KR102515856B1 - Chuck table - Google Patents

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Abstract

본 발명은 판형 워크를 흡인 유지하는 테이블에 있어서, 유지시에 시일 부재가 유지면측으로 찌부러져 워크의 피유지면에 접촉함으로써 흡인력의 누설이 발생해 버리는 사태가 생기지 않도록 하는 것을 과제로 한다.
휘어짐이 있는 판형 워크(W)를 가공하는 장치에 구비되고, 베이스(30)와, 베이스(30) 위에 배치되고 워크(W)의 면적보다 약간 작은 면적의 유지면(310)을 흡인원(7)에 연통시키는 흡인로(311)를 구비한 판형 유지부(31)와, 유지부(31)를 둘러싸고 상단부를 유지면(310)보다 돌출시킨 고리형 시일부(32)를 구비하고, 고리형 시일부(32)는, 유지면(310)에 흡인원(7)을 연통시켜 유지면(310)에 흡인력을 작용시킬 때에 워크(W)의 하면(Wb)의 외주 부분에 접촉하고, 상단부가 유지면 방향에서의 유지면(310)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 유지면(310)과 상단부가 동일한 높이가 되어 워크 하면(Wb)에 접촉한 상태로 워크(W)를 흡인 유지하는 척테이블(3)이다.An object of the present invention is to prevent a situation in which a seal member is crushed toward the holding surface side during holding and contacts the holding surface of the workpiece in a table for holding a plate-like work by suction, thereby causing leakage of suction force.
A suction source 7 provided in a device for processing a curved plate-shaped work W, and a base 30 and a holding surface 310 disposed on the base 30 and having an area slightly smaller than the area of the work W. ), a plate-shaped holding portion 31 having a suction path 311 communicating with the holding portion 31, and an annular seal portion 32 that surrounds the holding portion 31 and protrudes the upper end from the holding surface 310, The sealing portion 32 contacts the outer peripheral portion of the lower surface Wb of the workpiece W when the suction source 7 is communicated with the holding surface 310 to apply a suction force to the holding surface 310, and the upper end A chuck that moves in a direction away from the center of the holding surface 310 in the direction of the holding surface, and suction-holds the workpiece W in a state where the holding surface 310 and the upper end are in contact with the lower surface Wb of the workpiece. This is table (3).

Description

척테이블{CHUCK TABLE}Chuck table {CHUCK TABLE}

본 발명은, 판형 워크를 흡인 유지하는 척테이블에 관한 것이다.The present invention relates to a chuck table that suction-holds a plate-shaped workpiece.

외주 부분이 휘어져 올라간 휘어짐이 있는 판형 워크의 하면을 척테이블의 유지면에 의해 흡인 유지하고, 척테이블에 의해 흡인 유지한 판형 워크의 상면을 지석으로 연삭하는 연삭 장치에 있어서는, 판형 워크의 휘어짐에 의해, 판형 워크의 하면의 외주 부분과 척테이블의 유지면 사이에 간극이 생겨 버린다. 그리고, 이 간극으로부터 척테이블의 흡인력이 누설되어 판형 워크가 흡인 유지할 수 없게 된다고 하는 문제가 있다. 이 문제에 대처하기 위해, 이 간극을 막아 흡인력을 누설시키지 않도록 한 척테이블(예컨대 특허문헌 1 참조)이 있다.In a grinding device that suction-holds the lower surface of a plate-shaped workpiece with a warped outer peripheral portion by a holding surface of a chuck table and grinds the upper surface of the plate-shaped workpiece suction-held by the chuck table with a grindstone, As a result, a gap is formed between the outer peripheral portion of the lower surface of the plate-shaped workpiece and the holding surface of the chuck table. Then, there is a problem that the suction force of the chuck table leaks from this gap and the plate-like work cannot be suction-held. In order to cope with this problem, there is a chuck table (for example, see Patent Document 1) in which the gap is blocked so that the suction force is not leaked.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2014-072510호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-072510

상기 특허문헌 1에 기재된 척테이블은, 고리형으로 형성한 시일 부재로 상기 간극을 막아 흡인력이 누설되지 않도록 하고 있다. 이것은, 판형 워크의 휘어짐의 힘보다 큰 흡인력을 판형 워크에 작용시켜 시일 부재를 찌부러지도록 변형시켜 시일 부재의 상단부와 유지면이 단차가 없도록 함으로써, 시일 부재의 시일로서의 기능이 발휘되도록 하는 것이다.In the chuck table described in Patent Literature 1, the gap is blocked by a seal member formed in a ring shape to prevent leakage of suction force. This is to apply a suction force greater than the bending force of the plate-like work to the plate-like work to deform the seal member so as to crush it so that there is no step difference between the upper end of the seal member and the holding surface, so that the seal member functions as a seal.

