KR102525818B1 - 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력들을 제공하기 위한 필터 어셈블리 - Google Patents

Abstract

검사 시스템에서 이용가능한 스펙트럼 대역들의 개수를 증가시키기 위해 사용될 수 있는 시스템이 제공된다. 이 시스템은 광대역 조명을 방출하도록 구성된 조명 소스를 포함할 수 있다. 이 시스템은 2개 이상의 필터 유닛을 포함하는 필터 어셈블리를 또한 포함할 수 있다. 2개 이상의 필터 유닛은 하나 이상의 다양한 필터링 특성을 갖는 2개 이상의 필터를 포함할 수 있다. 이 시스템은 필터 유닛들의 선택된 필터들을 조명 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성된 2개 이상의 모터를 또한 포함할 수 있다. 이 시스템을 사용하면, 검사 시스템에서 사용될 이용가능한 스펙트럼 대역들의 개수가 증가될 수 있다.

Description

광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력들을 제공하기 위한 필터 어셈블리

본 출원은, 전체가 참고로 본 명세서에 포함되는, Jeremy Nesbitt, Jagadeesh Kumar, 및 David C, Oram을 발명자들로서 기재하고 있는, 발명의 명칭이 FLEXIBLE SPECTRUM FOR BROAD BAND PLASMA WAFER INSPECTION SYSTEMS인, 2017년 4월 14일자로 출원된 미국 가출원 제62/485,505호의 35 U.S.C. § 119(e)에 따른 이익을 주장한다.

본 개시내용은 일반적으로 샘플 검사 및 결함 검출 분야에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 필터 어셈블리가 장착된 검사 시스템에 관한 것이다.

점점 더 작은 디바이스 피처들을 갖는 집적 회로들에 대한 수요가 계속 증가함에 따라, 이러한 점점 축소되는 디바이스들의 검사를 위한 개선된 검사 시스템들의 필요성이 계속 증가하고 있다. 일부 검사 시스템들은, LSP(laser-sustained plasma) 광대역 광 소스와 같은, 그러나 이로 제한되지않는, 광대역 광 소스들을 포함한다.

반도체 웨이퍼와 같은, 샘플을 검사하는 동안, 다양한 유형들의 결함들이 검사 동안 사용된 파장에 기초하여 상이한 신호 응답들을 생성한다. 그 결과, 많은 경우들에서, 특정의 유형의 결함은 특정 스펙트럼 대역을 사용하여 가장 효율적으로 검사될 수 있다. 현재의 웨이퍼 검사 시스템들은 다양한 대역 통과 스펙트럼 필터들을 포함하는 단일 휠(wheel)을 사용한다. 휠은 단일 대역 통과 필터가 조명 빔에 배치될 수 있도록 회전될 수 있어, 그에 의해 검사에 사용되는 광을 그 필터와 연관된 스펙트럼 범위로 필터링할 수 있다. 현재의 시스템의 한 가지 단점은, 공간 제약조건들로 인해, 휠들이 한 번에 대략 10개의 개별 필터를 유지할 수 있을 뿐이라는 것이다. 현재의 시스템의 다른 단점은 원하는 각각의 개별 스펙트럼 범위에 대해 개별 필터 설계가 필요하다는 것이다. 많은 스펙트럼 범위들의 필요성, 따라서 많은 필터들의 필요성은 다양한 스펙트럼 범위들 간에 전환하는 데 요구되는 비용 및 시간을 증가시킨다. 부가적으로, 공간 제약조건들로 인해 부가 필터들을 수용하기 위해 휠의 사이즈를 단순히 증가시키는 것이 가능하지 않을 수 있다. 따라서, 위에서 식별된 이전의 접근법들의 단점들 중 하나 이상을 치유하는 시스템 및 방법의 필요성이 존재한다.

본 개시내용의 하나 이상의 예시적인 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 필터 장치가 개시된다. 일 실시예에서, 필터 장치는 제1 필터 유닛을 포함한다. 다른 실시예에서, 제1 필터 유닛은 제1 필터 세트를 포함한다. 다른 실시예에서, 필터 장치는 제2 필터 유닛을 포함한다. 다른 실시예에서, 제2 필터 유닛은 제2 필터 세트를 포함한다. 다른 실시예에서, 제1 필터 세트 또는 제2 필터 세트 중 적어도 하나는 제1 필터 및 제1 필터와는 상이한 하나 이상의 필터링 특성을 갖는 제2 필터를 포함한다. 다른 실시예에서, 필터 장치는 제1 필터 유닛에 커플링된 제1 모터를 포함한다. 다른 실시예에서, 제1 모터는 제1 필터 유닛의 선택된 필터를 조명 소스로부터의 광대역 조명 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성된다. 이와 유사하게, 다른 실시예에서, 필터 장치는 제2 필터 유닛에 커플링된 제2 모터를 포함한다. 다른 실시예에서, 제2 모터는 제2 필터 유닛의 선택된 필터를 조명 소스로부터의 광대역 조명 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성된다.

본 개시내용의 하나 이상의 예시적인 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 시스템이 개시된다. 일 실시예에서, 이 시스템은 광대역 조명을 생성하도록 구성된 조명 소스를 포함한다. 다른 실시예에서, 이 시스템은 필터 어셈블리를 포함한다. 일 실시예에서, 필터 어셈블리는 제1 필터 유닛을 포함한다. 다른 실시예에서, 제1 필터 유닛은 제1 필터 세트를 포함한다. 다른 실시예에서, 필터 어셈블리는 제2 필터 유닛을 포함한다. 다른 실시예에서, 제2 필터 유닛은 제2 필터 세트를 포함한다. 다른 실시예에서, 제1 필터 세트 또는 제2 필터 세트 중 적어도 하나는 제1 필터 및 제1 필터와는 상이한 하나 이상의 필터링 특성을 갖는 제2 필터를 포함한다.

다른 실시예에서, 필터 어셈블리는 제1 필터 유닛에 커플링된 제1 모터를 포함한다. 다른 실시예에서, 제1 모터는 제1 필터 유닛의 선택된 필터를 광대역 조명 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성된다. 다른 실시예에서, 필터 어셈블리는 제2 필터 유닛에 커플링된 제2 모터를 포함한다. 다른 실시예에서, 제2 모터는 제2 필터 유닛의 선택된 필터를 광대역 조명 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성된다.

전술한 개괄적인 설명 및 이하의 상세한 설명 둘 다가 예시적이고 설명적인 것에 불과하며, 청구된 바와 같은 본 발명을 반드시 제한하는 것은 아님이 이해되어야 한다. 본 명세서에 포함되어 본 명세서의 일부를 구성하는 첨부 도면은 본 발명의 실시예들을 예시하고, 개괄적인 설명과 함께, 본 발명의 원리들을 설명하는 역할을 한다.

본 개시내용의 수많은 장점들은 첨부 도면들을 참조하여 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 보다 잘 이해될 수 있다:
도 1a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 명시야 구성에서 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 시스템의 블록 다이어그램을 예시하고 있다.
도 1b는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 암시야 구성에서 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 시스템의 단순화된 개략 다이어그램을 예시하고 있다.
도 1c는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 필터 휠 어셈블리의 단순화된 개념 다이어그램을 예시하고 있다.
도 1d는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 필터 세트를 포함하는 휠의 단순화된 개략 다이어그램을 예시하고 있다.
도 1e는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 필터 세트를 포함하는 휠의 단순화된 개략 다이어그램을 예시하고 있다.
도 1f는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 시스템의 단순화된 개념 다이어그램을 예시하고 있다.
도 1g는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 필터 어셈블리의 단순화된 개략 다이어그램을 예시하고 있다.
도 1h는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 슬라이딩 필터 디바이스(sliding filter device)의 단순화된 개략 다이어그램을 예시하고 있다.
도 1i는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 슬라이딩 필터 디바이스의 단순화된 개략 다이어그램을 예시하고 있다.
도 2a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 제1 필터 및 제2 필터로 필터링한 후의 파장의 함수로서 광대역 출력의 파장의 함수인 강도의 그래프를 예시하고 있다.
도 2b는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 결과적인 좁은 스펙트럼 대역의 파장의 함수인 강도의 그래프를 예시하고 있다.
도 2c는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 제1 필터 및 제2 필터로 필터링한 후의 파장의 함수로서 광대역 출력의 파장의 함수인 강도의 그래프를 예시하고 있다.
도 2d는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 결과적인 넓은 스펙트럼 대역의 파장의 함수인 강도의 그래프를 예시하고 있다.
도 3a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 260 내지 285 nm의 파장 범위의 조명을 사용하여 취득된 결함의 이미지를 예시하고 있다.
도 3b는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 260 내지 303 nm의 파장 범위의 조명을 사용하여 취득된 결함의 이미지를 예시하고 있다.
도 3c는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 260 내지 320 nm의 파장 범위의 조명을 사용하여 취득된 결함의 이미지를 예시하고 있다.
도 3d는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 421 내지 450 nm의 파장 범위의 조명을 사용하여 취득된 결함의 이미지를 예시하고 있다.
도 4는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 방법의 플로차트를 예시하고 있다.

