside. an internal expansion portion (140b) that is expanded by compressed air to separate the two films of the film body portion (140a) from each other; and
It is mounted on one side of the film body portion 140a, protrudes from the upper surface of the third layer 133 by a predetermined height, is independently separated from the first injection nozzle 140c, and is spaced apart at a predetermined distance, and is installed at a predetermined distance from the inside. A second injection nozzle (140d) that communicates with the inside of the expansion part (140b) and receives compressed air from the outside and delivers it to the inside of the internal expansion part (140b);
A multi-layer electrostatic chuck comprising a.
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|---|---|
| KR (1) | KR102668954B1 (en) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008108146A1 (en) * | 2007-03-01 | 2008-09-12 | Creative Technology Corporation | Electrostatic chuck |
| KR101328492B1 (en) * | 2013-04-02 | 2013-11-13 | 주식회사 템네스트 | Regeneration method of electrostatic chuck using aerosol coating |
| KR20140091940A (en) * | 2013-01-14 | 2014-07-23 | 김선기 | Method for regenerating a panel of touch screen |
| JP5564645B2 (en) * | 2010-05-12 | 2014-07-30 | 古河電気工業株式会社 | Multilayer adhesive sheet and manufacturing method thereof |
| KR101748195B1 (en) * | 2016-12-23 | 2017-06-28 | 주식회사 티에스시 | electrostatic chuck supporting semiconductor board using multilayer ceramic electrode |
| KR20210033148A (en) * | 2019-09-18 | 2021-03-26 | (주)위지트 | Method for polishing aluminum backing plate |
| KR102451733B1 (en) | 2021-12-20 | 2022-10-11 | 김순훈 | Electrostatic chuck with improved durability |
-
2023
- 2023-11-09 KR KR1020230154539A patent/KR102668954B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008108146A1 (en) * | 2007-03-01 | 2008-09-12 | Creative Technology Corporation | Electrostatic chuck |
| JP5564645B2 (en) * | 2010-05-12 | 2014-07-30 | 古河電気工業株式会社 | Multilayer adhesive sheet and manufacturing method thereof |
| KR20140091940A (en) * | 2013-01-14 | 2014-07-23 | 김선기 | Method for regenerating a panel of touch screen |
| KR101328492B1 (en) * | 2013-04-02 | 2013-11-13 | 주식회사 템네스트 | Regeneration method of electrostatic chuck using aerosol coating |
| KR101748195B1 (en) * | 2016-12-23 | 2017-06-28 | 주식회사 티에스시 | electrostatic chuck supporting semiconductor board using multilayer ceramic electrode |
| KR20210033148A (en) * | 2019-09-18 | 2021-03-26 | (주)위지트 | Method for polishing aluminum backing plate |
| KR102451733B1 (en) | 2021-12-20 | 2022-10-11 | 김순훈 | Electrostatic chuck with improved durability |
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