KR102643110B1 - Optical inspection system and optical inspection method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 광학 검사 시스템 및 광학 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 스테이지에서 광학 검사가 진행되는 광학 검사 시스템 및 광학 검사 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 시스템은 서로 나란히 배치되며, 검사 대상체가 각각 지지되는 제1 및 제2 스테이지; 상기 제1 스테이지 및 상기 제2 스테이지를 각각 제1 축 방향으로 이송 가능한 스테이지 이송부; 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이동 가능한 제1 광학계를 포함하며, 상기 제1 광학계를 통해 상기 검사 대상체에 대한 검사를 수행하는 광학검사부; 및 상기 광학검사부의 상기 제1 축 방향 일측에 배치되며, 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제2 광학계를 통해 상기 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 검사검증부;를 포함할 수 있다.The present invention relates to an optical inspection system and an optical inspection method, and more specifically, to an optical inspection system and an optical inspection method in which optical inspection is performed in a plurality of stages.
An optical inspection system according to an embodiment of the present invention includes first and second stages arranged side by side and supporting inspection objects, respectively; a stage transfer unit capable of transferring the first stage and the second stage in a first axis direction; an optical inspection unit including a first optical system movable in a second axis direction intersecting the first axis direction, and performing an inspection of the inspection object through the first optical system; and an inspection verification unit disposed on one side of the optical inspection unit in the first axis direction and verifying the inspection of the inspection object through a second optical system movable in the second axis direction.

Description

광학 검사 시스템 및 광학 검사 방법{Optical inspection system and optical inspection method}Optical inspection system and optical inspection method

본 발명은 광학 검사 시스템 및 광학 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 스테이지에서 광학 검사가 진행되는 광학 검사 시스템 및 광학 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an optical inspection system and an optical inspection method, and more specifically, to an optical inspection system and an optical inspection method in which optical inspection is performed in a plurality of stages.

반도체 집적회로(Integrated Circuit; IC)와 각종 전자부품들은 그 자체로는 동작할 수 없다. 전자부품을 실장하여 전기적으로 연결하고, 전원을 공급해야 하며, 이를 담당하는 기능성 부품이 인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)이다. 인쇄회로기판은 재질에 따라 강성(Rigid) 인쇄회로기판과 연성(Flexible) 인쇄회로기판으로 구분되며, 층수에 따라 단면 인쇄회로기판, 양면 인쇄회로기판, 다층 인쇄회로기판으로 구분되는 것이 일반적이다. 단면 인쇄회로기판(Single Side PCB)은 기판의 한쪽 면에만 배선을 형성한 인쇄회로기판이고, 양면 인쇄회로기판(Double Side PCB)은 기판의 양쪽 면에 배선을 형성한 인쇄회로기판이다. 그리고 다층 인쇄회로기판(Multi Layer Board; MLB)은 배선을 여러 층으로 형성한 인쇄회로기판이다. 단순한 기능의 제품에는 단면 인쇄회로기판이 주로 사용되고, 기능이 복잡한 전자기기일수록 한정된 공간에 많은 배선을 배치하기 위해 인쇄회로기판의 층수가 증가된다. 최근에는 단면 인쇄회로기판보다는 양면 인쇄회로기판나 다층 인쇄회로기판의 제조가 증가하고 있다.Semiconductor integrated circuits (ICs) and various electronic components cannot operate on their own. Electronic components must be mounted, electrically connected, and supplied with power, and the functional component responsible for this is a printed circuit board (PCB). Printed circuit boards are divided into rigid printed circuit boards and flexible printed circuit boards depending on the material, and are generally divided into single-sided printed circuit boards, double-sided printed circuit boards, and multi-layer printed circuit boards depending on the number of layers. A single side printed circuit board (Single Side PCB) is a printed circuit board with wiring formed on only one side of the board, and a double side printed circuit board (Double Side PCB) is a printed circuit board with wiring formed on both sides of the board. And a multi-layer printed circuit board (MLB) is a printed circuit board with wiring formed in multiple layers. Single-sided printed circuit boards are mainly used for products with simple functions, and as electronic devices with more complex functions, the number of layers of the printed circuit board increases to accommodate more wiring in a limited space. Recently, the manufacture of double-sided printed circuit boards or multilayer printed circuit boards is increasing rather than single-sided printed circuit boards.

인쇄회로기판에 요구되는 품질은 인쇄회로기판에 부품을 실장하여 조립할 때까지 문제가 없을 것, 조립한 전자기기가 설계한 그대로 동작할 것, 전자기기가 장기간 고장 없이 동작할 것 등이다. 품질을 만족하기 위해 인쇄회로기판 제조업체들은 제조공정의 중간 단계는 물론, 완성된 인쇄회로기판에 대해 다양한 검사를 실시하고 있다. 대표적으로는 영상 센서와 컴퓨터의 패턴 인식기술을 이용하여 인쇄회로기판의 외관을 검사하는 자동광학검사(Automatic Optical Inspection; AOI)가 있다.The qualities required for a printed circuit board include that there should be no problems from mounting the components on the printed circuit board until assembly, that the assembled electronic device operates as designed, and that the electronic device operates without failure for a long period of time. In order to satisfy quality, printed circuit board manufacturers conduct various inspections on completed printed circuit boards as well as intermediate stages of the manufacturing process. A representative example is Automatic Optical Inspection (AOI), which inspects the appearance of printed circuit boards using image sensors and computer pattern recognition technology.

자동광학검사(AOI)에서는 정상인 부분도 불량으로 판정될 수 있으므로, 불량으로 판정된 부분이 진짜 불량인지 아니면 정상인지 판별하는 검증 기술이 요구되고 있다.In automated optical inspection (AOI), even normal parts can be judged defective, so verification technology is required to determine whether a part judged defective is truly defective or normal.

공개특허 특1996-0009941호Published Patent No. 1996-0009941

본 발명은 검사 대상체에 대해 광학계를 이용한 검사와 검증을 연속적으로 수행하는 광학 검사 시스템 및 광학 검사 방법을 제공한다.The present invention provides an optical inspection system and an optical inspection method that continuously perform inspection and verification of an inspection object using an optical system.

본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 시스템은 서로 나란히 배치되며, 검사 대상체가 각각 지지되는 제1 및 제2 스테이지; 상기 제1 스테이지 및 상기 제2 스테이지를 각각 제1 축 방향으로 이송 가능한 스테이지 이송부; 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이동 가능한 제1 광학계를 포함하며, 상기 제1 광학계를 통해 상기 검사 대상체에 대한 검사를 수행하는 광학검사부; 및 상기 광학검사부의 상기 제1 축 방향 일측에 배치되며, 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제2 광학계를 통해 상기 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 검사검증부;를 포함할 수 있다.An optical inspection system according to an embodiment of the present invention includes first and second stages arranged side by side and supporting inspection objects, respectively; a stage transfer unit capable of transferring the first stage and the second stage in a first axis direction; an optical inspection unit including a first optical system movable in a second axis direction intersecting the first axis direction, and performing an inspection of the inspection object through the first optical system; and an inspection verification unit disposed on one side of the optical inspection unit in the first axis direction and verifying the inspection of the inspection object through a second optical system movable in the second axis direction.

상기 제1 광학계는 제1 카메라를 포함하며, 상기 광학검사부는 상기 제1 카메라가 상기 검사 대상체의 전체 영역을 스캔 또는 촬상하여 상기 검사 대상체의 전체 영역에 대해 불량 검사를 수행하고, 상기 제2 광학계는 제2 카메라를 포함하며, 상기 검사검증부는 상기 광학검사부에서 불량으로 판단한 영역의 위치 정보에 따라 상기 제2 카메라가 상기 광학검사부에서 불량으로 판단한 영역을 촬상하여 상기 광학검사부에서 불량으로 판단한 영역에 대해 불량 여부를 검증할 수 있다.The first optical system includes a first camera, and the optical inspection unit performs a defect inspection on the entire area of the inspection object by scanning or imaging the entire area of the inspection object by the first camera, and the second optical system includes a second camera, and the inspection and verification unit captures an area determined by the optical inspection unit to be defective according to the location information of the area determined to be defective by the optical inspection unit, and the second camera captures an image of the area determined to be defective by the optical inspection unit. You can verify whether it is defective or not.

상기 광학검사부는 상기 제1 스테이지 또는 상기 제2 스테이지 상의 기준 위치에서의 거리와 방향을 통해 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보를 획득하고, 상기 검사검증부는 상기 광학검사부에서 획득한 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보로 확인된 상기 제1 스테이지 또는 상기 제2 스테이지 상의 기준 위치에서의 거리와 방향으로 상기 제2 카메라를 이동시켜 상기 광학검사부에서 불량으로 판단한 영역을 촬상할 수 있다.The optical inspection unit acquires location information of the area determined to be defective through the distance and direction from a reference position on the first stage or the second stage, and the inspection verification unit obtains location information of the area determined to be defective obtained from the optical inspection unit. The area determined to be defective by the optical inspection unit can be imaged by moving the second camera in the distance and direction from the reference position on the first stage or the second stage confirmed by the position information.

상기 광학검사부는 상기 제1 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시키는 제1 광학계 이동부를 더 포함하고, 상기 검사검증부는 상기 제2 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시키는 제2 광학계 이동부를 포함할 수 있다.The optical inspection unit may further include a first optical system moving unit that moves the first optical system in the second axis direction, and the inspection verification unit may include a second optical system moving unit that moves the second optical system in the second axis direction. You can.

상기 스테이지 이송부는 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 광학검사부에 위치시키고, 상기 제1 광학계 이동부는 상기 제1 광학계를 상기 제1 스테이지 상에 위치시킬 수 있다.The stage transfer unit may transfer the first stage in the first axis direction to position the optical inspection unit, and the first optical system moving unit may position the first optical system on the first stage.

상기 스테이지 이송부는, 상기 제1 스테이지를 상기 광학검사부에서 상기 검사검증부로 이송하고, 상기 제2 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 광학검사부에 위치시키며, 상기 제1 광학계 이동부는 상기 제1 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 스테이지 상에 위치시키고, 상기 제2 광학계 이동부는 상기 제2 광학계를 상기 제1 스테이지 상에 위치시킬 수 있다.The stage transfer unit transfers the first stage from the optical inspection unit to the inspection verification unit, transfers the second stage in the first axis direction and positions it in the optical inspection unit, and the first optical system moving unit moves the first stage to the inspection verification unit. The optical system may be moved in the second axis direction and positioned on the second stage, and the second optical system moving unit may position the second optical system on the first stage.

상기 스테이지 이송부는, 상기 검증이 완료된 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하고, 상기 제2 스테이지를 상기 광학검사부에서 상기 검사검증부로 이송하며, 상기 제2 광학계 이동부는 상기 제2 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 스테이지 상에 위치시킬 수 있다.The stage transfer unit transfers the verified first stage in the first axis direction, transfers the second stage from the optical inspection unit to the inspection verification unit, and the second optical system moving unit moves the second optical system. It can be moved in the second axis direction and positioned on the second stage.

상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지를 상기 제1 광학계 및 상기 제2 광학계와 각각 정렬시키는 위치교정부;를 더 포함할 수 있다.It may further include a position correction unit that aligns the first stage and the second stage with the first optical system and the second optical system, respectively.

상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지는 표면 상에 형성된 기준 마커를 포함하며, 상기 위치교정부는, 상기 광학검사부로 이송된 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지의 기준 마커를 상기 제1 광학계로 확인하여 상기 제1 광학계와 상기 제1 스테이지의 제1-1 정렬 정보 및 상기 제1 광학계와 상기 제2 스테이지의 제1-2 정렬 정보를 획득하고, 상기 제1 광학계와 정렬되어 이송된 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지의 기준 마커를 상기 제2 광학계로 확인하여 상기 제2 광학계와 상기 제1 스테이지의 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2 광학계와 상기 제2 스테이지의 제2-2 정렬 정보를 획득할 수 있다.The first stage and the second stage include reference markers formed on a surface, and the position correction unit verifies the reference markers of the first stage and the second stage transferred to the optical inspection unit with the first optical system. 1-1 alignment information of the first optical system and the first stage and 1-2 alignment information of the first optical system and the second stage are obtained, and the first optical system aligned with the first stage is transferred. The reference marker of the stage and the second stage is confirmed with the second optical system, and the 2-1 alignment information of the second optical system and the first stage and the 2-2 alignment information of the second optical system and the second stage are obtained. can be obtained.

상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지 또는 상기 제1 광학계와 상기 제2 광학계를 각각 중심축에 대해 회전시키는 회전보정부;를 더 포함하고, 상기 제1-1 정렬 정보, 상기 제1-2 정렬 정보, 상기 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보는 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 회전 편차를 포함할 수 있다.It further includes a rotation correction unit that rotates the first stage and the second stage or the first optical system and the second optical system, respectively, about the central axis, wherein the 1-1 alignment information and the 1-2 alignment Information, the 2-1 alignment information, and the 2-2 alignment information may include the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation.

상기 스테이지 이송부는 상기 제1 축 편차를 보정하며, 상기 제1 광학계 이동부와 상기 제2 광학계 이동부는 상기 제1 광학계와 상기 제2 광학계 중 대응되는 광학계의 상기 제2 축 편차를 보정하고, 상기 회전보정부는 상기 회전 편차를 보정할 수 있다.The stage transfer unit corrects the first axis deviation, the first optical system moving unit and the second optical system moving unit correct the second axis deviation of the corresponding optical system among the first optical system and the second optical system, and the The rotation correction unit can correct the rotation deviation.

상기 검사검증부와 반대되어 상기 광학검사부의 상기 제1 축 방향 타측에 배치되며, 상기 검사 대상체를 세정하는 클리닝부;를 더 포함할 수 있다.It may further include a cleaning unit disposed on the other side of the optical inspection unit in the first axis direction, opposite to the inspection verification unit, and cleaning the inspection object.

본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 검사 방법은 서로 나란히 배치된 제1 및 제2 스테이지 중 제1 검사 대상체가 지지된 상기 제1 스테이지를 제1 축 방향으로 이송하여 제1 광학계를 포함하는 광학검사부에 위치시키는 과정; 상기 제1 광학계를 상기 제1 스테이지 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체를 검사하는 과정; 상기 제1 검사 대상체에 대한 검사가 완료된 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 제2 광학계를 포함하는 검사검증부에 위치시키는 과정;을 포함할 수 있다.An optical inspection method according to another embodiment of the present invention is an optical inspection unit including a first optical system by transferring the first stage on which the first inspection object is supported among the first and second stages arranged side by side with each other in the first axis direction. The process of positioning; A process of inspecting the first inspection object by positioning the first optical system on the first stage; It may include a process of transporting the first stage on which the inspection of the first inspection object is completed in the first axis direction and placing it in an inspection verification unit including a second optical system.

제2 검사 대상체가 지지된 상기 제2 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 광학검사부에 위치시키는 과정; 상기 제2 광학계를 상기 제1 스테이지 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정; 및 상기 제1 광학계를 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 스테이지 상에 위치시키고, 상기 제2 검사 대상체를 검사하는 과정;을 더 포함할 수 있다.A process of transferring the second stage on which a second inspection object is supported in the first axis direction and placing it in the optical inspection unit; Verifying the inspection of the first inspection object by positioning the second optical system on the first stage; and moving the first optical system in a second axis direction that intersects the first axis direction to position it on the second stage and inspecting the second inspection object.

상기 제1 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정 및 상기 제2 검사 대상체를 검사하는 과정은 동시에 수행될 수 있다.The process of verifying the test for the first test object and the process of testing the second test object may be performed simultaneously.

상기 제1 검사 대상체에 대한 검사의 검증이 완료된 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 제1 검사 대상체를 반출하고, 상기 제1 스테이지 상에 새로운 제1 검사 대상체를 지지하는 과정; 상기 제2 검사 대상체에 대한 검사가 완료된 상기 제2 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 검사검증부에 위치시키는 과정; 상기 새로운 제1 검사 대상체가 지지된 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 광학검사부에 위치시키는 과정; 상기 제2 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 스테이지 상에 위치시키고, 상기 제2 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정; 및 상기 제1 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제1 스테이지 상에 위치시키고, 상기 새로운 제1 검사 대상체를 검사하는 과정;을 더 포함할 수 있다.A process of transporting the first stage on which inspection of the first inspection object has been completed in the first axis direction to unload the first inspection object and supporting a new first inspection object on the first stage; A process of transporting the second stage on which the inspection of the second inspection object is completed in the first axis direction and placing it in the inspection verification unit; A process of transferring the first stage on which the new first inspection object is supported in the first axis direction and placing it in the optical inspection unit; moving the second optical system in the second axis direction to position it on the second stage and verifying the inspection of the second inspection object; and moving the first optical system in the second axis direction to position it on the first stage and inspecting the new first inspection object.

상기 제2 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정 및 상기 새로운 제1 검사 대상체를 검사하는 과정은 동시에 수행될 수 있다.The process of verifying the test for the second test object and the process of testing the new first test object may be performed simultaneously.

상기 제1 검사 대상체를 검사하는 과정에서는 상기 제1 광학계의 제1 카메라가 상기 제1 검사 대상체의 전체 영역을 스캔 또는 촬상하여 상기 제1 검사 대상체의 전체 영역에 대해 불량 검사를 수행하고, 상기 제1 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정에서는 상기 제1 검사 대상체를 검사하는 과정에서 불량으로 판단한 영역의 위치 정보에 따라 상기 제2 광학계의 제2 카메라가 상기 불량으로 판단한 영역을 촬상하여 상기 불량으로 판단한 영역에 대해 불량 여부를 검증할 수 있다.In the process of inspecting the first inspection object, the first camera of the first optical system scans or images the entire area of the first inspection object and performs a defect inspection on the entire area of the first inspection object. 1 In the process of verifying the inspection of the inspection object, the second camera of the second optical system captures the area judged to be defective according to the location information of the area judged to be defective in the process of inspecting the first inspection object and marks it as defective. You can verify whether the determined area is defective.

상기 제1 광학계와 상기 제1 스테이지의 제1-1 정렬 정보 및 상기 제2 광학계와 상기 제1 스테이지의 제2-1 정렬 정보를 획득하는 과정; 상기 제1-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제1 광학계와 상기 제1 스테이지를 정렬시키는 과정; 및 상기 제2-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제2 광학계와 상기 제1 스테이지를 정렬시키는 과정;을 더 포함할 수 있다.Obtaining 1-1 alignment information of the first optical system and the first stage and 2-1 alignment information of the second optical system and the first stage; Aligning the first optical system and the first stage using the 1-1 alignment information; and aligning the second optical system and the first stage using the 2-1 alignment information.