전술한 개괄적인 설명 및 이하의 상세한 설명 둘 다가 예시적이고 설명적인 것에 불과하며, 청구된 바와 같은 본 발명을 반드시 제한하는 것은 아님이 이해되어야 한다. 본 명세서에 포함되어 본 명세서의 일부를 구성하는 첨부 도면은 본 발명의 실시예들을 예시하고, 개괄적인 설명과 함께, 본 발명의 원리들을 설명하는 역할을 한다.

첨부 도면에 예시되는, 개시된 주제(subject matter)에 대해 이제 상세하게 언급될 것이다.

도 1a 내지 도 3d를 개괄적으로 참조하면, 본 개시내용의 하나 이상의 예시적인 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 장치 및 시스템이 설명된다.

본 개시내용의 실시예들은 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 필터 어셈블리에 관한 것이다. 본 개시내용의 실시예들은 2개 이상의 필터 유닛을 포함하는 필터 어셈블리에 관한 것으며, 여기서 각각의 필터 유닛은 다수의 필터들을 포함한다. 본 개시내용의 필터 어셈블리의 이용은 조명 소스로부터 방출된 광대역 조명이 적어도 두 번: 먼저 제1 필터 유닛 상의 제1 필터에 의해, 이어서 제2 필터 유닛 상의 제2 필터에 의해 필터링되게 한다. 샘플 검사에 사용될 수 있는, 결과적인 필터링된 스펙트럼은 따라서 2개 이상의 필터의 곱일 것이다. 그러한 구성은 광대역 광이 원하는 스펙트럼 범위로 보다 유연하게 필터링될 수 있게 해준다. 필터 구성 조합들의 증가된 개수가 검사에 사용될 광대역 조명 빔의 특성들을 수정할 증가된 유연성을 사용자에게 허용한다는 점에 본 명세서에서 유의한다. 2개 이상의 개별 필터 유닛을 포함하는 필터 어셈블리의 구현이 비용을 감소시키고, 이용가능한 스펙트럼 대역들의 개수를 증가시키며, 공간 제약조건들을 완화시키는 역할을 한다는 점에 본 명세서에서 추가로 유의한다.

본 개시내용의 상당 부분이 반도체 웨이퍼 검사의 맥락에서 본 개시내용의 실시예들의 구현에 초점을 맞추고 있지만, 이것은 본 개시내용에 대한 제한이 아니며 예시 목적들을 위해서만 제공된다. 본 개시내용의 실시예들이 반도체 디바이스 검사, 레티클 검사, 생물 시료 검사, 및 이와 유사한 것을 포함하지만, 이에 제한되지 않는, 광학 기술분야들에서 공지된 임의의 검사 또는 이미징 설정으로 확장될 수 있다는 점에 본 명세서에서 유의한다.

도 1a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 명시야 구성에서 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 시스템의 블록 다이어그램을 예시하고 있다.

일 실시예에서, 시스템(100)은 필터 어셈블리(102), 조명 소스(104), 샘플 스테이지(108), 검출기(110), 및/또는 제어기(112)를 포함한다.

일 실시예에서, 조명 소스(104)는 샘플 스테이지(108)에 의해 고정된 샘플(106)의 일 부분을 조명하는 데 사용될 수 있는 광대역 조명(122)을 방출하도록 구성된다. 조명 소스(104)는 샘플 검사의 기술분야에 공지된 임의의 조명 소스를 포함할 수 있다. 예를 들어, 조명 소스(104)는 LPP(laser produced plasma) 광대역 소스, 방전 광대역 소스, 또는 광대역 레이저를 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 게다가, 조명 소스(104)는 샘플 검사의 기술분야에 공지된 임의의 스펙트럼 범위의 조명으로 샘플(106)의 일 부분을 조명할 수 있다. 예를 들어, 조명 소스(104)는 적외선(IR), 가시, 자외선(UV), 또는 원자외선(deep ultra-violet, DUV) 스펙트럼 범위들에서 조명을 방출할 수 있다.

샘플(106)은, 반도체 웨이퍼(예컨대, 실리콘 웨이퍼)와 같은, 웨이퍼를 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 샘플 스테이지(108)는 샘플(106)의 검사를 용이하게 하기 위해, 본 기술분야에 공지된 임의의 가동 방법을 사용하여, 샘플을 이동 또는 회전시키도록 구성될 수 있다.

본 개시내용의 시스템(100)이 본 기술분야에 공지된 임의의 검사 시스템으로서 구성될 수 있음에 유의한다. 예를 들어, 도 1a에 도시된 바와 같이, 시스템(100)은 명시야(bright field, BF) 검사 시스템으로서 구성될 수 있다. 대안적으로, 도 1b에 도시된 바와 같이, 시스템(100)은 암시야(dark field, DF) 검사 시스템으로서 구성될 수 있다. 출원인은 도 1a 및 도 1b에 묘사된 광학 구성들이 단지 예시 목적들을 위해 제공되며 제한적인 것으로 해석되어서는 안된다는 점에 주목한다. 일반적인 의미에서, 본 개시내용의 시스템(100)은 샘플(106)의 표면을 이미징하기에 적당한 이미징 및 광학 요소들의 임의의 세트를 포함할 수 있다. 웨이퍼 검사 툴들의 예들은, 각각이 본 명세서에 참고로 포함되는, 미국 특허 제7,092,082호, 미국 특허 제6,702,302호, 미국 특허 제6,621,570호, 및 미국 특허 제5,805,278호에 상세히 설명되어 있다.

도 1a를 또다시 참조하면, 일 실시예에서, 필터 어셈블리(102)는 조명 소스(104)로부터 방출된 광대역 조명(122)을 수광하고 광대역 조명(122)을 필터링된 스펙트럼(124)으로 필터링하도록 구성된다. 다른 실시예에서, 필터링된 스펙트럼(124)을 갖는 조명은 샘플(106)의 표면으로 지향될 수 있다.

다른 실시예에서, 시스템(100)은 조명 소스(104)에 의해 방출된 조명을 샘플(106)의 일 부분 상으로 지향 및/또는 포커싱시키기 위한 하나 이상의 조명 광학계(126, 128)를 포함할 수 있다. 조명 광학계들(126, 128)은 본 기술분야에 공지된 임의의 광학 요소들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 조명 광학계들(126, 128)은 하나 이상의 회절 광학 요소, 하나 이상의 렌즈, 하나 이상의 미러, 하나 이상의 필터, 및 이와 유사한 것을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 다른 실시예에서, 시스템(100)은 조명 소스(104)에 의해 방출된 조명을 샘플(106)의 일 부분 상으로 지향시키기 위한 하나 이상의 빔 스플리터(120)를 포함한다.

일 실시예에서, 하나 이상의 검출기(110)는 샘플(106)의 표면으로부터의 조명(예컨대, 하나 이상의 결함으로부터 산란된 조명, 샘플(106)의 표면으로부터 반사된 조명, 및 이와 유사한 것)을 수집하도록 구성된다. 검출기들(110)은 샘플 검사 기술분야에 공지된 임의의 검출기(들)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 검출기들(110)은 CCD 검출기들 또는 TDI-CCD 검출기들을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다.

다른 실시예에서, 제어기(112)는 하나 이상의 프로세서(114)를 포함한다. 다른 실시예에서, 하나 이상의 프로세서(114)는 메모리(116)에 저장된 프로그램 명령어들의 세트를 실행하도록 구성된다. 다른 실시예에서, 프로그램 명령어들의 세트는 필터링된 스펙트럼(124)의 하나 이상의 특성을 선택적으로 변경하기 위해 필터 어셈블리(102)의 하나 이상의 컴포넌트를 가동시키도록 구성된다. 다른 실시예에서, 시스템(100)은 제어기(112)와 통신가능하게 커플링된 사용자 인터페이스(118)를 포함한다.

제어기(112)의 하나 이상의 프로세서(114)는 본 기술분야에 공지된 임의의 하나 이상의 프로세싱 요소를 포함할 수 있다. 이러한 의미에서, 하나 이상의 프로세서(114)는 소프트웨어 알고리즘들 및/또는 명령어들을 실행하도록 구성된 임의의 마이크로프로세서형 디바이스(microprocessor-type device)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 하나 이상의 프로세서(114)는, 본 개시내용 전반에 걸쳐 설명된 바와 같이, 시스템(100)을 가동시키도록 구성된 프로그램을 실행하도록 구성된 데스크톱 컴퓨터, 메인프레임 컴퓨터 시스템, 워크스테이션, 이미지 컴퓨터, 병렬 프로세서, 또는 다른 컴퓨터 시스템(예컨대, 네트워크화된 컴퓨터)로 이루어져 있을 수 있다. 본 개시내용 전반에 걸쳐 설명된 단계들이 단일 컴퓨터 시스템 또는, 대안적으로, 다수의 컴퓨터 시스템들에 의해 수행될 수 있음이 인식되어야 한다. 일반적으로, 용어 "프로세서"는 메모리(116)로부터의 프로그램 명령어들을 실행하는, 하나 이상의 프로세싱 요소를 갖는 임의의 디바이스를 포괄하도록 광의적으로 정의될 수 있다. 더욱이, 시스템(100)의 상이한 서브시스템들(예컨대, 필터 어셈블리(102), 또는 사용자 인터페이스(118))은 본 개시내용 전반에 걸쳐 설명된 단계들의 적어도 일 부분을 수행하기에 적당한 프로세서 또는 로직 요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 위의 설명은 본 개시내용에 대한 제한으로서 해석되어서는 안되며 단지 예시로서 해석되어야 한다.

