KR102640549B1 - 3d스캐너를 이용한 프로파일 온도센서의 불량검사방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 3D스캐너를 이용한 프로파일 온도센서의 불량검사방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 실시예에 따르면, 3D스캐너의 검사부에 프로파일 온도센서를 위치시키는 단계, 상기 검사부의 상측으로 이격된 3D비전 카메라를 이동시키면서, 상기 프로파일 온도센서를 촬영하는 단계, 상기 영상에서 상기 프로파일 온도센서의 외관에 존재하는 불량여부를 판단하는 단계 및 상기 프로파일 온도센서의 외관에 불량이 없는 경우 상기 프로파일 온도센서를 출하는 위치로 이동시키는 단계를 포함한다.
이러한 본 발명의 실시예에 따르면, 3D스캐너의 검사부에 프로파일 온도센서를 위치시키는 단계, 상기 검사부의 상측으로 이격된 3D비전 카메라를 이동시키면서, 상기 프로파일 온도센서를 촬영하는 단계, 상기 영상에서 상기 프로파일 온도센서의 외관에 존재하는 불량여부를 판단하는 단계 및 상기 프로파일 온도센서의 외관에 불량이 없는 경우 상기 프로파일 온도센서를 출하는 위치로 이동시키는 단계를 포함한다.
Description
본 발명은 3D스캐너를 이용한 프로파일 온도센서의 불량검사방법에 관한 것이다.
LSI(Large Scale Integrated circuit) 또는 MOS(Metal Oxide Semiconductor) 트랜지스터 등의 반도체 소자는 피처리 기판이 되는 웨이퍼에 대하여 포토리소그래피 또는 에칭, CVD(Chemical Vapor Deposition), 스퍼터링 등의 처리를 실시하여 제조된다. 에칭 또는 CVD, 스퍼터링 등의 처리에 대해서는, 예를 들면, 그 에너지 공급원으로서 플라즈마를 이용한 처리 방법, 즉 플라즈마 에칭 또는 플라즈마 CVD, 플라즈마 스퍼터링이 있다.
삭제
상기한 에칭 처리 등에 이용되는 일반적인 플라즈마 처리 장치는, 그 내부에서 처리를 행하는 처리 용기와, 처리 용기 내에서 그 위에 웨이퍼를 재치하도록 하여 보지하는 보지대를 구비한다. 보지대 상에 웨이퍼를 보지한 후, 처리 용기 내에서 발생시킨 플라즈마를 이용해 웨이퍼에 대하여 에칭 처리 또는 CVD 처리를 행한다. 보지대의 내부에는, 보지대 상에 보지한 웨이퍼의 온도를 조정하는 히터 등의 온도 조정기가 설치되어 있다. 처리 시에 웨이퍼는 온도 조정기에 의해 처리에 요구되는 적절한 온도로 조정된다. 처리 시의 웨이퍼의 면 내 균일성의 확보, 예를 들면, 원판 형상의 웨이퍼의 중앙측의 영역과 단부측의 영역의 처리의 균일성의 확보 등의 관점에서, 에칭 처리 또는 CVD 처리를 행할 때에는 처리 프로세스 중에 웨이퍼의 각 위치에서의 엄밀한 온도 관리가 중요하다. 또한, 프로세스 처리 중에뿐만 아니라 웨이퍼 반송 중의 온도 관리도 중요하다. 그래서, 웨이퍼의 온도를 검지하기 위한 웨이퍼형 온도 검지 센서에 관한 기술이 일본특허공개공보 2005-156314 호(특허 문헌1) 또는 일본특허공개공보 2007-187619 호(특허 문헌 2)에 개시되어 있다.
삭제
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로, 프로파일 온도센서의 표면의 불량을 체크하여 판매시 발생되는 불량률을 줄이기 위한 3D스캐너를 이용한 프로파일 온도센서의 불량검사방법의 제공을 목적으로한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 3D스캐너의 검사부에 프로파일 온도센서를 위치시키는 단계, 상기 검사부의 상측으로 이격된 3D비전 카메라를 이동시키면서, 상기 프로파일 온도센서를 촬영하는 단계, 상기 영상에서 상기 프로파일 온도센서의 외관에 존재하는 불량여부를 판단하는 단계 및 상기 프로파일 온도센서의 외관에 불량이 없는 경우 상기 프로파일 온도센서를 출하는 위치로 이동시키는 단계를 포함한다.