상기 제1-1 정렬 정보 및 상기 제2-1 정렬 정보는 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 회전 편차를 포함하며, 상기 제1 광학계와 상기 제1 스테이지를 정렬시키는 과정은, 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이동시켜 상기 제1 축 편차를 보정하는 과정; 상기 제1 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정하는 과정; 및 상기 제1 스테이지 또는 상기 제1 광학계를 중심축에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정하는 과정을 포함할 수 있다.The 1-1 alignment information and the 2-1 alignment information include the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation, and the process of aligning the first optical system and the first stage includes the above A process of correcting the first axis deviation by moving the first stage in the first axis direction; A process of correcting the second axis deviation by moving the first optical system in the second axis direction; and a process of correcting the rotational deviation by rotating the first stage or the first optical system about a central axis.

상기 제2-1 정렬 정보는 상기 제1 광학계와 정렬된 상태에서 상기 검사검증부로 이동시킨 상기 제1 스테이지의 기준 마커를 상기 제2 광학계로 확인하여 획득할 수 있다.The 2-1 alignment information can be obtained by checking the reference marker of the first stage, which has been moved to the inspection and verification unit while aligned with the first optical system, with the second optical system.

본 발명의 실시 형태에 따른 광학 검사 시스템은 광학검사부와 검사검증부를 모두 포함하여 검사 대상체에 대해 광학계를 이용한 검사와 검증을 연속적으로 수행함으로써, 광학검사부의 검사에서 불량으로 판단한 영역(또는 부분)이 진성 불량(또는 진짜 불량)인지 아니면 가성 불량(또는 정상)인지를 판별할 수 있고, 이에 따라 검사 대상체에 대한 불량 판정 정확도가 높아질 수 있다.The optical inspection system according to an embodiment of the present invention includes both an optical inspection unit and an inspection verification unit, and continuously performs inspection and verification using an optical system on the inspection object, so that the area (or part) determined to be defective in the inspection of the optical inspection unit is It is possible to determine whether it is a true defect (or true defect) or a false defect (or normal), and thus the accuracy of defect determination for the test object can be increased.

또한, 검사 대상체가 지지되는 스테이지를 제1 축 방향으로 이송하면서 인라인(in-line)으로 광학검사부에 의한 검사와 검사검증부에 의한 검증을 수행함으로써, 검사 대상체를 한 번 세정(cleaning)한 후에 추가적인 세정 없이 검사 대상체에 대한 검사와 검증이 연속적으로 수행될 수 있다.In addition, by performing inspection by the optical inspection unit and verification by the inspection verification unit in-line while transporting the stage on which the inspection object is supported in the first axis direction, the inspection object is cleaned once. Inspection and verification of the test object can be performed continuously without additional cleaning.

그리고 복수의 스테이지로 구성되고 광학검사부의 제1 광학계와 검사검증부의 제2 광학계가 제2 축 방향으로 복수의 스테이지 간을 이동 가능하게 구성됨으로써, 제1 스테이지에 지지된 (제1) 검사 대상체에 대한 광학검사부의 검사가 완료된 후에 제1 스테이지에 지지된 (제1) 검사 대상체에 대해 검사검증부에 의한 검증이 수행되는 동안, 제2 스테이지에 지지된 (제2) 검사 대상체에 대해 광학검사부에 의한 검사가 수행될 수 있으며, 이에 따라 소정량의 검사 대상체에 대한 검사와 검증을 완료하는 데에 걸리는 평균 공정 시간(tact time)을 단축시킬 수 있고, 정상 제품의 생산량을 늘리기 위한 검사 시스템의 효율성과 가동률이 향상될 수 있다.And, it is composed of a plurality of stages, and the first optical system of the optical inspection unit and the second optical system of the inspection verification unit are configured to be able to move between the plurality of stages in the second axis direction, so that the (first) inspection object supported on the first stage While verification by the inspection verification unit is performed on the (first) inspection object supported on the first stage after the inspection by the optical inspection unit is completed, the (second) inspection object supported on the second stage is inspected by the optical inspection unit. inspection can be performed, thereby shortening the average process time (tact time) required to complete inspection and verification of a certain amount of inspection objects, and the efficiency of the inspection system to increase the production of normal products. and operation rate can be improved.

한편, 복수의 스테이지 각각을 제1 광학계 또는 제2 광학계에 정렬(align)시키면서 제1 축 방향의 보정을 스테이지 이송부가 담당하고 제2 축 방향의 보정을 제1 광학계 이동부 또는 제2 광학계 이동부가 담당함으로써, 복잡한 구성 없이도 복수의 스테이지 각각과 제1 광학계 또는 제2 광학계를 정렬시킬 수 있으며, 이에 따라 정렬을 위해 추가적으로 설치되는 구성(들)을 줄일 수 있고, 추가적으로 설치되는 구성으로 인한 공간적 문제와 비용적 문제를 해결할 수 있다.Meanwhile, while aligning each of the plurality of stages to the first optical system or the second optical system, the stage transfer unit is responsible for correction in the first axis direction, and the first optical system moving unit or the second optical system moving unit is responsible for correction in the second axis direction. By taking charge of this, it is possible to align each of the plurality of stages and the first optical system or the second optical system without a complicated configuration, thereby reducing the number of additional components installed for alignment, and reducing spatial problems due to additionally installed configurations. Cost problems can be solved.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 시스템을 나타낸 개략평면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 시스템을 나타낸 개략단면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 제1 스테이지를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬 정보의 획득을 설명하기 위한 개념도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 위치교정부에 의한 정렬을 설명하기 위한 개념도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 검사 방법을 나타내는 순서도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 스테이지와 제2 스테이지의 검사 순서를 설명하기 위한 개념도.1 is a schematic plan view showing an optical inspection system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing an optical inspection system according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing a first stage according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a conceptual diagram illustrating acquisition of alignment information according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a conceptual diagram for explaining alignment by the position correction unit according to an embodiment of the present invention.
6 is a flowchart showing an optical inspection method according to another embodiment of the present invention.
7 is a conceptual diagram illustrating the inspection sequence of the first stage and the second stage according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 설명 중, 동일 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 하고, 도면은 본 발명의 실시예를 정확히 설명하기 위하여 크기가 부분적으로 과장될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the attached drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms. These embodiments only serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete and to those skilled in the art to fully convey the scope of the invention. This is provided to inform you. During the description, the same reference numerals are assigned to the same components, and the drawings may be partially exaggerated in size to accurately describe embodiments of the present invention. In the drawings, the same reference numerals refer to the same elements.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 시스템을 나타낸 개략평면도이며, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 시스템을 나타낸 개략단면도로, 도 2(a)는 광학 검사 시스템의 정단면도이고, 도 2(b)는 광학 검사 시스템의 측단면도이다.Figure 1 is a schematic plan view showing an optical inspection system according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing an optical inspection system according to an embodiment of the present invention, and Figure 2(a) is a schematic diagram of the optical inspection system. It is a front cross-sectional view, and Figure 2(b) is a side cross-sectional view of the optical inspection system.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 시스템(100)은 서로 나란히 배치되며, 검사 대상체(10)가 각각 지지되는 제1 및 제2 스테이지(111,112); 상기 제1 스테이지(111) 및 상기 제2 스테이지(112)를 각각 제1 축 방향(11)으로 이송 가능한 스테이지 이송부(120); 상기 제1 축 방향(11)과 교차하는 제2 축 방향(12)으로 이동 가능한 제1 광학계(131)를 포함하며, 상기 제1 광학계(131)를 통해 상기 검사 대상체(10)에 대한 검사를 수행하는 광학검사부(130); 및 상기 광학검사부(130)의 상기 제1 축 방향(11) 일측에 배치되며, 상기 제2 축 방향(12)으로 이동 가능한 제2 광학계(141)를 통해 상기 검사 대상체(10)에 대한 검사를 검증하는 검사검증부(140);를 포함할 수 있다.Referring to Figures 1 and 2, the optical inspection system 100 according to an embodiment of the present invention includes first and second stages 111 and 112 arranged side by side and supporting an inspection object 10, respectively; a stage transfer unit 120 capable of transferring the first stage 111 and the second stage 112 in the first axial direction 11; It includes a first optical system 131 movable in a second axial direction 12 intersecting the first axial direction 11, and inspects the inspection object 10 through the first optical system 131. An optical inspection unit 130 performs; and an inspection of the inspection object 10 through a second optical system 141 disposed on one side of the first axis direction 11 of the optical inspection unit 130 and movable in the second axis direction 12. It may include an inspection verification unit 140 that verifies.

제1 및 제2 스테이지(111,112)는 서로 나란히 배치될 수 있고, 검사 대상체(10)를 각각 지지할 수 있다. 이때, 제1 및 제2 스테이지(111,112)는 제1 축 방향(11)으로 나란히 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 스테이지(111,112)의 상부에는 복수의 진공홀(110b)이 형성될 수 있고, 복수의 진공홀(110b)은 진공장치로부터 진공 상태의 압력을 인가받을 수 있다. 여기서, 복수의 진공홀(110b)은 제1 및 제2 스테이지(111,112)의 상부면에 전체적으로 형성될 수 있고, 동일 크기 및/또는 동일 간격일 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 검사 대상체(10)를 효과적으로 흡착할 수 있으면 족하다. 제1 및 제2 스테이지(111,112) 상에 검사 대상체(10)가 배치되면, 복수의 진공홀(110b)은 검사 대상체(10)를 진공 흡착시킬 수 있다. 이때, 복수의 진공홀(110b)은 검사 대상체(10)의 전면(全面)을 진공 흡착시킬 수 있다. 이에, 검사 대상체(10)가 제1 및 제2 스테이지(111,112) 상에 안정적으로 고정될 수 있으며, 검사 대상체(10)의 울렁거림을 잡아줄 수 있고, 검사 대상체(10) 끝단의 들뜸을 잡아줄 수도 있다. 한편, 검사 대상체(10) 끝단의 들뜸을 효과적으로 잡아주기 위해 제1 및 제2 스테이지(111,112) 각각의 좌우에 클램핑(미도시)이 구성될 수도 있다.The first and second stages 111 and 112 may be arranged side by side with each other and may support the inspection object 10, respectively. At this time, the first and second stages 111 and 112 may be arranged side by side in the first axis direction 11. For example, a plurality of vacuum holes 110b may be formed in the upper portions of the first and second stages 111 and 112, and the plurality of vacuum holes 110b may receive pressure in a vacuum state from a vacuum device. Here, the plurality of vacuum holes 110b may be formed entirely on the upper surfaces of the first and second stages 111 and 112, and may be of the same size and/or spaced apart from each other, but are not limited thereto, and may be provided to the inspection object 10. It is sufficient to be able to effectively adsorb. When the inspection object 10 is placed on the first and second stages 111 and 112, the plurality of vacuum holes 110b can vacuum absorb the inspection object 10. At this time, the plurality of vacuum holes 110b can vacuum absorb the entire surface of the inspection object 10. Accordingly, the test object 10 can be stably fixed on the first and second stages 111 and 112, the shaking of the test object 10 can be suppressed, and the lifting of the end of the test object 10 can be prevented. You can also give it. Meanwhile, clamping (not shown) may be configured on the left and right sides of each of the first and second stages 111 and 112 to effectively prevent the end of the inspection object 10 from lifting.

여기서, 검사 대상체(10)는 판상일 수 있으며, 반도체 집적회로(Integrated Circuit; IC) 및/또는 각종 전자부품(들)을 실장하여 전기적으로 연결하고 전원을 공급하는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)을 포함할 수 있다. 이러한 인쇄회로기판(PCB)은 패턴 검사를 통해 불량을 판정(또는 판별)할 수 있다.Here, the inspection object 10 may be plate-shaped, and a printed circuit board (Printed Circuit Board) on which a semiconductor integrated circuit (IC) and/or various electronic component(s) are mounted, electrically connected, and supplied with power. PCB) may be included. Such printed circuit boards (PCBs) can be judged (or identified) as defective through pattern inspection.

스테이지 이송부(120)는 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112)를 각각 독립적으로 제1 축 방향(11)으로 이송할 수 있다. 예를 들어, 스테이지 이송부(120)는 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송하는 제1 스테이지 이송부(120a) 및 제2 스테이지(112)를 제1 축 방향(11)으로 이송하는 제2 스테이지 이송부(120b)를 포함할 수 있다. 제1 스테이지 이송부(120a)는 제1 이송레일(121a)와 제1 이동체(122a)를 포함할 수 있으며, 제1 이송레일(121a)은 제1 축 방향(11)으로 연장되어 배치될 수 있고, 제1 이동체(122a)는 제1 이송레일(121a)을 따라 이동 가능하도록 제1 이송레일(121a)의 상부에 결합될 수 있다. 제1 이동체(122a)의 상부에는 제1 스테이지(111)가 연결될 수 있고, 제1 이동체(122a)는 제1 이송레일(121a)을 따라 제1 축 방향(11)으로 왕복 운동함으로써, 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송할 수 있다. 이러한 제1 이송레일(121a) 및 제1 이동체(122a)는 통상적으로 사용되는 이송 컨베이어 구조를 이용할 수 있으며, 제1 스테이지 이송부(120a)는 제1 스테이지(111) 상에 제1 검사 대상체(10a)가 지지되면, 미리 정해진 구동신호에 의해 제1 스테이지(111)를 광학검사부(130)로 이동시킬 수 있고, 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사가 완료되면, 미리 정해진 구동신호에 의해 제1 스테이지(111)를 검사검증부(140)로 이동시킬 수 있다.The stage transfer unit 120 may independently transfer the first stage 111 and the second stage 112 in the first axial direction 11. For example, the stage transfer unit 120 includes a first stage transfer unit 120a that transfers the first stage 111 in the first axial direction 11 and a first stage transfer unit 120a that transfers the second stage 112 in the first axial direction 11. It may include a second stage transfer unit 120b that transfers. The first stage transfer unit 120a may include a first transfer rail 121a and a first moving body 122a, and the first transfer rail 121a may be arranged to extend in the first axial direction 11, , the first moving body 122a may be coupled to the upper part of the first transport rail 121a so that it can move along the first transport rail 121a. The first stage 111 may be connected to the upper part of the first mobile body 122a, and the first mobile body 122a reciprocates in the first axial direction 11 along the first transfer rail 121a, thereby The stage 111 can be transferred in the first axis direction 11. The first transfer rail 121a and the first moving body 122a can use a commonly used transfer conveyor structure, and the first stage transfer unit 120a is configured to place the first inspection object 10a on the first stage 111. ) is supported, the first stage 111 can be moved to the optical inspection unit 130 by a predetermined drive signal, and when the inspection of the first inspection object 10a is completed, the first stage 111 can be moved to the optical inspection unit 130 by a predetermined drive signal. Stage 1 111 can be moved to the inspection and verification unit 140.

제2 스테이지 이송부(120b)는 제2 이송레일(121b)와 제2 이동체(122b)를 포함할 수 있으며, 제2 이송레일(121b)은 제1 축 방향(11)으로 연장되어 배치될 수 있고, 제2 이동체(122b)는 제2 이송레일(121b)을 따라 이동 가능하도록 제2 이송레일(121b)의 상부에 결합될 수 있다. 제2 이동체(122b)의 상부에는 제2 스테이지(112)가 연결될 수 있고, 제2 이동체(122b)는 제2 이송레일(121b)을 따라 제1 축 방향(11)으로 왕복 운동함으로써, 제2 스테이지(112)를 제1 축 방향(11)으로 이송할 수 있다. 즉, 제2 스테이지 이송부(120b)는 제1 스테이지 이송부(120a)와 동일 또는 유사하게 구성될 수 있다. 제2 스테이지 이송부(120b)는 제2 스테이지(112) 상에 제2 검사 대상체(10b)가 지지되고 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사가 완료되면, 미리 정해진 구동신호에 의해 제2 스테이지(112)를 광학검사부(130)로 이동시킬 수 있고, 제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사가 완료되면, 미리 정해진 구동신호에 의해 제2 스테이지(112)를 검사검증부(140)로 이동시킬 수 있다.The second stage transfer unit 120b may include a second transfer rail 121b and a second moving body 122b, and the second transfer rail 121b may be arranged to extend in the first axial direction 11, , the second moving body 122b may be coupled to the upper part of the second transport rail 121b so that it can move along the second transport rail 121b. The second stage 112 may be connected to the upper part of the second mobile body 122b, and the second mobile body 122b reciprocates in the first axial direction 11 along the second transfer rail 121b, thereby The stage 112 can be transferred in the first axis direction 11. That is, the second stage transfer unit 120b may be configured the same or similar to the first stage transfer unit 120a. When the second inspection object 10b is supported on the second stage 112 and the inspection of the first inspection object 10a is completed, the second stage transfer unit 120b moves the second stage ( 112) can be moved to the optical inspection unit 130, and when the inspection of the second inspection object 10b is completed, the second stage 112 can be moved to the inspection verification unit 140 by a predetermined driving signal. You can.

광학검사부(130)는 제1 축 방향(11)과 교차하는 제2 축 방향(12)으로 이동 가능한 제1 광학계(131)를 포함할 수 있고, 제1 광학계(131)를 통해 검사 대상체(10)에 대한 검사를 수행할 수 있다. 광학검사부(130)는 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112)에 지지되어 이송된 검사 대상체(10)를 검사할 수 있으며, 제1 광학계(131)는 제2 축 방향(12)으로 이동할 수 있고, 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112)의 이송에 따라 제2 축 방향(12)으로 이동하여 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상에 위치할 수 있다. 여기서, 광학검사부(130)의 검사 대상체(10)에 대한 검사 원리는 통상적인 인쇄회로기판(PCB)의 자동광학검사(Automatic Optical Inspection; AOI) 방식과 유사할 수 있다. 예를 들어, 카메라 등의 영상 센서가 읽어들이는 인쇄회로기판(PCB)의 배선 패턴을 기준 데이터와 비교하여 결함을 찾아내는 방식으로, 배선의 폭, 홀(hole)의 형태와 누락 여부, 랜드(LAND)의 규격 등을 검사할 수 있다. 이와 같은 검사 방식의 기술 원리나 세부 기술적 사항은 당업계에 알려져 있다.The optical inspection unit 130 may include a first optical system 131 movable in the second axial direction 12 intersecting the first axial direction 11, and the inspection object 10 through the first optical system 131. ) can be inspected. The optical inspection unit 130 can inspect the inspection object 10 supported and transported on the first stage 111 or the second stage 112, and the first optical system 131 moves in the second axis direction 12. It can move, move in the second axis direction 12 according to the transfer of the first stage 111 or the second stage 112, and be located on the first stage 111 or the second stage 112. . Here, the inspection principle for the inspection object 10 by the optical inspection unit 130 may be similar to the automatic optical inspection (AOI) method of a typical printed circuit board (PCB). For example, this is a method of finding defects by comparing the wiring pattern of a printed circuit board (PCB) read by an image sensor such as a camera with reference data, and is based on the width of the wiring, the shape of the hole and whether it is missing, and the land ( LAND) specifications, etc. can be inspected. The technical principles and detailed technical details of such inspection methods are known in the art.

