KR102588108B1

KR102588108B1 - Glass plate manufacturing method and manufacturing device

Info

Publication number: KR102588108B1
Application number: KR1020177032221A
Authority: KR
Inventors: 유지 타카하시; 카즈히로 오노; 히로키 나카츠카; 하야토 오쿠
Original assignee: 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2015-09-11
Filing date: 2016-08-23
Publication date: 2023-10-12
Also published as: JP2017052679A; WO2017043306A1; CN107683265A; CN107683265B; JP6651127B2; KR20180053271A

Abstract

상부 구성체(10)의 하면(10a)과 급기구(22) 및 배기구(26)를 갖는 하부 구성체(11)의 상면(11a)을 대향시켜 배치하고, 대향하는 양면(10a, 11a)의 상호간에 형성되는 처리 공간(13)에서 급기구(22)로부터 분출되어서 배기구(26)로 흡입되는 처리 가스(5)에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판(3)의 하면(3a)에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 급기구(22)와 배기구(26)를 유리판 반송 방향(A)으로 이격해서 위치시키고, 하부 구성체(11)에 조립된 특정 반송 수단(9)이 유리판(3)을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판(3)의 반송에 제공되도록 하고, 특정 반송 수단(9)을 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 영역을 제외하고 배치한다.The lower surface 10a of the upper structure 10 and the upper surface 11a of the lower structure 11 having the supply port 22 and the exhaust port 26 are arranged to face each other, and the opposing surfaces 10a and 11a are disposed opposite to each other. An etching process is performed on the lower surface 3a of the glass plate 3, which is conveyed in the horizontal direction by the processing gas 5 that is ejected from the supply port 22 and sucked into the exhaust port 26 in the processing space 13 formed. In addition, the supply port 22 and the exhaust port 26 are positioned spaced apart in the glass plate transport direction A, and the specific transport means 9 assembled in the lower structure 11 supports the glass sheet 3 from below. To transport the glass plate 3, a specific transport means 9 is arranged excluding the area between the air supply port 22 and the exhaust port 26.

Description

Glass plate manufacturing method and manufacturing device

본 발명은 불화 수소 등의 처리 가스를 이용하여 유리판에 에칭 처리를 실시하는 공정을 갖는 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a glass plate and an apparatus for manufacturing the glass plate, which includes a step of etching the glass plate using a processing gas such as hydrogen fluoride.

주지한 바와 같이, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL디스플레이, 필드에미션 디스플레이 등에 대표되는 플랫 패널 디스플레이(FPD)나, 스마트폰, 태블릿형 PC 등의 모바일 기기, 그 밖의 각종 전자 디바이스 등에는 각종 판두께나 사이즈의 유리판이 조립되어 있다.As is well known, various types of panels are used in flat panel displays (FPDs) such as liquid crystal displays, plasma displays, organic EL displays, and field emission displays, mobile devices such as smartphones and tablet PCs, and various other electronic devices. Glass plates of different thicknesses and sizes are assembled.

이 종류의 최종 제품인 유리판을 제작하기 위한 근원이 되는 유리판의 제조공정에서는 정전기의 대전에서 기인하는 문제가 발생할 수 있다. 예를 들면, 작업대 상에 유리판을 두고 소정의 처리를 실시할 때는 정전기의 대전에서 기인해서 유리판이 작업면에 부착되는 사태가 발생할 수 있다. 그 때문에 소정의 처리를 끝낸 유리판을 작업대로부터 박리시킬 때에는 상기 유리판의 파손을 초래할 수 있다.Problems resulting from static electricity may occur in the manufacturing process of glass plates, which are the basis for manufacturing glass plates, the final product of this type. For example, when a glass plate is placed on a workbench and a predetermined process is performed, a situation may occur where the glass plate adheres to the work surface due to static electricity. Therefore, when a glass plate that has undergone predetermined processing is peeled off from a workbench, damage to the glass plate may occur.

이러한 문제의 대응책으로서, 불화 수소 등의 처리 가스를 유리판에 블로잉해서 에칭 처리를 실시하고, 상기 유리판의 표면을 조화(粗化)시킴으로써 상술의 정전기의 대전에서 기인하는 문제를 해결하고자 하는 시도가 추진되고 있다.As a countermeasure to this problem, an attempt has been made to solve the problem caused by the above-mentioned electrostatic charging by blowing a treatment gas such as hydrogen fluoride onto a glass plate, performing an etching treatment, and roughening the surface of the glass plate. It is becoming.

그 구체예로서, 특허문헌 1에 의하면, 일정한 반송 경로를 따라 반송되는 유리판이 처리 공간을 통과할 때에, 분출 노즐의 분출구로부터 분출되어서 흡인 노즐의 흡입구에 흡입되는 처리 가스에 의해, 상기 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시하는 것이 개시되어 있다.As a specific example, according to Patent Document 1, when a glass plate conveyed along a certain conveyance path passes through the processing space, the lower surface of the glass plate is caused by the processing gas that is ejected from the ejection port of the ejection nozzle and sucked into the inlet of the suction nozzle. It is disclosed that an etching process is performed.

상술하면, 동 문헌에 개시된 에칭 장치에서는 상부 구성체(상측의 구성부)의 하면과, 하부 구성체(하측의 구성부)의 상면의 상호 간에 반송 중의 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시하기 위한 처리 공간이 형성된다. 이 경우, 상부 구성체는 천정판에만 형성된다. 한편, 하부 구성체는 유리판의 반송 방향 후측(반송 경로의 상류측)에 배치된 분출 노즐과, 유리판의 반송 방향 전측(반송 경로의 하류측)에 배치된 흡인 노즐과, 이 양 노즐 사이에 개설된 저판을 일체화해서 형성된다. 그리고, 하부 구성체인 분출 노즐과 저판과 흡인 노즐의 각 상면이 면일상태가 된다. 따라서, 하부 구성체의 상면에, 처리 가스를 처리 공간에 분출하는 분출구와, 그것을 처리 공간으로부터 흡입하는 흡입구가 형성되어 있게 된다.In detail, in the etching device disclosed in this document, there is a processing space for etching the lower surface of the glass plate being transported between the lower surface of the upper structure (upper structural part) and the upper surface of the lower structural part (lower structural part). is formed In this case, the upper structure is formed only on the ceiling plate. On the other hand, the lower structure includes a jet nozzle disposed on the rear side of the glass plate in the conveyance direction (upstream side of the conveyance path), a suction nozzle disposed on the front side of the glass plate in the conveyance direction (downstream side of the conveyance path), and a device provided between these two nozzles. It is formed by integrating the base plate. And, the upper surfaces of the lower structure, the jet nozzle, the bottom plate, and the suction nozzle are in a flat state. Accordingly, a blowout port for blowing out the processing gas into the processing space and a suction port for sucking the processing gas from the processing space are formed on the upper surface of the lower structure.

또한, 이 에칭 장치는 처리 공간 내에서 유리판을 하방으로부터 지지해서 반송하는 반송 롤러를 갖는다. 이 반송 롤러는 하부 구성체에 조립되어 있다. 상술하면, 하부 구성체의 저판의 하방에, 유리판의 하면과 평행한 방향으로 또한 유리판 반송 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 롤러 축이 설치되고, 이 롤러 축의 축방향 복수 개소에 소정의 간격을 두고 반송 롤러가 설치된다. 그리고, 반송 롤러의 상단부가 저판의 구멍을 통해서 저판의 상면보다 상방으로 돌출함으로써 처리 공간내로 향한다. 따라서, 반송 롤러는 처리 공간 내에서 유리판을 하방으로부터 지지해서 반송하는 역할을 한다.Additionally, this etching device has a conveyance roller that supports and conveys the glass plate from below within the processing space. This conveyance roller is assembled to the lower structure. As described above, a roller shaft extending in a direction parallel to the lower surface of the glass plate and in a direction perpendicular to the direction of conveying the glass plate is provided below the bottom plate of the lower structure, and conveyance is performed at a plurality of locations in the axial direction of this roller shaft at predetermined intervals. Rollers are installed. Then, the upper end of the conveyance roller protrudes upward from the upper surface of the base plate through the hole in the base plate and is directed into the processing space. Therefore, the conveyance roller serves to support and convey the glass plate from below within the processing space.

국제공개 제 2011/105331호International Publication No. 2011/105331

그런데, 특허문헌 1에 개시된 에칭 장치에서는 하부 구성체의 상면에 형성된 분출구와 흡입구의 상호간 영역에 반송 롤러가 배치되어 있다. 이러한 반송 롤러의 배치 형태이면 분출구로부터 분출되어서 흡입구에 흡입되는 처리 가스의 흐름이 반송 롤러의 존재에 의해 교란되기 때문에, 유리판의 하면과 처리 가스의 반응이 불균일해진다. 그 때문에 유리판의 하면의 조화에 불균일이 발생한다고 하는 문제를 초래할 수 있다.However, in the etching device disclosed in Patent Document 1, a conveyance roller is disposed in the area between the ejection port and the suction port formed on the upper surface of the lower structure. In this arrangement of the conveying rollers, the flow of the processing gas ejected from the jet and sucked into the suction port is disturbed by the presence of the conveying roller, so the reaction between the lower surface of the glass plate and the processing gas becomes non-uniform. Therefore, a problem such as unevenness occurring in the alignment of the lower surface of the glass plate may occur.