메모리(116)는 연관된 하나 이상의 프로세서(114)에 의해 실행가능한 프로그램 명령어들을 저장하기에 적당한 본 기술분야에 공지된 임의의 저장 매체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 메모리(116)는 비일시적 메모리 매체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 메모리(116)는 판독 전용 메모리, 랜덤 액세스 메모리, 자기 또는 광학 메모리 디바이스(예컨대, 디스크), 자기 테이프, 솔리드 스테이트 드라이브, 및 이와 유사한 것을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 다른 실시예에서, 메모리(116)는 필터 어셈블리(102), 검출기들(110)로부터의 하나 이상의 결과, 및/또는 본 명세서에 설명된 다양한 단계들의 출력을 저장하도록 구성된다. 메모리(116)가 하나 이상의 프로세서(114)와 함께 공통 제어기 하우징 내에 하우징될 수 있음에 추가로 유의한다. 대안의 실시예에서, 메모리(116)는 프로세서들 및 제어기(112)의 물리적 위치에 대해 원격으로 위치될 수 있다. 예를 들어, 제어기(112)의 하나 이상의 프로세서(114)는, 네트워크(예컨대, 인터넷, 인트라넷, 및 이와 유사한 것)를 통해 액세스가능한, 원격 메모리(예컨대, 서버)에 액세스할 수 있다. 다른 실시예에서, 메모리(116)는 하나 이상의 프로세서(114)로 하여금 본 개시내용 전반에 걸쳐 설명된 다양한 단계들을 수행하게 하기 위한 프로그램 명령어들을 유지한다.

일 실시예에서, 사용자 인터페이스(118)는 제어기(112)에 통신가능하게 커플링된다. 사용자 인터페이스(118)는 본 기술분야에 공지된 임의의 사용자 입력 디바이스를 포함할 수 있다. 예를 들어, 사용자 입력 디바이스는 키보드, 키패드, 터치스크린, 스크롤 바, 스티어링 휠, 조이스틱, 또는 이와 유사한 것을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 본 기술분야의 통상의 기술자는 많은 수의 사용자 입력 디바이스들이 본 발명에서의 구현에 적당할 수 있으며, 본 발명이 본 명세서에 나열된 그 사용자 입력 디바이스들로 제한되지 않음을 인식해야 한다.

다른 실시예들에서, 사용자 인터페이스(118)는 시스템(100) 또는 필터 어셈블리(102)의 데이터를 사용자에게 디스플레이하는 데 사용되는 디스플레이를 포함한다. 사용자 인터페이스(118)의 디스플레이는 본 기술분야에 공지된 임의의 디스플레이를 포함할 수 있다. 예를 들어, 디스플레이는 LCD(liquid crystal display), OLED(organic light-emitting diode) 기반 디스플레이 또는 CRT 디스플레이를 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 본 기술분야의 통상의 기술자는 사용자 인터페이스(118)와 통합될 수 있는 임의의 디스플레이 디바이스가 본 개시내용에서의 구현에 적당하다는 것을 인식해야 한다. 다른 실시예에서, 사용자는 사용자 인터페이스(118)를 통해 사용자에게 디스플레이된 데이터에 응답하여 선택들 및/또는 지시들을 입력할 수 있다.

도 1c는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 필터 어셈블리(102)의 단순화된 개념 다이어그램을 예시하고 있다.

이 실시예에서, 필터 어셈블리(102)는 필터 휠 어셈블리이다. 일 실시예에서, 필터 어셈블리(102)는 2개 이상의 필터 휠(126, 127)을 포함한다. 일 실시예에서, 제1 필터 휠(126)은 제1 필터 세트(132)를 포함한다. 다른 실시예에서, 제2 필터 휠(127)은 제2 필터 세트(133)를 포함한다. 다른 실시예에서, 동작 중일 때, 필터 휠 어셈블리는 제1 필터 세트(126)가, 조명 소스(104)로부터 방출된 조명 빔(121) 내에 정렬되는, "활성(active)" 필터(130)를 포함하도록 제어될 수 있다. 이와 유사하게, 제2 세트의 필터(127)는, 조명 소스(104)로부터 방출된 조명 빔(121) 내에 또한 정렬되는, 활성 필터(131)를 포함할 수 있다.

다른 실시예에서, 필터 어셈블리(102)는 2개 이상의 필터 휠(126, 127)에 회전가능하게 커플링되는 2개 이상의 모터(128, 129)를 포함한다. 다른 실시예에서, 각각의 필터 휠(126, 127)이 다른 필터 휠(126, 127)에 대해 독립적으로 회전될 수 있도록 모터들(128, 129)이 구성된다. 예를 들어, 제1 모터(128)는 제2 필터 휠(127)에 대해 독립적으로 제1 필터 휠(126)을 회전시킬 수 있도록 구성될 수 있다. 다른 예로서, 제2 모터(129)는 제1 필터 휠(126)에 대해 독립적으로 제2 필터 휠(127)을 회전시킬 수 있도록 구성될 수 있다.

일 실시예에서, 제1 필터 휠(126)은 제1 필터 세트(132)를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 제2 필터 휠(127)은 제2 필터 세트(133)를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 제1 및 제2 필터들이 하나 이상의 상이한 필터링 특성을 갖도록 제1 필터 세트(132)는 제1 필터 및 제2 필터를 포함한다. 다른 실시예에서, 제1 및 제2 필터들이 하나 이상의 상이한 필터링 특성을 갖도록 제2 필터 세트(133)는 제1 필터 및 제2 필터를 포함한다.

다른 실시예에서, 각각의 필터 세트(132, 133)의 선택된 필터가 조명 빔을 향해 회전되도록, 모터들(128, 129)이 필터 휠들(126, 127)을 선택적으로 회전시키도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 제1 필터 세트(132)의 선택된 필터가 조명 소스(104)로부터의 조명 빔(121)을 향해 회전되도록, 제1 모터(128)는 제2 필터 휠(127)에 독립적으로 제1 필터 휠(126)을 선택적으로 회전시키도록 제어될 수 있다. 다른 예로서, 제2 필터 세트(133)의 선택된 필터가 조명 소스(104)로부터의 조명 빔(121)을 향해 회전되도록, 제2 모터(129)는 제1 필터 휠(126)에 독립적으로 제2 필터 휠(127)을 선택적으로 회전시키도록 제어될 수 있다.

필터 휠들(126, 127)의 독립적인 회전이 필터 세트들(132, 133) 간의 많은 필터 조합들을 가능하게 해준다는 점에 유의한다. 예를 들어, 제2 휠에 대해 독립적으로 회전하도록 구성된 제1 휠은 n개의 고유한 개별 필터를 포함할 수 있다. 제1 휠에 대해 독립적으로 회전하도록 구성된, 제2 휠은 m개의 고유한 개별 필터를 포함할 수 있다. 이 예에서, 고유한 필터 조합들의 총수 N은 방정식 N=m^*n에 의해 구해질 수 있다.

도 1d 및 도 1e는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 필터 세트들(132 및 133)을 포함하는 필터 휠들(126, 127)의 단순화된 개략 다이어그램들을 예시하고 있다. 이전에 논의된 바와 같이, 제1 필터 휠(126)과 제2 필터 휠(127)은 서로에 대해 독립적으로 회전하도록 구성될 수 있다. 이 예에서, 제1 필터 휠(126)은 12개의 개별 필터(즉, n=12)를 갖고, 제2 필터 휠(127)은 12개의 개별 필터(즉, m=12)를 갖는다. 이 예에서, 필터 휠들(126 및 127)은 144개의 고유한 필터 조합(즉, N=12^*12=144)을 생성할 수 있다. 부가 필터 세트들을 포함하는 부가 휠들이 광대역 조명(122)의 하나 이상의 특성을 추가로 수정하기 위해 이용될 수 있으며, 이는 부가의 고유한 필터 조합들을 생성할 수 있음이 생각되고 있다.

다른 실시예에서, 필터 세트들(132, 133)은 대략 10 nm 내지 600 nm의 출력 스펙트럼 범위를 전송하도록 구성된 필터들을 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 필터 세트들(132, 133)은 각각이 5개 내지 25개의 개별 필터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 필터 세트들(132, 133)은, 도 1d 및 도 1e에 묘사된 바와 같이, 12개의 개별 필터를 포함할 수 있다. 도 1d 및 도 1e에 묘사된 필터 휠들(126, 127)은 각각이 12개의 개별 필터를 갖지만, 이 구성이 본 개시내용의 범위에 대한 제한이 아니며 단지 예시 목적들을 위해 제공된다는 것에 유의한다. 각각의 필터 휠(또는 다른 필터 유지 메커니즘)이 임의의 수의 필터를 포함할 수 있는 것이 본 명세서에서 생각된다.

