KR102610962B1 - 유리 기판의 처리 방법 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 326
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 319
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 61
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims abstract description 95
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 claims abstract description 86
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 47
- 239000006058 strengthened glass Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 26
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 22
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 21
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 14
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 10
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 9
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 7
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 7
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H aluminium sulfate (anhydrous) Chemical compound [Al+3].[Al+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O DIZPMCHEQGEION-UHFFFAOYSA-H 0.000 claims description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 6
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M (3-methylphenyl)methyl-triphenylphosphanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC1=CC=CC(C[P+](C=2C=CC=CC=2)(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 abstract description 14
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 29
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 15
- 239000002335 surface treatment layer Substances 0.000 description 15
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 11
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910013553 LiNO Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000005358 alkali aluminosilicate glass Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 5
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003426 chemical strengthening reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 4
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- -1 aluminum ions Chemical class 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 229910001420 alkaline earth metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- JLDSOYXADOWAKB-UHFFFAOYSA-N aluminium nitrate Chemical compound [Al+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O JLDSOYXADOWAKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 2
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000007499 fusion processing Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C21/00—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
- C03C21/001—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions
- C03C21/002—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions to perform ion-exchange between alkali ions
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0075—Cleaning of glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
Abstract
유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 강화하는 단계에서 강화 용융염 및 알루미늄염을 포함한 혼합 용융염을 제공하거나, 또는 유리 기판을 강화하는 단계 이후에 알루미늄염을 이용하여 유리 기판 표면을 처리하는 단계를 포함하여 유리의 강화 특성을 유지하면서 강화된 유리의 표면 경도를 개선할 수 있다.
Description
본 발명은 유리 기판의 처리 방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 알루미늄염을 제공하여 유리 기판의 표면을 처리하는 방법에 관한 것이다.
유리 기판은 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display) 등에 다양하게 적용되고 있다. 예를 들어, 유리 기판은 텔레비전, 컴퓨터 모니터, 휴대용 단말기 등의 제조에 사용되는 표시 패널의 기판으로 사용되거나 또는 표시 장치에 있어서 표시 패널을 보호하는 커버 유리로 사용되기도 한다.
표시 장치에 사용되는 유리 기판에 대하여는 경량화 박형화가 요구되고 있다. 또한 이와 함께 유리 기판의 강도를 개선할 수 있는 강화 방법이 연구되고 있다. 유리 기판의 강화 방법으로는 물리적 강화 방법과 이온 교환의 원리를 이용한 화학 강화 방법이 사용되고 있다.
본 발명의 목적은 개선된 강화 특성과 표면 경도를 갖는 유리 기판을 제공하는 유리 기판의 처리 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 유리 기판의 강화 특성의 저하 없이 표면 경도를 개선하는 유리 기판의 처리 방법을 제공하는 것이다.
일 실시예는 유리 기판을 제공하는 단계; 및 상기 제공된 유리 기판에 혼합 용융염을 제공하여 상기 유리 기판을 강화하는 단계; 를 포함하고, 상기 혼합 용융염은 강화 용융염 및 알루미늄염을 포함하는 유리 기판의 처리 방법을 제공한다.
상기 알루미늄염은 질산알루미늄, 황산알루미늄 및 염화알루미늄 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 강화 용융염은 Li+, Na+, K+, Rb+ 및 Cs+로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나의 이온을 포함하는 단일염일 수 있다.
상기 알루미늄염은 상기 강화 용융염 중량을 기준으로 100ppm 이상 1000ppm 이하로 포함된 것일 수 있다.
상기 강화하는 단계 이전에 상기 제공된 유리 기판을 열처리하는 단계를 더 포함할 수있다.
상기 열처리하는 단계는 상기 유리 기판의 왜점 온도 이상 상기 유리 기판의 서냉점 온도 이하에서 수행되는 것일 수 있다.
상기 열처리하는 단계는 상기 제공된 유리 기판을 용융액에 침지하여 열처리하는 단계일 수 있다.
상기 용융액은 알칼리질산염, 알칼리황산염 및 알칼리염화물 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 유리 기판은 SiO2를 50wt% 이상 80wt% 이하로 포함하고, Al2O3을 3wt% 이상 20wt% 이하로 포함하며, Na2O를 10wt% 이상 30wt% 이하로 포함하는 것일 수 있다.
다른 실시예는 유리 기판을 제공하는 단계; 상기 제공된 유리 기판에 강화 용융염을 제공하여 상기 유리 기판을 강화하는 단계; 및 상기 강화된 유리 기판에 알루미늄염을 제공하여 표면처리하는 단계; 를 포함하는 유리 기판의 처리 방법을 제공한다.
상기 알루미늄염은 질산알루미늄, 황산알루미늄 및 염화알루미늄 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다.
상기 강화 용융염은 Li+, Na+, K+, Rb+ 및 Cs+로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나의 이온을 포함하는 단일염일 수 있다.
상기 강화 용융염은 제1 온도로 유지되고, 상기 알루미늄염은 제2 온도로 유지되며, 상기 제2 온도는 상기 제1 온도 이하일 수 있다.
상기 제2 온도는 상기 알루미늄염의 용융점 온도 이상이고, 상기 강화 용융염의 용융점 온도 이하일 수 있다.
상기 제1 온도는 350℃ 이상 500℃ 이하일 수 있다.
상기 제2 온도는 150℃ 이상 350℃ 이하일 수 있다.
상기 강화하는 단계 이전에 상기 제공된 유리 기판을 열처리하는 단계를 더 포함할 수있다.
상기 열처리하는 단계는 상기 제공된 유리 기판을 용융액에 침지하여 열처리하는 단계일 수 있다.
상기 열처리하는 단계는 500℃ 이상 550℃ 이하에서 수행되는 것일 수 있다.
