KR102528896B1 - 기판 버퍼장치 - Google Patents

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김경훈
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Abstract

기판 버퍼장치가 제공된다. 본 발명의 일 측면에 따른 기판 버퍼장치는, 입구를 통하여 기판을 인입하여 내부에 적재하며, 내부의 기판을 출구로 인출하는 기판 버퍼장치로서, 상기 입구에 인접하여 배치되며 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가지는 기판 보관부 및 상기 출구에 인접하고 상기 기판 보관부에 나란하게 배치되며 상하로 높이조절이 되는 컨베이어를 구비한 기판 배치부를 포함하고, 상기 기판 보관부는 상기 입구로 인입된 기판을 받아서 상기 기판 배치부 측으로 이송하는 기판 이송기를 포함하고, 상기 기판 배치부는 상기 컨베이어로 상기 기판 이송기에서 기판을 받으며, 상기 컨베이어를 상하 방향으로 이동하여 상기 기판 보관부의 각 층에 선택적으로 기판을 밀어 넣어 적재하고, 상기 기판 배치부는 상기 기판 보관부에서 상기 컨베이어로 기판을 빼내고, 상기 컨베이어를 상하 방향으로 이동하여 상기 출구로 기판을 인출할 수 있다.

Description

기판 버퍼장치{Buffer device for board}
본 발명은 기판 버퍼장치에 관한 것이다.
인쇄회로기판(PCB: Printed circuit board)은 여러 라인을 거치면서 각종 부품의 표면 실장, 납땜 등을 거친 후 완성되게 된다. 이러한 인쇄회로기판 생산라인에서는 인쇄회로기판을 임시적으로 보관하는 기판 버퍼장치를 구비하는 것이 일반적이다.
구체적으로, 기판 버퍼장치는 각 공정단계에서 연속 이송되는 인쇄회로기판을 일시적으로 적재시켜 공정작업의 흐름에 따라 인쇄회로기판이 적절한 속도로 다음 공정으로 이송되게 함으로써, 인쇄회로기판의 이송공급이 원활하게 이루어지도록 하기 위한 것이다.
그런데 종래의 기판 버퍼장치는 기판 적재하는 랙이 상하로 움직이는 구조를 가지므로, 기판을 적재하는 상하 공간의 제약이 발생하였다. 이로 인하여, 기판 적재공간이 부족하여 기판 이송의 병목을 발생시키는 문제가 있었다.
한국등록특허 제10-0665519호
본 발명은 적재 공간의 부족으로 인한 기판 이송의 병목을 방지하도록 적재 공간을 최대화하는 기판 버퍼장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 입구를 통하여 기판을 인입하여 내부에 적재하며, 내부의 기판을 출구로 인출하는 기판 버퍼장치로서, 상기 입구에 인접하여 배치되며 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가지는 기판 보관부 및 상기 출구에 인접하고 상기 기판 보관부에 나란하게 배치되며 상하로 높이조절이 되는 컨베이어를 구비한 기판 배치부를 포함하고, 상기 기판 보관부는 상기 입구로 인입된 기판을 받아서 상기 기판 배치부 측으로 이송하는 기판 이송기를 포함하고, 상기 기판 배치부는 상기 컨베이어로 상기 기판 이송기에서 기판을 받으며, 상기 컨베이어를 상하 방향으로 이동하여 상기 기판 보관부의 각 층에 선택적으로 기판을 밀어 넣어 적재하고, 상기 기판 배치부는 상기 기판 보관부에서 상기 컨베이어로 기판을 빼내고, 상기 컨베이어를 상하 방향으로 이동하여 상기 출구로 기판을 인출하는 기판 버퍼장치가 제공된다.
이 때, 상기 기판 보관부는, 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가지는 하단 랙(Rack)과, 상기 하단 랙 위에 배치되고 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가지는 상단 랙을 포함한 복수의 랙이 상하로 적층된 다단 랙 조립체를 구비하고, 상기 상단 랙의 하부에 상기 기판 이송기가 설치되며, 상기 컨베이어는 상하로 이동하여 상기 다단 랙 조립체의 각 층으로 이동할 수 있다.
이 때, 상기 다단 랙 조립체는, 각 층에 복수의 선반 풀리 및 복수의 선반 풀리를 따라 이동되는 선반 벨트로 구성되고 기판을 지지하는 벨트형 선반을 구비하고, 상기 벨트의 왕복 운동으로 상기 다단 랙 조립체에 기판을 넣고 뺄 수 있다.
