KR102501987B1 - 가스 실린더 이송용 로봇 및 가스 공급 시스템 - Google Patents

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KR102501987B1
KR102501987B1 KR1020190026778A KR20190026778A KR102501987B1 KR 102501987 B1 KR102501987 B1 KR 102501987B1 KR 1020190026778 A KR1020190026778 A KR 1020190026778A KR 20190026778 A KR20190026778 A KR 20190026778A KR 102501987 B1 KR102501987 B1 KR 102501987B1
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Abstract

가스 실린더 이송용 로봇이 제공된다. 가스 실린더 이송용 로봇은 가스 실린더가 적재되는 몸체, 몸체에 설치되고, 가스 실린더를 제1 방향으로 이동시키는 로봇 팔 구동부, 및 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 제1 롤러를 이용하여 가스 실린더가 제1 방향으로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함한다.

Description

가스 실린더 이송용 로봇 및 가스 공급 시스템{Robot for transporting gas cylinder and system for supplying gas}
본 발명은 가스 실린더 이송용 로봇 및 가스 공급 시스템에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이 등을 제조하는 다양한 공정 중에는 건식 에칭 공정 등을 비롯한 여러 공정에서 다양한 가스가 공급되어야 한다. 따라서, 반도체 및 디스플레이 제조 공장 등에는 다양한 가스가 채워진 가스 실린더가 구비되어 있는데 사용되고 있는 가스 실린더는 가스가 충전되었을 때 약 150kg 정도의 무게가 된다. 또한, 많은 가스 실린더는 통상 캐비닛에 보관되어 있는데, 교체 또는 가스 충전 등의 필요에 따라 작업자가 아무런 장치 없이 중량의 실린더를 캐비닛으로부터 꺼내거나 밀어 넣는 작업을 하게 되면 작업시간이 많이 소유된다. 또한, 작업자의 근골격계에 영향을 줄 수 있을 뿐 아니라, 실린더가 넘어지거나 할 경우에 사고, 폭발 또는 화재의 위험도 있을 수 있다.
이러한 문제 때문에 작업자가 무리한 힘을 가하지 않고도 가스 실린더를 이동하고 캐비닛에 탈/장착할 수 있는 장치에 대한 개발이 요구되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 내부에 적재된 가스 실린더의 이탈 및 추락을 방지하여 사고의 위험성을 감소시키는 가스 실린더 이송용 로봇을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 내부에 적재되는 가스 실린더의 하부에 롤러를 설치하여 가스 실린더를 용이하게 적재하거나 또는 제공할 수 있는 가스 실린더 이송용 로봇을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 가스 실린더 이송용 로봇으로부터 제공된 가스 실린더의 위치를 가스 공급부의 내부에서 보정할 수 있는 가스 공급 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 가스 실린더 이송용 로봇의 몇몇 실시예는, 가스 실린더가 적재되는 몸체, 몸체에 설치되고, 가스 실린더를 제1 방향으로 이동시키는 로봇 팔 구동부, 및 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 제1 롤러를 이용하여 가스 실린더가 제1 방향으로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 가스 공급 시스템의 몇몇 실시예는, 가스 실린더를 제공하는 가스 실린더 이송용 로봇, 및 가스 실린더 이송용 로봇으로부터 제공된 가스 실린더가 적재되는 저장부를 포함하고, 가스 실린더를 이용하여 반도체 제조 공정 라인에 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하되, 가스 실린더 이송용 로봇은, 가스 실린더가 적재되는 몸체와, 몸체에 설치되고, 가스 실린더를 저장부로 이동시키는 로봇 팔 구동부와, 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 제1 롤러를 이용하여 가스 실린더가 저장부로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇의 하면을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 도킹 브릿지가 닫혀 있는 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 로봇 팔 구동부의 구동을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 가이드부를 설명하기 위한 확대도이다.
도 6은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급부를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급부의 저장부를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
이하에서, 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇의 하면을 설명하기 위한 도면이다. 도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 도킹 브릿지가 닫혀 있는 상태를 설명하기 위한 도면이다. 도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 로봇 팔 구동부의 구동을 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇에서 가이드부를 설명하기 위한 확대도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇(1)은 몸체(10), 로봇 팔 구동부(20), 가이드부(30), 연결부(130), 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163)를 포함한다.