상기 유리 기판은 SiO2를 50wt% 이상 80wt% 이하로 포함하고, Al2O3을 3wt% 이상 20wt% 이하로 포함하며, Na2O를 10wt% 이상 30wt% 이하로 포함하는 것일 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판의 강화 단계에서 제공되는 혼합 용융염에 강화 용융염과 함께 알루미늄염을 포함하여, 유리 기판의 표면 경도를 개선할 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판의 강화 단계 이후에 알루미늄염을 제공하여 유리 기판을 표면처리하는 단계를 포함하여, 유리 기판의 표면 경도를 개선할 수 있다.
도 1은 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 대한 순서도이다.
도 2는 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의해 처리된 유리 기판을 포함하는 표시장치의 일 실시예를 나타낸 도면이다.
도 3은 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 대한 순서도이다.
도 4는 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법을 개략적으로 나타낸 블럭도이다.
도 5는 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에서 각 단계에 따른 온도 프로파일을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의하여 처리된 유리 기판의 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의해 처리된 유리 기판을 포함하는 표시장치의 일 실시예를 나타낸 도면이다.
도 3은 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 대한 순서도이다.
도 4는 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법을 개략적으로 나타낸 블럭도이다.
도 5는 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에서 각 단계에 따른 온도 프로파일을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의하여 처리된 유리 기판의 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "하에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, 본 출원에서 "상에" 배치된다고 하는 것은 상부뿐 아니라 하부에 배치되는 경우도 포함하는 것일 수 있다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판의 처리 방법에 대하여 설명한다. 도 1은 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다. 도 2는 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의하여 처리된 유리 기판을 포함하는 표시 장치의 일 실시예를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 제공하는 단계(S110), 혼합 용융염을 제공하여 유리 기판을 강화하는 단계(S130)를 포함한다.
유리 기판을 제공하는 단계(S110)는 강화 처리를 하기 위한 유리 기판을 준비하는 단계일 수 있다. 제공되는 유리 기판은 표시 장치의 제조에 사용되는 것일 수 있다. 예를 들어, 제공된 유리 기판은 스마트폰과 같은 휴대용 표시 장치, 또는 TV, 노트북, 모니터 등의 중대형 표시 장치에 사용되는 것일 수 있다.
일 실시예에서 유리 기판은 표시 장치를 보호하기 위하여 표시 패널 상에 배치되는 커버 유리일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제공되는 유리 기판은 다양한 형태로 응용될 수 있다.
도 2의 표시 장치(DD)는 표시 패널(DP), 표시 패널(DP) 상에 배치되는 윈도우 부재(WP) 및 표시 패널(DP)을 수납하며, 표시 패널(DP)의 하부에 배치되는 하우징 부재(HAU)를 포함하는 것일 수 있다. 도 2의 표시 장치(DD)는 휴대용 표시 장치를 나타낸 것일 수 있으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 1에 도시된 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의하여 가공된 유리 기판은 윈도우 부재(WP)에 포함되는 커버 유리(CW)로 사용되는 것일 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 있어서, 제공되는 유리 기판은 플로트 공법(float process)에 의하여 제조된 것일 수 있다. 또한, 제공되는 유리 기판은 다운 드로우 공법(down draw process) 또는 퓨전 공법(fusion process)에 의하여 제조된 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제공되는 유리 기판은 예시되지 않은 다양한 방법에 의하여 제조된 것일 수 있다.
제공되는 유리 기판은 사용 용도를 고려하여 유리 기판을 강화하는 단계(S130) 이전에 절단되어 제공되는 것일 수 있다. 하지만, 실시예는 이에 한정하지 않으며, 제공되는 유리 기판은 최종적으로 적용되는 제품의 크기와 일치되지 않는 크기로 제공되고, 이후 일 실시예의 유리 기판의 처리 공정 이후에 최종 제품 적용 크기로 절단되어 가공되는 것일 수 있다.
유리 기판은 플랫(flat)한 것일 수 있다. 또한, 유리 기판은 벤딩(bending)된 것일 수 있다. 예를 들어, 유리 기판은 가운데 부분을 기준으로 볼록하거나 오목하게 벤딩된 것일 수 있다. 또는 유리 기판은 외곽 부분에 벤딩된 부분을 포함하는 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 유리 기판은 다양한 형상으로 제공될 수 있다.
유리 기판은 알칼리 알루미노실리케이트(Alkali aluminosilicate) 유리 또는 소다 라임 실리케이트(Soda lime silicate) 유리일 수 있다. 예를 들어, 알칼리 알루미노실리케이트 유리 또는 소다 라임 실리케이트 유리는 도 2에 도시된 표시 장치(DD)에서 윈도우 부재(WP)에 포함되는 커버 유리(CW)로 사용될 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
제공되는 유리 기판은 SiO2, Al2O3 및 Na2O를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, SiO2를 50wt% 이상 80wt% 이하로 포함하고, Al2O3을 3wt% 이상 20wt% 이하로 포함하며, Na2O를 10wt% 이상 30wt% 이하로 포함하는 것일 수 있다. 또한, 유리 기판은 SiO2, Al2O3 및 Na2O 이외의 산화물과 첨가물 등을 추가적으로 더 포함할 수 있다.
예를 들어, 제공되는 유리 기판은 SiO2, Al2O3 및 Na2O 이외에 K2O, MgO 및 CaO 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다. 유리 기판에서 K2O는 2wt% 이하, MgO는 9wt% 이하, CaO는 1wt% 이하로 포함될 수 있다. 구체적으로, 제공되는 유리 기판은 50wt% 이상 80wt% 이하의 SiO2, 3wt% 이상 10wt% 이하의 Al2O3, 10wt% 이상 30wt% 이하의 Na2O, 0wt% 이상 2 wt% 이하의 K2O, 0wt% 이상 9wt% 이하의 MgO 및 0wt% 이상 1wt% 이하의 CaO를 포함할 수 있다.
