KR102504067B1

KR102504067B1 - 박막형 코일 부품

Info

Publication number: KR102504067B1
Application number: KR1020170167531A
Authority: KR
Inventors: 차일호
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2017-12-07
Filing date: 2017-12-07
Publication date: 2023-02-27
Also published as: CN109903945A; CN109903945B; US10840006B2; US20190180912A1; KR20190067513A

Abstract

본 개시는 적어도 제1 및 제2 코일을 포함하는 박막형 코일 부품에 관한 것이다. 상기 박막형 코일 부품은 상기 제1 및 제2 코일을 형성할 때 제조 공정 중 사용된 지지 부재를 제거함으로써, 최종 제품에서는 제1 및 제2 코일, 및 이를 연결하는 연결부만이 자성 물질에 의해 봉합되도록 하는 구조를 갖는다.

Description

박막형 코일 부품 {THIN TYPE COIL COMPONENT}

본 개시는 박막형 코일 부품에 관한 것이며, 구체적으로, 박막형 파워 코일 부품에 관한 것이다.

배터리로 동작되는 모바일 기기의 DC-DC Converter 는 하나의 칩으로 집적된 PMIC 를 통해 내부 회로에서 필요한 전압으로 변환하여 사용하게 되는데 이때 수동 부품인 커패시터와 코일 부품이 필요하다. 최근, 모바일 기기의 기능 다양화로 소비전력이 증가하면서 모바일 기기 내 배터리 사용시간을 늘리기 위해 PMIC 주변에 손실이 적고 효율이 우수한 수동부품이 채용되며, 이중 효율이 우수하여 제품 사이즈를 줄이고 배터리 용량을 늘릴 수 있는 소형, Low Profile 의 파워 코일 부품이 선호되는 추세이다.

일본 특허공개공보 제1999-204337호

본 개시가 해결하고자 하는 여러 과제 중 하나는 종래의 박막형 파워 코일 부품의 구조를 변경함으로써 코일의 종횡비 (AR, Aspect Ratio) 를 증가시키면서도 총 두께를 저감시켜 Low-Profile의 칩 구현이 가능한 박막형 코일 부품을 제공하는 것이다.

본 개시의 일 예에 따른 박막형 코일 부품은 제1 축방향을 갖고 제1 시드층과 상기 제1 시드층 상에 형성된 제1 코일층을 포함하는 제1 코일; 상기 제1 코일과 연결되며, 상기 제1 축방향에 평행한 제2 축방향을 갖고, 제2 시드층과 상기 제2 시드층 상에 형성된 제2 도금층을 포함하는 제2 코일; 상기 제1 코일과 상기 제2 코일을 서로 연결하며, 상기 제1 및 제2 축방향과 수직인 방향으로 배치되는 연결부; 및 상기 제1 및 제2 코일과 상기 연결부를 봉합하는 봉합재; 을 포함하는 바디와, 상기 바디의 외부면에 배치되어 상기 제1 및 제2 코일과 각각 연결되는 제1 및 제2 외부전극을 포함한다.

본 개시의 여러 효과 중 하나는 종래 박막형 코일 부품의 경우, 지지 부재로서 기판을 포함하기 때문에 Low-Profile 의 박막형 코일 부품을 구현하는데 어려움이 있었는바, 박막형 코일 부품의 구조를 변경함으로서 고 종횡비를 가지면서도 총 두께를 저감할 수 있는 박막형 코일 부품을 제공하는 것이다.

도1 은 본 개시의 일 예에 따른 박막형 코일 부품에 관한 개략적인 사시도이다.
도2 는 도1 의 A 방향에서 바라본 개략적인 평면도이다.
도3 은 도1 의 I-I' 선을 따라 절단한 개략적인 단면도이다.
도4 는 도1 의 박막형 코일 부품의 변형에 따른 박막형 코일 부품의 개략적인 사시도이다.

이하, 구체적인 실시형태 및 첨부된 도면을 참조하여 본 개시의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 개시의 실시형태는 여러가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 개시의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 개시의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 개시를 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.

그리고 도면에서 본 개시를 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

이하에서는 본 개시의 일 예에 따른 코일 부품을 설명하되, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.