검사검증부(140)는 광학검사부(130)의 제1 축 방향(11) 일측에 배치될 수 있으며, 제2 축 방향(12)으로 이동 가능한 제2 광학계(141)를 포함할 수 있고, 제2 광학계(141)를 통해 검사 대상체(10)에 대한 검사를 검증할 수 있다. 검사검증부(140)는 광학검사부(130)에서 검사가 완료되어 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112)를 통해 이송된 검사 대상체(10)에 대한 검사를 검증할 수 있으며, 제2 광학계(141)는 제2 축 방향(12)으로 이동할 수 있고, 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112)의 이송에 따라 제2 축 방향(12)으로 이동하여 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상에 위치할 수 있다. 여기서, 검사검증부(140)의 검사 검증 원리는 인쇄회로기판(PCB)의 검증 재작업 위치(Verify Rework Station; VRS) 방식과 유사할 수 있다. 예를 들어, 검사 대상체(10)에 대한 검사에서 판단(또는 판정)된 부적합품(또는 불량)을 분석하여 불량의 진위를 확인(또는 판별)할 수 있다.The inspection verification unit 140 may be disposed on one side of the optical inspection unit 130 in the first axis direction 11 and may include a second optical system 141 movable in the second axis direction 12. 2 The inspection of the inspection object 10 can be verified through the optical system 141. The inspection verification unit 140 can verify the inspection of the inspection object 10 that has been completed in the optical inspection unit 130 and transferred through the first stage 111 or the second stage 112, and the second stage 111. The optical system 141 can move in the second axial direction 12, and moves in the second axial direction 12 according to the transfer of the first stage 111 or the second stage 112 to move the first stage 111. Alternatively, it may be located on the second stage 112. Here, the inspection and verification principle of the inspection and verification unit 140 may be similar to the Verify Rework Station (VRS) method of a printed circuit board (PCB). For example, the authenticity of the defect can be confirmed (or determined) by analyzing a nonconforming product (or defect) determined (or determined) during an inspection of the inspection object 10.

따라서, 본 발명에 따른 광학 검사 시스템(100)은 광학검사부(130)와 검사검증부(140)를 모두 포함하여 검사 대상체(10)에 대해 광학계(131,141)를 이용한 검사와 검증을 연속적으로 수행함으로써, 광학검사부(130)의 검사에서 불량으로 판단한 영역(또는 부분)이 진성 불량(또는 진짜 불량)인지 아니면 가성 불량(또는 정상)인지를 판별할 수 있고, 이에 따라 검사 대상체(10)에 대한 불량 판정 정확도가 높아질 수 있다.Therefore, the optical inspection system 100 according to the present invention includes both an optical inspection unit 130 and an inspection verification unit 140, and continuously performs inspection and verification on the inspection object 10 using the optical systems 131 and 141. , it is possible to determine whether the area (or part) determined to be defective in the inspection of the optical inspection unit 130 is a true defect (or true defect) or a false defect (or normal), and accordingly, the defect for the inspection object 10 Judgment accuracy can be improved.

제1 광학계(131)는 제1 카메라(131a)를 포함할 수 있고, 광학검사부(130)는 제1 카메라(131a)가 검사 대상체(10)의 전체 영역을 스캔 또는 촬상하여 검사 대상체(10)의 전체 영역에 대해 불량 검사를 수행할 수 있으며, 제2 광학계(141)는 제2 카메라(141a)를 포함할 수 있고, 검사검증부(140)는 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역의 위치 정보에 따라 제2 카메라(141a)가 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 촬상하여 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역에 대해 불량 여부를 검증할 수 있다.The first optical system 131 may include a first camera 131a, and the optical inspection unit 130 may inspect the inspection object 10 by scanning or imaging the entire area of the inspection object 10 by the first camera 131a. A defect inspection may be performed on the entire area, and the second optical system 141 may include a second camera 141a, and the inspection verification unit 140 may inspect the area determined to be defective by the optical inspection unit 130. According to the location information, the second camera 141a can capture an image of the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 and verify whether the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 is defective.

광학검사부(130)는 검사 대상체(10)의 전체 영역에 대해 불량 검사를 수행할 수 있고, 검사검증부(140)는 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역에 대해 불량 여부를 검증할 수 있다. 광학검사부(130)는 검사 대상체(10)의 전체 영역에 대해 검사를 실시하여 각 영역별로 불량을 판단할 수 있고, 검사검증부(140)는 검사 대상체(10)의 전체 영역에 대한 검사에서 광학검사부(130)가 불량으로 판단한 영역에 대해서만 다시 검사하여 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역의 불량 여부를 검증(또는 판별)할 수 있다.The optical inspection unit 130 can perform a defect inspection on the entire area of the inspection object 10, and the inspection verification unit 140 can verify whether the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 is defective. . The optical inspection unit 130 can inspect the entire area of the inspection object 10 to determine defects in each area, and the inspection verification unit 140 performs an optical inspection on the entire area of the inspection object 10. By re-inspecting only the areas judged to be defective by the inspection unit 130, it is possible to verify (or determine) whether the areas judged to be defective by the optical inspection unit 130 are defective.

예를 들어, 검사 대상체(10)가 인쇄회로기판(PCB)인 경우에 광학검사부(130)에서 인쇄회로기판(PCB)의 패턴 검사를 진행할 수 있고, 제1 광학계(131)는 인쇄회로기판(PCB)의 전체 영역을 스캔하면서 인쇄회로기판(PCB)의 패턴을 검사할 수 있으며, 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역의 고해상도 영상을 얻어 진성 불량(또는 진짜 불량)인지 아니면 가성 불량(또는 정상)인지를 판별할 수 있고, 제2 광학계(141)는 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역의 영상을 컬러영상으로 촬상할 수 있다.For example, when the inspection object 10 is a printed circuit board (PCB), the pattern inspection of the printed circuit board (PCB) can be performed in the optical inspection unit 130, and the first optical system 131 is a printed circuit board (PCB). The pattern of the printed circuit board (PCB) can be inspected while scanning the entire area of the printed circuit board (PCB), and a high-resolution image of the area judged to be defective by the optical inspection unit 130 can be obtained to determine whether it is a true defect (or true defect) or a false defect (or normal), and the second optical system 141 can capture the image of the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 as a color image.

제1 광학계(131)는 제1 카메라(131a)를 포함할 수 있고, 제1 카메라(131a)가 검사 대상체(10)의 전체 영역을 스캔 또는 촬상할 수 있으며, 제2 광학계(141)는 제2 카메라(141a)를 포함할 수 있고, 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역의 위치 정보를 이용하여 제2 카메라(141a)가 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 촬상할 수 있다.The first optical system 131 may include a first camera 131a, and the first camera 131a may scan or image the entire area of the inspection object 10, and the second optical system 141 may include a first camera 131a. It may include a 2 camera 141a, and the second camera 141a can image the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 using the location information of the area determined to be defective by the optical inspection unit 130. there is.

예를 들어, 제1 카메라(131a)는 라인스캔 카메라일 수 있고, 전하결합소자(Charge Coupled Device; CCD) 카메라로 구성될 수 있으며, 제1 광학계(131)는 3D 센서(131b)와 제1 조명(131c)을 더 포함할 수도 있다. 그리고 제2 카메라(141a)는 에어리어 컬러 카메라일 수 있고, 전하결합소자(CCD) 카메라로 구성될 수 있으며, 제2 광학계(141)는 제2 조명(141b)을 더 포함할 수도 있다.For example, the first camera 131a may be a line scan camera or may be configured as a charge coupled device (CCD) camera, and the first optical system 131 may include a 3D sensor 131b and a first It may further include lighting 131c. And the second camera 141a may be an area color camera or may be configured as a charge-coupled device (CCD) camera, and the second optical system 141 may further include a second light 141b.

광학검사부(130)는 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치에서의 거리와 방향을 통해 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보를 획득할 수 있고, 검사검증부(140)는 광학검사부(130)에서 획득한 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보로 확인된 상기 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치에서의 거리와 방향으로 제2 카메라(141a)를 이동시켜 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 촬상할 수 있다.The optical inspection unit 130 can obtain location information of the area determined to be defective through the distance and direction from the reference position on the first stage 111 or the second stage 112, and the inspection verification unit 140 Move the second camera 141a in the distance and direction from the reference position on the first stage 111 or the second stage 112 confirmed by the location information of the area determined to be defective obtained by the optical inspection unit 130. The area determined to be defective by the optical inspection unit 130 can be imaged.

광학검사부(130)는 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치를 기준으로 상기 기준 위치로부터의 제1 광학계(131)의 거리(즉, 상기 제1 카메라의 거리) 및 상기 기준 위치와의 (이격) 방향에 따라 각 영역의 위치 정보를 획득할 수 있고, 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보를 획득하여 제2 카메라(141a)가 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 찾아 촬상하도록 할 수 있다.The optical inspection unit 130 determines the distance of the first optical system 131 (i.e., the distance of the first camera) from the reference position on the first stage 111 or the second stage 112 and the Position information of each area can be obtained according to the direction (away from the reference position), and location information of the area determined to be defective is obtained, and the second camera 141a determines the area to be defective by the optical inspection unit 130. You can find and take pictures.

검사검증부(140)는 광학검사부(130)에서 획득한 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보로 상기 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치에서의 거리와 방향을 확인할 수 있으며, 확인된 상기 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치에서의 거리와 방향을 통해 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 찾아 촬상할 수 있고, 제2 카메라(141a)를 상기 확인된 상기 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치에서의 거리와 방향으로 이동시켜 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 촬상할 수 있다.The inspection verification unit 140 can check the distance and direction from the reference position on the first stage 111 or the second stage 112 using the location information of the area determined to be defective obtained by the optical inspection unit 130. , the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 can be found and imaged through the confirmed distance and direction from the reference position on the first stage 111 or the second stage 112, and the second camera 141a ) can be moved in the distance and direction from the confirmed reference position on the first stage 111 or the second stage 112 to image the area determined to be defective by the optical inspection unit 130.

이에, 제1 광학계(131)와 제2 광학계(141)가 각각 이동 가능하게 독립적으로 구성되어도 제2 카메라(141a)가 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 정확히 찾아가 촬상할 수 있다.Accordingly, even if the first optical system 131 and the second optical system 141 are independently configured to be movable, the second camera 141a can accurately locate and image the area determined to be defective by the optical inspection unit 130.

한편, 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보는 좌표 정보일 수도 있다. 예를 들어, 검사 대상체(10) 상에 영역별로 (x, y), (r, θ) 등의 좌표를 형성하여 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역의 좌표를 획득할 수 있고, 이렇게 획득된 좌표로 제2 광학계(141)가 찾아가 상기 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 촬상할 수 있다.Meanwhile, the location information of the area determined to be defective may be coordinate information. For example, by forming coordinates such as (x, y) and (r, θ) for each region on the inspection object 10, the coordinates of the region judged to be defective by the optical inspection unit 130 can be obtained, and obtained in this way. The second optical system 141 can visit the given coordinates and image the area determined to be defective by the optical inspection unit 130.

광학검사부(130)는 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시키는 제1 광학계 이동부(132)를 더 포함할 수 있고, 검사검증부(140)는 제2 광학계(141)를 제2 축 방향(12)으로 이동시키는 제2 광학계 이동부(142)를 (더) 포함할 수 있다. 제1 광학계 이동부(132)는 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시킬 수 있으며, 제1 레일과 제1 수평이동체로 구성될 수 있다. 상기 제1 레일은 제2 축 방향(12)으로 연장되어 배치될 수 있고, 제1 및 제2 이송레일(121a,121b)의 상부에 배치될 수 있다. 상기 제1 수평이동체는 상기 제1 레일의 상부면을 따라 제2 축 방향(12)으로 왕복 운동할 수 있다. 한편, 광학검사부(130)는 제1 수직이동부를 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 수평이동체의 측부와 결합하여 상기 제1 레일의 측부를 따라 전후방으로 왕복 운동할 수 있으며, 상기 제1 수평이동체의 측부를 기준으로 높이 방향으로(또는 상하로) 왕복 운동(또는 수직이동)할 수 있다. 이때, 제1 광학계(131)는 상기 제1 수직이동부에 결합될 수 있고, 하부에 위치한 검사 대상체(10)를 검사할 수 있다. 예를 들어, 제1 광학계(131)는 상기 제1 수직이동부의 상부에 결합되어 상기 제1 수직이동부의 상부면을 따라 높이 방향으로 왕복 운동할 수 있다. 여기서, 제1 광학계(131)는 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 스테이지(111)가 광학검사부(130)로 이동하면, 제1 광학계 이동부(132)에 의해 제1 스테이지(111) 상으로 이동한 후에 제1 카메라(131a)를 통해 제1 스테이지(111) 상에 지지된 검사 대상체(10)를 촬영하여 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검사를 수행할 수 있다. 그리고 제어부(미도시)는 제1 광학계(131)가 전송한 이미지 정보를 기준 데이터와 비교함으로써 결함을 찾아낼 수 있다. 한편, 검사 대상체(10)의 각 부분들을 검사하기 위하여 제1 광학계(131)가 제1 광학계 이동부(132) 및/또는 상기 제1 수직이동부에 의해 제2 축 방향(12) 및/또는 상하방향으로 이동할 수 있다.The optical inspection unit 130 may further include a first optical system moving unit 132 that moves the first optical system 131 in the second axis direction 12, and the inspection verification unit 140 may include a second optical system 141. ) may (further) include a second optical system moving unit 142 that moves the light in the second axis direction 12. The first optical system moving unit 132 can move the first optical system 131 in the second axis direction 12 and may be composed of a first rail and a first horizontal moving member. The first rail may be disposed to extend in the second axial direction 12 and may be disposed on top of the first and second transfer rails 121a and 121b. The first horizontal movable body may reciprocate in the second axis direction 12 along the upper surface of the first rail. Meanwhile, the optical inspection unit 130 may further include a first vertical movable part, and can reciprocate forward and backward along the side of the first rail by combining with the side of the first horizontal movable body. It can reciprocate (or move vertically) in the height direction (or up and down) based on the side of the moving object. At this time, the first optical system 131 may be coupled to the first vertical moving part and inspect the inspection object 10 located below. For example, the first optical system 131 may be coupled to the upper part of the first vertical movable unit and reciprocate in the height direction along the upper surface of the first vertical movable unit. Here, when the first stage 111 moves to the optical inspection unit 130 through the driving of the stage transfer unit 120, the first optical system 131 is moved to the first stage 111 by the first optical system moving unit 132. After moving upward, the inspection object 10 supported on the first stage 111 is photographed through the first camera 131a and transmitted to a control unit (not shown), thereby performing an inspection. And the control unit (not shown) can find defects by comparing the image information transmitted by the first optical system 131 with reference data. Meanwhile, in order to inspect each part of the inspection object 10, the first optical system 131 moves in the second axis direction 12 and/or by the first optical system moving part 132 and/or the first vertical moving part. It can move up and down.

제2 광학계 이동부(142)는 제2 광학계(141)를 제2 축 방향(12)으로 이동시킬 수 있으며, 제2 레일과 제2 수평이동체로 구성될 수 있다. 상기 제2 레일은 제2 축 방향(12)으로 연장되어 배치될 수 있고, 제1 및 제2 이송레일(121a,121b)의 상부에 배치될 수 있다. 상기 제2 수평이동체는 상기 제2 레일의 상부면을 따라 제2 축 방향(12)으로 왕복 운동할 수 있다. 한편, 검사검증부(140)는 제2 수직이동부를 더 포함할 수 있으며, 상기 제2 수평이동체의 측부와 결합하여 상기 제2 레일의 측부를 따라 전후방으로 왕복 운동할 수 있으며, 상기 제2 수평이동체의 측부를 기준으로 높이 방향으로 왕복 운동할 수 있다. 이때, 제2 광학계(141)는 상기 제2 수직이동부에 결합될 수 있고, 하부에 위치한 검사 대상체(10)에 대한 검사를 검증할 수 있다. 예를 들어, 제2 광학계(141)는 상기 제2 수직이동부의 상부에 결합되어 상기 제2 수직이동부의 상부면을 따라 높이 방향으로 왕복 운동할 수 있다. 여기서, 제2 광학계(141)는 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 스테이지(111)가 검사검증부(140)로 이동하면, 제2 광학계 이동부(122)에 의해 제1 스테이지(111) 상으로 이동한 후에 제2 카메라(141a)를 통해 제1 스테이지(111) 상에 지지된 검사 대상체(10) 중 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검증을 수행할 수 있다. 그리고 상기 제어부(미도시)는 제2 광학계(141)가 전송한 이미지 정보를 분석하여 진성 불량과 가성 불량을 판별할 수 있다. 한편, 검사 대상체(10) 중 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 찾아가기(또는 촬상하기) 위하여 제2 광학계(141)가 제2 광학계 이동부(142) 및/또는 상기 제2 수직이동부에 의해 제2 축 방향(12) 및/또는 상하방향으로 이동할 수 있다.The second optical system moving unit 142 can move the second optical system 141 in the second axis direction 12 and may be composed of a second rail and a second horizontal moving member. The second rail may be disposed to extend in the second axial direction 12 and may be disposed on top of the first and second transfer rails 121a and 121b. The second horizontal movable body may reciprocate in the second axial direction 12 along the upper surface of the second rail. Meanwhile, the inspection verification unit 140 may further include a second vertical movable unit, and can reciprocate forward and backward along the side of the second rail by combining with the side of the second horizontal movable body. It can reciprocate in the height direction based on the side of the horizontal moving object. At this time, the second optical system 141 may be coupled to the second vertical moving part and may verify the inspection of the inspection object 10 located below. For example, the second optical system 141 may be coupled to the upper part of the second vertical movable unit and reciprocate in the height direction along the upper surface of the second vertical movable unit. Here, when the first stage 111 moves to the inspection and verification unit 140 through the driving of the stage transfer unit 120, the second optical system 141 moves the first stage 111 by the second optical system moving unit 122. ) After moving to the top, the area judged to be defective by the optical inspection unit 130 among the inspection objects 10 supported on the first stage 111 is photographed through the second camera 141a and sent to the control unit (not shown). By transmitting, verification can be performed. And the control unit (not shown) can analyze the image information transmitted by the second optical system 141 to determine true defects and false defects. Meanwhile, in order to find (or capture an image of) an area determined to be defective by the optical inspection unit 130 among the inspection objects 10, the second optical system 141 uses the second optical system moving unit 142 and/or the second vertical It can move in the second axis direction 12 and/or in the vertical direction by the east.

