KR102535938B1 - 프로브 카드 장치 - Google Patents

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홍밍 천
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Abstract

본 발명은 프로브 카드 장치 및 셀프 정렬 프로브를 개시하는데, 상기 셀프 정렬 프로브는 신호 전송판에 당접하기 위한 전송 단부, 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하기 위한 테스트 단부, 상기 전송 단부에 연결되는 제1 연결부, 상기 테스트 단부에 연결되는 제2 연결부, 및 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부를 연결시키는 원호부를 포함한다. 여기서, 상기 전송 단부는 상기 테스트 단부와 공동으로 기준 축선을 정의하고, 상기 제1 연결부에는 가이드 돌기가 형성되어 있으며, 상기 원호부가 상기 기준 축선과 이격된 최대 거리는 75미크론보다 크고 150미크론보다 작다.

Description

프로브 카드 장치 { PROBE CARD DEVICE }
본 발명은 전도성 프로브에 관한 것으로, 특히 프로브 카드 장치 및 셀프 정렬 프로브에 관한 것이다.
기존의 프로브 카드 장치는 제1 가이드판 유닛, 상기 제1 가이드판 유닛에 이격되게 설치되는 제2 가이드판 유닛, 및 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛에 관통되게 설치되는 복수개의 전도성 프로브를 포함한다. 여기서, 상기 제1 가이드판 유닛 내의 기존의 전도성 프로브의 부위는 동일한 폭의 구조 설계로 제한되므로 기존의 전도성 프로브와 상기 제1 가이드판 유닛 사이에 큰 간극(예를 들어, 10미크론 이상)을 형성함으로써 기존의 프로브 카드 장치의 추가 개발 및 응용에 불리하다.
따라서, 본 발명자는 상기 단점을 개선할 수 있다고 생각하고, 깊은 연구와 과학적 원리의 적용을 매칭시켜 최종적으로 설계가 합리하며 상기 단점을 효과적으로 개선하는 본 발명을 제기한다.
본 발명의 실시예는 기존의 전도성 프로브에 발생할 수 있는 단점을 효과적으로 개선할 수 있는 프로브 카드 장치 및 셀프 정렬 프로브를 제공한다.
본 발명의 실시예는 프로브 카드 장치를 개시하는데, 이는 서로 이격되게 설치되는 제1 가이드판 유닛과 제2 가이드판 유닛; 및 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛에 관통되게 설치되고, 임의의 두 개의 인접한 상기 셀프 정렬 프로브에 간격을 두고 이격되어 있는 복수개의 셀프 정렬 프로브를 포함하는 프로브 카드 장치에 있어서; 각각의 상기 셀프 정렬 프로브는, 상기 제2 가이드판 유닛으로부터 멀어지는 상기 제1 가이드판 유닛의 외측에 위치하는 전송 단부; 상기 제1 가이드판 유닛으로부터 멀어지는 상기 제2 가이드판 유닛의 외측에 위치하고, 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하며; 상기 전송 단부와 공동으로 기준 축선을 정의하는 테스트 단부; 상기 제1 가이드판 유닛 내에 위치하고, 가이드 돌기가 형성되어 있어 상기 제1 가이드판 유닛과 4미크론(μm)보다 크지 않는 간극을 형성할 수 있도록 하는 제1 연결부; 상기 제2 가이드판 유닛 내에 위치하는 제2 연결부; 및 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부를 연결시키고; 여기서, 상기 기준 축선과 이격된 최대 거리는 75미크론보다 크고 상기 간격보다 작은 원호부를 포함한다.
본 발명의 실시예는 셀프 정렬 프로브를 더 개시하는데, 이는 신호 전송판에 당접하기 위한 전송 단부; 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하고; 상기 전송 단부와 공동으로 기준 축선을 정의하는 테스트 단부; 상기 전송 단부에 연결되고, 가이드 돌기가 형성되어 있는 제1 연결부; 상기 테스트 단부에 연결되는 제2 연결부; 및 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부를 연결시키고, 상기 기준 축선과 이격된 최대 거리는 75미크론보다 크고 150미크론보다 작은 원호부를 포함한다.