다른 실시예에서, 제1 필터 세트(132)는 저역 통과 필터 및/또는 고역 통과 필터를 포함한다. 다른 실시예에서, 제2 필터 세트(133)는 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함한다. 또 다른 실시예에서, 제1 필터 세트(132)는 하나 이상의 고역 통과 필터를 포함하고, 제2 필터 세트(133)는 하나 이상의 저역 통과 필터를 포함한다. 또 다른 실시예에서, 제1 필터 세트(132)는 하나 이상의 저역 통과 필터를 포함하고, 제2 필터 세트(133)는 하나 이상의 고역 통과 필터를 포함한다. 다른 실시예에서, 파장에 기초한 스펙트럼 분리를 달성하기 위해 필터 세트들 대신에 프리즘 세트가 사용될 수 있다.

다른 실시예에서, 필터 휠들(126, 127)은 하나 이하의 개별 필터가 조명 빔(121)에 배치되도록 회전될 수 있다. 예를 들어, 도 1d를 참조하면, 선택된 필터가 조명 빔(121)을 향해 회전되도록 제1 모터(128)는 제1 필터 휠(126)을 선택적으로 회전시킬 수 있다. 이 예에서, 필터(132A)가 조명 빔(121)을 향해 선택적으로 회전되었다. 따라서, 이 예에서, 필터(132A)는 "활성" 필터(130)이고, 조명 빔(121)에 있지 않은 필터들(132Β 내지 132n)은 "비활성(inactive)"이다. 다른 예에서, 도 1e를 참조하면, 선택된 필터가 조명 빔(121)을 향해 회전되도록 제2 모터(129)는 제2 필터 휠(127)을 선택적으로 회전시킬 수 있다. 이 예에서, 필터(133A)는 조명 빔(121)에 배치된다. 따라서, 이 예에서, 필터(133A)는 "활성" 필터(131)이고, 조명 빔(121)에 있지 않은 필터들(133Β 내지 133m)은 "비활성"이다.

도 1c를 또다시 참조하면, 다른 실시예에서, 제어기(112)는 광대역 조명(122)의 하나 이상의 특성을 제어하기 위해 필터 어셈블리(102)의 하나 이상의 필터 휠(126, 127)로 하여금 필터 세트들(132, 133)의 선택된 필터를 조명 빔(121)을 향해 선택적으로 회전시키게 하도록 구성된다. 예를 들어, 필터 세트들(132, 133)의 각각의 개별 필터의 특성들 및 위치는 메모리(116)에 저장될 수 있다. 필터 휠들(126, 127) 상의 개별 필터들 각각의 알려진 위치들을 사용하여, 제어기(112)의 하나 이상의 프로세서(114)는, 제1 필터 세트(132) 내의 제1 필터 및/또는 제2 필터 세트 내의 제2 필터가 조명 빔(121)을 향해 회전되도록, 모터들(128, 129)로 하여금 필터 휠들(126, 127)을 선택적으로 회전시키게 하도록 구성된 프로그램 명령어들의 세트를 실행할 수 있다.

도 1f는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 시스템(100)의 단순화된 개략 다이어그램을 예시하고 있다.

일 실시예에서, 도 1f에 도시된 바와 같이, 시스템(100)은, 도 1c에 묘사된 바와 같은, 필터 휠 어셈블리를 포함할 수 있다.

본 명세서에서 언급된 바와 같이, 단일 결함, 또는 결함 유형이 특정의 스펙트럼 대역을 사용하여 가장 효과적으로 검사될 수 있다. 이 경향은 도 3a 내지 도 3d를 참조하면 알 수 있다. 도 3a 내지 도 3d는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 다양한 스펙트럼 범위들을 사용하여 검사된 결함의 이미지들을 묘사하고 있다. 도 3a는 260 내지 285 나노미터의 파장 범위를 갖는 조명을 사용하여 검사된 결함의 이미지를 묘사하고 있다. 도 3b 내지 도 3d는, 제각기, 260 내지 303, 260 내지 320, 및 421 내지 450 나노미터의 범위들을 갖는 조명을 사용하여 검사된 동일한 결함의 이미지들을 묘사하고 있다. 도 3a 내지 도 3d에서 알 수 있는 바와 같이, 단일 결함이 다양한 스펙트럼 대역들에 대해 다양한 응답들을 생성할 수 있다.

다양한 스펙트럼 대역들에 대해 다양한 응답들을 생성하는 결함들의 경향에 기초하여, 시스템(100)은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 검사 시스템을 캘리브레이션(calibrate) 및/또는 최적화하는 데 사용될 수 있다. 예를 들어, 제어기(112)는 제1 필터 세트(132)의 제1 선택된 필터를 조명 빔(121)을 향해 선택적으로 회전시키기 위해 제1 모터(128)에 제1 필터 휠(126)을 회전시키도록 지시할 수 있다. 이와 유사하게, 제어기(112)는 제2 필터 세트(133)의 제1 선택된 필터를 조명 빔(121)을 행해 선택적으로 회전시키기 위해 제2 모터(129)에 제2 필터 휠(127)을 회전시키도록 또한 지시할 수 있다. 필터 휠들(126, 127)의 조합된 구성은 제1 구성으로서 메모리(116)에 저장될 수 있다. 사용자는 알려진 유형의 결함을 포함하는 샘플(106)을 시스템(100)에 제공할 수 있다. 시스템(100)은 이어서 제1 구성에서 필터 어셈블리(102)를 사용하여 알려진 결함이 있는지 샘플(106)의 표면을 검사하는 데 사용될 수 있다. 검출기들(110)은 이어서 샘플(106)로부터 산란된 조명을 수집할 수 있다. 검출기들(110)에 의해 수집된 조명의 레벨은 제1 구성과 연관될 수 있다. 예로서, 제1 구성과 연관된 수집된 조명은 도 3a에 묘사된 이미지에 의해 표현될 수 있다.

동일한 예를 계속하면, 제어기(112)는 하나 이상의 필터 휠(126, 127)로 하여금 필터 세트들(132, 133)로부터의 하나 이상의 선택된 필터를 조명 빔(121)을 향해 선택적으로 회전시키게 할 수 있다. 필터 휠들(126, 127)의 이 조합된 배향은 제2 구성으로서 메모리(116)에 저장될 수 있다. 제1 구성에 사용된 바와 같은 알려진 유형의 결함을 갖는 동일한 샘플(106)을 사용하여, 시스템(100)은 이어서 제2 구성을 사용하여 샘플(106)의 표면을 검사하는 데 사용될 수 있다. 검출기들(110)은 샘플(106)로부터 산란된 조명을 수집할 수 있고, 수집된 조명의 레벨은 제2 구성과 연관될 수 있다. 추가 예로서, 제1 구성과 연관된 수집된 조명은 도 3b에 묘사된 이미지에 의해 표현될 수 있다.

동일한 예를 계속하면, 이전에 설명된 프로세스는 필터 어셈블리(102)의 모든 가능한 구성으로 샘플(106)의 표면을 검사하기 위해 재귀 적으로 사용될 수 있다. 검출기들(110)에 의해 수집된 조명은 각각의 가능한 구성과 연관될 수 있다. 수집된 조명의 레벨들을 비교하여, 사용자 및/또는 하나 이상의 컴퓨터 또는 프로세서(도시되지 않음)는 그 특정의 유형의 결함에 대한 검사를 최적화하는 구성을 결정할 수 있다. 최적의 구성은 검출기들(110)에 의해 수집된 조명을 최대화하는 구성일 수 있다. 그 특정의 유형의 결함에 대한 최적의 구성은 이어서 추후 사용을 위해 메모리(116)에 저장될 수 있다. 게다가, 이 프로세스는 매우 다양한 가능한 결함들에 사용될 수 있다. 매우 다양한 결함 유형들에 대해 이 프로세스를 반복하는 것은 사용자가 가능한 결함들 및 이들의 대응하는 최적의 필터 어셈블리(102) 구성들의 리스트를 생성할 수 있게 해줄 것이다. 각각의 유형의 결함에 대한 최적의 구성들의 리스트는 추후 사용을 위해 메모리(116)에 저장될 수 있다.

도 1g는 본 개시내용의 다른 실시예를 예시하고 있다. 도 1g는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 필터 어셈블리(102)의 단순화된 개략 다이어그램을 예시하고 있다. 도 1g는 시스템(100)의 필터 어셈블리(102)에 대한 하나의 가능한 대안의 실시예를 묘사하고 있다.

일 실시예에서, 필터 어셈블리(102)는, 도 1g에 묘사된 바와 같은, 필터 슬라이드 어셈블리이다. 일 실시예에서, 필터 어셈블리(102)는 2개 이상의 슬라이딩 유닛(134, 135)을 포함한다. 다른 실시예에서, 슬라이딩 유닛들(134, 135)은 필터 세트들(138, 139)을 포함한다. 다른 실시예에서, 제1 필터 세트(138)는 제1 필터 및 제1 필터와는 상이한 하나 이상의 필터링 특성을 갖는 제2 필터를 포함할 수 있다. 이와 유사하게, 다른 실시예에서, 제2 필터 세트(139)는 제1 필터 및 제1 필터와는 상이한 하나 이상의 필터링 특성을 갖는 제2 필터를 포함할 수 있다.

