KR102604475B1 - 기판 이송용 핸드 - Google Patents

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Abstract

[과제] 기판에 대한 접점을 저감시키고, 그리고 기판을 강성이 높은 상태로 지지할 수 있는 기판 이송용 핸드를 제공한다. [해결 수단] 세로방향으로 연장되는 세로 핸드 지지부(20a)와, 해당 세로 핸드 지지부(20a)에 연결되어, 해당 세로 핸드 지지부(20a)가 연장되는 방향에 대해서 교차하는 방향으로 연장되는 복수개의 가로 핸드 지지부(31a, 32a)를 포함하되, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부(31a, 32a)는 복수의 제1 가로 핸드 지지부(31a)와, 복수의 제2 가로 핸드 지지부(32a)를 포함하고 있고, 상기 각각의 제1 가로 핸드 지지부(31a)는, 각각 해당 제1 가로 핸드 지지부(31a)가 연장되는 방향으로 나열되고, 상기 기판(SB)에 접할 수 있는 복수의 제1 접점(40A)을 구비하고, 해당 제1 접점(40A)의 최고 높이 위치는 제1 높이이며, 각각의 상기 제2 가로 핸드 지지부(32a)는, 각각 해당 제2 가로 핸드 지지부(32a)가 연장되는 방향으로 나열되고, 상기 기판(SB)에 접할 수 있는 복수의 제2 접점(40B)을 구비하고, 해당 제2 접점(40B)의 최고 높이 위치는 상기 제1 높이보다도 낮은 제2 높이이다.

Description

기판 이송용 핸드
본 발명은, 기판 이송용 핸드(substrate transfer hand)에 관한 것으로, 상세하게는, 대형인 동시에 박형의 기판을 이송하는데 알맞은 핸드에 관한 것이다.
최근의 반도체 제조 장치에서 제조되는 기판은, 점점 대형화 그리고 박형화하고 있다. 특허문헌 1에는, 이러한 대형화 그리고 박형화한 기판을 이송하기 위한 핸드가 제안되어 있다.
특허문헌 1에 기재된 핸드는, 세로 핸드 지지부와, 이 세로 핸드 지지부로부터 가로방향으로 연장되는 복수개의 가로 핸드 지지부를 구비하고, 이 핸드에 지지된 기판의 휨을 될 수 있는 한 적게 하도록 구성된 것이다.
그러나, 지지되는 기판의 휨이 적고, 수평상태를 유지하려고 하면, 세로 핸드 지지부와 가로 핸드 지지부의 쌍방에, 동일 높이의 지지 핀을 많이 설치할 필요가 있다.
이렇게 다수의 지지 핀으로 기판을 떠받칠 경우에는, 정전기방전(ESD)의 위험이 높아지고, 이것은, 기판에 대하여 프로세스 처리를 행하므로 바람직하지 못하다. 또한, 강성이 작은 기판을 다수의 지지 핀으로 수평상태로 지지하려고 하기 때문에, 외력이 작용했을 경우에 기판에 불필요한 진동이 생길 가능성이 있고, 이것도 기판에 대하여 프로세스 처리를 행하므로 바람직하지 못하다.
JP 4681029 B
본 발명은, 전술한 사정을 기초로 안출해낸 것으로, 기판에 대한 접점을 저감하고, 그리고 기판을 강성이 높은 상태로 지지할 수 있는 기판 이송용 핸드를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여 다음의 기술적 수단을 채용하였다.
즉, 본 발명에 의해 제공되는 기판 이송용 핸드는, 기판을 지지해서 이송하기 위한 기판 이송용 핸드로서, 세로방향으로 연장되는 세로 핸드 지지부로부터 해당 세로 핸드 지지부가 연장되는 방향에 대해서 교차하는 방향으로 연장되는 복수개의 가로 핸드 지지부를 포함하되, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부는 복수의 제1 가로 핸드 지지부와 복수의 제2 가로 핸드 지지부를 포함하고 있고, 상기 각 제1 가로 핸드 지지부는 각각 상기 기판에 접할 수 있는 1개 또는 복수개의 제1 접점을 구비하고, 해당 제1 접점의 최고 높이 위치는 제1 높이이며, 각각의 상기 제2 가로 핸드 지지부는 각각 상기 기판에 접할 수 있는 1개 또는 복수개의 제2 접점을 구비하고, 해당 제2 접점의 최고 높이 위치는 상기 제1 높이보다도 낮은 제2 높이인 것을 특징으로 한다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 제1 접점은 위쪽으로 돌출하는 핀의 꼭대기 부분에 의해 구성되고, 상기 제2 접점은 위쪽으로 돌출하는 핀의 꼭대기 부분에 의해 구성되어 있다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 제1 접점은 상기 제1 가로 핸드 지지부에 형성된 팽출부의 꼭대기 부분에 의해 구성되고, 상기 제2 접점은 상기 제2 가로 핸드 지지부에 형성된 팽출부의 꼭대기 부분에 의해 형성되어 있다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 제1 가로 핸드 지지부와 상기 제2 가로 핸드 지지부는, 상기 세로방향에 대해서 교대로 설치되어 있다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 각 제1 가로 핸드 지지부에 복수개 구비된 상기 복수의 제1 접점의 높이는 일정 높이이며, 각각의 상기 제2 가로 핸드 지지부에 복수개 구비된 상기 복수의 제2 접점 중 일부의 높이는 상기 제2 높이보다 낮다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 세로 핸드 지지부는 상기 기판에 접할 수 있는 복수의 제3 접점을 구비하고, 해당 제3 접점의 최고 높이 위치는 상기 제2 높이와 같거나 또는 더 높다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 세로 핸드 지지부를 복수개 구비한다.
바람직한 실시형태에서는, 좌우 방향으로 나열되는 1쌍의 세로 핸드 지지부를 구비한다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부는 각각의 상기 세로 핸드 지지부로부터 좌우 방향 바깥쪽으로 연장된다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부는, 각각의 상기 세로 핸드 지지부로부터 좌우 방향 안쪽으로 연장되는 상기 복수개의 가로 핸드 지지부가 연결되어 있다.
바람직한 실시형태에서는, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부는, 각각의 상기 세로 핸드 지지부로부터 좌우 방향 양방향으로 연장된다.
