KR102508500B1 - OHT grip unit with wafer guard - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개방된 일측을 통해 웨이퍼가 수납되는 카세트를 이송하는 OHT 그립 유닛으로서, 상기 OHT 그립 유닛은 상부 프레임과, 상기 상부 프레임의 양측에 결합되어 상기 카세트를 파지하는 그립퍼를 포함하고, 상기 카세트는 상기 개방된 일측이 상기 OHT 그립 유닛의 정면을 향한 상태로 상기 그립퍼에 의해 파지됨으로써, 파지된 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼는 수평한 상태로 배치되며, 상기 OHT 그립 유닛은 상기 상부 프레임에 결합되고, 상기 카세트의 상기 개방된 일측의 전방에 위치한 상태에서 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼의 측면에 접하도록 구비되는 웨이퍼 가드를 더 포함한다. 이러한 본 발명은 오픈형 캐리어인 카세트에 수납된 웨이퍼를 정렬시켜 이송시 웨이퍼의 진동을 방지하고, 웨이퍼의 이탈을 방지하는 효과가 있다.The present invention is an OHT grip unit that transfers a cassette in which wafers are accommodated through an open side, wherein the OHT grip unit includes an upper frame and grippers coupled to both sides of the upper frame to grip the cassette, and the cassette is gripped by the gripper with one open side facing the front of the OHT grip unit, so that the wafer stored in the gripped cassette is placed in a horizontal state, and the OHT grip unit is coupled to the upper frame. And, in a state located in front of the opened one side of the cassette, it further includes a wafer guard provided to contact the side of the wafer accommodated in the cassette. The present invention has an effect of aligning wafers stored in a cassette, which is an open carrier, to prevent vibration of the wafer during transfer and to prevent separation of the wafer.

Description

웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛{OHT grip unit with wafer guard}OHT grip unit with wafer guard {OHT grip unit with wafer guard}

본 발명은 웨이퍼 가드를 구비한 OHT(Overhead Hoist Transport) 그립 유닛에 관한 것이다. 더욱 상세하게 본 발명은 개방된 형태를 갖는 웨이퍼 캐리어에 수납된 웨이퍼들을 정렬하고, 웨이퍼 캐리어의 이송과정에서 웨이퍼가 임의로 이탈되는 것을 방지하는 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to an Overhead Hoist Transport (OHT) grip unit with a wafer guard. More specifically, the present invention relates to an OHT grip unit having a wafer guard for aligning wafers stored in a wafer carrier having an open shape and preventing the wafers from being arbitrarily separated during the transport of the wafer carrier.

반도체 제조 설비에 있어서 스토커에 저장된 반도체 웨이퍼들은 통상적으로 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod), 포스비(FOSB: Front Opening Shipping Box), 스토리지 박스(Storage Box) 등과 같은 폐쇄형 캐리어나 오픈형 카세트와 같은 개방형 캐리어에 적재되고, 이와 같은 캐리어들은 천장 하부에 매달린 트랙을 따라 주행하는 오버헤드 호이스트 수송 차량(OHT: Overhead Hoist Transport)에 의해 수송된다.Semiconductor wafers stored in a stocker in a semiconductor manufacturing facility are typically closed carriers such as FOUP (Front Opening Unified Pod), FOSB (FOSB: Front Opening Shipping Box), Storage Box, etc., or open carriers such as open cassettes. Loaded into carriers, these carriers are transported by overhead hoist transports (OHTs) that run along tracks suspended from the ceiling.

상기의 캐리어들 중 폐쇄형 캐리어들은 외부의 충격이나 진동으로부터 내부에 적재된 웨어퍼 등의 제품을 효과적으로 보호할 수 있는 장점이 있으나, 내부를 밀폐하는 커버를 탈거 및 부착하는 공정을 필요로하기 때문에 이러한 공정을 수행하기 위한 별도의 설비를 필요로 한다는 점에서 전반적인 시스템의 설치 및 운용비용이 높다는 단점이 있다.Among the above carriers, closed carriers have the advantage of effectively protecting products such as wafers loaded inside from external shocks or vibrations, but require a process of removing and attaching a cover sealing the inside. There is a disadvantage in that the installation and operating costs of the overall system are high in that a separate facility is required for performing this process.

