KR102511566B1 - 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체 - Google Patents

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KR102511566B1
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안성은
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주식회사 큐리오시스
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Abstract

본 발명은 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스테이지 위의 베셀 주변 공기가 장비 내부로 통하도록 스테이지에 유로를 만들어 베셀의 스테이지 방향 표면의 온도를 베셀 주변온도와 비슷하게 하여 결로가 생기지 않도록 함은 물론, 스테이지를 구동하는 노브의 직경보다 작은 공간에 모든 구동부품을 장착할 수 있도록 구조를 단순화하고 부품을 줄이며, 노브에 연결된 회전축 자체가 구동장치가 되게 하여 노브에 연결된 회전축이 직선운동을 만들어 낼 수 있도록 스카치 요크 메카니즘을 적용하고, 이를 통해 비용절감, 구동장치의 노출에 따른 협착사고 예방, 이물질 유입 차단에 따른 오염방지 기능이 개선된 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체에 관한 것이다.

Description

결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체{Stage assembly with vent structure to prevent condensation}
본 발명은 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스테이지 위의 베셀 주변 공기가 장비 내부로 통하도록 스테이지에 유로를 만들어 베셀의 스테이지 방향 표면의 온도를 베셀 주변온도와 비슷하게 하여 결로가 생기지 않도록 함은 물론, 스테이지를 구동하는 노브의 직경보다 작은 공간에 모든 구동부품을 장착할 수 있도록 구조를 단순화하고 부품을 줄이며, 노브에 연결된 회전축 자체가 구동장치가 되게 하여 노브에 연결된 회전축이 직선운동을 만들어 낼 수 있도록 스카치 요크 메카니즘을 적용하고, 이를 통해 비용절감, 구동장치의 노출에 따른 협착사고 예방, 이물질 유입 차단에 따른 오염방지 기능이 개선된 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체에 관한 것이다.
일반적으로, 스테이지는 다양한 용도로 활용된다.
특히, 라이브 셀 이미징(Live cell imaging) 장비에서 사용되는 스테이지의 경우, 스테이지 위의 베셀이 인큐베이터와의 온도차이로 인해 베셀 부위별로 온도가 균일하지 않게 되면 베셀에 결로가 생성되게 된다.
이러한 결로는 이미지 촬영시 세포 관찰에 방해를 주게 된다.
예컨대, 세포 배양을 위한 인큐베이터 내부는 온도 37℃, 습도 약 95% 상태를 유지하고 있는데, 매우 높은 습도이기 때문에 인큐베이터 내부에 있는 제품의 부위별 작은 온도차이가 발생한다면 제품 표면에 결로가 발생할 수 있다.
더구나, 세포 배양액이 담겨있는 베셀 내부는 인큐베이터 보다 좀더 높은 습도를 유지하고 있기 때문에 베셀 위쪽에 결로가 발생할 확률이 매우 높은 상태이다.
이와 같이, 전원에 의해 작동하는 장비 특성상 장비 내부에 인큐베이터보다 조금이라도 높은 온도가 발생되는 소자들이 작동하고 있으므로 장비 내부의 일부 공간은 인큐베이터 온도와 차이가 발생하게 되고, 스테이지 위의 베셀은 장비의 스테이지 또는 관측창을 통해 열이 전달되어 베셀 부위별 온도차이로 결로가 발생하기 쉽다.
이렇게 베셀에 발생한 결로는 세포 이미지 촬영시 세포 배경에서 그림자를 발생시키는 등의 세포 관찰에 악영향을 주게 되므로 촬영기간동안(길게는 수주) 결로 발생을 방지해야 한다.
한편, 스테이지는 랙 앤 피니언기어 타입(Rack & pinion gear type), 리드스크류 타입(Lead screw type) 혹은 볼스크류 타입(Ball screw type), 리니어모터 타입(Linear Motor type), 피에조 타입(Piezo type) 등의 다양한 구동방식으로 구동된다.
그리하여, 스테이지는 구동원에 따라 오퍼레이터가 기구물을 직접 조작하는 수동스테이지와, 전기의 힘으로 작동되는 자동스테이지로 나뉘게 된다.
이 경우, 본 발명과 관련된 수동스테이지는 외형 크기 대비 회전당 이송량을 크게 만들 수 있는 랙 앤 피니언기어 타입이 주류를 이루고 있다.