도1 은 본 개시의 일 예에 따른 코일 부품의 개략적인 사시도이고, 도2 는 도1 의 박막형 코일 부품을 상면에서 바라본 개략적인 평면도이다.

도1 및 도2 를 참조하면, 본 개시의 일 예에 따른 개략적인 박막형 코일 부품(100)는 바디 (1) 와 상기 바디의 외부면 상에 배치되는 제1 및 제2 외부전극 (21, 22)을 포함한다.

상기 바디 (1) 는 박막형 코일 부품의 전체적인 외관을 이루는데, 두께(T) 방향으로 서로 마주하는 상면 및 하면, 길이(L) 방향으로 서로 마주하는 제1 단면 및 제2 단면, 폭(W) 방향으로 서로 마주하는 제1 측면 및 제2 측면을 포함하여 실질적으로 육면체 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.

상기 바디 (1) 의 내부는 자성 물질 (11) 로 충진되어 있는데, 실질적으로 상기 자성 물질이 바디의 외관을 결정한다. 상기 자성 물질은 자성 특성을 갖는 물질로 구성되는데, 예를 들어, 페라이트 또는 금속계 연자성 재료가 충진되어 형성될 수 있다. 상기 페라이트로 Mn-Zn계 페라이트, Ni-Zn계 페라이트, Ni-Zn-Cu계 페라이트, Mn-Mg계 페라이트, Ba계 페라이트 또는 Li계 페라이트 등의 공지된 페라이트를 포함할 수 있다. 상기 금속계 연자성 재료로는, Fe, Si, Cr, Al, 및 Ni 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 합금일 수 있고, 예를 들어, Fe-Si-B-Cr 계 비정질 금속 입자를 포함할 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 금속계 연자성 재료의 입경은 0.1 ㎛ 이상 20㎛ 이하일 수 있으며, 에폭시 수지 또는 폴리이미드 등의 고분자 상에 분산된 형태로 포함될 수 있다.

상기 자성 물질 (11) 은 제1 코일 (131) 및 제2 코일 (132), 및 상기 제1 및 제2 코일 (131, 132) 을 서로 연결하는 연결부 (12) 를 동시에 봉합하는 형태로 배치되어, 여기서, 상기 자성 물질 (11) 은 봉합재인 것으로 지칭할 수 있다.

상기 제1 및 제2 코일은 각각 제1 자성 코어 (131c) 와 제2 자성 코어 (132c) 를 포함하는데, 상기 제1 자성 코어와 상기 제2 자성 코어는 각각 방향이 서로 상이할 뿐 실질적으로 평행하도록 배열될 수 있다. 구체적으로 제1 및 제2 자성 코어는 바디의 길이 방향을 따라 연장되며, 특히, 상기 제1 자성 코어는 바디의 길이(L) 방향의 (+) 를 향하며, 상기 제2 자성 코어는 바디의 길이(L) 방향의 (-) 를 향하도록 연장된다. 이는 실제 제1 및 제2 코일이 제1 및 제2 외부전극을 통해 외부 전력 공급원과 연결된 경우에 대한 설명임은 당연하다.

또한, 상기 제1 및 제2 코일의 각각은 스파이럴 형상을 가지는데, 이에 한정되는 것은 아니다. 다만, 제1 및 제2 코일이 구현하는 스파이럴 형상은 종래 박막형 코일 부품이 구현하는 스파이럴 형상과 상이한데, 예를 들어, 전체적으로 원기둥 형상이 아니라, 사각 기둥 형상을 가지는 스파이럴 형상일 수 있다.

또한, 상기 제1 및 제2 코일을 서로 전기적으로 연결되도록 하는 연결부 (12) 는 상기 제1 및 제2 자성 코어와 수직하도록 배치되는데, 이는 통상적인 박막형 코일 부품의 경우, 복수의 코일을 연결하는 연결부 (비아) 가 각각의 코일의 자성 코어와 평행하도록 배치되는 것과 구별된다. 상기 연결부 (12) 는 별도의 지지 부재없이 양 단부가 각각 제1 코일 및 제2 코일과 연결되면서, 자성 물질 (11) 내에 매몰되도록 배치된다.