상기 불량여부를 판단하는 단계는 상기 프로파일 온도센서의 외관의 두께불량, 크랙, 이어붙임, 형태이상, 기포의 존재, 각도불량 웰딩포인트 길이, 튜브 및 네임테그의 불량여부를 판단할 수 있다.
상기 불량여부를 판단하는 단계 이후에 상기 프로파일 온도센서의 외관의 두께불량, 크랙, 이어붙임, 형태이상 및 기포가 존재하는 경우에는 상기 프로파일 온도센서를 불량품 보관함에 모아둔 상태에서 수리후 다시 검사할 수 있다.
상기 불량여부를 판단하는 단계에서 상기 프로파일 온도센서에 기포가 존재하는 경우, 상기 기포가 2cm이하인 경우 정상으로 판단할 수 있다.
상기 방법 및 특징을 갖는 본 발명에 따르면, 3D 스캐너를 이용하여 프로파일 온도센서의 불량여부를 확인할 수 있어 포장된 프로파일 온도센서의 불량률을 낮출 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너를 이용한 프로파일 온도센서의 불량검사방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너를 설명하기 위한도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너의 촬영부를 나타낸 도면이다.
도 4a 내지 4f는 도 1의 S3단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너를 설명하기 위한도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너의 촬영부를 나타낸 도면이다.
도 4a 내지 4f는 도 1의 S3단계를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 구현예(態樣, aspect)(또는 실시예)들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예(태양, 態樣, aspect)(또는 실시예)를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, ~포함하다~ 또는 ~이루어진다~ 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 명세서에서 기재한 ~제1~, ~제2~ 등은 서로 다른 구성 요소들임을 구분하기 위해서 지칭할 것일 뿐, 제조된 순서에 구애받지 않는 것이며, 발명의 상세한 설명과 청구범위에서 그 명칭이 일치하지 않을 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너를 이용한 프로파일 온도센서의 불량검사방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너를 설명하기 위한도면이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너의 촬영부를 나타낸 도면이고, 도 4a 내지 4f는 도 1의 S3단계를 설명하기 위한 도면이다.
도 1에서 나타낸 것처럼 본 발명의 실시예에 따른 3D스캐너를 이용한 프로파일 온도센서의 불량검사방법은 온도센서를 위치시키는 단계(S1), 촬영단계(S2), 불량여부 판단단계(S3) 및 위치 이동단계(S4)를 포함한다.
먼저, 온도센서를 위치시키는 단계(S1)는 3D 스캐너의 검사부 위치에 제작이 완료된 프로파일 온도센서를 위치시킨다. 이때, 도 2에서 나타낸 것과 같이 3D스캐너(100)는 프로파일 온도센서가 위치하는 검사부(110)와 검사부의 상측으로 이격되어 프로파일 온도센서를 촬영하는 촬영부(120)를 포함한다. 먼저, 검사부(110)는 바닥면과 평행하도록 형성되어 있으며, 투명하게 형성된다. 이렇게 투명하게 형성되는 것은 검사부의 아래에서도 촬영을 통해 프로파일 온도센서와 검사부(110)에 맞닺는 부분의 표면도 함께 불량여부를 검사하기 위해 사용한다.
그리고 촬영부(120)는 도 2에서 나타낸 것과 같이 3D 스캔을 진행하기 위해 3D 스캔용 카메라를 사용할 수 있으며, 3D비전 카메라도 또한 사용할 수 있다. 이러한 3D 카메라를 이용함으로써, 촬영시 프로파일 온도센서를 3D형태로 획득할 수 있다. 이렇게 3D 형태로 촬영을 제공할 수 있어 추후 불량여부 판단단계(S3)에서 프로파일 온도센서의 불량여부를 판단할 수 있도록 제공할 수 있다.
또한, 촬영부(120)는 확대를 위해 렌즈(미도시)가 더 결합될 수 있는데 이는 3D 카메라에서 촬영되는 영상을 더욱 확대하여 촬영하기 위함이다.