종합해보면, 본 발명의 실시예에 개시된 프로브 카드 장치 및 셀프 정렬 프로브에서, 이는 상기 제1 연결부를 통해 상기 가이드 돌기를 형성함으로써 상기 셀프 정렬 프로브와 상기 제1 가이드판 유닛 사이의 간극이 효과적으로 제어될 수 있도록 하여 상기 프로브 카드 장치의 개발 및 응용이 용이하도록 한다.
본 발명의 특징 및 기술내용을 보다 더 이해하기 위하여, 이하 본 발명에 관한 상세한 설명 및 도면을 참조하지만 이러한 설명 및 도면은 본 발명을 설명하기 위한 것일 뿐 본 발명의 보호범위에 대하여 어떠한 제한도 아니한다.
도 1은 본 발명의 실시예1의 프로브 카드 장치의 단면 모식도이다.
도 2는 제1 가이드판 유닛과 제2 가이드판 유닛이 어긋나게 설치될 경우의 도 1의 프로브 카드 장치의 단면 모식도이다.
도 3은 본 발명의 실시예1의 셀프 정렬 프로브의 평면 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시예1의 셀프 정렬 프로브의 사시 모식도이다.
도 5는 도 1의 부위V의 확대 모식도이다.
도 6은 도 2의 부위VI의 확대 모식도이다.
도 7은 도 6의 비교예의 모식도이다.
이하 특정된 구체적인 실시예를 통해 본 발명에 개시된 "프로브 카드 장치 및 셀프 정렬 프로브"에 관한 실시형태를 설명하는데, 본 기술분야의 통상의 지식을 가지는 자는 본 명세서에 개시된 내용으로부터 본 발명의 장점 및 효과를 이해할 수 있다. 본 발명은 다른 상이한 구체적인 실시예를 통해 구현되거나 적용될 수 있고, 본 명세서의 각 세부절차는 상이한 관점과 응용에 기반하여 본 발명의 구상을 벗어나지 않는 하에서 다양한 수정 및 변경을 진행할 수 있다. 이 밖에, 본 발명의 도면은 간단한 예시적 설명일 뿐 실제 크기에 따른 설명이 아님을 미리 언급하는 바이다. 이하 실시형태는 본 발명의 관련 기술내용을 더 상세히 설명하지만 개시된 내용은 본 발명의 보호범위를 제한하려는 것이 아니다.
본 명세서에서 "제1", "제2", "제3"과 같은 용어를 사용하여 다양한 소자 또는 신호를 설명할 수 있지만, 이러한 소자 또는 신호는 이러한 용어에 의해 제한되어서는 아니됨을 이해하여야 한다. 이러한 용어는 주로 하나의 소자를 다른 하나의 소자와 구별하거나 또는 하나의 신호를 다른 하나의 신호와 구별하기 위한 것이다. 이 밖에, 본 명세서에서 사용되는 용어 "또는"은 실제 상황에 따라 관련된 열거 항목 중 임의의 하나 또는 복수개의 조합을 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예이다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예는 프로브 카드 장치(1000)(예를 들어, 수직형 프로브 카드 장치)를 개시하는데, 이는 프로브 헤드(100) 및 상기 프로브 헤드(100)의 일측(예를 들어, 도 1의 프로브 헤드(100)의 최상부)에 접하는 신호 전송판(200)를 포함하고, 상기 프로브 헤드(100)의 타측(예를 들어, 도 1의 프로브 헤드(100)의 저부)은 피테스트 물체(device under test, DUT)(도면 미도시, 예를 들어, 반도체 웨이퍼)에 당접하여 테스트하기 위한 것이다.
먼저 설명해야 할 것은, 본 실시예를 용이하게 이해하기 위하여, 도면은 상기 프로브 카드 장치(1000)의 일부 구조만 도시하여 상기 프로브 카드 장치(1000)의 각 소자 구조와 연결 관계를 명확하게 나타내지만 본 발명은 도면에 한정되지 않는다. 이하 상기 프로브 헤드(100)의 각 소자 구조 및 연결 관계를 각각 소개한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 프로브 헤드(100)는 제1 가이드판 유닛(1), 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 이격되게 설치되는 제2 가이드판 유닛(2), 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 클램핑되는 이격판(3), 및 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 관통되게 설치되는 복수개의 셀프 정렬 프로브(4)를 포함한다. 여기서, 임의의 두 개의 인접한 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 간격(D4)을 두고 이격되어 있다.