알칼리 알루미노실리케이트 유리 또는 소다 라임 실리케이트 유리인 유리 기판의 왜점(strain point) 온도는 400℃ 이상 700℃ 이하이고, 서냉점(annealing point) 온도는 450℃ 이상 750℃ 이하일 수 있다.
일 실시예의 유리 기판을 처리하는 방법에서, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 혼합 용윰염을 유리 기판에 제공하여 처리하는 단계일 수 있다. 즉, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 유리 기판을 화학 강화법으로 강화하는 단계일 수 있다. 일 실시예에서 혼합 용융염은 강화 용융염 및 알루미늄염을 포함하는 것일 수 있다.
유리 기판을 화학 강화하는 것은 유리 기판의 표면에서 이루어지는 이온 교환을 이용하여 유리 기판 표면의 강도를 개선하는 것일 수 있다. 유리 기판은 이온 교환법에 의하여 유리 기판의 표면이 강화 처리될 수 있다. 예를 들어, 이온 교환법에 의한 유리 기판의 강화단계는 유리 기판 표면의 상대적으로 이온 반경이 작은 알칼리 금속 이온을 이온 반경이 보다 큰 알칼리 금속 이온으로 교환하여 이루어질 수 있다. 예를 들어, 유리 기판 표면의 Na+ 이온 등을 K+ 이온 등으로 교환하여 표면 강화가 이루어 질 수 있다. 강화된 유리 기판은 표면에 압축 응력층을 포함할 수 있다.
유리 기판을 강화하는 단계(S130)에서 제공되는 혼합 용융염은 강화 용융염을 포함할 수 있다. 강화 용융염은 하나의 물질로 이루어진 단일염 또는 두 개 이상의 물질을 포함하는 혼합염일 수 있다.
강화 용융염이 단일염인 경우 강화 용융염은 Li+, Na+, K+, Rb+ 및 Cs+로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 이온을 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 강화 용융염은 LiNO3, NaNO3, KNO3, Li2SO4, Na2SO4, 및 K2SO4 중에서 선택되는 어느 하나의 단일염일 수 있다. 구체적으로 일 실시예에서 강화 용융염은 KNO3 일 수 있다.
강화 용융염이 혼합염인 경우 강화 용융염은 Li+, Na+, K+, Rb+ 및 Cs+로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 2종의 이온을 포함하는 것이 수 있다. 예를 들어, 혼합염은 LiNO3, NaNO3, KNO3, Li2SO4, Na2SO4, 및 K2SO4 중에서 선택되는 두 개 이상의 염을 포함하는 것일 수 있다.
일 실시예에서 혼합 용융염은 알루미늄염을 포함하는 것일 수 있다. 알루미늄염은 혼합 용융염의 용융 온도 범위에서 용해되어 알루미늄 이온을 제공하는 염(Salt)일 수 있다. 예를 들어, 알루미늄염은 질산알루미늄(Al(NO3)3), 황산알루미늄(Al2(SO4)3) 및 염화알루미늄(Al(Cl)3) 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 강화하는 단계(S130)에서 강화 용융염과 함께 알루미늄염을 같이 제공하여 유리 기판의 강화와 함께 유리 기판 표면의 경도를 개선할 수 있다. 즉, 알루미늄염을 포함한 혼합 용융염을 이용하여 강화 공정을 진행함으로써 유리 기판 표면의 내스크래치성을 개선할 수 있다.
유리 기판을 강화하는 단계(S130)에 제공되는 혼합 용융염에서 알루미늄염은 강화 용융염의 중량을 기준으로 100ppm(parts per million) 이상 1000ppm 이하로 포함되는 것일 수 있다. 알루미늄염의 함량이 100ppm 보다 작은 경우 알루미늄염 추가에 따른 유리 기판의 표면 경도 개선 효과가 나타나지 않을 수 있다. 또한, 알루미늄염의 함량이 1000ppm 보다 많은 경우 유리 기판의 강화 특성이 저하될 수 있다. 즉, 알루미늄염의 함량이 1000ppm 보다 많은 경우 유리 기판 표면의 압축응력층 형성을 저해할 수 있다.
혼합 용융염을 제공하여 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 강화 용융염의 용융 온도 범위에서 수행될 수 있다. 예를 들어, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 350℃ 이상 500℃ 이하에서 수행되는 것일 수 있다. 구체적으로 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 450℃ 이상 480℃ 이하의 혼합 용융염에서 수행되는 것일 수 있다.
한편, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 복수의 단계로 구분되어 진행될 수 있다. 예를 들어, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 다단 강화 단계로 이루어질 수 있다. 또한, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 하나의 강화 단계로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)가 다단 강화 단계로 이루어지는 경우 각 강화 단계에서 사용되는 강화 용융염의 구성은 서로 다를 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 각 강화 단계에서 사용되는 강화 용융염의 구성은 서로 동일하거나 일부 용융염의 구성이 상이할 수 있다.
도 1에 도시되지는 않았으나 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 강화하는 단계(S130) 이전에 유리 기판을 열처리하는 단계를 더 포함할 수 있다. 열처리하는 단계는 제공되는 유리 기판의 왜점 온도 이상이고 서냉점 온도 이하에서 수행되는 것일 수 있다. 예를 들어, 열처리하는 단계는 500℃ 이상 550℃ 이하에서 수행되는 것일 수 있다.
열처리하는 단계는 챔버 내에 유리 기판을 배치하여 고온의 기상 조건에서 진행되거나, 또는 액상인 용융액에 유리 기판을 침지시켜 진행되는 것일 수 있다. 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 강화하는 단계 이전에 사전 열처리하는 단계를 포함함으로써, 유리 기판의 표면 특성을 개질하고 유리 기판의 내부 구조를 치밀하게 할 수 있다.