이러한 문제를 회피하는 대책으로서, 유리판을 반송하기 위한 반송 롤러를 하부 구성체로부터 제거하고, 하부 구성체의 양측에 근접하는 위치로부터 각각 양측 외방을 향해서 반송 롤러를 배치하는 것이 고려된다. 그러나, 이러한 단순한 방법에서는 하부 구성체로부터 반송 롤러를 제거한 개소에서, 인접한 반송 롤러의 상호간 거리가 지나치게 길어지기 때문에, 이하에 나타내는 바와 같은 치명적인 문제가 발생한다.As a measure to avoid this problem, it is considered to remove the conveyance rollers for conveying the glass plate from the lower structure and to arrange the conveyance rollers toward the outside of both sides from positions close to both sides of the lower structure. However, in this simple method, the distance between adjacent conveyance rollers becomes too long at the location where the conveyance roller is removed from the lower structure, resulting in a fatal problem as shown below.

즉, 최근의 유리판의 박육화에 따라서, 유리판은 휘기 쉬워지기 때문에, 본래적으로는 인접한 반송 롤러의 상호간 거리를 짧게 할 필요성이 있다. 그럼에도 불구하고, 그러한 요청에 역행되는 결과가 된다. 그리고, 상술한 바와 같이, 하부 구성체의 양측에 근접해서 배치된 반송 롤러의 상호간 거리가 지나치게 길어짐으로써, 유리판에 휨이 발생한 경우에는 하부 구성체의 상면에 유리판의 하면이 접촉하는 등의 사태를 초래한다. 그 결과, 유리판의 하면에 대한 에칭 처리의 곤란화를 초래할 뿐만 아니라, 유리판의 하면의 손상, 또는 유리판의 원활한 반송의 저해 등을 초래할 수 있다. That is, with the recent thinning of glass plates, glass plates become more prone to bending, so there is a fundamental need to shorten the distance between adjacent conveyance rollers. Nevertheless, the result runs counter to such requests. And, as described above, when the distance between the conveying rollers disposed close to both sides of the lower structure becomes too long, and bending occurs in the glass plate, a situation such as the lower surface of the glass plate coming into contact with the upper surface of the lower structure occurs. . As a result, not only does the etching process for the lower surface of the glass plate become difficult, but it may also cause damage to the lower surface of the glass plate or hinder smooth transportation of the glass plate.

이상의 관점으로부터, 본 발명의 과제는 처리 공간 주변에서의 유리판의 반송 형태를 적절화함으로써 처리 공간에서 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시할 때에, 유리판의 하면 전역과 처리 가스의 반응을 균일화하여 유리판의 하면의 조화에 지장이 발생하지 않도록 하는 것이다.From the above viewpoint, the object of the present invention is to optimize the transport form of the glass plate around the processing space, so that when etching is performed on the lower surface of the glass plate in the processing space, the reaction of the entire lower surface of the glass plate and the processing gas is equalized, This is to ensure that the harmony of the lower surface is not disrupted.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명은 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과 상부 구성체의 하면을 대향시켜 배치하고, 대향하는 양면의 상호 간에 형성되는 처리 공간에서, 급기구로부터 분출되어서 배기구에 흡입되는 처리 가스에 의해 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러 급기구와 배기구를, 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시키고, 하부 구성체에 조립된 특정 반송 수단이 유리판을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판의 반송에 제공되도록 한 유리판의 제조 방법에 있어서, 특정 반송 수단이 급기구와 배기구의 상호간 영역을 제외해서 배치되어 있는 것에 특징이 있다. 여기서, 「수평 방향으로 반송되는 유리판」이란 유리판이 비경사 방향인 수평 방향으로 반송되는 경우뿐만 아니라, 유리판이 수평면에 대하여 상하로 30°이하의 각도로 경사한 방향으로 반송되는 경우도 포함한다(이하, 동일). 또한, 이들의 경우에 있어서의 유리판의 자세는 유리판이 반송 방향의 양측방에 대하여 비경사 상태가 되는 자세뿐만 아니라, 유리판이 반송 방향의 일측방으로부터 타방측에 대하여 30°이하의 각도로 경사 상태가 되는 자세도 포함한다(이하, 동일).The present invention, which was created to solve the above problem, arranges the upper surface of the lower structure having the supply opening and the exhaust opening to face the lower surface of the upper structure, and in the processing space formed between the two opposing surfaces, the water is ejected from the supply opening and discharges from the exhaust opening. In addition to performing an etching process on the lower surface of the glass plate that is conveyed in the horizontal direction by the process gas sucked into the glass plate, the supply port and exhaust port are located at a distance from each other in the direction of conveying the glass plate, and a specific conveyance means assembled in the lower structure moves the glass plate downward. A feature of the method of manufacturing a glass plate in which the glass plate is supported and provided for transportation is that a specific transportation means is disposed excluding the area between the supply port and the exhaust port. Here, the term “glass plate conveyed in the horizontal direction” includes not only the case where the glass plate is conveyed in the non-inclined horizontal direction, but also the case where the glass plate is conveyed in the inclined direction at an angle of 30° or less vertically with respect to the horizontal plane ( hereinafter, same). In addition, the posture of the glass plate in these cases is not only an attitude in which the glass plate is non-inclined to both sides of the conveyance direction, but also a state in which the glass plate is tilted at an angle of 30° or less from one side of the conveyance direction to the other side. Also includes the posture of becoming (hereinafter, the same).

이러한 구성에 의하면, 급기구로부터 상방을 향해서 분출되고, 또한 유리판의 하면을 따라서 유통해서 배기구에 흡입되는 처리 가스의 흐름은 특정 반송 수단에 의해 교란되지 않게 된다. 즉, 유리판을 하방으로부터 지지해서 유리판의 반송에 제공되는 특정 반송 수단은 처리 가스의 유통 경로로부터 벗어난 위치에 설치된다. 따라서, 처리 가스의 흐름을 방해하는 것이 없어지고, 처리 가스의 흐름이 도중에 변화되는 등의 사태가 발생할 수 없게 된다. 이것에 의해 유리판의 하면 전역과 처리 가스의 반응이 균일화되어서 유리판의 하면의 조화에 불균일이 발생하기 어려워진다. 게다가, 수평 방향으로 반송되는 유리판은 하부 구성체가 존재하는 위치에서 특정 반송 수단에 의해 하방으로부터 지지되기 때문에, 하부 구성체에 유리판의 지지 위치를 전혀 설치하지 않을 경우와 비교해서, 인접한 지지 위치 간의 거리를 짧게 할 수 있다. 이것에 의해 유리판이 박육이어도 에칭 처리가 실시되어 있는 유리판에 부당한 휨이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 유리판의 하면에 대한 에칭 처리의 적정화가 확보될 뿐만 아니라, 유리판의 하면의 손상 또는 유리판의 반송의 저해 등의 바람직하지 않은 경우가 회피된다.According to this configuration, the flow of the process gas, which is ejected upward from the supply port, circulates along the lower surface of the glass plate, and is sucked into the exhaust port, is not disturbed by the specific conveying means. That is, the specific transport means provided for transporting the glass sheet by supporting the glass sheet from below is installed in a position away from the distribution path of the processing gas. Accordingly, there is no obstruction to the flow of the processing gas, and situations such as the flow of the processing gas changing midway cannot occur. As a result, the reaction between the entire lower surface of the glass plate and the processing gas becomes uniform, making it difficult for unevenness to occur in the roughness of the lower surface of the glass plate. In addition, since the glass plate conveyed in the horizontal direction is supported from below by a specific conveyance means at the position where the lower structure exists, compared to the case where the support position of the glass plate is not provided at all on the lower structure, the distance between adjacent support positions is reduced. It can be short. As a result, even if the glass plate is thin, it is possible to suppress the occurrence of unreasonable bending in the glass plate on which the etching process has been performed. As a result, not only is optimization of the etching treatment for the lower surface of the glass plate ensured, but also undesirable cases such as damage to the lower surface of the glass plate or inhibition of transport of the glass plate are avoided.

상기의 방법에 있어서, 특정 반송 수단이 급기구와 배기구의 상호간 영역의 유리판 반송 방향 양측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the above method, it is preferable that specific transport means are arranged on both sides of the glass plate transport direction in the area between the supply port and the exhaust port.