그러나, 예컨대, 시일 부재가 척테이블의 유지면측으로 찌부러짐으로써 시일 부재가 시일로서 충분히 기능하지 않게 되는, 즉, 흡인력의 누설이 발생하기 쉬워지는 경우가 있다. 이 대책으로서 시일 부재에 어느 정도의 탄력을 부여하고 있지만, 이러한 어느 정도의 탄력을 갖춘 시일 부재는, 흡인 유지시에 찌부러짐으로써 판형 워크를 유지면으로부터 이격시키는 방향의 반발력을 축적해 버린다. 그 때문에, 흡인 유지중에 판형 워크에 작용하는 흡인력은, 반발력보다 크게 할 필요가 있다.However, there are cases where, for example, the sealing member is crushed toward the holding surface side of the chuck table, so that the sealing member does not function sufficiently as a seal, that is, leakage of the suction force tends to occur. As a countermeasure, a certain degree of elasticity is given to the sealing member, but the sealing member having such a certain degree of elasticity is crushed during suction and holding, thereby accumulating repulsive force in the direction of separating the plate-like work from the holding surface. Therefore, the suction force acting on the plate-shaped workpiece during suction holding must be greater than the repulsive force.

따라서, 판형 워크를 흡인 유지하는 척테이블에 있어서는, 흡인 유지시에 시일 부재가 유지면측으로 찌부러져 판형 워크의 피유지면(하면)에 접촉해 버림으로써 흡인력의 누설이 발생해 버리는 사태가 생기는 것을 방지한다고 하는 과제가 있다.Therefore, in a chuck table that suction-holds a plate-shaped workpiece, during suction-holding, the seal member is crushed toward the holding surface side and comes into contact with the holding surface (lower surface) of the plate-shaped workpiece, thereby preventing a situation in which suction force leaks. There are challenges to avoid.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 가공 기구를 장착한 가공 수단에 의해 휘어짐이 있는 판형 워크를 가공하는 가공 장치에 구비되고, 판형 워크를 흡인 유지하는 유지면을 갖는 척테이블로서, 베이스와, 상기 베이스 위에 배치되고 판형 워크의 면적보다 약간 작은 면적의 상기 유지면을 흡인원에 연통시키는 흡인로를 구비한 판형의 유지부와, 상기 유지부를 둘러싸고 상단부를 상기 유지면보다 돌출시킨 고리형 시일부를 구비하고, 상기 고리형 시일부는, 상기 유지면에 흡인원을 연통시켜 상기 유지면에 흡인력을 작용시킬 때에 판형 워크의 하면의 외주 부분에 접촉하고, 상기 상단부가 상기 유지면 방향에서의 상기 유지면의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 상기 유지면과 상기 상단부가 동일한 높이가 되어 판형 워크의 하면에 접촉한 상태로 상기 흡인력의 누설을 방지하고 판형 워크를 흡인 유지하는 척테이블이다.The present invention for solving the above problems is a chuck table provided in a processing device for processing a plate-shaped workpiece having a warp by a processing means equipped with a processing mechanism, and having a holding surface for sucking and holding the plate-shaped workpiece, comprising: a base; A plate-shaped holding portion disposed on the base and having a suction passage for communicating the holding surface having an area slightly smaller than that of the plate-shaped workpiece to a suction source, and a ring-shaped seal portion surrounding the holding portion and having an upper end protruding from the holding surface And, the annular seal part contacts the outer peripheral portion of the lower surface of the plate-like work when a suction force is applied to the holding surface by communicating a suction source to the holding surface, and the upper end portion of the holding surface in the direction of the holding surface. It is a chuck table that moves in a direction away from the center, prevents leakage of the suction force, and holds the plate-shaped work in a state in which the holding surface and the upper end are in contact with the lower surface of the plate-shaped workpiece at the same height.