다른 실시예에서, 필터 세트들(132, 133)은 10 nm 내지 600 nm의 범위에 있는 필터들을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 필터 세트들(138, 139)은 각각이 5개 내지 25개의 개별 필터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 슬라이딩 유닛들 상의 필터 세트들(138, 139)은 각각이, 도 1h 및 도 1i에 도시된 바와 같이, 6개의 개별 필터를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 슬라이딩 유닛들(134, 135) 상의 필터 세트들(138, 139)은 각각이 8 내지 12개의 개별 필터를 포함할 수 있다.

다른 실시예에서, 필터 세트들(138, 139)은 하나 이하의 개별 필터가 조명 빔(121)과 정렬되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 일 실시예에서, 도 1g에 묘사된 바와 같이, 제1 필터 세트(138)의 하나의 필터만이 조명 빔(121)과 정렬된 "활성" 필터(136)일 수 있다. 이와 유사하게, 다른 실시예에서, 제2 필터 세트(139)의 하나의 필터만이 조명 빔(121)과 정렬된 "활성" 필터(137)일 수 있도록 제2 필터 세트(139)가 구성될 수 있다. 다른 실시예에서, 광대역 조명(122)은 슬라이딩 유닛들(134, 135) 상에 위치된 2개 이상의 "활성" 필터(136, 137)를 통과하고 필터링된 스펙트럼(124)을 갖는 조명으로서 필터 어셈블리를 빠져 나간다. 부가 필터 세트들을 포함하는 부가 슬라이딩 유닛들이 광대역 조명(122)의 하나 이상의 특성을 추가로 수정하기 위해 이용될 수 있음이 생각되고 있다.

다른 실시예에서, 필터 어셈블리는 2개 이상의 모터(140, 141)를 포함한다. 다른 실시예에서, 모터들(140, 141)은 슬라이딩 유닛들(134, 135)에 커플링된다. 다른 실시예에서, 모터들(140, 141)은 슬라이딩 유닛들(134, 135)을 가동시키도록 구성된다. 다른 실시예에서, 모터들(140, 141)은 슬라이딩 유닛들(134, 135)의 선택된 필터들을 조명 빔(121)을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성된다. 다른 실시예에서, 모터들(140, 141)은 서로에 대해 독립적으로 슬라이딩 유닛들(134, 135)을 선택적으로 가동시키도록 구성된다. 예를 들어, 제1 모터(140)는 제2 슬라이딩 유닛(135)에 대해 독립적으로 제1 슬라이딩 유닛(134)의 선택된 필터를 조명 빔(121)을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성될 수 있다. 다른 예에서, 제2 모터(141)는 제1 슬라이딩 유닛(134)에 대해 독립적으로 제2 슬라이딩 유닛(135)의 선택된 필터를 조명 빔(121)을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성될 수 있다.

필터 어셈블리(102)에 대한 다른 가능한 구성들이 생각되었다는 점에 유의한다. 예를 들어, 전술한 구성들에 부가하여, 필터 어셈블리(102)는 필터 플랩 세트들(sets of filter flaps)을 포함하는 필터 어셈블리(102), 회전 샤프트들 상에 2개 이상의 필터 세트를 포함하는 필터 어셈블리(102), 또는 이와 유사한 것을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다.

도 1h 및 도 1i는 슬라이딩 유닛들(134, 135)의 단순화된 개략 다이어그램들을 예시하고 있다. 슬라이딩 유닛들(134, 135)은 하나 이하의 개별 필터가 조명 빔과 정렬되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 도 1h에 묘사된 바와 같이, 단지 하나의 개별 필터가 조명 빔(121)과 정렬되며 따라서 유일한 "활성" 필터(136)이다. 다른 예로서, 도 1i에 묘사된 바와 같이, 단지 하나의 개별 필터가 조명 빔(121)과 정렬되며 따라서 유일한 "활성" 필터(136)이다.

본 발명의 다른 실시예에서, 필터 어셈블리(102)는 모터들(140, 141)과 통신가능하게 커플링된 제어기(112)를 포함한다. 다른 실시예에서, 제어기(112)는 하나 이상의 프로세서(114)를 포함한다. 다른 실시예에서, 하나 이상의 프로세서(114)는 메모리(116)에 저장된 프로그램 명령어들의 세트를 실행하도록 구성된다. 다른 실시예에서, 프로그램 명령어들의 세트는 필터 슬라이딩 어셈블리의 하나 이상의 모터(140, 141)로 하여금 하나 이상의 슬라이딩 유닛(134, 135)의 선택된 필터를 조명 빔(121)을 행햐 선택적으로 가동시키게 하도록 구성된다.

제어기(112)의 하나 이상의 프로세서(114)는 본 기술분야에 공지된 임의의 하나 이상의 프로세싱 요소를 포함할 수 있다. 이러한 의미에서, 하나 이상의 프로세서(114)는 소프트웨어 알고리즘들 및/또는 명령어들을 실행하도록 구성된 임의의 마이크로프로세서형 디바이스를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 하나 이상의 프로세서(114)는, 본 개시내용 전반에 걸쳐 설명된 바와 같이, 시스템(100)을 가동시키도록 구성된 프로그램을 실행하도록 구성된 데스크톱 컴퓨터, 메인프레임 컴퓨터 시스템, 워크스테이션, 이미지 컴퓨터, 병렬 프로세서, 또는 다른 컴퓨터 시스템(예컨대, 네트워크화된 컴퓨터)로 이루어질 수 있다. 본 개시내용 전반에 걸쳐 설명된 단계들이 단일 컴퓨터 시스템 또는, 대안적으로, 다수의 컴퓨터 시스템들에 의해 수행될 수 있음이 인식되어야 한다. 일반적으로, 용어 "프로세서"는 메모리(116)로부터의 프로그램 명령어들을 실행하는, 하나 이상의 프로세싱 요소를 갖는 임의의 디바이스를 포괄하도록 광의적으로 정의될 수 있다. 더욱이, 시스템(100)의 상이한 서브시스템들(예컨대, 필터 어셈블리(102), 또는 사용자 인터페이스(118))은 본 개시내용 전반에 걸쳐 설명된 단계들의 적어도 일 부분을 수행하기에 적당한 프로세서 또는 로직 요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 설명은 본 개시내용에 대한 제한으로서 해석되어서는 안되며 단지 예시로서 해석되어야 한다.

메모리(116)는 연관된 하나 이상의 프로세서(114)에 의해 실행가능한 프로그램 명령어들을 저장하기에 적당한 본 기술분야에 공지된 임의의 저장 매체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 메모리(116)는 비일시적 메모리 매체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 메모리(116)는 판독 전용 메모리, 랜덤 액세스 메모리, 자기 또는 광학 메모리 디바이스(예컨대, 디스크), 자기 테이프, 솔리드 스테이트 드라이브, 및 이와 유사한 것을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 다른 실시예에서, 메모리(116)는 필터 어셈블리(102), 검출기들(110)로부터의 하나 이상의 결과, 및/또는 본 명세서에 설명된 다양한 단계들의 출력을 저장하도록 구성된다. 메모리(116)가 하나 이상의 프로세서(114)와 함께 공통 제어기 하우징 내에 하우징될 수 있음에 추가로 유의한다. 대안의 실시예에서, 메모리(116)는 프로세서들 및 제어기(112)의 물리적 위치에 대해 원격으로 위치될 수 있다. 예를 들어, 제어기(112)의 하나 이상의 프로세서(114)는, 네트워크(예컨대, 인터넷, 인트라넷, 및 이와 유사한 것)를 통해 액세스가능한, 원격 메모리(예컨대, 서버)에 액세스할 수 있다. 다른 실시예에서, 메모리(116)는 하나 이상의 프로세서(114)로 하여금 본 개시내용 전반에 걸쳐 설명된 다양한 단계들을 수행하게 하기 위한 프로그램 명령어들을 유지한다.

다른 실시예에서, 시스템(100)은 사용자 인터페이스(118)를 포함한다. 일 실시예에서, 사용자 인터페이스(118)는 제어기(112)에 통신가능하게 커플링된다. 사용자 인터페이스(118)는 본 기술분야에 공지된 임의의 사용자 입력 디바이스를 포함할 수 있다. 예를 들어, 사용자 인터페이스(118)는 키보드, 키패드, 터치스크린, 스크롤 바, 스티어링 휠, 조이스틱, 또는 이와 유사한 것을 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 본 기술분야의 통상의 기술자는 많은 수의 사용자 입력 디바이스들이 본 발명에서의 구현에 적당할 수 있으며, 본 발명이 본 개시내용 내에 나열된 그 사용자 입력 디바이스들로 제한되지 않음을 인식해야 한다.

