JP7180895B2 - positioning table - Google Patents

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Description

本発明は、アライメントステージとも呼ばれる位置決めテーブル、そして特に位置決めテーブルのテーブル移動機構として有利に用いることのできる位置決めユニットに関する。 The present invention relates to a positioning table, also called an alignment stage, and particularly to a positioning unit that can be advantageously used as a table moving mechanism for the positioning table.

従来より、各種の材料の加工を行う際にその材料を平面板（テーブルあるいはステージと呼ばれる）の上に載置した状態で平面方向に移動させ、所定の位置で停止させたのち、その平面板の上での材料の加工を行うための装置として、アライメントステージとも呼ばれる位置決めテーブルが一般的に用いられている。 Conventionally, when processing various materials, the material is placed on a plane plate (called a table or stage), moved in the plane direction, stopped at a predetermined position, and then moved to the plane plate. A positioning table, also called an alignment stage, is generally used as a device for processing a material on a plate.

位置決めテーブルの代表的なものタイプには、材料を載置したテーブルの、一次元方向への移動とその後の加工に利用する一次元方向移動テーブル、二次元方向（平面方向）での移動とその後の加工に利用する、ＸＹステージあるいはＸＹθステージと呼ばれる二次元方向移動テーブル、そして三次元方向（平面方向＋高さ方向）での移動とその後の加工に利用する、一般にＸＹＺステージと呼ばれる三次元方向移動テーブルが含まれる。 Typical types of positioning tables include a one-dimensional movement table used for one-dimensional movement of a table on which a material is placed and subsequent processing, and a two-dimensional (planar) movement and subsequent processing table. A two-dimensional movement table called an XY stage or an XYθ stage used for machining, and a three-dimensional movement table generally called an XYZ stage used for movement in three dimensions (planar direction + height direction) and subsequent machining. Includes moving table.

位置決めテーブルは通常、テーブルあるいはステージと呼ばれる平面板、そしてその平面板に装着されている、平面板を所定の位置に移動させ、その位置で停止仮固定させる機能を持つ一個あるいは複数個の位置決めユニットから構成されている。位置決めユニットは、通常、平面板に装着される一個または複数個の直線滑り移動部材とそれぞれの直線滑り移動部材の一次元方向の移動を駆動する駆動部材とから構成され、その駆動部材は、別に用意された基盤の上に固定されている。そして、載置した材料の一次元方向への移動と所定位置での仮固定を行う一次元移動テーブルでは、基盤に固定された一個の位置決めユニットもしくは一個の位置決めユニットとスライド部材の組み合わせを用いるのが一般的である。 A positioning table usually consists of a flat plate called a table or stage, and one or more positioning units attached to the flat plate that move the flat plate to a predetermined position and temporarily stop and fix it at that position. consists of The positioning unit usually consists of one or more linear sliding members mounted on a plane plate and a driving member for driving the one-dimensional movement of each linear sliding member, the driving member being separately It is fixed on the prepared base. In a one-dimensional movement table that moves a placed material in one-dimensional direction and temporarily fixes it at a predetermined position, one positioning unit fixed to the base or a combination of one positioning unit and a slide member is used. is common.

一方、加工材料の二次元方向（平面方向）での移動と所定位置での停止と仮固定とを行う位置決めテーブルでは、通常、基盤に固定された複数個(二乃至四個が一般的）の位置決めユニットを用いて、テーブルを所望の位置に移動させ、仮固定するようにされている。 On the other hand, a positioning table that moves a workpiece in a two-dimensional direction (planar direction), stops it at a predetermined position, and temporarily fixes it, usually has a plurality of (generally two to four) fixed to a base. A positioning unit is used to move the table to a desired position and temporarily fix it.

また、加工材料の三次元方向の移動と所定位置での仮固定とを行う一般にＸＹＺステージと呼ばれる位置決めテーブルでは、一般に、基盤に固定された複数個(二乃至四個が一般的）の位置決めユニットを用いて平面方向の移動ができるように構成し、更に平面板を縦方向(高さ方向）に移動させて、固定する位置決めユニットを組み合わせて、加工材料を所定の位置へ移動させた後、その位置で仮固定させるようにされている。 In addition, in a positioning table generally called an XYZ stage, which moves a material to be processed in three dimensions and temporarily fixes it at a predetermined position, there are generally a plurality of (generally two to four) positioning units fixed to a base. is used to move in the plane direction, and the plane plate is moved in the vertical direction (height direction), combined with a fixed positioning unit, and after moving the processing material to a predetermined position, It is temporarily fixed at that position.

そしてまた、加工材料を載置した平面板を縦方向(高さ方向）にのみ移動させて、仮固定するＺ軸位置決めユニットやテーブルも知られている。 Also known is a Z-axis positioning unit or table that temporarily fixes a flat plate on which a material to be processed is placed by moving it only in the vertical direction (height direction).

これまでに説明した位置決め対象の材料の二次元方向の移動と仮固定とを行う位置決めテーブルとしては、さまざまな構成のものが知られている。その例としては、以下に記載する特許文献に開示の構成を挙げることができる。 Various structures are known for the positioning table that performs the two-dimensional movement and temporary fixing of the material to be positioned as described above. Examples thereof include configurations disclosed in the following patent documents.