몸체(10)에는 가스 실린더(3)가 적재될 수 있다. 로봇 팔 구동부(20)는 몸체(10)에 설치될 수 있다. 로봇 팔 구동부(20)는 그리퍼(110) 및 로봇 팔(120)을 포함할 수 있다.
로봇 팔 구동부(20)는 몸체(10)에 적재된 가스 실린더(3)를 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 로봇 팔 구동부(20)의 말단에 배치된 그리퍼(110)가 가스 실린더(3)의 측벽을 감쌈으로써 가스 실린더(3)를 몸체(10) 상에서 고정시킬 수 있다.
그리퍼(110)는 도 1에 도시된 바와 같이, 가스 실린더(3)의 측벽의 일부만을 감쌀 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 그리퍼(110)는 가스 실린더(3)의 측벽을 완전히 감쌀 수 있다.
그리퍼(110)는 도 1에 도시된 바와 같이, 집게 형상을 가질 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 그리퍼(110)는 가스 실린더(3)를 고정시킬 수 있는 다른 구조를 가질 수 있다.
로봇 팔(120)은 몸체(10)와 그리퍼(110)를 연결시킬 수 있다. 구체적으로, 로봇 팔(120)의 일단은 몸체(10)에 설치된 연결부(130)에 연결되고, 로봇 팔(120)의 타단은 그리퍼(110)에 연결될 수 있다.
로봇 팔(120)은 몸체(10)에 연결되는 제1 암(121) 및 그리퍼(110)에 연결되는 제2 암(122)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 암(121)의 일단은 몸체(10)에 연결되고, 제2 암(122)의 일단은 제1 암(121)의 타단에 연결되고, 제2 암(122)의 타단은 그리퍼(110)에 연결될 수 있다. 이 경우, 제1 암(121)의 일단은 몸체(10)에 설치된 연결부(130)에 연결될 수 있다.
도 1에는 로봇 팔(120)이 제1 암(121) 및 제2 암(122)을 포함하는 것으로 도시되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 로봇 팔(120)은 3개 이상의 암이 연결될 구조를 가질 수 있다.
연결부(130)는 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 방향(DR1)과 수직인 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 배치될 수 있다.
로봇 팔 구동부(20)는 연결부(130)를 따라 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다. 이러한 구성을 통해, 로봇 팔 구동부(20)에 고정된 가스 실린더(3)의 위치를 몸체(10)에 적재된 상태에서 제2 방향(DR2) 보정할 수 있다.
로봇 팔 구동부(20)는 예를 들어, 볼 스크류, 서보 모터 및 스탭 모터 중 어느 하나를 이용하여 연결부(130)를 따라 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
로봇 팔 구동부(20)는 가스 실린더(3)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 로봇 팔(120)이 제1 방향(DR1)으로 연장됨으로써 그리퍼(110)에 고정된 가스 실린더(3)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다.
가이드부(30)는 몸체(10)의 하부에 설치될 수 있다. 가이드부(30)는 몸체(10)에 적재된 가스 실린더(3)의 하부에 접하도록 배치될 수 있다.
가이드부(30)는 몸체(10)에 적재된 가스 실린더(3)의 하부에 접하도록 배치되는 지지부(140) 및 지지부(140)로부터 제1 방향(DR1)으로 연장되도록 연결된 도킹 브릿지(150)를 포함할 수 있다.
지지부(140)는 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 설치된 복수의 제1 롤러(141)를 포함할 수 있다. 제1 롤러(141)의 양단에는 스프링(142)이 설치될 수 있다. 가스 실린더(3)의 위치는 스프링(142)을 이용하여 제2 방향(DR2)으로 용이하게 보정될 수 있다.
도킹 브릿지(150)는 지지부(140)와 힌지 결합될 수 있다. 이로 인해, 도 3에 도시된 바와 같이, 도킹 브릿지(150)는 지지부(140)로부터 힌지를 중심으로 회전 구동될 수 있다. 도킹 브릿지(150)가 회전 구동되어 닫히는 형상을 변형됨으로써 가스 실린더(3)가 몸체(10) 상에 안정적으로 적재될 수 있다.