한편, 도3 은 도1 의 I-I' 선을 따라 절단한 개략적인 단면도인데, 도3 을 참조하여 제1 및 제2 코일에 대하여 자세히 설명한다. 다만, 제1 코일에 대한 설명은 제2 코일에 대한 설명에 그대로 적용될 수 있기 때문에, 설명의 편의를 위하여, 이하에서는 제2 코일에 대한 별도의 설명은 생략하도록 한다. 구체적으로, 제1 코일 (131) 의 제1 시드층 (1311) 과 제1 도금층 (1312) 에 대한 설명은 각각 제2 코일 (132) 의 제2 시드층 (1321) 과 제2 도금층 (1322) 에 대한 설명에 그대로 적용될 수 있다.

도3 을 참조하면, 제1 코일 (131) 은 제1 시드층 (1311) 과 상기 제1 시드층 위로 형성되는 제1 도금층 (1312) 을 포함한다. 상기 제1 시드층 및 상기 제1 도금층은 각각 상이한 재질로 구성될 수 있음은 물론이며, 예를 들어, 제1 시드층은 Ti, Ni 등의 스퍼터링 공정의 적용이 가능한 도전성 재질을 포함하면서도, 제1 도금층은 Cu 등의 통상적인 도금 공정의 적용이 가능한 도전성 재질을 포함하도록 할 수 있다. 상기 제1 시드층과 상기 제1 도금층이 서로 상이한 재질로 구성되는 경우는 물론이며, 서로 동일한 재질을 포함하는 경우에도 상기 제1 시드층과 상기 제1 도금층 간에는 소정의 경계면이 존재할 수 있다.

상기 제1 시드층 (1311) 은 전체적으로 제1 코일의 하면을 구성하는데, 상기 제1 코일은 상기 제1 시드층을 베이스로 하고, 그 위로 제1 도금층을 형성함으로써, 실질적으로 제1 도금층을 통해 코일의 전체적인 종횡비 (AR) 를 확보하는 것이다.

상기 제1 시드층을 형성하는 방식은 제한이 없으며, 예를 들어, 스퍼터링 방식, 전해도금, 무전해 도금 등 당업자가 공정 요건 및 제품 스펙에 따라 적절히 선택할 수 있다.

상기 제1 도금층 (1312) 은 실질적으로 코일의 전체 종횡비를 확보하도록 하는 것과 동시에 그 아래 배치되는 제1 시드층이 서로 연결되도록 구성된다. 상기 제1 도금층 (1312) 은 적어도 제1 층 (1312a) 과 제2 층 (1312b) 을 포함한다. 상기 제1 층의 단면은 실질적으로 직사각형의 형상을 가지며, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제1 층의 단면이 실질적으로 직사각형 형상을 가지도록 하는 방식에 제한은 없으나, 예를 들어, 제1 시드층 위로 복수의 절연 시트를 라미네이션한 후, 제1 층을 형성하기 위한 개구부를 가지도록, 상기 절연시트를 노광 및 현상한 후, 상기 개구부 내로 도금을 실시할 수 있다. 이 경우, 절연 시트는 도금시 도금층이 머쉬룸 형상이나 종(bell) 형상으로 변형되는 것을 방지하는 기능을 한다.

다음, 제1 도금층 (1312) 의 제2 층 (1312b) 은 상기 제1 층보다 상측에 배치되는데, 상기 제1 층의 단면이 직사각형 형상인 것과 다르게, 상기 제2 층의 단면은 예를 들어 "┏┐" 형상을 가질 수 있다. 이는, 상기 제2 층의 상면이 실질적으로 제1 코일의 상면의 형상을 결정하기 때문이다.

한편, 상기 제2 층을 형성하는 방식에 따라 상기 제1 층 및 상기 제2 층 사이는 추가로 제3 층 (1312c) 이 더 포함될 수 있다. 상기 제3 층은 실질적으로 요철구조를 가지는 얇은 도전막으로 구성된다. 상기 제3 층을 형성하는 방식에는 제한이 없으며, 실질적으로 균일한 두께를 갖는 얇은 박막으로 구성되면 충분하며, 예를 들어 화학도금을 활용할 수 있다. 상기 제3 층은 제1 층 및 제2 층과 별도의 공정을 통해 구성되기 때문에 제1 층과 제2 층과 별도의 층으로 구별이 가능하며, 전도성 물질이기만 하면 충분하기 때문에 상기 제3 층에 대한 재질 선택의 자유도가 높다. 상기 제3 층은 기능적으로 볼 때, 실질적으로 제2 층에 대한 시드 패턴으로서 기능하는데, 상기 제2 층이 상기 제3 층을 시드층으로 하여 도금되는 것이다.

