KR102623140B1 - Positioning unit and positioning table - Google Patents

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KR102623140B1
KR102623140B1 KR1020210096032A KR20210096032A KR102623140B1 KR 102623140 B1 KR102623140 B1 KR 102623140B1 KR 1020210096032 A KR1020210096032 A KR 1020210096032A KR 20210096032 A KR20210096032 A KR 20210096032A KR 102623140 B1 KR102623140 B1 KR 102623140B1
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positioning
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에이지 미야모토
겐타로우 다카기
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히하이스트 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 일차원 방향 또는 이차원 방향 (평면 방향) 에서의 고정밀도의 위치 결정을 가능하게 하는 위치 결정 유닛 및 위치 결정 테이블을 제공한다.
(해결 수단) 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 궤도를 따른 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합된 위치 결정 유닛, 그리고 이 위치 결정 유닛을 사용한 위치 결정 테이블.(Problem) To provide a positioning unit and a positioning table that enable high-accuracy positioning in one-dimensional direction or two-dimensional direction (plane direction).
(Solution) First orbit fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, installed on the substrate, and driving forward and backward motion along the trajectory of the first sliding member; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second track and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate, wherein the first sliding member and the second sliding member have their inclined surfaces in contact with each other. a positioning unit combined to cause the second sliding member to perform a retracting forward movement along the track by the forward/retracting movement along the track of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device in the state, and this positioning. Positioning table using units.

Description

위치 결정 유닛 및 위치 결정 테이블{POSITIONING UNIT AND POSITIONING TABLE}Positioning unit and positioning table {POSITIONING UNIT AND POSITIONING TABLE}

본 발명은, 얼라인먼트 스테이지라고도 불리는 위치 결정 테이블, 그리고 특히 위치 결정 테이블의 테이블 이동 기구로서 유리하게 사용할 수 있는 위치 결정 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a positioning table, also called an alignment stage, and in particular to a positioning unit that can be advantageously used as a table moving mechanism of the positioning table.

종래부터, 각종 재료의 가공을 실시할 때에 그 재료를 평면판 (테이블 혹은 스테이지라고 불린다) 위에 재치한 상태로 평면 방향으로 이동시키고, 소정 위치에서 정지시킨 후, 그 평면판 위에서의 재료의 가공을 실시하기 위한 장치로서, 얼라인먼트 스테이지라고도 불리는 위치 결정 테이블이 일반적으로 이용되고 있다.Conventionally, when processing various materials, the material is placed on a flat plate (called a table or stage), moved in the direction of the plane, stopped at a predetermined position, and then processed on the flat plate. As a device for performing this, a positioning table, also called an alignment stage, is generally used.

위치 결정 테이블의 대표적인 타입에는, 재료를 재치 (載置) 한 테이블의, 일차원 방향으로의 이동과 그 후의 가공에 이용하는 일차원 방향 이동 테이블, 이차원 방향 (평면 방향) 에서의 이동과 그 후의 가공에 이용하는, XY 스테이지 혹은 XYθ 스테이지라고 불리는 이차원 방향 이동 테이블, 그리고 삼차원 방향 (평면 방향 ＋ 높이 방향) 에서의 이동과 그 후의 가공에 이용하는, 일반적으로 XYZ 스테이지라고 불리는 삼차원 방향 이동 테이블이 포함된다.Typical types of positioning tables include a one-dimensional movement table used for movement in one dimension and subsequent processing of a table on which materials are placed, and a table used for movement in a two-dimensional direction (planar direction) and subsequent processing. , a two-dimensional direction movement table called an XY stage or an XYθ stage, and a three-dimensional direction movement table generally called an

위치 결정 테이블은 통상적으로, 테이블 혹은 스테이지라고 불리는 평면판, 그리고 그 평면판에 장착되어 있는, 평면판을 소정 위치로 이동시키고, 그 위치에서 정지 가고정시키는 기능을 가지는 1 개 혹은 복수개의 위치 결정 유닛으로 구성되어 있다. 위치 결정 유닛은, 통상적으로, 평면판에 장착되는 1 개 또는 복수개의 직선 슬라이딩 이동 부재와 각각의 직선 슬라이딩 이동 부재의 일차원 방향의 이동을 구동하는 구동 부재로 구성되고, 그 구동 부재는, 별도로 준비된 기반 위에 고정되어 있다. 그리고, 재치한 재료의 일차원 방향으로의 이동과 소정 위치에서의 가고정을 실시하는 일차원 이동 테이블에서는, 기반에 고정된 1 개의 위치 결정 유닛 혹은 1 개의 위치 결정 유닛과 슬라이드 부재의 조합을 사용하는 것이 일반적이다.A positioning table is usually a flat plate called a table or stage, and one or more positioning devices that have the function of moving the flat plate mounted on the flat plate to a predetermined position and temporarily fixing it at that position. It consists of units. The positioning unit is usually composed of one or more linear sliding members mounted on a flat plate and a driving member that drives the movement of each linear sliding member in one dimension, and the driving member is separately prepared. It is fixed on the foundation. In addition, in a one-dimensional moving table that moves the placed material in one dimension and temporarily fixes it at a predetermined position, it is better to use one positioning unit fixed to the base or a combination of one positioning unit and a slide member. It's common.

한편, 가공 재료의 이차원 방향 (평면 방향) 에서의 이동과 소정 위치에서의 정지와 가고정을 실시하는 위치 결정 테이블에서는, 통상적으로, 기반에 고정된 복수개 (2 내지 4 개가 일반적) 의 위치 결정 유닛을 사용하여, 테이블을 원하는 위치로 이동시켜, 가고정시키도록 되어 있다.On the other hand, in a positioning table that moves the processed material in a two-dimensional direction (plane direction) and stops and temporarily fixes it at a predetermined position, a plurality of positioning units (2 to 4 are common) are usually fixed to the base. It is designed to move the table to the desired position and temporarily fix it.

또한, 가공 재료의 삼차원 방향의 이동과 소정 위치에서의 가고정을 실시하는 일반적으로 XYZ 스테이지라고 불리는 위치 결정 테이블에서는, 일반적으로, 기반에 고정된 복수개 (2 내지 4 개가 일반적) 의 위치 결정 유닛을 사용하여 평면 방향의 이동을 할 수 있도록 구성하고, 또한 평면판을 세로 방향 (높이 방향) 으로 이동시켜, 고정시키는 위치 결정 유닛을 조합하여, 가공 재료를 소정 위치로 이동시킨 후, 그 위치에서 가고정시키도록 되어 있다.Additionally, a positioning table, generally called an By combining a configuration that allows movement in the plane direction and a positioning unit that moves and fixes the plane plate in the vertical direction (height direction), the processing material is moved to a predetermined position and then moved from that position. It is set to be fixed.