상기 구성의 기판 이송용 핸드에 따르면, 복수의 제1 가로 핸드 지지부 및 제2 가로 핸드 지지부가 갖는 기판에 접하는 접점 높이가 일정하지 않고, 제2 가로 핸드 지지부에 있어서의 제2 접점의 최고 높이 위치가 제1 가로 핸드 지지부에 있어서의 제1 접점의 높이보다도 낮게 하고 있다. 따라서, 기판은 의도적으로 휜 부분을 갖도록 해서 해당 핸드에 지지되는 것이 되고, 지지 상태에서의 기판의 강성은, 오히려 높아져, 지지 상태가 안정적이고, 불필요한 진동의 발생도 적어진다. 또한, 기판에 대한 접점의 수를 절감할 수 있으므로, 정전기방전(ESD)의 위험이 높아지는 것과 같은 일도 없다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드의 전체 사시도;
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도;
도 3은 도 1의 III-III선을 따른 단면도;
도 4는 도 1에 나타낸 기판 이송용 핸드의 사용예를 나타내는 사시도;
도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드의 전체 사시도;
도 6은 도 5의 VI-VI선 사시도;
도 7은 도 5의 VII-VII선을 따른 단면도;
도 8은 도 5의 VIII-VIII선을 따른 단면도;
도 9는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드의 전체 사시도;
도 10은 도 9의 X-X선 화살표 도면;
도 11은 도 9의 XI-XI선을 따른 단면도;
도 12는 도 9의 XII-XII선을 따른 단면도;
도 13은 본 발명의 제4 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드의 전체 사시도;
도 14는 도 13의 XIV-XIV선을 따른 단면도;
도 15는 도 14의 XV-XV선을 따른 단면도;
도 16은 도 13에 나타낸 기판 이송용 핸드의 변형예의 사시도;
도 17은 도 13에 나타낸 기판 이송용 핸드의 다른 변형예의 사시도;
도 18은 본 발명의 제5 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드의 전체 사시도;
도 19는 도 18의 XIX-XIX선을 따른 단면도;
도 20은 도 18의 XX-XX선을 따른 단면도;
도 21은 도 18에 나타낸 기판 이송용 핸드의 변형예의 사시도;
도 22는 도 18에 나타낸 기판 이송용 핸드의 다른 변형예의 사시도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 관하여, 도면을 참조해서 구체적으로 설명한다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1A)를 나타낸다.
이 기판 이송용 핸드(1A)는, 예를 들면, 1800㎜×1500㎜라는 대형의 유리 기판 등의 기판을 실어서 이것을 기판 수납 카세트에 출입시키거나, 혹은, 프로세스 챔버에 출입시키기 위해서 이용된다. 이 기판 이송용 핸드(1A)는 또한, 적당한 이동 수단에 지지되어서 소정 방향으로 이동된다. 예를 들면, 이 기판 이송용 핸드(1A)는, 다관절 로봇(RB)(도 4)의 엔드 이펙터로서, XYZ 방향으로 이동될 수 있는 동시에, Z축 둘레로도 회전된다.
기판 이송용 핸드(1A)는, 베이스부(10)와, 세로 핸드 지지부(20a)와, 각 세로 핸드 지지부(20a)에 연결된 복수개의 가로 핸드 지지부(31a, 32a)를 구비한다.
베이스부(10)는, 일정한 가로 폭을 갖는 수평 판 형상의 부재이며, 다관절 로봇(RB)(도 4) 등의 이동 수단에 부착된다. 세로 핸드 지지부(20a)는, 베이스부(10)로부터 세로방향으로 수평 직선 형상으로 연장되고, 본 실시형태에서는, 3개의 세로 핸드 지지부(20a)가 일정 간격을 두고 평행하게 연장되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이 세로 핸드 지지부(20a)는, 일정 폭과 일정 두께를 갖는 편평한 봉 형상의 부재이다. 각 세로 핸드 지지부(20a)에는, 세로 핸드 지지부(20a)가 연장되는 방향으로 교대로 위치하는 복수의 제1 가로 핸드 지지부(31a) 및 제2 가로 핸드 지지부(32a)가 연결되어 있다. 각 제1 가로 핸드 지지부(31a) 및 제2 가로 핸드 지지부(32a)는, 세로 핸드 지지부(20a)에 대하여 직교하는 수평방향으로 일정 길이를 구비하고, 그 길이 방향의 중앙부에 있어서, 세로 핸드 지지부(20a)에 연결되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이들 제1 가로 핸드 지지부(31a) 및 제2 가로 핸드 지지부(32a)는, 일정 폭과 일정 두께를 갖는 판 형상의 부재이다. 제1 가로 핸드 지지부(31a) 및 제2 가로 핸드 지지부(32a)는 또한, 세로 핸드 지지부(20a)의 길이 방향으로 등간격으로 구비되어 있다. 이들 베이스부재(10), 세로 핸드 지지부(20a), 제1 가로 핸드 지지부(31a) 및 제2 가로 핸드 지지부(32a)는, 경질수지, 세라믹스 또는 알루미늄 등의 금속으로 형성된다.
제1 가로 핸드 지지부(31a)는, 제2 가로 핸드 지지부(32a)에 대하여 소정 높이 h 상위에 위치한다(도 2). 본 실시형태에서는, 제1 가로 핸드 지지부(31a)를 세로 핸드 지지부(20a)에 대하여 그 상부면에 중첩시켜 연결하고, 제2 가로 핸드 지지부(32a)를 세로 핸드 지지부(20a)에 대해서 그 하부면에 중첩시켜 연결함으로써, 제1 가로 핸드 지지부(31a)와 제2 가로 핸드 지지부(32a)의 상하 방향의 높이의 차이를 제공하고 있다.
제1 가로 핸드 지지부(31a) 및 제2 가로 핸드 지지부(32a)에는, 각각 해당 기판 이송용 핸드(1A)에 실어야 할 기판(SB)에 대한 접점이 되는 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43)이 돌출 설치되어 있다. 이들 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43)은, 예를 들면, 수지나 고무 등으로 형성할 수 있지만, 어떤 적당한 탄성을 지니는 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 제1 가로 핸드 지지부(31a)에는, 3개의 핀(41a, 4lb, 41c)이 길이 방향 양단부와 중앙부의 3군데에 설치되어 있다. 중앙의 핀(41b)의 위치는, 세로 핸드 부재(20a)와 중첩된다. 이 3개의 핀(41a, 4lb, 41c)은, 같은 높이 치수를 구비하고 있고, 그 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제1 접점(40A)으로서 기능한다. 제2 가로 핸드 지지부(32a)에는, 2개의 핀(42, 43)이 길이 방향 양단부에 설치되어 있다. 2개의 핀(42, 43)은, 같은 높이 치수를 구비하고 있고, 그리고, 제1 가로 핸드 지지부(31a)에 구비된 핀(41a, 4lb, 41c)의 높이 치수와도 같다. 이 2개의 핀(42, 43)의 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제2 접점(40B)으로서 기능한다. 전술한 바와 같이, 제1 가로 핸드 지지부(31a)가 제2 가로 핸드 지지부(32a)보다 상위에 위치하는 것으로부터, 제1 접점(40A)의 높이 위치는, 제2 접점(40B)의 높이 위치보다도, 소정 높이 h 상위에 위치한다.
본 실시형태에서는, 세로 핸드 지지부(20a)에도, 핀(44)이 돌출 설치되어 있다. 이 핀(44)의 꼭대기 부분은, 제3 접점으로서 기능한다. 본 실시형태에서는, 각 제1 가로 핸드 지지부(31a)의 중앙에 구비된 핀(41b) 간을 3등분하는 세로 핸드 지지부재(20a) 위의 위치에, 해당 핀(44)이 돌출 설치되어 있다. 해당 핀(44) 자체는, 각 제1 가로 핸드 지지부(31a)에 구비된 핀(41a, 4lb, 41c) 및 제2 가로 핸드 지지부(32a)에 구비된 핀(42, 43)과 같은 높이 치수를 갖는 것이지만, 해당 핀(44)의 꼭대기 부분의 위치는, 제1 가로 핸드 지지부재(31a)의 두께분, 제1 가로 핸드 지지부재(31a)에 구비된 핀(41a, 4lb, 41c)의 꼭대기 부분 위치(제1 접점(40A))보다도 낮지만, 제2 가로 핸드 지지부재(32a)에 구비된 핀(42, 43)의 꼭대기 부분 위치(제2 접점(40B))보다도 높다.