본 발명에 관한 척테이블은, 베이스와, 베이스 위에 배치되고 판형 워크의 면적보다 약간 작은 면적의 유지면을 흡인원에 연통시키는 흡인로를 구비한 판형의 유지부와, 유지부를 둘러싸고 상단부를 유지면보다 돌출시킨 고리형 시일부를 구비하고, 고리형 시일부는, 유지면에 흡인원을 연통시켜 유지면에 흡인력을 작용시킬 때에 판형 워크의 하면의 외주 부분에 접촉하고, 상단부가 유지면 방향에서의 유지면의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 유지면과 상단부가 동일한 높이가 되어 판형 워크의 하면에 접촉한 상태로 판형 워크를 흡인 유지하기 때문에, 흡인력의 누설을 발생시키지 않고, 판형 워크를 흡인 유지할 수 있다. 또한, 흡인 유지시의 판형 워크는, 휘어짐에 의한 유지면으로부터 반발하는 힘을 갖고 있지만, 고리형 시일부의 반발력(변형된 상태로부터 원래 상태로 복원하고자 하는 힘)이 판형 워크에 더 가해지지 않게 되므로, 판형 워크를 보다 확실하게 흡인 유지하는 것이 가능해진다.A chuck table according to the present invention includes a base, a plate-shaped holding portion having a suction path disposed on the base and communicating a holding surface having an area slightly smaller than the area of the plate-shaped workpiece to a suction source, and surrounding the holding portion and having an upper end portion larger than the holding surface. A protruding annular seal portion is provided, wherein the annular seal portion contacts the outer circumferential portion of the lower surface of the plate-shaped workpiece when a suction source is communicated with the holding surface to apply a suction force to the holding surface, and the upper end thereof is in contact with the holding surface in the direction of the holding surface. moves in a direction away from the center of the plate-shaped workpiece and suction-holds the plate-shaped workpiece in a state of being in contact with the lower surface of the plate-shaped workpiece at the same height as the holding surface and the upper end portion, so that the plate-shaped workpiece can be suction-held without causing leakage of suction force. . In addition, while the plate-like work during suction holding has a force to repel from the holding surface due to bending, the repulsive force of the annular seal part (the force to restore the original state from the deformed state) is no longer applied to the plate-like work. , it becomes possible to suction-hold the plate-like work more reliably.

도 1은 척테이블의 구조의 일례를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 척테이블의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3은 고리형 시일부의 변형부의 모서리 부분이 변형되기 쉬운 재질로 되어 있는 경우의 일례를 부분적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는 고리형 시일부의 변형부의 모서리 부분이 변형되기 쉬운 형상으로 되어 있는 경우의 일례를 부분적으로 나타내는 사시도이다.
도 5는 척테이블에 판형 워크를 배치한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6은 척테이블로 판형 워크를 흡인 유지하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.1 is an exploded perspective view showing an example of the structure of a chuck table.
2 is a perspective view showing an example of a chuck table.
Fig. 3 is a perspective view partially showing an example of a case where the corner portion of the deformable part of the annular seal part is made of a material that is easily deformed.
Fig. 4 is a perspective view partially showing an example of a case where the corner portion of the deformable part of the annular seal part has a shape that is easily deformed.
Fig. 5 is a cross-sectional view showing a state in which a plate-shaped workpiece is placed on a chuck table.
Fig. 6 is a cross-sectional view showing a state in which a plate-shaped workpiece is suction-held by a chuck table.

도 1은, 판형 워크(W)를 흡인 유지하는 유지면(310)을 갖는 척테이블(3)의 분해 사시도이며, 도 2는 조립된 상태의 척테이블(3)을 나타내는 사시도이다. 척테이블(3)은, 베이스(30)와, 베이스(30)의 위에 배치되고 판형 워크(W)의 면적보다 약간 작은 면적의 유지면(310)을 흡인원(7)에 연통시키는 흡인로(311)(도 1에는 도시되지 않음)를 구비한 판형의 유지부(31)와, 유지부(31)를 둘러싸는 고리형 시일부(32)를 구비하고 있다.1 is an exploded perspective view of a chuck table 3 having a holding surface 310 for sucking and holding a plate-like workpiece W, and FIG. 2 is a perspective view showing the chuck table 3 in an assembled state. The chuck table 3 is a suction passage ( 311) (not shown in FIG. 1), and a ring-shaped seal portion 32 surrounding the holding portion 31.

척테이블(3)은, 예컨대, 가공 기구로서 연삭 휠을 장착한 가공 수단에 의해 휘어짐이 있는 판형 워크(W)를 연삭 가공하는 매뉴얼 타입의 연삭 가공 장치에 배치되지만, 배치되는 가공 장치는 이것에 한정되는 것이 아니다.The chuck table 3 is, for example, disposed in a manual type grinding processing device that grinds and processes the warped plate-like workpiece W by a processing means equipped with a grinding wheel as a processing mechanism. It is not limited.

판형 워크(W)는, 예컨대, 가공후에 PCB 등이 되는 워크이며, 종횡의 길이가 각각 수십센티인 직사각형의 외형을 갖고 있고, 그 상면(Wa)은 디바이스나 배선 등이 아직 실장되지 않은 상태로 되어 있다. 판형 워크(W)는, 도 1에 나타내는 예에서는 Y축 방향 양측의 외주 부분이 상측으로 휘어져 올라가 있지만, 사방의 외주 부분이 전부 상측으로 휘어져 올라가 있어도 좋다.The plate-like work W is, for example, a work that becomes, for example, a PCB after processing, and has a rectangular shape with lengths and widths of several tens of centimeters, respectively. has been In the example shown in FIG. 1 , the outer peripheral portions of the plate-like work W on both sides in the Y-axis direction are curved upward, but the outer peripheral portions on all four sides may be curved upward.