다른 실시예들에서, 사용자 인터페이스(118)는 시스템(100) 또는 필터 어셈블리(102)의 데이터를 사용자에게 디스플레이하는 데 사용되는 디스플레이를 포함한다. 사용자 인터페이스(118)의 디스플레이는 본 기술분야에 공지된 임의의 디스플레이를 포함할 수 있다. 예를 들어, 디스플레이는 LCD(liquid crystal display), OLED(organic light-emitting diode) 기반 디스플레이 또는 CRT 디스플레이를 포함할 수 있지만, 이에 제한되지는 않는다. 본 기술분야의 통상의 기술자는 사용자 인터페이스(118)와 통합될 수 있는 임의의 디스플레이 디바이스가 본 개시내용에서의 구현에 적당하다는 것을 인식해야 한다. 다른 실시예에서, 사용자는 사용자 인터페이스(118)를 통해 사용자에게 디스플레이된 데이터에 응답하여 선택들 및/또는 지시들을 입력할 수 있다.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른, 본 발명에서의 다양한 필터들을 사용하여 강도 대 파장의 그래프들을 예시하고 있다.

도 2a는 2개의 개별 필터로 필터링한 후의 강도를 파장의 함수로서 그래프로 나타낸 그래프(200)를 예시하고 있다. 일 실시예에서, 필터 1은 필터 어셈블리(102)의 제1 필터 유닛 상에 위치된 필터 세트에 포함될 수 있다. 다른 실시예에서, 필터 2는 필터 어셈블리(102)의 제2 필터 유닛 상에 위치된 제2 필터 세트에 포함될 수 있다. 일 실시예에서, 도 2a에 도시된 바와 같이, 필터 1은 특정의 파장 초과의 조명만을 통과시키는, 고역 통과 필터이다. 다른 실시예에서, 도 2a에 도시된 바와 같이, 필터 2는 특정의 파장 미만의 조명만을 통과시키는, 저역 통과 필터이다.

도 2b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 그래프(200)로부터 필터 1 및 필터 2를 사용하여 시스템(100)에 의해 획득된 결과적인 좁은 스펙트럼 대역을 묘사하는 그래프(210)를 예시하고 있다. 그래프(210)에서 알 수 있는 바와 같이, 결과적인 스펙트럼은 그래프(200)로부터의 고역 통과 필터(필터 1)와 저역 통과 필터(필터 2)의 곱이다.

도 2c는 2개의 개별 필터로 필터링한 후의 강도를 파장의 함수로서 그래프로 나타낸 그래프(220)를 예시하고 있다. 도 2c에 도시된 바와 같이, 필터 1은 특정의 파장 초과의 조명만을 통과시키는, 고역 통과 필터이다. 다른 실시예에서, 도 2c에 도시된 바와 같이, 필터 2는 특정의 파장 미만의 조명만을 통과시키는, 저역 통과 필터이다.

도 2d는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 그래프(220)로부터 필터 1 및 필터 2를 사용하여 시스템(100)에 의해 획득된 결과적인 넓은 스펙트럼 대역을 묘사하는 그래프(230)를 예시하고 있다. 그래프(230)에서 알 수 있는 바와 같이, 결과적인 스펙트럼 대역은 그래프(220)로부터의 고역 통과 필터(필터 1)와 저역 통과 필터(필터 2)의 곱이다.

그래프들(230 및 210)로부터의 결과적인 스펙트럼들을 비교하면, 그래프(200)에서 시스템(100)에 의해 사용된 필터 세트가 보다 좁은 필터링된 스펙트럼 대역을 결과하는 반면, 그래프(200)에서 시스템(100)에 의해 사용되는 필터 세트가 보다 넓은 필터링된 스펙트럼 대역을 결과하는 것을 알 수 있다. 이 그래프들은 물론 전술한 개시내용으로부터, 필터 어셈블리(102)가 고도로 커스터마이즈가능하고, 검사 시스템을 매우 다양한 스펙트럼 범위들로 필터링하는 데 이용될 수 있음이 인식될 수 있다.

도 4는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예에 따른, 광대역 검사 시스템에서 조정가능한 스펙트럼 능력을 제공하기 위한 방법(400)의 플로차트를 예시하고 있다. 방법(400)의 단계들이 전부 또는 부분적으로 시스템(100)에 의해 구현될 수 있음에 본 명세서에서 유의해야 한다. 그렇지만, 부가의 또는 대안의 시스템 레벨 실시예들이 방법(400)의 단계들의 전부 또는 일부를 수행할 수 있다는 점에서 방법(400)이 시스템(100)으로 제한되지 않음에 추가로 유의한다.

단계(402)에서, 제1 필터 세트를 갖는 제1 필터가 선택적으로 가동된다. 이와 유사하게, 단계(404)에서, 제2 필터 세트를 갖는 제2 필터가 선택적으로 가동된다. 일 실시예에서, 본 명세서에 설명된 바와 같이, 제어기(112)는 제1 필터 유닛 상의 특정의 필터를 가동시키기 위해 제1 모터에 제1 필터 유닛을 선택적으로 가동시키도록 지시할 수 있다. 이와 유사하게, 다른 실시예에서, 제어기(112)는 제2 필터 유닛 상의 특정의 필터를 조명 빔을 향해 가동시키기 위해 제2 모터에 제2 필터 유닛을 선택적으로 가동시키도록 지시할 수 있다.

단계(406)에서, 조명 소스로부터의 광대역 조명 빔은 제1 필터 및 제2 필터를 통해 투과되어 필터링된 스펙트럼을 갖는 출력 빔을 생성한다. 단계(408)에서, 출력 빔은 샘플의 표면으로 지향된다. 단계(408)에서, 샘플의 표면으로부터 산란된 조명이 하나 이상의 검출기를 사용하여 수집된다.

본 명세서에 설명된 방법들 전부는 방법 실시예들의 하나 이상의 단계의 결과들을 저장 매체에 저장하는 단계를 포함할 수 있다. 저장 매체는 본 명세서에 설명된 임의의 저장 매체 또는 본 기술분야에 공지된 임의의 다른 적당한 저장 매체를 포함할 수 있다. 결과들이 저장된 후에, 결과들은 저장 매체에서 액세스되어 본 명세서에 설명된 방법 또는 시스템 실시예들 중 임의의 것에 의해 사용되고, 사용자에게 디스플레이하기 위해 포맷팅되며, 다른 소프트웨어 모듈, 방법 또는 시스템 등에 의해 사용될 수 있다.

위에서 설명된 방법의 실시예들 각각이 본 명세서에 설명된 임의의 다른 방법(들)의 임의의 다른 단계(들)를 포함할 수 있음이 추가로 생각된다. 그에 부가하여, 위에서 설명된 방법의 실시예들 각각은 본 명세서에 설명된 시스템들 중 임의의 것에 의해 수행될 수 있다.

본 명세서에 설명된 주제는 때로는 다른 컴포넌트들 내에 포함되거나 다른 컴포넌트들과 접속되는 상이한 컴포넌트들을 예시하고 있다. 그러한 묘사된 아키텍처들이 단지 예시적인 것이라는 것과, 실제로, 동일한 기능을 달성하는 많은 다른 아키텍처들이 구현될 수 있다는 점이 이해되어야 한다. 개념적 의미에서, 동일한 기능을 달성하기 위한 컴포넌트들의 임의의 배열은 원하는 기능이 달성되도록 효과적으로 "연관"된다. 따라서, 특정의 기능을 달성하도록 조합되는 본 명세서에서의 임의의 2개의 컴포넌트는, 아키텍처들 또는 매개 컴포넌트들(intermedial components)과 상관없이, 원하는 기능이 달성되도록 서로 "연관"되는 것으로 보일 수 있다. 마찬가지로, 그렇게 연관된 임의의 2개의 컴포넌트는 원하는 기능을 달성하도록 서로 "접속된" 또는 "커플링된" 것으로 또한 보일 수 있고, 그렇게 연관될 수 있는 임의의 2개의 컴포넌트는 원하는 기능을 달성하도록 서로 "커플링가능한" 것으로 또한 보일 수 있다. 커플링가능한의 특정 예들은 물리적으로 결합가능한(physically mateable) 및/또는 물리적으로 상호작용하는 컴포넌트들 및/또는 무선으로 상호작용가능한 및/또는 무선으로 상호작용하는 컴포넌트들 및/또는 논리적으로 상호작용하는 및/또는 논리적으로 상호작용가능한 컴포넌트들을 포함하지만 이들로 제한되지 않는다.