스테이지 이송부(120)는 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 광학검사부(130)에 위치시킬 수 있고, 제1 광학계 이동부(132)는 제1 광학계(131)를 제1 스테이지(111) 상에 위치시킬 수 있다. 예를 들어, 광학 검사 시스템(100)은 검사 대상체(10)를 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상에 로딩(loading) 및/또는 언로딩(unloading)하는 로딩 영역과 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상에 지지된 검사 대상체(10)를 검사 및 검증하는 검사 영역으로 구분될 수 있다. 여기서, 상기 로딩 영역은 검사 대상체(10)의 로딩 및 언로딩이 용이할 수 있도록 개방될 수 있으며, 상기 검사 영역은 외부로부터 먼지 등의 오염물 유입을 방지하기 위해 외벽 등으로 폐쇄될 수 있고, 게이트(50) 등에 의해 검사 대상체(10)가 상기 검사 영역으로 반입 및 반출될 수 있다.The stage transfer unit 120 can transfer the first stage 111 in the first axial direction 11 and position it in the optical inspection unit 130, and the first optical system moving unit 132 moves the first optical system 131. It can be placed on the first stage 111. For example, the optical inspection system 100 includes a loading area for loading and/or unloading the inspection object 10 on the first stage 111 or the second stage 112 and a first It may be divided into an inspection area for inspecting and verifying the inspection object 10 supported on the stage 111 or the second stage 112. Here, the loading area may be open to facilitate loading and unloading of the inspection object 10, and the inspection area may be closed with an outer wall to prevent contaminants such as dust from entering from the outside, and the gate The inspection object 10 may be brought in and out of the inspection area by (50) or the like.

상기 로딩 영역에서 제1 스테이지(111) 상에 검사 대상체(10)가 로딩(또는 지지)되면, 스테이지 이송부(120)는 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 검사 영역의 광학검사부(130)에 위치시킬 수 있으며, 제1 광학계 이동부(132)는 제1 광학계(131)를 제1 스테이지(111) 상에 위치시킬 수 있고, 제1 스테이지(111) 상으로 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시킬 수 있다.When the inspection object 10 is loaded (or supported) on the first stage 111 in the loading area, the stage transfer unit 120 transfers the first stage 111 in the first axial direction 11 to perform the inspection. It can be positioned on the optical inspection unit 130 of the area, and the first optical system moving unit 132 can position the first optical system 131 on the first stage 111, and the first optical system moving unit 132 can position the first optical system 131 on the first stage 111. The first optical system 131 can be moved in the second axis direction 12.

이를 통해 제1 광학계(131)가 제1 스테이지(111) 상에 지지된 검사 대상체(10)를 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검사를 수행할 수 있다.Through this, the first optical system 131 can perform an inspection by photographing the inspection object 10 supported on the first stage 111 and transmitting the image to the control unit (not shown).

스테이지 이송부(120)는 제1 스테이지(111)를 광학검사부(130)에서 검사검증부(140)로 이송할 수 있고, 제2 스테이지(112)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 광학검사부(130)에 위치시킬 수 있으며, 제1 광학계 이동부(132)는 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 제2 스테이지(112) 상에 위치시킬 수 있고, 제2 광학계 이동부(142)는 제2 광학계(141)를 제1 스테이지(111) 상에 위치시킬 수 있다.The stage transfer unit 120 can transfer the first stage 111 from the optical inspection unit 130 to the inspection verification unit 140, and transfer the second stage 112 in the first axis direction 11 to the optical inspection unit 140. It can be positioned at 130, and the first optical system moving unit 132 can move the first optical system 131 in the second axis direction 12 and position it on the second stage 112, and the second optical system 131 can be positioned on the second stage 112. The optical system moving unit 142 may position the second optical system 141 on the first stage 111.

제1 스테이지(111)에 지지된 검사 대상체(10)에 대한 검사가 완료(또는 종료)되면, 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 스테이지(111)가 제1 축 방향(11)으로 이동하여 광학검사부(130)에서 검사검증부(140)로 이송될 수 있고, 검사 대상체(10)가 지지된 제2 스테이지(112)가 제1 축 방향(11)으로 이동하여 광학검사부(130)에 위치할 수 있다. 이때, 제1 광학계(131)는 제1 광학계 이동부(132)에 의해 제2 축 방향(12)으로 이동하여 제2 스테이지(112) 상에 위치할 수 있고, 제1 카메라(131a)를 통해 제2 스테이지(112) 상에 지지된 검사 대상체(10)를 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써 검사를 수행할 수 있다. 상기 제어부(미도시)에서는 제1 광학계(131)가 전송한 이미지 정보를 기준 데이터와 비교함으로써 결함을 찾아낼 수 있다. 마찬가지로, 검사 대상체(10)의 각 부분들을 검사하기 위하여 제1 광학계(131)가 제1 광학계 이동부(132) 및/또는 상기 제1 수직이동부에 의해 제2 축 방향(12) 및/또는 상하방향으로 이동할 수 있다. 그리고 제2 광학계(141)는 제2 광학계 이동부(142)에 의해 제1 스테이지(111) 상에 위치될 수 있고, 제2 축 방향(12)으로 이동되어 제1 스테이지(111) 상에 위치될 수 있다. 이를 통해 제2 광학계(141)가 제1 스테이지(111) 상에 지지된 검사 대상체(10) 중 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검증을 수행할 수 있다.When the inspection of the inspection object 10 supported on the first stage 111 is completed (or terminated), the first stage 111 moves in the first axis direction 11 through the driving of the stage transfer unit 120. Thus, it can be transferred from the optical inspection unit 130 to the inspection verification unit 140, and the second stage 112 on which the inspection object 10 is supported moves in the first axis direction 11 to the optical inspection unit 130. can be located At this time, the first optical system 131 may be moved in the second axis direction 12 by the first optical system moving unit 132 and positioned on the second stage 112, and may be positioned on the second stage 112 through the first camera 131a. The test can be performed by taking pictures of the test object 10 supported on the second stage 112 and transmitting the pictures to the control unit (not shown). The control unit (not shown) can find defects by comparing image information transmitted from the first optical system 131 with reference data. Likewise, in order to inspect each part of the inspection object 10, the first optical system 131 moves in the second axis direction 12 and/or by the first optical system moving part 132 and/or the first vertical moving part. It can move up and down. And the second optical system 141 can be positioned on the first stage 111 by the second optical system moving unit 142, and is moved in the second axis direction 12 and positioned on the first stage 111. It can be. Through this, the second optical system 141 photographs the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 among the inspection objects 10 supported on the first stage 111 and transmits the image to the control unit (not shown), thereby performing verification. It can be done.

스테이지 이송부(120)는 상기 검증이 완료된 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송할 수 있고, 제2 스테이지(112)를 광학검사부(130)에서 검사검증부(140)로 이송할 수 있으며, 제2 광학계 이동부(142)는 제2 광학계(141)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 제2 스테이지(112) 상에 위치시킬 수 있다.The stage transfer unit 120 can transfer the verified first stage 111 in the first axial direction 11, and transfer the second stage 112 from the optical inspection unit 130 to the inspection verification unit 140. It can be transferred, and the second optical system moving unit 142 can move the second optical system 141 in the second axis direction 12 and position it on the second stage 112.

상기 검증이 완료된 제1 스테이지(111)는 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 축 방향(11)으로 이동하여 상기 로딩 영역으로 이송될 수 있으며, 상기 검증된 검사 대상체(10)는 언로딩되고, 새로운 검사 대상체(10)가 제1 스테이지(111) 상에 로딩되어 지지될 수 있다.The verified first stage 111 may be moved in the first axial direction 11 by driving the stage transfer unit 120 and transferred to the loading area, and the verified test object 10 may be unloaded. And, the new test object 10 can be loaded and supported on the first stage 111.

그리고 제2 스테이지(112)에 지지된 검사 대상체(10)에 대한 검사가 완료된 경우에는 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제2 스테이지(112)가 제1 축 방향(11)으로 이동하여 광학검사부(130)에서 검사검증부(140)로 이송될 수 있으며, 제2 광학계(141)는 제2 광학계 이동부(142)에 의해 제2 축 방향(12)으로 이동되어 제2 스테이지(112) 상에 위치될 수 있고, 제2 광학계(141)가 제2 스테이지(112) 상에 지지된 검사 대상체(10) 중 광학검사부(130)에서 불량으로 판단한 영역을 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검증을 수행할 수 있다.And when the inspection of the inspection object 10 supported on the second stage 112 is completed, the second stage 112 moves in the first axis direction 11 through the driving of the stage transfer unit 120, thereby moving the optical inspection unit. It can be transferred from 130 to the inspection verification unit 140, and the second optical system 141 is moved in the second axis direction 12 by the second optical system moving unit 142 and placed on the second stage 112. It may be located in, and the second optical system 141 photographs the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 among the inspection object 10 supported on the second stage 112 and transmits it to the control unit (not shown). By doing so, verification can be performed.

따라서, 본 발명에 따른 광학 검사 시스템(100)은 복수의 스테이지(111,112)로 구성되고 광학검사부(130)의 제1 광학계(131)와 검사검증부(140)의 제2 광학계(141)가 제2 축 방향(12)으로 복수의 스테이지(111,112) 간을 이동 가능하게 구성됨으로써, 제1 스테이지(111)에 지지된 (제1) 검사 대상체(10a)에 대한 광학검사부(130)의 검사가 완료된 후에 제1 스테이지(111)에 지지된 (제1) 검사 대상체(10a)에 대해 검사검증부(140)에 의한 검증이 수행되는 동안, 제2 스테이지(112)에 지지된 (제2) 검사 대상체(10b)에 대해 광학검사부(130)에 의한 검사가 수행될 수 있으며, 이에 따라 소정량의 검사 대상체(10)에 대한 검사와 검증을 완료하는 데에 걸리는 평균 공정 시간(tact time)을 단축시킬 수 있고, 정상 제품의 생산량을 늘리기 위한 검사 시스템의 효율성과 가동률이 향상될 수 있다.Accordingly, the optical inspection system 100 according to the present invention is composed of a plurality of stages 111 and 112, and the first optical system 131 of the optical inspection unit 130 and the second optical system 141 of the inspection verification unit 140 are the first optical system 141 of the optical inspection unit 130. By being configured to be able to move between the plurality of stages 111 and 112 in the two-axis direction 12, the inspection of the optical inspection unit 130 on the (first) inspection object 10a supported on the first stage 111 is completed. Later, while verification by the test verification unit 140 is performed on the (first) test object 10a supported on the first stage 111, the (second) test object supported on the second stage 112 Inspection by the optical inspection unit 130 may be performed on (10b), thereby shortening the average process time (tact time) required to complete inspection and verification of a predetermined amount of inspection objects 10. and the efficiency and operation rate of the inspection system to increase production of normal products can be improved.

본 발명에 따른 광학 검사 시스템(100)은 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112)를 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)와 각각 정렬시키는 위치교정부(160);를 더 포함할 수 있다.The optical inspection system 100 according to the present invention includes a position correction unit 160 that aligns the first stage 111 and the second stage 112 with the first optical system 131 and the second optical system 141, respectively. More may be included.

위치교정부(160)는 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112)를 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)와 각각 정렬시킬 수 있으며, 제1 스테이지(111)를 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)와 정렬시킬 수 있고, 제2 스테이지(112)를 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)와 정렬시킬 수 있다. 이를 통해 광학검사부(130)의 상기 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치와 검사검증부(140)의 상기 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치가 동일하도록 할 수 있다.The position correction unit 160 may align the first stage 111 and the second stage 112 with the first optical system 131 and the second optical system 141, respectively, and align the first stage 111 with the first optical system 112. It can be aligned with the optical system 131 and the second optical system 141, and the second stage 112 can be aligned with the first optical system 131 and the second optical system 141. Through this, the reference position on the first stage 111 or the second stage 112 of the optical inspection unit 130 and the reference position on the first stage 111 or the second stage 112 of the inspection verification unit 140 can be made to be the same.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 제1 스테이지를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 정렬 정보의 획득을 설명하기 위한 개념도로, 도 4(a)는 제1 스테이지와 제1 광학계의 제1 기준 위치 이동, 도 4(b)는 제1 광학계를 이용한 제1 스테이지의 기준 마커 영상 획득, 도 4(c)는 제1 광학계 영상 센터와 기준 마커의 정렬 확인, 도 4(d)는 제1 광학계 영상 센터와 기준 마커의 제1 축 편차, 제2 축 편차 및 회전 편차 연산, 도 4(e)는 연산 결과를 반영한 제1 스테이지와 제1 광학계의 정렬, 도 4(f)는 제1 스테이지의 검사검증부 이동, 도 4(g)는 제1 스테이지와 제2 광학계의 제2 기준 위치 이동, 도 4(h)는 제2 광학계를 이용한 제1 스테이지의 기준 마커 영상 획득, 도 4(i)는 제2 광학계 영상 센터와 기준 마커의 정렬 확인, 도 4(j)는 제2 광학계 영상 센터와 기준 마커의 제1 축 편차, 제2 축 편차 및 회전 편차 연산을 나타낸다.Figure 3 is a perspective view showing the first stage according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a conceptual diagram for explaining the acquisition of alignment information according to an embodiment of the present invention, and Figure 4(a) is the first stage. and movement of the first reference position of the first optical system, FIG. 4(b) shows the acquisition of a reference marker image of the first stage using the first optical system, and FIG. 4(c) shows alignment confirmation of the image center of the first optical system and the reference marker, FIG. 4(d) is the calculation of the first axis deviation, second axis deviation, and rotation deviation of the first optical system image center and the reference marker, Figure 4(e) is the alignment of the first stage and the first optical system reflecting the calculation results, Figure 4 (f) is the movement of the inspection and verification unit of the first stage, Figure 4(g) is the movement of the second reference position of the first stage and the second optical system, and Figure 4(h) is the reference marker of the first stage using the second optical system. Image acquisition, Figure 4(i) confirms the alignment of the second optical system image center and the reference marker, and Figure 4(j) shows the calculation of the first axis deviation, second axis deviation, and rotation deviation of the second optical system image center and the reference marker. indicates.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112)는 표면 상에 형성된 기준 마커(110a)를 포함할 수 있으며, 위치교정부(160)는 광학검사부(130)로 이송된 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제1 광학계(131)로 확인하여 제1 광학계(131)와 제1 스테이지(111)의 제1-1 정렬 정보 및 제1 광학계(131)와 제2 스테이지(112)의 제1-2 정렬 정보를 획득할 수 있고, 제1 광학계(131)와 정렬되어 이송된 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 제2 광학계(141)와 제1 스테이지(111)의 제2-1 정렬 정보 및 제2 광학계(141)와 제2 스테이지(112)의 제2-2 정렬 정보를 획득할 수 있다. 기준 마커(110a)는 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112)의 표면 상에 형성될 수 있으며, 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)가 촬영할 수 있는 면 상에 형성될 수 있다. 여기서, 기준 마커(110a)는 양각으로 형성될 수도 있고, 음각으로 형성될 수도 있으며, 단지 색 표시만 되어 있을 수도 있고, 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)에 의해 인식될 수만 있다면 특별히 한정되지 않는다. 한편, 상기 제1 스테이지(111) 또는 제2 스테이지(112) 상의 기준 위치는 기준 마커(110a)의 위치일 수 있다.3 and 4, the first stage 111 and the second stage 112 may include a reference marker 110a formed on the surface, and the position correction unit 160 may include the optical inspection unit 130. The reference marker 110a of the first stage 111 and the second stage 112 transferred to is confirmed by the first optical system 131, and the 1-1 Alignment information and 1-2 alignment information of the first optical system 131 and the second stage 112 can be obtained, and the first stage 111 and the second stage are aligned with the first optical system 131 and transferred. The reference marker 110a of 112 is confirmed with the second optical system 141, and the 2-1 alignment information of the second optical system 141 and the first stage 111 and the second optical system 141 and the second stage are confirmed. The 2-2 alignment information of (112) can be obtained. The reference marker 110a may be formed on the surfaces of the first stage 111 and the second stage 112, and may be formed on the surface where the first optical system 131 and the second optical system 141 can image. You can. Here, the reference marker 110a may be formed in a positive or negative manner, or may only be colored, as long as it can be recognized by the first optical system 131 and the second optical system 141. There is no particular limitation. Meanwhile, the reference position on the first stage 111 or the second stage 112 may be the position of the reference marker 110a.

위치교정부(160)는 제1 광학계(131)와 제1 스테이지(111)의 제1-1 정렬 정보, 제1 광학계(131)와 제2 스테이지(112)의 제1-2 정렬 정보, 제2 광학계(141)와 제1 스테이지(111)의 제2-1 정렬 정보 및 제2 광학계(141)와 제2 스테이지(112)의 제2-2 정렬 정보를 획득할 수 있다. 상기 제1-1 정렬 정보는 광학검사부(130)로 이송된 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 제1 광학계(131)로 확인하여 획득할 수 있으며, 제1 광학계(131)로 촬영된 영상에서의 영상 중심과 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a) 위치 간의 틀어짐 정도를 연산(또는 확인)하여 획득될 수 있다. 또한, 상기 제1-2 정렬 정보는 광학검사부(130)로 이송된 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제1 광학계(131)로 확인하여 획득할 수 있으며, 제1 광학계(131)로 촬영된 영상에서의 영상 중심과 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a) 위치 간의 틀어짐 정도를 연산하여 획득될 수 있다. 그리고 상기 제2-1 정렬 정보는 검사검증부(140)로 이송된 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 획득할 수 있으며, 제2 광학계(141)로 촬영된 영상에서의 영상 중심과 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a) 위치 간의 틀어짐 정도를 연산하여 획득될 수 있다. 이때, 제1 스테이지(111)는 상기 제1-1 정렬 정보를 통해 제1 광학계(131)와 정렬된 후에 검사검증부(140)로 이송될 수 있으며, 위치교정부(160)는 제1 광학계(131)와 정렬되어 이송된 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 상기 제2-1 정렬 정보를 획득할 수 있다. 또한, 상기 제2-2 정렬 정보는 검사검증부(140)로 이송된 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 획득할 수 있으며, 제2 광학계(141)로 촬영된 영상에서의 영상 중심과 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a) 위치 간의 틀어짐 정도를 연산하여 획득될 수 있다. 이때, 제2 스테이지(112)는 상기 제1-2 정렬 정보를 통해 제1 광학계(131)와 정렬된 후에 검사검증부(140)로 이송될 수 있으며, 위치교정부(160)는 제1 광학계(131)와 정렬되어 이송된 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 상기 제2-2 정렬 정보를 획득할 수 있다.The position correction unit 160 includes 1-1 alignment information of the first optical system 131 and the first stage 111, 1-2 alignment information of the first optical system 131 and the second stage 112, and 2-1 alignment information of the second optical system 141 and the first stage 111 and 2-2 alignment information of the second optical system 141 and the second stage 112 may be obtained. The 1-1 alignment information can be obtained by checking the reference marker 110a of the first stage 111 transferred to the optical inspection unit 130 with the first optical system 131. It can be obtained by calculating (or checking) the degree of discrepancy between the image center in the captured image and the position of the reference marker 110a of the first stage 111. In addition, the 1-2 alignment information can be obtained by checking the reference marker 110a of the second stage 112 transferred to the optical inspection unit 130 with the first optical system 131, and the first optical system 131 ) can be obtained by calculating the degree of distortion between the image center in the image captured and the position of the reference marker 110a of the second stage 112. And the 2-1 alignment information can be obtained by checking the reference marker 110a of the first stage 111 transferred to the inspection and verification unit 140 with the second optical system 141, and the second optical system 141 ) can be obtained by calculating the degree of distortion between the image center in the image captured and the position of the reference marker 110a of the first stage 111. At this time, the first stage 111 may be aligned with the first optical system 131 through the 1-1 alignment information and then transferred to the inspection verification unit 140, and the position correction unit 160 may be aligned with the first optical system 131 through the 1-1 alignment information. The 2-1 alignment information can be obtained by checking the reference marker 110a of the first stage 111 aligned with 131 and transferred using the second optical system 141. In addition, the 2-2 alignment information can be obtained by checking the reference marker 110a of the second stage 112 transferred to the inspection and verification unit 140 with the second optical system 141, and the second optical system ( It can be obtained by calculating the degree of distortion between the image center in the image captured with 141) and the position of the reference marker 110a of the second stage 112. At this time, the second stage 112 may be aligned with the first optical system 131 through the 1-2 alignment information and then transferred to the inspection verification unit 140, and the position correction unit 160 may be aligned with the first optical system 131. The 2-2 alignment information can be obtained by checking the reference marker 110a of the second stage 112 that is aligned with (131) and transported using the second optical system 141.

