KR102586840B1 - Semiconductor line robot cleaner composition - Google Patents

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KR102586840B1
KR102586840B1 KR1020230050042A KR20230050042A KR102586840B1 KR 102586840 B1 KR102586840 B1 KR 102586840B1 KR 1020230050042 A KR1020230050042 A KR 1020230050042A KR 20230050042 A KR20230050042 A KR 20230050042A KR 102586840 B1 KR102586840 B1 KR 102586840B1
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Abstract

The present invention relates to a semiconductor line robot cleaning composition. The semiconductor line robot cleaning composition according to one embodiment of the present invention comprises ethanol, citric acid, DL-malic acid, a grapefruit seed extract, and purified water, which are included at a weight ratio of 0.5 to 1.5 parts by weight of ethanol, 0.5 to 1.5 parts by weight of citric acid, 0.1 to 0.3 parts by weight of DL-malic acid, 0.1 to 1 part by weight of a grapefruit seed extract, and 80 to 120 parts by weight of purified water. The semiconductor line robot cleaning composition according to various embodiments of the present invention is applied to a clean room floor or various equipment in a semiconductor factory. The semiconductor line robot cleaning composition is not irritating to the human body, has excellent deodorizing and sterilizing properties, and has excellent cleaning power to remove contaminants.

Description

반도체 라인 로봇 세정제 조성물{SEMICONDUCTOR LINE ROBOT CLEANER COMPOSITION}Semiconductor line robot cleaning composition {SEMICONDUCTOR LINE ROBOT CLEANER COMPOSITION}

본 발명은 반도체 라인 로봇 세정제 조성물에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공장의 클린룸(Clean Room) 바닥 또는 각종 장비에 적용되어 인체에 자극적이지 않을 뿐만 아니라 탈취력과 살균력이 우수하며 오염물을 제거하는 세정력이 우수한 반도체 라인 로봇 세정제 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor line robot cleaning composition. More specifically, it is applied to the clean room floor or various equipment in a semiconductor factory and is not only non-irritating to the human body, but also has excellent deodorizing and sterilizing properties and has a cleaning power to remove contaminants. This relates to an excellent semiconductor line robot cleaning composition.

일반적으로 반도체, 전자, 자동차, 정밀부품 등의 산업분야에서, 소재, 부품의 가공 및 표면처리시 유분과 이물질을 제거하거나, 산업용 부품이나 설비에 발생한 오염을 제거하기 위한 목적으로 세정제가 사용되고 있다.Generally, in industrial fields such as semiconductors, electronics, automobiles, and precision parts, detergents are used to remove oil and foreign substances during processing and surface treatment of materials and parts, or to remove contamination occurring in industrial parts or equipment.

예를 들어, 반도체 및 FPD(Flat Panal Display) 제조 공정에서는 물속에 녹아 있는 유기물, 무기물, 미립자, 미생물을 최대한 제거하여 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 범위의 전기 비전도도를 갖도록 초순수(Ultra pure water)를 세정제로 사용하고, 상기 세정제 이외에도 박리제 및 식각액 등의 습식 화학제품(Wet chemical)을 사용한다.For example, in the semiconductor and FPD (Flat Panal Display) manufacturing process, ultra pure water is used to remove as much as possible organic matter, inorganic matter, particulates, and microorganisms dissolved in water to have an electrical specific conductivity in a range that can improve the reliability of the device. ) is used as a cleaner, and in addition to the above cleaner, wet chemicals such as strippers and etching solutions are used.

그러나 비록 초순수가 박테리아를 최소화시킨 상태이며 세정공정이 개방순환상태가 아니지만, 초순수내 극미량의 미생물일지라도 그에 의해 슬라임 및 박테리아 사체가 탱크내벽이나 배관내에 고착되는 현상이 발생하게 된다.However, although the ultrapure water has minimal bacteria and the cleaning process is not in an open circulation state, even a very small amount of microorganisms in the ultrapure water causes slime and dead bacteria to become stuck on the inner wall of the tank or in the pipes.

또한, 반도체 및 FPD 제조 공정내 습식 공정에 사용되는 화학제품들이 목적하는 대상물(입자, 중금속, 포토레지스트 금속 막질 등)을 완전히 용해시키지 못하고 박리만 시킬 경우, 부유하고 있는 물질들이 탱크나 배관 이음새에 침적되는 현상도 발생하게 된다.In addition, when chemical products used in wet processes in the semiconductor and FPD manufacturing process do not completely dissolve the target object (particles, heavy metals, photoresist metal film, etc.) and only peel it off, floating substances may stick to tanks or pipe joints. Sedimentation phenomenon also occurs.

이렇게 발생된 오염물이 유속에 의해 일부 유출되어 세정 막질에 부착한 채로 다음 공정이 진행되면, 막의 핀홀이나 피트, 배선의 단선이나 브릿지(Bridge) 등이 발생하여 제품의 제조수율 저하의 원인이 된다.If some of the contaminants generated in this way leak out due to the flow rate and adhere to the cleaning film before proceeding with the next process, pinholes or pits in the film, disconnections or bridges in the wiring, etc. occur, causing a decrease in the manufacturing yield of the product.

따라서, 이러한 오염물을 제거하기 위하여 정기적으로 장비의 유지 보수를 위한 세정이 행해지고 있으나, 공정용으로 설치된 배관의 경우 분리하여 세척을 하지 않으면 오염물의 제거가 어렵다. 또한, 탱크나 장비 내부도 오염물 박리를 위하여 브러쉬 등으로 물리적 힘을 가하지 않으면 그 효과가 기대에 미치지 못한다. 결국, 이러한 오염물을 제거하기 위하여 생산설비의 가동을 중단하지 않을 수 없으며, 이로 인한 경제적 손실도 불가피하다.Therefore, in order to remove these contaminants, cleaning is regularly performed for maintenance of equipment, but in the case of piping installed for process purposes, it is difficult to remove contaminants unless they are separated and cleaned. In addition, unless physical force is applied with a brush or the like to remove contaminants from inside the tank or equipment, the effect will not meet expectations. Ultimately, the operation of production facilities must be stopped in order to remove these contaminants, and economic losses are inevitable.

따라서, 상기와 같은 경제적 손실을 피하기 위하여, 세정력이 강화된 다양한 세정제가 개발되고 있는데, 예를 들어, 국내공개특허공보 제10-2016-0092128호(2016.08.04.)에는 반도체 및 디스플레이 제조공정용 세정제 조성물이 개시되어 있다.Therefore, in order to avoid the above-mentioned economic loss, various cleaning agents with enhanced cleaning power are being developed. For example, in Korean Patent Publication No. 10-2016-0092128 (August 4, 2016), it is used for semiconductor and display manufacturing processes. A detergent composition is disclosed.

그러나 이러한 조성물은 금속 오염물 및 유·무기 파티클을 동시에 제거하는 장점은 있지만, 파티클의 재부착을 방지할 수 있는 기능이 미흡하고, 또한 충분한 오염물 제거력을 제공하지 못하며 2차 오염이 발생할 수 있는 문제점이 있다.However, although these compositions have the advantage of simultaneously removing metal contaminants and organic and inorganic particles, they lack the ability to prevent reattachment of particles, do not provide sufficient contaminant removal power, and have the problem that secondary contamination may occur. there is.

국내등록특허 제10-2326028호(2021년 11월 08일 등록)Domestic registered patent No. 10-2326028 (registered on November 8, 2021) 국내등록특허 제10-2461832호(2022년 10월 27일 등록)Domestic Registered Patent No. 10-2461832 (registered on October 27, 2022) 국내등록특허 제10-2146036호(2020년 08월 12일 등록)Domestic registered patent No. 10-2146036 (registered on August 12, 2020)

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 반도체 공장의 클린룸(Clean Room) 바닥 또는 각종 장비에 적용되어 인체에 자극적이지 않을 뿐만 아니라 탈취력과 살균력이 우수하며 오염물을 제거하는 세정력이 우수한 반도체 라인 로봇 세정제 조성물을 제공하는데 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a semiconductor line robot cleaner composition that is not irritating to the human body when applied to the clean room floor or various equipment in a semiconductor factory, has excellent deodorizing and sterilizing power, and has excellent cleaning power to remove contaminants. is to provide.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 금속 오염물이나 유·무기 오염물이 제거된 후 오염물이 재부착되어 2차 오염이 발생하는 것을 방지하고, 오염물로 인한 반도체 공장에서의 생산효율 저하를 방지할 수 있는 반도체 라인 로봇 세정제 조성물을 제공하는데 있다.In addition, the problem to be solved by the present invention is to prevent secondary contamination from occurring due to re-attachment of contaminants after metal contaminants or organic/inorganic contaminants are removed, and to prevent decrease in production efficiency in semiconductor factories due to contaminants. The aim is to provide a cleaning composition for a semiconductor line robot.

