KR102554965B1 - 히팅 케이블 접속장치 및 그가 적용된 플렉시블 히터 - Google Patents

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Abstract

히팅 케이블 접속장치 및 그가 적용된 플렉시블 히터에 관한 것으로, 플렉시블 히터에 적용되는 히팅 케이블을 절연해서 단자부와 접속하도록, 상기 히팅 케이블의 일단부와 연결 케이블의 일단을 접속하고 냉각구간을 형성하는 냉각수단 및 상기 연결 케이블의 타단을 절연해서 상기 단자부에 일단이 접속된 리드선의 타단을 연결하는 절연수단을 포함하는 구성을 마련하여, 플렉시블 히터의 내부와 외면에 각각 냉각수단과 절연수단을 마련함으로써, 전원 공급선을 열적, 전기적으로 절연할 수 있다.

Description

히팅 케이블 접속장치 및 그가 적용된 플렉시블 히터{HEATING CABLE CONNENTING DEVICE AND FLEXIBLE HEATER WITH THE SAME}
본 발명은 플렉시블 히터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 배기 히팅 시스템을 구성하는 플렉시블 히터에 적용된 히팅 케이블과 단자부 사이에 전원공급선을 접속하는 히팅 케이블 접속장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정은 실리콘 웨이퍼 상에 산화 공정, 확산 공정, 사진 공정, 식각 공정, 이온주입 공정, 증착 공정, 금속배선 공정 등의 여러 공정을 반복적으로 수행하는 일련의 과정을 일컫는다. 이들 각 공정을 수행하는 반도체 제조 설비의 대부분은 공정 진행 중에 먼지 입자와 같은 이물질에 의하여 반도체 소자의 특성이 나빠지거나 수율이 저하되는 것을 방지하기 위하여 고진공 상태를 유지하고 있다.
이와 같이 진공환경이 필요한 대부분의 반도체 제조설비에는 진공환경을 만들어주기 위한 진공장치가 설치되는데, 진공장치는 크게 진공펌프, 진공 라인, 배기 라인으로 구성된다.
여기서, 진공장치의 진공 라인은 진공환경이 필요한 반도체 제조설비와 진공펌프를 연결하는 것으로서, 반도체 제조설비의 배관이 복잡하거나, 반도체 제조설비와 진공장치의 설치 위치에 따라 진공장치의 진공 라인이 수평 혹은 수직으로만 연결될 수 없어 유연성이 요구되는 일부분에는 파이프 대신 신축성 및 유연성을 갖는 벨로즈를 사용한다.
통상의 벨로즈는 양측단에 각각 플랜지가 결합되어 있어, 플랜지를 통해 배기라인, 진공펌프, 반도체 공정 챔버 등에 연결 설치할 수 있다
즉, 반도체 및 디스플레이의 식각(Etching), 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD), Metal, 확산 공정에서는 챔버, 퍼 라인(Fore Line), 배기 라인 등에 다량의 고체, 융축성 부산물이 생성되는데, 이런 물질들이 진공배관 내부에 쌓이게 되면 장비의 성능 저하, 생산 수율의 감소, 증축 물질의 백 스트림(Back Stream)에 의한 입자원(Particle Source) 및 챔버 내부 오염 등을 유발시킬 수 있다.
상기 CVD에 이은 식각 공정은 평면 디스플레이 또는 반도체 제조에 있어서 반도체 또는 절연체의 특성을 나타내는 여러 층의 얇은 막을 매우 정교하게 형성하고, 식각을 통해 반도체인 스위치 패턴을 집적해서 만드는 가장 기본적인 공정이다.
위 반응을 유도하기 위해, 챔버(Chamber)에 공급되는 각종 공정가스는 소량만 사용되고, 대부분이 배기관을 통해 배출된다.
한편, 각종 공정가스를 배기관을 통해 배출하는 과정에서, 각종 공정가스는 서로 반응하여 파우더를 형성한다.
이러한 파우더가 배관에 침전되기 시작하면, 배기관 내에 배압(back pressure)이 상승함에 따라, 원활한 배기 활동을 방해하고(clogging), 진공펌프에 불필요한 부하를 작용시켜 PM(Preventive Maintenance) 주기를 단축시키며, 최악의 경우 공정 중 펌프가 멈추거나 이상 작동으로 인해 기판 재료로 사용하는 실리콘 웨이퍼나 유리를 오염시켜 막대한 손실을 가져오는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 배기관 내부에 고온의 질소 가스(hot N2)를 투입하는 방법, 내부 히터(inner heater)를 적용하는 방법, 플렉시블 히터(flexible heater)를 적용하는 방법 등 다양한 방안이 시도되고 있으나, 이러한 방법들을 적용하더라도 파우더의 침전을 지연시키는 효과만 가능할 뿐, 파우더의 침전을 완벽하게 방지하기에는 한계가 있었다.