二次元位置決めテーブル（ＸＹステージ）：特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４
ＸＺテーブル：特許文献５
三次元位置決めテーブル：特許文献６、特許文献７ Two-dimensional positioning table (XY stage): Patent Document 1, Patent Document 2, Patent Document 3, Patent Document 4
XZ table: Patent document 5
Three-dimensional positioning table: Patent Document 6, Patent Document 7

特開平８－２５２７３３号公報JP-A-8-252733 特開平１０－５１９号公報JP-A-10-519 特開２００８－３４６４５号公報JP 2008-34645 A 特開２０１０－２７４４２９号公報JP 2010-274429 A 公開実用６０－１０９８３３号公報Japanese Patent Publication No. 60-109833 特許第５４９０６５０号公報Japanese Patent No. 5490650 特許第５７６７４７３号公報Japanese Patent No. 5767473

どのようなタイプの位置決めテーブルであっても、簡素な構成と簡単な操作で、高い精度での位置決めが確実に実現できることが重要となる。しかしながら、これまでに知られている位置決めテーブルの多くは、そのような点で充分満足できるものとは云えない。 Regardless of the type of positioning table, it is important to be able to reliably achieve high-precision positioning with a simple configuration and simple operation. However, many of the positioning tables known hitherto cannot be said to be fully satisfactory in such respects.

従って、本発明の目的は、簡素な構成からなり、簡単な操作により作動して、高い精度の位置決めを可能にする位置決めテーブル、そしてそのような位置決めテーブルのテーブル移動機構として有利に用いることのできる位置決めユニットを提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a positioning table that has a simple structure and can be operated by a simple operation to enable high-accuracy positioning, and that it can be advantageously used as a table moving mechanism for such a positioning table. To provide a positioning unit.

本発明は、以下に記載する位置決めユニット、そして位置決めテーブルにある。 The present invention resides in the positioning unit and positioning table described below.

［位置決めユニット］
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、
第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニット。 [Positioning unit]
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member;
A first slide member and a second slide member follow a first trajectory of the first slide member generated by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. A positioning unit in combination such that forward and backward movement causes the second sliding member to perform backward and forward movement along the second track.

［位置決めテーブル］
（１）本発明の位置決めユニットを用い、その第二の摺動部材の頂面にテーブルが載置されてなる一次元方向位置決めテーブル。 [Positioning table]
(1) A one-dimensional positioning table in which the positioning unit of the present invention is used and the table is mounted on the top surface of the second sliding member.

（２）本発明の位置決めユニットの基板を別に用意した基盤の上に、位置決めユニットの第二の軌道に沿った方向が拡げられた形で配置固定させ、この基盤の上には位置決めユニットの第二の軌道と同一の方向に延びた一対の直線ガイドが設置され、また第二の摺動部材の頂面にはテーブルが前記基盤と平行に載置固定されていて、第二の摺動部材の前進後退運動により上記テーブルが、第二の摺動部材の前進後退運動と同一方向に前進後退運動を行った後、その位置にて仮固定されるように構成されてなる一次元位置方向決めテーブル。 (2) The substrate of the positioning unit of the present invention is arranged and fixed on a separately prepared substrate in such a manner that the direction along the second track of the positioning unit is widened, and the first positioning unit of the positioning unit is placed on this substrate. A pair of linear guides extending in the same direction as the two tracks are installed, and a table is placed and fixed on the top surface of the second sliding member in parallel with the base. The table moves forward and backward in the same direction as the forward and backward movement of the second sliding member, and then temporarily fixed at that position. table.

（３）平面状基盤の上に設置された本発明の位置決めユニットＡ；位置決めユニットＡの第二の摺動部材の頂面に載置固定されたテーブルＡ；位置決めユニットＡと交差する方向でテーブルＡの上に設置された本発明の位置決めユニットＢ；そして位置決めユニットＢの第二の摺動部材の頂面にテーブルＡと平行に載置固定されたテーブルＢを含み、
位置決めユニットＡの第一の摺動部材の前進後退運動そして位置決めユニットＢの第一の摺動部材の前進後退運動を組み合わせることにより、テーブルＢのＸ軸そしてＹ軸に沿う移動を可能にしたＸＹ軸位置決めテーブル。 (3) Positioning unit A of the present invention installed on a planar base; table A placed and fixed on the top surface of the second sliding member of positioning unit A; a positioning unit B of the present invention installed on A; and a table B mounted and fixed parallel to table A on the top surface of the second sliding member of positioning unit B,
XY allowing movement of table B along the X and Y axes by combining the forward and backward movement of the first sliding member of positioning unit A and the forward and backward movement of the first sliding member of positioning unit B Axis positioning table.

（４）三個の本発明の位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃが平面状基盤の上に、位置決めユニットＡと位置決めユニットＣとが互いに平行となり、そして位置決めユニットＢが位置決めユニットＡと交差するように組み合わせ設置されて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブルから構成され、
位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動により発生する各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により、上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動そしてテーブル平面に沿う回転運動を行うことができるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブル。 (4) Three positioning units A, B, and C of the present invention are placed on a planar substrate, positioning unit A and positioning unit C are parallel to each other, and positioning unit B intersects positioning unit A. A positioning unit set formed by combining and installing; and a table mounted and fixed across the top surface of the second sliding member of each positioning unit,
The positioning units A, B, and C move the table along the X-axis and the Y-axis due to the backward and forward movement of the second sliding member of each positioning unit generated by the operation of the linear motion drive of each positioning unit. An XYθ positioning table combined so as to be able to move and rotate along the table plane.