그리고 또한, 가공 재료를 재치한 평면판을 세로 방향 (높이 방향) 으로만 이동시켜, 가고정시키는 Z 축 위치 결정 유닛이나 테이블도 알려져 있다.Additionally, a Z-axis positioning unit or table is known that moves a flat plate on which processing materials are placed only in the longitudinal direction (height direction) and temporarily fixes it.

지금까지 설명한 위치 결정 대상의 재료의 이차원 방향의 이동과 가고정을 실시하는 위치 결정 테이블로는, 다양한 구성의 것이 알려져 있다. 그 예로는, 이하에 기재하는 특허문헌에 개시된 구성을 들 수 있다.Various configurations are known for the positioning tables that move and temporarily fix the positioning target material in two dimensions described so far. Examples include the configuration disclosed in the patent document described below.

이차원 위치 결정 테이블 (XY 스테이지) : 특허문헌 1, 특허문헌 2, 특허문헌 3, 특허문헌 4Two-dimensional positioning table (XY stage): Patent Document 1, Patent Document 2, Patent Document 3, Patent Document 4

XZ 테이블 : 특허문헌 5XZ Table: Patent Document 5

삼차원 위치 결정 테이블 : 특허문헌 6, 특허문헌 7Three-dimensional positioning table: Patent Document 6, Patent Document 7

일본 공개특허공보 평8-252733호Japanese Patent Publication No. 8-252733 일본 공개특허공보 평10-519호Japanese Patent Publication No. 10-519 일본 공개특허공보 2008-34645호Japanese Patent Publication No. 2008-34645 일본 공개특허공보 2010-274429호Japanese Patent Publication No. 2010-274429 일본 공개 실용 60-109833호Japanese Open Utility No. 60-109833 일본 특허 제5490650호Japanese Patent No. 5490650 일본 특허 제5767473호Japanese Patent No. 5767473

어떠한 타입의 위치 결정 테이블이어도, 간소한 구성과 간단한 조작으로, 높은 정밀도로의 위치 결정을 확실하게 실현할 수 있는 것이 중요해진다. 그러나, 지금까지 알려져 있는 위치 결정 테이블의 상당수는, 그러한 점에서 충분히 만족할 수 있는 것이라고는 할 수 없다.No matter what type of positioning table is used, it is important to be able to reliably achieve high-precision positioning with simple configuration and simple operation. However, it cannot be said that many of the positioning tables known so far are sufficiently satisfactory in this regard.

따라서, 본 발명의 목적은, 간소한 구성으로 이루어지고, 간단한 조작에 의해 작동하여, 높은 정밀도의 위치 결정을 가능하게 하는 위치 결정 테이블, 그리고 그러한 위치 결정 테이블의 테이블 이동 기구로서 유리하게 사용할 수 있는 위치 결정 유닛을 제공하는 것에 있다.Therefore, the object of the present invention is to provide a positioning table that has a simple structure, operates by simple operation, and enables high-precision positioning, and that can be advantageously used as a table movement mechanism for such a positioning table. The object is to provide a positioning unit.

본 발명은, 이하에 기재하는 위치 결정 유닛, 그리고 위치 결정 테이블에 있다.The present invention resides in a positioning unit and a positioning table described below.

[위치 결정 유닛][Positioning unit]

기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 ; 를 포함하고,Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate; Including,

제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛.The second sliding member is moved forward and backward along the first trajectory of the first sliding member, which is caused by the operation of the linear motion drive device with the first sliding member and the second sliding member having their inclined surfaces in contact with each other. A positioning unit that is combined to perform a backward and forward movement along a second orbit.

[위치 결정 테이블][Positioning table]

(1) 본 발명의 위치 결정 유닛을 이용하여, 그 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 테이블이 재치되어 이루어지는 일차원 방향 위치 결정 테이블.(1) A one-dimensional directional positioning table formed by using the positioning unit of the present invention and placing the table on the top surface of the second sliding member.

(2) 본 발명의 위치 결정 유닛의 기판을 따로 준비한 기반 위에, 위치 결정 유닛의 제 2 궤도를 따른 방향이 확대된 형태로 배치 고정시키고, 이 기반 위에는 위치 결정 유닛의 제 2 궤도와 동일한 방향으로 연장된 1 쌍의 직선 가이드가 설치되고, 또한 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에는 테이블이 상기 기반과 평행하게 재치 고정되어 있어, 제 2 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 상기 테이블이, 제 2 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동과 동일 방향으로 전진 후퇴 운동을 실시한 후, 그 위치에서 가고정되도록 구성되어 이루어지는 일차원 방향 위치 결정 테이블.(2) The substrate of the positioning unit of the present invention is arranged and fixed on a separately prepared base in an enlarged form in the direction along the second orbit of the positioning unit, and on this base, in the same direction as the second orbit of the positioning unit. A pair of extended straight guides are provided, and a table is positioned and fixed on the top surface of the second sliding member parallel to the base, and the table moves forward and backward by the second sliding member. A one-dimensional directional positioning table configured to be temporarily fixed in that position after performing forward and backward motion in the same direction as the forward and backward motion.

(3) 평면상 기반 위에 설치된 본 발명의 위치 결정 유닛 A ; 위치 결정 유닛 A 의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 재치 고정된 테이블 A ; 위치 결정 유닛 A 와 교차하는 방향에서 테이블 A 위에 설치된 본 발명의 위치 결정 유닛 B ; 그리고 위치 결정 유닛 B 의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 테이블 A 와 평행하게 재치 고정된 테이블 B 를 포함하고,(3) Positioning unit A of the present invention installed on a planar base; Table A placed and fixed on the top surface of the second sliding member of the positioning unit A; Positioning unit B of the present invention installed on table A in a direction intersecting with positioning unit A; and a table B positioned and fixed in parallel with the table A on the top surface of the second sliding member of the positioning unit B,

위치 결정 유닛 A 의 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동 그리고 위치 결정 유닛 B 의 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동을 조합함으로써, 테이블 B 의 X 축 그리고 Y 축을 따른 이동을 가능하게 한 XY 축 위치 결정 테이블.An XY-axis positioning table that enables movement along the .