다음에, 본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1A)의 작용에 대해서 설명한다.
도 4는 상기 기판 이송용 핸드(1A)를 이용해서 기판(SB)을 처리 장치(CH)의 기판 수취부(500)에 이송할 경우의 개략 구성을 나타낸다. 기판 수취부(500)는, 좌우의 지지부재(510)와, 이들 사이에 위치하는 2개의 중간지지부재(520)를 구비한다. 좌우의 지지부재(510)는, 세로지지부(511)와, 이 세로지지부(511)로부터 등간격으로 내부로 연장되는 복수개의 가로지지부(512)를 구비하는, 빗살 형상의 형태를 구비하고 있다. 2개의 중간지지부재(520)는, 세로지지부(521)와, 이 세로지지부(521)로부터 그 좌우 양측으로 연장되는 복수개의 가로지지부(522)를 구비한다. 좌우의 지지부재(510)와 중간지지부재(520) 사이, 그리고, 2개의 중간지지부재(520)의 사이의 공극(s1, s2, s3)은, 상기 기판 이송용 핸드(1A)가 상하 방향으로 통과할 수 있게 되어 있다. 또한, 좌우의 지지부재(510)와 2개의 중간지지부재(520)의 상부면에는, 기판(SB)에 접해서 이것을 지지할 수 있는 복수의 핀(525)이 돌출 설치되어 있다. 기판 이송용 핸드(1A)에 실려서 기판 수취부(500)의 상위로 진출된 기판(SB)은, 기판 이송용 핸드(1A)를 상기 공극(s1, s2, s3)을 통과시키도록 해서 기판 수취부(500)보다도 아래쪽으로 이동시키는 사이에, 기판 수취부(500) 상에 이송된다. 기판 수취부(500) 상에 이송된 기판(SB)은, 적당히 다음 공정에 제공된다.
본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1A) 상에 기판(SB)을 실은 상태에 있어서는, 제1 가로 핸드 지지부(31a) 및 제2 가로 핸드 지지부(32a)나 세로 핸드 지지부(20a)에 구비된 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단이 상기 기판(SB)에 접한다. 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단 위치, 즉, 기판(SB)에 대한 접점은, 상위에 위치하는 제1 접점(40A)과, 그것보다 저위의 제2 접점(40B)을 지니므로, 기판(SB)은, 의도적으로 휘게 한 상태에서 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 꼭대기 부분에 접해서 지지된다. 또한, 제1 접점(40A)을 구비하는 제1 가로 핸드 지지부(31a)와, 그것보다 저위의 제2 접점(40B)을 양단부에 구비하는 제2 가로 핸드 지지부(32a)는, 세로 핸드 지지부(20a)가 연장되는 방향에 있어서 교대로 구비되어 있으므로, 지지 상태에 있어서의 기판(SB)에는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 측면에서 보는 방향의 단면에 있어서도, 횡단면에 있어서도, 제각기 제2 가로 핸드 지지부(32a)의 선단부 부근이 저위가 되도록 휨 변형된 상태가 된다. 따라서, 이러한 휨 변형에 의해, 기판(SB)에는 소정의 강성이 부여되고, 기판 이송용 핸드(1A) 위에서의 배치 상태가 안정적이고, 해당 기판 이송용 핸드(1A)의 이동 시에 있어서 기판(SB)에 불필요한 진동이 발생하느 ㄴ것과 같은 일이 경감된다. 또한, 기판(SB)은, 비교적 적은 수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단에 의해 지지되므로, 정전기방전(ESD)의 위험이 높아지는 것과 같은 일도 없다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1B)를 나타낸다. 이들 도면에 있어서, 도 1 내지 도 4에 나타낸 제1 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1A)와 동일 또는 동등한 부재에는, 동일 또는 유사한 부호를 부여하고 있다.
기판 이송용 핸드(1B)는, 베이스부(10)와, 세로 핸드 지지부(20b)와, 각 세로 핸드 지지부(20b)에 연결된 복수개의 가로 핸드 지지부(31b, 32b)를 구비한다.
베이스부(10)는 일정한 가로 폭을 갖는 수평 판 형상의 부재이며, 다관절 로봇(RB) 등의 이동 수단에 부착된다. 세로 핸드 지지부(20b)는, 베이스부(10)로부터 세로방향으로 수평 직선 형상으로 연장되고, 본 실시형태에서는, 2개의 세로 핸드 지지부(20b)가 일정 간격을 두고 평행하게 연장되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이 세로 핸드 지지부(20b)는, 일정 폭과 일정 두께를 갖는 봉 형상의 부재이다. 각 세로 핸드 지지부(20b)에는, 세로 핸드 지지부(20b)가 연장되는 방향으로 교대로 위치하는 복수의 제1 가로 핸드 지지부(31b) 및 제2 가로 핸드 지지부(32b)가 연결되어 있다. 각 제1 가로 핸드 지지부(31b) 및 제2 가로 핸드 지지부(32b)는, 각 세로 핸드 지지부(20b)에 대하여 직교하는 수평방향에 일정 길이를 구비하고, 각 세로 핸드 지지부(20b)로부터 좌우 방향 바깥쪽으로 연장되도록 해서 연결되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이들 제1 가로 핸드 지지부(31b) 및 제2 가로 핸드 지지부(32b)는, 일정 폭과 일정 두께를 갖는 판 형상의 부재이다. 제1 가로 핸드 지지부(31b) 및 제2 가로 핸드 지지부(32b)는 또한, 세로 핸드 지지부(20b)의 길이 방향으로 등간격으로 구비되어 있다. 이들 베이스부재(20), 세로 핸드 지지부(20b), 제1 가로 핸드 지지부(31b) 및 제2 가로 핸드 지지부(32b)는, 경질수지, 세라믹스 또는 알루미늄 등의 금속으로 형성된다.
제1 가로 핸드 지지부(31b)는, 제2 가로 핸드 지지부(32b)에 대하여 소정 높이 h 상위에 위치한다(도 6). 본 실시형태에서는, 제1 가로 핸드 지지부(31b)는, 그의 기단부의 하부면 측을 L자 형상으로 삭제하고, 이 삭제부가 세로 핸드 지지부(20b)의 상부면(201b) 및 측면에 접하도록 해서 세로 핸드 지지부(20b)에 연결되어 있다. 따라서, 이 제1 가로 핸드 지지부(31b)의 상부면(311b)은, 세로 핸드 지지부(20b)의 상부면(201b)보다 상위가 된다(도 6, 도 8). 한편, 제2 가로 핸드 지지부(32b)는, 그 상부면(321b)이 세로 핸드 지지부(20b)의 상부면(201b)과 일치하도록 해서 세로 핸드 지지부(20b)에 연결되어 있다. 이것에 의해, 제1 가로 핸드 지지부(31b)의 상부면(311b)이 제2 가로 핸드 지지부(32b)의 상부면(321b)보다 상위가 된다.