（５）四個の本発明の位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが平面状基盤の上に、位置決めユニットＡと位置決めユニットＣとが互いに、そして位置決めユニット１Ｂと位置決めユニット１Ｄとが互いに平行かつ位置決めユニットＡと直角に交差するように組み合わせて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブルから構成され、
位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動そしてテーブル平面に沿う回転運動を行うことができるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブル。 (5) Four positioning units A, B, C, and D of the present invention are arranged on a planar base, positioning unit A and positioning unit C are parallel to each other, and positioning unit 1B and positioning unit 1D are parallel to each other and A positioning unit set formed by combining with positioning unit A so as to intersect at right angles;
The positioning units A, B, C, and D move the table along the X-axis and the Y-axis by the backward and forward movement of the second sliding member of each positioning unit by the operation of the linear motion drive device of each positioning unit. and an XYθ positioning table combined so as to be able to rotate along the table plane.

本発明の位置決めユニットは、簡素な構成であって、簡単な操作により作動して、高い精度の確実な位置決めが可能な位置決めテーブルのテーブル移動機構として有利に用いることのできる。特に、本発明の位置決めユニットでは、直線運動駆動装置に連絡する摺動部材を、第一の摺動部材と第二の摺動部材に分割し、この第一の摺動部材を直線運動駆動装置に直接連結させる一方、この直線運動駆動装置に第二の摺動部材に連結させることなく、第一の摺動部材から第二の摺動部材への駆動力（移動エネルギー）の伝達を、それぞれの側面に備えられた斜面を互いに接触させることにより実現させるため、第一の摺動部材が自己の移動エネルギーを第二の摺動部材に伝達した後に静止する第一の摺動部材に発生し易い不安定な静止（揺れ）が、第二の摺動部材に伝わりにくいという利点がある。このため、第二の摺動部材そして第二の摺動部材に装着されるテーブルの静止が、より確実となる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The positioning unit of the present invention has a simple structure, can be operated by a simple operation, and can be advantageously used as a table moving mechanism for a positioning table capable of reliable positioning with high accuracy. Particularly, in the positioning unit of the present invention, the slide member communicating with the linear motion drive is divided into a first slide member and a second slide member, and the first slide member is connected to the linear motion drive. While being directly connected to the linear motion drive device, the transmission of the driving force (moving energy) from the first sliding member to the second sliding member without being connected to the second sliding member, respectively Since the slopes provided on the side surfaces of the first sliding member are brought into contact with each other, the first sliding member stops after transmitting its own moving energy to the second sliding member. There is an advantage that unstable stillness (swaying) that is likely to occur is less likely to be transmitted to the second sliding member. Therefore, the stationary state of the second sliding member and the table attached to the second sliding member becomes more reliable.

本発明に従う位置決めユニットの一例の構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing the configuration of an example of a positioning unit according to the present invention; FIG. 図１に示した位置決めユニットの第二の摺動部材の側から見た図として示す斜視図である。2 is a perspective view of the positioning unit shown in FIG. 1 as viewed from the side of a second sliding member; FIG. 図１に示した位置決めユニットの作動（第一の摺動部材の前進）による第一の摺動部材の移動と第二の摺動部材の移動(後退）を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing movement of the first sliding member and movement (backward movement) of the second sliding member due to operation (advancement of the first sliding member) of the positioning unit shown in FIG. 1; 図１の状態にある位置決めユニットの上面図、前面図、そして左側側面図である。2 is a top view, a front view, and a left side view of the positioning unit in the state of FIG. 1; FIG. 図１に示した位置決めユニットの作動（第一の摺動部材の後退）による第一の摺動部材の移動と第二の摺動部材の移動(前進）を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing movement of the first sliding member and movement (advancing) of the second sliding member due to actuation (backward movement of the first sliding member) of the positioning unit shown in FIG. 1; 図５の状態にある位置決めユニットの上面図、前面図、そして左側側面図である。6 is a top view, a front view, and a left side view of the positioning unit in the state of FIG. 5; FIG. 本発明に従う一次元方向位置決めテーブルの一例の構成を示す上面図と前面図である。1A and 1B are a top view and a front view showing the configuration of an example of a one-dimensional positioning table according to the present invention; FIG. 本発明に従う一次元方向位置決めテーブルの別の構成例を示す上面図である。FIG. 5 is a top view showing another configuration example of the one-dimensional positioning table according to the present invention; 本発明に従う二次元方向位置決めテーブル（ＸＹステージ）の一例の構成を示す上面図と前面図である。1A and 1B are a top view and a front view showing the configuration of an example of a two-dimensional positioning table (XY stage) according to the present invention; FIG. 本発明に従う二次元方向位置決めテーブル（ＸＹθステージ）の一例の構成を示す上面図、前面図、後面図、左側面図、そして右側面図である。1A, 1B, and 1C are a top view, a front view, a rear view, a left side view, and a right side view showing the configuration of an example of a two-dimensional positioning table (XYθ stage) according to the present invention; FIG. 本発明に従う二次元方向位置決めテーブル（ＸＹθステージ）の別の構成例を示す上面図、前面図、後面図、左側面図、そして右側面図である。FIG. 10 is a top view, front view, rear view, left side view, and right side view showing another configuration example of the two-dimensional positioning table (XYθ stage) according to the present invention;

次に、添付図面を参照しながら、本発明に従う位置決めユニットと位置決めテーブルを詳しく説明する。 The positioning unit and positioning table according to the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

本発明の位置決めユニットの代表的な構成とその作動を、図１乃至図６に示す。図１と図２は、本発明の位置決めユニットが基本位置にある状態を示す斜視図であり、図３と図４、そして図５と図６は、図１の位置決めユニットの二つの摺動部材が移動した状態を示す図である。 A representative configuration and operation of the positioning unit of the present invention are shown in FIGS. 1 to 6. FIG. 1 and 2 are perspective views showing the positioning unit of the present invention in its basic position, and FIGS. 3 and 4, and FIGS. 5 and 6 are two sliding members of the positioning unit of FIG. It is a figure which shows the state which moved.