도3 을 참조하면, 상기 제1 도금층의 상기 제1층들 사이의 공간 (P) 의 전체는 절연 물질 (14) 이 배치되는 것이 도시되어 있는데, 상기 절연 물질은 인접하는 제1 도금층 간의 절연의 신뢰성을 개선하는 기능을 하는 물질이면 충분하며, 예를 들어, ABF 등의 절연 필름을 상기 제1 층들 사이의 공간으로 라미네이트하여 형성할 수 있다. 한편, 구체적으로 도시하지는 않았으나, 상기 공간 (P) 의 적어도 일부에는 자성 물질이 충진될 수도 있는데, 상대적으로 상기 제1 층들 사이의 공간이 넓은 경우, 상기 제1 층의 표면을 코팅하는 절연층을 배치하여도 상기 제1 층 사이의 공간에 여유가 있는 경우, 투자율을 증가시키기 위하여 자성 물질을 추가로 충진할 수 있는 것이다.

또한, 상기 제1 코일의 상기 제2 층 중 바디의 길이(L) 방향 중 (+) 방향으로 가장 멀리 배치되는 부분은 연결부와 직접 연결되는데, 상기 연결부를 통해 상기 제1 코일이 제2 코일과 전기적으로 연결될 수 있다. 이 경우, 상기 연결부가 제2 코일과 직접 연결될 때 제2 코일의 제2 시드층에 직접 연결되는 것이 경제적이다.

상기 제1 코일에 대한 설명은 상기 제1 코일과 연결부를 통해 연결되는 제2 코일에도 적용될 수 있음은 물론이다.

참고적으로 제1 코일을 구현하는 일 제조방법을 설명하면, (a) 지지 부재를 준비하는 단계로서, 상기 지지 부재는 최종 제품에서는 제거되는 구성이므로, 레이져 등으로 제거가 용이한 재료를 선택하는 바람직하다. 그 두께는 적절히 선택할 수 있으며, 재질의 특성 및 요구되는 기계적 강도를 고려하여 선택할 수 있다. 한편, 상기 지지 부재는 종래의 PCB 기판을 사용할 수도 있겠으나, PCB 기판의 경우 완전하게 제거되지 못하는 경우 잔존하는 부분이 발생할 수 있다. 설령, PCB 기판의 일부분이 잔존하더라도 전기적 특성값에 영향을 끼치지 않는 정도일 경우, 잔존시켜도 무방하다. 다음, (b) 상기 지지 부재 상에 소정의 패턴을 갖는 제1 시드층을 배치하는데, 그 구체적인 방식에 제한이 없으며, 무전해 도금 혹은 전해 도금, 스퍼터링 공정 등이 모두 적용 가능하다. (c) 상기 제1 시드층 상에 제1 도금층을 형성하기 위한 절연 패턴을 형성하는데, 상기 절연 패턴은 복수의 절연 시트를 라미네이트 한 후, 소정의 패턴을 가지도록 노광 및 현상함으로써 형성될 수 있다. (d) 다음, 상기 절연 패턴의 개구부 내로 미리 마련된 제1 시드층을 베이스로 하여 제1 도금층 중 제1 층을 형성한다. 이 경우, 상기 제1 도금층을 형성하는 방식에 구체적인 제한은 없으며, 통상적인 전해 도금을 적용할 수 있다. (e) 상기 제1 도금층을 형성한 후, 상기 절연 패턴을 제거하는데, 상기 절연 패턴이 제거된 공간 내로 ABF 라미네이션을 진행하거나 자성물질을 충진하는 공정을 진행할 수 있다. (f) 상기 제1 층 및 상기 ABF 라미네이션 층 혹은 자성 물질이 충진된 층 상에 요철 구조를 갖는 제3 층의 화학동을 형성할 수 있다. 이는, 상기 제1 층 상에 제2 층을 형성하는 방식에 따라 선택적으로 생략할 수 있는 공정이다. (g)상기 제1 층 및 제3 층 상에 제2 층을 형성하는 공정인데, 추가적으로 절연 패턴을 배치한 후, 상기 절연 패턴의 개구부 내로 제2 층을 도금할 수 있다. 그 후, 상기 제1 코일이 배치된 지지 부재의 일 면에 대한 반대면에 제2 코일을 형성시킴으로써, 상기 지지 부재를 기준으로 제1 및 제2 코일이 서로 대향하도록 배치될 수 있다. 연이어, 상기 지지 부재를 제거하는 공정을 통해 상기 지지 부재를 제거한 후, 상기 지지 부재가 제거된 공간 내로 자성 물질 혹은 절연 물질을 충진할 수 있다.