(4) 3 개의 본 발명의 위치 결정 유닛 A, B, C 가 평면상 기반 위에, 위치 결정 유닛 A 와 위치 결정 유닛 C 가 서로 평행이 되고, 그리고 위치 결정 유닛 B 가 위치 결정 유닛 A 와 교차하도록 조합하여 설치되어 형성된 위치 결정 유닛 세트 ; 그리고 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 걸쳐서 재치 고정된 1 장의 테이블로 구성되고,(4) Three positioning units A, B, C of the present invention are placed on a plane base, so that positioning unit A and positioning unit C are parallel to each other, and positioning unit B intersects positioning unit A. A set of positioning units installed and formed in combination; And it is composed of one table positioned and fixed across the top surface of the second sliding member of each positioning unit,

위치 결정 유닛 A, B, C 가, 각각의 위치 결정 유닛의 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 후퇴 전진 운동에 의해, 상기 테이블이, X 축과 Y 축을 따른 이동 그리고 테이블 평면을 따른 회전 운동을 실시할 수 있도록 조합되어 이루어지는 XYθ 위치 결정 테이블.The positioning units A, B, and C are positioned so that the table moves along the An XYθ positioning table that is combined to allow movement along an axis and rotational movement along the table plane.

(5) 4 개의 본 발명의 위치 결정 유닛 A, B, C, D 가 평면상 기반 위에, 위치 결정 유닛 A 와 위치 결정 유닛 C 가 서로, 그리고 위치 결정 유닛 1B 와 위치 결정 유닛 1D 가 서로 평행 그리고 위치 결정 유닛 A 와 직각으로 교차하도록 조합하여 형성된 위치 결정 유닛 세트 ; 그리고 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 걸쳐서 재치 고정된 1 장의 테이블로 구성되고,(5) Four positioning units A, B, C, and D of the present invention are placed on a plane base, with positioning unit A and positioning unit C parallel to each other, and positioning unit 1B and positioning unit 1D parallel to each other, and A set of positioning units formed by combining them to intersect at right angles with the positioning unit A; And it is composed of one table positioned and fixed across the top surface of the second sliding member of each positioning unit,

위치 결정 유닛 A, B, C, D 가, 각각의 위치 결정 유닛의 직선 운동 구동 장치의 작동에 의한 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 후퇴 전진 운동에 의해 상기 테이블이, X 축과 Y 축을 따른 이동 그리고 테이블 평면을 따른 회전 운동을 실시할 수 있도록 조합되어 이루어지는 XYθ 위치 결정 테이블.The positioning units A, B, C, and D, the table moves along the An XYθ positioning table that is combined to perform movement along the table and rotational movement along the table plane.

본 발명의 위치 결정 유닛은, 간소한 구성이고, 간단한 조작에 의해 작동하여, 높은 정밀도의 확실한 위치 결정이 가능한 위치 결정 테이블의 테이블 이동 기구로서 유리하게 사용할 수 있다. 특히, 본 발명의 위치 결정 유닛에서는, 직선 운동 구동 장치에 연락하는 슬라이딩 부재를, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재로 분할하고, 이 제 1 슬라이딩 부재를 직선 운동 구동 장치에 직접 연결시키는 한편, 이 직선 운동 구동 장치에 제 2 슬라이딩 부재에 연결시키지 않고, 제 1 슬라이딩 부재로부터 제 2 슬라이딩 부재로의 구동력 (이동 에너지) 의 전달을, 각각의 측면에 구비된 사면을 서로 접촉시킴으로써 실현시키기 때문에, 제 1 슬라이딩 부재가 자신의 이동 에너지를 제 2 슬라이딩 부재에 전달한 후에 정지하는 제 1 슬라이딩 부재에 발생하기 쉬운 불안정한 정지 (흔들림) 가, 제 2 슬라이딩 부재에 잘 전해지지 않는다는 이점이 있다. 이 때문에, 제 2 슬라이딩 부재 그리고 제 2 슬라이딩 부재에 장착되는 테이블의 정지가, 보다 확실해진다.The positioning unit of the present invention has a simple structure, operates by simple operation, and can be advantageously used as a table movement mechanism for a positioning table that enables reliable positioning with high precision. In particular, in the positioning unit of the present invention, the sliding member in contact with the linear motion driving device is divided into a first sliding member and a second sliding member, and the first sliding member is directly connected to the linear motion driving device, Since the transmission of the driving force (movement energy) from the first sliding member to the second sliding member is realized by bringing the slopes provided on each side into contact with each other, without connecting this linear motion drive device to the second sliding member, There is an advantage that unstable stopping (shaking) that tends to occur in the first sliding member, which stops after the first sliding member transfers its moving energy to the second sliding member, is less likely to be transmitted to the second sliding member. For this reason, stopping of the second sliding member and the table mounted on the second sliding member becomes more reliable.

도 1 은, 본 발명에 따른 위치 결정 유닛의 일례의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타낸 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재측으로부터 본 도면으로서 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 도 1 에 나타낸 위치 결정 유닛의 작동 (제 1 슬라이딩 부재의 전진) 에 의한 제 1 슬라이딩 부재의 이동과 제 2 슬라이딩 부재의 이동 (후퇴) 을 나타내는 설명도이다.
도 4 는, 도 1 의 상태에 있는 위치 결정 유닛의 상면도, 전면도, 그리고 좌측 측면도이다.
도 5 는, 도 1 에 나타낸 위치 결정 유닛의 작동 (제 1 슬라이딩 부재의 후퇴) 에 의한 제 1 슬라이딩 부재의 이동과 제 2 슬라이딩 부재의 이동 (전진) 을 나타내는 설명도이다.
도 6 은, 도 5 의 상태에 있는 위치 결정 유닛의 상면도, 전면도, 그리고 좌측 측면도이다.
도 7 은, 본 발명에 따른 일차원 방향 위치 결정 테이블의 일례의 구성을 나타내는 상면도와 전면도이다.
도 8 은, 본 발명에 따른 일차원 방향 위치 결정 테이블의 다른 구성예를 나타내는 상면도이다.
도 9 는, 본 발명에 따른 이차원 방향 위치 결정 테이블 (XY 스테이지) 의 일례의 구성을 나타내는 상면도와 전면도이다.
도 10 은, 본 발명에 따른 이차원 방향 위치 결정 테이블 (XYθ 스테이지) 의 일례의 구성을 나타내는 상면도, 전면도, 후면도, 좌측면도, 그리고 우측면도이다.
도 11 은, 본 발명에 따른 이차원 방향 위치 결정 테이블 (XYθ 스테이지) 의 다른 구성예를 나타내는 상면도, 전면도, 후면도, 좌측면도, 그리고 우측면도이다.1 is a perspective view showing the configuration of an example of a positioning unit according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the positioning unit shown in FIG. 1 as seen from the second sliding member side.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing the movement of the first sliding member and the movement (retreating) of the second sliding member due to the operation of the positioning unit shown in FIG. 1 (advancement of the first sliding member).
Fig. 4 is a top view, front view, and left side view of the positioning unit in the state of Fig. 1;
FIG. 5 is an explanatory diagram showing movement of the first sliding member and movement (advancement) of the second sliding member due to the operation of the positioning unit shown in FIG. 1 (retraction of the first sliding member).
Fig. 6 is a top view, front view, and left side view of the positioning unit in the state of Fig. 5;
Fig. 7 is a top view and a front view showing the configuration of an example of a one-dimensional directional positioning table according to the present invention.
Fig. 8 is a top view showing another configuration example of a one-dimensional directional positioning table according to the present invention.
Fig. 9 is a top view and a front view showing an example configuration of a two-dimensional directional positioning table (XY stage) according to the present invention.
Fig. 10 is a top view, front view, rear view, left side view, and right side view showing an example configuration of a two-dimensional directional positioning table (XYθ stage) according to the present invention.
Fig. 11 is a top view, front view, rear view, left side view, and right side view showing another configuration example of a two-dimensional directional positioning table (XYθ stage) according to the present invention.