한편, 카세트와 같은 오픈형 캐리어는 별도의 커버를 구비하는 것이 아니라는 점에서 상기한 폐쇄형 캐리어의 단점을 극복할 수 있다는 장점이 있으나, OHT와 같은 자동화 장비를 이용하여 이송하는 경우 진동으로 인한 파손 또는 OHT 주행 중 웨이퍼가 카세트로부터 임의로 이탈하게 되는 문제가 발생할 우려가 있다.On the other hand, open carriers such as cassettes have the advantage of overcoming the disadvantages of the closed carriers in that they do not have a separate cover, but when transported using automated equipment such as OHT, damage due to vibration or There is a concern that a problem in which the wafer is arbitrarily separated from the cassette during OHT movement may occur.

따라서, 카세트와 같은 오픈형 캐리어를 이용하여 웨이퍼를 이송할 경우 웨이퍼에 가해지는 진동으로 인한 손상 및 웨이퍼의 이탈을 방지할 수 있는 장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.Therefore, there is a need to develop a device capable of preventing damage due to vibration applied to the wafer and separation of the wafer when the wafer is transferred using an open carrier such as a cassette.

한국등록특허 제10-1820794호(2018.01.16.)Korean Patent Registration No. 10-1820794 (2018.01.16.)

상기한 문제를 해결하기 위해 본 발명은 카세트의 개방된 입구측에 위치하여 오픈형 캐리어인 카세트에 수납된 웨이퍼를 정렬시키고, 웨이퍼의 이탈을 방지하는 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an OHT grip unit equipped with a wafer guard located at the open inlet side of the cassette to align the wafers stored in the cassette, which is an open carrier, and to prevent the separation of the wafers. to be

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 개방된 일측을 통해 웨이퍼가 수납되는 카세트를 이송하는 OHT 그립 유닛으로서, 상기 OHT 그립 유닛은 상부 프레임과, 상기 상부 프레임의 양측에 결합되어 상기 카세트를 파지하는 그립퍼를 포함하고, 상기 카세트는 상기 개방된 일측이 상기 OHT 그립 유닛의 정면을 향한 상태로 상기 그립퍼에 의해 파지됨으로써, 파지된 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼는 수평한 상태로 배치되며, 상기 OHT 그립 유닛은 상기 상부 프레임에 결합되고, 상기 카세트의 상기 개방된 일측의 전방에 위치한 상태에서 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼의 측면에 접하도록 구비되는 웨이퍼 가드를 더 포함하는 OHT 그립 유닛을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is an OHT grip unit for transporting a cassette in which wafers are accommodated through an open side, wherein the OHT grip unit is coupled to an upper frame and both sides of the upper frame to grip the cassette The cassette includes a gripper, and the cassette is gripped by the gripper with one open side facing the front of the OHT grip unit, so that the wafers accommodated in the gripped cassette are disposed in a horizontal state, and the OHT grip unit includes a gripper. The unit provides an OHT grip unit that is coupled to the upper frame and further includes a wafer guard provided to come into contact with a side surface of the wafer accommodated in the cassette in a state located in front of the open side of the cassette.

이때, 상기 웨이퍼 가드는 상기 상부 프레임에 결합되는 몸체부; 상기 몸체부에 회동 가능하도록 결합되고, 상기 OHT 그립 유닛의 내측을 향해 회동된 폐쇄위치와, 상기 OHT 그립 유닛의 외측을 향해 회동된 오픈위치 사이에서 이동하는 회동암; 상기 회동암을 회동시키는 구동부; 및 상기 회동암에 결합되고, 상기 폐쇄위치에서 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼의 측면에 접하는 로드를 구비하는 것을 특징으로 한다.At this time, the wafer guard body portion coupled to the upper frame; a pivoting arm rotatably coupled to the body and moving between a closed position rotated toward the inside of the OHT grip unit and an open position rotated toward the outside of the OHT grip unit; a driving unit for rotating the pivoting arm; and a rod coupled to the pivot arm and contacting a side surface of the wafer accommodated in the cassette in the closed position.