예컨대, 도 1의 (a)와 같이, 랙 앤 피니언기어 타입은 상대적으로 회전당 이송량이 크다는 장점이 있지만, 스트로크 길이 이상의 랙기어 부착공간이 필요하므로 관찰영역 외 구동부품을 위한 공간이 요구되고, 구동부품이 외부(아래쪽)로 노출되어 협착에 의한 안전사고, 이물질 유입, 접촉시 외부 오염 등이 발생되는 단점이 있다.
또한, 도 1의 (b)와 같이, 리드스크류 혹은 볼스크류 타입의 경우에는 백래쉬가 적고 회전당 이송량이 작아 위치제어에 적합하지만, 스트로크 길이 이상의 스크류 부착공간이 요구되고, 구동부품과 이송부품의 평행이 기기 작동여부에 영향을 미칠만큼 치수정밀도, 조립정밀도에 매우 의존적이라는 단점이 있다.
뿐만 아니라, 도 1의 (c)와 같이, 피에조 타입은 자동제어시 매우 작은 변위 이동을 정확히 제어할 수 있는 장점은 있지만, 스트로크 길이가 너무 작고(수mm), 부품 단가가 매우 높으며, 자동제어 전용이므로 사용상 제한이 많다.
그리고, 도 1의 (d)와 같이, 리니어모터 타입은 자동제어시 고속 정밀 이송이 가능한 장점이 있으나, 외부 제어기의 크기가 매우 커 공간확보가 어렵고, 매우 고가이며, 자동제어 전용이므로 한계가 있다.
국내 등록특허 제10-1234604호(2013.02.13.), 생체시료의 전자현미분석 관찰을 위한 크라이오 스테이지 국내 등록특허 제 10-0162318호(1998.08.29.), 스카치 요크식 동력전달장치
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술상의 제반 문제점들을 감안하여 이를 해결하고자 창출된 것으로, 스테이지 위의 베셀 주변 공기가 장비 내부로 통하도록 스테이지에 유로를 만들어 베셀의 스테이지 방향 표면의 온도를 베셀 주변온도와 비슷하게 하여 결로가 생기지 않도록 함은 물론, 스테이지를 구동하는 노브의 직경보다 작은 공간에 모든 구동부품을 장착할 수 있도록 구조를 단순화하고 부품을 줄이며, 노브에 연결된 회전축 자체가 구동장치가 되게 하여 노브에 연결된 회전축이 직선운동을 만들어 낼 수 있도록 스카치 요크 메카니즘을 적용하고, 이를 통해 비용절감, 구동장치의 노출에 따른 협착사고 예방, 이물질 유입 차단에 따른 오염방지 기능이 개선된 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체를 제공함에 그 주된 목적이 있다.
본 발명은 상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로, 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트의 상면에 조립되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트의 상면에 조립되는 상부플레이트와, 상기 상부플레이트의 상면에 요입형성되고 중앙홀과 통할 수 있도록 구비된 흡기유로와, 상기 베이스플레이트의 하부인 스테이지 내부에 설치되어 흡기유로를 통해 외기를 내부로 흡입한 후 벤트를 통해 방출하는 흡기팬과, 상기 상부플레이트의 일측에 배치되고 하부플레이트 및 베이스플레이트를 관통하는 형태로 조립 설치되는 조절노브를 포함하되, 상기 조절노브는 상기 상부플레이트를 직선이동시키는 하부노브와, 상기 상부플레이트와 상기 하부플레이트를 동시에 상부플레이트의 직선이동방향과 직교되는 방향으로 이동시키는 상부노브로 구성된 것을 특징으로 하는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체를 제공한다.
이때, 상기 흡기유로는 십자형, 수평직선형, 수직선형, 곡선형, 코일형중 어느 하나 혹은 둘 이상의 조합으로 된 형태를 갖고; 단면을 기준으로 ∪형, ∨형 또는 반원형의 형상을 갖는 것에도 그 특징이 있다.
또한, 상기 베이스플레이트의 폭방향으로 양측에는 한 쌍의 슬라이드홀이 형성되고, 상기 조절노브가 설치되는 지점과 일치되는 베이스플레이트 상에는 폭방향으로 장공형태를 갖는 베이스핀홀이 형성되며; 상기 하부플레이트의 하면에는 상기 슬라이드홀에 끼워져 움직일 수 있는 슬라이더가 구비되고, 상기 베이스핀홀과 대응되는 위치에는 베이스핀홀 보다 큰 통공 및 통공의 일측에서 수직연장된 하부핀홀이 형성되며, 상기 슬라이더와 직교되게 한 쌍의 안내구멍이 형성되고; 상기 상부플레이트의 하면에는 상기 안내구멍에 끼워져 움직일 수 있는 돌출바가 구비되고, 상기 통공의 중심과 일치되는 지점에는 노브조립공 및 노브조립공과 간격을 두고 호형상의 핀활공이 형성되며; 상기 하부노브의 중심을 관통하여 상부노브에 일체로 고정되는 작동구를 포함하되 상기 하부노브의 하면에는 상기 핀활공을 관통한 후 하부핀홀에 고정되는 하부핀이 구비되며, 상기 작동구의 하단에는 상기 통공을 관통한 후 베이스핀홀에 고정되는 베이스핀이 편심된 채 구비된 것에도 그 특징이 있다.