添付図面の図１乃至図６において、位置決めユニット１は、基板２；この基板２の上に固定された第一の軌道３；この第一の軌道３に摺動可能に装着されている、基板２に対して垂直な傾斜面４ａを側面に備えた第一の摺動部材４；この第一の摺動部材４に連結している、前記基板２に設置された、第一の摺動部材４の軌道３に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置５；前記基板２の上で、第一の軌道３に交差するように固定された第二の軌道６；そしてこの第二の軌道６に摺動可能に装着されている、前記基板２に対して垂直な傾斜面７ａを側面に備えた第二の摺動部材７；を含み、第一の摺動部材４と第二の摺動部材７とが、それらの傾斜面４ａ、７ａが互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置５の作動により発生する第一の摺動部材４の第一の軌道３に沿う前進後退運動によって第二の摺動部材７が第二の軌道６に沿う後退前進運動を行うように組み合わされて構成されている。 1 to 6 of the accompanying drawings, the positioning unit 1 comprises a substrate 2; a first track 3 fixed above this substrate 2; a substrate slidably mounted on this first track 3; a first sliding member 4 having a side surface with an inclined surface 4a perpendicular to 2; a linear motion drive 5 for driving the forward and backward motion along a track 3 of 4; a second track 6 fixed above the substrate 2 so as to intersect the first track 3; and this second track. a second sliding member 7 having a side surface with an inclined surface 7a perpendicular to the substrate 2, which is slidably mounted on the substrate 2; The moving member 7 moves forward and backward along the first track 3 of the first sliding member 4 generated by the operation of the linear motion drive device 5 with their inclined surfaces 4a, 7a in contact with each other. A second sliding member 7 is arranged for rearward and forward movement along the second track 6 .

本発明の位置決めユニットの好ましい構成の例としては下記の構成を挙げることができる。
（１）第一の摺動部材４の側面の傾斜面４ａが、直線運動駆動装置５の側とは反対の側で第一の軌道３の側面に近づくような角度の傾斜面とされている。
（２）第二の摺動部材７の頂面に平面部材８が装着されている。
（３）直線運動駆動装置５が、表面に螺旋溝が形成された回転軸９、この回転軸９の一方の端部に連結するモータ１０、そして前記基板２に固定され、上記回転軸９を回転可能に収容支持する回転軸支持具１１から構成されていて；
第一の摺動部材４が、その内部に上記回転軸９の螺旋溝と螺合する螺旋溝が形成された内周面を持つ開口４ｂを持ち、上記直線運動駆動装置５のモータ１０の回転により、上記回転軸９が第一の摺動部材４の開口４ｂの内部で回転することにより第一の摺動部材４を前進後退させるようにされている。
（４）前記第一の摺動部材４の傾斜面４ａと前記第二の摺動部材７の傾斜面７ａのそれぞれに、一対として相互に摺動可能とされた摺動具１２が備えられ、これらの摺動具１２を介して第一の摺動部材４の傾斜面４ａと第二の摺動部材７の傾斜面７ａとが接触している。 Examples of preferred configurations of the positioning unit of the present invention include the following configurations.
(1) The inclined surface 4a on the side surface of the first sliding member 4 is an inclined surface at an angle that approaches the side surface of the first track 3 on the side opposite to the linear motion drive device 5 side. .
(2) A planar member 8 is attached to the top surface of the second sliding member 7 .
(3) The linear motion driving device 5 includes a rotating shaft 9 having a spiral groove formed on its surface, a motor 10 connected to one end of the rotating shaft 9, and a motor 10 connected to one end of the rotating shaft 9, and fixed to the substrate 2 to rotate the rotating shaft 9. Consists of a rotating shaft support 11 that is rotatably accommodated and supported;
The first sliding member 4 has an opening 4b having an inner peripheral surface formed therein with a spiral groove for screwing with the spiral groove of the rotating shaft 9, and rotates the motor 10 of the linear motion driving device 5. As a result, the rotating shaft 9 rotates inside the opening 4b of the first sliding member 4 to move the first sliding member 4 forward and backward.
(4) A pair of sliders 12 slidable on each of the inclined surface 4a of the first sliding member 4 and the inclined surface 7a of the second sliding member 7, The inclined surface 4a of the first sliding member 4 and the inclined surface 7a of the second sliding member 7 are in contact with each other through these sliding tools 12. As shown in FIG.

次に、本発明の位置決めユニットを構成する基板と各種の部材について詳しく説明する。 Next, the substrate and various members constituting the positioning unit of the present invention will be described in detail.