또한, 상기 웨이퍼 가드는 상기 회동암의 상기 오픈위치로의 이동 여부를 감지하는 제1 센서와, 상기 회동암의 상기 폐쇄위치로의 이동 여부를 감지하는 제2 센서를 더 구비할 수 있다.In addition, the wafer guard may further include a first sensor for detecting whether or not the pivot arm moves to the open position, and a second sensor for detecting whether or not the pivot arm moves to the closed position.

또한, 상기 로드는 횡단면이 원형의 형태를 갖는 직선형의 봉 형상으로 형성될 수 있다.In addition, the rod may be formed in a straight rod shape having a circular cross section.

본 발명은 오픈형 캐리어인 카세트에 수납된 웨이퍼를 정렬시켜 이송시 웨이퍼의 진동을 방지하고, 웨이퍼의 이탈을 방지하는 효과가 있다.The present invention has an effect of aligning wafers stored in a cassette, which is an open carrier, to prevent vibration of the wafer during transfer and to prevent separation of the wafer.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛의 사시도로써, 웨이퍼 가드가 오픈된 상태를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛의 사시도로써, 웨이퍼 가드가 폐쇄된 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 도 1의 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛을 다른 방향에서 바라본 사시도이다.
도 4는 도 2의 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛을 다른 방향에서 바라본 사시도이다.
도 5는 오픈된 상태의 웨이퍼 가드의 사시도이다.
도 6은 폐쇄된 상태의 웨이퍼 가드의 사시도이다.
도 7은 도 5에 도시된 웨이퍼 가드의 평면도이다.
도 8은 도 6에 도시된 웨이퍼 가드의 평면도이다.1 is a perspective view of an OHT grip unit having a wafer guard according to a preferred embodiment of the present invention, showing a state in which the wafer guard is open.
2 is a perspective view of an OHT grip unit having a wafer guard according to a preferred embodiment of the present invention, showing a state in which the wafer guard is closed.
3 is a perspective view of the OHT grip unit provided with the wafer guard of FIG. 1 viewed from another direction.
4 is a perspective view of the OHT grip unit provided with the wafer guard of FIG. 2 viewed from another direction.
5 is a perspective view of the wafer guard in an open state.
6 is a perspective view of the wafer guard in a closed state.
FIG. 7 is a plan view of the wafer guard shown in FIG. 5 .
FIG. 8 is a plan view of the wafer guard shown in FIG. 6 .

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to components of each drawing, it should be noted that the same components have the same numerals as much as possible even if they are displayed on different drawings. In addition, if it is determined that the subject matter of the present invention may be obscured, the detailed description thereof will be omitted. In addition, although preferred embodiments of the present invention will be described below, the technical spirit of the present invention is not limited or limited thereto and can be practiced by those skilled in the art, of course.

도 1과 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛의 사시도로써, 도 1은 웨이퍼 가드가 오픈된 상태를 도시한 것이고, 도 2는 웨이퍼 가드가 폐쇄된 상태를 도시한 도면이다. 또한, 도 3은 도 1의 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛을 다른 방향에서 바라본 사시도이고, 도 4는 도 2의 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛을 다른 방향에서 바라본 사시도이다. 또한, 도 5는 오픈된 상태의 웨이퍼 가드의 사시도이고, 도 6은 폐쇄된 상태의 웨이퍼 가드의 사시도이며, 도 7은 도 5에 도시된 웨이퍼 가드의 평면도, 도 8은 도 6에 도시된 웨이퍼 가드의 평면도이다.1 and 2 are perspective views of an OHT grip unit equipped with a wafer guard according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 1 shows a state in which the wafer guard is open, and FIG. 2 shows a state in which the wafer guard is closed. It is an illustrated drawing. 3 is a perspective view of the OHT grip unit with the wafer guard of FIG. 1 viewed from another direction, and FIG. 4 is a perspective view of the OHT grip unit with the wafer guard of FIG. 2 viewed from another direction. In addition, Figure 5 is a perspective view of the wafer guard in an open state, Figure 6 is a perspective view of the wafer guard in a closed state, Figure 7 is a plan view of the wafer guard shown in Figure 5, Figure 8 is a wafer shown in Figure 6 This is a plan view of the guard.