또한, 상기 작동구의 하단에는 베이스핀이 편심 고정된 것에도 그 특징이 있다.
또한, 상기 베이스플레이트에는 고정공이 형성되고, 상기 하부플레이트의 고정공 대응위치에는 하부플레이트의 길이방향으로 장공형태를 갖는 활주공이 형성되며, 상기 고정공과 활주공에는 고정구가 결속된 것에도 그 특징이 있다.
또한, 상기 하부플레이트의 상면에는 안내돌기가 돌출되고, 상기 상부플레이트의 안내돌기 대응위치인 하면에는 상부플레이트의 폭방향으로 장홈형태를 갖는 안내홈이 요입 형성된 것에도 그 특징이 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 스테이지 위의 베셀 주변 공기가 장비 내부로 통하도록 스테이지에 유로를 만들어 베셀의 스테이지 방향 표면의 온도를 베셀 주변온도와 비슷하게 하여 결로가 생기지 않도록 한다.
둘째, 스테이지를 구동하는 노브의 직경보다 작은 공간에 모든 구동부품을 장착할 수 있도록 구조를 단순화할 수 있다.
셋째, 구조 단순화에 따른 부품수를 줄일 수 있다.
넷째, 스카치 요크 메카니즘을 적용하여 구동의 원활성과 효율성을 달성할 수 있다.
다섯째, 비용을 절감하고, 구동장치의 노출에 따른 협착사고를 예방하며, 이물질 유입 차단에 따른 오염방지 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 스테이지의 예시적인 샘플 사진이다.
도 2는 본 발명에 따른 조립체의 예시적인 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 조립체의 요부 단면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 조립체를 서로 다른 각도에서 본 분해사시도이다.
도 6 내지 도 9는 본 발명에 따른 조립체의 순차 조립예를 보인 예시적인 사시도이다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 스테이지 조립체의 다른 예를 보인 예시도이다.
이하에서는, 첨부도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명 설명에 앞서, 이하의 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니된다.
또한, 본 발명의 개념에 따른 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로, 특정 실시예들은 도면에 예시하고 본 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시예들을 특정한 개시 형태에 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경물, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명에 따른 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체는 인큐베이터 환경에서 베셀의 부위별 온도를 결로가 생기지 않을 정도로 균일하게 유지하도록 구성된다.
이를 위해, 스테이지 위의 베셀 주변공기가 장비 내부로 통하도록 스테이지에 유로를 만들고, 장비 외기를 내부로 흡수하여 방출하도록 장비 내부에서 팬을 작동시키도록 구성된다.
이에 따라, 유로를 통해 흘러온 공기가 베셀의 스테이지 방항 표면에도 그 외 방향 표면의 공기의 온도와 비슷하게 유지해 줌으로써 베셀의 부위별 온도차이를 최소화할 수 있어 결로 발생을 방지하게 된다.
한편, 본 발명에 따른 스테이지는 외형 크기 대비 회전당 큰 이송량을 유지하고, 스테이지를 구동하는 구조물 크기를 최소화 하며, 부품수를 줄일 수 있도록 구성된 것이 특징이다.
즉, 스테이지를 구동하는 노브 직경보다 작은 공간에 모든 구동 부품을 넣기 위해 구조를 단순화하고 부품을 줄이는 방법으로 노브에 연결된 회전축 자체를 구동장치가 될 수 있도록 설계한 것이다.
그리하여, 노브에 연결된 회전축이 직선운동을 만들어 낼 수 있도록 스카치 요크 메카니즘(scotch yoke mechanism)이 적용된다.
특히, 스카치 요크 메카니즘을 적용하여 회전운동을 직선운동으로 변환할 때 직선운동 방향이 전환되는 전후 회전구간은 회전각도당 직선운동 변화율이 크기 때문에 변화가 가장 작은 구간을 사용하여 오퍼레이터가 조작할 때 이질감을 최소화시킬 수 있다.