본 발명이 해결하고자 하는 다양한 과제들은 이상에서 언급한 과제들에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The various problems to be solved by the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에서는 반도체 라인 로봇 세정제 조성물을 개시한다.In one embodiment of the technical idea of the present invention, a semiconductor line robot cleaning composition is disclosed.

상기 반도체 라인 로봇 세정제 조성물은 에탄올, 구연산, DL-사과산, 자몽종자추출물 및 정제수를 포함한다.The semiconductor line robot cleaning composition includes ethanol, citric acid, DL-malic acid, grapefruit seed extract, and purified water.

또한, 상기 반도체 라인 로봇 세정제 조성물은 에탄올 0.5 내지 1.5 중량부, 구연산 0.5 내지 1.5 중량부, DL-사과산 0.1 내지 0.3 중량부, 자몽종자추출물 0.1 내지 1 중량부 및 정제수 80 내지 120 중량부의 중량 비율로 포함될 수 있다.In addition, the semiconductor line robot cleaning composition includes 0.5 to 1.5 parts by weight of ethanol, 0.5 to 1.5 parts by weight of citric acid, 0.1 to 0.3 parts by weight of DL-malic acid, 0.1 to 1 part by weight of grapefruit seed extract, and 80 to 120 parts by weight of purified water. may be included.

또한, 반도체 라인 로봇 세정제 조성물은 상기 에탄올, 구연산, DL-사과산, 자몽종자추출물 및 정제수 이외에, 비타민B1라우릴황산염, 안식향산나트륨, 과산화초산, 항균나노분말 및 살균액을 더 포함할 수 있다.In addition, the semiconductor line robot cleaning composition may further include vitamin B1 lauryl sulfate, sodium benzoate, peracetic acid, antibacterial nano powder, and disinfectant solution in addition to the ethanol, citric acid, DL-malic acid, grapefruit seed extract, and purified water.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description.

본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예에 의한 반도체 라인 로봇 세정제 조성물은, 반도체 공장의 클린룸(Clean Room) 바닥 또는 각종 장비에 적용되어 인체에 자극적이지 않을 뿐만 아니라 탈취력과 살균력이 우수하며 오염물을 제거하는 세정력이 우수하다.The semiconductor line robot cleaning composition according to various embodiments of the technical idea of the present invention is applied to the clean room floor or various equipment in a semiconductor factory and is not only non-irritating to the human body, but also has excellent deodorizing and sterilizing properties and removes contaminants. The cleaning power is excellent.

또한, 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예에 의한 반도체 라인 로봇 세정제 조성물은, 금속 오염물이나 유·무기 오염물이 제거된 후 오염물이 재부착되어 2차 오염이 발생하는 것을 방지하고, 오염물로 인한 반도체 공장에서의 생산효율 저하를 방지할 수 있다.In addition, the semiconductor line robot cleaning composition according to various embodiments of the technical idea of the present invention prevents secondary contamination from reattaching contaminants after metal contaminants or organic/inorganic contaminants are removed, and prevents secondary contamination from occurring in the semiconductor due to contaminants. Decreased production efficiency in factories can be prevented.

본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예는, 구체적으로 언급되지 않은 다양한 효과를 제공할 수 있다는 것이 충분히 이해될 수 있을 것이다.It will be fully understood that various embodiments of the technical idea of the present invention can provide various effects that are not specifically mentioned.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.The advantages and features of the present invention, and methods for achieving them, will become clear with reference to the embodiments described in detail below. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosure will be thorough and complete and so that the spirit of the invention can be sufficiently conveyed to those skilled in the art.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terms used in this application are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as generally understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as having an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. No.

이하, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 라인 로봇 세정제 조성물에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명한다.Hereinafter, a semiconductor line robot cleaning composition according to an embodiment of the technical idea of the present invention will be described in detail with preferred embodiments.

본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 라인 로봇 세정제 조성물은 에탄올, 구연산, DL-사과산, 자몽종자추출물, 비타민B1라우릴황산염, 안식향산나트륨, 과산화초산, 항균나노분말, 살균액 및 정제수를 포함한다.The semiconductor line robot cleaning composition according to an embodiment of the technical idea of the present invention includes ethanol, citric acid, DL-malic acid, grapefruit seed extract, vitamin B1 lauryl sulfate, sodium benzoate, peracetic acid, antibacterial nano powder, disinfectant solution, and purified water. Includes.

또한, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 라인 로봇 세정제 조성물은 에탄올 0.5 내지 1.5 중량부, 구연산 0.5 내지 1.5 중량부, DL-사과산 0.1 내지 0.3 중량부, 자몽종자추출물 0.1 내지 1 중량부, 비타민B1라우릴황산염 0.3 내지 0.7 중량부, 안식향산나트륨 0.2 내지 0.6 중량부, 과산화초산 0.05 내지 0.25 중량부, 항균나노분말 0.1 내지 0.3 중량부, 살균액 0.3 내지 0.7 중량부 및 정제수 80 내지 120 중량부의 중량 비율로 포함될 수 있다.In addition, the semiconductor line robot cleaning composition according to an embodiment of the technical idea of the present invention includes 0.5 to 1.5 parts by weight of ethanol, 0.5 to 1.5 parts by weight of citric acid, 0.1 to 0.3 parts by weight of DL-malic acid, and 0.1 to 1 part by weight of grapefruit seed extract. , 0.3 to 0.7 parts by weight of vitamin B1 lauryl sulfate, 0.2 to 0.6 parts by weight of sodium benzoate, 0.05 to 0.25 parts by weight of peroxyacetic acid, 0.1 to 0.3 parts by weight of antibacterial nanopowder, 0.3 to 0.7 parts by weight of sterilizing solution, and 80 to 120 parts by weight of purified water. It may be included in a negative weight ratio.

상기 에탄올은 무색의 가연성 화합물로 알코올의 한 종류이며, 술의 주성분이다. 화학식은 C2H6O이고, 물 또는 에테르와 섞일 수 있으며, 태울 경우 투명하고 옅은 푸른색을 띤 화염을 발생시키며, 물과 이산화 탄소가 만들어진다. 증기는 폭발성이며, 이를 이용하여 일부 내연기관에서 연료로 사용되기도 한다. 에탄올은 알코올성 음료 산업의 기반이며, 공업적으로 여러 공정에 개입되며, 용매, 소독제, 연료 등으로 많이 사용된다.The ethanol is a colorless, flammable compound, a type of alcohol, and the main ingredient in alcohol. Its chemical formula is C 2 H 6 O, and it can be mixed with water or ether. When burned, it produces a transparent, light blue flame and produces water and carbon dioxide. Steam is explosive and is sometimes used as fuel in some internal combustion engines. Ethanol is the basis of the alcoholic beverage industry, is involved in various industrial processes, and is widely used as a solvent, disinfectant, and fuel.

상기 에탄올은 탈취 효과의 속효성과 무기, 유기 물질 등에 대한 탈취력, 살균력, 소취력 및 항균력이 우수하고, 세정제 조성물의 휘발성을 향상시켜 대상 표면에 오염물과 함께 잔류되어 유발할 수 있는 오염 및 잔류감을 최소화할 수 있다.The ethanol has excellent deodorizing effect, deodorizing power for inorganic and organic substances, sterilizing power, deodorizing power and antibacterial power, and improves the volatility of the cleaning composition to minimize contamination and residual sensation that may be caused by remaining with contaminants on the target surface. You can.