제1 가로 핸드 지지부(31b) 및 제2 가로 핸드 지지부(32b)에는, 각각 해당 기판 이송용 핸드(1B)에 실어야 할 기판(SB)에 대한 접점이 되는 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43)이 돌출 설치되어 있다. 제1 실시형태에 대해서 전술한 것과 마찬가지로 이들 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43)은, 예를 들면, 수지나 고무 등으로 형성할 수 있지만, 어떤 적당한 탄성을 지니는 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 제1 가로 핸드 지지부(31b)에는, 3개의 핀(41a, 4lb, 41c)이 길이 방향 기단부와, 선단부와, 중앙부의 3군데에 설치되어 있다. 기단부의 핀(41a)의 위치는, 세로 핸드 지지부(20b)과 겹친다. 이 3개의 핀(41a, 4lb, 41c)은, 같은 높이 치수를 구비하고 있어, 그 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제1 접점(40A)으로서 기능한다. 제2 가로 핸드 지지부(32b)에는, 2개의 핀(42, 43)이 길이 방향 선단부와, 중앙부에 설치되어 있다. 또한, 제2 가로 핸드 지지부(32b)의 기단부에 인접하는 세로 핸드 지지부(20b)위로도, 핀(44)이 설치되어 있다. 해당 세로 핸드 지지부(20b) 상의 핀(44)과, 제2 가로 핸드 지지부(32b)의 선단의 핀(43)은, 같은 높이 치수를 갖는다. 또한, 이들 핀(43, 44)은, 제1 가로 핸드 지지부(31b)에 구비된 3개의 핀(41a, 4lb, 41c)과 같은 것이 이용되고 있고, 꼭대기 부분 높이 위치도 동일하다. 단, 전술한 바와 같이, 제2 가로 핸드 지지부(32b)는 제1 가로 핸드 지지부재(31b)보다도 소정 높이 h 저위이기 때문에, 상기 핀(43, 44)의 꼭대기 부분의 높이 위치는, 제1 가로 핸드 지지부(31b)에 구비된 핀(41a, 4lb, 41c)의 꼭대기 부분(제1 접점(40A))보다도 저위가 된다. 이 2개의 핀(43, 44)의 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제2 접점(40B)으로서 기능한다. 또, 본 실시형태에서는, 제2 가로 핸드 지지부(32b)의 중앙부에 구비된 핀(42)의 높이는, 상기 제2 접점(40B)을 구성하는 2개의 핀(43, 44)의 꼭대기 부분 높이보다도 낮게 되어 있다.
다음에, 본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1B)의 작용에 대해서 설명한다.
본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1B)위로 기판(SB)을 실은 상태에 있어서는, 제1 가로 핸드 지지부(31b) 및 제2 가로 핸드 지지부(32b)나 세로 핸드 지지부(20b)에 구비된 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단이 상기 기판(SB)에 접한다. 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단 위치, 즉, 기판(SB)에 대한 접점은, 상위에 위치하는 제1 접점(40A)과, 그것보다 저위의 제2 접점(40B)을 지니므로, 기판(SB)은, 의도적으로 휘게 한 상태에서 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 꼭대기 부분에 접해서 지지된다. 또한, 제1 접점(40A)을 구비하는 제1 가로 핸드 지지부(31b)와, 그것보다 저위의 제2 접점(40B)을 구비하는 제2 가로 핸드 지지부(32b)는, 세로 핸드 지지부(20b)가 연장되는 방향에 있어서 교대로 설치되어 있으므로, 해당 기판 이송용 핸드(1B)의 측면에서 볼 때는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 지지 상태에 있어서의 기판(SB)은, 파형으로 휜 변형된 상태가 된다. 또한, 2개의 세로 핸드 지지부(20b) 사이에는 간격이 형성되어 있고, 그리고 제2 가로 핸드 지지부(32b)를 따라 나열되는 3개의 핀(42, 43, 44) 중, 세로 핸드 지지부(20b) 상의 핀(44)과 제2 가로 핸드 지지부(32b)의 선단의 핀(43)에 대하여 중앙의 핀(42)의 꼭대기 부분 높이가 낮으므로, 제2 가로 핸드 지지부(32b)를 따르는 단면에 있어서도, 도 7에 나타낸 바와 같이, 파형으로 휜 변형된 상태가 된다. 따라서, 이러한 휨 변형에 의해, 기판(SB)에는 소정의 강성이 부여되고, 기판 이송용 핸드(1B) 상에서의 배치 상태가 안정적이고, 해당 기판 이송용 핸드(1B)의 이동 시에 있어서 기판(SB)에 불필요한 진동이 발생하는 것과 같은 일이 경감된다. 또한, 기판(SB)은, 비교적 적은 수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단에 의해 지지되므로, 정전기방전(ESD)의 위험이 높아지는 것과 같은 일도 없다.
도 9 내지 도 12는, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1C)를 나타낸다. 이들 도면에 있어서, 도 1 내지 도 4에 나타낸 제1 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1A)와 동일 또는 동등한 부재에는, 동일 또는 유사한 부호를 부여하고 있다.
기판 이송용 핸드(1C)는, 베이스부(10)와, 세로 핸드 지지부(20c)와, 각 세로 핸드 지지부(20c)에 연결된 복수개의 가로 핸드 지지부(31c, 32c)를 구비한다.
베이스부(10)는, 일정한 가로 폭을 갖는 수평 판 형상의 부재이며, 다관절 로보트 등의 이동 수단에 부착된다. 세로 핸드 지지부(20c)는, 베이스부(10)로부터 세로방향으로 수평 직선 형상으로 연장되고, 본 실시형태에서는, 2개의 세로 핸드 지지부(20c)가 일정 간격을 두고 평행하게 연장되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이 세로 핸드 지지부(20c)는, 일정 폭과 일정 두께를 갖는 봉 형상의 부재이다. 각 세로 핸드 지지부(20c)에는, 세로 핸드 지지부(20c)가 연장되는 방향으로 교대로 위치하는 복수의 제1 가로 핸드 지지부(31c) 및 제2 가로 핸드 지지부(32c)가 연결되어 있다. 각 제1 가로 핸드 지지부(31c) 및 제2 가로 핸드 지지부(32c)는, 각 세로 핸드 지지부(20c)에 대하여 직교하는 수평방향에 일정 길이를 구비하고, 각 세로 핸드 지지부(20c)로부터 좌우 방향 안쪽으로 연장되도록 해서 연결되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이들 제1 가로 핸드 지지부(31c) 및 제2 가로 핸드 지지부(32c)는, 일정 폭과 일정 두께를 갖는 판 형상의 부재이다. 제1 가로 핸드 지지부(31c) 및 제2 가로 핸드 지지부(32c)는 또한, 세로 핸드 지지부(20c)의 길이 방향으로 등간격으로 구비되어 있다. 이들 베이스부재(10), 세로 핸드 지지부(20c), 제1 가로 핸드 지지부(31c) 및 제2 가로 핸드 지지부(32c)는, 경질수지, 세라믹스 또는 알루미늄 등의 금속으로 형성된다.