아울러, 구조 간소화를 통한 비용절감 및 구동장치 노출로 인한 협착에 의한 안전 문제, 이물질 유입문제, 접촉시 외부 오염문제 등을 해소할 수 있도록 구성한다.
예컨대, 스테이지의 상대운동을 만들어주는 편심축이 닿는 가이드 부분은 직선으로 설계되지만 가이드 형상에 변화를 주면 노브 회전 각도당 이송거리에 변화를 줄 수 있다.
즉, 가이드가 직선일 경우 노브 회전 초기와 마지막 구간엔 노브 회전의 중간구간보다 회전각도당 이송거리가 작아 일정한 속도로 노브를 회전하면 스테이지 이동속도 변화가 생기므로 처음구간은 느리게, 중간구간은 빠르게, 마지막구간은 다시 처음 구간과 동일한 느린 속도로 이동할 수 있게 된다.
이는 가이드 형상이 직선이기 때문에 나타나는 속도 변화이고, 가이드를 적절한 곡선으로 설계하면, 편심축의 회전 시작 각도를 변화하여 사용자가 원하는 속도 프로파일에 맞추어 다양하게 대응할 수 있다.
특히, 편심축이 닿아 있는 가이드는 부품간 마찰이 발생하기 때문에 마찰 저감을 위한 수단(예. 윤활패드, 흑연, 베어링 등) 또는 내마모성 소재(예. 카바이드 등) 또는 내마모성 코팅(Ti 코팅 등) 사용 또는 열처리를 적용하면 제품 내구성과 정밀성을 높일 수 있다.
아울러, 편심축을 회전축 중심에서 멀리 설치할 수록 스테이지의 최대 스트로크를 크게 할 수 있고, 스트로크를 크게하기 위해 편심축이 노브 단면적 외부에 위치할 수 있다.
다만, 작은 공간에 큰 스트로크를 필요하지 않기 때문에 노브 단면적 보다 작은 공간에 편심축이 위치하는 것이 유리하다.
따라서, 본 발명에 따른 스테이지 조립체는 일정한 회전 속도에 따라 직선운동의 가감속이 필요한 스테이지가 필요한 분야 혹은, 스테이지 외부로 구동부품이 차지하는 공간을 최소화 하고자 하는 분야(회로 검사장비, 다양한 계측장비) 등에 폭넓게 사용될 수 있다.
보다 구체적으로, 본 발명에 따른 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체는 도 1 내지 도 2의 예시와 같이, 베이스플레이트(100)와, 상기 베이스플레이트(100)의 상면에 조립되는 하부플레이트(200)와, 상기 하부플레이트(200)의 상면에 조립되는 상부플레이트(300)와, 상기 상부플레이트(300)의 상면에 요입형성되고 중앙홀과 통할 수 있도록 구비된 흡기유로(AIR)와, 상기 베이스플레이트(100)의 하부인 스테이지 내부에 설치되어 흡기유로(AIR)를 통해 외기를 내부로 흡입한 후 벤트를 통해 방출하는 팬(FAN, 도 3,4 참조)과, 상기 상부플레이트(300)의 일측에 배치되고 하부플레이트(200) 및 베이스플레이트(100)를 관통하는 형태로 조립 설치되는 조절노브(400)를 포함하되, 상기 조절노브(400)는 상기 상부플레이트(300)를 직선이동시키는 하부노브(420)와, 상기 상부플레이트(300)와 상기 하부플레이트(200)를 동시에 상부플레이트(300)의 직선이동방향과 직교되는 방향으로 이동시키는 상부노브(410)로 구성된다.
이때, 상기 베이스플레이트(100)의 하부에는 도 4 내지 도 5의 예시와 같이, 흡기팬(FAN)이 설치된다.
상기 흡기팬(FAN)은 베이스플레이트(100) 하부의 장비 내부에 설치되며, 또한 장비 측방에는 배출구(미도시)가 형성되어 흡기팬(FAN)에 의해 흡기된 외기를 방출할 수 있도록 구성된다.
여기에서, 상기 흡기유로(AIR)는 도시와 같은 십자형, 수평직선형, 수직선형, 곡선형, 코일형을 포함한 다양한 형태(하나 또는 둘 이상의 조합)를 가질 수 있고, 또한 단면을 기준으로 ∪형, ∨형, 반원형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
그리하여, 온도편차가 발생할 경우 흡기팬(FAN)을 통해 흡기하게 되면 흡기유로(AIR)를 통해 흘러 들어온 공기가 베셀의 장비 방향 표면에 부위별로 온도차이를 최소화시키고, 흡기된 후 배출구를 통해 다시 외부로 방출된다.