베이스(30)는, 예컨대, 소정의 합금 등을 원반형으로 형성한 것이며, 그 상면(30a)에는, 복수(도 1에 나타내는 예에서는 10개)의 나사 구멍(300)이 소정의 간격을 두고 대략 사각 고리형으로 형성되어 있다.The base 30 is formed, for example, of a predetermined alloy or the like in a disc shape, and a plurality of (ten in the example shown in Fig. 1) screw holes 300 are provided on the upper surface 30a at predetermined intervals. It is formed in the shape of a square ring.

판형의 유지부(31)는, 예컨대 SUS 등의 금속 재료로 이루어진 직사각형의 평판이며, 그 상면인 유지면(310)에 의해 판형 워크(W)를 흡인 유지할 수 있고, 유지면(310)의 면적은 판형 워크(W)의 면적보다 약간 작은 면적으로 되어 있다. 유지부(31)는, 베이스(30)의 상면(30a)의 중앙에 도시하지 않은 볼트로 고정되어 있다, 또는, 접착제로 고착되어 있다. 유지면(310)에는, 복수의 흡인 구멍(310c)이 종횡으로 소정의 간격을 두고 형성되어 있다. 각 흡인 구멍(310c)은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 판형의 유지부(31)의 내부에 형성된 흡인로(311)에 연통해 있고, 유지부(31)의 하면에 개구된 흡인로(311)의 일단에는, 진공 발생 장치 및 압축기 등으로 구성되는 흡인원(7)이 베이스(30)를 통해 연통해 있다.The plate-shaped holding portion 31 is a rectangular flat plate made of, for example, a metal material such as SUS. The plate-like workpiece W can be suction-held by the holding surface 310 as an upper surface thereof, and the area of the holding surface 310 is has an area slightly smaller than the area of the plate-shaped workpiece W. The holding part 31 is fixed to the center of the upper surface 30a of the base 30 with a bolt (not shown) or fixed with an adhesive. In the holding surface 310, a plurality of suction holes 310c are formed vertically and horizontally at predetermined intervals. As shown in FIG. 5 , each suction hole 310c communicates with a suction passage 311 formed inside the plate-shaped holding portion 31, and is open to the suction passage 311 on the lower surface of the holding portion 31. At one end of ), a suction source 7 composed of a vacuum generator, a compressor, and the like is communicated via the base 30.

사각 고리형의 외형을 갖는 도 1에 나타내는 고리형 시일부(32)는, 예컨대, 고무나 스폰지 등의 적당한 탄성을 갖는 부재로 형성되어 있고, 예컨대, 유지부(31)가 감합하는 개구(320)와, 개구(320)에 감합한 유지부(31)를 둘러싸는 변형부(321)와, 변형부(321)의 하단으로부터 개구(320)의 외측을 향해 수평으로 연장된 직사각형의 연장부(322)를 구비하고 있다.The annular seal portion 32 shown in FIG. 1 having a square annular outer shape is formed of a member having appropriate elasticity such as rubber or sponge, for example, and has an opening 320 to which the holding portion 31 fits, for example. ), a deformable portion 321 surrounding the holding portion 31 fitted to the opening 320, and a rectangular extension extending horizontally from the lower end of the deformable portion 321 toward the outside of the opening 320 ( 322) is provided.

측면에서 볼 때 직사각형인 4장의 측벽으로 이루어진 변형부(321)는, 각 측벽의 이음매 부분(모서리 부분)에 세로 방향(Z축 방향)의 절입이 형성되어 있기 때문에, 각 측벽은 개구(320)의 외측으로 절곡 가능하게 되어 있다.In the deformable portion 321 composed of four rectangular sidewalls when viewed from the side, a cut in the vertical direction (Z-axis direction) is formed at the seam portion (corner portion) of each sidewall, so that each sidewall has an opening 320 It is possible to bend to the outside of the.

고리형 시일부(32)는, 예컨대, 도 1에 나타내는 4개의 고정 플레이트(35)에 의해 유지부(31)를 둘러싸도록 하여 베이스(30)의 상면(30a)에 고정된다. 고정 플레이트(35)는, 예컨대, 종단면이 대략 L자형이 되는 외형을 갖고 있고, 볼트 삽입 관통 구멍(350c)이 두께 방향(Z축 방향)을 향해 관통 형성되어 있는 평판부(350)와, 평판부(350)에 세워져 설치되어 고리형 시일부(32)의 변형부(321)의 하측 부분을 측방으로부터 지지하는 지지부(351)를 구비하고 있다. 또, 4개의 고정 플레이트(35)는 사각 고리형으로 일체적으로 형성되어 있어도 좋고, 또한, 고정 플레이트(35)와 고리형 시일부(32)가 일체적으로 형성되어 있어도 좋다.The annular seal portion 32 is fixed to the upper surface 30a of the base 30 so as to surround the holding portion 31 by, for example, four fixing plates 35 shown in FIG. 1 . The fixed plate 35 includes, for example, a flat plate portion 350 having a substantially L-shaped longitudinal section and having bolt insertion holes 350c penetrating in the thickness direction (Z-axis direction); It is provided with a support part 351 standing upright on the part 350 and supporting the lower part of the deformable part 321 of the annular seal part 32 from the side. Further, the four fixing plates 35 may be integrally formed in a square annular shape, or the fixing plate 35 and the annular seal portion 32 may be integrally formed.