상기 구연산은 세정제 조성물의 산도를 적절한 범위로 조정하기 위한 산도 조절제로 사용되며, 레몬이나 귤 등 신맛이 있는 과일 중에 존재하고 있는 염기성의 산으로 무색무취의 결정체이다. 시중에 유통되는 구연산의 대부분은 미생물 발효에 의해 생산되며, 청량음료, 의약품 및 산업용 재료로 많이 사용되는데, 상기 구연산은 세정제 조성물의 안정성에 기여하고 항산화 작용을 높이는 효과가 있다.The citric acid is used as an acidity regulator to adjust the acidity of the detergent composition to an appropriate range. It is a basic acid found in sour fruits such as lemons and tangerines and is a colorless and odorless crystal. Most of the citric acid available on the market is produced through microbial fermentation and is widely used in soft drinks, pharmaceuticals, and industrial materials. Citric acid contributes to the stability of detergent compositions and has the effect of increasing antioxidant activity.

상기 DL-사과산은 말릭산(malic acid)이라고도 하며, 산성을 띄며 식품에 신맛을 주기 위해 사용되는 식품첨가물로서, 하이드록시기(OH)을 가지며, 장시간 보존 및 유지되기 때문에 산패를 막는 효과가 크다.The DL-malic acid, also called malic acid, is an acidic food additive used to give a sour taste to foods. It has a hydroxyl group (OH) and is highly effective in preventing rancidity because it is preserved and maintained for a long time. .

상기 자몽종자추출물(GSE, Grapefruit seed extract)은 항균, 항진균, 항산화 효과가 있고, 독성 실험에서는 안식향산나트륨, 솔빈산 칼륨에 비해서 거의 독성이 없는 것으로 확인되었다. 특히, 상기 자몽종자추출물의 성분 중 ascorbic acid, ascorbyl palmitate 및 tocopherol 등이 부패성 및 병원성 미생물의 세포벽 및 세포막의 기능을 약화시키고 효소활성을 억제하며, DNA/RNA에서 비롯되는 세포증식 기작을 방지하여 세균, 효모 및 곰팡이 등에 살균 효과를 나타나며 곰팡이의 생육 및 독소합성에 저해효과를 가진다.The grapefruit seed extract (GSE) has antibacterial, antifungal, and antioxidant effects, and in toxicity tests, it was confirmed to be almost non-toxic compared to sodium benzoate and potassium sorbate. In particular, among the components of the grapefruit seed extract, ascorbic acid, ascorbyl palmitate, and tocopherol weaken the function of the cell walls and membranes of putrefactive and pathogenic microorganisms, inhibit enzyme activity, and prevent cell proliferation mechanisms originating from DNA/RNA, thereby preventing bacteria. , it has a sterilizing effect on yeast and mold, and has an inhibitory effect on the growth and toxin synthesis of mold.

상기 비타민B1라우릴황산염은 분자량이 815.19, CAS No.는 39479-63-5이고, 무색 또는 백색의 결정 또는 백색의 결정성분말로서 냄새가 없거나 또는 약간 특이한 냄새가 있다. 상기 비타민B1라우릴황산염은 식품영양 강화제로 사용될 수 있고 항균성을 갖고 있음이 알려진 이후, 각종 식품 공장에서 보존제로 각광 받고 있다. 또한, 상기 비타민B1라우릴황산염은 최근 TLS를 활용하여 다양한 분야에 사용되고 있는 소독제를 대체하기 위한 연구가 진행되고 있으며, 인체에 전혀 무해하며 친환경적인 소독제로 개발되고 있다. The vitamin B1 lauryl sulfate has a molecular weight of 815.19, CAS No. 39479-63-5, and is a colorless or white crystal or white crystalline powder with no odor or a slightly unique odor. Since it was known that vitamin B1 lauryl sulfate can be used as a food nutritional enhancer and has antibacterial properties, it has been in the spotlight as a preservative in various food factories. In addition, the vitamin B1 lauryl sulfate has recently been studied to replace disinfectants used in various fields using TLS, and is being developed as an eco-friendly disinfectant that is completely harmless to the human body.

상기 안식향산나트륨은 미생물의 증식에 의해 일어나는 부패와 변질방지를 위해 사용되는 보존료의 일종으로, 식품의 세균, 곰팡이, 효모 등의 증식을 억제한다. The sodium benzoate is a type of preservative used to prevent spoilage and deterioration caused by the growth of microorganisms, and inhibits the growth of bacteria, mold, yeast, etc. in food.

상기 과산화초산(Peroxyacetic acid)은 0.05(w/w)% 농도의 과산화초산이 사용될 수 있는데, 상기 과산화초산은 분자식이 CH3COOOH로 표현되며, 반응성이 높고 옥시젠 라디칼(Oxygen radical)에 의해 단 몇 방울로도 다양한 종류의 세균을 박멸하는 성질을 가진 것으로 알려져 있다. 과산화초산의 탄화수소 말단은 박테리아 등의 미생물 세포에 쉽게 침투하여 미생물의 내부 및 외부의 S-S 및 S-H 결합을 분해하여 신속하고 효과적인 항균활성을 유도한다.The peroxyacetic acid may be used at a concentration of 0.05 (w/w)%. The peroxyacetic acid has a molecular formula of CH 3 COOOH, is highly reactive, and is dissolved in just a few drops by oxygen radicals. It is also known to have the property of eradicating various types of bacteria. The hydrocarbon terminus of peroxyacetic acid easily penetrates into microbial cells such as bacteria and decomposes SS and SH bonds inside and outside the microorganisms, leading to rapid and effective antibacterial activity.

상기 과산화초산이 유기물과 접촉되었을 때, 하기 [반응식 1]과 같이 원자상의 옥시젠 라디칼이 발생되고, 발생된 옥시젠 라디칼은 접촉된 유기물을 산화시켜 살균효과를 발휘한다.When the peroxyacetic acid is contacted with an organic material, atomic oxygen radicals are generated as shown in [Reaction Formula 1] below, and the generated oxygen radicals oxidize the contacted organic material to exert a sterilizing effect.

[반응식 1][Scheme 1]

CH3COOOH + H2O ↔ CH3COOH + ·O2 CH 3 COOOH + H 2 O ↔ CH 3 COOH + ·O 2

따라서, 일반적으로 과산화초산은 병원성 미생물을 제거하기 위한 의료기기용 세정제로 많이 사용되고 있고, 에어컨 필터 및 조리기구 세정제, 손 세정제 등 다양한 분야에 사용된다.Therefore, peroxyacetic acid is generally used as a cleaning agent for medical devices to remove pathogenic microorganisms, and is used in various fields such as air conditioner filters, cooking utensil cleaners, and hand sanitizers.

상기 항균나노분말은 이산화티탄(TiO2) 나노분말, 칠보석 나노분말 및 순지트 나노분말이 1:1:1의 중량 비율로 혼합된 항균나노분말이 사용될 수 있는데, 상기 이산화티탄(TiO2) 나노분말은 광촉매(光觸媒, photocatalyst)로, 빛을 받아들여 화학반응을 촉진시키는 작용을 수행할 수 있다.The antibacterial nanopowder may be an antibacterial nanopowder in which titanium dioxide (TiO 2 ) nanopowder, cloisonne nanopowder, and shungite nanopowder are mixed at a weight ratio of 1:1:1, and the titanium dioxide (TiO 2 ) Nanopowders are photocatalysts, which can absorb light and promote chemical reactions.

즉, 이러한 광촉매는 주로 띠 간격에너지(band gap energy) 이상의 빛 에너지가 조사되었을 때 전자와 정공을 발생시키고, 발생된 정공에 의해 수산화라디칼(-OH)이 생성되게 되며, 상기 수산화라디칼의 강력한 산화력을 통해 그 표면에 흡착된 기상 또는 액상의 유기물을 분해하는 이른바 '광산화반응'을 일으키는 물질을 말한다.In other words, these photocatalysts mainly generate electrons and holes when light energy above the band gap energy is irradiated, and hydroxyl radicals (-OH) are generated by the generated holes, and the strong oxidizing power of the hydroxyl radicals is generated by the generated holes. It refers to a substance that causes a so-called 'photooxidation reaction' that decomposes gaseous or liquid organic substances adsorbed on the surface.