상기의 설명을 제외하고 상술한 본 개시의 일 예에 따른 박막형 코일 부품의 특징과 중복되는 설명은 여기서 생략하도록 한다.

다음으로, 도4 는 도1 의 박막형 코일 부품의 변형에 따른 박막형 코일 부품의 개략적인 사시도이다.

도4 의 박막형 코일 부품 (200) 는 도1 내지 도3 에서 설명한 박막형 코일 부품 (100) 와 대비할 때, 제1 코일과 동일한 평면 상에 제3 코일 (133) 을 더 포함하고, 제2 코일과 동일한 평면 상에 제4 코일 (134) 을 더 포함한다. 또한, 상기 제3 및 제4 코일을 서로 연결하는 추가의 연결부 (14) 를 더 포함하고, 상기 제3 코일과 전기적으로 연결되는 제3 외부전극 (23) 및 상기 제4 코일과 전기적으로 연결되는 제4 외부전극 (24) 을 더 포함한다. 여기서, 상기 제3 코일이 제1 코일과 동일한 평면 상에 배치된다는 것은 제3 코일이 상기 제1 코일과 대비하여 두께(T) 방향 및 길이(L) 방향을 기준으로 동일한 위치에 배치되며, 폭(W) 방향으로 소정의 간격만큼 이격된 것을 의미하며, 상기 제4 코일과 제2 코일도 동일한 취지의 내용이 적용된다.

도4 에서 보는 것과 같이, 제3 코일은 제4 코일과 연결되며, 제1 코일은 제2 코일과 연결되는 반면, 제1 및 제2 코일과, 제3 및 제4 코일은 물리적으로 서로 이격되며, 그 이격되는 간격 등은 당업자가 필요에 따라 적절히 설정할 수 있다. 상기 제3 및 제4 코일을 서로 연결시키는 추가의 연결부는 제1 및 제2 코일을 서로 연결시키는 연결부와 길이 방향을 기준으로 서로 대향하도록 위치한다.

도4 는 제3 및 제4 코일을 더 포함하는 실시예에 따른 박막형 코일 부품을 개시하고 있으나, 이에 한정되지 않고, 당업자가 필요에 따라 소정의 추가되는 코일 및 외부전극을 채택할 수 있음은 물론이다.

본 개시는 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 개시의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 개시의 범위에 속한다고 할 것이다.

한편, 본 개시에서 사용된 "일 예"라는 표현은 서로 동일한 실시 예를 의미하지 않으며, 각각 서로 다른 고유한 특징을 강조하여 설명하기 위해서 제공된 것이다. 그러나, 상기 제시된 일 예들은 다른 일례의 특징과 결합되어 구현되는 것을 배제하지 않는다. 예를 들어, 특정한 일예에서 설명된 사항이 다른 일예에서 설명되어 있지 않더라도, 다른 일례에서 그 사항과 반대되거나 모순되는 설명이 없는 한, 다른 일예에 관련된 설명으로 이해될 수 있다.