本発明の位置決めユニットにおいて、位置決め機能を実現する各種の部品は、基板２の上に直接的もしくは間接的に固定もしくは設置されている。すなわち、第一の軌道３と第二の軌道６は共に、基板上に互いに交差するように設置固定されている。そして、第一の摺動部材４と第二の摺動部材７は、それぞれ、第一の軌道３と第二の軌道６に摺動が可能なように装着されている。 In the positioning unit of the present invention, various parts for realizing positioning functions are directly or indirectly fixed or installed on the substrate 2 . That is, both the first track 3 and the second track 6 are installed and fixed on the substrate so as to intersect each other. The first sliding member 4 and the second sliding member 7 are slidably mounted on the first track 3 and the second track 6, respectively.

第一の摺動部材４は、第一の軌道３に沿う前進運動と後退運動（即ち、前進後退運動）を行う。この第一の摺動部材４の前進後退運動は、基板に直線運動駆動装置５を設置して、その作動により実現させることが好ましい。直線運動駆動装置５は、表面に螺旋溝が形成された回転軸９、この回転軸９の一方の端部に連結するモータ１０、そして前記基板２に固定され、上記回転軸９を回転可能に収容支持する回転軸支持具１１から構成されていることが好ましい。そして、第一の摺動部材４は、その内部に上記回転軸９の螺旋溝と螺合する螺旋溝が形成された内周面を持つ開口４ｂを持ち、上記直線運動駆動装置５のモータ１０の回転により、上記回転軸９が第一の摺動部材４の開口４ｂの内部で回転して第一の摺動部材４を前進後退させるようにされていることが好ましい。 The first sliding member 4 performs forward and backward motion along the first track 3 (ie forward and backward motion). The forward and backward motion of the first sliding member 4 is preferably realized by operating a linear motion driving device 5 installed on the substrate. The linear motion driving device 5 includes a rotating shaft 9 having a spiral groove formed on the surface thereof, a motor 10 connected to one end of the rotating shaft 9, and a motor 10 connected to one end of the rotating shaft 9, and fixed to the substrate 2 so that the rotating shaft 9 can rotate. It is preferable that it is composed of a rotating shaft support 11 that is accommodated and supported. The first sliding member 4 has an opening 4b having an inner peripheral surface formed therein with a spiral groove to be screwed with the spiral groove of the rotating shaft 9, and the motor 10 of the linear motion driving device 5. , the rotating shaft 9 rotates inside the opening 4b of the first sliding member 4 to move the first sliding member 4 forward and backward.

第一の摺動部材４と第二の摺動部材７とは、それらの傾斜面４ａ、７ａが互いに接触した状態とされるように組み合わされている。そして、直線運動駆動装置５が作動して発生する第一の摺動部材４の第一の軌道３に沿う前進後退運動によって第二の摺動部材７が第二の軌道６に沿う後退前進運動を行うように組み合わされている。すなわち、第一の摺動部材４が前進した時には第二の摺動部材７は後退し、そして第一の摺動部材４が後退した時には第二の摺動部材７は前進する。 The first sliding member 4 and the second sliding member 7 are combined so that their inclined surfaces 4a, 7a are in contact with each other. The forward and backward movement of the first sliding member 4 along the first track 3 generated by the actuation of the linear motion driving device 5 causes the second sliding member 7 to move backward and forward along the second track 6. are combined to do That is, when the first sliding member 4 advances, the second sliding member 7 retreats, and when the first sliding member 4 retreats, the second sliding member 7 advances.

なお、第一の摺動部材４の傾斜面４ａと前記第二の摺動部材７の傾斜面７ａのそれぞれには、一対として相互に摺動可能とされた摺動具１２が備えられ、これらの摺動具１２を介して第一の摺動部材４の傾斜面４ａと第二の摺動部材７の傾斜面７ａとを接触させるようにすることが好ましい。 The inclined surface 4a of the first sliding member 4 and the inclined surface 7a of the second sliding member 7 are each provided with a pair of sliding tools 12 which are slidable relative to each other. It is preferable that the inclined surface 4a of the first sliding member 4 and the inclined surface 7a of the second sliding member 7 are brought into contact with each other via the sliding member 12 of FIG.

次に、本発明の位置決めテーブルの代表的な構成とその作動を、図７乃至図１１を参照して説明する。本発明の位置決めテーブルは、従来より知られ、使用されている各種の位置決めテーブルにおいて、テーブル(ステージ）に装着されている位置決めユニットを、本発明の位置決めユニットに置き代えた構成を持つものである。必要により、従来より知られ、使用されている各種の位置決めテーブルに装着されている位置決めユニットの一部のみを置き換えた構成とすることもできる。 Next, a representative configuration and operation of the positioning table of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 11. FIG. The positioning table of the present invention has a configuration in which the positioning unit mounted on the table (stage) in various conventionally known and used positioning tables is replaced with the positioning unit of the present invention. . If necessary, it is also possible to replace only some of the positioning units mounted on various conventionally known and used positioning tables.

図７は、本発明に従う一次元方向位置決めテーブルの一例の構成を示す上面図（Ａ）と前面図（Ｂ）である。 7A and 7B are a top view (A) and a front view (B) showing the configuration of an example of the one-dimensional positioning table according to the present invention.

図７の一次元方向位置決めテーブルは、本発明の位置決めユニット１の第二の摺動部材の頂面に、平面部材８を介してテーブル（ステージ）１３が載置された構成を持つ。なお、平面部材８は、テーブル（ステージ）１３の第二の摺動部材の頂面での固定の安定性を高めるために用いられるが、この平面部材８は、必ずしも必要な部材とは云えない。 The one-dimensional positioning table of FIG. 7 has a structure in which a table (stage) 13 is placed on the top surface of the second sliding member of the positioning unit 1 of the present invention with a plane member 8 interposed therebetween. The planar member 8 is used to enhance the stability of fixing the table (stage) 13 to the top surface of the second sliding member, but the planar member 8 is not necessarily a necessary member. .