또한, 열처리하는 단계가 유리 기판을 용융액에 침지시켜 진행되는 경우, 제공된 유리 기판 전체가 고온의 액상 용융액에 침지되어 열처리됨으로써 유리 기판의 형상 및 유리 기판의 부위에 관계 없이 유리 기판 전체에 균일하게 열이 전달될 수 있다. 따라서, 용융액에 침지되어 열처리된 유리 기판은 전체적으로 균일한 물성을 가질 수 있다.
열처리 단계에서 제공되는 용융액은 알칼리 질산염, 알칼리 황산염 및 알칼리 염화물 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다. 구체적으로 용융액은 알칼리 금속 이온을 포함하는 알칼리 질산염, 알칼리 금속 이온을 포함하는 알칼리 황산염, 알칼리 토금속 이온을 포함하는 알칼리 질산염, 알칼리 토금속 이온을 포함하는 알칼리 황산염 및 알칼리 금속 이온을 포함하는 알칼리 염화물 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다.
용융액에 포함되는 알칼리 질산염은 LiNO3, NaNO3, KNO3, RbNO3, CsNO3, Ba(NO3)2 및 Sr(NO3)2로 이루어진 군에서 선택되는 것일 수 있다. 또한, 용융액에 포함되는 알칼리 황산염은 Li2SO4, Na2SO4, K2SO4, Rb2SO4, Cs2SO4, BaSO4 및 SrSO4로 이루어진 군에서 선택되는 것일 수 있다. 용융액은 알칼리 염화물을 포함할 수 있으며, 알칼리 염화물은 LiCl, NaCl 및 KCl로 이루어진 군에서 선택되는 것일 수 있다.
즉, 열처리하는 단계에서 사용되는 용융액은 알칼리 질산염, 알칼리 황산염 및 알칼리 염화물 중 적어도 하나를 포함하는 것이며, 이들이 용융되어 액상으로 제공되는 것일 수 있다. 예를 들어, 용융액은 LiNO3, NaNO3, KNO3, RbNO3, CsNO3, Ba(NO3)2, Sr(NO3)2, Li2SO4, Na2SO4, K2SO4, Rb2SO4, Cs2SO4, BaSO4 , SrSO4, LiCl, NaCl 및 KCl로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다.
열처리하는 단계에서의 용융액의 온도는 유리 기판을 강화하는 단계(S130)에서의 혼합 용융염의 온도 보다 약 100℃ 내지 약 150℃ 높은 온도로 유지되는 것일 수 있다. 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 유리 기판의 왜점 온도보다 낮은 온도에서 진행될 수 있다. 예를 들어, 열처리하는 단계는 500℃ 이상 550℃ 이하에서 수행되는 것일 수 있다.
한편, 열처리 단계에서 사용된 용융액의 알칼리 금속 이온과 유리 기판을 강화하는 단계(S130)에서 제공되는 강화 용융염의 알칼리 금속 이온은 서로 상이한 것일 수 있다. 예를 들어, 용융액이 NaNO3로 구성되는 경우 강화 용융염은 Na+ 이온 이외의 다른 알칼리 금속 양이온을 포함하는 단일염 또는 혼합염일 수 있다. 예를 들어, 용융액이 NaNO3인 경우, 강화 용융염은 단일염인 KNO3를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)에서 강화 용융염에는 유리 기판을 열처리하는 단계에서 사용된 용융액에 포함되는 알칼리 금속 이온보다 이온 반경이 상대적으로 큰 이온이 포함될 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 열처리하는 단계 이후에 유리 기판을 냉각시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 또한, 냉각시키는 단계 이후에 유리 기판을 세정하는 단계와 유리 기판을 건조하는 단계 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
표 1은 도 1에 도시된 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법을 이용하여 처리된 유리 기판의 표면 물성 값을 나타낸 것이다. 표 1에 나타낸 유리 기판의 표면 강도 값이 높을수록 표면 경도가 큰 것을 나타내는 것일 수 있다. 표 1에 개시된 강도 값은 경도 측정 장비인 MIT(Micro Indentation Tester, Anton사)로 측정하였다. 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법으로 처리된 측정 시편은 25mm x 25mm 크기로 준비하였다. 측정용 팁(Vickers tip)을 이용하여 2N의 로드(load)를 10초간 가한 후 시편 표면 강도를 측정하였다.
| 측정 깊이(nm) | 비교예 | 실시예 |
| 50 nm | 555 Mpa | 590 Mpa |
| 300 nm | 534 Mpa | 743 Mpa |
표 1에서 비교예는 강화 단계에서 알루미늄염을 추가하지 않고 강화 용융염만으로 강화한 유리 기판 시편에 해당하며, 실시예는 도 1에 도시된 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법을 이용하여 처리된 유리 기판 시편에 해당한다. 비교예에서 유리 기판을 강화하는 단계에서 강화 용융염으로 KNO3를 사용하였으며, 강화하는 단계는 420℃에서 4시간 동안 진행되었다. 실시예의 경우 강화하는 단계에서 강화 용융염과 알루미늄염의 혼합염이 사용되었다. 혼합염은 강화 용융염으로 KNO3, 알루미늄염으로 Al(NO3)3을 포함하였다. 강화하는 단계는 460℃에서 4시간 동안 진행되었다.
표 1에서 측정 깊이는 팁을 이용하여 측정 시편에 하중을 가하여 누를 때의 팁의 압입 깊이에 해당하는 것이다. 압입 깊이에 따른 표면 강도를 측정하였을 때, 50nm 및 300nm의 압입 깊이에서 모두 실시예가 비교예에 비하여 표면 강도가 증가된 것을 확인할 수 있다. 즉, 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 알루미늄염을 포함한 혼합 용융염으로 유리 기판을 강화하여 유리 기판의 표면 강도를 개선할 수 있다.