게다가, 본 발명이 첨부된 청구항들에 의해 한정된다는 것이 이해되어야 한다. 일반적으로, 본 명세서에서 그리고 특히 첨부된 청구항들(예컨대, 첨부된 청구항들의 본문들)에서 사용되는 용어들이 일반적으로 "개방형(open)" 용어들로서 의도된다는 것이 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 이해될 것이다(예컨대, 용어 "포함하는(including)"은 "포함하지만 이들로 제한되지 않는(including but not limited to)"으로서 해석되어야 하고, 용어 "가지는(having)"은 "적어도 가지는(having at least)"으로서 해석되어야 하며, 용어 "포함한다(includes)"는 "포함하지만 이들로 제한되지 않는다(includes but is not limited to)"로서 해석되어야 하고, 기타 등등이 있다). 도입 청구항 열거(introduced claim recitation)의 특정 번호가 의도되는 경우, 그러한 의도가 청구항에서 명시적으로 열거될 것이며, 그러한 열거가 없는 경우, 그러한 의도가 존재하지 않는다는 것이 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 추가로 이해될 것이다. 예를 들어, 이해에 대한 보조수단으로서, 하기의 첨부된 청구항들은 청구항 열거들을 도입하기 위해 "적어도 하나" 및 "하나 이상"이라는 도입 문구들의 사용을 포함할 수 있다. 그렇지만, 동일한 청구항이 도입 문구들 "하나 이상" 또는 "적어도 하나" 및 "a" 또는 "an"과 같은 부정 관사들(예컨대, "a" 및/또는 "an"은 전형적으로 "적어도 하나" 또는 "하나 이상"을 의미하는 것으로 해석되어야 함)을 포함할 때에도, 그러한 문구들의 사용은 부정관사들 "a" 또는 "an"에 의한 청구항 열거의 도입이 그러한 도입 청구항 열거를 포함하는 임의의 특정의 청구항을 단지 하나의 그러한 열거를 포함하는 발명들로 제한한다는 것을 암시하는 것으로 해석되어서는 안되며; 청구항 열거들을 도입하는 데 사용되는 정관사들의 사용에 대해서도 마찬가지이다. 그에 부가하여, 도입 청구항 열거의 특정 번호가 명시적으로 열거되더라도, 본 기술분야의 통상의 기술자는 그러한 열거가 전형적으로 적어도 열거된 번호를 의미하는 것으로 해석되어야 한다는 것을 인식할 것이다(예컨대, 다른 수식어들을 갖지 않는 "2개의 열거"의 단순 열거(bare recitation)는 전형적으로 적어도 2개의 열거 또는 2개 이상의 열거를 의미한다). 게다가, "A, B, 및 C 등 중 적어도 하나"와 유사한 관습적 표현(convention)이 사용되는 그 인스턴스들에서, 일반적으로, 그러한 구조(construction)는 본 기술분야의 통상의 기술자가 관습적 표현을 이해하는 의미로 의도된다(예컨대, "A, B, 및 C 중 적어도 하나를 가지는 시스템"은 A만을, B만을, C만을, A 및 B를 함께, A 및 C를 함께, B 및 C를 함께, 그리고/또는 A, B, 및 C를 함께, 기타를 가지는 시스템들을 포함하지만 이들로 제한되지 않을 것이다). "A, B, 또는 C 등 중 적어도 하나"와 유사한 관습적 표현이 사용되는 그 인스턴스들에서, 일반적으로, 그러한 구조는 본 기술분야의 통상의 기술자가 관습적 표현을 이해하는 의미로 의도된다(예컨대, "A, B, 또는 C 중 적어도 하나를 가지는 시스템"은 A만을, B만을, C만을, A 및 B를 함께, A 및 C를 함께, B 및 C를 함께, 그리고/또는 A, B, 및 C를 함께, 기타를 가지는 시스템들을 포함하지만 이들로 제한되지 않을 것이다). 설명에서든, 청구항들에서든, 또는 도면들에서든 간에, 2개 이상의 대안적 용어를 제시하는 거의 모든 이접 접속어(disjunctive word) 및/또는 이접 접속구(disjunctive phrase)가 용어들 중 하나, 용어들 중 어느 하나, 또는 용어들 모두를 포함하는 가능성들을 고려하도록 이해되어야 한다는 것이 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 추가로 이해될 것이다. 예를 들어, 문구 "A 또는 B"는 "A" 또는 "B" 또는 "A 및 B"의 가능성들을 포함하는 것으로 이해될 것이다.

본 개시내용 및 그의 부수적 장점들 중 다수가 전술한 설명에 의해 이해될 것이고, 개시된 주제를 벗어나지 않으면서 또는 그의 실질적 장점들 전부를 희생시키지 않으면서 컴포넌트들의 형태, 구조 및 배열에 다양한 변경들이 이루어질 수 있음이 명백할 것이다. 설명된 형태는 단지 설명적인 것이며, 하기의 청구항들의 의도는 그러한 변경들을 포괄하고 포함하는 것이다. 게다가, 본 발명이 첨부된 청구항들에 의해 한정된다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (25)