설명해야 할 것은, 본 실시예에서 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 상기 제1 가이드판 유닛(1), 상기 제2 가이드판 유닛(2), 및 상기 이격판(3)과 결합하여 설명되지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 또한 독립적으로 적용(예를 들어, 판매)되거나 또는 다른 부재와 결합하여 사용될 수도 있다.
본 실시예에서, 상기 제1 가이드판 유닛(1)은 하나의 제1 가이드판을 포함하고, 상기 제2 가이드판 유닛(2)은 하나의 제2 가이드판을 포함한다. 그러나, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 제1 가이드판 유닛(1)은 복수개의 제1 가이드판(및 인접한 두 개의 상기 제1 가이드판 사이에 클램핑되는 이격편)을 포함할 수 있고, 상기 제2 가이드판 유닛(2)은 또한 복수개의 제2 가이드판(및 인접한 두 개의 상기 제2 가이드판 사이에 클램핑되는 이격편)을 포함할 수 있으며, 복수개의 상기 제1 가이드판은 서로 어긋나게 설치될 수 있고, 복수개의 상기 제2 가이드판도 서로 어긋나게 설치될 수 있으며, 상기 제1 가이드판 유닛(1)은 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 대하여 서로 어긋나게 설치될 수 있다.
또한, 상기 이격판(3)은 링형 구조일 수 있고, 상기 이격판(3)은 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 서로 대응되는 외곽 부위에 클램핑되지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 프로브 카드 장치(1000)의 상기 이격판(3)은 또한 생략되거나 또는 다른 부재로 대체될 수 있다.
먼저 설명해야 할 것은, 본 실시예에서 복수개의 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 대체적으로 동일한 구조를 가지므로 설명의 편의를 위해 이하 먼저 하나의 상기 셀프 정렬 프로브(4)를 소개하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 프로브 헤드(100)에 포함된 복수개의 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 구조는 또한 약간의 차이가 있을 수 있거나; 또는, 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 또한 하기 설명의 일부 구조만 포함할 수 있다.
또한, 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 구조를 용이하게 이해하기 위하여 이하 먼저 상기 제1 가이드판 유닛(1)이 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 대하여 어긋나게 설치되지 않은 경우의 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 구조를 설명한다.
도 1, 및 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 일체로 성형된 일체형 구조이고, 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 이의 양단에 각각 위치하는 전송 단부(41)와 테스트 단부(42), 상기 전송 단부(41)에 연결되는 제1 연결부(43), 상기 테스트 단부(42)에 연결되는 제2 연결부(44), 및 상기 제1 연결부(43)와 상기 제2 연결부(44)를 연결시키는 원호부(45)를 포함한다. 다시 말해서, 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 순차적으로 상기 전송 단부(41), 상기 제1 연결부(43), 상기 원호부(45), 상기 제2 연결부(44) 및 상기 테스트 단부(42)를 포함하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
여기서, 상기 전송 단부(41)는 상기 제2 가이드판 유닛(2)으로부터 멀어지는 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 외측(예를 들어, 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 상측)에 위치하여 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 인접하는 상기 신호 전송판(200)에 당접하기 위한 것이고; 상기 테스트 단부(42)는 상기 제1 가이드판 유닛(1)으로부터 멀어지는 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 외측(예를 들어, 상기 제2 가이드판 유닛(2)의 하측)에 위치하여 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 인접하는 상기 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하기 위한 것이다. 또한, 상기 제1 연결부(43)는 상기 제1 가이드판 유닛(1) 내에 위치하고, 상기 제2 연결부(44)는 상기 제2 가이드판 유닛(2) 내에 위치하며, 상기 원호부(45)는 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2) 사이에 위치한다.
보다 상세하게, 상기 전송 단부(41)와 상기 테스트 단부(42)는 공동으로 기준 축선(L)을 정의하고; 본 실시예에서, 상기 기준 축선(L)은 상기 전송 단부(41)의 중심 및 상기 테스트 단부(42)의 중심을 통과하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 여기서, 상기 원호부(45)가 상기 기준 축선(L)과 이격된 최대 거리(D)는 75미크론(μm)보다 크고 상기 간격(D4)(또는 150미크론)보다 작으며, 본 실시예에서 상기 간격(D4)은 150미크론일 수 있지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 다시 말해서, 상기 원호부(45)를 갖지 않는 임의의 전도성 프로브(예를 들어, 직선 형상의 전도성 프로브)는 본 실시예에서 언급된 상기 셀프 정렬 프로브(4)가 아니다.