상기 플렉시블 히터 적용 방법은 진공 펌프부터 스크러버 사이 구간 전체를 MI(Mineral Insulated) 히터가 삽입된 3중 구조의 플렉시블 히터로 연결한다.
이와 같이 플렉시블 히터에 MI 케이블 형태의 히팅 케이블을 설치하는 경우, 히팅 케이블과 단자부 사이는 전원공급선을 이용해서 연결된다.
그러나, 종래기술에 따른 플렉시블 히터에 전원공급선을 적용하는 경우, 플렉시블 파이프에서 발생하는 고온의 열, 습기와 외부에서 가해지는 충격 및 진동에 의해 전원 공급선이 단선되거나, 누전으로 인한 폭발 사고가 발생하는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해소하기 위해, 종래에는 전원 공급선의 절연 및 냉각을 위해 플렉시블 히터에 1m 이상의 절연구간을 마련함에 따라, 플렉시블 히터의 길이가 불필요하게 길어지고, 제조 비용이 상승하는 문제점이 있었다.
또한, 종래기술에 따른 플렉시블 히터는 전원 공급선을 단자부에 연결하기 위해 인출되는 부분에서 기밀이 파괴됨에 따라, 내부를 이동하는 유체의 누기가 발생하는 문제점이 있었다.
대한민국 특허 등록번호 10-2032408호(2019년 10월 15일 공고) 대한민국 특허 등록번호 10-2072824호(2020년 2월 4일 공고)
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 플렉시블 히터에 적용된 히팅 케이블에 전원을 공급하는 전원 공급선을 열적, 전기적으로 절연해서 단자부와 접속하는 히팅 케이블 접속장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 히팅 케이블과 전원 공급선의 연결로 인한 누기를 방지하고, 전원 공급선의 열적 손상으로 인한 단선을 방지할 수 있는 히팅 케이블 접속장치 및 그가 적용된 플렉시블 히터를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 히팅 케이블 접속장치는 플렉시블 히터에 적용되는 히팅 케이블을 절연해서 단자부와 접속하도록, 상기 히팅 케이블의 일단부와 연결 케이블의 일단을 접속하고 냉각구간을 형성하는 냉각수단 및 상기 연결 케이블의 타단을 절연해서 상기 단자부에 일단이 접속된 리드선의 타단을 연결하는 절연수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 히팅 케이블 접속장치가 적용된 플렉시블 히터는 상기 히팅 케이블 접속장치를 이용해서 히팅 케이블과 전원 공급선을 열적, 전기적으로 절연해서 접속하여 상기 히팅 케이블에 전원을 공급하고, 단선 및 누전으로 인한 폭발을 방지하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 히팅 케이블 접속장치 및 그가 적용된 플렉시블 히터에 의하면, 플렉시블 히터의 내부와 외면에 각각 냉각수단과 절연수단을 마련함으로써, 전원 공급선을 열적, 전기적으로 절연할 수 있다는 효과가 얻어진다.
즉, 본 발명에 의하면, 플렉시블 히터의 내부에 냉각수단을 마련하고, 플렉시블 히터와 단자부 사이에 절연수단을 마련함으로써, 전원 공급선의 열적 파손 및 손상을 효과적으로 방지할 수 있다는 효과가 얻어진다.
이에 따라, 본 발명에 의하면, 플렉시블 히터에서 발생하는 열적 손상에 의한 전원 공급선의 단선을 방지함으로써, 히팅 케이블에 공급되는 전원이 차단됨에 따른 히팅 케이블의 구동이 중지되는 것을 방지할 수 있다는 효과가 얻어진다.
또한, 본 발명에 의하면, 전원 공급선을 효과적으로 열적, 전기적으로 절연하고 냉각함으로써, 냉각구간의 길이를 종래의 플렉시블 히터에 적용되는 냉각구간의 길이에 비해 감소시킬 수 있다는 효과가 얻어진다.