이를 통해, 온도차가 줄어들게 되어 결로 현상이 억제되며, 이에 따라 세포관찰이나 이미지 촬영시 결로에 의한 이미지 불량이 생기지 않게 된다.
특히, 상기 베이스플레이트(100)의 폭방향으로 양측에는 한 쌍의 슬라이드홀(110)이 형성된다.
상기 슬라이드홀(110)은 상기 베이스플레이트(100)의 길이방향으로 길게 형성된다.
아울러, 상기 조절노브(400)가 설치되는 지점과 일치되는 베이스플레이트(100) 상에는 폭방향으로 장공형태를 갖는 베이스핀홀(120)이 더 형성된다.
또한, 상기 베이스핀홀(120)과 간격을 두고 고정공(130)이 더 형성될 수 있는데, 상기 고정공(130)은 고정구(140)가 관통한 뒤 후술될 활주공(230)에 끼워진 후 하부플레이트(200)가 분리이탈되지 않게 잡아주되 슬라이딩은 가능하도록 헐겁게 고정된다.
그리고, 상기 하부플레이트(200)는 하면 양측에 폭방향으로 한 쌍의 슬라이더(210)가 구비되는데, 상기 슬라이더(210)는 상기 슬라이드홀(110)에 끼워져 슬라이드홀(110)을 따라 직선운동할 수 있도록 구성된다.
또한, 상기 베이스핀홀(120)과 대응되는 위치에 상대적으로 현저히 큰 타원형 장공 형태의 통공(220)이 형성된다.
특히, 상기 통공(220)에는 통공(220)의 일측면에서 수직하게 연장된 일정길이의 하부핀홀(222)이 더 형성된다.
뿐만 아니라, 상기 고정공(130)과 일치되는 지점에는 하부플레이트(200)의 길이방향으로 긴 장공형태의 활주공(230)이 형성된다.
따라서, 상기 활주공(230)에 고정구(140)가 끼워져 고정됨으로써 활주공(230)의 폭 내에서 상기 하부플레이트(200)가 직선왕복운동할 수 있게 된다.
이것은 결국 상기 슬라이드홀(110) 내부에서 상기 슬라이더(210)가 움직이는 폭과 동일하다.
또한, 상기 하부플레이트(200)에는 상기 슬라이더(210)와 직교되는 방향으로 간격을 두고 한 쌍의 안내구멍(240)이 관통 형성된다.
아울러, 상기 활주공(230)과 간격을 두고 상부로 돌출된 안내돌기(250)가 형성되며, 상기 안내돌기(250)는 후술될 장홈 형태인 안내홈(330)에 끼워져 상부플레이트(300)가 안정적으로 직선운동할 수 있도록 안내하게 된다.
뿐만 아니라, 이러한 구조는 도시된 실시예로 한정된 것이 아니라, 다양한 형상과 형태로 변형될 수 있음은 물론이다.
한편, 상기 상부플레이트(300)의 하면에는 상기 안내구멍(240)에 끼워진 후 그 길이방향을 따라 직선왕복가능한 한 쌍의 돌출바(310)가 고정된다.
그리고, 상기 통공(220)의 중심과 일치되는 지점의 상부플레이트(300) 상에는 노브조립공(320)이 형성되며, 상기 노브조립공(320) 주변에는 호형상의 핀활공(322)이 더 형성된다.
뿐만 아니라, 상기 상부플레이트(300)의 하면중 안내돌기(250)와 일치되는 지점에는 안내홈(330)이 일정깊이 요입 형성된다.
이때, 상기 안내홈(330)도 장공으로 형성되어야 상기 상부플레이트(300)가 직선왕복운동하는 것을 방해하지 않으면서 원활하게 안내하게 된다.
아울러, 상기 조절노브(400)는 다이얼 형태를 가지며, 상부노브(410)의 하단 일부가 하부노브(420)의 상면에 삽입된 상태로 배치되며, 중앙을 관통하여 작동구(430)가 조립된다.
여기에서, 상기 하부노브(420)의 하면에 편심되게 하부핀(432)이 돌출되며, 상기 하부핀(432)은 상기 핀활공(322)을 관통한 다음 하부핀홀(222)에 끼워져 걸림된다.
이 구조는 도 6 및 도 7에 잘 도시되어 있다.