이렇게 하면, 하부 구성체의 급기구측 및 배기구측의 쌍방에 특정 반송 수단이 배치되기 때문에, 양 특정 반송 수단의 이간 거리를 대폭 짧게 할 수 있다. 이것에 의해 양 특정 반송 수단에 의해 하방으로부터 지지되고 있는 유리판이 양 특정 반송 수단 간에서 자중에 의해 크게 휘는 사태가 확실하게 저지된다. 그 결과, 처리 가스에 의한 유리판의 하면에 대한 조화가 보다 한층 적정화된다.In this way, since the specific conveyance means is disposed on both the supply port side and the exhaust port side of the lower structure, the distance between the two specific conveyance means can be significantly shortened. This reliably prevents the glass plate supported from below by both specific conveyance means from being greatly bent due to its own weight between the two specific conveyance means. As a result, the harmony of the processing gas to the lower surface of the glass plate is further optimized.

이상의 방법에 있어서, 특정 반송 수단이 특정 반송 롤러인 것이 바람직하다.In the above method, it is preferable that the specific conveyance means is a specific conveyance roller.

이렇게 하면, 유리판을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판의 반송에 제공한다고 하는 특정 반송 수단의 역할을, 적확하게 달성하는 것이 가능해진다.In this way, it becomes possible to accurately achieve the role of the specific transport means of supporting the glass plate from below and providing it for transport of the glass plate.

이 경우의 방법에 있어서, 특정 반송 롤러가 유리판의 하면과 평행한 방향으로 또한 유리판 반송 방향과 직교하는 방향으로 복수 배열된 프리 롤러인 것이 바람직하다.In the method in this case, it is preferable that the specific conveyance rollers are free rollers arranged in plural numbers in a direction parallel to the lower surface of the glass plate and in a direction orthogonal to the glass plate conveyance direction.

이렇게 하면, 롤러의 구동 수단이 불필요하게 되기 때문에 하부 구성체로의 조립이 간소화된다.This simplifies assembly into the lower structure because the drive means for the roller becomes unnecessary.

이 경우의 방법에 있어서, 복수의 프리 롤러는 각각이 독립적으로 또한 각각이 상화 이격되어 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the method in this case, it is preferable that the plurality of free rollers are arranged independently and spaced apart from each other.

이렇게 하면, 프리 롤러의 소형화나 제작 용이화가 도모된다.In this way, miniaturization and ease of manufacture of the free roller are achieved.

이상의 방법에 있어서, 처리 공간에 유리판을 반출입시키기 위해 상부 구성체 및 하부 구성체의 외부에 배치된 반송 롤러를 갖고, 특정 반송 롤러의 지름이 반송 롤러의 지름보다 작은 것이 바람직하다. 이 경우, 반송 롤러의 지름은 특정 반송 롤러의 지름의 1.5배∼10배인 것이 바람직하고, 하한값이 2배이고 상한값이 4배인 것이 보다 바람직하다. 또한, 반송 롤러는 회전 구동력이 부여되는 구동 롤러인 것이 바람직하다.In the above method, it is preferable to have a conveyance roller disposed outside the upper structure and the lower structure to transport the glass plate into and out of the processing space, and for the diameter of the specific conveyance roller to be smaller than the diameter of the conveyance roller. In this case, the diameter of the conveyance roller is preferably 1.5 to 10 times the diameter of the specific conveyance roller, and more preferably the lower limit is 2 times and the upper limit is 4 times. Additionally, it is preferable that the conveyance roller is a drive roller to which a rotational driving force is applied.

이렇게 하면, 하부 구성체에 있어서의 특정 반송 롤러의 조립용 스페이스를 협소하게 할 수 있어 하부 구성체의 소형화가 도모된다.In this way, the space for assembling the specific conveyance roller in the lower structure can be narrowed, and miniaturization of the lower structure is achieved.

이상의 방법에 있어서, 특정 반송 롤러가 유리판 반송 방향으로 복수 배열됨과 아울러 반송 롤러가, 유리판 반송 방향으로 복수 배열되고, 특정 반송 롤러의 유리판 반송 방향에 있어서의 배열 피치가 반송 롤러의 유리판 반송 방향에 있어서의 배열 피치보다 작은 것이 바람직하다.In the above method, a plurality of specific transport rollers are arranged in the glass sheet transport direction, and a plurality of transport rollers are arranged in the glass sheet transport direction, and the arrangement pitch of the specific transport rollers in the glass sheet transport direction is in the glass sheet transport direction of the transport rollers. It is preferable that it is smaller than the array pitch of.

이렇게 하면, 인접한 반송 롤러 간에서 다소의 유리판의 휨을 허용할 수 있도록 한 후에 인접한 특정 반송 롤러 간에서 유리판의 휨을 엄격하게 저지할 수 있다. 이것에 의해 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시하지 않는 영역에서의 반송 롤러의 개수를 삭감한 후에 에칭 처리를 실시하는 영역에서의 특정 반송 롤러의 개수를 요구한 바와 같이 할 수 있다.In this way, after allowing some bending of the glass plate between adjacent conveying rollers, bending of the glass plate between specific adjacent conveying rollers can be strictly prevented. As a result, it is possible to reduce the number of conveyance rollers in the area where the etching process is not performed on the lower surface of the glass plate, and then specify the number of specific conveyance rollers in the area where the etching process is performed.

이상의 방법에 있어서, 급기구와 배기구의 상호간 영역에 대응하는 하부 구성체의 상면이 단일의 평면인 것이 바람직하다.In the above method, it is preferable that the upper surface of the lower structure corresponding to the mutual area between the supply opening and the exhaust opening is a single plane.

이렇게 하면, 처리 가스의 흐름이 하부 구성체의 상면에 의해 저해되는 사태도 생기기 어려워지기 때문에, 처리 가스에 의한 유리판의 하면의 조화가 보다 한층 적정화된다.In this way, it is difficult for the flow of the processing gas to be blocked by the upper surface of the lower structure, so the conditioning of the lower surface of the glass plate by the processing gas is further optimized.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 따른 장치는 급기구 및 배기구를 갖는 하부 구성체의 상면과 상부 구성체의 하면을 대향시켜 배치하고, 대향하는 양면의 상호간에 형성되는 처리 공간에서, 급기구로부터 분출되어서 배기구에 흡입되는 처리 가스에 의해, 수평 방향으로 반송되는 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시함과 아울러, 급기구와 배기구를 유리판 반송 방향으로 이격해서 위치시키고, 유리판을 하방으로부터 지지해서 상기 유리판의 반송에 제공되는 특정 반송 수단을 하부 구성체에 조립한 유리판의 제조 장치에 있어서, 특정 반송 수단이 급기구와 배기구의 상호간 영역을 제외해서 배치되어 있는 것에 특징이 있다.The device according to the present invention, which was created to solve the above problem, is arranged so that the upper surface of the lower structure having the supply opening and the exhaust opening is opposed to the lower surface of the upper structure, and in the processing space formed between the two opposing surfaces, from the supply opening. The processing gas that is blown out and sucked into the exhaust port performs an etching process on the lower surface of the glass sheet conveyed in the horizontal direction, and the supply port and exhaust port are positioned at a distance from each other in the glass sheet transport direction, and the glass sheet is supported from below to remove the glass sheet. A feature of the glass plate manufacturing apparatus in which the specific transport means provided for transport is assembled to the lower structure is that the specific transport means is arranged excluding the area between the supply port and the exhaust port.

이 유리판의 제조 장치는 상술의 본 발명에 따른 유리판의 제조 방법과 실질적으로 동일한 구성 요건을 구비하고 있다. 따라서, 이 장치에 관한 설명 사항도, 상술의 방법에 관한 설명 사항과 실질적으로 동일하게 되기 때문에, 여기에서는 그 설명을 생략한다.This glass plate manufacturing apparatus has substantially the same structural requirements as the glass plate manufacturing method according to the present invention described above. Accordingly, since the description of this device is substantially the same as the description of the above-mentioned method, the description is omitted here.

본 발명에 의하면, 처리 공간 주변에서의 유리판의 반송 형태가 적절화됨으로써 처리 공간에서 유리판의 하면에 에칭 처리를 실시할 때에, 유리판의 하면 전역과 처리 가스의 반응이 균일화되어 유리판의 하면의 조화에 지장이 발생하기 어려워진다.According to the present invention, the transport form of the glass plate around the processing space is optimized, so that when an etching treatment is performed on the lower surface of the glass plate in the processing space, the reaction of the entire lower surface of the glass plate and the processing gas is equalized, thereby ensuring harmony of the lower surface of the glass plate. It becomes difficult for disruption to occur.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 전체 개략적인 구성을 나타내는 종단 정면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 정면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 구성 요소인 급기구체 및 그 주변을 나타내는 확대 종단 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 구성 요소인 급기구의 주변 구조를 나타내는 요부 확대 종단 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 요부 구성을 나타내는 확대 종단 정면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a longitudinal front view showing the overall schematic configuration of a glass plate manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
Fig. 2 is an enlarged longitudinal front view showing the main structure of the glass plate manufacturing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
Fig. 3 is an enlarged longitudinal side view showing the main structure of the glass plate manufacturing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
Figure 4 is an enlarged longitudinal side view showing the air supply body and its surroundings, which are components of the glass plate manufacturing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
Fig. 5 is an enlarged longitudinal front view of a main part showing the surrounding structure of a water supply port, which is a component of the glass plate manufacturing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
Fig. 6 is an enlarged longitudinal front view showing the main structure of the glass plate manufacturing apparatus according to the second embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 유리판의 제조 방법 및 그 제조 장치에 대해서 첨부된 도면을 참조해서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the manufacturing method of the glass plate and its manufacturing apparatus which concern on embodiment of this invention are demonstrated with reference to the attached drawings.