본 발명에 따른 광학 검사 시스템(100)은 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112) 또는 제1 광학계(131)와 제2 광학계(141)를 각각 중심축에 대해 회전시키는 회전보정부(165);를 더 포함할 수 있고, 상기 제1-1 정렬 정보, 상기 제1-2 정렬 정보, 상기 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보는 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 회전 편차를 포함할 수 있다.The optical inspection system 100 according to the present invention includes a rotation correction unit ( 165); may further include, wherein the 1-1st alignment information, the 1-2nd alignment information, the 2-1st alignment information, and the 2-2nd alignment information include the first axis deviation, the first axis deviation, and the second alignment information. Can include biaxial deviation and rotational deviation.

회전보정부(165)는 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112) 또는 제1 광학계(131)와 제2 광학계(141)를 각각의 중심축에 대해 회전시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 스테이지(111)를 그 중심축을 중심으로 회전시켜 제1 광학계(131)와 정렬시킬 수 있고, 제2 광학계(141)와 정렬시킬 수도 있다. 동일한 방식으로 제2 스테이지(112)를 그 중심축을 중심으로 회전시켜 제1 스테이지(111)와 정렬시킬 수 있고, 제2 광학계(141)와 정렬시킬 수도 있다. 한편, 제1 광학계(131)를 그 중심축을 중심으로 회전시킬 수도 있으며, 제1 광학계(131)를 회전시켜 제1 스테이지(111)와 정렬시킬 수 있고, 제2 스테이지(112)와 정렬시킬 수도 있다. 동일한 방식으로 제2 광학계(141)를 그 중심축을 중심으로 회전시킬 수도 있으며, 제2 광학계(141)를 회전시켜 제1 스테이지(111)와 정렬시킬 수 있고, 제2 스테이지(112)와 정렬시킬 수도 있다.The rotation correction unit 165 may rotate the first stage 111 and the second stage 112 or the first optical system 131 and the second optical system 141 about their respective central axes. For example, the first stage 111 can be aligned with the first optical system 131 by rotating about its central axis, and can also be aligned with the second optical system 141. In the same way, the second stage 112 can be aligned with the first stage 111 by rotating about its central axis, and can also be aligned with the second optical system 141. Meanwhile, the first optical system 131 may be rotated about its central axis, and the first optical system 131 may be rotated to align with the first stage 111 and the second stage 112. there is. In the same way, the second optical system 141 can be rotated about its central axis, the second optical system 141 can be rotated to align with the first stage 111, and the second optical system 141 can be aligned with the second stage 112. It may be possible.

상기 제1-1 정렬 정보, 상기 제1-2 정렬 정보, 상기 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보는 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 회전 편차를 포함할 수 있으며, 각 상태에서 상기 정렬 정보(들)에 따라 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 상기 회전 편차만큼만 보정해주면 제1 광학계(131)와 제1 스테이지(111), 제1 광학계(131)와 제2 스테이지(112), 제2 광학계(141)와 제1 스테이지(111) 및 제2 광학계(141)와 제2 스테이지(112)가 간단하게 정렬될 수 있다.The 1-1 alignment information, the 1-2 alignment information, the 2-1 alignment information, and the 2-2 alignment information may include the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation. In each state, if only the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation are corrected according to the alignment information(s), the first optical system 131, the first stage 111, and the first optical system 131 ) and the second stage 112, the second optical system 141 and the first stage 111, and the second optical system 141 and the second stage 112 can be easily aligned.

이를 통해 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112) 각각이 광학검사부(130) 및 검사검증부(140)에 진입하면서(또는 상기 광학검사부 및 상기 검사검증부로 이송되면서) 각 상태의 정렬 정보에 따라 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 상기 회전 편차만큼 보정되어 검사 대상체(10)에 대한 검사 및 검증을 위해 정렬된 상태로 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)가 제1 스테이지(111) 및/또는 제2 스테이지(112) 상에 위치될 수 있다. 이에 따라 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112)의 이송 및 정렬이 동시에(또는 한번에) 이루어져 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112)의 이송 후에 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112)를 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)에 정렬시켜야 하는 별도의 시간이 필요하지 않게 될 수 있다. 한편, 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112)는 광학검사부(130)에서 제1 광학계(131)와 정렬되어 검사 대상체(10)에 대한 검사를 완료한 후에 검사검증부(140)로 이송되게 되므로, 제2 광학계(141)와의 정렬을 위한 보정이 용이할 수 있도록 제1 광학계(131)와 정렬되어 이송된 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 상기 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보를 획득할 수 있다. 이러한 경우, 별도의 연산이나 처리 없이 단순히 상기 제1-1 정렬 정보, 상기 제1-2 정렬 정보, 상기 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보에 각각 포함된 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 상기 회전 편차만큼만 보정하여 주면, 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112)를 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)와 정렬시킬 수 있다.Through this, as each of the first stage 111 and the second stage 112 enters the optical inspection unit 130 and the inspection and verification unit 140 (or is transferred to the optical inspection unit and the inspection and verification unit), the alignment information of each state is provided. Accordingly, the first optical system 131 and the second optical system 141 are corrected by the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation and aligned for inspection and verification of the inspection object 10. It may be located on the first stage 111 and/or the second stage 112. Accordingly, the transfer and alignment of the first stage 111 and the second stage 112 are performed simultaneously (or at once), so that the first stage 111 and the second stage 112 are transferred after the transfer of the first stage 111 and the second stage 112. Additional time for aligning the second stage 112 with the first optical system 131 and the second optical system 141 may not be required. Meanwhile, the first stage 111 and the second stage 112 are aligned with the first optical system 131 in the optical inspection unit 130 and are sent to the inspection verification unit 140 after completing the inspection of the inspection object 10. Since it is transferred, the reference markers 110a of the first stage 111 and the second stage 112 are aligned with the first optical system 131 and transferred so that correction for alignment with the second optical system 141 can be easily performed. can be confirmed with the second optical system 141 to obtain the 2-1 alignment information and the 2-2 alignment information. In this case, the first axis deviation included in the 1-1 alignment information, the 1-2 alignment information, the 2-1 alignment information, and the 2-2 alignment information simply without any additional calculation or processing. , by correcting only the second axis deviation and the rotation deviation, the first stage 111 and the second stage 112 can be aligned with the first optical system 131 and the second optical system 141.

따라서, 상기 제1-1 정렬 정보, 상기 제1-2 정렬 정보, 상기 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보를 획득하는 한 번의 교정(Calibration) 작업만으로 본 발명에 따른 광학 검사 시스템(100)에 반영되어 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112)의 이송 후에 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112)를 제1 광학계(131) 및 제2 광학계(141)에 정렬시켜야 하는 별도의 시간이 필요하지 않으므로, 스테이지(111,112)나 제1 광학계(131) 또는 제2 광학계(141)가 교체 되지 않는 이상 광학검사부(130)와 검사검증부(140)에서 검사와 검증이 이루어지는 상기 평균 공정 시간에 아무런 지장을 주지 않을 수 있고, 오히려 상기 평균 공정 시간이 단축될 수 있다. 또한, 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112) 상에 검사 대상체(10)가 흡착 고정된 상태로 광학검사부(130) 및 검사검증부(140)에 이송되므로, 광학검사부(130)에서 제1 광학계(131)와 검사 대상체(10)의 정렬 한번을 통해 제2 광학계(141)와 검사 대상체(10)의 정렬을 진행하지 않아도 제1 광학계(130)와 제2 광학계(141) 간에 위치 정보를 정확하게 일치 시킬 수 있고, 이에 따라 상기 평균 공정 시간이 더욱 단축될 수 있다.Therefore, optical inspection according to the present invention requires only one calibration operation to obtain the 1-1 alignment information, the 1-2 alignment information, the 2-1 alignment information, and the 2-2 alignment information. It is reflected in the system 100 and after the transfer of the first stage 111 and the second stage 112, the first stage 111 and the second stage 112 are connected to the first optical system 131 and the second optical system 141. Since there is no need for additional time to align, unless the stages 111 and 112, the first optical system 131, or the second optical system 141 are replaced, the optical inspection unit 130 and the inspection verification unit 140 perform inspection and There may be no disruption to the average process time during which verification is performed, and rather, the average process time may be shortened. In addition, since the inspection object 10 is adsorbed and fixed on the first stage 111 and the second stage 112 and is transferred to the optical inspection unit 130 and the inspection verification unit 140, the optical inspection unit 130 Through alignment of the first optical system 131 and the inspection object 10, the position between the first optical system 130 and the second optical system 141 is established without having to align the second optical system 141 and the inspection object 10. Information can be accurately matched, and thus the average process time can be further shortened.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 위치교정부에 의한 정렬을 설명하기 위한 개념도이다.Figure 5 is a conceptual diagram for explaining alignment by the position correction unit according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 스테이지 이송부(120)는 상기 제1 축 편차를 보정할 수 있고, 제1 광학계 이동부(132)와 제2 광학계 이동부(142)는 제1 광학계(131)와 제2 광학계(141) 중 대응되는 광학계(131 or 141)의 상기 제2 축 편차를 보정할 수 있으며, 회전보정부(165)는 상기 회전 편차를 보정할 수 있다. 스테이지 이송부(120)는 제1 축 방향(11)으로 제1 스테이지(111) 및/또는 제2 스테이지(112)를 이송하여 상기 제1 축 편차를 보정할 수 있으며, 제1 광학계 이동부(132)는 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정할 수 있고, 제2 광학계 이동부(142)는 제2 광학계(141)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정할 수 있다. 그리고 회전보정부(165)는 제1 스테이지(111)와 제2 스테이지(112) 또는 제1 광학계(131)와 제2 광학계(141)를 각각의 중심축에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정할 수 있다.Referring to FIG. 5, the stage transfer unit 120 can correct the first axis deviation, and the first optical system moving unit 132 and the second optical system moving unit 142 can move the first optical system 131 and the second optical system 142. The second axis deviation of the corresponding optical system 131 or 141 among the optical systems 141 can be corrected, and the rotation correction unit 165 can correct the rotation deviation. The stage transfer unit 120 may correct the first axis deviation by transferring the first stage 111 and/or the second stage 112 in the first axis direction 11, and the first optical system transfer unit 132 ) can correct the second axis deviation by moving the first optical system 131 in the second axis direction 12, and the second optical system moving unit 142 moves the second optical system 141 in the second axis direction. The second axis deviation can be corrected by moving to (12). And the rotation correction unit 165 rotates the first stage 111 and the second stage 112 or the first optical system 131 and the second optical system 141 about their respective central axes to correct the rotation deviation. You can.

즉, 복수의 스테이지(111,112) 각각을 제1 광학계(131) 또는 제2 광학계(141)에 정렬시키면서 제1 축 방향(11)의 보정을 스테이지 이송부(120)가 담당하고 제2 축 방향(12)의 보정을 제1 광학계 이동부(132) 및 제2 광학계 이동부(142)가 담당함으로써, 복잡한 구성 없이도 복수의 스테이지 각각(111,112)과 제1 광학계(131) 및/또는 제2 광학계(141)를 정렬시킬 수 있으며, 이에 따라 정렬을 위해 추가적으로 설치되는 구성(들)을 줄일 수 있고, 추가적으로 설치되는 구성으로 인한 공간적 문제와 비용적 문제를 해결할 수 있다.That is, while each of the plurality of stages 111 and 112 is aligned with the first optical system 131 or the second optical system 141, the stage transfer unit 120 is responsible for correction of the first axial direction 11 and the second axial direction 12 ), the first optical system moving unit 132 and the second optical system moving unit 142 are responsible for the correction of each of the plurality of stages 111 and 112 and the first optical system 131 and/or the second optical system 141 without complex configuration. ) can be aligned, thereby reducing the number of additionally installed components for alignment, and solving space and cost problems caused by additionally installed components.

본 발명에 따른 광학 검사 시스템(100)은 검사검증부(140)와 반대되어 광학검사부(130)의 제1 축 방향(11) 타측에 배치되며, 검사 대상체(10)를 세정하는 클리닝부(150);를 더 포함할 수 있다.The optical inspection system 100 according to the present invention is disposed on the other side of the first axis direction 11 of the optical inspection unit 130, opposite to the inspection verification unit 140, and includes a cleaning unit 150 that cleans the inspection object 10. ); may further be included.

클리닝부(150)는 검사검증부(140)와 반대되어 광학검사부(130)의 제1 축 방향(11) 타측에 배치될 수 있으며, 검사 대상체(10)를 세정(cleaning)할 수 있다. 이때, 클리닝부(150)는 검사 대상체(10)를 건식 세정할 수 있으며, 롤러 흡착 방식 또는 가스 분사 방식 등으로 검사 대상체(10) 표면의 먼지 등의 오염물을 제거할 수 있고, 세정 방식에 있어서 검사 오류를 방지하기 위해 검사 대상체(10)의 표면을 깨끗하게 할 수 있다면 특별히 제한되지 않는다.The cleaning unit 150 may be disposed on the other side of the first axis direction 11 of the optical inspection unit 130, opposite to the inspection verification unit 140, and may clean the inspection object 10. At this time, the cleaning unit 150 can dry clean the test object 10 and remove contaminants such as dust from the surface of the test object 10 using a roller adsorption method or a gas injection method. In the cleaning method, There is no particular limitation as long as the surface of the inspection object 10 can be cleaned to prevent inspection errors.

본 발명에서는 검사 대상체(10)가 지지되는 스테이지(111 or 112)를 제1 축 방향(11)으로 이송하면서 인라인(in-line)으로 광학검사부(130)에 의한 검사와 검사검증부(140)에 의한 검증을 수행함으로써, 검사 대상체(10)를 한 번 세정한 후에 추가적인 세정 없이 검사 대상체(10)에 대한 검사와 검증이 연속적으로 수행될 수 있다.In the present invention, the stage 111 or 112 on which the inspection object 10 is supported is transported in the first axis direction 11 while the inspection by the optical inspection unit 130 and the inspection verification unit 140 are carried out in-line. By performing verification by , after the inspection object 10 is cleaned once, inspection and verification of the inspection object 10 can be performed continuously without additional cleaning.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 검사 방법을 나타내는 순서도이다.Figure 6 is a flowchart showing an optical inspection method according to another embodiment of the present invention.

도 6을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 검사 방법을 보다 상세히 살펴보는데, 본 발명의 일실시예에 따른 광학 검사 시스템과 관련하여 앞서 설명된 부분과 중복되는 사항들은 생략하도록 한다.An optical inspection method according to another embodiment of the present invention will be examined in more detail with reference to FIG. 6 , and details that overlap with those previously described in relation to the optical inspection system according to an embodiment of the present invention will be omitted.

본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 검사 방법은 서로 나란히 배치된 제1 및 제2 스테이지(111,112) 중 제1 검사 대상체(10a)가 지지된 상기 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 제1 광학계(131)를 포함하는 광학검사부(130)에 위치시키는 과정(S100); 상기 제1 광학계(131)를 상기 제1 스테이지(111) 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200); 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사가 완료된 상기 제1 스테이지(111)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 제2 광학계(141)를 포함하는 검사검증부(140)에 위치시키는 과정(S300);을 포함할 수 있다.The optical inspection method according to another embodiment of the present invention includes the first stage 111 on which the first inspection object 10a is supported among the first and second stages 111 and 112 arranged side by side with each other in the first axial direction 11. ) and placing it in the optical inspection unit 130 including the first optical system 131 (S100); A process of inspecting the first inspection object 10a by positioning the first optical system 131 on the first stage 111 (S200); The first stage 111, on which the inspection of the first inspection object 10a has been completed, is transferred in the first axis direction 11 and placed in the inspection verification unit 140 including the second optical system 141. Process (S300); may be included.

먼저, 서로 나란히 배치된 제1 및 제2 스테이지(111,112) 중 제1 검사 대상체(10a)가 지지된 상기 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 제1 광학계(131)를 포함하는 광학검사부(130)에 위치시킨다(S100). 서로 나란히 배치된 제1 및 제2 스테이지(111,112) 중 제1 스테이지(111)에 지지된 제1 검사 대상체(10a)의 검사를 위해 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 광학검사부(130)에 위치시킬 수 있다. 이때, 광학검사부(130)는 제1 광학계(131)를 포함할 수 있다.First, among the first and second stages 111 and 112 arranged side by side, the first stage 111 on which the first inspection object 10a is supported is transferred in the first axial direction 11 to form the first optical system 131. It is placed in the optical inspection unit 130 including (S100). To inspect the first inspection object 10a supported on the first stage 111 among the first and second stages 111 and 112 arranged side by side, the first stage 111 is operated by driving the stage transfer unit 120. It can be transported in the first axis direction 11 and placed in the optical inspection unit 130. At this time, the optical inspection unit 130 may include a first optical system 131.

다음으로, 상기 제1 광학계(131)를 상기 제1 스테이지(111) 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사한다(S200). 상기 제1 광학계(131)를 상기 제1 스테이지(111) 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사할 수 있으며, 제1 광학계(131)가 제1 스테이지(111) 상에 지지된 제1 검사 대상체(10a)를 촬영하여 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검사를 수행할 수 있다.Next, the first optical system 131 is positioned on the first stage 111 to inspect the first inspection object 10a (S200). The first inspection object 10a can be inspected by positioning the first optical system 131 on the first stage 111, and the first optical system 131 is supported on the first stage 111. The test can be performed by photographing the first test object 10a and transmitting it to the control unit (not shown).