이 때, 상기 기판 배치부는, 상기 컨베이어와 같이 상하로 이동되며 상기 벨트형 선반에 선택적으로 연결되어 상기 선반 벨트를 구동시키는 벨트 구동기를 더 포함할 수 있다.
이 때, 벨트 구동기는, 상기 다단 랙 조립체를 향하는 방향으로 상기 컨베이어에 인접하여 설치된 선형 가이드, 상기 선형 가이드를 따라 이동되는 구동 모터, 상기 구동 모터를 전후로 이동시켜서 상기 구동 모터를 상기 벨트형 선반에 연결 또는 해제 시키는 피스톤 기구를 포함할 수 있다.
한편, 상기 기판 보관부 및 상기 기판 배치부는 기판의 사이즈에 맞게 폭이 조절될 수 있다.
또한, 기판 보관부는, 내부 또는 외부로의 기판 이동을 확인하도록, 상하로 마주하여 설치된 한 쌍의 광센서를 더 포함할 수 있다.
인쇄회로기판 적재하는 기판 보관부가 상하로 이동되지 않고 승강하는 컨베이어를 통하여 기판이 상하 이동되므로, 한정된 공간에서 기판 보관부의 기판 적재량을 최대화할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 외부를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 내부를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 기판 보관부를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 상단 랙을 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 기판 이송기를 나타낸 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 벨트형 선반을 나타낸 도면.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 기판 배치부를 나타낸 도면.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 벨트 구동기를 나타낸 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 외부를 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치의 내부를 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치(1000)는, 입구를 통하여 기판을 인입하여 내부에 적재하며 내부의 기판을 출구로 인출하는 기판 버퍼장치(1000)로서, 기판 보관부(1200) 및 기판 배치부(1500)를 포함한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예의 기판 버퍼장치(1000)는 외관을 형성하고 내부의 구성을 보호하는 케이스(1100)를 포함할 수 있다. 이 때, 케이스(1100)의 한쪽 면(1102)에 기판이 들어갈 수 있는 입구(1103)가 형성되고, 반대편 면(1104)에 기판이 나올 수 있는 출구(1105)가 형성될 수 있다.
기판 보관부(1200)는, 수직 다층 구조를 가지고 각 층에 기판을 보관할 수 있으며, 입구(1103)에 인입된 기판을 받아서 후술할 기판 배치부(1500)에 전달하는 역할도 한다.
본 실시예의 기판 보관부(1200)는, 입구(1103)에 인접하여 배치되며, 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가질 수 있다. 이 때, 기판 보관부(1200)는, 입구(1103)로 인입된 기판을 받아서 후술할 기판 배치부(1500) 측으로 이송하는 기판 이송기(1330)를 포함할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치(1000)의 기판 보관부(1200)를 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 실시예의 기판 보관부(1200)는, 복수의 랙(Rack)이 상하로 적층된 다단 랙 조립체를 구비할 수 있다. 예를 들어, 하단 랙(1400)과 상단 랙(1300)의 2단 구조를 가질 수 있다.
하단 랙(1400)은 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가질 수 있다. 상단 랙(1300)은 하단 랙(1400) 위에 배치되고, 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가질 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치(1000)의 상단 랙(1300)을 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치(1000)의 기판 이송기(1330)를 나타낸 도면이다. 도 5는 상단 랙(1300)을 위에서 바라본 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 실시예에서 상단 랙(1300)의 하부에 인입된 기판을 이송하는 기판 이송기(1330)가 설치될 수 있다. 이 때, 상단 랙(1300)의 하부는 기판 버퍼장치(1000)의 입구(1103)와 높이가 맞추어져서, 입구(1103)에 기판이 들어오면 기판 이송기(1330)에 놓이도록 설정될 수 있다.
도 6을 참조하면, 기판 이송기(1330)는, 기판이 놓이며 기판을 지지한 상태로 이동시키는 이송 벨트(1336), 이송 벨트(1336)의 이동 경로를 형성하는 이송 풀리(1334) 및 이송 벨트(1336)에 접하여 이송 벨트(1336)를 움직이는 이송 모터(1332)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 다수의 이송 풀리(1334)들을 따라서 이송 벨트(1336)가 감겨져 있고, 이송 모터(1332)는 이송 벨트(1336)에 밀착되어 이송 벨트(1336)를 회전시킬 수 있다.
이에 따라, 입구(1103)로 인입된 기판이 이송 벨트(1336) 위에 놓이면, 이송 모터(1332)를 가동하여 기판을 신속하게 이송시킬 수 있다. 기판 이송기(1330)는 인입된 기판을 입구(1103)와 반대편에 이웃한 기판 배치부(1500) 측으로 이동시킬 수 있다.