또한, 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의하여 가공된 유리 기판은 표면에 알루미늄이 포함된 표면 처리층을 형성할 수 있어, 고온 고습의 신뢰성 평가 조건(85℃/85% 습도)에서 유리 기판 표면으로부터 알칼리 이온의 용출을 줄여 유리 기판의 헤이즈(haze) 현상을 줄일 수 있다.
도 1에 도시된 일 실시예의 유리 기판을 처리하는 방법은 유리 기판 표면에 압축 응력층을 형성하고 또한 알루미늄이 상대적으로 많이 분포된 표면 처리층을 형성할 수 있어 양호한 강화 특성을 유지하면서 표면 경도가 개선된 유리 기판을 제공할 수 있다.
도 3은 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다. 이후 도 3의 실시예에 대한 설명에서는 상술한 도 1 내지 도 2에서 설명한 내용과 중복되는 내용은 다시 설명하지 않으며, 차이점을 위주로 설명한다.
도 3의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 제공하는 단계(S210), 강화 용융염을 제공하여 유리 기판을 강화하는 단계(S240) 및 알루미늄염을 제공하여 유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)를 포함할 수 있다. 도 3의 유리 기판의 처리 방법에 의하여 가공된 유리 기판은 도 2에 도시된 표시 장치(DD)의 커버 유리(CW)에 사용되는 것일 수 있으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3에 도시된 일 실시예의 유리 기판을 처리하는 방법은 유리 기판을 강화하는 단계(S240) 이전에 유리 기판을 열처리하는 단계(S220), 열처리한 유리 기판을 냉각시키는 단계(S230)를 더 포함할 수 있다. 또한, 일 실시예의 유리 기판을 처리하는 방법은 유리 기판을 강화하는 단계(S240) 이후에 유리 기판을 냉각시키는 단계(S250)를 더 포함할 수 있다. 한편, 도면에 도시되지는 않았으나 일 실시예의 유리 기판을 처리하는 방법은 유리 기판을 열처리하는 단계(S220) 이전에 유리 기판을 예열하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
유리 기판을 제공하는 단계(S210)에서 제공되는 유리 기판은 알칼리 알루미노실리케이트(Alkali aluminosilicate) 유리 또는 소다 라임 실리케이트(Soda lime silicate) 유리일 수 있다. 예를 들어, 제공되는 유리 기판은 SiO2, Al2O3 및 Na2O를 포함하는 것일 수 있다. 구체적으로, SiO2를 50wt% 이상 80wt% 이하로 포함하고, Al2O3을 3wt% 이상 20wt% 이하로 포함하며, Na2O를 10wt% 이상 30wt% 이하로 포함하는 것일 수 있다. 또한, 유리 기판은 SiO2, Al2O3 및 Na2O 이외의 산화물과 첨가물 등을 추가적으로 더 포함할 수 있다.
제공되는 유리 기판은 SiO2, Al2O3 및 Na2O 이외에 K2O, MgO 및 CaO 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다. 유리 기판에서 K2O는 2wt% 이하, MgO는 9wt% 이하, CaO는 1wt% 이하로 포함될 수 있다. 구체적으로, 제공되는 유리 기판은 50wt% 이상 80wt% 이하의 SiO2, 3wt% 이상 10wt% 이하의 Al2O3, 10wt% 이상 30wt% 이하의 Na2O, 0wt% 이상 2 wt% 이하의 K2O, 0wt% 이상 9wt% 이하의 MgO 및 0wt% 이상 1wt% 이하의 CaO를 포함할 수 있다.
유리 기판을 열처리하는 단계(S220)는 상술한 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에서의 열처리하는 단계와 동일하게 진행되는 것일 수 있다. 유리 기판을 열처리하는 단계(S220)는 챔버 내에 유리 기판을 배치하여 고온의 기상 조건에서 진행되거나, 또는 액상인 고온의 용융액에 유리 기판을 침지시켜 진행되는 것일 수 있다. 유리 기판을 열처리하는 단계(S220)는 제공되는 유리 기판의 왜점 온도 이상이고 서냉점 온도 이하에서 수행되는 것일 수 있다. 예를 들어, 유리 기판을 열처리하는 단계(S220)는 500℃ 이상 550℃ 이하에서 수행되는 것일 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 강화하는 단계(S240) 이전에 열처리하는 단계(S220)를 포함함으로써, 유리 기판의 표면 특성을 개질하고 유리 기판의 내부 구조를 치밀하게 할 수 있다. 또한, 유리 기판의 강화 특성을 개선할 수 있다.
강화 용융염을 제공하여 유리 기판을 강화하는 단계(S240)는 유리 기판을 화학 강화법으로 강화하는 단계일 수 있다. 예를 들어, 유리 기판을 강화하는 단계(S240)는 강화 용융염은 단일염일 수 있다. 구체적으로, 강화 용융염은 Li+, Na+, K+, Rb+ 및 Cs+로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나의 이온을 포함하는 단일염일 수 있다. 예를 들어, 강화 용융염은 LiNO3, NaNO3, KNO3, RbNO3, Li2SO4, Na2SO4, K2SO4 및 Rb2SO4로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 포함하는 단일염일 수 있다.
한편, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 강화 용융염은 혼합염일 수 있다. 강화 용융염이 혼합염인 경우 강화 용융염은 Li+, Na+, K+, Rb+ 및 Cs+로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 2종의 이온을 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 강화 용융염은 LiNO3, NaNO3, KNO3, Li2SO4, Na2SO4, 및 K2SO4 중에서 적어도 2개 이상이 선택되어 구성되는 혼합염일 수 있다.