그 다음 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사가 완료된 상기 제1 스테이지(111)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 제2 광학계(141)를 포함하는 검사검증부(140)에 위치시킨다(S300). 제1 검사 대상체(10a)의 검사에 대한 검증을 위해 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 검사검증부(140)에 위치시킬 수 있다. 이때, 검사검증부(140)는 제2 광학계(141)를 포함할 수 있다.Then, the first stage 111, on which the inspection of the first inspection object 10a has been completed, is transferred in the first axis direction 11 to the inspection verification unit 140 including the second optical system 141. Position it (S300). In order to verify the inspection of the first inspection object 10a, the first stage 111 can be transported in the first axis direction 11 by driving the stage transfer unit 120 and placed in the inspection verification unit 140. there is. At this time, the inspection verification unit 140 may include a second optical system 141.

본 발명에 따른 광학 검사 방법은 제2 검사 대상체(10b)가 지지된 상기 제2 스테이지(112)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 광학검사부(130)에 위치시키는 과정(S350); 상기 제2 광학계(141)를 상기 제1 스테이지(111) 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사를 검증하는 과정(S400); 및 상기 제1 광학계(131)를 상기 제1 축 방향(11)과 교차하는 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 스테이지(112) 상에 위치시키고, 상기 제2 검사 대상체(10b)를 검사하는 과정(S450);을 더 포함할 수 있다.The optical inspection method according to the present invention includes a process (S350) of transferring the second stage 112 on which the second inspection object 10b is supported in the first axis direction 11 and positioning it in the optical inspection unit 130. ; A process of verifying the inspection of the first inspection object 10a by positioning the second optical system 141 on the first stage 111 (S400); And the first optical system 131 is moved in the second axial direction 12 intersecting the first axial direction 11 and positioned on the second stage 112, and the second inspection object 10b is placed on the second stage 112. A process of inspecting (S450) may be further included.

그리고 제2 검사 대상체(10b)가 지지된 상기 제2 스테이지(112)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 광학검사부(130)에 위치시킬 수 있다(S350). 제2 스테이지(112)에 지지된 제2 검사 대상체(10b)의 검사를 위해 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제2 스테이지(112)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 광학검사부(130)에 위치시킬 수 있다. 여기서, 제1 검사 대상체(10a)와 제2 검사 대상체(10b)는 지지되는 스테이지(111 or 112)에 따라 검사 대상체(10)를 구분한 것일 뿐이며, 제1 스테이지(111)에 지지되는 검사 대상체(10)를 제1 검사 대상체(10a)로 구분하고, 제2 스테이지(112)에 지지되는 검사 대상체(10)를 제2 검사 대상체(10b)로 구분한다.Then, the second stage 112 on which the second inspection object 10b is supported can be transferred in the first axis direction 11 and placed in the optical inspection unit 130 (S350). In order to inspect the second inspection object 10b supported on the second stage 112, the second stage 112 is transferred in the first axial direction 11 by driving the stage transfer unit 120, and the optical inspection unit 130 ) can be located. Here, the first inspection object 10a and the second inspection object 10b are simply divided inspection objects 10 according to the supported stage 111 or 112, and the inspection object 10 supported on the first stage 111 (10) is classified as a first inspection object 10a, and the inspection object 10 supported on the second stage 112 is classified as a second inspection object 10b.

그 다음 상기 제2 광학계(141)를 상기 제1 스테이지(111) 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사를 검증할 수 있다(S400). 제2 광학계(141)가 제1 스테이지(111) 상에 지지된 제1 검사 대상체(10a) 중 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 광학검사부(130)가 불량으로 판단한 영역을 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검증을 수행할 수 있다.Then, the second optical system 141 can be positioned on the first stage 111 to verify the inspection of the first inspection object 10a (S400). In the process (S200) of the second optical system 141 inspecting the first inspection object 10a among the first inspection objects 10a supported on the first stage 111, the optical inspection unit 130 determines that the first inspection object 10a is defective. Verification can be performed by photographing the area and transmitting it to the control unit (not shown).

그리고 상기 제1 광학계(131)를 상기 제1 축 방향(11)과 교차하는 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 스테이지(112) 상에 위치시키고, 상기 제2 검사 대상체(10b)를 검사할 수 있다(S450). 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 제2 스테이지(112) 상에 위치시킬 수 있고, 제1 광학계(131)가 제2 스테이지(112) 상에 지지된 제2 검사 대상체(10b)를 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검사를 수행할 수 있다.Then, the first optical system 131 is moved in the second axis direction 12 intersecting the first axis direction 11 and placed on the second stage 112, and the second inspection object 10b is placed on the second stage 112. can be inspected (S450). The first optical system 131 can be moved in the second axis direction 12 and positioned on the second stage 112, and the first optical system 131 is supported on the second stage 112 for a second inspection. An examination can be performed by photographing the object 10b and transmitting it to the control unit (not shown).

이때, 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사를 검증하는 과정(S400) 및 상기 제2 검사 대상체(10b)를 검사하는 과정(S450)은 동시에 수행될 수 있다. 즉, 복수의 스테이지(111,112)에 의해 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사를 검증하는 과정(S400) 및 상기 제2 검사 대상체(10b)를 검사하는 과정(S450)을 병렬적으로 수행함으로써, 하나의 스테이지만을 사용하여 하나의 검사 대상체(10)의 검사와 검증이 끝날 때까지 다음(또는 다른) 검사 대상체(10)의 검사를 기다려야 하는 종래의 문제를 해결할 수 있으며, 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사를 검증할 때에 제2 검사 대상체(10b)를 검사할 수 있고, 일정 시간 동안 검사와 검증을 완료할 수 있는 검사 대상체(10)의 양이 늘어날 수 있다. 이에 따라 소정량의 검사 대상체(10)에 대한 검사와 검증을 완료하는 데에 걸리는 평균 공정 시간(tact time)을 단축시킬 수 있고, 정상 제품의 생산량을 늘리기 위한 검사 시스템의 효율성과 가동률이 향상될 수 있다.At this time, the process of verifying the inspection of the first inspection object 10a (S400) and the process of inspecting the second inspection object 10b (S450) may be performed simultaneously. That is, by performing the process of verifying the inspection of the first inspection object 10a (S400) and the process of inspecting the second inspection object 10b (S450) in parallel by a plurality of stages 111 and 112, , it is possible to solve the conventional problem of having to wait for inspection of the next (or other) inspection object 10 until the inspection and verification of one inspection object 10 is completed by using only one stage, and the first inspection object 10 When verifying the test for (10a), the second test object 10b can be tested, and the amount of test objects 10 that can complete the test and verification within a certain period of time can be increased. Accordingly, the average process time (tact time) required to complete the inspection and verification of a predetermined amount of inspection objects 10 can be shortened, and the efficiency and operation rate of the inspection system to increase the production of normal products can be improved. You can.

상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서는 상기 제1 광학계(131)의 제1 카메라(131a)가 상기 제1 검사 대상체(10a)의 전체 영역을 스캔 또는 촬상하여 상기 제1 검사 대상체(10a)의 전체 영역에 대해 불량 검사를 수행할 수 있고, 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사를 검증하는 과정(S400)에서는 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 불량으로 판단한 영역의 위치 정보에 따라 상기 제2 광학계(141)의 제2 카메라(141a)가 상기 불량으로 판단한 영역을 촬상하여 상기 불량으로 판단한 영역에 대해 불량 여부를 검증할 수 있다.In the process of inspecting the first inspection object 10a (S200), the first camera 131a of the first optical system 131 scans or images the entire area of the first inspection object 10a to inspect the first inspection object 10a. A defective inspection can be performed on the entire area of the inspection object 10a, and in the process of verifying the inspection of the first inspection object 10a (S400), the process of inspecting the first inspection object 10a (S400) According to the location information of the area determined to be defective in S200, the second camera 141a of the second optical system 141 can image the area determined to be defective and verify whether the area determined to be defective is defective.

상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서는 제1 검사 대상체(10a)의 전체 영역에 대해 불량 검사를 수행할 수 있고, 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사를 검증하는 과정(S400)에서는 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 불량으로 판단한 영역에 대해 불량 여부를 검증할 수 있다. 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서는 제1 검사 대상체(10a)의 전체 영역에 대해 검사를 실시하여 각 영역별로 불량을 판단할 수 있고, 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사를 검증하는 과정(S400)에서는 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 광학검사부(130)가 불량으로 판단한 영역에 대해서만 다시 검사하여 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 불량으로 판단한 영역의 불량 여부를 검증(또는 판별)할 수 있다.In the process of inspecting the first inspection object 10a (S200), a defect inspection may be performed on the entire area of the first inspection object 10a, and the inspection of the first inspection object 10a may be verified. In process S400, it is possible to verify whether the area determined to be defective in the process of inspecting the first inspection object 10a (S200) is defective. In the process of inspecting the first inspection object 10a (S200), the entire area of the first inspection object 10a is inspected to determine defects in each area, and the first inspection object 10a In the process of verifying the inspection (S400), only the areas judged to be defective by the optical inspection unit 130 in the process of inspecting the first inspection object 10a (S200) are inspected again to determine the first inspection object 10a. In the process of inspecting (S200), it is possible to verify (or determine) whether the area determined to be defective is defective.

예를 들어, 제1 검사 대상체(10a)가 인쇄회로기판(PCB)인 경우에 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 인쇄회로기판(PCB)의 패턴 검사를 진행할 수 있고, 제1 광학계(131)는 인쇄회로기판(PCB)의 전체 영역을 스캔하면서 인쇄회로기판(PCB)의 패턴을 검사할 수 있으며, 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 불량으로 판단한 영역의 고해상도 영상을 얻어 진성 불량(또는 진짜 불량)인지 아니면 가성 불량(또는 정상)인지를 판별할 수 있고, 제2 광학계(141)는 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 불량으로 판단한 영역의 영상을 컬러영상으로 촬상할 수 있다.For example, if the first inspection object 10a is a printed circuit board (PCB), a pattern inspection of the printed circuit board (PCB) may be performed in the process (S200) of inspecting the first inspection object 10a. , the first optical system 131 can inspect the pattern of the printed circuit board (PCB) while scanning the entire area of the printed circuit board (PCB), and in the process of inspecting the first inspection object 10a (S200) By obtaining a high-resolution image of the area determined to be defective, it is possible to determine whether it is a true defect (or true defect) or a false defect (or normal), and the second optical system 141 inspects the first inspection object 10a. The image of the area determined to be defective in (S200) can be captured as a color image.

제1 광학계(131)는 제1 카메라(131a)를 포함할 수 있고, 제1 카메라(131a)가 제1 검사 대상체(10a)의 전체 영역을 스캔 또는 촬상할 수 있으며, 제2 광학계(141)는 제2 카메라(141a)를 포함할 수 있고, 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 상기 광학검사부(130)가 불량으로 판단한 영역의 위치 정보를 이용하여 제2 카메라(141a)가 상기 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S200)에서 불량으로 판단한 영역을 촬상할 수 있다.The first optical system 131 may include a first camera 131a, and the first camera 131a may scan or image the entire area of the first inspection object 10a, and the second optical system 141 It may include a second camera 141a, and in the process of inspecting the first inspection object 10a (S200), the second camera ( 141a) may image the area determined to be defective in the process (S200) of inspecting the first inspection object 10a.

이와 동일하게 제2 검사 대상체(10b)에 대해서도 검사와 검증이 수행될 수 있다.Likewise, inspection and verification may be performed on the second inspection object 10b.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 스테이지와 제2 스테이지의 검사 순서를 설명하기 위한 개념도이다.Figure 7 is a conceptual diagram for explaining the inspection sequence of the first stage and the second stage according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 광학 검사 방법은 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사의 검증이 완료된 상기 제1 스테이지(111)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 제1 검사 대상체(10a)를 반출하고, 상기 제1 스테이지(111) 상에 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 지지하는 과정(S500); 상기 제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사가 완료된 상기 제2 스테이지(112)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 검사검증부(140)에 위치시키는 과정(S550); 상기 새로운 제1 검사 대상체(10a)가 지지된 상기 제1 스테이지(111)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 광학검사부(130)에 위치시키는 과정(S600); 상기 제2 광학계(141)를 상기 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 스테이지(112) 상에 위치시키고, 상기 제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사를 검증하는 과정(S650); 및 상기 제1 광학계(131)를 상기 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제1 스테이지(111) 상에 위치시키고, 상기 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S700);을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7, the optical inspection method according to the present invention transfers the first stage 111, on which verification of the inspection of the first inspection object 10a has been completed, in the first axial direction 11 to inspect the first inspection object 10a. 1 A process of unloading the test object 10a and supporting a new first test object 10a on the first stage 111 (S500); A process of transferring the second stage 112, on which the inspection of the second inspection object 10b has been completed, in the first axis direction 11 and placing it in the inspection verification unit 140 (S550); A process (S600) of transferring the first stage 111 on which the new first inspection object 10a is supported in the first axis direction 11 and positioning it in the optical inspection unit 130; A process of moving the second optical system 141 in the second axis direction 12 to position it on the second stage 112 and verifying the inspection of the second inspection object 10b (S650); and moving the first optical system 131 in the second axis direction 12 to position it on the first stage 111 and inspecting the new first inspection object 10a (S700). More may be included.

그리고 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사의 검증이 완료된 상기 제1 스테이지(111)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 제1 검사 대상체(10a)를 반출하고, 상기 제1 스테이지(111) 상에 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 지지할 수 있다(S500). 상기 제1 검사 대상체(10a)에 대한 검사의 검증이 완료되면, 스테이지 이송부(120)의 구동에 의해 제1 스테이지(111)가 제1 축 방향(11)으로 이동하여 로딩 영역으로 이송될 수 있으며, 상기 로딩 영역에서 검사와 검증이 완료된 제1 검사 대상체(10a)를 반출할 수 있고, 검사와 검증을 수행할 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 반입하여 제1 스테이지(111) 상에 지지시킬 수 있다.Then, the first stage 111, on which verification of the inspection of the first inspection object 10a has been completed, is transferred in the first axis direction 11 to unload the first inspection object 10a, and the first inspection object 10a is transported. A new first inspection object 10a may be supported on the stage 111 (S500). When verification of the inspection of the first inspection object 10a is completed, the first stage 111 may be moved in the first axial direction 11 by driving the stage transfer unit 120 and transferred to the loading area. , the first inspection object 10a on which inspection and verification has been completed can be taken out from the loading area, and a new first inspection object 10a to be inspected and verified can be brought in and supported on the first stage 111. You can.

그 다음 상기 제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사가 완료된 상기 제2 스테이지(112)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 검사검증부(140)에 위치시킬 수 있다(S550). 제2 검사 대상체(10b)의 검사에 대한 검증을 위해 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제2 스테이지(112)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 검사검증부(140)에 위치시킬 수 있다.Next, the second stage 112, on which the inspection of the second inspection object 10b has been completed, can be transferred in the first axis direction 11 and placed in the inspection verification unit 140 (S550). In order to verify the inspection of the second inspection object 10b, the second stage 112 can be transported in the first axis direction 11 by driving the stage transfer unit 120 and placed in the inspection verification unit 140. there is.

그리고 상기 새로운 제1 검사 대상체(10a)가 지지된 상기 제1 스테이지(111)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이송하여 상기 광학검사부(130)에 위치시킬 수 있다(S600). 제1 스테이지(111)에 지지된 상기 새로운 제1 검사 대상체(10a)의 검사를 위해 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이송하여 광학검사부(130)에 위치시킬 수 있다.And the first stage 111 on which the new first inspection object 10a is supported can be transferred in the first axis direction 11 and placed in the optical inspection unit 130 (S600). In order to inspect the new first inspection object 10a supported on the first stage 111, the first stage 111 is transferred in the first axial direction 11 by driving the stage transfer unit 120, and the optical inspection unit It can be located at (130).

그 다음 상기 제2 광학계(141)를 상기 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 스테이지(112) 상에 위치시키고, 상기 제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사를 검증할 수 있다(S650). 제2 광학계(141)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 제2 스테이지(112) 상에 위치시킬 수 있고, 제2 광학계(141)가 제2 스테이지(112) 상에 지지된 제2 검사 대상체(10b) 중 상기 제2 검사 대상체(10b)를 검사하는 과정(S450)에서 광학검사부(130)가 불량으로 판단한 영역을 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검증을 수행할 수 있다.Then, the second optical system 141 is moved in the second axis direction 12 and placed on the second stage 112, and the inspection of the second inspection object 10b can be verified ( S650). The second optical system 141 can be moved in the second axis direction 12 and positioned on the second stage 112, and the second optical system 141 is supported on the second stage 112. Verification can be performed by photographing the area determined to be defective by the optical inspection unit 130 in the process of inspecting the second inspection object 10b among the objects 10b (S450) and transmitting the image to the control unit (not shown). .

그리고 상기 제1 광학계(131)를 상기 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제1 스테이지(111) 상에 위치시키고, 상기 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 검사할 수 있다(S700). 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 제1 스테이지(111) 상에 위치시킬 수 있고, 제1 광학계(131)가 제1 스테이지(111) 상에 지지된 상기 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 촬영하여 상기 제어부(미도시)로 전송함으로써, 검사를 수행할 수 있다.Then, the first optical system 131 is moved in the second axis direction 12 to be placed on the first stage 111, and the new first inspection object 10a can be inspected (S700). The first optical system 131 can be moved in the second axis direction 12 and positioned on the first stage 111, and the first optical system 131 is supported on the first stage 111. 1 The test can be performed by photographing the test object 10a and transmitting it to the control unit (not shown).

상기 제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사를 검증하는 과정(S650) 및 상기 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S700)은 동시에 수행될 수 있다. 즉, 복수의 스테이지(111,112)에 의해 상기 제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사를 검증하는 과정(S650) 및 상기 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 검사하는 과정(S700)을 병렬적으로 수행함으로써, 하나의 스테이지만을 사용하여 하나의 검사 대상체(10)의 검사와 검증이 끝날 때까지 다음 검사 대상체(10)의 검사를 기다려야 하는 종래의 문제를 해결할 수 있으며, 상기 제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사를 검증할 때에 새로운 제1 검사 대상체(10a)를 검사할 수 있고, 일정 시간 동안 검사와 검증을 완료할 수 있는 검사 대상체(10)의 양이 늘어날 수 있다.The process of verifying the examination of the second inspection object 10b (S650) and the process of inspecting the new first inspection object 10a (S700) may be performed simultaneously. That is, the process of verifying the inspection of the second inspection object 10b (S650) and the process of inspecting the new first inspection object 10a (S700) are performed in parallel by a plurality of stages 111 and 112. By doing so, it is possible to solve the conventional problem of having to wait for the inspection of the next inspection object 10 until the inspection and verification of one inspection object 10 is completed using only one stage, and the second inspection object 10b When verifying the test, a new first test object 10a can be tested, and the amount of test objects 10 that can complete the test and verification within a certain period of time can be increased.