한편, 기판 보관부(1200)는 기판의 사이즈에 맞게 폭이 조절될 수 있다.
도 5를 참조하면, 상단 랙(1300)은, 바닥판(1312)과 바닥판(1312)의 양측에 세워진 한 쌍의 측면판(1314, 1316)을 구비할 수 있다. 한 쌍의 측면판(1314, 1316)의 내측에는 한 쌍의 기판 지지판(1315, 1317)이 배치될 수 있다. 이 때, 제1 기판 지지판(1315)에 대하여 제2 기판 지지판(1317)이 가까워지거나 멀어짐으로써, 기판 보관하는 공간의 폭을 조절할 수 있다.
예를 들어, 제1 기판 지지판(1315)에 제1 폭 조절 모터(1322)가 설치되고, 제1 폭 조절 모터(1322)는 상단 랙(1300)을 가로지르는 제1 나사 봉(1323)을 회전 시킬 수 있다. 제1 나사 봉(1323)은 제2 기판 지지판(1317)에 결합된 제1 너트(1324)와 나사 결합되어, 제1 나사 봉(1323)의 회전에 의해서 제1 기판 지지판(1315)과 제2 기판 지지판(1317)의 사이 간격이 조절될 수 있다. 이 때, 제1 폭 조절 모터(1322)에 결합된 제1 나사 봉(1323)은 다른 나사 봉도 회전 시킬 수 있다. 제1 나사 봉(1323)에 폭 조절 풀리(1325)가 결합되고, 폭 조절 풀리(1325)에 감긴 폭 조절 벨트(1326)로 다른 나사 봉도 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 하나의 폭 조절 모터로 복수의 나사 봉을 회전시켜서 제2 기판 지지판(1317)을 용이하고 균일하게 이동시킬 수 있다.
또한, 기판 보관부(1200)는 내부 또는 외부로의 기판 이동을 확인하는 광센서(1350)를 더 포함할 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에서는 상하로 마주하여 설치된 한 쌍의 광센서(1350)가 상단 랙(1300)에 각각 설치될 수 있다. 한 쌍의 광센서(1350)는 그 사이로 기판이 통과여부를 감지하여, 기판의 정상적 이동을 판단할 수 있게 한다. 예를 들어, 기판 보관부(1200)에서 기판을 빼어낼 때에, 한 쌍의 광센서(1350)에 기판의 통과가 감지되지 않으면 기판이 기판 보관부(1200)에 걸린 상태임을 판단하고 작업자에게 알릴 수 있다.
또한, 기판 보관부(1200)에서 기판은 벨트형 선반(1340)에 의해 각 층별로 지지될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치(1000)의 벨트형 선반(1340)을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 7을 참조하면, 본 실싱예의 기판 보관부(1200)에서, 다단 랙 조립체는 각 층에 설치된 벨트형 선반(1340)을 구비할 수 있다. 벨트형 선반(1340)은, 복수의 선반 풀리(1342) 및 복수의 선반 풀리(1342)를 따라 이동되는 선반 벨트(1344)로 구성되고 기판을 지지할 수 있다. 이에 따라, 선반 벨트(1344)의 왕복 운동으로, 다단 랙 조립체에 기판을 넣고 뺄 수 있다.
한편, 하단 랙(1400)은 상술한 상단 랙(1300)과 유사한 구성을 가질 수 있다. 다만, 본 실시예의 하단 랙(1400)에는 기판 이송기(1330)가 설치되지 않는다. 그러나 다른 실시예에서는 하단 랙(1400)에 기판 이송기(1330)가 설치되고 상단 랙(1300)에는 설치되지 않을 수 있다.
기판 배치부(1500)는, 기판 보관부(1200)의 기판을 출구(1105)로 인출시키는 역할을 한다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예의 기판 배치부(1500)는 출구(1105)에 인접하고 기판 보관부(1200)에 나란하게 배치될 수 있다. 기판 배치부(1500)는 상하로 높이조절이 되는 컨베이어(1510, 도 8 참조)를 구비할 수 있다.
이에 따라, 기판 배치부(1500)는 컨베이어(1510)로 기판 이송기(1330)에서 기판을 받으며, 컨베이어(1510)를 상하 방향으로 이동하여 기판 보관부(1200)의 각 층에 선택적으로 기판을 밀어 넣어 적재할 수 있다. 또한, 기판 배치부(1500)는 기판 보관부(1200)에서 컨베이어(1510)로 기판을 빼내고, 컨베이어(1510)를 상하 방향으로 이동하여 출구(1105)로 기판을 인출할 수도 있다.