다음으로, 촬영단계(S2)는 검사부(110)의 상측으로 이격된 촬영부(120)를 이동시키면서, 프로파일 온도센서를 촬영한다. 이렇게 촬영단계(S2)에서 촬영부(120)를 이동시키면서 프로파일 온도센서를 촬영하는 것은 프로파일 온도센서의 길이가 길게 형성되어 있으며, 도 3에서 나타낸 것과 같이 프로파일 온도센서의 길이로인하여 촬영부(120)가 한번에 촬영하지 못하는 문제가 있어, 촬영부(120)가 이동하면서 해당 프로파일 온도센서를 촬영한다. 도 3에서 나타낸 것과 같이 프로파일 온도센서는 ‘ㄱ’자 형태로 형성되게 되는데 커넥터 측을 통해 신호 및 전류를 인가받은 상태에서 온도를 측정할 수 있다.
다음으로, 불량여부 판단단계(S3)는 촬영된 영상에서 프로파일 온도센서의 외관에 존재하는 불량여부를 판단한다.
이때, 도 4a 내지 도 4f에서 나타낸 것과 같이 촬영된 영상을 이용하여 사용자가 불량여부를 판단한다.
먼저, 도 4a에서 나타낸 것과 같이 촬영된 프로파일 온도센서에 군집형태의 기포가 형성되어있는 경우, 해당 불량을 군집형태의 기포 불량으로 명명하고, 도면에서 나타낸 것과 같이 양이 적은 경우엔 경미한 불량으로 판단한다. 이에반해 하나의 화면에 양이 많은 것으로 나타난 경우, 심각한 불량으로 판단하여 불량제품으로 분류한다. 또한, 프로파일 온도센서에 형성된 기포가 2cm보다 크게 형성되는 경우, 해당 부분에 있어서 심각한 불량으로 판단하여 불량제품으로 분류한다.
다음으로, 도 4b에서 나타낸 것과 같이 촬영된 프로파일 온도센서에 스크래치가 형성되는 경우, 도 4b에서 나타낸 것과 같이 사용자의 눈에 확인이 가능한 스크래치면 심각한 불량으로 판단하고, 불량제품으로 분류하며 사용자의 눈으로 확인이 불가능한 스크래치의 경우 경미한 불량으로 판단한다.
다음으로, 도 4c에서 나타낸 것과 같이 촬영된 프로파일 온도센서에 얼룩이 존재하는 경우에는 도 4c에서 나타낸 것과 같은 얼룩인 경우 경미한 불량으로 판단한다.
다음으로, 도 4d에서 나타낸 것처럼 촬영된 프로파일 온도센서의 형태가 다른 경우, 해당 프로파일 온도센서가 심각한 불량인 것으로 판단한다.
다음으로, 도 4e에서 나타낸 것처럼 촬영된 프로파일 온도센서의 두께가 서로 다른 경우,해당 프로파일 온도센서가 심각한 불량인 것으로 판단한다.
다음으로, 도 4f에서 나타낸 것처럼 촬영된 프로파일 온도센서의 형태에 사용자가 확인할 수 있는 크랙이 존재하는 경우, 해당 프로파일 온도센서가 심각한 불량인 것으로 판단한다.
이렇게 불량이 발생한 프로파일 온도센서를 서로다른 보관함에 위치시킨 상태에서 각각의 불량에 따라 수정을 진행한다.
불량여부를 판단하는 단계 이후에 프로파일 온도센서의 외관의 두께불량, 크랙, 이어붙임, 형태이상 및 기포가 존재하는 경우에는 프로파일 온도센서를 불량품 보관함에 모아둔 상태에서 수리후 다시 검사하고, 도 4a 내지 도 4f에서 나타낸 것과 같은 불량이 없는지 확인하고, 없는 경우 출하하는 위치로 프로파일 온도센서를 이동시킨다.
다음으로, 위치 이동단계(S4)는 프로파일 온도센서의 외관에 불량이 없는 경우 프로파일 온도센서를 출하는 위치로 이동시킨다. 즉, 사용자는 불량이 아닌 프로파일 온도센서를 외부로 출하하기 위해 출하하는 위치로 이동시켜 포장하여 출하한다.