다음으로, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명에 따른 위치 결정 유닛과 위치 결정 테이블을 상세하게 설명한다.Next, referring to the accompanying drawings, the positioning unit and positioning table according to the present invention will be described in detail.

본 발명의 위치 결정 유닛의 대표적인 구성과 그 작동을, 도 1 내지 도 6 에 나타낸다. 도 1 과 도 2 는, 본 발명의 위치 결정 유닛이 기본 위치에 있는 상태를 나타내는 사시도이고, 도 3 과 도 4, 그리고 도 5 와 도 6 은, 도 1 의 위치 결정 유닛의 2 개의 슬라이딩 부재가 이동한 상태를 나타내는 도면이다.A typical configuration and operation of the positioning unit of the present invention are shown in Figs. 1 to 6. 1 and 2 are perspective views showing the positioning unit of the present invention in its basic position, and FIGS. 3 and 4, and FIGS. 5 and 6, show two sliding members of the positioning unit of FIG. 1. This is a drawing showing the state of movement.

첨부 도면의 도 1 내지 도 6 에 있어서, 위치 결정 유닛 (1) 은, 기판 (2) ; 이 기판 (2) 위에 고정된 제 1 궤도 (3) ; 이 제 1 궤도 (3) 에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판 (2) 에 대하여 수직인 경사면 (4a) 을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 (4) ; 이 제 1 슬라이딩 부재 (4) 에 연결되어 있는, 상기 기판 (2) 에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 제 1 궤도 (3) 를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 (5) ; 상기 기판 (2) 위에서, 제 1 궤도 (3) 에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 (6) ; 그리고 이 제 2 궤도 (6) 에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판 (2) 에 대하여 수직인 경사면 (7a) 을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 (7) ; 를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재 (4) 와 제 2 슬라이딩 부재 (7) 가, 그들의 경사면 (4a, 7a) 이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치 (5) 의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 제 1 궤도 (3) 를 따른 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재 (7) 가 제 2 궤도 (6) 를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 구성되어 있다.1 to 6 of the accompanying drawings, the positioning unit 1 includes a substrate 2; A first orbit (3) fixed on this substrate (2); a first sliding member (4) slidably mounted on the first orbit (3) and having an inclined surface (4a) perpendicular to the substrate (2) on its side; A linear motion drive device (5) connected to the first sliding member (4), installed on the substrate (2), for driving forward and backward movement of the first sliding member (4) along a first trajectory (3). ; a second orbit (6) fixed to intersect the first orbit (3) on the substrate (2); and a second sliding member (7) slidably mounted on the second orbit (6) and having an inclined surface (7a) perpendicular to the substrate (2) on its side surface; It includes, and the first sliding member (4) and the second sliding member (7) are generated by the operation of the linear motion drive device (5) in a state where their inclined surfaces (4a, 7a) are in contact with each other. It is configured to be combined so that the forward and backward motion of the first sliding member (4) along the first orbit (3) causes the second sliding member (7) to perform a backward and forward motion along the second orbit (6).

본 발명의 위치 결정 유닛의 바람직한 구성의 예로는 하기의 구성을 들 수 있다.An example of a preferred configuration of the positioning unit of the present invention includes the following configuration.

(1) 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 측면의 경사면 (4a) 이, 직선 운동 구동 장치 (5) 의 측과는 반대의 측에서 제 1 궤도 (3) 의 측면에 가까워지는 각도의 경사면으로 되어 있다.(1) The inclined surface 4a on the side of the first sliding member 4 is an inclined surface at an angle approaching the side of the first track 3 on the side opposite to the side of the linear motion driving device 5. there is.

(2) 제 2 슬라이딩 부재 (7) 의 정상면에 평면 부재 (8) 가 장착되어 있다.(2) A flat member (8) is mounted on the top surface of the second sliding member (7).

(3) 직선 운동 구동 장치 (5) 가, 표면에 나선 홈이 형성된 회전 축 (9), 이 회전 축 (9) 의 일방의 단부에 연결하는 모터 (10), 그리고 상기 기판 (2) 에 고정되고, 상기 회전 축 (9) 을 회전 가능하게 수용 지지하는 회전 축 지지구 (11) 로 구성되어 있고 ; (3) A linear motion driving device (5) is fixed to a rotating shaft (9) with a spiral groove formed on the surface, a motor (10) connected to one end of the rotating shaft (9), and the substrate (2). and is composed of a rotation shaft support (11) that rotatably accommodates and supports the rotation shaft (9);

제 1 슬라이딩 부재 (4) 가, 그 내부에 상기 회전 축 (9) 의 나선 홈과 나사 결합하는 나선 홈이 형성된 내주면을 가지는 개구 (4b) 를 갖고, 상기 직선 운동 구동 장치 (5) 의 모터 (10) 의 회전에 의해, 상기 회전 축 (9) 이 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 개구 (4b) 의 내부에서 회전함으로써 제 1 슬라이딩 부재 (4) 를 전진 후퇴시키도록 되어 있다.The first sliding member (4) has an opening (4b) having an inner circumferential surface formed therein with a helical groove that screws with the helical groove of the rotation shaft (9), and the motor of the linear motion drive device (5) By the rotation of 10), the rotation axis 9 rotates inside the opening 4b of the first sliding member 4, thereby advancing and retracting the first sliding member 4.

(4) 상기 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 경사면 (4a) 과 상기 제 2 슬라이딩 부재 (7) 의 경사면 (7a) 의 각각에, 1 쌍으로서 서로 슬라이딩 가능하게 된 슬라이딩구 (12) 가 구비되고, 이들 슬라이딩구 (12) 를 개재하여 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 경사면 (4a) 과 제 2 슬라이딩 부재 (7) 의 경사면 (7a) 이 접촉하고 있다.(4) Each of the inclined surface (4a) of the first sliding member (4) and the inclined surface (7a) of the second sliding member (7) is provided with a sliding tool (12) that can slide with each other as a pair. , the inclined surface 4a of the first sliding member 4 and the inclined surface 7a of the second sliding member 7 are in contact with each other via these sliding openings 12.