상기 광촉매는 빛 에너지를 흡수함으로써 촉매활성을 나타내게 되는데, 이때 발생하는 강력한 산화력으로 오염물 등에서 배출되는 유해물질을 산화, 분해하게 된다. 이러한 광촉매는 그 특성을 이용하여 박테리아, 미생물, 유기물질들을 분해하는 유기오탁수의 정화에 주로 활용되고 있다. The photocatalyst exhibits catalytic activity by absorbing light energy, and the strong oxidizing power generated at this time oxidizes and decomposes harmful substances emitted from contaminants. These photocatalysts are mainly used to purify organic polluted water by using their properties to decompose bacteria, microorganisms, and organic substances.

또한, 상기 칠보석 나노분말은 원적외선과 음이온 방출, 항균, 탈취 및 정화 효과를 부여할 수 있는데, 상기 칠보석 나노분말은 모세혈관을 확장시키고, 암을 예방하며 치매를 예방하고 인체 활동에 필요한 세포를 활성화시키는 효과를 가질 수 있다.In addition, the cloisonne nanopowder can emit far-infrared rays and negative ions, and provide antibacterial, deodorizing, and purifying effects. The cloisonne nanopowder expands capillaries, prevents cancer, prevents dementia, and promotes cell growth necessary for human activity. It can have the effect of activating .

특히, 칠보석을 분석한 화합물을 보면 SiO2가 60% 이상 함유되어 있어 제습효과가 우수하며, 활성알루미나 등이 다량 함유되어 미네랄이 풍부하고, 알칼리염을 중화시키는 정화 효과를 나타낸다.In particular, when looking at the compounds analyzed in the Chiljem, it contains more than 60% of SiO 2 , so it has an excellent dehumidifying effect. It contains a large amount of activated alumina, etc., so it is rich in minerals and has a purifying effect by neutralizing alkali salts.

또한, 상기 순지트 나노분말은 순지트를 분쇄하여 나노(nano) 사이즈로 분말화함으로써 제조될 수 있는데, 상기 순지트(shungite)는 SiO2(규산염)과 C60(플러렌)을 주성분으로 하는 물질로서, 천연 플러렌을 함유하는 물질을 의미한다. 플러렌을 90% 이상 함유한 순지트를 엘리트 순지트(Elite shungite) 또는 노블 순지트(Noble Shungite)라 하고, 플러렌을 60% 이하 함유한 순지트를 노멀 순지트(Normal shungite)라 한다.In addition, the shungite nanopowder can be manufactured by pulverizing shungite into nano-size powder, and the shungite is a material containing SiO 2 (silicate) and C 60 (fullerene) as main components. As, it means a material containing natural fullerene. Shungite containing more than 90% fullerene is called elite shungite or noble shungite, and shungite containing less than 60% fullerene is called normal shungite.

상기 순지트의 대표적인 기능은 항산화 기능, 전자파 차단 기능, 오염물질의 정화 및 분해 기능, 그리고 살균 및 항균 기능이 있다. 상기 순지트는 강력한 천연산화방지제로서 수많은 질병에 대한 인간의 면역성을 높여주는 기능이 있고, 오염물질을 흡착시켜 물과 공기를 정화시키는 기능을 하며, 흡착한 오염물질을 스스로 분해하는 능력이 있다.Representative functions of the shungite include antioxidant function, electromagnetic wave blocking function, purification and decomposition function of pollutants, and sterilization and antibacterial function. The sunjit is a powerful natural antioxidant that has the function of increasing human immunity against numerous diseases, has the function of purifying water and air by adsorbing pollutants, and has the ability to decompose adsorbed pollutants on its own.

또한, 상기 순지트는 항균 및 살균 성질을 가지고 있어 대장균, 녹농균, 포도상구균 및 유해균만을 99% 이상 제거하는 기능이 있고, 유해전자파를 차단하고, 원적외선을 다량 방출하는 기능이 있다.In addition, the shungite has antibacterial and sterilizing properties and has the function of removing more than 99% of Escherichia coli, Pseudomonas aeruginosa, Staphylococcus aureus and harmful bacteria, blocking harmful electromagnetic waves, and emitting a large amount of far-infrared rays.

상기 살균액은 살균활성이 우수하고 부패균이나 병원균을 사멸할 수 있는데, 예를 들어, 상기 살균액은 하기의 방법으로 제조된 살균액이 사용될 수 있다.The sterilizing solution has excellent sterilizing activity and can kill spoilage bacteria or pathogens. For example, a sterilizing solution prepared by the following method may be used.

먼저, 상기 살균액을 제조하기 위하여, 정제수에 구연산나트륨 및 호박산을 혼합한 후 교반하여 제1 용액을 제조할 수 있다.First, to prepare the sterilizing solution, sodium citrate and succinic acid can be mixed with purified water and then stirred to prepare a first solution.

예를 들어, 상기 제1 용액은 정제수 100 중량부에 대해, 구연산나트륨 3 내지 7 중량부 및 호박산 1 내지 5 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 교반하여 제조될 수 있는데, 상기 구연산나트륨은 탈취 효과, 악취 제거 효과를 향상시키고 안정성을 높이기 위하여 포함되고, 상기 호박산은 황화합물계 물질의 악취 제거 효율을 높이기 위하여 포함될 수 있다.For example, the first solution can be prepared by mixing 3 to 7 parts by weight of sodium citrate and 1 to 5 parts by weight of succinic acid with respect to 100 parts by weight of purified water and then stirring. The sodium citrate has a deodorizing effect, It is included to improve the odor removal effect and increase stability, and the succinic acid may be included to increase the odor removal efficiency of sulfur compound-based materials.

다음으로, 정제수에 에탄올 및 차아염소산(HOCl)을 혼합한 후 교반하여 제2 용액을 제조할 수 있다.Next, a second solution can be prepared by mixing ethanol and hypochlorous acid (HOCl) in purified water and then stirring.

예를 들어, 상기 제2 용액은 정제수 100 중량부에 대해, 에탄올 20 내지 40 중량부 및 차아염소산(HOCl) 8 내지 12 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 교반하여 제조될 수 있다.For example, the second solution may be prepared by mixing 20 to 40 parts by weight of ethanol and 8 to 12 parts by weight of hypochlorous acid (HOCl) with respect to 100 parts by weight of purified water and then stirring.

상기 에탄올은 탈취 효과의 속효성과 무기, 유기 물질 등에 대한 탈취, 소취 효과가 우수하고, 상기 차아염소산(HOCl)은 박테리아, 곰팡이 및 효모바이러스 등 모든 미생물에 대하여 초단위의 순간적인 살균효과를 가지며 세균 또는 유기물과 접촉하면 살균 후 바로 물로 환원되어 잔류하지 않아 환경부하가 없고 인체에 무해하다는 특징을 갖고 한국 식품의약품안전청, 미국 식품의약국, 일본 후생노동성 등 세계의 각 기구에서 안정성을 인정하고 안전한 살균제로 인가하였으며 동물시험, 자극 테스트 등 유해성이 검출되지 않았다.The ethanol has a quick deodorizing effect and is excellent in deodorizing and deodorizing inorganic and organic substances, etc., and the hypochlorous acid (HOCl) has an instantaneous sterilizing effect in seconds against all microorganisms such as bacteria, mold, and yeast viruses. Or, when in contact with organic matter, it is immediately reduced to water after sterilization and does not remain, so it has no environmental load and is harmless to the human body. It is a safe disinfectant whose safety is recognized by various organizations around the world such as the Korea Food and Drug Administration, the U.S. Food and Drug Administration, and the Japanese Ministry of Health, Labor and Welfare. It was approved and no harmful effects were detected in animal tests or stimulation tests.

또한, 상기 차아염소산(HClO)은 차아염소산나트륨(NaOCl)에 비해서 약 70배의 살균력을 가지고 있으며, 염소계 살균제의 특징인 Tri-halo-methane(THM)을 생성하지 않기 때문에 안전하게 사용이 가능하고 한국 식품의약품안전처에서 식품용 살균제로 선정한 살균제로서 식품 산업과 농업, 의료기기 등 여러 분야에 걸쳐 사용될 수 있다.In addition, hypochlorous acid (HClO) has approximately 70 times the sterilizing power of sodium hypochlorite (NaOCl), and can be used safely because it does not produce tri-halo-methane (THM), a characteristic of chlorine-based disinfectants. It is a disinfectant selected by the Ministry of Food and Drug Safety as a food disinfectant and can be used in various fields such as the food industry, agriculture, and medical devices.