제1 가로 핸드 지지부(31c)는, 제2 가로 핸드 지지부(32c)에 대해서 소정 높이 h 상위에 위치한다(도 10). 본 실시형태에서는, 제1 가로 핸드 지지부(31c)는, 그의 기단부의 하부면 측을 L자 형상으로 삭제하고, 이 삭제부가 세로 핸드 지지부(20c)의 상부면(201c) 및 측면에 접하도록 해서 세로 핸드 지지부(20c)에 연결되어 있다. 따라서, 이 제1 가로 핸드 지지부(31c)의 상부면(311c)은, 세로 핸드 지지부(20c)의 상부면(201c)보다 상위가 된다. 한편, 제2 가로 핸드 지지부(32c)는, 그 상부면(321c)이 세로 핸드 지지부(20c)의 상부면(201c)과 일치하도록 해서 세로 핸드 지지부(20c)에 연결되어 있다. 이것에 의해, 제1 가로 핸드 지지부(31c)의 상부면(311c)이 제2 가로 핸드 지지부(32c)의 상부면(321c)보다 상위가 된다.
제1 가로 핸드 지지부(31c) 및 제2 가로 핸드 지지부(32c)에는, 각각 해당 기판 이송용 핸드(1C)에 실어야 할 기판(SB)에 대한 접점이 되는 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)이 돌출 설치되어 있다. 제1 및 제2 실시형태에 대해서 전술한 바와 마찬가지로, 이들 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)은, 예를 들면, 수지나 고무 등으로 형성할 수 있지만, 임의의 적당한 탄성을 지니는 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 제1 가로 핸드 지지부(31c)에는, 3개의 핀(41a, 4lb, 41c)이 길이 방향 기단부와, 선단부와, 중앙부의 3군데에 설치되어 있다. 기단부의 핀(41a)의 위치는 세로 핸드 부재(20c)와 중첩된다. 이 3개의 핀(41a, 4lb, 41c)은, 같은 높이 치수를 지니고 있고, 그 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제1 접점(40A)으로서 기능한다. 제2 가로 핸드 지지부(32c)에는, 2개의 핀(42, 43)이 길이 방향 선단부와, 중앙부에 설치되어 있다. 또한, 제2 가로 핸드 지지부(32c)의 기단부에 인접하는 세로 핸드 지지부(20c) 위에도 핀(44)이 설치되어 있다. 해당 세로 핸드 지지부(20c) 상의 핀(44)과, 제2 가로 핸드 지지부(32c)의 선단의 핀(43)은 같은 높이 치수를 갖는다. 또한, 이들 핀(43, 44)은, 제1 가로 핸드 지지부(31c)에 구비된 3개의 핀(41a, 4lb, 41c)과 같은 것이 이용되고 있고, 높이 치수도 동일하다. 단, 전술한 바와 같이, 제2 가로 핸드 지지부(32c)는 제1 가로 핸드 지지부(31c)보다도 소정 높이 h 저위이기 때문에, 상기 핀(43, 44)의 꼭대기 부분의 높이 위치는, 제1 가로 핸드 지지부(31c)에 구비된 핀(41a, 4lb, 41c)의 꼭대기 부분(제1 접점(40A))보다도 저위가 된다. 이 2개의 핀(43, 44)의 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제2 접점(40B)으로서 기능한다. 또한, 본 실시형태에서는, 제2 가로 핸드 지지부(32c)의 중앙부에 구비된 핀(42)의 높이는, 상기 제2 접점(40B)을 구성하는 2개의 핀(43, 44)의 꼭대기 부분 높이보다도 낮게 하고 있다.
다음에, 본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1C)의 작용에 대해서 설명한다.
그런데, 본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1C) 상에 기판(SB)을 실은 상태에 있어서는, 각 가로 핸드 지지부(31c, 32c)나 세로 핸드 지지부(20c)에 구비된 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단이 상기 기판에 접한다. 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단 위치, 즉, 기판(SB)에 대한 접점은, 상위에 위치하는 제1 접점(40A)과, 그보다 저위의 제2 접점(40B)을 구비하므로, 기판(SB)은, 의식적으로 휜 상태에서 복수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 꼭대기 부분에 접해서 지지된다. 또한, 제1 접점(40A)을 구비하는 제1 가로 핸드 지지부(31c)와, 그것보다 저위의 제2 접점(40B)을 구비하는 제2 가로 핸드 지지부(32c)는, 세로 핸드 지지부(20c)가 연장되는 방향에 있어서 교대로 설치되어 있으므로, 해당 기판 이송용 핸드(1C)의 측면에서 볼 때는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 지지 상태에 있어서의 기판(SB)은, 파형으로 휘어 변형된 상태가 된다. 또한, 2개의 세로 핸드 지지부(20c)와, 그들에 연결된 가로 핸드 지지부(31c, 32c)의 선단부 간에는 간격이 형성되어 있고, 그리고 제2 가로 핸드 지지부(32c)를 따라서 나열되는 3개의 핀(42, 43, 44) 중, 세로 핸드 지지부(20ｃ) 상의 핀(44)과 제2 가로 핸드 지지부(32c)의 선단의 핀(43)에 대하여 중앙의 핀(42)의 꼭대기 부분의 높이가 낮으므로, 제2 가로 핸드 지지부(32c)를 따르는 단면에 있어서도, 도 11에 나타낸 것과 같이, 파형으로 휘어 변형된 상태가 된다. 따라서, 이러한 휨 변형에 의해, 기판(SB)에는 소정의 강성이 부여되고, 기판 이송용 핸드(1C) 상에서의 배치 상태가 안정적이고, 해당 기판 이송용 핸드(1C)의 이동 시에 있어서 기판(SB)에 불필요한 진동이 발생하는 것과 같은 일이 경감된다. 또한, 기판(SB)은, 비교적 적은 수의 핀(41a, 4lb, 41c, 42, 43, 44)의 선단에 의해 지지되므로, 정전기방전(ESD)의 위험이 높아지는 것과 같은 일도 없다.
도 13 내지 도 15는 본 발명의 제4 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D)를 나타낸다. 이들 도면에 있어서, 도 1 내지 도 4에 나타낸 제1 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1A)와 동일 또는 동등한 부재에는, 동일 또는 유사한 부호를 부여하고 있다.
기판 이송용 핸드(1D)는 베이스부(10)와, 세로 핸드 지지부(20d)와, 각 세로 핸드 지지부(20d)에 연결된 복수의 제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)를 구비한다.