유리 기판을 강화하는 단계(S240)에서 강화 용융염은 제1 온도로 유지될 수 있다. 제1 온도는 제공되는 유리 기판의 왜점 온도 이하일 수 있다. 예를 들어, 제1 온도는 350℃ 이상 500℃ 이하일 수 있다. 한편, 제1 온도는 유리 기판을 열처리하는 단계(S220)의 온도보다 낮은 온도일 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)를 포함할 수 있다. 유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)는 강화된 유리 기판에 알루미늄염을 제공하여 유리 기판의 표면 경도를 개선하는 것일 수 있다.
유리 기판의 표면 처리에 사용되는 알루미늄염은 용융되어 알루미늄 이온을 제공하는 염(Salt)일 수 있다. 예를 들어, 알루미늄염은 질산알루미늄(Al(NO3)3), 황산알루미늄(Al2(SO4)3) 및 염화알루미늄(Al(Cl)3) 중 적어도 하나를 포함하는 것일 수 있다. 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 강화하는 단계(S240) 이후에 알루미늄염을 제공하여 유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)를 포함하여 유리 기판 표면의 경도를 개선할 수 있다. 즉, 알루미늄염을 이용하여 유리 기판 표면을 처리함으로써 알루미늄이 포함된 표면 처리층을 형성할 수 있어 유리 기판 표면의 내스크래치성을 개선할 수 있다.
유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)에서 알루미늄염은 제2 온도로 유지될 수 있다. 제2 온도는 유리 기판을 강화하는 단계(S240)에서의 강화 용융염의 온도인 제1 온도 이하일 수 있다. 제2 온도는 알루미늄염의 용융점 온도 이상이고, 강화 용융염의 용융점 온도 이하일 수 있다. 예를 들어, 제2 온도는 150℃ 이상 350℃ 이하일 수 있다.
일 실시예의 유리 기판을 처리하는 방법은 유리 기판을 강화하는 단계(S240)에서의 강화 용융염의 용융 온도보다 낮은 온도에서 수행되는 유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)를 포함하여 유리 기판 표면의 강화 특성의 저하 없이 유리 기판의 표면 경도를 개선할 수 있다. 즉, 일 실시예의 유리 기판을 처리하는 방법은 유리 기판의 표면에 형성된 압축 응력층의 압축 응력(Compressive Stress:CS)과, 압축 응력층의 두께(DOL)를 유지하며 동시에 유리 기판의 표면 경도를 개선하여 유리 기판의 내스크래치성을 개선할 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 열처리하는 단계(S220) 이후 및 유리 기판을 강화하는 단계(S240) 이후에 유리 기판을 냉각시키는 단계(S230, S250)를 더 포함할 수 있다. 유리 기판을 냉각시키는 단계(S230, S250)는 유리 기판을 서냉하는 것일 수 있다. 예를 들어, 유리 기판을 냉각시키는 단계(S230, S250)에서 유리 기판을 상온까지 냉각시킬 수 있으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 한편, 도면에 도시되지는 않았으나 유리 기판을 냉각시키는 단계(S230, S250) 이후에 유리 기판을 세정하는 단계 및 유리 기판을 건조하는 단계 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에서의 각 단계를 개략적으로 나타낸 블럭도이다. 도 4에서는 도 3의 순서도에서 도시된 각 단계에 대응하는 유리 기판(SB)을 제공하는 단계(S210), 유리 기판을 열처리하는 단계(S220), 유리 기판을 냉각시키는 단계(S230), 유리 기판을 강화하는 단계(S240), 유리 기판을 냉각시키는 단계(S250) 및 유리기판을 표면처리하는 단계(S260)를 수행하는 각 유닛을 블럭으로 표시하였다. 유리 기판(SB)은 열처리 유닛으로 제공되고, 열처리 유닛에서 열처리된 이후에 냉각 유닛과 세정 유닛을 거쳐 강화처리 유닛으로 전달되게 된다. 이후 강화된 유닛은 다시 냉각 유닛과 세정 유닛을 거쳐 표면처리 유닛으로 전달된다. 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법이 수행되는 열처리 유닛, 냉각 유닛, 세정 유닛, 강화처리 유닛 및 표면처리 유닛은 서로 분리된 독립적인 유닛들일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 각 유닛들이 서로 연동되어 동작될 수 있다. 또한, 일부 유닛들은 통합된 유닛으로 제공될 수도 있다.
도 5는 일 실시예의 유리 기판의 처리 단계에 따른 유리 기판의 온도 프로파일을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 5는 도 3에 도시된 일 실시예에서의 각 단계별로 유리 기판의 온도 프로파일을 나타낸 것일 수 있다. 한편, 도 5는 유리 기판의 온도 변화를 각 단계별로 도식적으로 나타낸 것으로서, 도면에 도시된 비율이 각 단계에서의 실제 공정 온도에 대하여 그대로 적용되는 것은 아니다.
도 5를 참조하면, 유리 기판을 제공하는 단계(S210)에서 유리 기판은 상온(RT)에서 제공될 수 있다. 제공되는 유리 기판은 알칼리 알루미노실리케이트 유리 또는 소다 라임 실리케이트 유리일 수 있다. 이후 유리 기판을 열처리하는 단계(S220)는 T1 온도에서 진행될 수 있다. 즉, 유리 기판의 온도는 유리 기판을 열처리하는 동안 T1으로 유지될 수 있다. 이때 T1 온도는 유리 기판의 왜점 온도 이상이고 유리 기판의 서냉점 온도 이하의 온도일 수 있다. 예를 들어, T1은 500 이상 550 이하일 수 있다. 예를 들어, T1 온도는 열처리하는 단계(S220)에서 유리 기판이 침지된 용융액의 온도일 수 있다. 한편, 유리 기판을 열처리하는 단계(S220) 이전에 유리 기판을 예열하는 단계가 더 포함될 수 있으며, 이때 예열하는 단계는 T1 온도보다 낮은 온도에서 수행될 수 있다. 예를 들어 예열하는 단계는 150 이상 300 이하에서 수행되는 것일 수 있다.