또한, 상기 작동구(430)의 상단은 상기 하부노브(420)의 중심을 관통한 후 상부노브(410)의 내부에 고정되어 일체를 이루고, 하단에는 타원형 캠(434)이 형성되며, 상기 타원형 캠(434)에는 편심되게 베이스핀(432)이 수직하게 하부로 돌출된다.
그리고, 상기 타원형 캠(434)은 상기 통공(220)을 관통한 후 통공(220) 내부에 배치되며, 상기 베이스핀(432)은 베이스핀홀(120)에 끼워진다.
아울러, 이 구조는 도 8 및 도 9에 잘 도시되어 있다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명은 다음과 같은 작동관계를 갖는다.
먼저, 하부노브(420)를 회전시킨다.
그러면, 하부핀(432)은 핀활공(322)이 호형상이기 때문에 상부플레이트(300)의 움직임에 영향을 미치지 않고 회전될 수 있다.
그런데, 하부핀(432)의 하단은 하부핀홀(222)에 고정되어 있고, 하부플레이트(200)는 슬라이더(210)가 슬라이드홀(110)에 끼워져 있기 때문에 그와 직교되는 방향으로 힘을 가하는 하부노브(420)의 회전운동에 대해 고정상태를 유지하게 된다.
결국, 움직일 수 있는 것은 상부플레이트(300) 뿐이기 때문에 안내홈(330)의 범위내에서 축 역할을 하는 작동구(430)를 중심으로 하여 회전하면서 상부플레이트(300)를 움직이게 될 뿐만 아니라 안내돌기(250) 가 안내홈(330)폭 내에서 직선왕복운동할 수 있게 한다.
이때, 돌출바(310)가 안내구멍(240)에 끼우져 있기 때문에 직선운동을 하게 된다.
아울러, 상부노브(410)를 회전시키면, 베이스플레이트(100)는 고정되어 있고, 베이스핀(432)은 베이스핀홀(120)에 끼워져 있기 때문에 활주공(230) 내에서 유동성을 가지고 있는 하부플레이트(200)가 슬라이드홀(110)을 따라 직선운동하게 된다.
이 경우, 상기 상부플레이트(300)는 하부플레이트(200)를 따라 함께 움직이게 된다.
이와 같이, 조절노브(400) 하나만을 간편 조작하는 것만으로 장비를 X축 방향, Y축 방향으로 이동시킬 수 있어 매우 효율적이고 편리성이 증대되며 제조에 따른 비용을 절감하고, 간섭유발도 해소하는 장점이 있다.
이에 더하여, 본 발명은 앞서 마찰저감수단을 예시하였지만, 좀 더 구체적으로 돌출바(310)와 안내구멍(240)의 상대마찰면, 슬라이더(210)와 슬라이드홈(110)의 상대마찰면에 슬라이딩 코팅층을 더 형성할 수 있다.
이 경우, 상기 슬라이딩 코팅층은 내구성과 투명성이 우수한 폴리카보네이트수지 100중량부에 대해, 보로수소화나트륨 15중량부, 루틴 5중량부, 질화붕소 2.5중량부, 담마검 5중량부가 첨가 혼합된 코팅액을 도포하여 형성된다.
이때, 보로수소화나트륨는 마찰을 감소시켜 플레이트간 슬립성을 증대시키고, 루틴(Rutin)은 코팅층의 계면 분리를 억제하며, 질화붕소는 코팅층의 방열성을 유지하여 내열성을 강화시키기 위해 첨가된다.
또한, 담마검(gum dammar)은 소나무에서 얻어지는 수지로서 선팽창을 억제하고, 윤활성을 부여하여 코팅면에서의 활주성을 향상시킨다.
본 발명에 따른 또 다른 실시예로서 원추형 나사로 고정하는 베셀홀더가 조립된 형태의 스테이지 조립체에서도 벤트 구조를 가질 수 있다.
본 실시예에 따른 원추형 나사로 고정하는 베셀홀더는 도10의 예시와 같이, 스테이지(ST)와, 상기 스테이지(ST)에 결합되는 베셀 홀더(500)를 포함한다.
이때, 상기 스테이지(ST)에는 상기 베셀 홀더(500)가 안착될 수 있도록 홀더안착홈(S110)이 형성된다.
특히, 상기 홀더안착홈(S110)의 일측은 기준측면(S120)이 된다.
여기에서, 기준측면(S120)은 베셀 홀더(500)가 고정되는 기준점이 되는 지점이다.
아울러, 상기 기준측면(S120)에는 내측으로 요입된 '∠' 형상의 쐐기삽입홈(S130)이 형성된다.