<제 1 실시형태><First embodiment>

우선, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치의 전체 개략 구성을 설명한다. 도 1은 그 전체 개략 구성을 나타내는 종단 정면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는 도 1에 있어서의 지면과 직교하는 방향을 폭방향으로 한다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 유리판의 제조 장치(1)는 반입구(2a)로부터 챔버(2) 내에 반입한 유리판(3)을 수평 방향으로 반송하면서, 챔버(2) 내에 있어서의 유리판(3)의 반송 경로 상에 설치한 처리 에리어(4)에서, 처리 가스(5)로서의 불화 수소에 의해 에칭 처리를 실시하는 구성으로 하고 있다. 그리고, 에칭 처리 후의 유리판(3)은 반출구(2b)로부터 챔버(2) 외로 반출된다.First, the overall schematic structure of the glass plate manufacturing apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described. 1 is a longitudinal front view showing the overall schematic configuration. In addition, in the following description, the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1 is referred to as the width direction. As shown in the figure, the glass plate manufacturing device 1 horizontally conveys the glass plate 3 brought into the chamber 2 from the inlet 2a, while maintaining the glass plate 3 in the chamber 2. The etching process is performed using hydrogen fluoride as the processing gas 5 in the processing area 4 provided on the conveyance path. Then, the glass plate 3 after the etching process is carried out of the chamber 2 through the discharge port 2b.

챔버(2)는 그 외형이 폭방향으로 장척인 직방체 형상으로 형성되고, 그 내부 공간으로부터의 처리 가스(5)의 유출을 방지하고 있다. 그리고, 이 챔버(2)의 측벽부(2c)에 상술의 반입구(2a)와 반출구(2b)가 형성되어 있다. 또한, 챔버(2)의 재질은 처리 가스(5)(불화 수소)에 대한 내식성이 우수한 폴리염화비닐이다.The chamber 2 is formed in the shape of a rectangular parallelepiped whose outer shape is elongated in the width direction, and outflow of the processing gas 5 from its internal space is prevented. And the above-mentioned loading port 2a and loading port 2b are formed in the side wall portion 2c of the chamber 2. Additionally, the material of the chamber 2 is polyvinyl chloride, which has excellent corrosion resistance against the processing gas 5 (hydrogen fluoride).

처리 에리어(4)에는 수평 방향으로 반송되는 유리판(3)에 대하여, 처리 가스(5)를 블로잉함으로써 에칭 처리를 실시하기 위한 에칭 장치(6)가 배치되어 있다. 이 에칭 장치(6)는 챔버(2)의 천장벽(2d)과의 사이에 간극(7)이 형성되도록 챔버(2)의 저부(2e)에 설치되어 있다.In the processing area 4, an etching device 6 is disposed for etching the glass plate 3 conveyed in the horizontal direction by blowing the processing gas 5. This etching device 6 is installed at the bottom 2e of the chamber 2 so that a gap 7 is formed between it and the ceiling wall 2d of the chamber 2.

또한, 이 유리판의 제조 장치(1)는 챔버(2) 내외에 배치된 상대적으로 지름이 큰 복수의 반송 롤러(8)를 갖는다. 이들의 반송 롤러(8)는 폭방향을 따라 연장되는 장척상 롤러 샤프트(8a)의 축방향 복수 개소에 소정의 간격을 두고 장착되어 있다. 따라서, 이들의 반송 롤러(8)는 반송 경로를 따른 방향으로 복수 배치되어 있을 뿐만 아니라, 폭방향에도 복수 배치되어 있다. 그리고, 이들의 반송 롤러(8)의 모두 또는 일부에는 회전 구동력이 부여된다.Additionally, this glass plate manufacturing apparatus 1 has a plurality of conveying rollers 8 with relatively large diameters arranged inside and outside the chamber 2. These conveyance rollers 8 are mounted at a plurality of locations in the axial direction of the long roller shaft 8a extending along the width direction at predetermined intervals. Therefore, these conveyance rollers 8 are not only arranged in plurality in the direction along the conveyance path, but also in plurality in the width direction. And rotational driving force is provided to all or part of these conveyance rollers 8.

게다가, 이 유리판의 제조 장치(1)는 에칭 장치(6) 내에 배치된 상대적으로 지름이 작은 복수의 특정 반송 수단으로서의 특정 반송 롤러(9)를 갖는다. 이들의 특정 반송 롤러(9)도, 반송 경로를 따른 방향으로 복수 배치되어 있을 뿐만 아니라, 폭방향에도 복수 배치되어 있다. 그리고, 이들의 특정 반송 롤러(9)와, 상술의 반송 롤러(8)에 의하여 수평 방향으로 일직선 형상에 연장되는 반송 경로를 따라 유리판(3)을 반송하는 구성으로 되어 있다. 이 경우, 반송 롤러(8)의 지름은 특정 반송 롤러(9)의 지름의 1.5배∼10배인 것이 바람직하고, 2배∼4배인 것이 보다 바람직하다.In addition, this glass plate manufacturing apparatus 1 has a plurality of relatively small diameter specific transport rollers 9 disposed within the etching apparatus 6 as specific transport means. These specific conveyance rollers 9 are not only arranged in plural numbers in the direction along the conveyance path, but also arranged in plural numbers in the width direction. And, it is configured to convey the glass plate 3 along a conveyance path extending in a straight line in the horizontal direction by these specific conveyance rollers 9 and the above-mentioned conveyance roller 8. In this case, the diameter of the conveyance roller 8 is preferably 1.5 to 10 times the diameter of the specific conveyance roller 9, and more preferably 2 to 4 times.

도 1은 편의상, 챔버(2) 및 그 내부의 우측 단부와 좌측 단부를 도중에 파단하고 그 중앙부를 주로 해서 도시한 것이다. 그 때문에 도 1로부터는 상세하게는 파악할 수 없지만, 특정 반송 롤러(9)의 반송 방향에 있어서의 배열 피치는 반송 롤러(8)의 반송 방향에 있어서의 배열 피치보다 작다. 이 경우, 에칭 장치(6)는 반송 롤러(8)가 반송 방향으로 다수 배열되어 있는 중에서, 반송 방향에 있어서의 소정수의 반송 롤러(8)를 발취한 위치에 설치되어 있다. 그리고, 에칭 장치(6)에 조립되어 있는 특정 반송 롤러(9)의 반송 방향에 있어서의 배열수는 그 발취된 반송 롤러(8)의 반송 방향에 있어서의 배열수보다 많다.For convenience, Fig. 1 illustrates the chamber 2 and its interior with the right and left ends broken along the way and the central portion as the main portion. Therefore, although it cannot be seen in detail from FIG. 1, the arrangement pitch in the conveyance direction of the specific conveyance roller 9 is smaller than the arrangement pitch in the conveyance direction of the conveyance roller 8. In this case, the etching device 6 is installed at a position where a predetermined number of conveyance rollers 8 in the conveyance direction are removed from a plurality of conveyance rollers 8 arranged in the conveyance direction. And, the number of arrays in the transport direction of the specific transport rollers 9 assembled in the etching device 6 is greater than the number of arrays in the transport direction of the extracted transport rollers 8.

도 2는 에칭 장치(6)의 구성을 상세하게 설명하기 위한 확대 종단 정면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는 도 2에 있어서의 지면과 직교하는 방향을 폭방향으로 한다. 또한, 도 2에 나타내는 화살표 A 방향은 유리판(3)의 반송 방향이며, 이 화살표 A 방향을 단지 반송 방향이라 한다. 따라서, 도 2에 있어서의 좌측이 반송 방향 전측(반송 경로의 하류측)이고, 우측이 반송 방향 후측(반송 경로의 상류측)이다.FIG. 2 is an enlarged longitudinal front view for explaining the configuration of the etching device 6 in detail. In addition, in the following description, the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 2 is referred to as the width direction. In addition, the direction of arrow A shown in FIG. 2 is the conveyance direction of the glass plate 3, and this direction of arrow A is simply called the conveyance direction. Therefore, the left side in Fig. 2 is the front side in the conveyance direction (downstream side of the conveyance path), and the right side is the rear side in the conveyance direction (upstream side of the conveyance path).