가스 실린더(3)가 몸체(10) 상에 적재된 상태로 가스 실린더 이송용 로봇(1)이 이동하는 경우, 도킹 브릿지(150)는 닫히는 형상으로 변형될 수 있다. 반면에, 가스 실린더(3)를 제1 방향(DR1)으로 이동시키는 경우, 도킹 브릿지(150)는 열리는 형상으로 변형될 수 있다.
도킹 브릿지(150)는 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 설치된 복수의 제2 롤러(151)를 포함할 수 있다. 제2 롤러(151)의 양단에는 스프링(142)이 설치되지 않을 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다.
가이드부(30)는 제1 롤러(141) 및 제2 롤러(151)를 이용하여 가스 실린더(3)가 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것을 가이드할 수 있다.
몸체(10)의 하면에는 가스 실린더 이송용 로봇(1)을 이동시킬 수 있는 구성이 설치될 수 있다. 구체적으로, 몸체(10)의 저면에는 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163)가 설치될 수 있다.
도 2를 참조하면, 몸체(10)의 저면에 2개의 바퀴(162) 및 2개의 이동 동력부(160)가 설치될 수 있다. 각각의 이동 동력부(160)는 각각의 바퀴(162)에 개별적으로 연결될 수 있다. 이동 동력부(160)는 바퀴(162)에 동력을 전달하여 가스 실린더 이송용 로봇(1)을 이동시킬 수 있다.
또한, 몸체(10)의 저면에 4개의 보조 바퀴(163)가 설치될 수 있다. 보조 바퀴(163)는 가스 실린더 이송용 로봇(1)이 이동하는 것을 가이드할 수 있다.
도 2에 도시된 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163)는 예시적인 구성으로 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163) 각각의 개수 및 설치 위치는 다를 수 있다.
또한, 또 다른 몇몇 실시예에서 가스 실린더 이송용 로봇(1)의 저면에 이동 동력부(160), 바퀴(162) 및 보조 바퀴(163)와 다른 이동용 구성이 설치될 수 있다.
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇(1)은 로봇 팔 구동부(20)를 이용하여 내부에 적재되는 가스 실린더(3)를 용이하게 적재하거나 또는 가스 공급부(도 6의 2)에 제공함으로써, 가스 실린더(3)의 이탈 및 추락을 방지하여 사고의 위험성을 감소시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇(1)은 내부에 적재되는 가스 실린더(3)의 하부에 롤러(141, 142)를 설치하여 가스 실린더(3)를 용이하게 적재하거나 또는 가스 공급부(도 6의 2)에 제공할 수 있다.
이하에서, 도 1, 도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템을 설명한다.
도 6은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급부를 설명하기 위한 도면이다. 도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급부의 저장부를 설명하기 위한 도면이다. 도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 1, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템은 가스 실린더 이송용 로봇(1) 및 가스 공급부(2)를 포함한다.
가스 실린더 이송용 로봇(1)은 도 1에서 상술하였으므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
가스 공급부(2)는 가스 실린더 이송용 로봇(1)으로부터 제공받은 가스 실린더(3)를 이용하여 반도체 제조 공정 라인에 가스를 공급할 수 있다. 가스 공급부(2)의 내부에는 가스 실린더(3)가 적재되는 저장부(40)가 설치될 수 있다.
저장부(40)는 제1 회전 동력부(170), 저장부 그리퍼(171) 및 볼 캐스터(180)를 포함한다.
제1 회전 동력부(170)는 저장부(40)의 내부에 적재되는 가스 실린더(3)의 측벽에 접하도록 설치될 수 있다. 제1 회전 동력부(170)는 모터(170a) 및 동력 전달부(170b)를 포함할 수 있다.
제1 회전 동력부(170)는 저장부(40)의 내부에 적재되는 가스 실린더(3)를 제1 및 제2 방향(DR1, DR2)과 수직인 제3 방향(DR3)으로 연장되는 회전 축을 기준으로 회전시킬 수 있다. 모터(170a)는 동력 전달부(170b)에 동력을 전달하여 가스 실린더(3)의 측벽에 접하는 동력 전달부(170b)를 회전시킬 수 있다.