베이스부(10)는 일정한 가로 폭을 갖는 수평판 형상의 부재이며, 다관절 로봇(RB) 등의 이동 수단에 부착된다. 세로 핸드 지지부(20d)는 베이스부(10)로부터 세로방향으로 수평 직선 형상으로 연장되고, 본 실시형태에서는, 3개의 세로 핸드 지지부(20d)가 일정 간격을 두고 평행하게 연장되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이 세로 핸드 지지부(20d)는 일정 폭과 일정 두께를 갖는 편평한 봉 형상의 부재이다. 각 세로 핸드 지지부(20d)에는 세로 핸드 지지부(20d)가 연장되는 방향으로 교대로 위치하는 복수의 제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)가 연결되어 있다. 각 제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)는, 세로 핸드 지지부(20d)에 대하여 직교하는 수평방향으로 일정 길이를 구비하고, 세로 핸드 지지부(20d)의 좌우 양측으로 연장되도록 하고, 해당 세로 핸드 지지부(20d)에 연결되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이들 제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)는, 일정 폭과 일정 두께를 갖는 판 형상의 부재이며, 그들의 상부면은 세로 핸드 지지부(20d)의 상부면과 면 일치하는 형상이다. 제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)는 또한 세로 핸드 지지부(20d)의 길이 방향으로 등간격으로 설치되어 있다. 이들 베이스부재(10), 세로 핸드 지지부(20d), 제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)는, 경질수지, 세라믹스 또는 알루미늄 등의 금속으로 형성된다. 또, 세로 핸드 지지부(20d)와 가로 핸드 지지부(31d, 32d)는 일체로 형성해도 된다.
제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)에는, 각각 해당 기판 이송용 핸드(1D)에 실어야 할 기판(SB)에 대한 접점이 되는 복수의 핀(41a, 4lb, 42, 43)이 돌출 설치되어 있다. 이들 핀(41a, 4lb, 42, 43)은, 예를 들면, 수지나 고무 등으로 형성할 수 있지만, 임의의 적당한 탄성을 지니는 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 세로 핸드 지지부(20d)의 길이 방향의 동일 위치로부터 좌우로 연장되는 제1 가로 핸드 지지부(31d)에는, 각각 선단부에 1개, 아울러 2개의 핀(41a, 41b)이 설치되어 있다. 이 2개의 핀(41a, 41b)은 같은 높이 치수를 구비하고 있고, 그 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제1 접점(40A)으로서 기능한다. 제1 가로 핸드 지지부(31d)와 교대로, 그리고 세로 핸드 지지부(20d)의 길이 방향의 동일 위치로부터 좌우로 연장되는 제2 가로 핸드 지지부(32d)에는, 각각 선단부에 1개, 아울러 2개의 핀(42, 43)이 설치되어 있다. 이들 핀(42, 43)은 같은 높이 치수를 구비하고 있지만, 상기 제1 가로 핸드 지지부(31d)에 구비된 핀(41a, 41b)의 높이 치수보다도 낮다. 이 2개의 핀(42, 43)의 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제2 접점(40B)으로서 기능한다. 따라서, 제1 접점(40A)의 높이 위치는, 제2 접점(40B)의 높이 위치보다도, 소정 높이 h 상위에 위치한다.
본 실시형태에서는, 세로 핸드 지지부(20d)의 상부면에도, 상기 각 핀(41a, 4lb, 42, 43)과 마찬가지로 수지나 고무 등으로 형성되는 핀(44)이 돌출 설치되어 있다. 이 핀(44)은, 그 꼭대기 부분이 제3 접점으로서 기능하고, 세로 핸드 지지부(20d)의 길이 방향으로 등간격으로 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 가로 핸드 지지부(31d)와 대응하는 위치와, 각 제1 가로 핸드 지지부(31d)의 대응 위치간을 3등분하는 위치에, 해당 핀(44)이 돌출 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이 핀(44)의 높이 치수는 일정하지만, 제1 가로 핸드 지지부(31d)에 구비되고, 제1 접점(40A)을 형성하는 핀(41a, 41b)보다도 높게 하고 있다.
다음에, 본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D)의 작용에 대해서 설명한다.
본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D) 상에 기판(SB)을 실은 상태에 있어서는, 제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)나 세로 핸드 지지부(20d)에 구비한 복수의 핀(41a, 4lb, 42, 43, 44)의 선단이 상기 기판(SB)에 접한다.
핀(41a, 4lb, 42, 43, 44)의 선단 위치, 즉, 기판(SB)에 대한 접점은, 상위에 위치하는 제1 접점(40A)와, 그것보다 저위의 제2 접점(40B)을 지니므로, 기판(SB)은, 의도적으로 휘게 한 상태로 복수의 핀(41a, 4lb, 42, 43, 44)의 꼭대기 부분에 접해서 지지된다. 또한, 제1 접점(40A)을 구비하는 제1 가로 핸드 지지부(31d)와, 그것보다 저위의 제2 접점(40B)을 양단부에 구비하는 제2 가로 핸드 지지부(32d)는, 세로 핸드 지지부(20d)가 연장되는 방향에 있어서 교대로 구비되어 있고, 그리고 세로 핸드 지지부(20d)에 구비되는 핀(44)(제3 접점)의 높이 치수는 제1 접점(40A)을 형성하는 핀(41a, 41b) 및 제2 접점을 형성하는 핀(42, 43)보다도 높으므로, 지지 상태에 있어서의 기판(SB)에는, 도 14 및 도 15에 나타낸 것 같이, 측면에서 보는 방향의 단면에 있어서도, 횡단면에 있어서도, 제2 가로 핸드 지지부(32d)의 선단부 부근이 저위가 되도록 휨 변형된 상태가 된다. 따라서, 이러한 휨 변형에 의해, 기판(SB)에는 소정의 강성이 부여되고, 기판 이송용 핸드(1D) 상에서의 배치 상태가 안정적이고, 해당 기판 이송용 핸드(1D)의 이동 시에 있어서 기판(SB)에 불필요한 진동이 발생하는 것과 같은 일이 경감된다. 또한, 기판(SB)은, 비교적 적은 수의 핀(41a, 4lb, 42, 43, 44)의 선단에 의해 지지되므로, 정전기방전(ESD)의 위험이 높아지는 것과 같은 일도 없다.
도 16은 상기 제4 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D)의 변형예(1Da)를 나타낸다. 제4 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D)에 있어서는, 세로 핸드 지지부(20d)에 구비되는 핀(44)의 높이를 일정하게 했지만, 해당 변형예에 따른 기판 이송용 핸드(1Da)에 있어서는, 이 핀(44)의 높이를 세로 핸드 지지부(20d)의 길이 방향에 대해서 다르게 하고, 예를 들면, 각 제1 가로 핸드 지지부(31d) 및 제2 가로 핸드 지지부(32d)와 대응하는 위치에 있는 핀(44)의 높이에 대해서, 이들 핀(44) 사이에 구비되는 핀(44')의 높이를 낮게 설정해도 된다.
이 기판 이송용 핸드(1Da)도 또한 측면에서 보는 방향의 단면에 있어서도, 횡단면에 있어서도, 제2 가로 핸드 지지부(32d)의 선단부 부근이 저위가 되도록 휨 변형된 상태가 되고, 상기 기판 이송용 핸드(1D)와 마찬가지 작용을 할 수 있다.