유리 기판을 냉각시키는 단계(S230)에서는 유리 기판의 온도가 T1으로부터 점차적으로 낮아질 수 있다. 예를 들어, 냉각시키는 단계(S230)는 유리 기판을 서냉하는 단계일 수 있다. 냉각시키는 단계(S230)는 상온에서 방치되어 진행되거나 또는 별도의 냉각 유닛에서 제어될 수 있다. 도 5의 도시를 참조하면, 냉각시키는 단계(S230)에서 유리 기판의 온도가 상온(RT) 까지 냉각되는 것으로 도시하였으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 유리 기판을 냉각시키는 단계(S230)에서는 상온보다 높은 온도까지 유리 기판이 냉각되도록 유리 기판의 냉각온도가 제어될 수 있다.
유리 기판을 강화하는 단계(S240)에서 유리 기판은 T2 온도로 유지될 수 있다. T2 온도는 T1 온도에 비하여 약 100 내지 약 150 낮을 수 있다. 예를 들어, T2 온도는 350 이상 500 이하일 수 있다. T2 온도는 유리 기판을 강화하는 강화 용융염의 온도일 수 있다. 도 5에서는 유리 기판을 강화하는 단계(S240)에서 온도가 T2로 유지되는 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 강화하는 단계(S240)에서 온도 T2는 변화될 수 있다. 예를 들어, 강화하는 단계(S240)가 다단 강화 단계로 진행되는 경우 각 강화 단계의 온도는 서로 상이하게 제어될 수 있다.
유리 기판을 강화하는 단계(S240) 이후에 유리 기판을 냉각시키는 단계(S250) 및 알루미늄염을 제공하여 유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)가 진행될 수 있다. 유리 기판을 냉각시키는 단계(S250)에서 유리 기판의 온도가 T2로부터 점차적으로 낮아질 수 있다. 예를 들어, 냉각시키는 단계(S250)는 유리 기판을 서냉하는 단계일 수 있다. 냉각시키는 단계(S250)는 상온에서 방치되어 진행되거나 또는 별도의 냉각 유닛에서 제어될 수 있다. 도 5의 도시를 참조하면, 냉각시키는 단계(S250)에서 유리 기판의 온도가 상온(RT) 까지 냉각되는 것으로 도시하였으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)에서 유리 기판의 온도는 T3 온도로 유지될 수 있다. T3 온도는 T2 온도보다 낮을 수 있다. 예를 들어, T3 온도는 150 이상 350 이하일 수 있다. T3 온도는 유리 기판의 표면 처리를 위한 알루미늄염의 온도일 수 있다. 도 5에서는 유리 기판을 표면처리하는 단계(S260)에서 온도가 T3로 유지되는 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 도 1에 도시된 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 대한 온도 프로파일은 따로 도시하지 않았으나, 상술한 도 1에 도시된 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 대한 온도 프로파일은 도 5에서 S210 단계에서 S240 단계의 온도 프로파일과 동일한 경향을 나타내는 것일 수 있다. 즉, 도 1의 유리 기판을 제공하는 단계(S110)는 도 5의 S210단계에 대응하고, 유리 기판을 강화하는 단계(S130)는 도 5의 S240단계에 대응하는 것일 수 있다. 또한, 사전 열처리 단계를 더 포함하는 경우 열처리하는 단계는 도 5의 S220 단계에 대응하는 것일 수 있다.
도 6은 도 1 또는 도 3에 도시된 일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의하여 가공된 유리 기판의 단면을 개략적으로 나타낸 것이다. 도 6에 도시된 유리 기판은 도 2에 도시된 표시 장치(DD)에서 커버 유리(CW)에 해당하는 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법에 의하여 처리된 커버 유리(CW)는 표면에 압축 응력층(CL)을 포함할 수 있다. 또한, 커버 유리(CW)에서 외부로 노출되는 최외각 표면에는 표면 처리층(STL)을 포함할 수 있다. 표면 처리층(STL)은 압축 응력층(CL)에 포함되며, 외부로 노출되는 층일 수 있다. 표면 처리층(STL)은 압축 응력층(CL) 중 알루미늄이 상대적으로 많이 포함된 층(Aluminum rich layer)일 수 있다.
예를 들어, 압축 응력층(CL)의 두께는 30㎛(30000nm) 이상 45㎛(45000nm) 이하이고, 표면 처리층(STL)의 두께는 70nm 이상 200nm 이하일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 강화 단계의 조건에 따라 압축 응력층(CL)의 두께가 달라질 수 있다. 또한, 표면 처리층(STL)의 두께는 알루미늄염의 처리 조건에 따라 달라질 수 있다. 한편, 도 6은 커버 유리(CW)의 일부분만을 도시하였으나, 압축 응력층(CL) 및 표면 처리층(STL)은 가공된 커버 유리(CW)의 표면에 모두 형성될 수 있다.