또한, 4장의 측벽으로 이루어진 변형부(321)가 사각 고리형으로 일체적으로 형성되어 있어도 좋다. 또, 변형부(321)가 일체 형성되어 있는 경우에는, 측벽의 모서리 부분이 중앙 부분보다 변형되기 쉬운 재질 또는 형상인 것이 좋다.Alternatively, the deformable portion 321 composed of four side walls may be integrally formed in a quadrangular annular shape. In the case where the deformable portion 321 is integrally formed, it is preferable that the corner portion of the side wall is made of a material or shape that is more easily deformed than the central portion.

변형부(321)의 측벽의 모서리 부분이 중앙 부분보다 변형되기 쉬운 재질로 되어 있는 경우의 일례로는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 측벽의 중앙 부분이 고무판(G)으로 형성되어 있고, 고무판(G)에 이어지는 모서리 부분이 스폰지(P)로 형성되어 있는 것이며, 스폰지(P)로 형성되어 있는 모서리 부분을 변형되기 쉽게 하고 있다.As an example of a case where the corner portion of the side wall of the deformable portion 321 is made of a material that is more deformable than the central portion, as shown in FIG. 3, the central portion of the side wall is formed of a rubber plate G, and the rubber plate ( The corner part following G) is formed of sponge P, and the corner part formed of sponge P is made easy to deform.

변형부(321)의 측벽의 모서리 부분이 중앙 부분보다 변형되기 쉬운 형상으로 되어 있는 경우의 일례로는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 전체가 고무판 또는 스폰지로 형성되어 있는 변형부(321)의 중앙 부분의 두께보다 모서리 부분의 두께를 얇게 형성하여 변형되기 쉽게 하고 있다.As an example of a case where the corner portion of the sidewall of the deformable portion 321 has a shape that is more easily deformed than the central portion, as shown in FIG. 4 , the center of the deformable portion 321 entirely formed of a rubber plate or sponge. The thickness of the corner part is formed thinner than the thickness of the part to make it easy to deform.

베이스(30) 위의 유지부(31)를 고리형 시일부(32)의 개구(320)에 끼워 넣고, 고리형 시일부(32)를 베이스(30)의 상면(30a) 위에 배치한다. 다음으로, 4개의 고정 플레이트(35)를 각각, 고리형 시일부(32)의 연장부(322) 위에 변형부(321)를 따르도록 배치하고, 또한, 베이스(30)의 나사 구멍(300)과 각 고정 플레이트(35)의 볼트 삽입 관통 구멍(350c)을 서로 겹친다. 그리고, 10개의 고정 볼트(36)(도 1에서는 1개만 도시)를 각 볼트 삽입 관통 구멍(350c)에 통과시켜 각 나사 구멍(300)에 나사 결합시킴으로써, 고정 플레이트(35)의 평판부(350)의 하면과 베이스(30)의 상면(30a) 사이에 고리형 시일부(32)의 연장부(322)가 끼인 상태가 되고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 고리형 시일부(32)가 베이스(30) 위에 고정된 상태가 된다.The holding portion 31 on the base 30 is fitted into the opening 320 of the annular seal portion 32, and the annular seal portion 32 is disposed on the upper surface 30a of the base 30. Next, each of the four fixing plates 35 is disposed along the deformed portion 321 on the extension portion 322 of the annular seal portion 32, and further, the screw hole 300 of the base 30 and the bolt insertion hole 350c of each fixing plate 35 overlap each other. Then, ten fixing bolts 36 (only one is shown in FIG. 1 ) are passed through each bolt insertion hole 350c and screwed into each screw hole 300, so that the flat plate portion 350 of the fixing plate 35 ) between the lower surface of the base 30 and the upper surface 30a of the base 30, the extension 322 of the annular seal portion 32 is sandwiched, and as shown in FIG. 2, the annular seal portion 32 is the base (30) It becomes a fixed state on top.

도 2에 나타낸 바와 같이, 고리형 시일부(32)가 유지부(31)를 둘러싼 상태로 베이스(30) 위에 고정되면, 고리형 시일부(32)의 변형부(321)의 상단부(321a)는, 유지부(31)의 유지면(310)보다 소정 거리만큼 상측에 위치한 상태, 즉, 유지면(310)보다 상측으로 돌출된 상태가 된다.As shown in FIG. 2, when the annular seal part 32 is fixed on the base 30 in a state surrounding the holding part 31, the upper end 321a of the deformable part 321 of the annular seal part 32 is positioned above the holding surface 310 of the holding part 31 by a predetermined distance, that is, a state protruding upward from the holding surface 310.