도 2에 나타내는 바와 같이, 에칭 장치(6)는 상측에 배치된 상부 구성체(10)와 하측에 배치된 하부 구성체(11)를 갖고, 이 양 구성체(10, 11)는 폭방향의 양단에서 연결벽(12)에 의해 연결 일체화되어 있다. 그리고, 상부 구성체(10)의 하면(10a)과 하부 구성체(11)의 상면(11a)의 상호간에, 반송되는 유리판(3)의 하면에 대하여 처리 가스(5)에 의한 에칭 처리를 실시하기 위한 처리 공간(13)이 형성되어 있다. 또한, 상부 구성체(10) 및 하부 구성체(11)의 재질은 폴리염화비닐이다. 또한, 상부 구성체(10)와 하부 구성체(11)에는 처리 가스(5)에 의한 결로의 발생을 방지하기 위한 가열 부재(14)(예를 들면, 히터 등)가 내장되어 있다.As shown in Fig. 2, the etching device 6 has an upper member 10 disposed on the upper side and a lower member 11 disposed on the lower side, and these two members 10 and 11 are connected at both ends in the width direction. It is connected and integrated by the wall 12. And, between the lower surface 10a of the upper structure 10 and the upper surface 11a of the lower structure 11, an etching process is performed using the processing gas 5 on the lower surface of the glass plate 3 to be transported. A processing space 13 is formed. In addition, the material of the upper structure 10 and the lower structure 11 is polyvinyl chloride. In addition, the upper structure 10 and the lower structure 11 are equipped with a heating member 14 (for example, a heater, etc.) to prevent condensation from occurring due to the processing gas 5.

상부 구성체(10)는 1장의 평판 형상을 이루는 천장판(15)으로 구성되고, 이 천장판(15)의 하면, 즉 상부 구성체(10)의 하면(10a)은 단일의 평면이다. 따라서, 천장판(15)의 하면은 요철을 갖지 않는다. 즉, 천장판(15)은 폭방향(길이 방향)의 양단부만이 연결 벽(12)에 볼트 등으로 고정되어 있기 때문에, 천장판(15)의 하면(10a)에는 볼트 또는 볼트 구멍 등의 존재에 의한 요철이 형성되어 있지 않다. 그리고, 이 천장판(15)의 하면(10a)은 반송되는 유리판(3)의 하면(3a) 및 상면(3b)과 평행하다.The upper structure 10 is composed of a ceiling plate 15 in the shape of a single plate, and the lower surface of the ceiling plate 15, that is, the lower surface 10a of the upper structure 10, is a single plane. Therefore, the lower surface of the ceiling plate 15 has no unevenness. That is, since only both ends of the ceiling plate 15 in the width direction (longitudinal direction) are fixed to the connecting wall 12 with bolts, etc., the presence of bolts or bolt holes, etc. on the lower surface 10a of the ceiling plate 15 No irregularities are formed. And the lower surface 10a of this ceiling plate 15 is parallel to the lower surface 3a and the upper surface 3b of the glass plate 3 to be transported.

하부 구성체(11)는 평판 형상을 이루는 저판(16)과, 저판(16)의 반송 방향 후방부에 수직 하강 고정된 급기구체(17)와, 저판(16)의 반송 방향 전방부에 수직 하강 고정된 배기구체(18)로 구성된다. 저판(16)의 반송 방향 후방부에는 처리 공간(13)에 통하는 급기 구멍(19)이 형성됨과 아울러 급기구체(17)에는 급기 구멍(19)에 통하는 급기로(20)가 형성되어 있다. 따라서, 처리 가스(5)를 상방으로 안내하는 처리 공간(13)에 분출하기 위한 급기용 통로(21)는 급기 구멍(19)과 급기로(20)로 구성된다. 그리고, 이 급기용 통로(21)의 상단 개구부가 저판(16)의 상면, 즉 하부 구성체(11)의 상면(11a)에 형성된 급기구(22)가 된다. 또한, 급기 구멍(19)은 상부가 좁혀져서 통로 면적이 작게 된 급기 소구멍부(19a)를 갖고, 이 급기 소구멍부(19a)의 상단이 상술의 급기구(22)이다. 이 경우, 저판(16)의 상면(11a)은 천장판(15)의 하면(10a)과 평행하다.The lower structure 11 includes a flat bottom plate 16, a supply body 17 vertically lowered and fixed to the rear portion of the bottom plate 16 in the conveyance direction, and a vertically downward fixed portion to the front portion of the bottom plate 16 in the conveyance direction. It consists of an exhaust body (18). An air supply hole 19 leading to the processing space 13 is formed in the rear portion of the bottom plate 16 in the conveyance direction, and an air supply passage 20 leading to the air supply hole 19 is formed in the air supply body 17. Accordingly, the air supply passage 21 for ejecting the processing gas 5 into the processing space 13 for guiding the processing gas 5 upward is composed of an air supply hole 19 and an air supply passage 20. And, the upper opening of this air supply passage 21 becomes the air supply opening 22 formed on the upper surface of the bottom plate 16, that is, on the upper surface 11a of the lower structure 11. Additionally, the air supply hole 19 has a small air supply hole 19a whose upper part is narrowed to have a smaller passage area, and the upper end of this small air supply hole 19a is the above-mentioned air supply port 22. In this case, the upper surface 11a of the bottom plate 16 is parallel to the lower surface 10a of the top plate 15.

저판(16)의 반송 방향 전방부에는 처리 공간(13)에 통하는 배기 구멍(23)이 형성됨과 아울러 배기구체(18)에는 배기 구멍(23)에 통하는 배기로(24)가 형성되어 있다. 따라서, 처리 가스(5)를 처리 공간(13)으로부터 하방으로 흡입하여 회수하기 위한 회수용 통로(25)는 배기 구멍(23)과 배기로(24)로 구성된다. 그리고, 이 회수용 통로(25)의 상단 개구부가 하부 구성체(11)의 상면(11a)에 형성된 배기구(26)가 된다. 또한, 배기 구멍(23)은 상부가 좁혀져서 통로 면적이 작게 된 배기 소구멍부(23a)를 갖고, 이 배기 소구멍부(23a)의 상단이 상술의 배기구(26)이다. 그리고, 급기로(20)의 하단 및 배기로(24)의 하단은 챔버(2)의 저벽(2f)에 형성된 관통 구멍(27, 28)을 각각 통하여 챔버(2) 밖의 관로(도시 생략)로 통하고 있다.An exhaust hole 23 leading to the processing space 13 is formed in the front portion of the base plate 16 in the conveyance direction, and an exhaust passage 24 leading to the exhaust hole 23 is formed in the exhaust body 18. Accordingly, the recovery passage 25 for sucking and recovering the processing gas 5 downward from the processing space 13 is composed of an exhaust hole 23 and an exhaust passage 24. And, the upper opening of this recovery passage 25 becomes the exhaust port 26 formed in the upper surface 11a of the lower structure 11. Additionally, the exhaust hole 23 has a small exhaust hole portion 23a whose upper part is narrowed to have a smaller passage area, and the upper end of this small exhaust hole portion 23a is the exhaust port 26 described above. In addition, the lower end of the supply passage 20 and the lower end of the exhaust passage 24 are connected to a pipe (not shown) outside the chamber 2 through the through holes 27 and 28 formed in the bottom wall 2f of the chamber 2, respectively. It’s working.

저판(16)의 상부에는 유리판(3)을 하방으로부터 지지해서 유리판(3)의 반송에 제공되는 특정 반송 롤러(9)가 반송 방향의 복수 개소(도면예에서는 반송 방향의 2개소)에 조립되어 있다. 이들 특정 반송 롤러(9)는 하부 구성체(11)의 상부에 있어서의 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 영역을 제외하고 배치되어 있다. 상세하게는 이들 특정 반송 롤러(9)는 그 상호간 영역의 반송 방향 양측에 각각 배치되어 있다. 또한, 그 상호간 영역에 대응하는 하부 구성체(11)의 상면(11a)은 단일의 평면이다. 또한, 이 단일의 평면과, 하부 구성체(11)의 상면(11a)에 있어서의 급기구(22)보다 반송 방향 후측의 평면 및 배기구(26)보다 반송 방향 전측의 평면과는 면일상태가 되고 있다. 여기서, 처리 공간(13)은 엄밀하게는 상부 구성체(10)의 하면(10a)과 하부 구성체(11)의 상면(11a)의 사이에 있어서의 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 이격 범위내에 형성되는 공간이다. 따라서, 특정 반송 롤러(9)는 처리 공간(13) 내에 존재하지 않고 있다.On the upper part of the base plate 16, specific conveyance rollers 9 that support the glass plate 3 from below and are provided for conveyance of the glass plate 3 are assembled at a plurality of locations in the conveyance direction (two locations in the conveyance direction in the drawing example). there is. These specific conveying rollers 9 are arranged in the upper part of the lower body 11 except for the area between the supply port 22 and the exhaust port 26. In detail, these specific conveyance rollers 9 are respectively arranged on both sides of the conveyance direction in their mutual areas. Additionally, the upper surface 11a of the lower structure 11 corresponding to the mutual regions is a single plane. Moreover, this single plane and the plane on the upper surface 11a of the lower structure 11 on the rear side in the conveyance direction than the supply port 22 and the plane on the front side of the conveyance direction than the exhaust port 26 are in a state of being flush with each other. . Here, the processing space 13 is strictly defined as the space between the supply port 22 and the exhaust port 26 between the lower surface 10a of the upper structure 10 and the upper surface 11a of the lower structure 11. It is a space formed within the range. Accordingly, the specific conveying roller 9 is not present in the processing space 13.