다음으로, 본 발명의 위치 결정 유닛을 구성하는 기판과 각종 부재에 대하여 상세하게 설명한다.Next, the substrate and various members constituting the positioning unit of the present invention will be described in detail.

본 발명의 위치 결정 유닛에 있어서, 위치 결정 기능을 실현하는 각종 부품은, 기판 (2) 위에 직접적 혹은 간접적으로 고정 혹은 설치되어 있다. 즉, 제 1 궤도 (3) 와 제 2 궤도 (6) 는 모두, 기판 상에 서로 교차하도록 설치 고정되어 있다. 그리고, 제 1 슬라이딩 부재 (4) 와 제 2 슬라이딩 부재 (7) 는, 각각, 제 1 궤도 (3) 와 제 2 궤도 (6) 에 슬라이딩이 가능하도록 장착되어 있다.In the positioning unit of the present invention, various components that realize the positioning function are fixed or installed directly or indirectly on the substrate 2. That is, both the first track 3 and the second track 6 are installed and fixed so as to intersect each other on the substrate. And, the first sliding member 4 and the second sliding member 7 are mounted so as to be able to slide on the first track 3 and the second track 6, respectively.

제 1 슬라이딩 부재 (4) 는, 제 1 궤도 (3) 를 따른 전진 운동과 후퇴 운동 (즉, 전진 후퇴 운동) 을 실시한다. 이 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 전진 후퇴 운동은, 기판에 직선 운동 구동 장치 (5) 를 설치하여, 그 작동에 의해 실현시키는 것이 바람직하다. 직선 운동 구동 장치 (5) 는, 표면에 나선 홈이 형성된 회전 축 (9), 이 회전 축 (9) 의 일방의 단부에 연결하는 모터 (10), 그리고 상기 기판 (2) 에 고정되고, 상기 회전 축 (9) 을 회전 가능하게 수용 지지하는 회전 축 지지구 (11) 로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 제 1 슬라이딩 부재 (4) 는, 그 내부에 상기 회전 축 (9) 의 나선 홈과 나사 결합하는 나선 홈이 형성된 내주면을 가지는 개구 (4b) 를 갖고, 상기 직선 운동 구동 장치 (5) 의 모터 (10) 의 회전에 의해, 상기 회전 축 (9) 이 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 개구 (4b) 의 내부에서 회전하여 제 1 슬라이딩 부재 (4) 를 전진 후퇴시키도록 되어 있는 것이 바람직하다.The first sliding member 4 performs forward and backward motions (i.e., forward and backward motions) along the first orbit 3. The forward and backward movement of the first sliding member 4 is preferably achieved by installing a linear motion driving device 5 on the substrate and operating it. The linear motion driving device 5 is fixed to a rotating shaft 9 having a spiral groove formed on its surface, a motor 10 connected to one end of the rotating shaft 9, and the substrate 2. It is preferably comprised of a rotation shaft support 11 that rotatably accommodates and supports the rotation shaft 9. And, the first sliding member 4 has an opening 4b having an inner peripheral surface formed therein with a spiral groove that screws with the spiral groove of the rotation axis 9, and the linear motion drive device 5 Preferably, by rotation of the motor 10, the rotation axis 9 rotates inside the opening 4b of the first sliding member 4 to advance and retract the first sliding member 4. .

제 1 슬라이딩 부재 (4) 와 제 2 슬라이딩 부재 (7) 는, 그들의 경사면 (4a, 7a) 이 서로 접촉한 상태가 되도록 조합되어 있다. 그리고, 직선 운동 구동 장치 (5) 가 작동하여 발생하는 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 제 1 궤도 (3) 를 따른 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재 (7) 가 제 2 궤도 (6) 를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 있다. 즉, 제 1 슬라이딩 부재 (4) 가 전진했을 때에는 제 2 슬라이딩 부재 (7) 는 후퇴하고, 그리고 제 1 슬라이딩 부재 (4) 가 후퇴했을 때에는 제 2 슬라이딩 부재 (7) 는 전진한다.The first sliding member 4 and the second sliding member 7 are combined so that their inclined surfaces 4a and 7a are in contact with each other. And, the forward and backward movement of the first sliding member 4 along the first trajectory 3, which occurs when the linear motion driving device 5 operates, causes the second sliding member 7 to move along the second trajectory 6. It is combined to perform a backward and forward movement. That is, when the first sliding member 4 advances, the second sliding member 7 retreats, and when the first sliding member 4 retreats, the second sliding member 7 advances.

또한, 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 경사면 (4a) 과 상기 제 2 슬라이딩 부재 (7) 의 경사면 (7a) 의 각각에는, 1 쌍으로서 서로 슬라이딩 가능하게 된 슬라이딩구 (12) 가 구비되고, 이들 슬라이딩구 (12) 를 개재하여 제 1 슬라이딩 부재 (4) 의 경사면 (4a) 과 제 2 슬라이딩 부재 (7) 의 경사면 (7a) 을 접촉시키도록 하는 것이 바람직하다.In addition, each of the inclined surface 4a of the first sliding member 4 and the inclined surface 7a of the second sliding member 7 is provided with sliding spheres 12 that can slide against each other as a pair, and these It is preferable to bring the inclined surface 4a of the first sliding member 4 and the inclined surface 7a of the second sliding member 7 into contact via the sliding tool 12.

다음으로, 본 발명의 위치 결정 테이블의 대표적인 구성과 그 작동을, 도 7 내지 도 11 을 참조하여 설명한다. 본 발명의 위치 결정 테이블은, 종래부터 알려져 있고, 사용되고 있는 각종 위치 결정 테이블에 있어서, 테이블 (스테이지) 에 장착되어 있는 위치 결정 유닛을, 본 발명의 위치 결정 유닛으로 바꿔놓은 구성을 가지는 것이다. 필요에 따라, 종래부터 알려져 있고, 사용되고 있는 각종 위치 결정 테이블에 장착되어 있는 위치 결정 유닛의 일부만을 치환한 구성으로 할 수도 있다.Next, a representative configuration and operation of the positioning table of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 11. The positioning table of the present invention has a configuration in which the positioning unit mounted on the table (stage) of various positioning tables known and used conventionally is replaced with the positioning unit of the present invention. If necessary, a structure may be used in which only part of the positioning unit mounted on various conventionally known and used positioning tables can be replaced.