한편, 본 개시에서 사용된 용어는 단지 일예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 개시를 한정하려는 의도가 아니다. 이때, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

100: 코일 부품
1: 바디
21, 22: 제1 및 제2 외부전극
11: 자성 물질
12: 연결부
131: 제1 코일
132: 제2 코일

Claims

제1 축방향을 갖고 제1 시드층과 상기 제1 시드층 상에 형성된 제1 도금층을 포함하는 제1 코일;
상기 제1 코일과 연결되며, 상기 제1 축방향에 평행한 제2 축방향을 갖고, 제2 시드층과 상기 제2 시드층 상에 형성된 제2 도금층을 포함하는 제2 코일;
상기 제1 코일과 상기 제2 코일을 서로 연결하며, 상기 제1 및 제2 축방향과 수직인 방향으로 배치되는 연결부; 및
상기 제1 및 제2 코일과 상기 연결부를 봉합하는 봉합재; 을 포함하는 바디와,
상기 바디의 외부면에 배치되어 상기 제1 및 제2 코일과 각각 연결되는 제1 및 제2 외부전극을 포함하고,
상기 연결부는 상기 제1 코일에서 상기 제2 코일을 향하는 단일 방향 또는 상기 제2 코일에서 상기 제1 코일을 향하는 단일 방향으로 형성되어 2개의 단부만을 가지는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 코일의 각각은 스파이럴 형상을 가지는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 제1 도금층은 서로 인접하는 상기 제1 시드층을 서로 연결하도록 구성되며, 상기 제1 도금층은 적어도 제1 층 및 상기 제1 층 상에 형성되는 제2 층을 포함하고,
상기 제2 도금층은 서로 인접하는 상기 제2 시드층을 서로 연결하도록 구성되며, 상기 제2 도금층은 적어도 제1 층 및 상기 제1 층 상에 형성되는 제2 층을 포함하는, 박막형 코일 부품.
제3항에 있어서,
상기 제1 층과 제2 층 사이에는 제3 층이 더 포함되고, 상기 제3 층은 상기 제1 층 및 상기 제2 층의 각각보다 얇은, 박막형 코일 부품.
제3항에 있어서,
상기 제1 층의 단면은 직사각형이고, 상기 제1 층은 그와 인접하는 다른 제1 층과 물리적으로 이격되고, 상기 제1 층은 그와 인접하는 다른 제1 층과는 상기 제2 층을 통해 서로 연결되는, 박막형 코일 부품.
제3항에 있어서,
상기 제1 및 제2 도금층의 상기 제2 층의 하면은 요철 구조를 갖는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 제1 도금층과 그에 인접하는 다른 제1 도금층 사이에 형성된 공간의 적어도 일부는 자성 물질로 충진되고,
상기 제2 도금층과 그에 인접하는 다른 제2 도금층 사이에 형성된 공간의 적어도 일부는 자성 물질로 충진되는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 제1 도금층과 그에 인접하는 다른 제1 도금층 사이에 형성된 공간의 전체는 절연물질로 충진되고,
상기 제2 도금층과 그에 인접하는 다른 제2 도금층 사이에 형성된 공간의 전체는 절연물질로 충진되는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 제2 코일은 상기 연결부에 수직한 가상의 중심선을 기준으로 선대칭 구조를 갖는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 연결부는 상기 제1 코일의 상기 제1 도금층 및 상기 제2 코일의 상기 제2 시드층과 연결되는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 코일 사이에 형성되는 공간에는 지지 부재 및 자성 물질 중 하나 이상이 배치되는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2 외부전극은 모두 상기 연결부와 서로 마주하도록 배치되는, 박막형 코일 부품.
제12항에 있어서, 상기 제1 및 제2 외부전극은 상기 바디의 일면 상에서 소정의 간격만큼 이격되도록 배치되는, 박막형 코일 부품.
제1항에 있어서,
제1 코일이 배치되는 평면과 동일한 평면 상에 제3 코일이 더 배치되고, 상기 제2 코일이 배치되는 평면과 동일한 평면 상에 제4 코일이 더 배치되는, 박막형 코일 부품.
제14항에 있어서,
상기 제3 및 제4 코일은 추가의 연결부에 의해 연결되고, 상기 제3 및 제4 코일을 연결하는 상기 추가의 연결부는 상기 제1 및 제2 코일을 연결하는 연결부와 서로 마주하도록 배치되는, 박막형 코일 부품.
제14항에 있어서,
상기 제3 코일과 연결되는 제3 외부전극을 더 포함하고, 상기 제4 코일과 연결되는 제4 외부전극을 더 포함하며, 상기 제3 및 제4 외부전극은 상기 바디의 외부면 상에 배치되는, 박막형 코일 부품.