도 17은, 상기 제4 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D)의 다른 변형예(1Db)를 나타낸다. 제4 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D)에 있어서는, 제2 가로 핸드 지지부(32d)에 구비되는 핀(42, 43)은 모두 같은 높이 치수를 구비하고 있지만, 해당 변형예에 따른 기판 이송용 핸드(1Db)에 있어서는, 3개의 세로 핸드 지지부(20d') 중, 좌우 양측의 세로 핸드 지지부(20d')에 구비되는 가로 핸드 지지부(32d) 중, 좌우 방향 바깥쪽의 가로 핸드 지지부에 구비되는 핀(42a, 43a)의 높이 치수가 높고, 예를 들면 제1 가로 핸드 지지부(31d)에 구비되는 핀(41a, 41b)과 같개 되어 있다. 이 기판 이송용 핸드(1Db)도 또한 측면에서 보는 방향의 단면에 있어서도, 횡단면에 있어서도, 상기 핀(42, 43)을 구비하는 제2 가로 핸드 지지부(32d)의 선단부 부근이 저위가 되도록 휨 변형된 상태가 되고, 상기 기판 이송용 핸드(1D)와 마찬가지 작용을 할 수 있다.
도 18 내지 도 20은, 본 발명의 제5 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1E)를 나타낸다. 이들 도면에 있어서, 도 1 내지 도 4에 나타낸 제1 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1A)와 동일 또는 동등한 부재에는, 동일 또는 유사한 부호를 부여하고 있다.
기판 이송용 핸드(1E)는, 베이스부(10)와, 세로 핸드 지지부(20e)와, 각 세로 핸드 지지부(20e)에 연결된 복수의 제1 가로 핸드 지지부(31e) 및 제2 가로 핸드 지지부(32e)를 구비한다. 본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1E)는, 상기 제4 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D)와 전체 구성이 근사하고 있지만, 제1 접점(40A) 및 제2 접점(40B)을 형성하기 위한 구체적 구성이 다르다.
본 실시형태에 있어서 제1 가로 핸드 지지부(31e) 및 제2 가로 핸드 지지부(32e)는, 세로 핸드 지지부(20e)의 측면에서부터 좌우 방향으로 연장되는 봉(rod) 형상의 형태를 갖고 있다. 이 제1 가로 핸드 지지부(31e) 및 제2 가로 핸드 지지부(32e)는, 세로 핸드 지지부(30e)와 마찬가지로, 경질 수지, 세라믹스 또는 알루미늄 등의 금속으로 형성된다.
제1 가로 핸드 지지부(31e) 및 제2 가로 핸드 지지부(32e)의 선단부에는, 각각 해당 기판 이송용 핸드(1E)에 실어야 할 기판(SB)에 대한 접점이 되는 대직경부(41a', 4lb', 42', 43')가 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 이들 대직경부(41a', 4lb', 42', 43')는 구 형상을 하고 있다. 이들 대직경부(41a', 4lb', 42', 43')은, 제1 가로 핸드 지지부(31e) 및 제2 가로 핸드 지지부(32e)를 형성하는 재질에 의해 일체 형성할 수 있지만, 예를 들면, 수지나 고무 등, 탄성을 지니는 재질로 형성할 수도 있다. 제1 가로 핸드 지지부(31e)에 형성되는 대직경부(41a', 4lb')의 직경은 제2 가로 핸드 지지부(32e)에 형성되는 대직경부(42', 43')의 직경보다 크다. 따라서, 상기 대직경부(41a', 4lb')의 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제1 접점(40A)으로서 기능하고, 상기 대직경부(42, 43)의 꼭대기 부분이 본 발명에서 말하는 제2 접점(40B)으로서 기능하지만, 제1 접점(40A)의 높이 위치는, 제2 접점(40B)의 높이 위치보다도, 소정 높이 h 상위에 위치하게 된다. 또한, 본 실시형태에서는 제1 접점(40A) 및 제2 접점(40B)을 형성하기 위해서 대직경부(41a', 4lb', 42', 43')를 구비했지만, 위쪽 돌출부를 갖는 팽출부이면, 구체적 형태는 문제되지 않는다.
세로 핸드 지지부(20e)의 상부면에는, 제4 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1D)와 마찬가지로 해서, 꼭대기 부분이 제3 접점으로서 기능하는 핀(44)이 돌출 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서 이 핀(44)의 높이 치수는 일정하지만, 그 꼭대기 부분 위치는, 제1 가로 핸드 지지부(31e)에 구비되는 제1 접점(40A)보다도 높게 하고 있다.
다음에, 본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1E)의 작용에 대해서 설명한다.
본 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1E) 상에 기판(SB)을 실은 상태에 있어서는, 제1 가로 핸드 지지부(31e) 및 제2 가로 핸드 지지부(32e)에 구비된 대직경부(41a', 4lb', 42', 43')나 세로 핸드 지지부(20e)에 구비된 핀(44)의 꼭대기 부분이 상기 기판(SB)에 접한다. 기판(SB)에 대한 접점은, 상위에 위치하는 제1 접점(40A)과, 그보다 저위의 제2 접점(40B)을 지니므로, 기판(SB)은, 의도적으로 휘게 한 상태에서 대직경부(41a', 4lb', 42', 43') 및 핀(44)의 꼭대기 부분에 접해서 지지된다. 또한, 제1 접점(40A)을 구비하는 제1 가로 핸드 지지부(31e)와, 그보다 저위의 제2 접점(40B)을 양단부에 구비하는 제2 가로 핸드 지지부(32e)는, 세로 핸드 지지부(20e)가 연장되는 방향에 있어서 교대로 설치되어 있고, 그리고 세로 핸드 지지부(20e)에 구비되는 핀(44)(제3 접점)의 높이 치수는 제1 접점(40A)을 형성하는 대직경부(41a', 4lb') 및 제2 접점(40B)을 형성하는 대직경부(42', 43')의 각 꼭대기 부분보다도 높으므로, 지지 상태에 있어서의 기판(SB)에는, 도 19 및 도 20에 나타낸 바와 같이, 측면에서 보는 방향의 단면에 있어서도, 횡단면에 있어서도, 제2 가로 핸드 지지부(32e)의 선단부 부근이 저위가 되도록 휨 변형된 상태가 된다. 따라서, 이러한 휨 변형에 의해, 기판(SB)에는 소정의 강성이 부여되고, 기판 이송용 핸드(1E) 상에서의 배치 상태가 안정적이고, 해당 기판 이송용 핸드(1E)의 이동 시에 있어서 기판(SB)에 불필요한 진동이 발생하는 것과 같은 일이 경감된다. 또한, 기판(SB)은, 비교적 적은 수의 대직경부(41a', 4lb', 42', 43') 및 핀(44)의 꼭대기 부분에 의해 지지되므로, 정전기방전(ESD)의 위험이 높아지는 것과 같은 일도 없다.
도 21은 상기 제5 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1E)의 변형예(1Ea)를 나타낸다. 제5 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1E)에 있어서는, 세로 핸드 지지부(20e)에 구비되는 핀(44)의 높이를 일정하게 했지만, 해당 변형예에 따른 기판 이송용 핸드(1Ea)에 있어서는, 이 핀(44)의 높이를 세로 핸드 지지부(20e)의 길이방향에 대해서 다르게 하고, 예를 들면, 각 제1 가로 핸드 지지부(31e) 및 제2 가로 핸드 지지부(32e)와 대응하는 위치에 있는 핀(44)의 높이에 대해서, 이들 핀(44) 사이에 구비되는 핀(44')의 높이를 낮게 설정해도 된다. 이 기판 이송용 핸드(1Ea)도 또한 측면에서 보는 방향의 단면에 있어서도, 횡단면에 있어서도, 제2 가로 핸드 지지부(32e)의 선단부 부근이 저위가 되도록 휨 변형된 상태가 되고, 상기 기판 이송용 핸드(1E)와 마찬가지 작용을 할 수 있다.