제2 검사 대상체(10b)에 대한 검사의 검증이 완료되면, 제1 스테이지(111)와 같이 스테이지 이송부(120)의 구동에 의해 제2 스테이지(112)가 제1 축 방향(11)으로 이동하여 로딩 영역으로 이송될 수 있으며, 상기 로딩 영역에서 검사와 검증이 완료된 제2 검사 대상체(10b)를 반출할 수 있고, 검사와 검증을 수행할 새로운 제2 검사 대상체(10b)를 반입하여 제2 스테이지(112) 상에 지지시킬 수 있다.When verification of the inspection of the second inspection object 10b is completed, the second stage 112 moves in the first axis direction 11 by driving the stage transfer unit 120 like the first stage 111. It can be transported to a loading area, and the second test object 10b on which inspection and verification has been completed can be taken out from the loading area, and a new second test object 10b to be tested and verified can be brought in to the second stage. It can be supported on (112).

본 발명에 따른 광학 검사 방법은 상기 제1 광학계(131)와 상기 제1 스테이지(111)의 제1-1 정렬 정보 및 상기 제2 광학계(141)와 상기 제1 스테이지(111)의 제2-1 정렬 정보를 획득하는 과정(S50); 상기 제1-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제1 광학계(131)와 상기 제1 스테이지(111)를 정렬시키는 과정(S210); 및 상기 제2-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제2 광학계(141)와 상기 제1 스테이지(111)를 정렬시키는 과정(S410);을 더 포함할 수 있다.The optical inspection method according to the present invention includes 1-1 alignment information of the first optical system 131 and the first stage 111 and 2-1 alignment information of the second optical system 141 and the first stage 111. 1 Process of obtaining alignment information (S50); A process of aligning the first optical system 131 and the first stage 111 using the 1-1 alignment information (S210); and a process of aligning the second optical system 141 and the first stage 111 using the 2-1 alignment information (S410).

그리고 상기 제1 광학계(131)와 상기 제1 스테이지(111)의 제1-1 정렬 정보 및 상기 제2 광학계(141)와 상기 제1 스테이지(111)의 제2-1 정렬 정보를 획득할 수 있다(S50). 제1 광학계(131)와 제1 스테이지(111)의 제1-1 정렬 정보를 획득할 수 있으며, 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 제1 광학계(131)로 확인하여 획득할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1-1 정렬 정보는 광학검사부(130)로 이송된 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 제1 광학계(131)로 확인하여 획득할 수 있으며, 제1 광학계(131)로 촬영된 영상에서의 영상 중심과 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a) 위치 간의 틀어짐 정도를 연산(또는 확인)하여 획득될 수 있다.And 1-1 alignment information of the first optical system 131 and the first stage 111 and 2-1 alignment information of the second optical system 141 and the first stage 111 can be obtained. There is (S50). The 1-1 alignment information of the first optical system 131 and the first stage 111 can be obtained, and can be obtained by checking the reference marker 110a of the first stage 111 with the first optical system 131. You can. For example, the 1-1 alignment information can be obtained by checking the reference marker 110a of the first stage 111 transferred to the optical inspection unit 130 with the first optical system 131. It can be obtained by calculating (or checking) the degree of deviation between the image center in the image captured at 131 and the position of the reference marker 110a of the first stage 111.

또한, 제2 광학계(141)와 제1 스테이지(111)의 제2-1 정렬 정보를 획득할 수 있으며, 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 획득할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2-1 정렬 정보는 검사검증부(140)로 이송된 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 획득할 수 있으며, 제2 광학계(141)로 촬영된 영상에서의 영상 중심과 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a) 위치 간의 틀어짐 정도를 연산하여 획득될 수 있다.In addition, the 2-1 alignment information of the second optical system 141 and the first stage 111 can be obtained, and the reference marker 110a of the first stage 111 is confirmed with the second optical system 141. It can be obtained. For example, the 2-1 alignment information can be obtained by checking the reference marker 110a of the first stage 111 transferred to the inspection and verification unit 140 with the second optical system 141, and the second optical system 141 It can be obtained by calculating the degree of distortion between the image center in the image captured with the optical system 141 and the position of the reference marker 110a of the first stage 111.

이와 유사하게 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제1 광학계(131)로 확인하여 제1 광학계(131)와 제2 스테이지(112)의 제1-2 정렬 정보를 획득할 수도 있고, 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 제2 광학계(141)와 제2 스테이지(112)의 제2-2 정렬 정보를 획득할 수도 있다.Similarly, the 1-2 alignment information of the first optical system 131 and the second stage 112 may be obtained by checking the reference marker 110a of the second stage 112 with the first optical system 131, , 2-2 alignment information of the second optical system 141 and the second stage 112 may be obtained by checking the reference marker 110a of the second stage 112 with the second optical system 141.

그리고 상기 제1-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제1 광학계(131)와 상기 제1 스테이지(111)를 정렬시킬 수 있다(S210). 상기 제1-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제1 광학계(131)와 상기 제1 스테이지(111)를 정렬시킬 수 있으며, 제1 광학계(131) 및/또는 제1 스테이지(111)의 위치를 보정하여 제1 광학계(131)와 제1 스테이지(111)를 정렬시킬 수 있다.And the first optical system 131 and the first stage 111 can be aligned using the 1-1 alignment information (S210). The first optical system 131 and the first stage 111 can be aligned using the 1-1 alignment information, and the positions of the first optical system 131 and/or the first stage 111 can be corrected. Thus, the first optical system 131 and the first stage 111 can be aligned.

동일한 방식으로 상기 제1-2 정렬 정보를 이용하여 상기 제1 광학계(131)와 상기 제2 스테이지(112)를 정렬시킬 수도 있다.In the same way, the first optical system 131 and the second stage 112 may be aligned using the 1-2 alignment information.

그리고 상기 제2-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제2 광학계(141)와 상기 제1 스테이지(111)를 정렬시킬 수 있다(S410). 상기 제2-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제2 광학계(141)와 상기 제1 스테이지(111)를 정렬시킬 수 있으며, 제2 광학계(141) 및/또는 제1 스테이지(111)의 위치를 보정하여 제2 광학계(141)와 제1 스테이지(111)를 정렬시킬 수 있다.And the second optical system 141 and the first stage 111 can be aligned using the 2-1 alignment information (S410). The second optical system 141 and the first stage 111 can be aligned using the 2-1 alignment information, and the positions of the second optical system 141 and/or the first stage 111 can be corrected. Thus, the second optical system 141 and the first stage 111 can be aligned.

동일한 방식으로 상기 제2-2 정렬 정보를 이용하여 상기 제2 광학계(141)와 상기 제2 스테이지(112)를 정렬시킬 수도 있다.In the same way, the second optical system 141 and the second stage 112 may be aligned using the 2-2 alignment information.

상기 제1-1 정렬 정보 및 상기 제2-1 정렬 정보는 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 회전 편차를 포함할 수 있고, 상기 제1 광학계(131)와 상기 제1 스테이지(111)를 정렬시키는 과정(S210)은 상기 제1 스테이지(111)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이동시켜 상기 제1 축 편차를 보정하는 과정(S211); 상기 제1 광학계(131)를 상기 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정하는 과정(S212); 및 상기 제1 스테이지(111) 또는 상기 제1 광학계(131)를 중심축에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정하는 과정(S213)을 포함할 수 있다.The 1-1 alignment information and the 2-1 alignment information may include the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation, and the first optical system 131 and the first stage 111 ) The process of aligning (S210) includes moving the first stage 111 in the first axis direction 11 to correct the first axis deviation (S211); A process of correcting the second axis deviation by moving the first optical system 131 in the second axis direction 12 (S212); and a process (S213) of correcting the rotational deviation by rotating the first stage 111 or the first optical system 131 about the central axis.

상기 제1-1 정렬 정보 및 상기 제2-1 정렬 정보는 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 회전 편차를 포함할 수 있고, 상기 제1-2 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보도 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 상기 회전 편차를 포함할 수 있다. 제1 스테이지(111)의 각 위치(또는 상태)에서 상기 제1-1 정렬 정보 또는 상기 제2-1 정렬 정보에 따라 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 상기 회전 편차만큼만 보정해주면 제1 광학계(131)와 제1 스테이지(111) 및 제2 광학계(141)와 제1 스테이지(111)가 간단하게 정렬될 수 있다. 또한, 제2 스테이지(112)의 각 위치(또는 상태)에서 상기 제1-2 정렬 정보 또는 상기 제2-2 정렬 정보에 따라 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 상기 회전 편차만큼만 보정해주면 제1 광학계(131)와 제2 스테이지(112) 및 제2 광학계(141)와 제2 스테이지(112)도 간단하게 정렬될 수 있다..The 1-1 alignment information and the 2-1 alignment information may include the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation, and the 1-2 alignment information and the 2-2 alignment Information may also include the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation. If only the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation are corrected according to the 1-1 alignment information or the 2-1 alignment information at each position (or state) of the first stage 111, the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation can be corrected. 1 The optical system 131 and the first stage 111 and the second optical system 141 and the first stage 111 can be easily aligned. In addition, only the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation are corrected according to the 1-2 alignment information or the 2-2 alignment information at each position (or state) of the second stage 112. If you do this, the first optical system 131 and the second stage 112 and the second optical system 141 and the second stage 112 can also be easily aligned.

그리고 상기 제1 스테이지(111)를 상기 제1 축 방향(11)으로 이동시켜 상기 제1 축 편차를 보정할 수 있다(S211). 제1 스테이지(111)를 제1 축 방향(11)으로 이동시켜 상기 제1 축 편차를 보정할 수 있으며, 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 축 방향(11)으로 제1 스테이지(111)를 이송하여 상기 제1 축 편차를 보정할 수 있다.And the first stage 111 can be moved in the first axis direction 11 to correct the first axis deviation (S211). The first axis deviation can be corrected by moving the first stage 111 in the first axial direction 11, and the first stage 111 is moved in the first axial direction 11 by driving the stage transfer unit 120. ) can be transferred to correct the first axis deviation.

동일한 방식으로 제2 스테이지(112)를 제1 축 방향(11)으로 이동시켜 상기 제1 축 편차를 보정할 수도 있으며, 스테이지 이송부(120)의 구동을 통해 제1 축 방향(11)으로 제2 스테이지(112)를 이송하여 상기 제1 축 편차를 보정할 수 있다.In the same way, the first axis deviation may be corrected by moving the second stage 112 in the first axial direction 11, and the second stage 112 may be moved in the first axial direction 11 by driving the stage transfer unit 120. The first axis deviation can be corrected by transferring the stage 112.

그리고 상기 제1 광학계(131)를 상기 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정할 수 있다(S212). 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정할 수 있으며, 제1 광학계 이동부(132)의 구동을 통해 제1 광학계(131)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정할 수 있다.And the second axis deviation can be corrected by moving the first optical system 131 in the second axis direction 12 (S212). The second axis deviation can be corrected by moving the first optical system 131 in the second axis direction 12, and the first optical system 131 is moved along the second axis by driving the first optical system moving unit 132. The second axis deviation can be corrected by moving in direction 12.

동일한 방식으로 제2 광학계(141)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정할 수 있으며, 제2 광학계 이동부(142)의 구동을 통해 제2 광학계(141)를 제2 축 방향(12)으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정할 수 있다.In the same way, the second axis deviation can be corrected by moving the second optical system 141 in the second axis direction 12, and the second optical system 141 is moved by driving the second optical system moving unit 142. The second axis deviation can be corrected by moving in the second axis direction 12.

그리고 상기 제1 스테이지(111) 또는 상기 제1 광학계(131)를 중심축에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정할 수 있다(S213). 제1 스테이지(111) 또는 제1 광학계(131)를 그 중심축(또는 자신의 중심축)에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정할 수 있으며, 회전보정부(165)의 구동을 통해 제1 스테이지(111) 및/또는 제1 광학계(131)를 각각의 중심축에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정할 수 있다.And the rotation deviation can be corrected by rotating the first stage 111 or the first optical system 131 about the central axis (S213). The rotational deviation can be corrected by rotating the first stage 111 or the first optical system 131 about its central axis (or its own central axis), and the first stage 111 or the first optical system 131 can be corrected by driving the rotation correction unit 165. The rotational deviation may be corrected by rotating the 111 and/or the first optical system 131 about each central axis.

동일한 방식으로 제2 스테이지(112) 또는 제2 광학계(141)를 그 중심축에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정할 수 있으며, 회전보정부(165)의 구동을 통해 제2 스테이지(112) 및/또는 제2 광학계(141)를 각각의 중심축에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정할 수 있다.In the same way, the rotation deviation can be corrected by rotating the second stage 112 or the second optical system 141 about its central axis, and the second stage 112 and the second optical system 141 are driven by driving the rotation correction unit 165. /Or, the rotation deviation can be corrected by rotating the second optical system 141 about each central axis.

복수의 스테이지(111,112) 각각을 제1 광학계(131) 또는 제2 광학계(141)에 정렬시키면서 제1 축 방향(11)의 보정을 스테이지 이송부(120)가 담당하고 제2 축 방향(12)의 보정을 제1 광학계 이동부(132) 및 제2 광학계 이동부(142)가 담당함으로써, 복잡한 구성 없이도 복수의 스테이지 각각(111,112)과 제1 광학계(131) 및/또는 제2 광학계(141)를 정렬시킬 수 있으며, 이에 따라 정렬을 위해 추가적으로 설치되는 구성(들)을 줄일 수 있고, 추가적으로 설치되는 구성으로 인한 공간적 문제와 비용적 문제를 해결할 수 있다.While aligning each of the plurality of stages 111 and 112 with the first optical system 131 or the second optical system 141, the stage transfer unit 120 is responsible for correction of the first axial direction 11 and the correction of the second axial direction 12 The first optical system moving unit 132 and the second optical system moving unit 142 are responsible for correction, so that each of the plurality of stages 111 and 112 and the first optical system 131 and/or the second optical system 141 are connected without a complicated configuration. Alignment is possible, thereby reducing the number of additionally installed configurations for alignment, and solving space and cost problems caused by additionally installed configurations.

상기 제2-1 정렬 정보는 상기 제1 광학계(131)와 정렬된 상태에서 상기 검사검증부(140)로 이동시킨 상기 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 상기 제2 광학계(141)로 확인하여 획득할 수 있다.The 2-1 alignment information refers to the reference marker 110a of the first stage 111, which is moved to the inspection and verification unit 140 in a state aligned with the first optical system 131, to the second optical system 141. ) can be confirmed and obtained.

제1 스테이지(111)는 광학검사부(130)에서 제1 광학계(131)와 정렬되어 검사 대상체(10)에 대한 검사를 완료한 후에 검사검증부(140)로 이송되게 되므로, 제2 광학계(141)와의 정렬을 위한 보정이 용이할 수 있도록 제1 광학계(131)와 정렬되어 이송된 제1 스테이지(111)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 상기 제2-1 정렬 정보를 획득할 수 있다.Since the first stage 111 is aligned with the first optical system 131 in the optical inspection unit 130 and is transferred to the inspection verification unit 140 after completing the inspection of the inspection object 10, the second optical system 141 ), the reference marker 110a of the first stage 111 aligned with the first optical system 131 and transferred is confirmed with the second optical system 141 to facilitate the correction for alignment with the 2-1 alignment. Information can be obtained.

동일하게 제2 스테이지(112)도 광학검사부(130)에서 제1 광학계(131)와 정렬되어 검사 대상체(10)에 대한 검사를 완료한 후에 검사검증부(140)로 이송되게 되므로, 제2 광학계(141)와의 정렬을 위한 보정이 용이할 수 있도록 제1 광학계(131)와 정렬되어 이송된 제2 스테이지(112)의 기준 마커(110a)를 제2 광학계(141)로 확인하여 상기 제2-2 정렬 정보를 획득할 수 있다. Likewise, the second stage 112 is also aligned with the first optical system 131 in the optical inspection unit 130 and is transferred to the inspection verification unit 140 after completing the inspection of the inspection object 10, so that the second optical system To facilitate correction for alignment with 141, the reference marker 110a of the second stage 112, which is aligned and transported with the first optical system 131, is confirmed with the second optical system 141, and the second- 2 Sorting information can be obtained.

이러한 경우, 별도의 연산이나 처리 없이 단순히 상기 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보에 각각 포함된 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 상기 회전 편차만큼만 보정하여 주면, 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(112)를 제2 광학계(141)와 정렬시킬 수 있다.In this case, if you simply correct the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation included in the 2-1 alignment information and the 2-2 alignment information, respectively, without separate calculation or processing, The first stage 111 and the second stage 112 may be aligned with the second optical system 141.

이처럼, 본 발명에서는 광학검사부와 검사검증부를 모두 포함하여 검사 대상체에 대해 광학계를 이용한 검사와 검증을 연속적으로 수행함으로써, 광학검사부의 검사에서 불량으로 판단한 영역이 진성 불량인지 아니면 가성 불량인지를 판별할 수 있고, 이에 따라 검사 대상체에 대한 불량 판정 정확도가 높아질 수 있다. 또한, 검사 대상체가 지지되는 스테이지를 제1 축 방향으로 이송하면서 인라인으로 광학검사부에 의한 검사와 검사검증부에 의한 검증을 수행함으로써, 검사 대상체를 한 번 세정한 후에 추가적인 세정 없이 검사 대상체에 대한 검사와 검증이 연속적으로 수행될 수 있다. 그리고 복수의 스테이지로 구성되고 광학검사부의 제1 광학계와 검사검증부의 제2 광학계가 제2 축 방향으로 복수의 스테이지 간을 이동 가능하게 구성됨으로써, 제1 스테이지에 지지된 검사 대상체에 대한 광학검사부의 검사가 완료된 후에 제1 스테이지에 지지된 검사 대상체에 대해 검사검증부에 의한 검증이 수행되는 동안, 제2 스테이지에 지지된 검사 대상체에 대해 광학검사부에 의한 검사가 수행될 수 있으며, 이에 따라 소정량의 검사 대상체에 대한 검사와 검증을 완료하는 데에 걸리는 평균 공정 시간을 단축시킬 수 있고, 정상 제품의 생산량을 늘리기 위한 검사 시스템의 효율성과 가동률이 향상될 수 있다. 한편, 복수의 스테이지 각각을 제1 광학계 또는 제2 광학계에 정렬시키면서 제1 축 방향의 보정을 스테이지 이송부가 담당하고 제2 축 방향의 보정을 제1 광학계 이동부 또는 제2 광학계 이동부가 담당함으로써, 복잡한 구성 없이도 복수의 스테이지 각각과 제1 광학계 또는 제2 광학계를 정렬시킬 수 있으며, 이에 따라 정렬을 위해 추가적으로 설치되는 구성을 줄일 수 있고, 추가적으로 설치되는 구성으로 인한 공간적 문제와 비용적 문제를 해결할 수 있다.As such, in the present invention, by continuously performing inspection and verification using an optical system on the inspection object, including both an optical inspection unit and an inspection verification unit, it is possible to determine whether the area determined to be defective in the inspection of the optical inspection unit is a true defect or a false defect. Accordingly, the accuracy of determining defectiveness of the test object can be increased. In addition, by performing inspection by the optical inspection unit and verification by the inspection verification unit in-line while transporting the stage on which the inspection object is supported in the first axis direction, the inspection object can be inspected without additional cleaning after cleaning the inspection object once. and verification can be performed continuously. And, it is composed of a plurality of stages, and the first optical system of the optical inspection unit and the second optical system of the inspection verification unit are configured to be movable between the plurality of stages in the second axis direction, so that the optical inspection unit for the inspection object supported on the first stage After the inspection is completed, while verification by the inspection verification unit is performed on the inspection object supported on the first stage, inspection by the optical inspection unit may be performed on the inspection object supported on the second stage, and accordingly, a predetermined amount may be performed. The average process time required to complete inspection and verification of inspection objects can be shortened, and the efficiency and operation rate of the inspection system to increase production of normal products can be improved. Meanwhile, while aligning each of the plurality of stages to the first optical system or the second optical system, the stage transfer unit is responsible for correction in the first axis direction, and the first optical system moving unit or the second optical system moving unit is responsible for correction in the second axis direction, Each of the plurality of stages and the first optical system or the second optical system can be aligned without complicated configuration, thereby reducing the number of additional configurations installed for alignment and solving space and cost problems caused by additional configurations. there is.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.Although preferred embodiments of the present invention have been shown and described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and is within the scope of common knowledge in the field to which the present invention pertains without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Those who have will understand that various modifications and other equivalent embodiments are possible therefrom. Therefore, the scope of technical protection of the present invention should be determined by the scope of the patent claims below.