본 실시예에서, 상기 셀프 정렬 프로브(4)에서 상기 최대 거리(D)가 형성되어 있는 상기 원호부(45)의 위치를 좁은 영역(451)으로 정의하고, 상기 원호부(45)의 단면적은 상기 좁은 영역(451)으로부터 상기 제1 연결부(43)와 상기 제2 연결부(44)를 향해 점차적으로 증가하며, 상기 제1 연결부(43)에 대한 상기 좁은 영역(451)의 거리는 상기 제2 연결부(44)에 대한 상기 좁은 영역(451)의 거리와 동일하다.
따라서, 본 실시 예에서 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 상기 원호부(45)의 구조 설계를 통해 상기 원호부(45)가 변형될 경우, 응력이 분산적으로 상기 원호부(45)의 각 위치에 분산될 수 있고, 상기 원호부(45)의 특정 영역에 집중되지 않도록 함으로써 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 사용 수명을 효과적으로 연장시킬 수 있다.
상기 제1 연결부(43)에는 가이드 돌기(431)가 형성되어 있고, 상기 가이드 돌기(431)는 적어도 일부가 상기 제1 가이드판 유닛(1) 내에 위치할 수 있으며; 다시 말해서, 상기 가이드 돌기(431)는 일부가 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 외측에 위치할 수 있지만 상기 제1 가이드판 유닛(1) 내에 위치한 상기 가이드 돌기(431)의 부위는 가이드 기능을 실현할 수 있다.
또한, 상기 셀프 정렬 프로브(4)에는 상기 가이드 돌기(431)가 형성되어 있어 상기 제1 연결부(43)가 상기 제1 가이드판 유닛(1) 사이에 4미크론(μm)보다 크지 않는 간극(G)을 형성할 수 있도록 하고, 본 실시예에서 상기 간극(G)은 상기 제1 연결부(43)와 상기 제1 가이드판 유닛(1) 사이의 최소 거리를 지칭한다. 다시 말해서, 상기 제1 연결부(43)가 상기 제1 가이드판 유닛(1)의 천공(미도시) 내에 위치할 경우, 상기 제1 연결부(43)에는 상기 가이드 돌기(431)가 형성되어 있어 상기 제1 연결부(43)와 상기 천공의 내벽면 사이의 간극(G)이 4미크론보다 크지 않도록 제어될 수 있다.
다시 말해서, 상기 제1 연결부(43)에는 상기 가이드 돌기(431)가 형성되어 있어, 상기 제1 연결부(43)의 최대 폭(W43)이 상기 제2 연결부(44)의 최대 폭(W44)보다 클 수 있도록 하고, 상기 폭의 조건은 상기 셀프 정렬 프로브(4)를 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 삽입하는 어려움의 증가를 효과적으로 방지할 수 있다. 이 밖에, 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 단면적은 상기 좁은 영역(451)으로부터 상기 가이드 돌기(431)를 향해 점차적으로 증가하여 상기 제1 연결부(43)로 하여금 상기 원호부(45)가 응력을 분담하는데 협력할 수도 있도록 한다.
또한, 본 실시예에서 상기 가이드 돌기(431)와 상기 좁은 영역(451)은 상기 기준 축선(L)의 상반되는 각각 양측에 위치하여 상기 셀프 정렬 프로브(4)를 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)에 삽입하기 용이하도록 하고, 상기 프로브 카드 장치(1000)의 전체적인 구조 안정도를 유지하는데 도움이 되지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에 도시되지 않은 다른 실시예에서, 상기 가이드 돌기(431)와 상기 좁은 영역(451)은 상기 기준 축선(L)의 동일한 측에 위치할 수 있다.