図８は、本発明に従う一次元方向位置決めテーブルの別の構成例を示す上面図である。 FIG. 8 is a top view showing another configuration example of the one-dimensional positioning table according to the present invention.

図８の一次元方向位置決めテーブルは、本発明の位置決めユニット１の基板２が、別に用意された基盤１４の上に、位置決めユニット１の第二の軌道６に沿った方向が拡げられた形で配置固定され、そして基盤１４の上には位置決めユニット１の第二の軌道６と同一の方向に延びた一対の直線ガイド１５、１６が設置され、また第二の摺動部材７の頂面にはテーブル１３が平面部材８を介して基盤１４と平行に載置固定されていて、第二の摺動部材７の前進後退運動によりテーブル１３が、第二の摺動部材７の前進後退運動（図中で両方向矢印により表示）と同一方向に前進後退運動を行った後、その位置にて仮固定されるように構成されている。 The one-dimensional direction positioning table of FIG. 8 has the substrate 2 of the positioning unit 1 of the present invention placed on a base 14 separately prepared, and the direction along the second track 6 of the positioning unit 1 is expanded. A pair of linear guides 15, 16 are arranged and fixed and extend in the same direction as the second track 6 of the positioning unit 1 on the base 14, and on the top surface of the second sliding member 7. The table 13 is placed and fixed parallel to the base 14 via the flat member 8, and the forward and backward movement of the second sliding member 7 causes the table 13 to move forward and backward ( Indicated by a double-headed arrow in the figure), it is temporarily fixed at that position after moving forward and backward in the same direction.

なお、図８の一次元方向位置決めテーブルにおいて、基盤１４を別に用意することなく、位置決めユニット１の基板２を、第二の軌道６に沿った方向に拡げた形とすることにより、基盤１４に代えることもできる。 In the one-dimensional direction positioning table shown in FIG. You can replace it.

図９は、本発明に従う二次元方向(二軸）位置決めテーブル（ＸＹステージ）の構成例を示す上面図（Ａ）と前面図（Ｂ）である。 9A and 9B are a top view (A) and a front view (B) showing a configuration example of a two-dimensional (biaxial) positioning table (XY stage) according to the present invention.

図９の二次元方向位置決めテーブルは、平面状基盤の上に設置された本発明の位置決めユニット１Ａ；位置決めユニット１Ａの第二の摺動部材の頂面に載置固定されたテーブルＡ；位置決めユニット１Ａと交差する方向でテーブルＡの上に設置された本発明の位置決めユニット１Ｂ；そして位置決めユニット１Ｂの第二の摺動部材の頂面にテーブルＡと平行に載置固定されたテーブルＢを含み、
位置決めユニット１Ａの第一の摺動部材の前進後退運動そして位置決めユニット１Ｂ（１３）の第一の摺動部材の前進後退運動を組み合わせることにより、テーブルＢのＸ軸そしてＹ軸に沿う移動を可能にしたＸＹ軸位置決めテーブルである。 The two-dimensional positioning table of FIG. 9 consists of a positioning unit 1A of the present invention installed on a planar base; a table A placed and fixed on the top surface of the second sliding member of the positioning unit 1A; a positioning unit 1B of the present invention placed on table A in a direction intersecting 1A; ,
Combining the forward and backward movement of the first sliding member of the positioning unit 1A and the forward and backward movement of the first sliding member of the positioning unit 1B (13) enables movement of the table B along the X and Y axes. XY axis positioning table.

なお、図９のＸＹ軸位置決めテーブルにおいて、基盤１４を別に用意することなく、位置決めユニット１の基板２を、第二の軌道６に沿った方向に拡げた形とすることにより、基盤１４に代えることもできる。 In the XY-axis positioning table of FIG. 9, the substrate 2 of the positioning unit 1 is expanded in the direction along the second track 6 instead of separately preparing the substrate 14, instead of the substrate 14. can also

図１０は、本発明に従うＸＹθ位置決めテーブル（ＸＹθステージ）の構成例を示す上面図と四方向からの各側面図である。 FIG. 10 is a top view and respective side views from four directions showing a configuration example of an XYθ positioning table (XYθ stage) according to the present invention.

図１０の位置決めテーブルは、三個の本発明の位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃが平面状基盤１４の上に、位置決めユニット１Ａと位置決めユニット１Ｃとが互いに平行となるように、そして位置決めユニット１Ｂが位置決めユニット１Ａと直角に交差するように組み合わせ設置されて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブル１３から構成されていて、
位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動及びテーブル平面に沿う回転運動を行うように組み合わされて構成されたＸＹθ位置決めテーブルである。 The positioning table of FIG. 10 has three positioning units 1A, 1B, and 1C of the present invention on a planar base 14, positioning unit 1A and positioning unit 1C parallel to each other, and positioning unit 1B. A positioning unit set formed by combining and installing so as to intersect the positioning unit 1A at right angles; and one sheet mounted and fixed across the top surface of the second sliding member of each positioning unit 1A, 1B, 1C consists of a table 13 of
The positioning units 1A, 1B, 1C move the table along the X-axis and the Y-axis and move the table along the X-axis and the Y-axis by the backward and forward movement of the second sliding member of each positioning unit by the operation of the linear motion drive device of each positioning unit. It is an XYθ positioning table that is combined and configured to perform rotational motion along a plane.