그 다음으로, 정제수에 인산 및 이산화염소수를 혼합한 후 교반하여 제3 용액을 제조할 수 있다.Next, a third solution can be prepared by mixing purified water with phosphoric acid and chlorine dioxide solution and then stirring.

예를 들어, 상기 제3 용액은 정제수 100 중량부에 대해, 인산 1 내지 3 중량부 및 이산화염소수 10 내지 20 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 교반함으로써 제조될 수 있다.For example, the third solution can be prepared by mixing 1 to 3 parts by weight of phosphoric acid and 10 to 20 parts by weight of chlorine dioxide solution with respect to 100 parts by weight of purified water and then stirring.

상기 인산(Phosphoric acid)은 오산화인(phosphorus pentoxide)의 가수분해로 만들어지는 산으로서, 넓은 범주에서는 인 산소산(phosphorus oxyacid)의 일종인데, 상기 인산의 원료가 되는 오산화인은 [P2O5]의 실험식으로 표기하지만, 실제 분자식은 [P4O10]이며, 하기의 [반응식 1]과 같이 백린(white phosphorus; P4)과 산소의 반응을 통해 얻을 수 있다. 이와 같은 산화 과정을 통해 인은 가장 높은 +5의 산화수를 갖게 된다.Phosphoric acid is an acid produced by hydrolysis of phosphorus pentoxide. In a broad sense, it is a type of phosphorus oxyacid. Phosphoric acid, which is the raw material of phosphorus pentoxide, is [P 2 O 5 ]. Although it is expressed as an empirical formula, the actual molecular formula is [P 4 O 10 ], and can be obtained through the reaction of white phosphorus (P 4 ) and oxygen as shown in [Reaction Scheme 1] below. Through this oxidation process, phosphorus has the highest oxidation number of +5.

[반응식 1][Scheme 1]

[반응식 2][Scheme 2]

상기 [반응식 2]를 참조하면, 오산화인 가수분해 반응의 생성물인 H3PO4는 인산의 가장 단순한 형태로 오쏘인산(orthophosphoric acid, 또는 오르토인산)이라고 부르며, 상기 오쏘인산 두 분자의 축합반응으로 파이로인산(pyrophosphoric acid, ; 피로인산, 이인산, 혹은 초성인산으로도 불린다)이 얻어질 수 있다.Referring to [Reaction Scheme 2] above, H 3 PO 4 , the product of the phosphorus pentoxide hydrolysis reaction, is the simplest form of phosphoric acid and is called orthophosphoric acid (orthophosphoric acid), and is formed by a condensation reaction of the two orthophosphoric acid molecules. Pyrophosphoric acid (also called pyrophosphoric acid, diphosphoric acid, or acetophosphoric acid) can be obtained.

정제된 인산은 상온에서 결정성이 있는 고체(녹는점: 42.3℃)로 밀도는 2.030g/cm3(25℃ 기준)이고, 인산은 446g/100mL 정도로 물에 녹으며(14.95℃ 기준), 수용액에서 삼양성자산(triprotic acid)으로 작용하여 양성자를 세 개까지 내놓고, H3PO4 -, HPO4 2-, PO4 3-의 세 가지 음이온을 만들 수 있다.Purified phosphoric acid is a crystalline solid at room temperature (melting point: 42.3℃) and has a density of 2.030g/cm 3 (based on 25℃). Phosphoric acid dissolves in water at approximately 446g/100mL (based on 14.95℃) and is an aqueous solution. It acts as a triprotic acid, giving up to three protons, and can create three anions: H 3 PO 4 - , HPO 4 2 - , and PO 4 3 - .

상기 이산화염소수(aqueous chlorine dioxide)는 예를 들어, 파우더 형태의 아염소산나트륨 및 염화수소 용액을 이용하여 제조할 수 있으며, 아염소나트륨 용액 및 염화수소 용액을 이용하여 제조할 수 있으나 이에 한정되지 않고, 또한, 상기 이산화염소수는 50 내지 150ppm의 농도일 수 있다.The aqueous chlorine dioxide can be prepared, for example, using powdered sodium chlorite and hydrogen chloride solutions, and can be prepared using sodium chlorine solution and hydrogen chloride solution, but is not limited to this. Additionally, the chlorine dioxide solution may have a concentration of 50 to 150 ppm.

상기 이산화염소수는 독성이 강하지 않고 안전하며 오염을 일으키지 않아 친환경적이며, 강한 산화작용의 특징을 지님에 따라 정수의 살균처리제나 종이 섬유 식품 등의 표백제 또는 탈취제로 사용되고 있다.The chlorine dioxide water is not highly toxic, is safe, and does not cause pollution, so it is environmentally friendly. Since it has a strong oxidizing effect, it is used as a sterilizing agent for purified water or as a bleaching agent or deodorizer for paper, fiber, and food.

이어서, 상기 제1 용액, 제2 용액 및 제3 용액의 혼합액에 천연추출액을 혼합한 후 교반하여 살균액을 제조할 수 있다.Subsequently, a sterilizing solution can be prepared by mixing the natural extract with the mixed solution of the first solution, second solution, and third solution and then stirring.

예를 들어, 상기 혼합액은 제1 용액 10 중량부, 제2 용액 30 중량부 및 제3 용액 20 중량부의 중량 비율로 혼합되어 제조될 수 있고, 상기 살균액은 상기 혼합액 100 중량부에 대해, 천연추출액 10 내지 20 중량부의 중량 비율로 혼합되어 제조될 수 있다.For example, the mixed solution may be prepared by mixing 10 parts by weight of the first solution, 30 parts by weight of the second solution, and 20 parts by weight of the third solution, and the sterilizing solution is a natural It can be prepared by mixing the extract at a weight ratio of 10 to 20 parts by weight.

상기 천연추출액은 항균성, 탈취성 등의 효과를 제공할 수 있는데, 상기 천연추출액은 편백나무 및 자몽종자로 이루어진 재료들을 혼합한 후 추출하여 제조될 수 있다.The natural extract can provide effects such as antibacterial and deodorizing properties. The natural extract can be prepared by mixing ingredients made of cypress and grapefruit seeds and then extracting them.

예를 들어, 상기 천연추출액은 상기 편백나무 및 자몽종자로 이루어진 재료들을 1:1의 중량 비율로 혼합하고, 상기 혼합된 재료들 전체 100 중량부에 대해, 물 2,500 내지 3,500 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 90 내지 95℃ 온도에서 5 내지 10시간 동안 가열하여 열수추출함으로써 제조될 수 있다.For example, the natural extract is mixed with the materials consisting of the cypress tree and grapefruit seeds at a weight ratio of 1:1, and mixed at a weight ratio of 2,500 to 3,500 parts by weight of water for 100 parts by weight of the total mixed materials. It can be manufactured by heating at a temperature of 90 to 95°C for 5 to 10 hours and performing hot water extraction.

상기 편백나무(Chamaecyparis obtusa)는 노송나무라고도 하며, 겉씨식물 구과목 측백나무과의 상록교목으로서, 일본이 원산지이지만 개발을 통해 우리나라 남부 지방에서 조림수종으로 널리 재배되고 있는데, 편백나무 특유의 향으로 인해 탈취제, 항균제 등으로 사용되고 있다.The cypress tree (Chamaecyparis obtusa), also called cypress tree, is an evergreen tree of the gymnosperm cone family Cupressaceae. It is native to Japan, but through development, it is widely cultivated as a plantation tree species in the southern region of Korea due to its unique scent. It is used as a deodorant and antibacterial agent.