이 밖에, 각각의 상기 셀프 정렬 프로브(4)에서 상기 원호부(45)에는 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 인접하는 돌출 리브(46)가 형성되어 있고, 상기 돌출 리브(46) 및 상기 가이드 돌기(431)는 상기 기준 축선(L)의 상반되는 양측에 각각 위치하며, 각각의 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 상기 돌출 리브(46)는 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 접촉하지 않는다. 다시 말해서, 상기 가이드 돌기(431)와 동일한 측이거나 또는 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 접촉하는 임의의 돌기는 모두 본 실시예에 언급된 상기 돌출 리브(46)와 상이하다.
상술한 바와 같이, 도 2 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)이 서로 경사진 방향으로 어긋날 경우, 복수개의 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 상기 원호부(45)는 동일한 측을 향해 설치되고, 각각의 상기 셀프 정렬 프로브(4)에는 상기 가이드 돌기(431)가 형성되어 있어 상기 전송 단부(41)가 85도~95도 사이의 각도(σ)로 상기 신호 전송판(200)에 당접되도록 한다. 여기서, 상기 전송 단부(41)는 바람직하게는 약 90도의 각도(σ)(예를 들어, 88도~92도)로 상기 신호 전송판(200)에 당접하지만 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 다시 말해서, 상기 셀프 정렬 프로브(4)가 임의의 가이드 돌기(431)를 형성하지 않은 전도성 프로브(4a)로 대체될 경우(예를 들어, 도 7), 상기 전도성 프로브(4a)는 85도보다 작은 각도(α)(예를 들어, 70도)로 상기 신호 전송판(200)에 당접한다.
따라서, 본 실시예에서 상기 프로브 카드 장치(1000)는 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 구조 설계(예를 들어, 상기 제1 연결부(43)에는 상기 가이드 돌기(431)가 형성되어 있음)를 통해, 상기 셀프 정렬 프로브(4)와 상기 제1 가이드판 유닛(1) 사이의 간극(G)이 효과적으로 제어될 수 있도록 하여 상기 프로브 카드 장치(1000)의 개발 및 응용이 용이하다. 여기서, 상기 셀프 정렬 프로브(4)는 또한 상기 가이드 돌기(431)와 상기 좁은 영역(451)이 상기 기준 축선(L)의 상반되는 양측에 각각 위치하도록 하여 상기 제1 연결부(43)가 상기 가이드 돌기(431)로 상기 제1 가이드판 유닛(1)에 당접할 수 있도록 함으로써 부분 응력을 분담하여 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 사용 수명을 향상시킨다.
또한, 상기 프로브 카드 장치는 상기 셀프 정렬 프로브(4)와 상기 제1 가이드판 유닛(1) 사이의 상기 간극(G)을 4미크론보다 작도록 제어하기에 상기 제1 가이드판 유닛(1)과 상기 제2 가이드판 유닛(2)이 어긋나게 설치로 인해 상기 전송 단부(41)에 대한 오프셋을 감소시킬 수 있고; 다시 말해서, 상기 전송 단부(41)가 상기 가이드 돌기(431)를 통해 가이드되도록 함으로써 85도~95도 사이의 각도(σ)로 상기 신호 전송판(200)에 당접한다.
이 밖에, 상기 셀프 정렬 프로브(4)가 상기 가이드 돌기(431)를 통해 상기 전송 단부(41)를 가이드할 수 있는 점에 기반하여 상기 셀프 정렬 프로브(4)의 상기 전송 단부(41)를 더 단축시킬 수 있어 상기 셀프 정렬 프로브(4)가 더 많은 테스트 응용에 적용되도록 한다.
종합해보면, 본 발명의 실시예에 개시된 프로브 카드 장치 및 셀프 정렬 프로브에서, 이는 상기 제1 연결부를 통해 상기 가이드 돌기가 형성되어 있어 상기 셀프 정렬 프로브와 상기 제1 가이드판 유닛 사이의 간극이 효과적으로 제어될 수 있도록 하여 상기 프로브 카드 장치의 개발 및 응용이 용이하도록 한다.
또한, 본 발명의 실시예에 개시된 프로브 카드 장치 및 셀프 정렬 프로브는 상기 원호부의 구조 설계를 통해 상기 원호부가 변형될 경우, 응력이 분산적으로 상기 원호부의 각 부위에 분산될 수 있고, 상기 원호부의 특정 영역에 집중되지 않도록 함으로써 상기 셀프 정렬 프로브의 사용 수명을 효과적으로 연장시킬 수 있다.