결과적으로, 본 발명에 의하면, 전원 공급선의 파손 또는 손상을 방지함으로써, 전원 공급선 교체 등의 유지 보수 작업을 위한 시간적, 인적, 경제적 비용을 최소화할 수 있다는 효과가 얻어진다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치가 적용된 플렉시블 히터의 구성도,
도 2는 도 1에 도시된 A 부분의 확대도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치의 구성도.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치 및 그가 적용된 플렉시블 히터를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
이하에서는 '좌측', '우측', '전방', '후방', '상방' 및 '하방'과 같은 방향을 지시하는 용어들은 각 도면에 도시된 상태를 기준으로 각각의 방향을 지시하는 것으로 정의한다.
본 실시 예에서는 반도체 제조설비의 진공장치에 적용되는 플렉시블 히터 구성을 설명하나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 반도체나 LCD 등 다양한 제품 생산 공정에서 발생하는 반응 가스를 배출하는 배기라인에 적용되도록 변경될 수 있음에 유의하여야 한다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참조해서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치가 적용된 플렉시블 히터의 구성을 개략적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치가 적용된 플렉시블 히터의 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 A 부분의 확대도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치가 적용된 플렉시블 히터(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 펌프와 스크러버 사이를 연결하도록, 복수의 관을 서로 겹쳐서 구성되고, 적용되는 구간에 따라 전체적으로 또는 부분적으로 길이 및 형상이 변형 가능하게 구성될 수 있다.
즉, 플렉시블 히터(10)는 벨로즈관(11), 벨로즈관(12) 내부에 마련되고 라이너 기능을 하는 내부 인터록관(12), 벨로즈관 외부에 마련되는 외부 인터록관(13) 및 벨로즈관(11)의 외면에 설치되어 내부 인터록관(12) 내부를 이동하는 가스를 히팅하는 히팅 케이블(14)를 포함하는 4중 구조로 마련될 수 있다.
외부 인터록관(13) 외부에는 누기를 방지하고, 보온 효과를 제공하도록, 코팅층(15)이 더 마련될 수 있다.
그리고 플렉시블 히터(10)는 상기한 바와 같이 전체가 플렉시블하게 형성되거나, 일정한 길이 및 직선 형상을 갖는 2중관 구조를 갖는 복수의 고정 구간과 상기 복수의 고정 구간 사이에 마련되고 길이 및 형상이 변형 가능하게 구성되는 하나 이상의 플렉시블 구간을 포함할 수도 있다.
이러한 플렉시블 히터(10)의 일측에는 벨로즈관(11)을 통한 배기가스의 누기를 감지하는 누기 감지부(16)와 플렉시블 히터(10)의 내부 온도를 감지하는 온도 감지부(17) 및 히팅 케이블(14)에 연결된 전원 공급선이 연결되는 단자부(18)가 마련될 수 있다.
단자부(18)는 외부의 상용 전원을 공급받고, 히팅 케이블(14)에 공급할 수 있는 전압값 및 전류값으로 변환된 전원을 상기 전원 공급선에 공급할 수 있다.
물론, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 플렉시블 히터를 구성하는 벨로즈관과 인터록관의 개수나 배치 구조를 다양하게 변경할 수 있으며, 각 감지부를 제거하거나 새로운 감지부를 추가하도록 변경될 수 있음에 유의하여야 한다.
다음, 도 1 및 도 3을 참조해서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치의 구성을 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치의 구성도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치(20)는 도 3에 도시된 바와 같이, 플렉시블 히터(10)에 적용되는 히팅 케이블(14)을 절연해서 단자부(18)와 접속하도록, 히팅 케이블(14)의 일단부와 연결 케이블(31)의 일단을 접속하고 냉각구간을 형성하는 냉각수단(30) 및 단자부(18)에 일단이 접속된 리드선(41)의 타단과 접속되는 연결 케이블(31)의 타단을 감싸서 연결 케이블(31)을 통해 히팅 케이블(14)과 리드선(31)을 절연해서 연결하는 절연수단(40)을 포함한다.
연결 케이블(31)은 히팅 케이블(14)과 동일한 MI 케이블로 마련될 수 있다.
그래서 연결 케이블(31)은 플렉시블 히터(10) 내부에 배치된 히팅 케이블(14)의 일단과 전기적으로 연결되어 히팅 케이블(14)에 전원을 공급할 수 있다.
냉각수단(30)은 히팅 케이블(14)과 연결 케이블(31)가 서로 연결되는 연결부의 외면에 설치되는 제1 슬리브(32)를 포함할 수 있다.
제1 슬리브(32)는 대략 원통 형상으로 형성되고, 상기 연결부의 외부에 배치된 상태에서 압착 방식으로 연결부에 결합될 수 있다.