그리고, 상기 베셀 홀더(500)는 세포 관찰을 위한 다양한 형태의 플라스틱 웨어(Plastic ware)를 스테이지(ST) 상면에 밀착시켜 주는 수단이다.
이를 위해, 상기 베셀 홀더(500)에는 베셀안착부(520)가 마련된다.
이 경우, 상기 베셀안착부(520)는 플라스틱 웨어의 형상에 따라 다양한 형태를 가질 수 있다.
또한, 상기 베셀 홀더(500)의 일측 상면에는 상기 베셀안착부(520)에 안착된 플라스틱 웨어가 움직이지 않도록 고정하는 누름대(560)가 구비된다.
상기 누름대(560)는 상기 베셀 홀더(500)의 상면에 축고정되어 일정각도 범위 내에서 선회될 수 있도록 구성되며, 플라스틱 웨어가 베셀안착부(520)에 안착되었을 때 제껴져 그 측면을 누르도록 회전이동된다.
뿐만 아니라, 상기 누름대(560)와 간격을 두고 나사구멍(570)이 형성되고, 상기 나사구멍(570)이 형성된 쪽 단부와 반대되는 단부의 단면에는 상기 쐐기삽입홈(S130)에 삽입되는 돌출형 쐐기(580)가 형성되어 이루어진다.
또한, 도 11 및 도 12의 예시와 같이, 스테이지(ST)에 베셀홀더(500)가 조립된 형태의 스테이지 조립체에서도 본 발명에 따른 결로 방지를 위한 벤트 구조를 가질 수 있다.
예컨대, 도시된 바에 따르면 베셀홀더(500)의 폭방향 양측에는 길이방향으로 간격을 두고 다수의 관류홀(510)이 상하로 관통 형성되고, 이는 베셀안착부(520)와 베셀홀더(500)의 상면 사이의 공간과 연통되어 유로를 통해 흘러온 공기가 베셀홀더(500)에 장착된 베셀(540)의 사면을 감싸고 흘러갈 수 있도록 하여 주변 공기의 온도와 비슷하게 유지해 줌으로써 베셀(540)의 부위별 온도차이를 최소화할 수 있어 결로 발생을 방지하게 된다.
이 경우, 상기 관류홀(510)과 직교되는 베셀홀더(500)의 폭방향 양단면에도 공기가 흐를 수 있는 유동홀(530)이 더 형성될 수 있으며, 이에 따라 공기의 흐름을 더욱 원활하게 할 수 있다.
이와 같이, 벤트 구조를 갖추는 것은 스테이지 조립체의 형상과 모양이 변경되더라도 기본적인 개념은 동일하게 유지된 상태로 다양하게 변형될 수 있음은 물론이다.
100: 베이스플레이트
200: 하부플레이트
300: 상부플레이트
400: 조절노브

Claims (9)

  1. 베이스플레이트와,
    상기 베이스플레이트의 상면에 조립되는 하부플레이트와,
    상기 하부플레이트의 상면에 조립되는 상부플레이트와,
    상기 상부플레이트의 상면에 요입형성되고 중앙홀과 통할 수 있도록 구비된 흡기유로와,
    상기 베이스플레이트의 하부인 장비 내부에 설치되어 흡기유로를 통해 외기를 내부로 흡입한 후 배출구를 통해 방출하는 흡기팬을 포함하되,
    상기 흡기유로는 십자형, 수평직선형, 수직선형, 곡선형, 코일형중 어느 하나 혹은 둘 이상의 조합으로 된 형태를 갖고; 단면을 기준으로 ∪형, ∨형 또는 반원형의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부플레이트의 일측에 배치되고 하부플레이트 및 베이스플레이트를 관통하는 형태로 조립 설치되는 조절노브를 포함하되,
    상기 조절노브는 상기 상부플레이트를 직선이동시키는 하부노브와, 상기 상부플레이트와 상기 하부플레이트를 동시에 상부플레이트의 직선이동방향과 직교되는 방향으로 이동시키는 상부노브로 구성된 것을 특징으로 하는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서,
    상기 베이스플레이트의 폭방향으로 양측에는 한 쌍의 슬라이드홀이 형성되고, 상기 조절노브가 설치되는 지점과 일치되는 베이스플레이트 상에는 폭방향으로 장공형태를 갖는 베이스핀홀이 형성되며;
    상기 하부플레이트의 하면에는 상기 슬라이드홀에 끼워져 움직일 수 있는 슬라이더가 구비되고, 상기 베이스핀홀과 대응되는 위치에는 베이스핀홀 보다 큰 통공 및 통공의 일측에서 수직연장된 하부핀홀이 형성되며, 상기 슬라이더와 직교되게 한 쌍의 안내구멍이 형성되고;
    상기 상부플레이트의 하면에는 상기 안내구멍에 끼워져 움직일 수 있는 돌출바가 구비되고, 상기 통공의 중심과 일치되는 지점에는 노브조립공 및 노브조립공과 간격을 두고 호형상의 핀활공이 형성되며;