이에 따라, 본 발명은, 인쇄회로기판 적재하는 기판 보관부가 상하로 이동되지 않고 승강하는 컨베이어를 통하여 기판이 상하 이동되므로, 한정된 공간에서 기판 보관부의 기판 적재량을 최대화할 수 있다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치(1000)의 기판 배치부(1500)를 상세히 나타낸 도면이다.
도 8 내지 도 10을 참조하면, 본 실시예의 컨베이어(1510)는 상하로 이동하여 다단 랙 조립체의 각 층으로 이동될 수 있다.
예를 들어, 컨베이어(1510)는 수직하게 설치된 수직 나사 봉(1523)에 나사 결합되고, 수직 나사 봉(1523)은 수직 이동 모터(1522)에 의해 회전될 수 있다. 이 때, 수직 나사 봉(1523)은 풀리(1525)와 벨트(1526)로 다른 수직 나사 봉도 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 수직 이동 모터(1522)로 복수의 수직 나사 봉(1523)을 회전시켜서 컨베이어(1510)를 용이하고 균일하게 이동시킬 수 있다.
또한, 컨베이어(1510)는, 기판을 지지한 상태로 이동시키는 컨베이어 벨트(1546), 컨베이어 벨트(1546)의 이동 경로를 형성하는 컨베이어 풀리(1544) 및 컨베이어 벨트(1546)에 접하여 컨베이어 벨트(1546)를 움직이는 컨베이어 모터(1542)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 다수의 컨베이어 풀리(1544)들을 따라 컨베이어 벨트(1546)가 감겨져 있고, 컨베이어 모터(1542)는 컨베이어 벨트(1546)에 밀착되어 컨베이어 벨트(1546)를 회전시킬 수 있다.
한편, 기판 배치부(1500)도, 기판 보관부(1200)와 같이, 기판의 사이즈에 맞게 폭이 조절될 수 있다.
도 9를 참조하면, 컨베이어(1510)는 나란하게 배치된 한 쌍의 기판 지지바(1514, 1516)를 구비할 수 있다. 이 때, 제1 기판 지지바(1514)에 대하여 제2 기판 지지바(1516)가 가까워지거나 멀어짐으로써, 컨베이어(1510)에서 기판을 지지하는 폭을 조절할 수 있다.
예를 들어, 제1 기판 지지바(1514)에 제2 폭 조절 모터(1532)가 설치되고, 제2 폭 조절 모터(1532)는 컨베이어(1510)를 가로지르는 제2 나사 봉(1533)을 회전 시킬 수 있다. 제2 나사 봉(1533)은 제2 기판 지지바(1516)에 결합된 제2 너트(1534)와 나사 결합되어, 제2 나사 봉(1533)의 회전에 의해서 제1 기판 지지바(1514)에 대한 제2 기판 지지바(1516)의 간격이 조절될 수 있다. 이 때, 제2 폭 조절 모터(1532)에 결합된 제2 나사 봉(1533)은 다른 나사 봉도 회전 시킬 수 있다. 제2 나사 봉(1533)에 폭 조절 풀리가 결합되고, 폭 조절 풀리에 감긴 폭 조절 벨트로 다른 나사 봉도 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 하나의 폭 조절 모터로 복수의 나사 봉을 회전시켜서 제2 기판 지지바(1516)를 용이하고 균일하게 이동시킬 수 있다.
또한, 기판 배치부(1500)는, 컨베이어(1510)와 같이 상하로 이동되며, 벨트형 선반(1340)에 선택적으로 연결되어 선반 벨트(1344)를 구동시키는 벨트 구동기(1550)를 포함할 수 있다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 버퍼장치(1000)의 벨트 구동기(1550)를 나타낸 도면이다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 벨트 구동기(1550)는 벨트형 선반(1340)에 필요에 따라 밀착되어 벨트형 선반(1340)의 벨트를 회전시킬 수 있다.
본 실시예의 벨트 구동기(1550)는, 다단 랙 조립체를 향하는 방향으로 컨베이어(1510)에 인접하여 설치된 선형 가이드(1552), 선형 가이드(1552)를 따라 이동되는 구동 모터(1554) 및 구동 모터(1554)를 전후로 이동시켜서 구동 모터(1554)를 벨트형 선반(1340)에 연결 또는 해제 시키는 피스톤 기구(1558)를 포함할 수 있다.