또한, 다른 실시예에 따르면, 검사부(110)의 외측 표면에 도포되는 코팅층을 포함하고, 코팅층은 제1층 및 제2층으로 형성되며, 외부의 자극으로부터 존재하는 날카로운 기구들(칼같은 것)에 의해 적제함의 내부에 스크래치 또는 파임이 형성되는 것을 억제하여 스크래치나 파임이 있는 곳에 수분이 인입되어 녹이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이러한 제1층은 인산화칼슘 10중량부, 상기 인산화칼슘 10중량부대비 산화칼슘(Cao) 0.3 ~ 0.89중량부, 황산구리(CuSO45H2O) 0.001 ~ 2.5 중량부, 유무기산 0.5 ~ 3.0중량부 및 산화은 0.1 ~ 0.15중량부를 포함하고, 제2층은 과불화옥탄 10중량부, 상기 과불화화합물 10중량부 대비 실리콘알콕시드 0.11중량부, 옥타데실트리클로로실란을 포함하는 반응성실란 0.5 ~ 2.0 중량부 및 폴리테트라메틸렌글리콜 0.13중량부, 광중합 개시제 0.1중량부 및 유기용매 2중량부를 포함한다.
먼저, 인산화 칼슘은 후술할 산화칼슘(CaO)의 반응성을 증대시키기 위해 촉매로 사용되며, 인산화 칼슘은 10중량부가 사용되는 것이 바람직한데, 인산화 칼슘이 10중량부보다 작게 사용되는 경우, 후술할 산화칼슘의 반응성을 저하시킬 수 있으며, 인산화 칼슘이 10중량부보다 많이 사용되는 경우, 후술할 산화칼슘의 반응을 더욱 촉진하여 다른 첨가물에 대한 거부반응을 일으킬 수 있다. 그리고 이러한 인산화 칼슘은 수산화아파타이트 또는 칼슘포스페이트등이 사용될 수 있다.
다음으로, 산화칼슘(CaO)은 일반적으로 위생소독용으로 사용되는 것으로, 물과 반응하여 80℃ 이상의 고온을 나타낸다. 산화칼슘의 혼합량이 인산화칼슘 10중량부대비 0.3 내지 0.89중량부가 사용되는 것이 바람직하며, 0.3 중량부보다 작게 사용되는 경우, 악취를 발생시키는 악취 입자의 멸균력이 떨어지게 되며, 0.89중량부보다 많이 사용되는 경우, 산화칼슘의 독특한 냄새가 나며 다른 제1층에 존재하는 첨가물에 거부반응이 나타날 수 있다.
다음으로, 황산구리(CuSO45H2O)는 악취를 제거하는 조성물로, 푸른색의 투명한 결정으로 비중은 2.286이다. 건조한 공기 중에서 서서히 수분을 잃고 가루가 된다. 45℃에서 2분자의 물, 110℃에서 4분자의 물, 다시 250℃에서 모든 물분자를 잃고 무색의 무수물이된다. 이러한 황산구리는 인산화 칼슘 10 중량부 대비 0.001 ~ 2.5 중량부가 함유되는 것이 바람직하다. 이때, 황산구리가 0.001중량부 미만이 사용되는 경우 구리이온의 농도가 낮아 산성취에 대한 탈취효과가 거이 없으며, 2.5 중량부를 초과하여 사용할 경우에는 과포화된 황산구리용액으로 결정이 생성되어 본 발명에서 설명하는 악취를 제거하는 효과가 저하된다.
다음으로, 유무기산은 황산구리에 함유되어 있는 구리 및 황산이온을 활성화 시키?z 것으로, 황산, 질산, 염산, 초산, 시트릭산, 살리실산, 주석산, 말레인산, 젖산, 사과산, 아스코빅산등의 유,무기산 중에서 하나 또는 그 이상을 선택하여 혼합 사용할 수 있으며, 인산화 칼슘은 10중량부 대비 유,무기산은 0.5 ~ 3.0중량부가 함유되는 것이 바람직하다. 이러한 유무기산이 0.5 중량부보다 작게 사용되는 경우, 낮은 농도로 악취원에 적용할 때 구리 및 황산이온을 활성화 시키지 못하며, 유무기산이 30중량부보다 많이 사용되는 경우, 황산구리의 용해도를 떨어뜨리게 되어 결정이 석출되며, 이러한 결정이 석출됨으로써, 구리 및 황산이온의 활성화를 저하시킬 수 있다.