저장부 그리퍼(171)는 저장부(40)의 내부에 적재되는 가스 실린더(3)를 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 저장부 그리퍼(171)는 가스 실린더(3)의 측벽을 감쌈으로써 가스 실린더(3)를 저장부(40) 내부에서 고정시킬 수 있다.
저장부 그리퍼(171)는 도 6에 도시된 바와 같이, 가스 실린더(3)의 측벽의 일부만을 감쌀 수 있다. 다만, 본 발명의 기술적 사상이 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 다른 몇몇 실시예에서, 저장부 그리퍼(171)는 가스 실린더(3)의 측벽을 완전히 감쌀 수 있다.
볼 캐스터(180)는 저장부(40)의 하부에 설치될 수 있다. 볼 캐스터(180)는 복수의 볼(181)을 포함할 수 있다. 가스 실린더(3)의 하부는 복수의 볼(181)과 접하도록 저장부(40) 내부에 적재될 수 있다.
볼 캐스터(180)는 제1 회전 동력부(170)의 구동에 의해 가스 실린더(3)가 회전하는 것을 가이드할 수 있다.
도 8은 가스 실린더 이송용 로봇(1)에 적재된 가스 실린더(3)가 가스 공급부(2)의 저장부(40) 내부로 이동되는 것을 예시적으로 도시하고 있다.
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템은 상술한 가스 실린더 이송용 로봇(1)을 이용하여 상술한 바와 같이 가스 실린더(3)의 이탈 및 추락을 방지하여 사고의 위험성을 감소시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 가스 공급 시스템은 가스 공급부(2) 내부의 저장부(40)에 설치된 제1 회전 동력부(170) 및 볼 캐스터(180)를 이용하여, 저장부(40) 내부에서 가스 실린더(3)를 회전시킴으로써, 가스 실린더(3)의 위치를 보정할 수 있다.
이하에서, 도 9를 참조하여 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명한다. 도 1 및 도 4에 도시된 가스 실린더 이송용 로봇(1)과의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 9는 본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇은 로봇 팔(220)이 몸체(도 1의 10)에 연결되는 제1 암(221) 및 그리퍼(110)에 연결되는 제2 암(222)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 암(221)은 몸체(10)에 설치된 연결부(130)에 연결되고, 제2 암(222)은 제1 암(221)을 제1 방향(DR1)으로 관통하도록 설치될 수 있다.
이하에서, 도 10을 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명한다. 도 1 및 도 5에 도시된 가스 실린더 이송용 로봇(1)과의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 10은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇은 가이드부(30)에 포함된 지지부(140) 및 도킹 브릿지(350)가 일체형으로 형성될 수 있다. 도킹 브릿지(350)는 지지부(140)와 제1 방향(DR1)으로 연장되도록 연결될 수 있다.
도킹 브릿지(350)는 지지부(140)와 동일하게 제2 방향(DR2)으로 연장되도록 설치된 복수의 제1 롤러(141)를 포함할 수 있다. 제1 롤러(141)의 양단에는 스프링(142)이 설치될 수 있다.
이하에서, 도 11을 참조하여 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명한다. 도 1에 도시된 가스 실린더 이송용 로봇(1)과의 차이점을 중심으로 설명한다.
도 11은 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에 따른 가스 실린더 이송용 로봇은 그리퍼(110)에 제2 회전 동력부(411)가 설치될 수 있다.