図１１は、本発明に従うＸＹθ位置決めテーブル（ＸＹθステージ）のの別の構成例を示す上面図と四方向からの各側面図である。 FIG. 11 is a top view and side views from four directions showing another configuration example of the XYθ positioning table (XYθ stage) according to the present invention.

図１１の位置決めテーブルは、四個の本発明の位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが平面状基盤１４の上に、位置決めユニット１Ａと位置決めユニット１Ｃとが互いに平行となるように、そして位置決めユニット１Ｂと位置決めユニット１Ｄとが互いに平行かつ位置決めユニット１Ａと直角に交差するように組み合わせて形成された位置決めユニットセット；そして各位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって載置固定された一枚のテーブル１３から構成され、
位置決めユニット１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動そしてテーブル平面に沿う回転運動が行えるように組み合わされてなるＸＹθ位置決めテーブルである。 The positioning table of FIG. 11 has four positioning units 1A, 1B, 1C, and 1D of the present invention on a planar base 14, the positioning unit 1A and the positioning unit 1C are parallel to each other, and the positioning unit A positioning unit set formed by combining a positioning unit 1B and a positioning unit 1D so as to be parallel to each other and intersect the positioning unit 1A at right angles; It consists of a single table 13,
The positioning units 1A, 1B, 1C, and 1D move the table along the X-axis and the Y-axis by the backward and forward movement of the second sliding member of each positioning unit by the operation of the linear motion drive device of each positioning unit. The XYθ positioning table is assembled so that it can rotate along the table plane.

１ 位置決めユニット
１Ａ 位置決めユニット
１Ｂ 位置決めユニット
１Ｃ 位置決めユニット
１Ｄ 位置決めユニット
２ 基板
３ 第一の軌道
４ 第一の摺動部材
４ａ 傾斜面
４ｂ 開口
５ 直線運動駆動装置
６ 第二の軌道
７ 第二の摺動部材
７ａ 傾斜面
８ 平面部材
９ 回転軸
１０ モータ
１１ 回転軸支持具
１２ 摺動具
１３ テーブル(ステージ）
１４ 基盤

REFERENCE SIGNS LIST 1 positioning unit 1A positioning unit 1B positioning unit 1C positioning unit 1D positioning unit 2 substrate 3 first track 4 first slide member 4a inclined surface 4b opening 5 linear motion drive 6 second track 7 second slide Member 7a Inclined surface 8 Planar member 9 Rotating shaft 10 Motor 11 Rotating shaft support 12 Slider 13 Table (stage)
14 base

Claims (4)