다음으로, 산화은은 황산구리의 반응성을 증대시키기 위해 사용되는 것으로, 인산화 칼슘 10 중량부대비 0.1 ~ 0.15중량부가 사용되는 것이 바람직하다. 여기서, 산화은이 0.1 중량부보다 적게 사용되는 경우, 황산구리의 반응을 저하시키게 되며, 0.15 중량부보다 많이 사용되는 경우, 황산구리의 용해도를 떨어뜨리게 되어 황산구리의 활성화를 저하시킬 수 있다.
즉, 제1층이 검사부(110)의 외측의 표면 형성됨으로써, 산화칼슘이 물과 반응해서 80도 이상의 고온을 발생시킴과 동시에 멸균을 진행 인산화칼슘은 산화칼슘이 반응을 빠르게 제공함과 동시에 황산구리와 유무기산의 반응성을 높게 형성시켜 구리 및 황산이온을 활성화됨에 따라 악취가 제거된다. 이때, 산화 칼슘은 검사부(110)의 외측 표면에 존재하는 수분에 의해 활성화 되거나, 인입되는 물체에 함유되어 있는 수분을 통해 활성화될 수 있다.
다음으로, 제2층은 검사부(110)의 외측의 표면에 스크래치가 형성되는 것을 방지하고, 스크래치가 형성된 부분에 수분이 들어가는 것을 방지하여 검사부(110)의 외측의 표면에 녹이 발생하는 것을 억제하기 위해 제1층과 검사부(110)의 외측의 표면 사이의 상면에 도포된다. 이러한 제2층은 과불화화합물 10중량부, 상기 과불화화합물 10중량부 대비 실리콘알콕시드 0.11중량부, 옥타데실트리클로로실란을 포함하는 반응성실란 0.5 ~ 2.0 중량부 및 폴리테트라메틸렌글리콜 0.13중량부, 광중합 개시제 0.1중량부 및 유기용매 2중량부를 포함한다.
먼저, 과불화화합물은 검사부(110)의 외측의 표면으로 수분 또는 물이 인입되는 것을 방지하기 위한 발수코팅제로써, 무기물로 이루어진 무기향균제를 함께 사용한다. 이러한 과불화화합물은 10중량부가 사용되는 것이 바람직한데, 과불화화합물이 10 중량부보다 작게 사용되는 경우, 발수기능이 저하될 수 있으며, 10 중량부보다 크게 사용되는 경우, 침전물이 형성되어 발수코팅의 코팅력을 상실할 수 있다.
다음으로, 실리콘알콕시드는 과불화화합물을 검사부(110)의 외측의 표면에 결합력을 증대시키기 위해 사용되는 것으로, 과불화화합물 10중량부 대비 0.11중량부가 사용되는 것이 바람직하며, 실리콘알콕시드가 0.11중량부보다 작게 사용되는 경우, 과불화화합물이 프로파일 온도센서의 표면에 접착되는 접착성이 저하될 수 있으며, 실리콘알콕시드가 0.11중량부보다 크게 사용되는 경우, 투명성이 저하될 수 있다.
다음으로, 반응성실란은 옥타데실트리클로로실란(CH3(CH2)17SiCl3)을 포함하며, 실리콘알콕시드의 반응을 용이하게제공하고 임계경사각을 작게하기 위해 사용한다. 이러한 반응성 실란은 과불화화합물 10중량부 대비 0.5 ~ 2.0 중량부가 사용되는 것이 바람직하며, 반응성실란이 0.5 중량부보다 작게 사용되는 경우, 실리콘알콕시드의 반응성이 저하되며, 2.0중량부보다 많이 사용하는 경우, 임계경사각이 증가하여 반응성이 저하된다.