냉각수단(30)은 내부에 제1 슬리브(32)가 설치되는 제1 보빈(33) 및 제1 보빈(33)의 외부를 감싸서 차폐하는 제1 차폐부재(34)를 더 포함할 수 있다.
제1 보빈(33)은 대략 원통 형상으로 형성되고, 내부에 배치된 히팅 케이블(14)의 단부와 연결 케이블(31)의 단부 및 제1 슬리브(32)를 전체적으로 절연하는 절연통 기능을 할 수 있다.
제1 차폐부재(34)는 산화 마그네슘(MgO) 파우더를 미리 설정된 온도로 가열해서 성형될 수 있다.
이러한 제1 보빈(33) 및 제1 차폐부재(34)의 전단과 후단에는 각각 기밀을 유지하도록, 제1 마감부(35)가 마련될 수 있다.
제1 마감부(35)는 용접 방식으로 제1 보빈(33) 및 제1 차폐부재(34)의 전단과 후단을 각각 마감할 수 있다.
이와 같이 구성되는 냉각수단(30)은 히팅 케이블(14)과 동일한 MI 케이블로 마련된 연결 케이블(31)을 연결해서 히팅 케이블(14)에 전원을 공급하고, 냉각구간을 형성해서 전원 공급선의 단선을 방지할 수 있다.
절연수단(40)은 내부에 단자부(18)에 연결된 리드선(41)과 연결 케이블(31)의 연결부가 설치되는 제2 슬리브(42), 내부에 제2 슬리브(42)가 설치되는 공간이 마련되는 제2 보빈(43) 및 제2 보빈(43)의 외부를 감싸서 차폐하는 제2 차폐부재(44)를 포함할 수 있다.
이러한 절연수단(40)은 플렉시블 히터(10)와 단자부(18)가 연결되는 위치, 즉 플렉시블 히터(10)의 외면에 배치될 수 있다.
제2 슬리브(42)는 대략 원통 형상으로 형성되고, 상기 연결부의 외부에 배치된 상태에서 압착 방식으로 연결부에 결합될 수 있다.
제2 보빈(43)은 대략 원통 형상으로 형성되고, 내부에 배치된 연결 케이블(31)의 단부와 리드선(41)의 단부 및 제2 슬리브(42)를 전체적으로 절연하는 절연통 기능을 할 수 있다.
제2 차폐부재(44)는 산화 마그네슘(MgO) 파우더를 미리 설정된 온도로 가열해서 성형될 수 있다.
이러한 제2 보빈(43) 및 제2 차폐부재(44)의 전단과 후단에는 각각 기밀을 유지하도록, 제2 마감부(45)와 제3 마감부(46)가 마련될 수 있다.
제2 마감부(45)는 용접 방식으로 제2 보빈(43) 및 제2 차폐부재(44)의 전단을 마감할 수 있다.
제3 마감부(46)는 내열성을 갖는 에폭시 재질의 재료를 주입해서 제2 보빈(43) 및 제2 차폐부재(44)의 후단을 마감할 수 있다.
이와 같이 구성되는 절연수단(40)은 연결 케이블(31)과 일단이 단자부(18)에 연결된 리드선(41)의 타단을 연결해서 히팅 케이블(14)에 전원을 공급하고, 연결부를 열적, 전기적으로 절연하며, 냉각 구간을 형성할 수 있다.
따라서 본 발명은 냉각수단과 절연수단을 적용해서 히팅 케이블과 단자부 사이를 연결하고, 열적, 전기적으로 절연하고 냉각으로써, 냉각구간의 길이를 종래의 플렉시블 히터에 적용되는 냉각구간의 길이에 비해 획기적으로 감소시킬 수 있다.
실험치에 따르면, 본 실시 예에 따라 플렉시블 히터(10)에 냉각수단(30)과 절연수단(40)을 적용하는 경우, 전체 냉각구간의 길이를 약 20㎝ 내지 30㎝ 정도로 적용하더라도, 충분한 방폭 및 절연 효과를 얻을 수 있음을 확인하였다.
다음, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 히팅 케이블 접속장치 및 그가 적용된 플렉시블 히터의 결합관계 및 작동방법을 설명한다.
먼저, 작업자는 플렉시블 히터(10)를 구성하는 벨로즈관(11)의 외면에 히팅 케이블(14)을 감아서 배치하고, 벨로즈관(11)의 내부와 외부에 각각 내부 인터록관(12)과 외부 인터록 관(13)을 결합한다.