도 22는 상기 제5 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1E)의 다른 변형예(1Eb)를 나타낸다. 제5 실시형태에 따른 기판 이송용 핸드(1E)에 있어서는, 제2 가로 핸드 지지부(32e)에 구비되는 대직경부(42', 43')는 모두 같은 직경을 갖고 있지만, 해당 변형예에 따른 기판 이송용 핸드(1Eb)에 있어서는, 3개의 세로 핸드 지지부(20e) 중, 좌우 양측의 세로 핸드 지지부(20e')에 구비되는 가로 핸드 지지부(32e) 중, 좌우 방향 바깥쪽의 가로 핸드 지지부에 구비되는 핀(42a', 43a')의 직경이 크고, 예를 들면 제1 가로 핸드 지지부(31e)에 구비되는 대직경부(41a', 4lb')의 직경과 같게 하고 있다. 이 기판 이송용 핸드(1Eb)도 또한 측면에서 보는 방향의 단면에 있어서도, 횡단면에 있어서도, 상기 핀 대직경부(42', 43')를 구비하는 제2 가로 핸드 지지부(32e)의 선단부 부근이 저위가 되도록 휨 변형된 상태가 되고, 상기 기판 이송용 핸드(1E)와 마찬가지 작용을 할 수 있다.
물론, 이 발명의 범위는 전술한 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 각 청구항에 기재한 범위 내에서의 모든 설계 변경은, 모두, 본 발명의 범위에 포함된다.
상기 각 실시형태에서는, 가로 핸드 지지부로서 제1 접점(40A)을 구비하는 제1 가로 핸드 지지부(31a, 3lb, 31c, 31d, 31e)와 제2 접점(40B)을 구비하는 제2 가로 핸드 지지부(32a, 32b, 32c, 32d, 32e)를 예시했지만, 1개 또는 복수개의 다른 접점을 구비하는 다른 가로 핸드 지지부를 구비해도 된다. 또 이 경우, 다른 가로 핸드 지지부에 다른 접점을 복수개 구비할 경우, 다른 접점의 높이는 같아도 되고, 다르게 해도 된다.
또한, 각 세로 핸드 지지부(20a, 20b, 20c, 20d, 20e) 및 각 가로 핸드 지지부(31a, 3lb, 31c, 31d, 31e, 32a, 32b, 32c, 32d, 32e)에 구비된 제1 접점(40A), 제2 접점(40B) 및 필요에 따라서 구비된 그 밖의 접점의 높이는, 이들 접점에 접해서 기판 이송용 핸드(1A, 1B, 1C, 1D, 1E)에 지지되는 기판(SB)에 의도적으로 생기게 하는 휨 정도를 근거로 해서 자유롭게 설정할 수 있다. 예를 들면, 상기 각 실시형태에서는, 제2 가로 핸드 지지부(32a, 32b, 32c, 32d, 32e)에 구비된 제2 접점(40B)이 가장 저위가 되도록 했지만, 세로 핸드 지지부(20a, 20b, 20c, 20d, 20e)에 구비된 제3 접점이 가장 저위가 되도록 해도 된다. 또한 상기 각 실시형태에서는, 각 제1 가로 핸드 지지부(31a, 3lb, 31c, 31d, 31e)의 제1 접점(40A)은 동일 높이인 예를 나타냈지만, 접점의 높이를 다르게 해도 된다.
어느 쪽이든, 제1 접점(40A) 및 제2 접점(40B)을 구비함으로써, 기판 이송용 핸드(1A, 1B, 1C, 1D, 1E)에 지지되는 기판(SB)에 의도적으로 휜 부분을 생기게 할 수 있는 구성은, 모두 본 발명의 범위에 포함된다.

Claims (11)

  1. 기판을 지지해서 이송하기 위한 기판 이송용 핸드(substrate transfer hand)로서,
    세로방향으로 연장되는 세로 핸드 지지부와, 해당 세로 핸드 지지부로부터 해당 세로 핸드 지지부가 연장되는 방향에 대해서 교차하는 방향으로 연장되는 복수개의 가로 핸드 지지부를 포함하되,
    상기 복수개의 가로 핸드 지지부는 복수의 제1 가로 핸드 지지부와, 복수의 제2 가로 핸드 지지부를 포함하고 있고,
    각각의 상기 제1 가로 핸드 지지부는, 각각 상기 기판에 접할 수 있는 1개 또는 복수개의 제1 접점을 구비하고, 해당 제1 접점의 최고 높이 위치는 제1 높이이며,
    각각의 상기 제2 가로 핸드 지지부는, 각각 상기 기판에 접할 수 있는 1개 또는 복수개의 제2 접점을 구비하고, 해당 제2 접점의 최고 높이 위치는 상기 제1 높이보다도 낮은 제2 높이이고,
    상기 제1 가로 핸드 지지부와 상기 제2 가로 핸드 지지부는 상기 세로방향에 대해서 교대로 설치되어 있고,
    상기 각 제1 가로 핸드 지지부에 복수개 구비된 상기 제1 접점의 높이는 일정 높이이며, 각각의 상기 제2 가로 핸드 지지부에 복수개 구비된 상기 제2 접점 중 일부의 높이는 상기 제2 높이보다 낮은, 기판 이송용 핸드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 접점은 위쪽으로 돌출하는 핀의 꼭대기 부분에 의해 구성되고, 상기 제2 접점은 위쪽으로 돌출하는 핀의 꼭대기 부분에 의해 구성되어 있는, 기판 이송용 핸드.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 접점은 상기 제1 가로 핸드 지지부에 형성된 팽출부의 꼭대기 부분에 의해 구성되고, 상기 제2 접점은 상기 제2 가로 핸드 지지부에 형성된 팽출부의 꼭대기 부분에 의해 형성되어 있는, 기판 이송용 핸드.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세로 핸드 지지부는 상기 기판에 접할 수 있는 복수의 제3 접점을 구비하고, 상기 제3 접점의 최고 높이 위치는 상기 제2 높이와 같거나 또는 더 높은, 기판 이송용 핸드.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세로 핸드 지지부를 복수개 구비하는, 기판 이송용 핸드.
  8. 제7항에 있어서, 좌우 방향으로 나열되는 1쌍의 세로 핸드 지지부를 구비하는, 기판 이송용 핸드.
  9. 제8항에 있어서, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부는 각각의 상기 세로 핸드 지지부로부터 좌우 방향 바깥쪽으로 연장되는, 기판 이송용 핸드.
  10. 제8항에 있어서, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부는 각각의 상기 세로 핸드 지지부로부터 좌우 방향 안쪽으로 연장되는, 기판 이송용 핸드.
  11. 제7항에 있어서, 상기 복수개의 가로 핸드 지지부는 각각의 상기 세로 핸드 지지부로부터 좌우 방향 양방향으로 연장되는, 기판 이송용 핸드.
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