제2 회전 동력부(411)는 가스 실린더(3)와 접하는 부분을 회전 구동시킴으로써, 그리퍼(110)에 의해 고정된 가스 실린더(3)를 제3 방향(DR3)으로 연장되는 회전 축을 기준으로 회전시킬 수 있다. 이로 인해, 가스 실린더(3)의 위치를 보정할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 가스 실린더 이송용 로봇 2: 가스 공급부
3: 가스 실린더 10: 몸체
20: 로봇 팔 구동부 30: 가이드부
40: 저장부 110: 그리퍼
120: 로봇 팔 130: 연결부
140: 지지부 141: 제1 롤러
142: 스프링 150: 도킹 브릿지
170: 제1 회전 동력부 180: 볼 캐스터

Claims (10)

  1. 가스 실린더가 적재되는 몸체;
    상기 몸체에 설치되고, 상기 가스 실린더를 제1 방향으로 이동시키는 로봇 팔 구동부; 및
    상기 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 상기 제1 롤러를 이용하여 상기 가스 실린더가 상기 제1 방향으로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함하되,
    상기 가이드부는,
    상기 제1 롤러가 배치되는 지지부와,
    상기 지지부와 힌지 결합되고, 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 롤러가 배치되는 도킹 브릿지를 포함하고,
    상기 복수의 제2 롤러는 상기 가스 실린더의 하부와 접하여 상기 가스 실린더가 상기 제1 방향으로 이동하는 것을 가이드하는 가스 실린더 이송용 로봇.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 몸체에 설치되어 상기 로봇 팔 구동부에 연결되는 연결부를 더 포함하되,
    상기 로봇 팔 구동부는 상기 연결부를 따라 상기 제2 방향으로 이동하는 가스 실린더 이송용 로봇.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 제1 롤러의 양단에 설치된 스프링을 더 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 로봇 팔 구동부는,
    상기 가스 실린더를 고정하는 그리퍼와,
    일단이 상기 몸체에 연결되고, 타단이 상기 그리퍼에 연결되고, 상기 그리퍼를 상기 제1 방향으로 이동시키는 로봇 팔을 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 로봇 팔은,
    일단이 상기 몸체에 연결되는 제1 암과,
    일단이 상기 제1 암의 타단에 연결되고, 타단이 상기 그리퍼에 연결되는 제2 암을 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 로봇 팔 구동부는,
    상기 가스 실린더를 고정하는 그리퍼와,
    상기 몸체와 상기 그리퍼를 연결하고, 상기 몸체에 연결되는 제1 암 및 상기 제1 암을 상기 제1 방향으로 관통하는 제2 암을 포함하는 로봇 팔을 포함하는 가스 실린더 이송용 로봇.
  7. 삭제
  8. 가스 실린더를 제공하는 가스 실린더 이송용 로봇; 및
    상기 가스 실린더 이송용 로봇으로부터 제공된 상기 가스 실린더가 적재되는 저장부를 포함하고, 상기 가스 실린더를 이용하여 반도체 제조 공정 라인에 가스를 공급하는 가스 공급부를 포함하되,
    상기 가스 실린더 이송용 로봇은,
    상기 가스 실린더가 적재되는 몸체와,
    상기 몸체에 설치되고, 상기 가스 실린더를 제1 방향으로 상기 저장부의 내부로 이동시키는 로봇 팔 구동부와,
    상기 가스 실린더의 하부에 설치되는 제1 롤러를 포함하고, 상기 제1 롤러를 이용하여 상기 가스 실린더가 상기 제1 방향으로 상기 저장부의 내부로 이동하는 것을 가이드하는 가이드부를 포함하되,
    상기 가이드부는,
    상기 제1 롤러가 배치되는 지지부와,
    상기 지지부와 힌지 결합되고, 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 롤러가 배치되는 도킹 브릿지를 포함하고,
    상기 복수의 제2 롤러는 상기 가스 실린더의 하부와 접하여 상기 가스 실린더가 상기 제1 방향으로 이동하는 것을 가이드하는 가스 공급 시스템.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 저장부는,
    상기 가스 실린더의 측벽에 접하도록 설치되고, 상기 가스 실린더를 회전시키는 회전 동력부와,
    상기 가스 실린더의 하부에 접하도록 설치되고, 복수의 볼을 포함하고, 상기 가스 실린더가 회전하는 것을 가이드하는 볼 캐스터를 포함하는 가스 공급 시스템.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 로봇 팔 구동부는,
    상기 가스 실린더를 고정하고, 상기 가스 실린더를 회전시키는 그리퍼와,
    일단이 상기 몸체에 연결되고, 타단이 상기 그리퍼에 연결되고, 상기 그리퍼를 상기 저장부로 이동시키는 로봇 팔을 포함하는 가스 공급 시스템.
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