도 7을 참조하면, 벨트형 선반(1340)은 선반 풀리(1342)에 결합된 종동 풀리(1343)를 더 포함할 수 있다. 이 때, 구동 모터(1554)에 결합된 회전 롤러(1556)가 종동 풀리(1343)와 밀착되면 구동 모터(1554)는 벨트형 선반(1340)에 연결되어, 벨트형 선반(1340)을 움직여서 벨트형 선반(1340) 위의 기판을 이동시킬 수 있다. 반대로, 회전 롤러(1556)를 종동 풀리(1343)에서 이격 시키면, 구동 모터(1554)와 벨트형 선반(1340)의 연결을 해제할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이라면 청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.

Claims (9)

  1. 입구를 통하여 기판을 인입하여 내부에 적재하며, 내부의 기판을 출구로 인출하는 기판 버퍼장치로서,
    상기 입구에 인접하여 배치되며, 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가지는 기판 보관부; 및
    상기 출구에 인접하고 상기 기판 보관부에 나란하게 배치되며, 상하로 높이조절이 되는 컨베이어를 구비한 기판 배치부를 포함하고,
    상기 기판 보관부는, 상기 입구로 인입된 기판을 받아서 상기 기판 배치부 측으로 이송하는 기판 이송기를 포함하고,
    상기 기판 배치부는, 상기 컨베이어로 상기 기판 이송기에서 기판을 받으며, 상기 컨베이어를 상하 방향으로 이동하여 상기 기판 보관부의 각 층 중 어느 하나의 층으로 기판을 밀어 넣어 적재하고,
    상기 기판 배치부는, 상기 기판 보관부에서 상기 컨베이어로 기판을 빼내고, 상기 컨베이어를 상하 방향으로 이동하여 상기 출구로 기판을 인출하고,
    상기 기판 보관부는,
    각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가지는 하단 랙(Rack)과, 상기 하단 랙 위에 배치되고 각 층에서 각각 기판을 지지하는 수직 다층 구조를 가지는 상단 랙을 포함한 복수의 랙이 상하로 적층된 다단 랙 조립체를 구비하고,
    상기 상단 랙의 하부에 상기 기판 이송기가 설치되며,
    상기 컨베이어는, 상하로 이동하여 상기 다단 랙 조립체의 각 층으로 이동하는 기판 버퍼장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 다단 랙 조립체는,
    각 층에, 복수의 선반 풀리 및 복수의 선반 풀리를 따라 이동되는 선반 벨트로 구성되고 기판을 지지하는 벨트형 선반을 구비하고,
    상기 벨트의 왕복 운동으로, 상기 다단 랙 조립체에 기판을 넣고 뺄 수 있는, 기판 버퍼장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판 배치부는,
    상기 컨베이어와 같이 상하로 이동되며, 상기 각 층에 구비된 상기 벨트형 선반 중 어느 하나의 상기 벨트형 선반으로 연결되어 상기 선반 벨트를 구동시키는 벨트 구동기를 더 포함하는, 기판 버퍼장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 벨트 구동기는,
    상기 다단 랙 조립체를 향하는 방향으로 설치된 선형 가이드;
    상기 선형 가이드를 따라 이동되는 구동 모터;
    상기 구동 모터를 전후로 이동시켜서, 상기 구동 모터를 상기 벨트형 선반에 연결 또는 해제 시키는 피스톤 기구를 포함하는, 기판 버퍼장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판 보관부 및 상기 기판 배치부는 기판의 사이즈에 맞게 폭이 조절되는, 기판 버퍼장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기판 보관부는,
    내부에 나란하게 세워진 제1 기판 지지판과 제2 기판 지지판;
    상기 제1 기판 지지판에 설치된 제1 폭 조절 모터;
    상기 제1 폭 조절 모터에 의해 회전되는 제1 나사 봉; 및
    상기 제1 나사 봉에 나사 연결되고, 상기 제2 기판 지지판에 결합된 제1 너트를 포함하는, 기판 버퍼장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 기판 배치부는,
    상기 컨베이어에 구비되며, 나란하게 배치된 제1 기판 지지바와 제2 기판 지지바;
    상기 제1 기판 지지바에 설치된 제2 폭 조절 모터;
    상기 제2 폭 조절 모터에 의해 회전되는 제2 나사 봉; 및
    상기 제2 나사 봉에 나사 연결되고, 상기 제2 기판 지지바에 결합된 제2 너트를 포함하는, 기판 버퍼장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기판 보관부는,
    내부 또는 외부로의 기판 이동을 확인하도록, 상하로 마주하여 설치된 한 쌍의 광센서를 더 포함하는, 기판 버퍼장치.
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