작업자는 플렉시블 히터(10) 내부에서 히팅 케이블(14)의 일단과, 히팅 케이블(14)과 동일한 MI 케이블로 마련된 연결 케이블(31)의 일단을 각각 제1 슬리브(32) 내부에 삽입한다. 그리고 각 케이블(14,31)이 서로 겹쳐지게 배치된 상태에서 압착 방식으로 제1 슬리브(32)를 결합해서 두 케이블(14,31)의 단부를 서로 연결하여 견고하게 고정한다.
이어서, 제1 슬리브(32)의 외부에 제1 보빈(33)을 결합하고, 제1 보빈(33)의 외부를 감싸도록, 산화 마그네슘(MgO) 파우더를 미리 설정된 온도로 가열해서 제1 차폐부재(34)를 성형한다.
이와 같은 과정을 통해 조립된 제1 보빈(33) 및 제1 차폐부재(34)의 전단과 후단에 각각 용접 방식으로 제1 마감부(35)를 형성한다. 이에 따라, 제1 보빈(33) 및 제1 차폐부재(34)의 전단과 후단은 각각 제1 마감부(35)에 의해 기밀을 유지할 수 있다.
이와 같이 구성되는 냉각수단(30)은 플렉시블 히터(10)의 내부에서 히팅 케이블(14)과 연결 케이블(31)을 연결하고, 플렉시블 히터(10)에서 발생하는 열이 연결 케이블(31) 및 단자부(18) 측으로 전달되는 것을 방지하는 냉각 구간을 형성할 수 있다.
다음으로, 작업자는 연결 케이블(31)의 타단과 리드선(41)의 일단을 제2 슬리브(42) 내부에 삽입하고, 각 케이블(31,41)이 서로 겹쳐지게 배치된 상태에서 압착 방식으로 제2 슬리브(42)를 결합해서 두 케이블(31,41)의 단부를 서로 연결하여 견고하게 고정한다.
그리고 제2 슬리브(42)의 외부에 제2 보빈(43)을 결합하고, 제2 보빈(43)의 외부를 감싸도록, 산화 마그네슘(MgO) 파우더를 미리 설정된 온도로 가열해서 제2 차폐부재(44)를 성형한다.
이와 같은 과정을 통해 조립된 제2 보빈(43) 및 제2 차폐부재(44)의 전단을 용접 방식으로 마감해서 제2 마감부(45)를 형성한다. 그리고 제2 보빈(43) 및 제2 차폐부재(44)의 후단에 내열성을 갖는 에폭시 재질의 재료를 주입해서 제3 마감부(46)를 형성한다. 이에 따라, 제2 보빈(43) 및 제2 차폐부재(44)의 전단과 후단은 각각 제2 및 제3 마감부(45,46)에 의해 마감되어 기밀을 유지할 수 있다.
이와 같이 구성되는 절연수단(40)은 플렉시블 히터(10)와 단자부가 연결되는 플렉시블 히터(10)의 외면에 마련되어 연결 케이블(31)과 리드선(41)을 연결하여 전원 공급선을 절연 및 냉각하며, 플렉시블 히터(10)에서 발생하는 열이 단자부(18) 측으로 전달되는 것을 차단할 수 있다.
마지막으로, 리드선(41)의 타단은 단자부(18)에 연결되고, 히팅 케이블(14)은 연결 케이블(31)과 리드선(41)로 구성된 전원 공급선을 통해 단자부(18)에 공급되는 전원을 공급받아 플렉시블 히터(10) 내부를 가열할 수 있다.
이에 따라, 본 발명에 따른 플렉시블 히터는 내부를 이동하는 유체를 일정 온도 이상으로 가열하여 내부에 파우더가 침전되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
상기한 바와 같은 과정을 통해, 본 발명은 냉각수단과 절연수단을 적용해서 히팅 케이블과 단자부 사이를 연결하고, 전원 공급선을 열적, 전기적으로 냉각 및 및 절연함으로써, 냉각구간의 길이를 종래의 플렉시블 히터에 적용되는 냉각구간의 길이에 비해 감소시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 플렉시블 히터의 내부와 외면에 각각 냉각수단과 절연수단을 마련함으로써, 전원 공급선을 열적, 전기적으로 절연할 수 있다.
즉, 본 발명은 플렉시블 히터의 내부에 냉각수단을 마련하고, 플렉시블 히터와 단자부 사이에 절연수단을 마련함으로써, 전원 공급선의 열적 파손 및 손상을 효과적으로 방지할 수 있다.