10 : 검사 대상체 10a: 제1 검사 대상체
10b: 제2 검사 대상체 11 : 제1 축 방향
12 : 제2 축 방향 50 : 게이트
100 : 광학 검사 시스템 110a: 기준 마커
110b: 진공홀 111 : 제1 스테이지
112 : 제2 스테이지 120 : 스테이지 이송부
120a: 제1 스테이지 이송부 120b: 제2 스테이지 이송부
121a: 제1 이송레일 121b: 제1 이동체
122a: 제2 이송레일 122b: 제2 이동체
130 : 광학검사부 131 : 제1 광학계
131a: 제1 카메라 131b: 3D 센서
131c: 제1 조명 132 : 제1 광학계 이동부
140 : 검사검증부 141 : 제2 광학계
141a: 제2 카메라 141b: 제2 조명
142 : 제2 광학계 이동부 150 : 클리닝부
160 : 위치교정부 165 : 회전보정부 10: Test object 10a: First test object
10b: Second inspection object 11: First axis direction
12: Second axis direction 50: Gate
100: optical inspection system 110a: reference marker
110b: vacuum hole 111: first stage
112: second stage 120: stage transfer unit
120a: first stage transfer unit 120b: second stage transfer unit
121a: first transfer rail 121b: first moving object
122a: second transfer rail 122b: second moving body
130: Optical inspection unit 131: First optical system
131a: first camera 131b: 3D sensor
131c: first illumination 132: first optical system moving unit
140: Inspection verification unit 141: Second optical system
141a: second camera 141b: second light
142: Second optical system moving part 150: Cleaning part
160: Position correction unit 165: Rotation correction unit

Claims (21)

서로 나란히 배치되며, 검사 대상체가 각각 지지되는 제1 및 제2 스테이지;
상기 제1 스테이지 및 상기 제2 스테이지를 각각 제1 축 방향으로 이송 가능한 스테이지 이송부;
상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이동 가능한 제1 광학계를 포함하며, 상기 제1 광학계를 통해 상기 검사 대상체에 대한 검사를 수행하는 광학검사부; 및
상기 광학검사부의 상기 제1 축 방향 일측에 배치되며, 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제2 광학계를 통해 상기 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 검사검증부;를 포함하고,
상기 광학검사부는 상기 제1 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시키는 제1 광학계 이동부를 더 포함하며,
상기 검사검증부는 상기 제2 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시키는 제2 광학계 이동부를 포함하고,
상기 스테이지 이송부는,
상기 광학검사부에서 상기 검사 대상체에 대한 검사가 완료된 상기 제1 스테이지를 상기 검사검증부로 이송하며,
상기 제2 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 광학검사부에 위치시키고,
상기 제1 광학계 이동부는 상기 제1 광학계를 상기 제2 스테이지 상에 위치시키며,
상기 제2 광학계 이동부는 상기 제2 광학계를 상기 제1 스테이지 상에 위치시키는 광학 검사 시스템.first and second stages arranged side by side and each supporting an inspection object;
a stage transfer unit capable of transferring the first stage and the second stage in a first axis direction;
an optical inspection unit including a first optical system movable in a second axis direction intersecting the first axis direction, and performing an inspection of the inspection object through the first optical system; and
An inspection verification unit disposed on one side of the optical inspection unit in the first axis direction and verifying the inspection of the inspection object through a second optical system movable in the second axis direction,
The optical inspection unit further includes a first optical system moving unit that moves the first optical system in the second axis direction,
The inspection verification unit includes a second optical system moving unit that moves the second optical system in the second axis direction,
The stage transfer unit,
The optical inspection unit transfers the first stage, on which the inspection of the inspection object is completed, to the inspection and verification unit,
The second stage is transferred in the first axis direction and placed in the optical inspection unit,
The first optical system moving unit positions the first optical system on the second stage,
An optical inspection system wherein the second optical system moving unit positions the second optical system on the first stage. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 광학계는 제1 카메라를 포함하며,
상기 광학검사부는 상기 제1 카메라가 상기 검사 대상체의 전체 영역을 스캔 또는 촬상하여 상기 검사 대상체의 전체 영역에 대해 불량 검사를 수행하고,
상기 제2 광학계는 제2 카메라를 포함하며,
상기 검사검증부는 상기 광학검사부에서 불량으로 판단한 영역의 위치 정보에 따라 상기 제2 카메라가 상기 광학검사부에서 불량으로 판단한 영역을 촬상하여 상기 광학검사부에서 불량으로 판단한 영역에 대해 불량 여부를 검증하는 광학 검사 시스템.In claim 1,
The first optical system includes a first camera,
The optical inspection unit performs a defect inspection on the entire area of the inspection object by having the first camera scan or image the entire area of the inspection object,
The second optical system includes a second camera,
The inspection and verification unit performs an optical inspection in which the second camera captures images of the area judged to be defective by the optical inspection unit according to the location information of the area judged to be defective by the optical inspection unit, and verifies whether the area judged to be defective by the optical inspection unit is defective. system. 청구항 2에 있어서,
상기 광학검사부는 상기 제1 스테이지 또는 상기 제2 스테이지 상의 기준 위치에서의 거리와 방향을 통해 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보를 획득하고,
상기 검사검증부는 상기 광학검사부에서 획득한 상기 불량으로 판단한 영역의 위치 정보로 확인된 상기 제1 스테이지 또는 상기 제2 스테이지 상의 기준 위치에서의 거리와 방향으로 상기 제2 카메라를 이동시켜 상기 광학검사부에서 불량으로 판단한 영역을 촬상하는 광학 검사 시스템.In claim 2,
The optical inspection unit obtains location information of the area determined to be defective through the distance and direction from a reference position on the first stage or the second stage,
The inspection and verification unit moves the second camera to a distance and direction from a reference position on the first stage or the second stage, which is confirmed by the location information of the area determined to be defective obtained from the optical inspection unit. An optical inspection system that captures images of areas judged to be defective. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지 이송부는 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 광학검사부에 위치시키고,
상기 제1 광학계 이동부는 상기 제1 광학계를 상기 제1 스테이지 상에 위치시키는 광학 검사 시스템.In claim 1,
The stage transfer unit transfers the first stage in the first axis direction and positions it in the optical inspection unit,
An optical inspection system wherein the first optical system moving unit positions the first optical system on the first stage. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 스테이지 이송부는,
상기 검증이 완료된 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하고,
상기 제2 스테이지를 상기 광학검사부에서 상기 검사검증부로 이송하며,
상기 제2 광학계 이동부는 상기 제2 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 스테이지 상에 위치시키는 광학 검사 시스템.In claim 1,
The stage transfer unit,
Transferring the verified first stage in the first axis direction,
Transferring the second stage from the optical inspection unit to the inspection verification unit,
The second optical system moving unit moves the second optical system in the second axis direction and positions it on the second stage. 청구항 1에 있어서,
상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지를 상기 제1 광학계 및 상기 제2 광학계와 각각 정렬시키는 위치교정부;를 더 포함하는 광학 검사 시스템.In claim 1,
An optical inspection system further comprising a position correction unit that aligns the first stage and the second stage with the first optical system and the second optical system, respectively. 청구항 8에 있어서,
상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지는 표면 상에 형성된 기준 마커를 포함하며,
상기 위치교정부는,
상기 광학검사부로 이송된 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지의 기준 마커를 상기 제1 광학계로 확인하여 상기 제1 광학계와 상기 제1 스테이지의 제1-1 정렬 정보 및 상기 제1 광학계와 상기 제2 스테이지의 제1-2 정렬 정보를 획득하고,
상기 제1 광학계와 정렬되어 이송된 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지의 기준 마커를 상기 제2 광학계로 확인하여 상기 제2 광학계와 상기 제1 스테이지의 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2 광학계와 상기 제2 스테이지의 제2-2 정렬 정보를 획득하는 광학 검사 시스템.In claim 8,
The first stage and the second stage include fiducial markers formed on the surface,
The position correction unit,
The reference markers of the first stage and the second stage transferred to the optical inspection unit are confirmed by the first optical system, and the 1-1 alignment information of the first optical system and the first stage and the first optical system and the first stage are confirmed by the first optical system. Obtain the 1-2 alignment information of stage 2,
The reference markers of the first stage and the second stage, which are aligned and transferred with the first optical system, are confirmed with the second optical system, and the 2-1 alignment information of the second optical system and the first stage and the second optical system are confirmed. and an optical inspection system that acquires 2-2 alignment information of the second stage. 청구항 9에 있어서,
상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지 또는 상기 제1 광학계와 상기 제2 광학계를 각각 중심축에 대해 회전시키는 회전보정부;를 더 포함하고,
상기 제1-1 정렬 정보, 상기 제1-2 정렬 정보, 상기 제2-1 정렬 정보 및 상기 제2-2 정렬 정보는 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 회전 편차를 포함하는 광학 검사 시스템.In claim 9,
It further includes a rotation correction unit that rotates the first stage and the second stage or the first optical system and the second optical system, respectively, about the central axis,
The 1-1 alignment information, the 1-2 alignment information, the 2-1 alignment information, and the 2-2 alignment information include the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation. inspection system. 청구항 10에 있어서,
상기 스테이지 이송부는 상기 제1 축 편차를 보정하며,
상기 제1 광학계 이동부와 상기 제2 광학계 이동부는 상기 제1 광학계와 상기 제2 광학계 중 대응되는 광학계의 상기 제2 축 편차를 보정하고,
상기 회전보정부는 상기 회전 편차를 보정하는 광학 검사 시스템.In claim 10,
The stage transfer unit corrects the first axis deviation,
The first optical system moving unit and the second optical system moving unit correct the second axis deviation of the corresponding optical system among the first optical system and the second optical system,
The rotation correction unit is an optical inspection system that corrects the rotation deviation. 청구항 1에 있어서,
상기 검사검증부와 반대되어 상기 광학검사부의 상기 제1 축 방향 타측에 배치되며, 상기 검사 대상체를 세정하는 클리닝부;를 더 포함하는 광학 검사 시스템.In claim 1,
An optical inspection system further comprising a cleaning unit disposed on the other side of the optical inspection unit in the first axis direction, opposite to the inspection verification unit, and cleaning the inspection object. 서로 나란히 배치된 제1 및 제2 스테이지 중 제1 검사 대상체가 지지된 상기 제1 스테이지를 제1 축 방향으로 이송하여, 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 이동 가능한 제1 광학계를 포함하는 광학검사부에 위치시키는 과정;
상기 제1 광학계를 상기 제1 스테이지 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체를 검사하는 과정;
상기 제1 검사 대상체에 대한 검사가 완료된 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여, 상기 제2 축 방향으로 이동 가능한 제2 광학계를 포함하는 검사검증부에 위치시키는 과정;
제2 검사 대상체가 지지된 상기 제2 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 광학검사부에 위치시키는 과정;
상기 제2 광학계를 상기 제1 스테이지 상에 위치시켜 상기 제1 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정; 및
상기 제1 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 스테이지 상에 위치시키고, 상기 제2 검사 대상체를 검사하는 과정;을 포함하는 광학 검사 방법.A first optical system capable of moving the first stage on which the first inspection object is supported among the first and second stages arranged side by side in a first axis direction and moving in a second axis direction intersecting the first axis direction. A process of positioning the optical inspection unit including;
A process of inspecting the first inspection object by positioning the first optical system on the first stage;
A process of transporting the first stage on which the inspection of the first inspection object is completed in the first axis direction and placing it in an inspection verification unit including a second optical system movable in the second axis direction;
A process of transferring the second stage on which a second inspection object is supported in the first axis direction and placing it in the optical inspection unit;
Verifying the inspection of the first inspection object by positioning the second optical system on the first stage; and
An optical inspection method comprising: moving the first optical system in the second axis direction to position it on the second stage and inspecting the second inspection object. 삭제delete 청구항 13에 있어서,
상기 제1 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정 및 상기 제2 검사 대상체를 검사하는 과정은 동시에 수행되는 광학 검사 방법.In claim 13,
An optical inspection method in which the process of verifying the inspection of the first inspection object and the process of inspecting the second inspection object are performed simultaneously. 청구항 13에 있어서,
상기 제1 검사 대상체에 대한 검사의 검증이 완료된 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 제1 검사 대상체를 반출하고, 상기 제1 스테이지 상에 새로운 제1 검사 대상체를 지지하는 과정;
상기 제2 검사 대상체에 대한 검사가 완료된 상기 제2 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 검사검증부에 위치시키는 과정;
상기 새로운 제1 검사 대상체가 지지된 상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이송하여 상기 광학검사부에 위치시키는 과정;
상기 제2 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 스테이지 상에 위치시키고, 상기 제2 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정; 및
상기 제1 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제1 스테이지 상에 위치시키고, 상기 새로운 제1 검사 대상체를 검사하는 과정;을 더 포함하는 광학 검사 방법.In claim 13,
A process of transporting the first stage on which inspection of the first inspection object has been completed in the first axis direction to unload the first inspection object and supporting a new first inspection object on the first stage;
A process of transporting the second stage on which the inspection of the second inspection object is completed in the first axis direction and placing it in the inspection verification unit;
A process of transferring the first stage on which the new first inspection object is supported in the first axis direction and placing it in the optical inspection unit;
moving the second optical system in the second axis direction to position it on the second stage and verifying the inspection of the second inspection object; and
An optical inspection method further comprising moving the first optical system in the second axis direction to position it on the first stage and inspecting the new first inspection object. 청구항 16에 있어서,
상기 제2 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정 및 상기 새로운 제1 검사 대상체를 검사하는 과정은 동시에 수행되는 광학 검사 방법.In claim 16,
An optical inspection method in which the process of verifying the inspection of the second inspection object and the process of inspecting the new first inspection object are performed simultaneously. 청구항 13에 있어서,
상기 제1 검사 대상체를 검사하는 과정에서는 상기 제1 광학계의 제1 카메라가 상기 제1 검사 대상체의 전체 영역을 스캔 또는 촬상하여 상기 제1 검사 대상체의 전체 영역에 대해 불량 검사를 수행하고,
상기 제1 검사 대상체에 대한 검사를 검증하는 과정에서는 상기 제1 검사 대상체를 검사하는 과정에서 불량으로 판단한 영역의 위치 정보에 따라 상기 제2 광학계의 제2 카메라가 상기 불량으로 판단한 영역을 촬상하여 상기 불량으로 판단한 영역에 대해 불량 여부를 검증하는 광학 검사 방법.In claim 13,
In the process of inspecting the first inspection object, the first camera of the first optical system scans or takes images of the entire area of the first inspection object and performs a defect inspection on the entire area of the first inspection object,
In the process of verifying the inspection of the first inspection object, the second camera of the second optical system captures the area determined to be defective according to the location information of the area determined to be defective in the process of inspecting the first inspection object, and An optical inspection method that verifies whether an area judged to be defective is defective. 청구항 13에 있어서,
상기 제1 광학계와 상기 제1 스테이지의 제1-1 정렬 정보 및 상기 제2 광학계와 상기 제1 스테이지의 제2-1 정렬 정보를 획득하는 과정;
상기 제1-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제1 광학계와 상기 제1 스테이지를 정렬시키는 과정; 및
상기 제2-1 정렬 정보를 이용하여 상기 제2 광학계와 상기 제1 스테이지를 정렬시키는 과정;을 더 포함하는 광학 검사 방법.In claim 13,
Obtaining 1-1 alignment information of the first optical system and the first stage and 2-1 alignment information of the second optical system and the first stage;
Aligning the first optical system and the first stage using the 1-1 alignment information; and
An optical inspection method further comprising aligning the second optical system and the first stage using the 2-1 alignment information. 청구항 19에 있어서,
상기 제1-1 정렬 정보 및 상기 제2-1 정렬 정보는 상기 제1 축 편차, 상기 제2 축 편차 및 회전 편차를 포함하며,
상기 제1 광학계와 상기 제1 스테이지를 정렬시키는 과정은,
상기 제1 스테이지를 상기 제1 축 방향으로 이동시켜 상기 제1 축 편차를 보정하는 과정;
상기 제1 광학계를 상기 제2 축 방향으로 이동시켜 상기 제2 축 편차를 보정하는 과정; 및
상기 제1 스테이지 또는 상기 제1 광학계를 중심축에 대해 회전시켜 상기 회전 편차를 보정하는 과정을 포함하는 광학 검사 방법.In claim 19,
The 1-1 alignment information and the 2-1 alignment information include the first axis deviation, the second axis deviation, and the rotation deviation,
The process of aligning the first optical system and the first stage is,
A process of correcting the first axis deviation by moving the first stage in the first axis direction;
A process of correcting the second axis deviation by moving the first optical system in the second axis direction; and
An optical inspection method comprising correcting the rotation deviation by rotating the first stage or the first optical system about a central axis. 청구항 19에 있어서,
상기 제2-1 정렬 정보는 상기 제1 광학계와 정렬된 상태에서 상기 검사검증부로 이동시킨 상기 제1 스테이지의 기준 마커를 상기 제2 광학계로 확인하여 획득하는 광학 검사 방법.In claim 19,
An optical inspection method in which the 2-1 alignment information is obtained by checking with the second optical system a reference marker of the first stage moved to the inspection and verification unit while aligned with the first optical system.
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