편백나무에서 생산되는 피톤치드는 식물의 자기방어물질로써, 병원균 및 해충, 곰팡이 등에 저항하기 위해 식물이 내뿜거나 분비하는 물질로 그 자체에 살균, 살충성분이 포함되어 있다. 피톤치드의 구성물질은 테르펜을 비롯한 페놀 화합물, 알칼로이드 성분, 글리코시드 등으로 이루어진 유기화합물이며, 항균작용, 진정작용, 탈취작용, 스트레스 해소작용 등을 하는 것으로 알려져 있다. 이러한 피톤치드는 화학합성 물질이 아닌 천연물질이고, 인간의 신체에 무리 없이 흡수되며, 인간에게 해로운 균들을 선택적으로 살균한다.Phytoncide produced from the cypress tree is a self-defense substance of the plant. It is a substance emitted or secreted by the plant to resist pathogens, pests, and mold. It itself contains sterilizing and insecticidal ingredients. Phytoncide is an organic compound made up of phenolic compounds including terpenes, alkaloids, and glycosides, and is known to have antibacterial, sedative, deodorizing, and stress-relieving effects. These phytoncides are natural substances, not chemically synthesized substances, are easily absorbed by the human body, and selectively sterilize harmful bacteria to humans.

또한, 피톤치드는 항균작용, 소취작용, 진정작용 및 스트레스 해소 작용 등 수많은 기능을 하는 것으로 알려져 있고, 뛰어난 살균, 항균, 세정작용으로 피부를 깨끗하게 하고 보습작용도 하며, 체내의 면역 기능을 강화한다.In addition, phytoncide is known to have numerous functions such as antibacterial, deodorizing, soothing and stress relieving effects, and has excellent sterilizing, antibacterial and cleansing effects to cleanse and moisturize the skin and strengthen the body's immune function.

피톤치드를 흡입할 경우, 스트레스 호르몬인 코르티졸의 농도가 획기적으로 줄어든다는 연구결과가 보고되었으며, 숲에서 동물의 사체가 썩어가도 피톤치드로 인해 악취가 심하게 발생하지 않는다고 알려져 있다. 또한, 중추신경계에 진정작용을 하여 쾌적한 느낌을 가지게 하며, 수면시간을 연장하고 편안한 숙면을 취하는데 도움을 준다.Research results have reported that when phytoncide is inhaled, the concentration of cortisol, a stress hormone, is dramatically reduced, and it is known that even when animal carcasses rot in the forest, phytoncide does not cause a strong odor. In addition, it has a sedative effect on the central nervous system, creating a pleasant feeling, extending sleep time, and helping you get a comfortable sleep.

그리고 혈액순환계를 개선하여 고지혈증, 혈전 심부전증에도 효능이 있다고 밝혀졌으며, 인체 내에 내성이 생기지 않는 강력한 항균 작용으로도 알려졌다. 천연물질인 피톤치드는 거의 90%까지 집먼지 진드기 기피효과를 가져와 부작용이 없으면서도 알레르기 예방에 가장 효과적인 것으로 알려져 있다.It has also been found to be effective in treating hyperlipidemia, thrombosis, and heart failure by improving the blood circulation system, and is also known to have a strong antibacterial effect that does not create resistance in the human body. Phytoncide, a natural substance, is known to have a house dust mite repellent effect of up to 90% and is the most effective in preventing allergies without causing any side effects.

상기 자몽종자는 주성분으로 아스코르브산, 스테롤, 데하이드로 아스코르브산, 토코페롤, 팔미트산 등을 포함하며, 다양한 유효성분이 미생물의 세포막 관련 효소 활성 및 투과성을 약화시키며 세포 호흡 작용을 억제시켜 미생물의 생육을 저해하는 것으로 알려져 있다.The grapefruit seeds contain ascorbic acid, sterol, dehydroascorbic acid, tocopherol, palmitic acid, etc. as main ingredients, and various active ingredients weaken the enzyme activity and permeability of the cell membrane of microorganisms and inhibit cellular respiration, thereby promoting the growth of microorganisms. It is known to hinder

특히, 상기 자몽종자는 바이오플라보노이드인 나린진 및 시트랄을 주성분으로 포함하므로 항균 및 항산화작용이 뛰어날 뿐만 아니라, 그램-양성 및 그램-음성균 뿐만 아니라 곰팡이에 대한 항균작용이 우수하다.In particular, the grapefruit seeds contain bioflavonoids naringin and citral as main ingredients, so they not only have excellent antibacterial and antioxidant effects, but also have excellent antibacterial effects against gram-positive and gram-negative bacteria as well as mold.

상기 정제수는 세정제 조성물을 용해 및 균일하게 분산하여 혼합하기 위하여 포함될 수 있다.The purified water may be included to dissolve, uniformly disperse, and mix the detergent composition.

이하, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 따른 반도체 라인 로봇 세정제 조성물에 대한 실시예를 들어 더욱 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, a semiconductor line robot cleaning composition according to an embodiment of the technical idea of the present invention will be described in more detail through examples.

< 실시예 1 ><Example 1>

에탄올 1 중량부, 구연산 1 중량부, DL-사과산 0.2 중량부, 자몽종자추출물 0.5 중량부, 비타민B1라우릴황산염 0.5 중량부, 안식향산나트륨 0.4 중량부, 과산화초산 0.15 중량부, 항균나노분말 0.2 중량부, 살균액 0.5 중량부 및 정제수 100 중량부의 중량 비율로 혼합하여 세정제 조성물을 제조하였다.1 part by weight of ethanol, 1 part by weight of citric acid, 0.2 part by weight of DL-malic acid, 0.5 part by weight of grapefruit seed extract, 0.5 part by weight of vitamin B1 lauryl sulfate, 0.4 part by weight of sodium benzoate, 0.15 part by weight of peroxyacetic acid, 0.2 part by weight of antibacterial nano powder. A detergent composition was prepared by mixing 0.5 parts by weight of a disinfectant solution and 100 parts by weight of purified water in a weight ratio.

이때, 상기 살균액은 하기의 방법으로 제조된 살균액을 사용하였다.At this time, the sterilizing solution prepared by the following method was used.

즉, 상기 살균액을 제조하기 위하여, 먼저, 정제수 100 중량부에 대해, 구연산나트륨 5 중량부 및 호박산 3 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 교반하여 제1 용액을 제조하였고, 정제수 100 중량부에 대해, 에탄올 30 중량부 및 차아염소산(HOCl) 10 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 교반하여 제2 용액을 제조하였으며, 정제수 100 중량부에 대해, 인산 2 중량부 및 이산화염소수 15 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 교반하여 제3 용액을 제조하였다.That is, in order to prepare the sterilizing solution, first, a first solution was prepared by mixing 5 parts by weight of sodium citrate and 3 parts by weight of succinic acid in a weight ratio with respect to 100 parts by weight of purified water, and then stirring. A second solution was prepared by mixing 30 parts by weight of ethanol and 10 parts by weight of hypochlorous acid (HOCl) and then stirring, and mixing 2 parts by weight of phosphoric acid and 15 parts by weight of chlorine dioxide with respect to 100 parts by weight of purified water. After mixing, the mixture was stirred to prepare a third solution.

다음으로, 상기 제1 용액 10 중량부, 제2 용액 30 중량부 및 제3 용액 20 중량부의 중량 비율로 혼합하여 혼합액을 제조하였고, 상기 혼합액 100 중량부에 대해, 천연추출액 15 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 교반하여 살균액을 제조하였다.Next, a mixed solution was prepared by mixing 10 parts by weight of the first solution, 30 parts by weight of the second solution, and 20 parts by weight of the third solution, and 15 parts by weight of the natural extract was added to 100 parts by weight of the mixed solution. After mixing, the mixture was stirred to prepare a sterilizing solution.

또한, 상기 천연추출액은 편백나무 및 자몽종자로 이루어진 재료들을 1:1의 중량 비율로 혼합하고, 상기 혼합된 재료들 전체 100 중량부에 대해, 물 3,000 중량부의 중량 비율로 혼합한 후 90 내지 95℃ 온도에서 7시간 동안 가열하여 열수추출함으로써 제조하였다.In addition, the natural extract is prepared by mixing materials consisting of cypress trees and grapefruit seeds at a weight ratio of 1:1, and mixing 3,000 parts by weight of water for 100 parts by weight of the total mixed materials, then mixing 90 to 95 parts by weight. It was prepared by heating at ℃ temperature for 7 hours and hot water extraction.