도 3에 확대해서 나타내는 바와 같이, 반송 방향의 각각의 개소에 있어서 폭방향에 복수 배치된 특정 반송 롤러(9)는 각각이 독립적이고 또한 각각이 폭방향으로 상호 이격된 상태에서, 하부 구성체(11)의 상부에 조립되어 있다. 상술하면, 각특정 반송 롤러(9)는 프리 롤러이고, 회전 구동력이 부여되지 않는다. 그리고, 저판(16)의 상부에 폭방향으로 소정 간격을 두고 형성된 오목부(29)에, 각 특정 반송 롤러(9)의 롤러 축(9a)이 회전 가능하게 유지되어 있다. 본 실시형태에서는 각 특정 반송 롤러(9)의 상부만이 하부 구성체(11)의 상면(11a)으로부터 상방으로 돌출되고, 각 롤러 축(9a)은 하부 구성체(11)의 상면(11a)으로부터 상방으로 돌출되지 않는다.As shown enlarged in FIG. 3, a plurality of specific conveyance rollers 9 arranged in the width direction at each location in the conveyance direction are each independent and spaced apart from each other in the width direction, lower structure 11 ) is assembled at the top of the. As described above, each specific conveyance roller 9 is a free roller and is not provided with a rotational driving force. And the roller shaft 9a of each specific conveyance roller 9 is rotatably maintained in the recessed part 29 formed in the upper part of the base plate 16 at predetermined intervals in the width direction. In this embodiment, only the upper part of each specific conveyance roller 9 protrudes upward from the upper surface 11a of the lower structure 11, and each roller shaft 9a protrudes upward from the upper surface 11a of the lower structure 11. does not protrude.

도 4는 급기구체(17) 및 저판(16)을 급기용 통로(21)의 흐름 중심 축선을 포함하는 형태로 절단한 확대 종단 측면도이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 급기용 통로(21)는 급기구체(17)를 구성하는 제 1∼제 4 판재(17a, 17b, 17c, 17d)와 저판(16)의 반송 방향 후방부로 이루어지는 5층 구조체의 내부에 형성되어 있다. 최하층에 위치하는 제 1 판재(17a)에는 이 제 1 판재(17a)에 처리 가스(5)를 공급하기 위한 공급 유로(17aa)가 형성되어 있다. 그리고, 이 제 1 판재(17a)와 그 상방에 적층되는 제 2 판재(17b)를 포갬으로써 공급 유로(17aa)로부터 공급된 처리 가스(5)의 분기 유로(17ba)가 형성된다. 또한, 제 2 판재(17b)와 그 상방에 적층되는 제 3 판재(17c)를 포갬으로써 상기의 분기 유로(17ba)를 더 분기시키는 분기 유로(17ca)가 형성된다. 제 3 판재(17c)의 상방에 적층되는 제 4 판재(17d)에는 분기된 분기 유로(17ca)를 합류시키기 위한 공간(17da)이 형성된다. 또한, 제 4 판재(17d)에는 처리 가스(5)를 통과시키기 위한 다수의 관통 구멍(17db)이 형성된 다공판(17dc)이 부착된다. 최상층에 위치하는 저판(16)에는 처리 공간(13)에 처리 가스(5)를 분출시키기 위한 상술의 급기 소구멍부(19a)를 포함하는 급기 구멍(19)이 형성된다.Figure 4 is an enlarged longitudinal side view of the air supply body 17 and the bottom plate 16 cut into a shape including the flow center axis of the air supply passage 21. As shown in the figure, the air supply passage 21 has five layers consisting of the first to fourth plates 17a, 17b, 17c, and 17d constituting the air supply body 17 and the rear portion of the bottom plate 16 in the conveyance direction. It is formed inside the structure. A supply passage 17aa is formed in the first plate 17a located in the lowest layer to supply the processing gas 5 to the first plate 17a. Then, a branch flow path 17ba for the processing gas 5 supplied from the supply flow path 17aa is formed by overlapping the first plate 17a with the second plate 17b stacked above. Additionally, a branch flow path 17ca is formed that further branches the branch flow path 17ba by overlapping the second plate 17b with the third plate 17c stacked above. A space 17da for joining the branched branch passages 17ca is formed in the fourth plate 17d stacked above the third plate 17c. Additionally, a porous plate 17dc having a plurality of through holes 17db for passing the processing gas 5 is attached to the fourth plate 17d. In the bottom plate 16 located on the uppermost layer, an air supply hole 19 including the above-described air supply small hole portion 19a for blowing out the processing gas 5 into the processing space 13 is formed.

저판(16)의 반송 방향 후방부에 형성되어 있는 급기 구멍(19) 및 급기구(22)와, 저판(16)의 반송 방향 전방부에 형성되어 있는 배기 구멍(23) 및 배기구(26)는 모두 폭방향으로 장척의 슬롯 형상으로 형성된다. 이들 급기 구멍(19), 급기구(22), 배기 구멍(23) 및 배기구(26)의 폭방향 치수는 유리판(3)의 폭방향 치수보다 길게 되어 있다.The air supply hole 19 and air supply port 22 formed in the rear portion of the bottom plate 16 in the conveyance direction, and the exhaust hole 23 and exhaust port 26 formed in the front portion of the bottom plate 16 in the conveyance direction. They are all formed in a long slot shape in the width direction. The width direction dimensions of these air supply holes 19, air supply holes 22, exhaust holes 23, and exhaust holes 26 are longer than the width direction dimensions of the glass plate 3.

도 5는 저판(16)에 형성된 급기 구멍(19)의 상부를 구성하는 급기 소구멍부(19a)의 주변 구조를 나타내는 요부 확대 종단 정면도이다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 급기 소구멍부(19a)의 반송 방향 치수(L)는 상기 급기 소구멍부(19a)의 상하 방향 중간에 위치해서 폭방향으로 복수 설치된 스페이서(30)에 의해 일정 치수가 되도록 조절되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는 급기 소구멍부(19a)를 포함하는 급기 구멍(19)은 저판(16)을 반송 방향 후방부에서 분할한 각 분할 저판의 대향 끝면 사이의 간극이고, 이 간극의 크기가 스페이서(30)에 의해 조정되어 있다.Fig. 5 is an enlarged longitudinal front view of the main part showing the surrounding structure of the small air supply hole portion 19a constituting the upper part of the air supply hole 19 formed in the bottom plate 16. As shown in the figure, the conveyance direction dimension L of the small air supply hole 19a is maintained at a constant size by a plurality of spacers 30 provided in the width direction and positioned in the middle of the small air supply hole 19a in the vertical direction. It is regulated. That is, in the present embodiment, the air supply hole 19 including the small air supply hole 19a is a gap between the opposing end surfaces of each divided bottom plate that divides the bottom plate 16 in the rear portion in the conveyance direction, and the size of this gap is the spacer. It is adjusted by (30).

여기서, 급기 소구멍부(19a)에 있어서의 급기구(22)로부터 스페이서(30)까지의 깊이 치수(D)는 10∼100mm의 범위 내로 하는 것이 바람직하다. 이 깊이 치수(D)가 지나치게 짧으면, 스페이서(30)의 존재에 의해 급기 소구멍부(19a) 내의 처리 가스(5)의 흐름에 교란이 발생하고, 에칭 처리에 의한 유리판(3)의 하면(3a)의 조화에 불균일이 발생할 우려가 있다. 이에 대하여, 깊이 치수(D)가 지나치게 길면, 급기구(22)의 반송 방향 치수(L)를 미세 조절하는 것이 곤란하게 된다. 그 때문에 급기구(22)로부터 처리 공간(13)으로의 처리 가스(5)의 공급량이 과대 또는 과소가 되어서 유리판(3)의 하면(3a)을 소망의 표면 조도로 조화할 수 없을 우려가 있다. 따라서, 급기구(22)로부터 스페이서(30)까지의 깊이 치수(D)는 상기의 수치 범위내에 있는 것이 바람직하다.Here, the depth dimension D from the air supply opening 22 to the spacer 30 in the small air supply hole 19a is preferably within the range of 10 to 100 mm. If this depth dimension D is too short, the presence of the spacer 30 will cause disturbance in the flow of the processing gas 5 in the air supply small hole portion 19a, and the lower surface 3a of the glass plate 3 due to the etching process will occur. ) There is a risk that unevenness may occur in the coordination. On the other hand, if the depth dimension D is too long, it becomes difficult to finely adjust the conveyance direction dimension L of the air supply opening 22. Therefore, there is a risk that the supply amount of the processing gas 5 from the supply port 22 to the processing space 13 may be excessive or insufficient, making it impossible to adjust the lower surface 3a of the glass plate 3 to the desired surface roughness. . Therefore, it is desirable that the depth dimension D from the air supply opening 22 to the spacer 30 is within the above numerical range.