도 7 은, 본 발명에 따른 일차원 방향 위치 결정 테이블의 일례의 구성을 나타내는 상면도 (A) 와 전면도 (B) 이다.Fig. 7 is a top view (A) and a front view (B) showing the configuration of an example of a one-dimensional directional positioning table according to the present invention.

도 7 의 일차원 방향 위치 결정 테이블은, 본 발명의 위치 결정 유닛 (1) 의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에, 평면 부재 (8) 를 개재하여 테이블 (스테이지) (13) 이 재치된 구성을 가진다. 또한, 평면 부재 (8) 는, 테이블 (스테이지) (13) 의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에서의 고정의 안정성을 높이기 위해서 사용되지만, 이 평면 부재 (8) 는, 반드시 필요한 부재라고는 할 수 없다.The one-dimensional directional positioning table in FIG. 7 has a configuration in which a table (stage) 13 is mounted on the top surface of the second sliding member of the positioning unit 1 of the present invention via a planar member 8. In addition, the flat member 8 is used to increase the stability of fixation on the top surface of the second sliding member of the table (stage) 13, but this flat member 8 cannot be said to be an absolutely necessary member. .

도 8 은, 본 발명에 따른 일차원 방향 위치 결정 테이블의 다른 구성예를 나타내는 상면도이다.Fig. 8 is a top view showing another configuration example of a one-dimensional directional positioning table according to the present invention.

도 8 의 일차원 방향 위치 결정 테이블은, 본 발명의 위치 결정 유닛 (1) 의 기판 (2) 이, 별도로 준비된 기반 (14) 위에, 위치 결정 유닛 (1) 의 제 2 궤도 (6) 를 따른 방향이 확대된 형태로 배치 고정되고, 그리고 기반 (14) 위에는 위치 결정 유닛 (1) 의 제 2 궤도 (6) 와 동일한 방향으로 연장된 1 쌍의 직선 가이드 (15, 16) 가 설치되고, 또한 제 2 슬라이딩 부재 (7) 의 정상면에는 테이블 (13) 이 평면 부재 (8) 를 개재하여 기반 (14) 과 평행하게 재치 고정되어 있어, 제 2 슬라이딩 부재 (7) 의 전진 후퇴 운동에 의해 테이블 (13) 이, 제 2 슬라이딩 부재 (7) 의 전진 후퇴 운동 (도면 중에서 양방향 화살표에 의해 표시) 과 동일 방향으로 전진 후퇴 운동을 실시한 후, 그 위치에서 가고정되도록 구성되어 있다.The one-dimensional directional positioning table in FIG. 8 shows that the substrate 2 of the positioning unit 1 of the present invention is positioned on a separately prepared base 14 in a direction along the second orbit 6 of the positioning unit 1. It is arranged and fixed in this enlarged form, and a pair of straight guides 15, 16 extending in the same direction as the second orbit 6 of the positioning unit 1 are installed on the base 14, and also the first 2 A table 13 is positioned and fixed on the top surface of the sliding member 7 in parallel with the base 14 via a planar member 8, and the table 13 is moved forward and backward by the second sliding member 7. ) is configured to perform a forward and backward motion in the same direction as the forward and backward motion of the second sliding member 7 (indicated by a double-headed arrow in the drawing) and then temporarily fix at that position.

또한, 도 8 의 일차원 방향 위치 결정 테이블에 있어서, 기반 (14) 을 별도로 준비하지 않고, 위치 결정 유닛 (1) 의 기판 (2) 을, 제 2 궤도 (6) 를 따른 방향으로 확대한 형태로 함으로써, 기반 (14) 을 대신할 수도 있다.In addition, in the one-dimensional directional positioning table in FIG. 8, the base 14 is not separately prepared, and the substrate 2 of the positioning unit 1 is enlarged in the direction along the second orbit 6. By doing so, it can replace base (14).

도 9 는, 본 발명에 따른 이차원 방향 (2 축) 위치 결정 테이블 (XY 스테이지) 의 구성예를 나타내는 상면도 (A) 와 전면도 (B) 이다.Fig. 9 is a top view (A) and front view (B) showing a configuration example of a two-dimensional direction (two axes) positioning table (XY stage) according to the present invention.

도 9 의 이차원 방향 위치 결정 테이블은, 평면상 기반 위에 설치된 본 발명의 위치 결정 유닛 (1A) ; 위치 결정 유닛 (1A) 의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 재치 고정된 테이블 (A) ; 위치 결정 유닛 (1A) 과 교차하는 방향에서 테이블 (A) 위에 설치된 본 발명의 위치 결정 유닛 (1B) ; 그리고 위치 결정 유닛 (1B) 의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 테이블 (A) 과 평행하게 재치 고정된 테이블 (B) 을 포함하고,The two-dimensional directional positioning table in Fig. 9 includes the positioning unit 1A of the present invention installed on a planar base; A table (A) mounted and fixed on the top surface of the second sliding member of the positioning unit (1A); A positioning unit (1B) of the present invention installed on the table (A) in a direction crossing the positioning unit (1A); and a table (B) positioned and fixed in parallel with the table (A) on the top surface of the second sliding member of the positioning unit (1B),

위치 결정 유닛 (1A) 의 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동 그리고 위치 결정 유닛 (1B) (13) 의 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동을 조합함으로써, 테이블 (B) 의 X 축 그리고 Y 축을 따른 이동을 가능하게 한 XY 축 위치 결정 테이블이다.Movement of the table B along the It is an XY axis positioning table that makes this possible.

또한, 도 9 의 XY 축 위치 결정 테이블에 있어서, 기반 (14) 을 별도로 준비하지 않고, 위치 결정 유닛 (1) 의 기판 (2) 을, 제 2 궤도 (6) 를 따른 방향으로 확대한 형태로 함으로써, 기반 (14) 을 대신할 수도 있다.In addition, in the By doing so, it can replace base (14).

도 10 은, 본 발명에 따른 XYθ 위치 결정 테이블 (XYθ 스테이지) 의 구성예를 나타내는 상면도와 4 방향으로부터의 각 측면도이다.Fig. 10 is a top view and side views from four directions showing a configuration example of an XYθ positioning table (XYθ stage) according to the present invention.