< 실시예 2 ><Example 2>

실시예 1과 동일한 조성물을 이용하여 세정제 조성물을 제조하였는데, 실시예 2에서 세정제 조성물은 에탄올 0.7 중량부, 구연산 1.3 중량부, DL-사과산 0.12 중량부, 자몽종자추출물 0.9 중량부, 비타민B1라우릴황산염 0.4 중량부, 안식향산나트륨 0.55 중량부, 과산화초산 0.09 중량부, 항균나노분말 0.15 중량부, 살균액 0.4 중량부 및 정제수 110 중량부의 중량 비율로 혼합하여 제조하였다.A detergent composition was prepared using the same composition as Example 1. In Example 2, the detergent composition contained 0.7 parts by weight of ethanol, 1.3 parts by weight of citric acid, 0.12 parts by weight of DL-malic acid, 0.9 parts by weight of grapefruit seed extract, and vitamin B1 lauryl. It was prepared by mixing 0.4 parts by weight of sulfate, 0.55 parts by weight of sodium benzoate, 0.09 parts by weight of peroxyacetic acid, 0.15 parts by weight of antibacterial nanopowder, 0.4 parts by weight of sterilizing solution, and 110 parts by weight of purified water.

< 실시예 3 ><Example 3>

실시예 1과 동일한 조성물을 이용하여 세정제 조성물을 제조하였는데, 실시예 3에서 세정제 조성물은 에탄올 1.4 중량부, 구연산 0.7 중량부, DL-사과산 0.27 중량부, 자몽종자추출물 0.3 중량부, 비타민B1라우릴황산염 0.6 중량부, 안식향산나트륨 0.3 중량부, 과산화초산 0.22 중량부, 항균나노분말 0.25 중량부, 살균액 0.6 중량부 및 정제수 90 중량부의 중량 비율로 혼합하여 제조하였다.A detergent composition was prepared using the same composition as in Example 1. In Example 3, the detergent composition contained 1.4 parts by weight of ethanol, 0.7 parts by weight of citric acid, 0.27 parts by weight of DL-malic acid, 0.3 parts by weight of grapefruit seed extract, and vitamin B1 lauryl. It was prepared by mixing 0.6 parts by weight of sulfate, 0.3 parts by weight of sodium benzoate, 0.22 parts by weight of peroxyacetic acid, 0.25 parts by weight of antibacterial nanopowder, 0.6 parts by weight of sterilizing solution, and 90 parts by weight of purified water.

< 비교예 1 ><Comparative Example 1>

탈이온수를 준비하였고, 이를 비교예 1에 따른 세정제 조성물로 사용하였는데, 상기 탈이온수는 물속의 이온이 제거된 것으로, 상기 탈이온수는 비저항값이 18MΩ·cm인 탈이온수를 사용하였다.Deionized water was prepared, and this was used as the detergent composition according to Comparative Example 1. The deionized water was obtained by removing ions from the water, and the deionized water had a resistivity of 18 MΩ·cm.

< 비교예 2 ><Comparative Example 2>

실시예 2와 동일한 조성물을 이용하여 세정제 조성물을 제조하였는데, 비교예 2에서 세정제 조성물은 에탄올 0.7 중량부, 구연산 1.3 중량부, 비타민B1라우릴황산염 0.4 중량부, 안식향산나트륨 0.55 중량부, 항균나노분말 0.3 중량부 및 정제수 110 중량부의 중량 비율로 혼합하여 제조하였다.A detergent composition was prepared using the same composition as Example 2. In Comparative Example 2, the detergent composition contained 0.7 parts by weight of ethanol, 1.3 parts by weight of citric acid, 0.4 parts by weight of vitamin B1 lauryl sulfate, 0.55 parts by weight of sodium benzoate, and antibacterial nanopowder. It was prepared by mixing 0.3 parts by weight and 110 parts by weight of purified water.

1. 세척력 평가1. Evaluation of cleaning power

세척력 평가는 실험실용인 교반 혼합식 세정력 시험기(Terg-o-tometer)를 사용하였다. 세척력 측정 온도는 20℃에서 회전수 100으로 작동시켰으며, 시료량은 실시예 1에 따른 세정제 조성물 5g을 사용하였으며, 세척시간은 5분, 헹굼은 각 3분씩 2회 실시하였다. 측정에 사용한 인공오염포는 일본세탁과학협회의 습식인공오염포를 사용하였다.To evaluate the cleaning power, a laboratory-use stirred mixing type cleaning power tester (Terg-o-tometer) was used. The cleaning power measurement temperature was operated at 20°C and a rotation speed of 100, the sample amount was 5 g of the detergent composition according to Example 1, the washing time was 5 minutes, and rinsing was performed twice for 3 minutes each. The artificial contamination cloth used for measurement was a wet artificial contamination cloth from the Japan Laundry Science Association.

습식인공오염포는 5cm x 5cm의 크기로 시료 1개당 8장씩 사용하였다. 세탁 전후 각각의 오염포에 대해 세척효과는 색차계(Nippon denshoku)로 Wb값을 측정하고 하기의 식 1을 사용하여 비교하였다. 비교세제는 한국산업규격 합성세제의 표준 세제를 사용하였으며, 이와 비교하여 세척력이 우세하면 양호를 표기하였고, 세척력이 우세하지 않으면 불량으로 표기하였다.Eight wet artificial contamination cloths were used per sample with a size of 5cm x 5cm. The washing effect for each contaminated cloth before and after washing was measured by measuring the Wb value using a colorimeter (Nippon denshoku) and compared using Equation 1 below. The comparative detergent was a standard Korean Industrial Standard synthetic detergent. Compared to this, if the cleaning power was superior, it was marked as good, and if the cleaning power was not superior, it was marked as poor.

상기 실시예 1에 따라 제조된 세정제 조성물의 안정성 및 세척력 결과를 하기의 [표 1]에 나타내었다.The stability and cleaning power results of the detergent composition prepared according to Example 1 are shown in Table 1 below.

구분division 실시예 1Example 1 외관경시변화(16주) 25℃ 보관Change in appearance over time (16 weeks) Stored at 25℃ 양호Good 세척력cleaning power 양호Good

2. 산도 측정2. Acidity measurement

상기 실시예 1에 따라 제조된 세정제 조성물의 산도를 측정하였다. The acidity of the detergent composition prepared according to Example 1 was measured.

상기 산도 측정은 Orion 3-star(Thermo)를 이용하였으며, 측정방법으로는 세정제 조성물 5g을 100ml 비이커에 넣고 물 30㎖를 넣어 가온하여 25℃ 상태에서 pH를 측정하였다.The acidity was measured using Orion 3-star (Thermo), and as a measurement method, 5 g of the detergent composition was placed in a 100 ml beaker, 30 ml of water was added, heated, and pH was measured at 25°C.

구분division 실시예 1Example 1 산도acidity 약알칼리slightly alkaline

상기 [표 2]를 참조하면, 상기 실시예 1에 따라 제조된 세정제 조성물은 산도가 약알칼리로 염기성임을 알 수 있다.Referring to [Table 2], it can be seen that the detergent composition prepared according to Example 1 has a slightly alkaline acidity and basicity.

3. 세정력 평가3. Evaluation of cleaning power

상기 실시예 1, 2, 3 및 비교에 1, 2에 따라 제조된 세정제 조성물의 세정력을 평가하기 위하여 5 X 10cm 크기의 스테인레스판을 지문, 유성펜, 기름성분 등으로 오염시킨 후 상기 세정제 조성물로 세정한 후, 잔류탄소 측정기(RC212, Surface Carbon Determination, LECO Co)로 세정력을 측정하였다.In order to evaluate the cleaning power of the detergent compositions prepared according to Examples 1, 2, 3 and Comparative Examples 1 and 2, a stainless steel plate measuring 5 After that, the cleaning power was measured using a residual carbon meter (RC212, Surface Carbon Determination, LECO Co).

이때, 세정력은 5점 척도법으로 측정하였고, 그 결과는 하기 [표 3]에 나타내었다.At this time, the cleaning power was measured using a 5-point scale, and the results are shown in [Table 3] below.