다음에, 이상의 구성을 구비한 유리판의 제조 장치(1)의 작용, 즉 유리판의 제조 방법에 관하여 설명한다.Next, the operation of the glass plate manufacturing apparatus 1 provided with the above structure, that is, the glass plate manufacturing method, will be explained.

도 2에 나타내는 바와 같이, 처리 공간(13)에 유리판(3)이 반송되어 있는 상태 하에서는 처리 공간(13)에서 처리 가스(5)가 하기와 같이 유통한다. 즉, 급기용 통로(21)에 유입된 처리 가스(5)는 급기구(22)로부터 상방(연직 상방)을 향해서 분출되고, 유리판(3)의 하면(3a)을 따라서 반송 방향 전측을 향해서 흐른 후, 배기구(26)로 흡입되어서 회수용 통로(25)를 통과해서 회수된다. 이 경우, 처리 가스(5)가 처리 공간(13)을 유통하는데 있어서, 처리 가스(5)의 유통 경로에는 특정 반송 롤러(9)가 존재하지 않는다. 그 때문에 처리 가스(5)의 흐름은 특정 반송 롤러(9)에 의해 교란되지 않게 된다. 즉, 특정 반송 롤러(9)는 처리 가스(5)의 유통경로로부터 벗어난 위치에 설치되어 있기 때문에, 처리 가스(5)의 흐름을 방해하는 경우가 없어지고, 처리 가스(5)의 흐름이 도중에 변화되는 등의 사태가 발생할 수 없게 된다. 이것에 의해 유리판(3)의 하면(3a) 전역과 처리 가스(5)의 반응이 균일화되어서 유리판(3)의 하면(3a)의 조화에 불균일이 발생하기 어려워진다. 또한, 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 영역에 대응하는 하부 구성체(11)의 상면(11a)은 단일의 평면으로 되어 있기 때문에, 처리 가스(5)는 보다 한층 원활하게 흐르고, 유리판(3)의 하면(3a) 전역과 처리 가스(5)의 반응의 균일화가 보다 한층 촉진된다.As shown in FIG. 2 , under the state in which the glass plate 3 is transported in the processing space 13, the processing gas 5 flows in the processing space 13 as follows. That is, the process gas 5 flowing into the air supply passage 21 is ejected upward (vertically upward) from the air supply opening 22, and flows toward the front in the conveyance direction along the lower surface 3a of the glass plate 3. Afterwards, it is sucked in through the exhaust port 26, passes through the recovery passage 25, and is recovered. In this case, when the processing gas 5 flows through the processing space 13, there is no specific conveying roller 9 in the distribution path of the processing gas 5. Therefore, the flow of the processing gas 5 is not disturbed by the specific conveying roller 9. In other words, since the specific conveyance roller 9 is installed in a position away from the distribution path of the processing gas 5, there is no case of obstructing the flow of the processing gas 5, and the flow of the processing gas 5 is stopped along the way. Things like change cannot occur. As a result, the reaction between the entire lower surface 3a of the glass plate 3 and the processing gas 5 becomes uniform, making it difficult for unevenness to occur in the roughness of the lower surface 3a of the glass plate 3. In addition, since the upper surface 11a of the lower structure 11 corresponding to the area between the supply port 22 and the exhaust port 26 is formed as a single plane, the processing gas 5 flows more smoothly and the glass plate The uniformity of the reaction between the entire lower surface 3a of (3) and the processing gas 5 is further promoted.

유리판(3)은 하부 구성체(11)의 상부에 조립된 한쌍의 특정 반송 롤러(9)에 의해 하방으로부터 지지되기 때문에, 인접한 지지 위치의 상호간 거리를 짧게 할 수 있다. 이것에 의해 유리판(3)이 박육(예를 들면, 판두께가 300㎛ 이하 또는 200㎛ 이하)이어도 에칭 처리가 실시되어 있는 유리판(3)에 부당한 휨이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 유리판(3)의 하면(3a)에 대한 에칭 처리의 적정화가 확보될 뿐만 아니라, 유리판(3)의 하면(3a)의 손상 또는 유리판(3)의 반송의 저해 등의 바람직하지 않은 경우가 회피된다.Since the glass plate 3 is supported from below by a pair of specific conveying rollers 9 assembled on the upper part of the lower structure 11, the distance between adjacent support positions can be shortened. As a result, even if the glass plate 3 is thin (for example, the plate thickness is 300 μm or less or 200 μm or less), it is possible to suppress the occurrence of undue bending in the etched glass plate 3. As a result, not only is optimization of the etching treatment for the lower surface 3a of the glass plate 3 secured, but also undesirable cases such as damage to the lower surface 3a of the glass plate 3 or inhibition of transportation of the glass plate 3. is avoided.

또한, 천장판(15)의 하면(10a)은 요철을 갖지 않는 단일의 평면으로 되어 있으므로 유리판(3)의 상면(3b)의 조화에 관해서도 불균일이 발생하기 어려워진다. 즉, 처리 가스(5)는 처리 공간(13)에서 유리판(3)의 상면(3b)측으로 돌아 들어가는 경우가 있다. 그 경우에, 천장판(15)의 하면(10a)에 요철이 존재하고 있으면, 이 요철에 의해 유리판(3)의 상면(3b)측으로 돌아 들어간 처리 가스(5)의 흐름에 교란이 발생하고, 유리판(3)의 상면(3b) 전역이 처리 가스(5)와 균일하게 반응하지 않게 된다. 그러나, 천장판(15)의 하면(10a)에 요철이 존재하지 않고 있으면, 이러한 바람직하지 않는 경우가 회피되어서 유리판(3)의 상면(3b)의 조화가 균일화된다.Additionally, since the lower surface 10a of the ceiling plate 15 is a single plane with no unevenness, it becomes difficult for unevenness to occur in the alignment of the upper surface 3b of the glass plate 3. That is, the processing gas 5 may return from the processing space 13 to the upper surface 3b side of the glass plate 3. In that case, if there are irregularities on the lower surface 10a of the ceiling plate 15, the irregularities cause disturbance in the flow of the processing gas 5 that returns to the upper surface 3b side of the glass plate 3, and the glass plate 3 The entire upper surface 3b of (3) does not react uniformly with the processing gas 5. However, if there are no irregularities on the lower surface 10a of the ceiling plate 15, such undesirable cases are avoided and the roughness of the upper surface 3b of the glass plate 3 becomes uniform.

<제 2 실시형태><Second Embodiment>

다음에, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치(그 제조 방법)에 관하여 설명한다. 또한, 이 제 2 실시형태의 설명에 있어서, 상기의 제 1 실시형태에서 이미 설명한 구성 요소에 대해서는 참조 도면에 동일한 부호를 부여하는 것으로 중복하는 설명을 생략하고, 여기에서는 제 1 실시형태와의 차이점에 대해서만 설명한다.Next, the glass plate manufacturing apparatus (its manufacturing method) according to the second embodiment of the present invention will be described. In addition, in the description of the second embodiment, the components already described in the first embodiment are given the same reference numerals in the reference drawings, thereby omitting overlapping descriptions, and here, the differences from the first embodiment are omitted. It only explains.

도 6에 나타내는 바와 같이, 이 제 2 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치(1)가 상기의 제 1 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치(1)와 상위하고 있는 점은 하부 구성체(11)의 상부에 있어서의 급기구(22)의 반송 방향 후측에만 특정 반송 롤러(9)가 조립되어 있는 점과, 하부 구성체(11)에 있어서의 반송 방향 전단부의 전측에 반송 롤러(8)가 근접해서 설치되어 있는 점이다. 따라서, 유리판(3)에 에칭 처리가 실시될 때에는 유리판(3)은 특정 반송 롤러(9)와 반송 롤러(8)에 의해 하방으로부터 지지된다.As shown in FIG. 6, the point where the glass plate manufacturing apparatus 1 according to this second embodiment differs from the glass plate manufacturing apparatus 1 according to the first embodiment is that the upper part of the lower structure 11 A specific conveyance roller 9 is assembled only on the rear side of the air supply port 22 in the conveyance direction, and a conveyance roller 8 is installed close to the front side of the lower structure 11 in the conveyance direction. There is a point. Therefore, when an etching process is performed on the glass plate 3, the glass plate 3 is supported from below by the specific conveyance roller 9 and the conveyance roller 8.