이하, 도 1 내지 도 8을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 가드를 구비한 OHT 그립 유닛(10, 이하 'OHT 그립 유닛'이라 함)을 설명한다.Hereinafter, an OHT grip unit (10, hereinafter referred to as 'OHT grip unit') having a wafer guard according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 8 .

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 OHT 그립 유닛(10)은 개방된 일측을 통해 복수의 웨이퍼(W)가 수납되는 카세트(1)를 이송하는 것으로, 상부 프레임(12)과 상부 프레임(12)의 양측에 결합되어 카세트(1)를 파지하는 그립퍼(14) 및 웨이퍼 가드(100)를 포함한다.The OHT grip unit 10 according to a preferred embodiment of the present invention transfers a cassette 1 in which a plurality of wafers W are accommodated through one open side, and the upper frame 12 and the upper frame 12 It includes a gripper 14 coupled to both sides to hold the cassette 1 and a wafer guard 100.

도시하지는 않았으나, 그립퍼(14)는 상부 프레임(12)에 설치되는 별도의 구동장치에 의해 측방향으로 이동하도록 구비됨으로써, 카세트(1)를 파지 또는 분리한다.Although not shown, the gripper 14 is provided to move in the lateral direction by a separate driving device installed on the upper frame 12, thereby gripping or separating the cassette 1.

이때, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 카세트(1)는 웨이퍼(W)가 내부에 수납될 수 있도록 개방된 일측이 OHT 그립 유닛(10)의 정면을 향한 상태로 그립퍼(14)에 의해 파지되고, 이로 인해 파지된 카세트(1)에 수납된 웨이퍼(W)는 수평한 상태, 즉 바닥에 평행한 상태로 배치된다.At this time, as shown in FIGS. 1 to 4, the cassette 1 is held by the gripper 14 with one side open so that the wafer W can be accommodated therein facing the front of the OHT grip unit 10. The wafers W that are gripped and thus accommodated in the gripped cassette 1 are placed in a horizontal state, that is, in a state parallel to the floor.

웨이퍼 가드(100)는 상부 프레임(12)에 결합되고, 카세트(1)의 개방된 일측의 전방에 위치한 상태에서 카세트(1)에 수납된 웨이퍼(W)의 측면에 접하도록 구비됨으로써, OHT 그립 유닛(10)이 이동하는 과정에서 웨이퍼(W)가 흔들리는 것과 임의로 이탈하게 되는 것을 방지한다.The wafer guard 100 is coupled to the upper frame 12 and provided in contact with the side surface of the wafer W accommodated in the cassette 1 in a state located in front of the open side of the cassette 1, so that the OHT grip While the unit 10 is moving, the wafer W is prevented from being shaken and randomly separated.

구체적으로 웨이퍼 가드(100)는 상부 프레임(12)에 결합되는 몸체부(110)와, 몸체부(110)에 회동 가능하도록 결합되는 회동암(120), 회동암(120)의 일측으로부터 수직하방으로 연장되도록 회동암(120)에 결합되는 로드(122) 및 회동암(120)을 회동시키는 구동부(130)를 구비한다.Specifically, the wafer guard 100 includes a body portion 110 coupled to the upper frame 12, a pivoting arm 120 rotatably coupled to the body portion 110, and a vertical downward direction from one side of the pivoting arm 120. A rod 122 coupled to the pivoting arm 120 to extend to and a driving unit 130 for rotating the pivoting arm 120 are provided.

회동암(120)은 구동부(130)로부터 회전력을 전달받아 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이 OHT 그립 유닛(10)의 내측을 향해 회동된 폐쇄위치와, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 OHT 그립 유닛(10)의 외측을 향해 회동된 오픈위치 사이에서 이동하도록 구비된다.The pivoting arm 120 is rotated toward the inside of the OHT grip unit 10 as shown in FIGS. 2 and 4 by receiving rotational force from the drive unit 130, and as shown in FIGS. 1 and 3 Likewise, it is provided to move between the open positions rotated toward the outside of the OHT grip unit 10.