도 10 의 위치 결정 테이블은, 3 개의 본 발명의 위치 결정 유닛 (1A, 1B, 1C) 이 평면상 기반 (14) 위에, 위치 결정 유닛 (1A) 과 위치 결정 유닛 (1C) 이 서로 평행이 되도록, 그리고 위치 결정 유닛 (1B) 이 위치 결정 유닛 (1A) 과 직각으로 교차하도록 조합하여 설치되어 형성된 위치 결정 유닛 세트 ; 그리고 각 위치 결정 유닛 (1A, 1B, 1C) 의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 걸쳐서 재치 고정된 1 장의 테이블 (13) 로 구성되어 있어,The positioning table in FIG. 10 is such that the three positioning units 1A, 1B, and 1C of the present invention are placed on the base 14 in a plane, so that the positioning units 1A and 1C are parallel to each other. , and a positioning unit set formed by installing the positioning unit 1B in combination to cross the positioning unit 1A at right angles; And it is composed of one table 13 positioned and fixed across the top surface of the second sliding member of each positioning unit 1A, 1B, 1C,

위치 결정 유닛 (1A, 1B, 1C) 이, 각각의 위치 결정 유닛의 직선 운동 구동 장치의 작동에 의한 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 후퇴 전진 운동에 의해 상기 테이블이, X 축과 Y 축을 따른 이동 및 테이블 평면을 따른 회전 운동을 실시하도록 조합되어 구성된 XYθ 위치 결정 테이블이다.The positioning units (1A, 1B, 1C) have an It is an XYθ positioning table configured in combination to perform movement along the table and rotational movement along the table plane.

도 11 은, 본 발명에 따른 XYθ 위치 결정 테이블 (XYθ 스테이지) 의 다른 구성예를 나타내는 상면도와 4 방향으로부터의 각 측면도이다.Fig. 11 is a top view and side views from four directions showing another example of the configuration of the XYθ positioning table (XYθ stage) according to the present invention.

도 11 의 위치 결정 테이블은, 4 개의 본 발명의 위치 결정 유닛 (1A, 1B, 1C, 1D) 이 평면상 기반 (14) 위에, 위치 결정 유닛 (1A) 과 위치 결정 유닛 (1C) 이 서로 평행이 되도록, 그리고 위치 결정 유닛 (1B) 과 위치 결정 유닛 (1D) 이 서로 평행 그리고 위치 결정 유닛 (1A) 과 직각으로 교차하도록 조합하여 형성된 위치 결정 유닛 세트 ; 그리고 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 걸쳐서 재치 고정된 1 장의 테이블 (13) 로 구성되고,The positioning table in FIG. 11 shows four positioning units 1A, 1B, 1C, and 1D of the present invention on a base 14 in a plane, with the positioning units 1A and 1C being parallel to each other. a set of positioning units formed by combining the positioning unit 1B and the positioning unit 1D so that they are parallel to each other and intersect at right angles to the positioning unit 1A; And it is composed of one table 13 positioned and fixed across the top surface of the second sliding member of each positioning unit,

위치 결정 유닛 (1A, 1B, 1C, 1D) 이, 각각의 위치 결정 유닛의 직선 운동 구동 장치의 작동에 의한 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 후퇴 전진 운동에 의해 상기 테이블이, X 축과 Y 축을 따른 이동 그리고 테이블 평면을 따른 회전 운동을 실시할 수 있도록 조합되어 이루어지는 XYθ 위치 결정 테이블이다.The positioning units (1A, 1B, 1C, 1D) are positioned so that the table is moved along the It is an XYθ positioning table that is combined to allow movement along the Y axis and rotational movement along the table plane.

1 ; 위치 결정 유닛
1A ; 위치 결정 유닛
1B ; 위치 결정 유닛
1C ; 위치 결정 유닛
1D ; 위치 결정 유닛
2 ; 기판
3 ; 제 1 궤도
4 ; 제 1 슬라이딩 부재
4a ; 경사면
4b ; 개구
5 ; 직선 운동 구동 장치
6 ; 제 2 궤도
7 ; 제 2 슬라이딩 부재
7a ; 경사면
8 ; 평면 부재
9 ; 회전 축
10 ; 모터
11 ; 회전 축 지지구
12 ; 슬라이딩구
13 ; 테이블 (스테이지)
14 ; 기반One ; positioning unit
1A ; positioning unit
1B ; positioning unit
1C ; positioning unit
1D ; positioning unit
2 ; Board
3 ; 1st orbit
4 ; first sliding member
4a ; incline
4b ; opening
5 ; linear motion drive device
6 ; second orbit
7 ; second sliding member
7a ; incline
8 ; flat member
9 ; axis of rotation
10 ; motor
11 ; rotation axis support
12 ; sliding sphere
13 ; table (stage)
14 ; base

Claims (10)