이 제 2 실시형태에 따른 유리판의 제조 장치(1)에 의하면, 하부 구성체(11)의 반송 방향 후측에만 존재하는 특정 반송 롤러(9)는 급기구(22)와 배기구(26)의 상호간 영역을 제외해서 배치되어 있다. 따라서, 특정 반송 롤러(9)가 처리 가스(5)의 흐름을 교란하는 경우가 없어지고, 유리판(3)의 하면(3a)의 조화에 불균일이 발생하기 어려워진다. 게다가, 이러한 위치에 특정 반송 롤러(9)가 조립되어 있으면, 하부 구성체(11)에 특정 반송 롤러(9)가 전혀 조립되어 있지 않는 경우에 비교해서 유리판(3)의 두개의 지지 위치의 상호간 거리를 짧게 할 수 있다. 따라서, 유리판(3)이 에칭 처리 시에 부당하게 휘는 것에 의한 상술의 문제는 발생하지 않는다.According to the glass plate manufacturing apparatus 1 according to this second embodiment, the specific conveyance roller 9 present only on the rear side in the conveyance direction of the lower structure 11 forms an area between the supply port 22 and the exhaust port 26. It is placed except. Therefore, there is no case where the specific conveyance roller 9 disturbs the flow of the processing gas 5, and it becomes difficult for unevenness to occur in the roughness of the lower surface 3a of the glass plate 3. Moreover, when the specific conveyance roller 9 is assembled at this position, the distance between the two support positions of the glass plate 3 is compared to the case where the specific conveyance roller 9 is not assembled at all on the lower body 11. can be shortened. Therefore, the above-mentioned problem caused by the glass plate 3 being unduly bent during the etching process does not occur.

또한, 상기의 제 2 실시형태에서는 급기구(22)의 반송 방향 후측에만 특정 반송 롤러(9)를 조립하도록 했지만, 배기구(26)의 반송 방향 전측에만 특정 반송 롤러(9)를 조립하도록 해도 된다.In addition, in the second embodiment described above, the specific conveyance roller 9 is installed only on the rear side of the air supply port 22 in the conveyance direction, but the specific conveyance roller 9 may be assembled only on the front side of the exhaust port 26 in the conveyance direction. .

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 유리판(3)의 반송 방향이 급기구(22)로부터 배기구(26)를 향하는 방향으로 되어 있지만, 이것과는 반대로 유리판(3)의 반송 방향이 배기구(26)로부터 급기구(22)를 향하는 방향이어도 동일하게 하여 본 발명을 적용할 수 있다.In addition, in the above first and second embodiments, the conveyance direction of the glass plate 3 is the direction from the supply port 22 toward the exhaust port 26, but contrary to this, the conveyance direction of the glass plate 3 is toward the exhaust port ( The present invention can be applied in the same way even in the direction from 26) to the air supply port 22.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 하부 구성체(11)의 상부에 있어서, 급기구(22)로부터 반송 방향 후측의 단부까지의 거리와, 배기구(26)로부터 반송 방향 전측의 단부까지의 거리가 짧으므로 그들의 부위에 하나의 특정 반송 롤러(9)를 조립하고 있는 것에 그친다. 그러나, 그들의 부위의 거리를 길게 하면, 그들의 부위에 복수의 특정 반송 롤러(9)를 각각 조립할 수도 있다.In addition, in the above first and second embodiments, in the upper part of the lower structure 11, the distance from the air supply port 22 to the rear end in the conveyance direction and the distance from the exhaust port 26 to the front end in the conveyance direction are short, so it is limited to assembling one specific conveyance roller 9 in their area. However, if the distance between these parts is lengthened, a plurality of specific conveyance rollers 9 can be assembled to each of these parts.

게다가, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 복수의 반송 롤러(8)의 모두 또는 일부를 회전 구동력이 부여되는 구동 롤러로 하고, 하부 구성체(11)에 조립되는 특정 반송 롤러(9)를 회전 구동력이 부여되지 않는 프리 롤러로 했지만, 이 특정 반송 롤러(9)는 회전 구동력이 부여되는 구동 롤러이어도 된다.In addition, in the above first and second embodiments, all or part of the plurality of conveyance rollers 8 are drive rollers to which rotational driving force is applied, and the specific conveyance roller 9 assembled to the lower structure 11 is provided with rotational driving force. Although the free roller is not provided, this specific conveyance roller 9 may be a drive roller to which a rotational driving force is provided.

또한, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 하부 구성체(11)에 조립되는 특정 반송 수단을 롤러(9)로 했지만, 이외에 롤러라 호칭되지 않는 회전체 등이어도 된다.In addition, in the above first and second embodiments, the specific conveying means assembled to the lower structure 11 is the roller 9, but other rotating bodies not called rollers may be used.

게다가, 이상의 제 1, 제 2 실시형태에서는 급기구체(17)와 배기구체(18)가 별체로 되어 반송 방향으로 서로 이격해서 배치되어 있지만, 이 양자(17, 18)는 일체화되어 있어도 된다.In addition, in the above first and second embodiments, the air supply body 17 and the exhaust body 18 are separate bodies and are arranged to be spaced apart from each other in the conveyance direction, but the two bodies 17 and 18 may be integrated.

1 : 유리판의 제조 장치 3 : 유리판
3a : 유리판의 하면 3b : 유리판의 상면
8 : 반송 롤러 9 : 특정 반송 수단(특정 반송 롤러)
10 : 상부 구성체 10a : 상부 구성체의 하면
11 : 하부 구성체 11a : 하부 구성체의 상면
13 : 처리 공간 15 : 천장판
16 : 저판 17 : 급기구체
18 : 배기구체 22 : 급기구
26 : 배기구1: Glass plate manufacturing device 3: Glass plate
3a: Bottom surface of glass plate 3b: Top surface of glass plate
8: Conveyance roller 9: Specific conveyance means (specific conveyance roller)
10: upper member 10a: lower surface of the upper member
11: lower structure 11a: upper surface of lower structure
13: processing space 15: ceiling plate
16: bottom plate 17: air supply body
18: exhaust body 22: supply port
26: exhaust port

Claims

The upper surface of the lower structure having a supply port and an exhaust port are disposed so as to face each other, and the processing gas is ejected from the supply port and sucked into the exhaust port in a processing space formed between the two opposing surfaces in a horizontal direction. In addition to performing an etching treatment on the lower surface of the glass plate to be transported, the air supply port and the exhaust port are positioned spaced apart from each other in the direction of transporting the glass sheet, and a specific transport means assembled to the lower structure supports the glass sheet from below to support the glass sheet. In the method of manufacturing a glass plate provided for the conveyance of,
The specific conveyance means is an area excluding the area between the air supply port and the exhaust port, and is disposed at one location on both sides of the glass sheet transportation direction or at one location on one side of the glass plate transportation direction in the region between the air supply port and the exhaust port. A method of manufacturing a glass plate, characterized in that:

According to claim 1,
A method for manufacturing a glass plate, wherein the specific conveyance means is a specific conveyance roller.

According to claim 2,
A method of manufacturing a glass plate, wherein the specific conveyance roller is a plurality of free rollers arranged in a direction parallel to the lower surface of the glass plate and perpendicular to the direction of conveying the glass plate.

According to claim 3,
A method of manufacturing a glass plate, wherein the plurality of free rollers are arranged independently and spaced apart from each other.

According to any one of claims 2 to 4,
A method of manufacturing a glass plate, characterized in that it has a conveyance roller disposed outside the upper structure and the lower structure for carrying the glass plate into and out of the processing space, and wherein the diameter of the specific conveyance roller is smaller than the diameter of the conveyance roller.

According to claim 5,
The specific conveyance rollers are arranged in plural numbers in the glass sheet conveyance direction, and the plurality of conveyance rollers are arranged in the glass sheet conveyance direction, and the arrangement pitch of the specific conveyance rollers in the glass sheet conveyance direction is the same as that of the conveyance rollers in the glass sheet conveyance direction. A method of manufacturing a glass plate, characterized in that it is smaller than the array pitch.

The method according to any one of claims 1 to 4,
A method of manufacturing a glass plate, wherein the upper surface of the lower structure corresponding to the area between the air supply port and the exhaust port is a single plane.

The upper surface of the lower structure having a supply port and an exhaust port are disposed so as to face each other, and the processing gas is ejected from the supply port and sucked into the exhaust port in a processing space formed between the two opposing surfaces in a horizontal direction. In addition to performing an etching treatment on the lower surface of the glass plate to be transported, the air supply port and the exhaust port are positioned at a distance from each other in the direction of transporting the glass sheet, and the specific transport means provided for transporting the glass sheet by supporting the glass sheet from below is provided as described above. In the apparatus for manufacturing a glass plate assembled on a lower structure,
The specific conveyance means is an area excluding the area between the air supply port and the exhaust port, and is disposed at one location on both sides of the glass sheet transportation direction or at one location on one side of the glass plate transportation direction in the region between the air supply port and the exhaust port. A glass plate manufacturing device characterized in that:

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