이러한 회동암(120)에 결합된 로드(122)는 폐쇄위치에서 카세트(1)에 수납된 웨이퍼(W)의 측면에 접하도록 구성된다. 바람직하게 로드(122)는 횡단면이 원형의 형태를 갖는 직선형의 봉 형상으로 형성된다. 그러나, 로드(122)의 형태는 폐쇄위치에서 복수의 웨이퍼(W) 측면에 접하여 웨이퍼(W)들이 흔들리지 않도록 고정시키고, 카세트(1)의 개방된 부분을 가로막아 웨이퍼(W)가 임의로 이탈되지 않도록 하는 것이 가능하다면 어떠한 형상으로 형성되어도 무방하다.The rod 122 coupled to the pivot arm 120 is configured to come into contact with the side surface of the wafer W stored in the cassette 1 in the closed position. Preferably, the rod 122 is formed in a straight bar shape having a circular cross section. However, the shape of the rod 122 contacts the sides of the plurality of wafers W in the closed position to fix the wafers W so that they do not shake, and blocks the open portion of the cassette 1 so that the wafers W do not arbitrarily escape. If it is possible, it may be formed in any shape.

또한, 웨이퍼 가드(100)는 회동암(120)이 오픈위치로 이동하였는지 여부를 감지하는 제1 센서(140)와, 폐쇄위치로 이동하였는지 여부를 감지하는 제2 센서(150)를 구비한다.In addition, the wafer guard 100 includes a first sensor 140 that detects whether the pivot arm 120 has moved to the open position and a second sensor 150 that detects whether or not it has moved to the closed position.

상기와 같은 본 발명의 OHT 그립 유닛(10)의 작동과정을 설명하면, 먼저 회동암(120)이 오픈위치로 회동된 상태에서 웨이퍼(W)들이 수납된 카세트(1)가 OHT 그립 유닛(10)의 내부로 위치하게 된다. 이 상태에서 카세트(1)가 그립퍼(14)에 의해 파지되면, 별도의 제어부(미도시)에 의해 구동부(130)가 작동하여 회동암(120)이 폐쇄위치로 회동됨으로써 로드(122)가 카세트(1)의 개방된 전방부분을 가로지르게 된다. 이때, 로드(122)는 카세트(1)에 수납된 웨이퍼(W)들의 측면에 접하여 웨이퍼(W)들을 정렬 및 고정시키고 웨이퍼(W)들이 카세트(1)로부터 임의로 이탈되는 것이 방지된다.Referring to the operation process of the OHT grip unit 10 of the present invention as described above, first, in a state in which the pivot arm 120 is rotated to the open position, the cassette 1 in which the wafers W are stored is moved to the OHT grip unit 10 ) is located inside the In this state, when the cassette 1 is gripped by the gripper 14, the driving unit 130 is operated by a separate control unit (not shown) to rotate the pivot arm 120 to the closed position, thereby moving the rod 122 to the cassette. It crosses the open front part of (1). At this time, the rod 122 comes into contact with the sides of the wafers W stored in the cassette 1 to align and fix the wafers W, and prevents the wafers W from being arbitrarily separated from the cassette 1 .

반대로 카세트(1)가 OHT 그립 유닛(10)으로부터 분리될 때는 구동부(130)에 의해 회동암(120)이 오픈위치로 회동함으로써 카세트(1)의 전방을 가로지르던 로드(122)는 카세트(1)와의 간섭을 일으키지 않도록 이동하게 되고, 이후 그립퍼(14)에 의한 파지상태가 해제되어 카세트(1)가 OHT 그립 유닛(10)으로부터 분리된다.Conversely, when the cassette 1 is separated from the OHT grip unit 10, the pivot arm 120 is rotated to the open position by the drive unit 130, so that the rod 122 crossing the front of the cassette 1 moves the cassette 1 ), and then the gripping state by the gripper 14 is released, and the cassette 1 is separated from the OHT grip unit 10.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 OHT 그립 유닛(10)은 오픈형 캐리어인 카세트(10)에 수납된 웨이퍼(W)를 정렬 및 고정시켜 카세트(10) 이송시 웨이퍼(W)의 진동 및 이탈을 방지할 수 있다는 점에서 매우 유용한 것이다.As described above, the OHT grip unit 10 according to a preferred embodiment of the present invention aligns and fixes the wafer W stored in the cassette 10, which is an open carrier, so that the wafer W vibrates when the cassette 10 is transferred. And it is very useful in that it can prevent departure.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구 범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely an example of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art can make various modifications, changes, and substitutions without departing from the essential characteristics of the present invention. will be. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments and the accompanying drawings. The protection scope of the present invention should be construed by the claims, and all technical ideas within the equivalent range should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