이하에, 도 5에 나타내는 판형 워크(W)를 흡인 유지할 때의 척테이블(3)의 동작에 관해 설명한다. 우선, 판형 워크(W)가, 척테이블(3) 위에 반송되고, 판형 워크(W)의 중심이 척테이블(3)의 유지면(310)의 중심에 대략 위치하도록 위치 부여된다. 이어서, 하면(Wb)을 하측을 향하게 한 상태로 판형 워크(W)가 유지면(310) 위에 배치된다.The operation of the chuck table 3 when suction-holding the plate-like workpiece W shown in Fig. 5 is described below. First, the plate-like work W is conveyed onto the chuck table 3, and the plate-like work W is positioned so that the center of the plate-like work W is substantially located at the center of the holding surface 310 of the chuck table 3. Subsequently, the plate-like work W is placed on the holding surface 310 with the lower surface Wb facing downward.

흡인원(7)을 작동시킴으로써, 흡인원(7)이 만들어내는 흡인력이 흡인로(311)를 통해 흡인 구멍(310c)에 전달되어, 유지면(310)에 흡인력이 작용한다. 유지면(310)에 전달된 흡인력에 의해, 판형 워크(W)가, 휘어짐이 교정되면서 하면(Wb)의 중앙측으로부터 유지면(310)에 의해 흡인 유지되어 가고, 또한, 판형 워크(W)의 하면(Wb)의 외주 부분에 고리형 시일부(32)의 변형부(321)의 상단부(321a)가 접촉한다.By operating the suction source 7, the suction force produced by the suction source 7 is transmitted to the suction hole 310c through the suction path 311, and the suction force acts on the holding surface 310. By the suction force transmitted to the holding surface 310, the plate-like work W is suction-held from the center side of the lower surface Wb by the holding surface 310 while the warp is corrected, and the plate-like work W The upper end portion 321a of the deformed portion 321 of the annular seal portion 32 contacts the outer circumferential portion of the lower surface Wb.

판형 워크(W)의 하면(Wb)의 외주 부분의 휘어짐이 교정되면서 변형부(321)의 상단부(321a)에 접촉해 가기 때문에, 변형부(321)의 상단부(321a)는 유지면 방향에서의 유지면(310)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 변형부(321)의 상단부(321a)가 도 6에 나타낸 바와 같이 외측으로 절곡되고, 유지면(310)과 상단부(321a)가 동일한 높이가 된다. 그 결과, 판형 워크(W)의 하면(Wb)의 외주 부분에 고리형 시일부(32)가 간극없이 접촉하여 시일로서의 기능을 충분히 발휘하고 있는 상태가 되고, 판형 워크(W)의 하면(Wb)에 적절한 흡인력이 작용한다.Since the outer circumferential portion of the lower surface Wb of the plate-like workpiece W is corrected and comes into contact with the upper end 321a of the deformable part 321, the upper end 321a of the deformable part 321 is in the direction of the holding surface. Moving away from the center of the holding surface 310, the upper end 321a of the deformable portion 321 is bent outward as shown in FIG. 6, and the holding surface 310 and the upper end 321a have the same height. do. As a result, the annular seal portion 32 contacts the outer peripheral portion of the lower surface Wb of the plate-shaped work W without a gap, and the function as a seal is sufficiently exhibited, and the lower surface Wb of the plate-shaped work W ) with an appropriate suction force.

또, 도 3에 나타낸 바와 같이 변형부(321)의 측벽의 모서리 부분이 중앙 부분보다 변형되기 쉬운 재질로 형성되어 있는 경우나, 도 4에 나타낸 바와 같이 변형부(321)의 측벽의 모서리 부분이 중앙 부분보다 변형되기 쉬운 형상으로 되어 있는 경우에도, 판형 워크(W)를 흡인 유지함으로써, 변형부(321)의 모서리 부분의 변형과 함께 상단부(321a)가 외측으로 절곡되고, 유지면(310)과 상단부(321a)가 동일한 높이가 되어, 고리형 시일부(32)가 시일로서의 기능을 충분히 발휘하고 있는 상태가 된다.In addition, as shown in FIG. 3, when the corner portion of the sidewall of the deformable portion 321 is formed of a material more easily deformed than the central portion, or as shown in FIG. 4, the corner portion of the sidewall of the deformable portion 321 Even when the shape is more easily deformed than the central portion, by holding the plate-like workpiece W by suction, the upper end portion 321a is bent outward along with deformation of the corner portion of the deformable portion 321, and the holding surface 310 and the upper end portion 321a are at the same height, and the annular seal portion 32 is in a state in which the function as a seal is sufficiently exhibited.