이상 개시된 내용은 본 발명의 바람직한 실행 가능한 실시예일 뿐 이로써 본 발명의 특허범위를 제한하는 것이 아니기에 본 발명의 명세서 및 도면을 사용하여 이루어진 동등한 기술 변경은 모두 본 발명의 특허범위에 포함된다.
1000: 프로브 카드 장치
100: 프로브 헤드
1: 제1 가이드판 유닛
2: 제2 가이드판 유닛
3: 이격판
4: 셀프 정렬 프로브
41: 전송 단부
42: 테스트 단부
43: 제1 연결부
431: 가이드 돌기
44: 제2 연결부
45: 원호부
451: 좁은 영역
46: 돌출 리브
200: 신호 전송판
L: 기준 축선
D: 최대 거리
σ: 각도
G: 간극
D4: 간격
W43: 최대 폭
W44: 최대 폭
4a: 전도성 프로브
α: 각도

Claims (5)

  1. 서로 이격되게 설치되는 제1 가이드판 유닛과 제2 가이드판 유닛; 및
    상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛에 관통되게 설치되고, 임의의 두 개의 인접한 셀프 정렬 프로브는 간격을 두고 이격되어 있는 복수개의 셀프 정렬 프로브를 포함하는 프로브 카드 장치에 있어서,
    각각의 상기 셀프 정렬 프로브는,
    상기 제2 가이드판 유닛으로부터 멀어지는 상기 제1 가이드판 유닛의 외측에 위치하는 전송 단부;
    상기 제1 가이드판 유닛으로부터 멀어지는 상기 제2 가이드판 유닛의 외측에 위치하고, 피테스트 물체에 분리 가능하게 당접하며, 상기 전송 단부와 공동으로 기준 축선을 정의하는 테스트 단부;
    상기 제1 가이드판 유닛 내에 위치하고, 가이드 돌기가 형성되어 있어 상기 제1 가이드판 유닛과 4미크론(μm)보다 크지 않는 간극을 형성할 수 있도록 하는 제1 연결부;
    상기 제2 가이드판 유닛 내에 위치하는 제2 연결부; 및
    상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부를 연결시키고, 상기 기준 축선과 이격된 최대 거리는 75미크론보다 크고 상기 간격보다 작은 원호부를 포함하며,
    각각의 상기 셀프 정렬 프로브에서 상기 원호부에는 상기 제1 가이드판 유닛에 인접하는 돌출 리브가 형성되어 있고; 각각의 상기 셀프 정렬 프로브의 상기 돌출 리브 및 상기 가이드 돌기는 상기 기준 축선의 상반되는 양측에 각각 위치하며, 각각의 상기 셀프 정렬 프로브의 상기 돌출 리브는 상기 제1 가이드판 유닛과 접촉하지 않으며; 각각의 상기 셀프 정렬 프로브에서, 상기 제1 연결부의 최대 폭은 상기 제2 연결부의 최대 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    각각의 상기 셀프 정렬 프로브는 상기 최대 거리가 형성되어 있는 상기 원호부의 위치를 좁은 영역으로 정의하고; 각각의 상기 셀프 정렬 프로브에서, 상기 원호부의 단면적은 상기 좁은 영역으로부터 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부를 향해 점차적으로 증가하며; 각각의 상기 셀프 정렬 프로브에서, 상기 제1 연결부에 대한 상기 좁은 영역의 거리는 상기 제2 연결부에 대한 상기 좁은 영역의 거리와 동일하고; 상기 좁은 영역과 상기 가이드 돌기는 상기 기준 축선의 상반되는 양측에 각각 위치하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 카드 장치는 상기 제1 가이드판 유닛에 인접하는 신호 전송판을 더 포함하는데; 여기서, 상기 제1 가이드판 유닛과 상기 제2 가이드판 유닛이 서로 경사진 방향으로 어긋날 경우, 각각의 상기 셀프 정렬 프로브에는 상기 가이드 돌기가 형성되어 있어, 상기 전송 단부가 85도~95도 사이의 각도로 상기 신호 전송판에 당접되도록 하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
  5. 삭제
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