일 실시예의 유리 기판의 처리 방법은 유리 기판을 강화하는 단계에 알루미늄염을 포함하거나 또는 유리 기판을 강화하는 단계 이후에 알루미늄염으로 표면처리하는 단계를 포함하여 유리 기판의 강화 특성을 유지하면서 표면 경도를 개선할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
DD : 표시 장치 WP : 윈도우 부재
DP : 표시 패널 HAU : 하우징 부재
CW : 커버 유리 SB : 유리 기판
DP : 표시 패널 HAU : 하우징 부재
CW : 커버 유리 SB : 유리 기판
Claims (20)
- 유리 기판을 제공하는 단계; 및
상기 제공된 유리 기판에 혼합 용융염을 제공하여 상기 유리 기판을 강화하는 단계; 를 포함하고,
상기 혼합 용융염은 강화 용융염 및 알루미늄염을 포함하며,
상기 알루미늄염은 상기 강화 용융염 중량을 기준으로 100ppm 이상 1000ppm 이하로 포함된 유리 기판의 처리 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 알루미늄염은 질산알루미늄, 황산알루미늄 및 염화알루미늄 중 적어도 하나를 포함하는 것인 유리 기판의 처리 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 강화 용융염은 Li+, Na+, K+, Rb+ 및 Cs+로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나의 이온을 포함하는 단일염인 유리 기판의 처리 방법. - 삭제
- 제 1항에 있어서,
상기 강화하는 단계 이전에 상기 제공된 유리 기판을 열처리하는 단계를 더 포함하는 유리 기판의 처리 방법. - 제 5항에 있어서,
상기 열처리하는 단계는 상기 유리 기판의 왜점 온도 이상 상기 유리 기판의 서냉점 온도 이하에서 수행되는 것인 유리 기판의 처리 방법. - 제 5항에 있어서,
상기 열처리하는 단계는 상기 제공된 유리 기판을 용융액에 침지하여 열처리하는 단계인 유리 기판의 처리 방법. - 제 7항에 있어서,
상기 용융액은 알칼리질산염, 알칼리황산염 및 알칼리염화물 중 적어도 하나를 포함하는 것인 유리 기판의 처리 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 유리 기판은 SiO2를 50wt% 이상 80wt% 이하로 포함하고,
Al2O3을 3wt% 이상 20wt% 이하로 포함하며,
Na2O를 10wt% 이상 30wt% 이하로 포함하는 것인 유리 기판의 처리 방법. - 유리 기판을 제공하는 단계;
상기 제공된 유리 기판에 강화 용융염을 제공하여 상기 유리 기판을 강화하는 단계; 및
상기 강화된 유리 기판에 알루미늄염을 제공하여 표면처리하는 단계; 를 포함하는 유리 기판의 처리 방법. - 제 10항에 있어서,
상기 알루미늄염은 질산알루미늄, 황산알루미늄 및 염화알루미늄 중 적어도 하나를 포함하는 것인 유리 기판의 처리 방법. - 제 10항에 있어서,
상기 강화 용융염은 Li+, Na+, K+, Rb+ 및 Cs+로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나의 이온을 포함하는 단일염인 유리 기판의 처리 방법. - 제 10항에 있어서,
상기 강화 용융염은 제1 온도로 유지되고,
상기 알루미늄염은 제2 온도로 유지되며, 상기 제2 온도는 상기 제1 온도 이하인 유리 기판의 처리 방법. - 제 13항에 있어서,
상기 제2 온도는 상기 알루미늄염의 용융점 온도 이상이고, 상기 강화 용융염의 용융점 온도 이하인 유리 기판의 처리 방법. - 제 13항에 있어서,
상기 제1 온도는 350℃ 이상 500℃ 이하인 유리 기판의 처리 방법. - 제 13항에 있어서,
상기 제2 온도는 150℃ 이상 350℃ 이하인 유리 기판의 처리 방법. - 제 10항에 있어서,
상기 강화하는 단계 이전에 상기 제공된 유리 기판을 열처리하는 단계를 더 포함하는 유리 기판의 처리 방법. - 제 17항에 있어서,
상기 열처리하는 단계는 상기 제공된 유리 기판을 용융액에 침지하여 열처리하는 단계인 유리 기판의 처리 방법. - 제 17항에 있어서,
상기 열처리하는 단계는 500℃ 이상 550℃ 이하에서 수행되는 것인 유리 기판의 처리 방법. - 제 10항에 있어서,
상기 유리 기판은 SiO2를 50wt% 이상 80wt% 이하로 포함하고,
Al2O3을 3wt% 이상 20wt% 이하로 포함하며,
Na2O를 10wt% 이상 30wt% 이하로 포함하는 것인 유리 기판의 처리 방법.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160098611A KR102610962B1 (ko) | 2016-08-02 | 2016-08-02 | 유리 기판의 처리 방법 |
| US15/661,709 US10696585B2 (en) | 2016-08-02 | 2017-07-27 | Method of treating glass substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160098611A KR102610962B1 (ko) | 2016-08-02 | 2016-08-02 | 유리 기판의 처리 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20180015327A KR20180015327A (ko) | 2018-02-13 |
| KR102610962B1 true KR102610962B1 (ko) | 2023-12-08 |
Family
ID=61071831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020160098611A KR102610962B1 (ko) | 2016-08-02 | 2016-08-02 | 유리 기판의 처리 방법 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10696585B2 (ko) |
| KR (1) | KR102610962B1 (ko) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020096756A1 (en) * | 2018-11-08 | 2020-05-14 | Corning Incorporated | Metal halide treatment for glass substrate electrostatic charge reduction |
| KR20200085387A (ko) * | 2019-01-04 | 2020-07-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 윈도우 제조 방법 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2014189118A1 (ja) | 2013-05-24 | 2014-11-27 | 日本電気硝子株式会社 | 強化ガラス板の製造方法 |
| KR20150077089A (ko) | 2013-12-27 | 2015-07-07 | 엘지전자 주식회사 | 알루미노실리케이트 강화유리 제조용 조성물 및 이를 이용한 유리 강화 방법. |
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| KR102486323B1 (ko) | 2016-03-30 | 2023-01-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유리 기판의 처리 방법 |
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2016
- 2016-08-02 KR KR1020160098611A patent/KR102610962B1/ko active IP Right Grant
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2017
- 2017-07-27 US US15/661,709 patent/US10696585B2/en active Active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014501214A (ja) * | 2010-12-14 | 2014-01-20 | コーニング インコーポレイテッド | ガラス強化のための熱処理 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20180037497A1 (en) | 2018-02-08 |
| US10696585B2 (en) | 2020-06-30 |
| KR20180015327A (ko) | 2018-02-13 |
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