다음으로, 폴리테트라메틸렌글리콜은 유리전이온도가 50도 이상이며, 경도값이 60이상을 가진다. 즉, 폴리테트라메틸렌글리콜을 이용함으로써, 제2층이 높은 온도인 80도이상에서도 높은 경도값을 가지게 제공할 수 있으며, 폴리테트라메틸렌글리콜은 0.13중량부가 사용되는 것이 바람직하며, 폴리테트라메틸렌글리콜이 0.13중량부보다 크거나 작게 사용되는 경우, 제2층의 유리전이온도와 높은 경도값을 가지기가 힘들다는 단점이 있다.
다음으로, 광중합 개시제는 자외선을 이용하여 경화시키는 것으로, 폴리테트라메틸렌글리콜을 경화시키기 위해 사용되며, 경화속도를 촉진시키기 위해 사용한다. 이러한 광중합 개시제는 과불화화합물 10중량부 0.1중량부를 사용하는 것이 바람직하며, 0.1중량부보다 적게 사용되는 경우, 폴리테트라메틸렌글리콜의 경화가 충분히 형성되지 않으며, 0.1중량부보다 많이 사용되는 경우, 폴리테트라메틸렌글리콜의 경화가 촉진되어 원하는 경도 값을 가지기 어렵다.
다음으로, 유기용매는 폴리테트라메틸렌글리콜을 액체상의 물질로 형성시켜 놓기 위해 사용되는 것으로, 에테르, 아세톤 또는 알코올을 포함할 수 있다. 이러한 유기용매는 과불화화합물 10중량부 2중량부를 가지는 것이 바람직하다. 유기용매가 2중량부보다 적게사용되는 경우, 폴리테트라메틸렌글리콜이 액화가 적게되며, 유기용매가 2중량부보다 많이 사용되는 경우, 폴리테트라메틸렌글리콜의 경화가 느리게 진행되는 문제가있다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 설명한 본 발명은 통상의 기술자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 청구범위를 통해 한정되지 않은 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 3D 스캐너
110: 검사부
120: 촬영부
110: 검사부
120: 촬영부
Claims (4)
- 3D스캐너의 검사부에 프로파일 온도센서를 위치시키는 단계;
상기 검사부의 상측으로 이격된 3D비전 카메라를 이동시키면서, 상기 프로파일 온도센서를 촬영하는 단계;
영상에서 상기 프로파일 온도센서의 외관에 존재하는 불량여부를 판단하는 단계; 및
상기 프로파일 온도센서의 외관에 불량이 없는 경우 상기 프로파일 온도센서를 출하하는 위치로 이동시키는 단계;를 포함하고,
상기 검사부의 표면에 도포되는 코팅층을 포함하고, 상기 코팅층은 제1층 및 제2층으로 형성되되,
상기 제1층은 인산화칼슘 10중량부, 상기 인산화칼슘 10중량부대비 산화칼슘(Cao) 0.3 ~ 0.89중량부, 황산구리(CuSO45H2O) 0.001 ~ 2.5 중량부, 유무기산 0.5 ~ 3.0중량부 및 산화은 0.1 ~ 0.15중량부를 포함하고, 제2층은 과불화옥탄 10중량부, 상기 과불화화합물 10중량부 대비 실리콘알콕시드 0.11중량부, 옥타데실트리클로로실란을 포함하는 반응성실란 0.5 ~ 2.0 중량부 및 폴리테트라메틸렌글리콜 0.13중량부, 광중합 개시제 0.1중량부 및 유기용매 2중량부를 포함하는 불량검사방법. - 청구항 1에 있어서,
상기 불량여부를 판단하는 단계는
상기 프로파일 온도센서의 외관의 두께불량, 크랙, 이어붙임, 형태이상, 기포의 존재, 각도불량 웰딩포인트 길이, 튜브 및 네임테그의 불량여부를 판단하는 불량검사방법.
- 청구항 2에 있어서,
상기 불량여부를 판단하는 단계 이후에 상기 프로파일 온도센서의 외관의 두께불량, 크랙, 이어붙임, 형태이상 및 기포가 존재하는 경우에는 상기 프로파일 온도센서를 불량품 보관함에 모아둔 상태에서 수리후 다시 검사하는 불량검사방법.
- 청구항 3에 있어서,
상기 불량여부를 판단하는 단계에서 상기 프로파일 온도센서에 기포가 존재하는 경우, 상기 기포가 2cm이하인 경우 정상으로 판단하는 불량검사 방법.
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