1: 카세트 W: 웨이퍼
10: OHT 그립 유닛 12: 상부 프레임
14: 그립퍼
100: 웨이퍼 가드 110: 몸체부
120: 회동암 122: 로드
130: 구동부 140: 제1 센서
150: 제2 센서1: Cassette W: Wafer
10: OHT grip unit 12: upper frame
14: gripper
100: wafer guard 110: body
120: pivoting arm 122: rod
130: driving unit 140: first sensor
150: second sensor

Claims (4)

개방된 일측을 통해 웨이퍼가 수납되는 원형의 카세트를 이송하는 OHT 그립 유닛으로서,
상기 OHT 그립 유닛은 상부 프레임과, 상기 상부 프레임의 양측에 결합되어 상기 카세트를 파지하는 그립퍼를 포함하고,
상기 카세트는 상기 개방된 일측이 상기 OHT 그립 유닛의 정면을 향한 상태로 상기 그립퍼에 의해 파지됨으로써, 파지된 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼는 수평한 상태로 배치되며,
상기 OHT 그립 유닛은
상기 상부 프레임에 결합되고, 상기 카세트의 상기 개방된 일측의 전방에 위치한 상태에서 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼의 측면에 접하도록 구비되는 단일의 웨이퍼 가드를 더 포함하고,
상기 웨이퍼 가드는
상기 상부 프레임에 결합되는 몸체부;
상기 몸체부에 회동 가능하도록 결합되고, 상기 OHT 그립 유닛의 내측을 향해 회동된 폐쇄위치와, 상기 OHT 그립 유닛의 외측을 향해 회동된 오픈위치 사이에서 이동하는 회동암;
상기 회동암에 직접적으로 회전력을 전달하도록 상기 회동암의 일측에 연결되어 상기 회동암을 회동시키는 구동부;
상기 회동암에 결합되고, 상기 폐쇄위치에서 상기 카세트에 수납된 상기 웨이퍼의 측면에 접하는 로드;
상기 회동암의 상기 오픈위치로의 회전 여부를 감지하는 제1 센서; 및
상기 회동암의 상기 폐쇄위치로의 회전 여부를 감지하는 제2 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 OHT 그립 유닛.As an OHT grip unit that transfers a circular cassette in which wafers are accommodated through one open side,
The OHT grip unit includes an upper frame and grippers coupled to both sides of the upper frame to grip the cassette,
The cassette is gripped by the gripper with one open side facing the front of the OHT grip unit, so that the wafers stored in the gripped cassette are placed in a horizontal state,
The OHT grip unit
Further comprising a single wafer guard coupled to the upper frame and provided in contact with a side surface of the wafer accommodated in the cassette in a state located in front of the open side of the cassette,
The wafer guard
a body portion coupled to the upper frame;
a pivoting arm rotatably coupled to the body and moving between a closed position rotated toward the inside of the OHT grip unit and an open position rotated toward the outside of the OHT grip unit;
a driving unit connected to one side of the pivoting arm to rotate the pivoting arm so as to directly transmit rotational force to the pivoting arm;
a rod coupled to the pivoting arm and contacting a side surface of the wafer accommodated in the cassette in the closed position;
a first sensor for detecting whether the rotation arm is rotated to the open position; and
OHT grip unit characterized in that it is provided with a second sensor for detecting whether or not the rotation arm is rotated to the closed position. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 로드는 횡단면이 원형의 형태를 갖는 직선형의 봉 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 OHT 그립 유닛.
According to claim 1,
The OHT grip unit, characterized in that the rod is formed in the shape of a straight rod having a circular cross section.
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