下記の如く構成してなる一次元方向位置決めテーブル：
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされた位置決めユニットを用意し、
その位置決めユニットの基板を、別に用意した基盤の上に、位置決めユニットの第二の軌道に沿った方向に拡げた形で配置固定させ、該基盤の上に位置決めユニットの第二の軌道と同一の方向に延びた一対の直線ガイドを設置し、そして第二の摺動部材の頂面にテーブルを前記基盤と平行に載置固定して、第二の摺動部材の前進後退運動により上記テーブルが、第二の摺動部材の前進後退運動と同一方向に前進後退運動を行った後、その位置にて停止するように構成する。 A one-dimensional positioning table configured as follows:
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member, wherein the first sliding member and the second sliding member are caused by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other; providing a positioning unit combined such that forward and backward motion causes the second slide member to effect backward and forward motion along the second track;
The substrate of the positioning unit is arranged and fixed on a separately prepared substrate so as to extend in the direction along the second track of the positioning unit, and the same second track of the positioning unit is placed on the substrate. A pair of linear guides extending in the direction are installed, and a table is placed and fixed on the top surface of the second sliding member in parallel with the base, and the forward and backward movement of the second sliding member moves the table. , the second sliding member performs forward and backward movement in the same direction as the forward and backward movement of the second sliding member, and then stops at that position. 下記の如く構成してなるＸＹ軸位置決めテーブル：
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備え、頂面にテーブルＡが載置固定されたた第二の摺動部材を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＡを別に用意した平面状基盤の上に設置し、
そして、上記平面状基盤の上に、位置決めユニットＡと交差する方向には、基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備え、頂面にテーブルＢが載置固定されたた第二の摺動部材を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＢを設置し、位置決めユニットＡの第一の摺動部材の前進後退運動そして位置決めユニットＢの第一の摺動部材の前進後退運動を組み合わせることにより、テーブルＢのＸ軸そしてＹ軸に沿う移動を可能にする。 An XY-axis positioning table configured as follows:
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and slidably mounted on the second track with inclined surfaces on its sides and perpendicular to said substrate, and on its top surface: The linear motion drive device includes a second sliding member on which the table A is mounted and fixed, and the first sliding member and the second sliding member are in contact with each other at their inclined surfaces . A planar base separately prepared with a positioning unit A combined so that the second sliding member performs backward and forward movement along the second track by the forward and backward movement of the first sliding member generated by the operation of placed on top of
A substrate; a first track fixed on the substrate; and slidably mounted on the first track, A first sliding member having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate; a linear motion drive for driving forward and backward motion along a track; a second track fixed above the substrate and intersecting the first track; and slidably mounted on the second track. and a second sliding member having a side surface with an inclined surface perpendicular to the substrate and a table B mounted and fixed on the top surface, wherein the first sliding member and the second sliding The forward and backward movement of the first slide member caused by operation of the linear motion drive with the inclined surfaces thereof in contact with each other causes the second slide member to retract along the second track. By installing a positioning unit B that is combined to perform forward movement, combining the forward and backward movement of the first sliding member of the positioning unit A and the forward and backward movement of the first sliding member of the positioning unit B , allows movement of table B along the X and Y axes. 下記の如く構成してなるＸＹθ位置決めテーブル：
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＡ、
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＢ、そして
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＣを用意し、位置決めユニットＡの第一の軌道と位置決めユニットＣに第一の軌道とが互いに平行となるように、そして位置決めユニットＢの第一の軌道が位置決めユニットＡの第一の軌道と交差するように組み合わせ設置されて形成された位置決めユニットセットを別に用意した平面状基盤上に設置し、そしてそれぞれの位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって一枚のテーブルを載置固定した位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動及び／またはテーブル平面に沿う回転運動を行えるように組み合わせる。 An XYθ positioning table configured as follows:
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member, wherein the first sliding member and the second sliding member are caused by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other; a positioning unit A combined such that the forward and backward motion causes the second sliding member to perform backward and forward motion along the second track;
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member, wherein the first sliding member and the second sliding member are generated by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. a positioning unit B combined such that forward and backward movement of the second sliding member causes backward and forward movement along the second track, and
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member, wherein the first sliding member and the second sliding member are generated by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. A positioning unit C is prepared so that the forward and backward motion of the second sliding member performs backward and forward motion along the second track, and the first track of the positioning unit A and the positioning unit C are combined to move the second sliding member A plane separately prepared with a positioning unit set formed by combining and installing such that one track is parallel to each other and the first track of positioning unit B intersects the first track of positioning unit A. Positioning units A, B, and C are installed on a base and have a table mounted and fixed across the top surface of the second sliding member of each positioning unit. Retraction and forward movement of the second slide member of each positioning unit by actuation of the drive unit causes the table to move along the X and Y axes and/or rotate along the plane of the table. 下記の如く構成してなるＸＹθ位置決めテーブル：
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＡ、
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＢ、
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＣ、そして
基板；この基板の上に固定された第一の軌道；この第一の軌道に摺動可能に装着されている、基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第一の摺動部材；この第一の摺動部材に連結している、前記基板に設置された、第一の摺動部材の第一の軌道に沿う前進後退運動を駆動する直線運動駆動装置；前記基板の上で、第一の軌道に交差するように固定された第二の軌道；そしてこの第二の軌道に摺動可能に装着されている、前記基板に対して垂直な傾斜面を側面に備えた第二の摺動部材；を含み、第一の摺動部材と第二の摺動部材とが、それらの傾斜面が互いに接触した状態での前記直線運動駆動装置の作動により発生する第一の摺動部材の前進後退運動によって第二の摺動部材が第二の軌道に沿う後退前進運動を行うように組み合わされてなる位置決めユニットＤのそれぞれを、位置決めユニットＡの第一の軌道と位置決めユニットＣの第一の軌道とが互いに平行となるように、そして位置決めユニットＢの第一の軌道が位置決めユニットＡの第一の軌道と交差するように組み合わせ設置されて形成された位置決めユニットセットを、別に用意した平面状基盤上に設置し、そしてそれぞれの位置決めユニットの第二の摺動部材の頂面にまたがって一枚のテーブルを載置固定し、
位置決めユニットＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄが、それぞれの位置決めユニットの直線運動駆動装置の作動による各位置決めユニットの第二の摺動部材の後退前進運動により上記テーブルが、Ｘ軸とＹ軸に沿う移動及び／またはテーブル平面に沿う回転運動を行えるように組み合わせる。
An XYθ positioning table configured as follows:
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member, wherein the first sliding member and the second sliding member are generated by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. positioning unit A combined such that forward and backward movement of the second sliding member causes backward and forward movement along the second track;
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member, wherein the first sliding member and the second sliding member are generated by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. positioning unit B combined such that forward and backward movement of the second sliding member causes backward and forward movement along the second track;
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member, wherein the first sliding member and the second sliding member are generated by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. a positioning unit C combined so that forward and backward movement of the second sliding member causes backward and forward movement along the second track; and
a substrate; a first track fixed on the substrate; a first sliding member slidably mounted on the first track and having inclined sides on its sides perpendicular to the substrate; a linear motion drive mounted on the substrate and coupled to the first slide member for driving forward and backward motion of the first slide member along a first track; on the substrate; a second track fixed to intersect the first track; and a second track slidably mounted on the second track and flanked with an inclined surface perpendicular to the substrate. a sliding member, wherein the first sliding member and the second sliding member are generated by operation of the linear motion drive device with their inclined surfaces in contact with each other. Positioning unit D moves back and forth between positioning unit A on the first track and positioning unit C on the first track so that the second sliding member moves back and forth along the second track by forward and backward movement of the second sliding member. A positioning unit set formed by combining and installing such that one track is parallel to each other and the first track of positioning unit B intersects the first track of positioning unit A is prepared separately. installed on a planar base and having a table mounted and fixed across the top surface of the second sliding member of each positioning unit;
The positioning units A, B, C, and D move the table along the X-axis and the Y-axis by the backward and forward movement of the second sliding member of each positioning unit by the operation of the linear motion drive device of each positioning unit. and/or combined for rotational movement along the table plane.
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