본 발명에 관한 척테이블(3)은, 베이스(30)와, 베이스(30)의 위에 배치되고 판형 워크(W)의 면적보다 약간 작은 면적의 유지면(310)을 흡인원(7)에 연통시키는 흡인로(311)를 구비한 판형의 유지부(31)와, 유지부(31)를 둘러싸고 상단부(321a)를 유지면(310)보다 돌출시킨 고리형 시일부(32)를 구비하고, 고리형 시일부(32)는, 유지면(310)에 흡인원(7)을 연통시켜 유지면(310)에 흡인력을 작용시킬 때에 판형 워크(W)의 하면(Wb)의 외주 부분에 접촉하고, 상단부(321a)가 유지면 방향에서의 유지면(310)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 유지면(310)과 상단부(321a)가 동일한 높이가 되어 판형 워크(W)의 하면(Wb)에 접촉한 상태로 판형 워크(W)를 흡인 유지하기 때문에, 흡인력의 누설을 발생시키지 않고 판형 워크(W)를 흡인 유지할 수 있다. 또한, 흡인 유지시에, 작업자가 판형 워크(W)를 상측으로부터 유지면(310) 방향으로 압박할 필요도 없어진다.In the chuck table 3 according to the present invention, a base 30 and a holding surface 310 disposed on the base 30 and having an area slightly smaller than the area of the plate-like work W communicate with a suction source 7. A plate-shaped holding portion 31 having a suction passage 311 for making it, and a ring-shaped seal portion 32 surrounding the holding portion 31 and protruding the upper end portion 321a from the holding surface 310, The mold seal portion 32 contacts the outer peripheral portion of the lower surface Wb of the plate-like work W when the suction source 7 is communicated with the holding surface 310 to apply a suction force to the holding surface 310, The upper end portion 321a moves in a direction away from the center of the holding surface 310 in the direction of the holding surface, and the holding surface 310 and the upper end portion 321a become the same height to the lower surface Wb of the plate-shaped workpiece W. Since the plate-shaped workpiece W is held in contact with suction, the plate-shaped workpiece W can be held by suction without causing leakage of the suction force. In addition, there is no need for the operator to press the plate-shaped work W from the upper side toward the holding surface 310 during suction holding.

흡인 유지시의 판형 워크(W)는, 휘어짐에 의한 유지면(310)으로부터 반발하는 힘(판형 워크(W)의 외주 부분을 상측으로 들어올리고자 하는 힘)을 갖고 있지만, 고리형 시일부(32)가 갖는 변형된 상태로부터 원래 상태로 복원하고자 하는 힘의 방향은, 유지면(310)에 의해 흡인 유지되어 있는 판형 워크(W)에 대하여 수직인 +Z 방향이 아니라, 유지면(310)의 중심에 근접하는 방향으로 되어 있기 때문에, 판형 워크(W)의 휘어짐에 의한 유지면(310)으로부터 반발하는 힘에 고리형 시일부(32)의 복원력이 더 가해져 버리는 일이 없다. 그 때문에, 판형 워크(W)를 보다 확실하게 흡인 유지하는 것이 가능해진다.The plate-shaped workpiece W during suction holding has a force to repel from the holding surface 310 due to bending (force to lift the outer circumferential portion of the plate-shaped workpiece W upward), but the annular seal portion 32 ) The direction of the force to be restored from the deformed state to the original state is not the +Z direction perpendicular to the plate-like work W held by the holding surface 310 by suction, but the direction of the holding surface 310 Since it is in the direction close to the center, the restoring force of the annular seal portion 32 is not further applied to the force repelling from the holding surface 310 due to the bending of the plate-like work W. Therefore, it becomes possible to suction-hold the plate-shaped work W more reliably.

본 발명에 관한 척테이블은 상기 기재의 예에 한정되지 않고, 또한, 첨부 도면에 도시되어 있는 척테이블(3)의 각 구성 등에 관해서도, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절하게 변경 가능하다.The chuck table according to the present invention is not limited to the examples described above, and each configuration of the chuck table 3 shown in the accompanying drawings is not limited to this, but the scope in which the effects of the present invention can be exhibited. can be changed appropriately within

W : 판형 워크 Wa : 판형 워크의 상면
Wb : 판형 워크의 하면 3 : 척테이블
30 : 베이스 30a : 베이스의 상면
300 : 나사 구멍 31 : 유지부
310 : 유지면 310c : 흡인 구멍
311 : 흡인로 35 : 고정 플레이트
350 : 평판부 350c : 볼트 삽입 관통 구멍
351 : 지지부 32 : 고리형 시일부
320 : 감합 구멍 321 : 변형부
321a : 상단부 322 : 연장부
36 : 고정 볼트 7 : 흡인원W: Plate-shaped workpiece Wa: Top surface of plate-shaped workpiece
Wb: lower surface of plate-shaped workpiece 3: chuck table
30: base 30a: upper surface of the base
300: screw hole 31: holding part
310: holding surface 310c: suction hole
311: suction path 35: fixed plate
350: flat plate part 350c: bolt insertion through hole
351: support part 32: ring type seal part
320: fitting hole 321: deformation part
321a: upper part 322: extension part
36: fixing bolt 7: suction source