1. 광대역 검사 시스템에서의 필터링된 스펙트럼을 제공하기 위한 필터 장치에 있어서,
   제1 필터 유닛 - 상기 제1 필터 유닛은 제1의 복수의 필터들을 포함함 - ;
   부가 필터 유닛 - 상기 부가 필터 유닛은 부가의 복수의 필터들을 포함하고, 상기 제1의 복수의 필터들 또는 상기 부가의 복수의 필터들 중 적어도 하나는 제1 필터 및 상기 제1 필터와는 상이한 하나 이상의 필터링 특성을 갖는 제2 필터를 포함하고, 상기 제1 필터 유닛의 광학 필터들 중 적어도 일부와 상기 부가 필터 유닛의 광학 필터들 중 적어도 일부는, 조명 소스로부터의 광대역 조명의 선택된 스펙트럼 부분을 필터링하도록 구성된 광학 필터들임 - ;
   상기 제1 필터 유닛에 커플링된 제1 모터 - 상기 제1 모터는 상기 제1 필터 유닛의 선택된 필터를 상기 조명 소스로부터의 광대역 조명의 빔을 향해 선택적으로 가동(actuate)시키도록 구성됨 - ;
   상기 부가 필터 유닛에 커플링된 부가 모터 - 상기 부가 모터는 상기 부가 필터 유닛의 선택된 필터를 상기 광대역 조명의 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성되고, 상기 제1 필터 유닛의 선택된 필터 및 상기 부가 필터 유닛의 선택된 필터는 상기 조명 소스로부터의 광대역 조명을 필터링하여 광대역 검사를 위한 선택된 필터링된 스펙트럼 대역을 제공하도록 구성됨 - ; 및
   상기 제1 모터 및 상기 부가 모터에 통신가능하게(communicatively) 커플링된 제어기 - 상기 제어기는 프로그램 명령어들의 세트 및 메모리를 실행하도록 구성된 하나 이상의 프로세서를 포함하고, 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성이 메모리에 저장되고, 상기 프로그램 명령어들은, 상기 하나 이상의 프로세서가 사용자 인터페이스를 통한 사용자 요청에 응답하여 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성, 중 적어도 하나를 구현하게 하도록 구성되고, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성 또는 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성은, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성, 중 적어도 하나를 달성하도록 상기 제1 모터 및 상기 부가 모터, 중 적어도 하나를 통해 상기 제1 필터 유닛 및 상기 부가 필터 유닛, 중 적어도 하나의 필터 유닛의 위치 상태(positional state)를 조정하는 것을 포함하고, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성은 제1 스펙트럼 범위를 제공하고, 상기 부가 조합된 스펙트럼 구성은 상기 제1 스펙트럼 범위와는 상이한 부가 스펙트럼 범위를 제공하고, 상기 제1 스펙트럼 범위와 상기 부가 스펙트럼 범위는 10 nm 내지 600 nm임 -
   를 포함하는, 광대역 검사 시스템에서의 필터링된 스펙트럼을 제공하기 위한 필터 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1의 복수의 필터들은 5개 내지 25개의 필터들을 포함하는 것인, 필터 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 부가의 복수의 필터들은 5개 내지 25개의 필터들을 포함하는 것인, 필터 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 제1의 복수의 필터들은 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 필터 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 부가의 복수의 필터들은 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 필터 장치.
6. 광대역 검사 시스템에서의 필터링된 스펙트럼을 제공하기 위한 필터 휠 장치에 있어서,
   제1 필터 휠 - 상기 제1 필터 휠은 제1의 복수의 필터들을 포함함 - ;
   부가 필터 휠 - 상기 부가 필터 휠은 부가의 복수의 필터들을 포함하고, 상기 제1의 복수의 필터들 또는 상기 부가의 복수의 필터들 중 적어도 하나는 제1 필터 및 상기 제1 필터와는 상이한 하나 이상의 필터링 특성을 갖는 제2 필터를 포함하고, 상기 제1 필터 휠의 광학 필터들 중 적어도 일부와 상기 부가 필터 휠의 광학 필터들 중 적어도 일부는, 조명 소스로부터의 광대역 조명의 선택된 스펙트럼 부분을 필터링하도록 구성된 광학 필터들임 - ;
   상기 제1 필터 휠에 커플링된 제1 모터 - 상기 제1 모터는 상기 제1 필터 휠의 선택된 필터를 상기 조명 소스로부터의 광대역 조명의 빔을 향해 선택적으로 회전시키도록 구성됨 - ;
   상기 부가 필터 휠에 커플링된 부가 모터 - 상기 부가 모터는 상기 부가 필터 휠의 선택된 필터를 상기 광대역 조명의 빔을 향해 선택적으로 회전시키도록 구성되고, 상기 제1 필터 휠의 선택된 필터 및 상기 부가 필터 휠의 선택된 필터는 상기 조명 소스로부터의 광대역 조명을 필터링하여 광대역 검사를 위한 선택된 필터링된 스펙트럼 대역을 제공하도록 구성됨 - ; 및
   상기 제1 모터 및 상기 부가 모터에 통신가능하게(communicatively) 커플링된 제어기 - 상기 제어기는 프로그램 명령어들의 세트 및 메모리를 실행하도록 구성된 하나 이상의 프로세서를 포함하고, 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성이 메모리에 저장되고, 상기 프로그램 명령어들은, 상기 하나 이상의 프로세서가 사용자 인터페이스를 통한 사용자 요청에 응답하여 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성, 중 적어도 하나를 구현하게 하도록 구성되고, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성 또는 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성은, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성, 중 적어도 하나를 달성하도록 상기 제1 모터 및 상기 부가 모터, 중 적어도 하나를 통해 상기 제1 필터 휠 및 상기 부가 필터 휠, 중 적어도 하나의 필터 휠의 위치 상태(positional state)를 조정하는 것을 포함하고, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성은 제1 스펙트럼 범위를 제공하고, 상기 부가 조합된 스펙트럼 구성은 상기 제1 스펙트럼 범위와는 상이한 부가 스펙트럼 범위를 제공하고, 상기 제1 스펙트럼 범위와 상기 부가 스펙트럼 범위는 10 nm 내지 600 nm임 -
   를 포함하는, 광대역 검사 시스템에서의 필터링된 스펙트럼을 제공하기 위한 필터 휠 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 제1의 복수의 필터들은 5개 내지 25개의 필터들을 포함하는 것인, 필터 휠 장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 부가의 복수의 필터들은 5개 내지 25개의 필터들을 포함하는 것인, 필터 휠 장치.
9. 제6항에 있어서, 상기 제1의 복수의 필터들은 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 필터 휠 장치.
10. 제6항에 있어서, 상기 부가의 복수의 필터들은 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 필터 휠 장치.
11. 시스템에 있어서,
    조명 소스 - 상기 조명 소스는 광대역 조명의 빔을 생성하도록 구성됨 - ; 및
    필터 어셈블리
    를 포함하고, 상기 필터 어셈블리는,
    제1의 복수의 필터들을 포함하는 제1 필터 유닛;
    부가의 복수의 필터들을 포함하는 부가 필터 유닛 - 상기 제1의 복수의 필터들 또는 상기 부가의 복수의 필터들 중 적어도 하나는 제1 필터 및 상기 제1 필터와는 상이한 하나 이상의 필터링 특성을 갖는 제2 필터를 포함하고, 상기 제1 필터 유닛의 광학 필터들 중 적어도 일부와 상기 부가 필터 유닛의 광학 필터들 중 적어도 일부는, 조명 소스로부터의 광대역 조명의 선택된 스펙트럼 부분을 필터링하도록 구성된 광학 필터들임 - ;
    상기 제1 필터 유닛에 커플링된 제1 모터 - 상기 제1 모터는 상기 제1 필터 유닛의 선택된 필터를 상기 광대역 조명의 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성됨 - ;
    상기 부가 필터 유닛에 커플링된 부가 모터 - 상기 부가 모터는 상기 부가 필터 유닛의 선택된 필터를 상기 광대역 조명의 빔을 향해 선택적으로 가동시키도록 구성되고, 상기 제1 필터 유닛의 선택된 필터 및 상기 부가 필터 유닛의 선택된 필터는 상기 조명 소스로부터의 광대역 조명을 필터링하여 광대역 검사를 위한 선택된 필터링된 스펙트럼을 제공하도록 구성됨 - ; 및
    상기 제1 모터 및 상기 부가 모터에 통신가능하게(communicatively) 커플링된 제어기 - 상기 제어기는 프로그램 명령어들의 세트 및 메모리를 실행하도록 구성된 하나 이상의 프로세서를 포함하고, 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성이 메모리에 저장되고, 상기 프로그램 명령어들은, 상기 하나 이상의 프로세서가 사용자 인터페이스를 통한 사용자 요청에 응답하여 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성, 중 적어도 하나를 구현하게 하도록 구성되고, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성 또는 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성은, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성, 중 적어도 하나를 달성하도록 상기 제1 모터 및 상기 부가 모터, 중 적어도 하나를 통해 상기 제1 필터 유닛 및 상기 부가 필터 유닛, 중 적어도 하나의 필터 유닛의 위치 상태(positional state)를 조정하는 것을 포함하고, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성은 제1 스펙트럼 범위를 제공하고, 상기 부가 조합된 스펙트럼 구성은 상기 제1 스펙트럼 범위와는 상이한 부가 스펙트럼 범위를 제공하고, 상기 제1 스펙트럼 범위와 상기 부가 스펙트럼 범위는 10 nm 내지 600 nm임 -
    를 포함하는 것인, 시스템.
12. 삭제
13. 제11항에 있어서, 상기 제1의 복수의 필터들은 5개 내지 25개의 필터들을 포함하는 것인, 시스템.
14. 제11항에 있어서, 상기 부가의 복수의 필터들은 5개 내지 25개의 필터들을 포함하는 것인, 시스템.
15. 제11항에 있어서, 상기 제1의 복수의 필터들은 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 시스템.
16. 제11항에 있어서, 상기 부가의 복수의 필터들은 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 시스템.
17. 제11항에 있어서, 광대역 조명을 방출하도록 구성된 상기 조명 소스는 LSP(laser sustained plasma), 방전 광대역 소스, 또는 광대역 레이저 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 시스템.
18. 시스템에 있어서,
    조명 소스 - 상기 조명 소스는 광대역 조명의 빔을 생성하도록 구성됨 - ; 및
    필터 어셈블리
    를 포함하고, 상기 필터 어셈블리는,
    제1의 복수의 필터들을 포함하는 제1 필터 휠;
    부가의 복수의 필터들을 포함하는 부가 필터 휠 - 상기 제1의 복수의 필터들 또는 상기 부가의 복수의 필터들 중 적어도 하나는 제1 필터 및 상기 제1 필터와는 상이한 하나 이상의 필터링 특성을 갖는 제2 필터를 포함하고, 상기 제1 필터 휠의 광학 필터들 중 적어도 일부 및 상기 부가 필터 휠의 광학 필터들 중 적어도 일부는, 조명 소스로부터의 광대역 조명의 선택된 스펙트럼 부분을 필터링하도록 구성된 광학 필터들임 - ;
    상기 제1 필터 휠에 회전을 위해 커플링된 제1 모터 - 상기 제1 모터는 상기 제1 필터 휠의 선택된 필터를 상기 광대역 조명의 빔을 향해 선택적으로 회전시키도록 구성됨 - ;
    상기 부가 필터 휠에 회전을 위해 커플링된 부가 모터 - 상기 부가 모터는 상기 부가 필터 휠의 선택된 필터를 상기 광대역 조명의 빔을 향해 선택적으로 회전시키도록 구성되고, 상기 제1 필터 휠의 선택된 필터 및 상기 부가 필터 휠의 선택된 필터는 상기 조명 소스로부터의 광대역 조명을 필터링하여 광대역 검사를 위한 선택된 필터링된 스펙트럼 대역을 제공하도록 구성됨 - ; 및
    상기 제1 모터 및 상기 부가 모터에 통신가능하게(communicatively) 커플링된 제어기 - 상기 제어기는 프로그램 명령어들의 세트 및 메모리를 실행하도록 구성된 하나 이상의 프로세서를 포함하고, 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성이 메모리에 저장되고, 상기 프로그램 명령어들은, 상기 하나 이상의 프로세서가 사용자 인터페이스를 통한 사용자 요청에 응답하여 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성, 중 적어도 하나를 구현하게 하도록 구성되고, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성 또는 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성은, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성 및 상기 적어도 부가 조합된 스펙트럼 구성, 중 적어도 하나를 달성하도록 상기 제1 모터 및 상기 부가 모터, 중 적어도 하나를 통해 상기 제1 필터 휠 및 상기 부가 필터 휠 중 적어도 하나의 필터 휠의 위치 상태(positional state)를 조정하는 것을 포함하고, 상기 제1 조합된 스펙트럼 구성은 제1 스펙트럼 범위를 제공하고, 상기 부가 조합된 스펙트럼 구성은 상기 제1 스펙트럼 범위와는 상이한 부가 스펙트럼 범위를 제공하고, 상기 제1 스펙트럼 범위와 상기 부가 스펙트럼 범위는 10 nm 내지 600 nm임 -
    를 포함하는 것인, 시스템.
19. 삭제
20. 제18항에 있어서, 상기 제1의 복수의 필터들은 5개 내지 25개의 필터들을 포함하는 것인, 시스템.
21. 제18항에 있어서, 상기 부가의 복수의 필터들은 5개 내지 25개의 필터들을 포함하는 것인, 시스템.
22. 제18항에 있어서, 상기 조명 소스는 상기 제1 필터 휠의 회전축 또는 상기 부가 필터 휠의 회전축 중 적어도 하나에 대해 축을 벗어나(off-axis) 위치되는 것인, 시스템.
23. 제18항에 있어서, 상기 제1의 복수의 필터들은 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 시스템.
24. 제18항에 있어서, 상기 부가의 복수의 필터들은 저역 통과 필터 또는 고역 통과 필터 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 시스템.
25. 제18항에 있어서, 광대역 조명을 방출하도록 구성된 상기 조명 소스는 LSP(laser sustained plasma), 방전 광대역 소스, 또는 광대역 레이저 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 시스템.

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