    상기 하부노브의 중심을 관통하여 상부노브에 일체로 고정되는 작동구를 포함하되 상기 하부노브의 하면에는 상기 핀활공을 관통한 후 하부핀홀에 고정되는 하부핀이 구비되며, 상기 작동구의 하단에는 상기 통공을 관통한 후 베이스핀홀에 고정되는 베이스핀이 편심된 채 구비된 것을 특징으로 하는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 작동구의 하단에는 베이스핀이 편심 고정된 것을 특징으로 하는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 베이스플레이트에는 고정공이 형성되고, 상기 하부플레이트의 고정공 대응위치에는 하부플레이트의 길이방향으로 장공형태를 갖는 활주공이 형성되며, 상기 고정공과 활주공에는 고정구가 결속된 것을 특징으로 하는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 하부플레이트의 상면에는 안내돌기가 돌출되고, 상기 상부플레이트의 안내돌기 대응위치인 하면에는 상부플레이트의 폭방향으로 장홈형태를 갖는 안내홈이 요입 형성된 것을 특징으로 하는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체.
  8. 홀더안착홈을 갖는 스테이지와,
    상기 홀더안착홈에는 베셀 홀더가 안착되며,
    상기 홀더안착홈의 일측면은 기준측면이 되고, 상기 기준측면에는 쐐기삽입홈이 형성되며, 상기 기준측면 반대측 홀더안착홈 상에는 나사홀이 형성되고;
    상기 베셀 홀더의 일단에는 상기 쐐기삽입홈에 삽입되는 돌출형 쐐기가 형성되고, 상기 돌출형 쐐기 반대측 베셀 홀더 상에는 나사구멍이 형성되며;
    상기 나사구멍과 상기 나사홀에는 고정나사가 체결되며,
    상기 베셀 홀더의 폭방향 양측에는 길이 방향으로 간격을 두고 다수의 관류홀이 상하로 관통 형성되어 이루어지는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 관류홀(510)과 직교되는 베셀홀더(500)의 폭방향 양단면에도 공기가 흐를 수 있는 유동홀(530)이 더 형성되어 이루어지는 결로 방지를 위한 벤트 구조가 있는 스테이지 조립체.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0162318B1 (ko) 1994-12-22 1998-12-01 구자홍 스카치 요크식 동력전달장치
KR20020071733A (ko) * 2001-02-27 2002-09-13 캐논 가부시끼가이샤 스테이지장치, 노광장치 및 디바이스제조방법과이동안내방법
JP2007247704A (ja) * 2006-03-14 2007-09-27 Nikon Corp 流体軸受、流体ベアリング及びステージ装置並びに露光装置
KR101234604B1 (ko) 2011-09-28 2013-02-19 한국기초과학지원연구원 생체시료의 전자현미분석 관찰을 위한 크라이오 스테이지

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3869938B2 (ja) * 1998-06-05 2007-01-17 キヤノン株式会社 ステージ装置、露光装置、およびデバイス製造方法
JP2006174828A (ja) * 2004-11-29 2006-07-06 Olympus Corp 生体試料培養観察システム、インキュベータボックス、供給手段、および培養容器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0162318B1 (ko) 1994-12-22 1998-12-01 구자홍 스카치 요크식 동력전달장치
KR20020071733A (ko) * 2001-02-27 2002-09-13 캐논 가부시끼가이샤 스테이지장치, 노광장치 및 디바이스제조방법과이동안내방법
JP2007247704A (ja) * 2006-03-14 2007-09-27 Nikon Corp 流体軸受、流体ベアリング及びステージ装置並びに露光装置
KR101234604B1 (ko) 2011-09-28 2013-02-19 한국기초과학지원연구원 생체시료의 전자현미분석 관찰을 위한 크라이오 스테이지

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
유튜브, [online], 2021. 09. 09., [2022. 05. 03. 검색], 인터넷: <URL: https://www.youtube.com/watch?v=sesG6wNSkFs >* *

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