Claims (2)

가공 기구를 장착한 가공 수단에 의해 휘어짐이 있는 다각형의 판형 워크를 가공하는 가공 장치에 구비되고, 상기 판형 워크를 흡인 유지하는 유지면을 갖는 척테이블로서,
베이스와, 상기 베이스 위에 배치되고 상기 판형 워크의 면적보다 약간 작은 면적의 상기 유지면을 흡인원에 연통시키는 흡인로를 구비한 판형의 유지부와, 상기 유지부를 둘러싸고 상단부를 상기 유지면보다 돌출시킨 고리형 시일부와, 상기 베이스 상의 상기 유지부의 외측에 배치된 상기 유지부의 외측면과의 사이에 상기 고리형 시일부를 끼워 고정하는 고정 플레이트를 구비하고,
상기 고리형 시일부는, 복수의 측벽에 의해 평면에서 볼 때 다각 고리형으로 형성되고,
상기 고리형 시일부는, 상기 유지면에 흡인원을 연통시켜 상기 유지면에 흡인력을 작용시킬 때에 판형 워크의 하면의 외주 부분에 접촉하고, 상기 판형 워크에 의해 상기 유지면을 향해 상기 상단부가 눌림으로써 상기 유지면 방향에서의 상기 유지면의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 상기 상단부가 이동하여 외측으로 절곡되고, 상기 유지면과 상기 상단부가 동일한 높이가 되어 상기 판형 워크의 하면에 접촉한 상태로 상기 흡인력의 누설을 방지하고 상기 판형 워크를 흡인 유지할 수 있고, 또한 상기 고정 플레이트를 상기 베이스로부터 분리함으로써 상기 고리형 시일부를 용이하게 교환 가능한 상태로 하는 것이 가능하고,
상기 고리형 시일부는, 상기 유지면에 상기 흡인력이 작용하는 것에 의해 상기 판형 워크에 상기 유지면에 접근하는 방향의 힘이 부여되고, 상기 판형 워크에 의해 상기 유지면을 향해 상기 상단부가 눌려진 때에, 상기 측벽의 상기 상단부가 상기 유지면 방향으로 상기 유지부로부터 외측을 향해 변형하기 쉽도록, 상기 측벽의 상기 상단부측은, 모서리 부분이 중앙 부분보다 두께가 얇거나, 또는 상기 모서리 부분이 상기 중앙 부분보다 부드러운 재질로 구성되어 있는 척테이블.A chuck table provided in a processing device for processing a polygonal plate-shaped workpiece with warp by a processing means equipped with a processing mechanism, and having a holding surface for sucking and holding the plate-shaped workpiece, comprising:
A plate-shaped holding portion having a base and a suction passage disposed on the base and communicating the holding surface having an area slightly smaller than that of the plate-shaped work to a suction source, and a ring surrounding the holding portion and having an upper end protruding from the holding surface. A fixing plate for holding and fixing the annular seal portion between a mold seal portion and an outer surface of the holding portion disposed on the outside of the holding portion on the base,
The annular seal portion is formed in a polygonal annular shape when viewed in plan by a plurality of side walls,
The annular seal part contacts the outer peripheral portion of the lower surface of the plate-like work when a suction force is applied to the holding surface by communicating the suction source to the holding surface, and the upper end is pressed toward the holding surface by the plate-shaped work. The upper end is moved in a direction away from the center of the holding surface in the direction of the holding surface and is bent outward, and the holding surface and the upper end are of the same height and are in contact with the lower surface of the plate-like work, and leakage of the suction force It is possible to prevent and hold the plate-like work in suction, and to make the annular seal part easily replaceable by separating the fixing plate from the base,
When the annular seal part is pressed toward the holding surface by the plate-shaped work when the force in the direction approaching the holding surface is applied to the plate-like work by the suction force acting on the holding surface, The upper end side of the side wall has a corner portion thinner than the central portion, or the corner portion is thinner than the central portion, so that the upper end portion of the side wall is easy to deform outward from the holding portion in the direction of the holding surface. Chuck table made of soft material. 제1항에 있어서,
상기 고리형 시일부는, 하단으로부터 수평으로 상기 유지부의 중심으로부터 외측을 향하는 방향으로 연장되는 연장부를 구비하고,
상기 연장부를 상기 베이스의 상면과 상기 고정 플레이트의 하면의 사이에 끼워 고정하는 척테이블.
According to claim 1,
The annular seal part has an extension part extending horizontally from the lower end in a direction toward the outside from the center of the holding part,
A chuck table in which the extension part is inserted and fixed between the upper surface of the base and the lower surface of the fixing plate.
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