기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 ; 를 포함하고,
제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합된 위치 결정 유닛을 준비하고,
그 위치 결정 유닛의 기판을, 따로 준비한 기반 위에, 위치 결정 유닛의 제 2 궤도를 따른 방향으로 확대한 형태로 배치 고정시키고, 그 기반 위에 위치 결정 유닛의 제 2 궤도와 동일한 방향으로 연장된 1 쌍의 직선 가이드를 설치하고, 그리고 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 테이블을 상기 기반과 평행하게 재치 고정시켜, 제 2 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 상기 테이블이, 제 2 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동과 동일 방향으로 전진 후퇴 운동을 실시한 후, 그 위치에서 정지하도록 구성하여 이루어지는 1 차원 방향 위치 결정 테이블.Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate; Including,
The second sliding member follows a second trajectory by the forward and backward motion of the first sliding member, which is caused by the operation of the linear motion drive device in a state where the first sliding member and the second sliding member have their inclined surfaces in contact with each other. Prepare a combined positioning unit to perform a retracting forward movement according to the
The substrate of the positioning unit is arranged and fixed in an enlarged form in the direction along the second orbit of the positioning unit on a separately prepared base, and a pair of devices extend on the base in the same direction as the second orbit of the positioning unit. A straight guide is installed on the top surface of the second sliding member, and the table is fixed in parallel with the base, so that the forward and backward movement of the second sliding member causes the table to move forward and backward, and is equal to the forward and backward movement of the second sliding member. A one-dimensional directional positioning table configured to move forward and backward in one direction and then stop at that position. 기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비하고, 정상면에 테이블 A 가 재치 고정된 제 2 슬라이딩 부재를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 A 를 따로 준비한 평면상 기반 위에 설치하고,
그리고, 상기 평면상 기반 위에, 위치 결정 유닛 A 와 교차하는 방향에는, 기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비하고, 정상면에 테이블 B 가 재치 고정된 제 2 슬라이딩 부재를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 B 를 설치하고, 위치 결정 유닛 A 의 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동 그리고 위치 결정 유닛 B 의 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동을 조합함으로써, 테이블 B 의 X 축 그리고 Y 축을 따른 이동을 가능하게 한, XY 축 위치 결정 테이블.Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit, having an inclined surface perpendicular to the substrate on a side surface, and having a table A mounted and fixed on the top surface, the first sliding member and the second sliding member. The members are combined so that the second sliding member performs a retracting-forward movement along the second trajectory by the forward-retracting movement of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. The positioning unit A, which is formed, is installed on a separately prepared planar base,
And on the above-mentioned planar base, in the direction intersecting the positioning unit A, there is a substrate; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit, having an inclined surface perpendicular to the substrate on a side surface, and having a table B fixed to the top surface, the first sliding member and the second sliding member. The members are combined so that the second sliding member performs a retracting-forward movement along the second trajectory by the forward-retracting movement of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. By installing the positioning unit B, and combining the forward and backward motion of the first sliding member of the positioning unit A and the forward and backward motion of the first sliding member of the positioning unit B, the XY axis positioning table that enables movement. 기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 A,
기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 ; 를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 B, 그리고
기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 ; 를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 C 를 준비하고, 위치 결정 유닛 A 의 제 1 궤도와 위치 결정 유닛 C 의 제 1 궤도가 서로 평행이 되도록, 그리고 위치 결정 유닛 B 의 제 1 궤도가 위치 결정 유닛 A 의 제 1 궤도와 교차하도록 조합하여 설치되어 형성된 위치 결정 유닛 세트를 따로 준비한 평면상 기반 위에 설치하고, 그리고 각각의 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 걸쳐서 1 장의 테이블을 재치 고정시킨 위치 결정 유닛 A, B, C 가, 각각의 위치 결정 유닛의 직선 운동 구동 장치의 작동에 의한 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 후퇴 전진 운동에 의해 상기 테이블이, X 축과 Y 축을 따른 이동 및/또는 테이블 평면을 따른 회전 운동을 실시할 수 있도록 조합되어 이루어지는, XYθ 위치 결정 테이블.Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second track and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate, wherein the first sliding member and the second sliding member have their inclined surfaces in contact with each other. A positioning unit A, which is combined so that the second sliding member performs a retracting and forward movement along a second trajectory by the forward and backward motion of the first sliding member generated by the operation of the linear motion drive device in the state,
Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate; and wherein the first sliding member and the second sliding member are caused by the forward and backward movement of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. a positioning unit B combined to effect a retracting and forward motion along a second orbit; and
Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate; and wherein the first sliding member and the second sliding member are caused by the forward and backward movement of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. Positioning unit C is prepared in combination to perform a backward and forward motion along a second orbit, so that the first orbit of positioning unit A and the first orbit of positioning unit C are parallel to each other, and positioning unit B A set of positioning units formed by being installed in combination so that the first orbit of the positioning unit A intersects the first orbit of the positioning unit A, is installed on a separately prepared planar base, and spans the top surface of the second sliding member of each positioning unit. The positioning units A, B, and C, which mount and secure a single table, move the second sliding member of each positioning unit backward and forward due to the operation of the linear motion drive device of each positioning unit, causing the table to move, An XYθ positioning table in combination to perform movement along the X and Y axes and/or rotational movement along the table plane. 기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 ; 를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 A,
기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 ; 를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 B,
기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 ; 를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 C, 그리고
기판 ; 이 기판 위에 고정된 제 1 궤도 ; 이 제 1 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 1 슬라이딩 부재 ; 이 제 1 슬라이딩 부재에 연결되어 있는, 상기 기판에 설치된, 제 1 슬라이딩 부재의 제 1 궤도를 따른 전진 후퇴 운동을 구동하는 직선 운동 구동 장치 ; 상기 기판 위에서, 제 1 궤도에 교차하도록 고정된 제 2 궤도 ; 그리고 이 제 2 궤도에 슬라이딩 가능하게 장착되어 있는, 상기 기판에 대하여 수직인 경사면을 측면에 구비한 제 2 슬라이딩 부재 ; 를 포함하고, 제 1 슬라이딩 부재와 제 2 슬라이딩 부재가, 그들의 경사면이 서로 접촉한 상태에서의 상기 직선 운동 구동 장치의 작동에 의해 발생하는 제 1 슬라이딩 부재의 전진 후퇴 운동에 의해 제 2 슬라이딩 부재가 제 2 궤도를 따른 후퇴 전진 운동을 실시하도록 조합되어 이루어지는 위치 결정 유닛 D 의 각각을, 위치 결정 유닛 A 의 제 1 궤도와 위치 결정 유닛 C 의 제 1 궤도가 서로 평행이 되도록, 그리고 위치 결정 유닛 B 의 제 1 궤도가 위치 결정 유닛 A 의 제 1 궤도와 교차하도록 조합하여 설치되어 형성된 위치 결정 유닛 세트를, 따로 준비한 평면상 기반 위에 설치하고, 그리고 각각의 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 정상면에 걸쳐서 1 장의 테이블을 재치 고정시키고,
위치 결정 유닛 A, B, C, D 가, 각각의 위치 결정 유닛의 직선 운동 구동 장치의 작동에 의한 각 위치 결정 유닛의 제 2 슬라이딩 부재의 후퇴 전진 운동에 의해 상기 테이블이, X 축과 Y 축을 따른 이동 및/또는 테이블 평면을 따른 회전 운동을 실시할 수 있도록 조합되어 이루어지는, XYθ 위치 결정 테이블.Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate; and wherein the first sliding member and the second sliding member are caused by the forward and backward movement of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. a positioning unit A combined to effect a retraction-forward movement along a second orbit;
Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate; and wherein the first sliding member and the second sliding member are caused by the forward and backward movement of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. a positioning unit B combined to effect a retracting and forward movement along a second orbit;
Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate; and wherein the first sliding member and the second sliding member are caused by the forward and backward movement of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. a positioning unit C combined to effect a retraction-forward movement along a second orbit; and
Board ; a first orbit fixed on this substrate; a first sliding member slidably mounted on the first orbit and having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive device connected to the first sliding member, provided on the substrate, for driving forward and backward motion of the first sliding member along a first trajectory; a second orbit fixed to intersect the first orbit on the substrate; and a second sliding member slidably mounted on the second orbit and having an inclined surface on a side surface perpendicular to the substrate; and wherein the first sliding member and the second sliding member are caused by the forward and backward movement of the first sliding member caused by the operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. Each of the positioning units D is combined to perform a backward and forward motion along the second trajectory, so that the first trajectory of positioning unit A and the first trajectory of positioning unit C are parallel to each other, and positioning unit B A set of positioning units formed by being installed in combination so that the first orbit of the positioning unit A intersects the first orbit of the positioning unit A, are installed on a separately prepared planar base, and are placed on the top surface of the second sliding member of each positioning unit. Stretch and secure one table,
The positioning units A, B, C, and D, the table moves along the An XYθ positioning table configured to perform movement along and/or rotational movement along the table plane. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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