1점 : 30% 이상 오염 제거1 point: Removal of more than 30% of contamination

2점 : 50% 이상 오염 제거2 points: Removal of more than 50% of contamination

3점 : 80% 이상 오염 제거3 points: More than 80% contamination removed

4점 : 90% 이상 오염 제거4 points: More than 90% contamination removed

5점 : 98% 이상 오염 제거5 points: More than 98% contamination removed

또한, 상기 실시예 1, 2, 3 및 비교에 1, 2에 따라 제조된 세정제 조성물의 접촉각을 측정하기 위하여 5 X 10cm 크기의 스테인레스판을 상기 세정제 조성물로 처리한 후 접촉각 측장기(접촉각 측정기, Contact Angle System OCAm Dataphysics)를 이용하여 접촉각을 측정하여 하기 [표 3]에 나타내었다.In addition, in order to measure the contact angle of the detergent composition prepared according to Examples 1, 2, 3 and Comparative Examples 1 and 2, a stainless steel plate of 5 The contact angle was measured using Contact Angle System (OCAm Dataphysics) and is shown in [Table 3] below.

구분division 표면장력(dyne/cm)Surface tension (dyne/cm) 세정력Cleansing power 접촉각(°)Contact angle (°) 실시예 1Example 1 29.3529.35 55 78.478.4 실시예 2Example 2 29.2729.27 55 77.977.9 실시예 3Example 3 29.4229.42 55 78.278.2 비교예 1Comparative Example 1 17.6617.66 22 49.549.5 비교예 2Comparative Example 2 22.1822.18 33 56.356.3

상기 [표 3]을 참조하면, 상기 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 세정제 조성물은 세정 후 높은 접촉각을 나타내어 재오염되기 어려울 뿐만 아니라 우수한 세정력을 나타내었다.Referring to [Table 3], the detergent compositions prepared according to Examples 1 to 3 showed a high contact angle after cleaning, which not only made it difficult to recontaminate, but also showed excellent cleaning power.

반면, 비교예 1 및 2에 따라 제조된 세정제 조성물은 접촉각이 낮아 재오염이 일어날 수 있고, 또한 표면장력이 낮아 침투력이 저하되어 오염원을 용이하게 제거하기 어려운 문제점이 있다.On the other hand, the detergent compositions prepared according to Comparative Examples 1 and 2 have a low contact angle, which may cause recontamination, and also have a low surface tension, which reduces penetrating power, making it difficult to easily remove contaminants.

4. 부식성 평가4. Corrosivity evaluation

상기 실시예 1, 2, 3 및 비교에 1, 2에 따라 제조된 세정제 조성물의 부식서을 평가하기 위하여 알루미늄편(두께 2mm, 길이 70mm, 폭 20mm)과 동박(두께 1mm, 길이 70mm, 폭 10mm)을 준비하였고, 프레스가공유{ACRO PN 1010DW, 극동유화(주)}에 함침 후 꺼내어 상온에서 5분간 방치하고, 상기 실시예 1, 2, 3 및 비교에 1, 2에 따라 제조된 세정제 조성물에 각각 5분간 침적하여, 유분을 제거한 후 건조시켜 24시간 방치한 후 부식상태를 평가하였다.To evaluate the corrosion resistance of the detergent composition prepared according to Examples 1, 2, 3 and Comparative Examples 1 and 2, aluminum pieces (2 mm thick, 70 mm long, 20 mm wide) and copper foil (1 mm thick, 70 mm long, 10 mm wide) were used. was prepared, impregnated with press processing oil {ACRO PN 1010DW, Kukdong Oil Co., Ltd.}, taken out, left at room temperature for 5 minutes, and added to the detergent composition prepared according to Examples 1, 2, 3 and Comparative Examples 1 and 2. Each was immersed for 5 minutes, the oil was removed, dried, and left for 24 hours to evaluate the corrosion state.

평가기준은 하기 [표 4]에 나타내었고, 그 결과는 하기 [표 5]에 나타내었다.The evaluation criteria are shown in [Table 4] below, and the results are shown in [Table 5] below.

부식성 평가Corrosivity evaluation 구분division 부식정도Corrosion degree 시편표면에 산화부식이 전혀 일어나지 않음No oxidation corrosion occurs on the surface of the specimen. 시편표면에 산화부식이 일부(표면면적 1~2%) 나타남Some oxidation corrosion appears on the surface of the specimen (1-2% of surface area). 시편표면에 산화부식이 일부(표면면적 3~10%) 나타남Some oxidation corrosion appears on the surface of the specimen (3-10% of the surface area). ×× 시편표면에 산화부식이 일부(표면면적 10% 초과) 나타남Some oxidation corrosion appears on the surface of the specimen (exceeding 10% of the surface area).

구분division 부식성 결과Corrosive results 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2

상기 [표 5]를 참조하면, 상기 실시예 1 내지 3에 따라 제조된 세정제 조성물은 부식성 효과가 우수한 것을 확인할 수 있다.Referring to [Table 5], it can be seen that the detergent compositions prepared according to Examples 1 to 3 have excellent corrosive effects.

이상, 본 발명의 바람직한 일 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although a preferred embodiment of the present invention has been described above, those skilled in the art will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical idea or essential features. You will be able to. Therefore, the embodiment described above should be understood as illustrative in all respects and not restrictive.

Claims (6)

에탄올, 구연산, DL-사과산, 자몽종자추출물 및 정제수를 포함하고,
상기 에탄올 0.5 내지 1.5 중량부, 구연산 0.5 내지 1.5 중량부, DL-사과산 0.1 내지 0.3 중량부, 자몽종자추출물 0.1 내지 1 중량부 및 정제수 80 내지 120 중량부의 중량 비율로 포함되며,
상기 에탄올, 구연산, DL-사과산, 자몽종자추출물 및 정제수 이외에, 비타민B1라우릴황산염, 안식향산나트륨, 과산화초산, 항균나노분말 및 살균액을 더 포함하고,
상기 에탄올 0.5 내지 1.5 중량부, 구연산 0.5 내지 1.5 중량부, DL-사과산 0.1 내지 0.3 중량부, 자몽종자추출물 0.1 내지 1 중량부, 비타민B1라우릴황산염 0.3 내지 0.7 중량부, 안식향산나트륨 0.2 내지 0.6 중량부, 과산화초산 0.05 내지 0.25 중량부, 항균나노분말 0.1 내지 0.3 중량부, 살균액 0.3 내지 0.7 중량부 및 정제수 80 내지 120 중량부의 중량 비율로 포함되며,
상기 항균나노분말은 이산화티탄(TiO2) 나노분말, 칠보석 나노분말 및 순지트 나노분말이 1:1:1의 중량 비율로 혼합된 항균나노분말이 사용되는 것을 특징으로 하는 반도체 라인 로봇 세정제 조성물.
Contains ethanol, citric acid, DL-malic acid, grapefruit seed extract and purified water,
It is contained in a weight ratio of 0.5 to 1.5 parts by weight of ethanol, 0.5 to 1.5 parts by weight of citric acid, 0.1 to 0.3 parts by weight of DL-malic acid, 0.1 to 1 part by weight of grapefruit seed extract, and 80 to 120 parts by weight of purified water,
In addition to the ethanol, citric acid, DL-malic acid, grapefruit seed extract, and purified water, it further contains vitamin B1 lauryl sulfate, sodium benzoate, peroxyacetic acid, antibacterial nano powder, and sterilizing solution,
0.5 to 1.5 parts by weight of ethanol, 0.5 to 1.5 parts by weight of citric acid, 0.1 to 0.3 parts by weight of DL-malic acid, 0.1 to 1 part by weight of grapefruit seed extract, 0.3 to 0.7 parts by weight of vitamin B1 lauryl sulfate, 0.2 to 0.6 parts by weight of sodium benzoate. parts, 0.05 to 0.25 parts by weight of peroxyacetic acid, 0.1 to 0.3 parts by weight of antibacterial nanopowder, 0.3 to 0.7 parts by weight of sterilizing solution, and 80 to 120 parts by weight of purified water,
The antibacterial nanopowder is a semiconductor line robot cleaner composition, characterized in that the antibacterial nanopowder is a mixture of titanium dioxide (TiO 2 ) nanopowder, chiljeon nanopowder, and shungite nanopowder in a weight ratio of 1:1:1. .
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