이에 따라, 본 발명은 플렉시블 히터에서 발생하는 열적 손상에 의한 전원 공급선의 단선을 방지함으로써, 히팅 케이블에 공급되는 전원이 차단됨에 따른 히팅 케이블의 구동이 중지되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 전원 공급선을 효과적으로 열적, 전기적으로 절연하고 냉각함으로써, 냉각구간의 길이를 종래의 플렉시블 히터에 적용되는 냉각구간의 길이에 비해 감소시킬 수 있다.
결과적으로, 본 발명은 전원 공급선의 파손 또는 손상을 방지함으로써, 전원 공급선 교체 등의 유지 보수 작업을 위한 시간적, 인적, 경제적 비용을 최소화할 수 있다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
본 발명은 플렉시블 히터의 내부와 외면에 각각 냉각수단과 절연수단을 마련함으로써, 전원 공급선을 열적, 전기적으로 절연하는 히팅 케이블 접속장치 및 그가 적용된 플렉시블 히터 기술에 적용된다.
10: 플렉시블 히터
11: 벨로즈관 12: 내부 인터록관
13: 외부 인터록관 14: 히팅 케이블
15: 코팅층 16: 누기 감지부
17: 온도 감지부 18: 단자부
20: 히팅 케이블 접속장치
30: 냉각수단
31: 연결 케이블 32: 제1 슬리브
33: 제1 보빈 34: 제1 차폐부재
35: 제1 마감부
40: 절연수단
41: 리드선 42: 제2 슬리브
43: 제1 보빈 44: 제1 차폐부재
45: 제2 마감부 46: 제3 마감부

Claims (8)

  1. 플렉시블 히터에 적용되는 히팅 케이블을 절연해서 단자부와 접속하는 히팅 케이블 접속장치에 있어서,
    상기 히팅 케이블의 일단부와 연결 케이블의 일단을 접속하고 냉각구간을 형성하는 냉각수단 및
    상기 단자부에 일단이 접속된 리드선의 타단과 접속되는 상기 연결 케이블의 타단을 감싸서 상기 연결 케이블을 통해 상기 히팅 케이블과 리드선을 절연해서 연결하는 절연수단을 포함하며,
    상기 냉각수단은 상기 히팅 케이블과 연결 케이블의 연결부 외면에 설치되는 제1 슬리브,
    내부에 상기 제1 슬리브가 설치되는 제1 보빈 및
    상기 제1 보빈의 외부를 감싸서 차폐하는 제1 차폐부재를 포함하고,
    상기 제1 슬리브는 상기 연결부에 압착 결합되며,
    상기 제1 차폐부재는 산화 마그네슘 파우더를 미리 설정된 온도로 가열해서 성형되는 것을 특징으로 하는 히팅 케이블 접속장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 연결 케이블은 상기 히팅 케이블과 동일한 케이블로 마련되고,
    상기 플렉시블 히터에 적용된 상기 히팅 케이블의 일단과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 히팅 케이블 접속장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제1 보빈 및 제1 차폐부재의 전단과 후단은 기밀을 유지하도록, 용접 방식으로 성형되는 제1 마감부에 의해 마감되는 것을 특징으로 하는 히팅 케이블 접속장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 절연수단은 내부에 상기 단자부와 연결된 리드선과 상기 연결 케이블의 연결부가 설치되는 제2 슬리브,
    내부에 상기 제2 슬리브가 설치되는 공간이 마련되는 제2 보빈 및
    상기 제2 보빈의 외부를 감싸서 차폐하는 제2 차폐부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅 케이블 접속장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 보빈 및 제2 차폐부재의 전단은 기밀을 유지하도록, 용접 방식으로 성형되는 제2 마감부에 의해 마감되고,
    상기 제2 보빈 및 제2 차폐부재의 후단은 내열성을 갖는 에폭시 재질의 재료를 주입해서 성형되는 제3 마감부에 의해 마감되는 것을 특징으로 하는 히팅 케이블 접속장치.
  8. 제1항, 제2항 및 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 히팅 케이블 접속장치를 이용해서 히팅 케이블과 전원 공급선을 열적, 전기적으로 절연해서 접속하여 상기 히팅 케이블에 전원을 공급하고, 단선 및 누전으로 인한 폭발을 방지하는 것을 특징으로 하는 히팅 케이블 접속장치가 적용된 플렉시블 히터.
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