KR102486710B1 - 척 세정 장치와 이를 이용한 척 세정 방법 및 잉크젯 프린트 시스템 - Google Patents

척 세정 장치와 이를 이용한 척 세정 방법 및 잉크젯 프린트 시스템 Download PDF

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Abstract

척 세정 장치와 이를 이용한 척 세정 방법 및 잉크젯 프린트 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 척 세정 장치는, 흡기관과 연결 가능한 흡기홀이 형성된 흡기부와, 상기 흡기부에 연장 마련되고 기판을 지지 가능한 척에 단부 접촉 가능한 지지부를 가지는 커버를 포함하고, 상기 흡기관은 상기 커버에 의해 상기 척의 상부에 형성되는 중공부에 진공압을 형성하여 티끌과 먼지를 흡기해 상기 척을 세정할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 척 세정 방법은, 척 세정 장치를 이용한 척 세정 방법에 있어서, 기판을 지지 가능한 척이 제1 방향에서 세정 구역으로 이동하는 (a) 단계(S10); 및 상기 척에 진공압을 형성하여 티끌과 먼지를 흡기해 상기 척을 세정하는 (c) 단계(S30)를 포함할 수 있다.

Description

척 세정 장치와 이를 이용한 척 세정 방법 및 잉크젯 프린트 시스템{CHUCK CLEANING APPARATUS, CHUCK CLEANING METOHD AND INKJET PRINT SYSTEM USING THE SAME}
본 발명은 척 세정 장치와 이를 이용한 척 세정 방법 및 잉크젯 프린트 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로 척 상의 오염물을 제거하기 위한 척 세정 장치와 이를 이용한 척 세정 방법 및 잉크젯 프린트 시스템에 관한 것이다.
잉크젯 기술은 미세 크기의 노즐을 통해 잉크를 분사해 기판에 원하는 형상으로 액적을 도포할 수 있는 비충격식 인쇄 기술이다. 잉크젯 기술이 발전함에 따라 종이에 활자 등을 출력하는 경우는 물론, 복잡한 형상의 박막 형성이나 패터닝하여 디스플레이 장치, 유기발광다이오드(OLED), 인쇄회로기판(PCB), 태양전지, 센서 등의 제조 공정에 사용되는 등 다양한 분야에서 활용되고 있다.
일반 활자, 그래픽 인쇄와 달리, 전자 장치의 경우 기판 상에 원하는 막 두께로 균일하게 도포하는 것이 중요하다. 막이 형성될 기판은 물론 기판을 지지하는 척이 이물질 등으로 오염된 경우, 무라(mura)와 같은 인쇄 불량을 초래하므로, 척이 오염되지 않도록 환경 조성은 물론 척 상의 오염을 제거하는 것 또한 중요하다.
종래 잉크젯 프린트 시스템에서는, 이물질 등에 의한 척 오염 발생시 작업자가 매뉴얼로 이물질을 제거하여야 했다. 이러한 종래 방식은, 정비 시간을 오래 지연시킬 뿐 아니라, 잉크젯 프린팅 생산 수율을 떨어뜨리고, 세정 효율 또한 떨어지는 문제점이 있었다.
한국특허공보(등록공보 제10-1981059, "비접촉식 노즐 클리닝 장치 및 그를 구비하는 잉크젯 프린트 헤드 메인티넌스 시스템")는 석션 에어를 통해 노즐을 비접촉 클리닝 가능한 비접촉식 에어 셕션 유닛을 개시되어 있으나, 노즐 이외 척을 세정하는 방법에 대해선 개시하고 있지 않다.
한국등록공보 제10-1981059호(공고일자: 2019.05.22.)
본 발명은 종래 척 세정 방법의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 비접촉식으로 척의 오염물을 세정할 수 있는 척 세정 장치와 이를 이용한 척 세정 방법 및 잉크젯 프린트 시스템에 관한 것이다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 척 세정 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 척 세정 장치는, 흡기관과 연결 가능한 흡기홀이 형성된 흡기부와, 상기 흡기부에 연장 마련되고 기판을 지지 가능한 척에 단부 접촉 가능한 지지부를 가지는 커버를 포함하고, 상기 흡기관은 상기 커버에 의해 상기 척의 상부에 형성되는 중공부에 진공압을 형성하여 티끌과 먼지를 흡기해 상기 척을 세정할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 커버는 상기 척의 가장자리를 따라 면 접촉하며 컨택할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 갠트리의 일단부에 지지 마련되고, 제2 방향에서 상기 커버를 승하강 구동시켜 상기 커버가 상기 척에 대면하도록 하거나 상기 척과 이격되도록 하는 승하강 구동부를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 흡기부의 상부에 안착되고, 상기 흡기홀에 인입 가능한 상기 흡기관이 착탈 가능하도록 지지 고정하는 커플러를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 흡기관은 유연한 재질의 주름관 구조를 가질 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 흡기관의 일단부와 상기 지지부의 내측 일단부는 상단으로 갈수록 좁아지는 경사면을 가질 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 척은, 기공이 형성된 진공 척이고, 상기 기공은 상기 척 상부로 기체를 배기하는 가압 밸브 또는 기체를 흡기하는 감압 밸브와 선택적으로 연통될 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 잉크젯 프린트 시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 잉크젯 프린트 시스템은, 기판을 지지 가능하고, 제1 방향으로 이동 가능한 척; 갠트리의 제1 단부 상에 지지되어, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 승강 이동하며 상기 척을 세정 가능한 척 세정 장치; 및 상기 갠트리 상의 제2 단부에서 지지되어 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직교하는 제3 방향으로 이동 가능하고, 상기 기판에 잉크를 토출 가능한 잉크젯 프린트 헤드를 포함하고, 상기 척 세정 장치는 제 1 항 내지 제 7 항 중 적어도 어느 한 항의 특징을 가질 수 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 척 세정 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 척 세정 방법은, 척 세정 장치를 이용한 척 세정 방법에 있어서, 기판을 지지 가능한 척이 제1 방향에서 세정 구역으로 이동하는 (a) 단계(S10); 및 상기 척에 진공압을 형성하여 티끌과 먼지를 흡기해 상기 척을 세정하는 (c) 단계(S30)를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 (c) 단계(S30)에서는, 상기 척에 형성된 기공으로 기체를 가압하여 일 방향의 기류를 형성할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에서 상기 척 세정 장치를 하향 위치 이동해, 상기 척에 대면하도록 하는 (b) 단계(S20)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 척 세정 장치에 의한 척 세정을 자동화하여 효과적으로 척 이물 제거해 제품 수율을 상승케 한 이점이 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 척 세정 장치에 의한 척 세정을 자동화함으로써, 척 세정에 소요되는 시간을 단축해 설비 가동률을 향상시킨 이점이 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 척이 진공 척인 경우, 흡기 방식에 의해 일 방향 기류의 세기를 강화시켜 척 세정력을 높일 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 또 다른 실시 예에 따르면, 기판에 비례해 척의 사양이 달라지는 사용 환경을 고려해 척의 사양에 비례해 커버를 교체 가능하고, 흡기관과 체결 가능한 커플러를 이용해 커버의 탈착이 용이하도록 한 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 시스템을 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 시스템을 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 3(a)와 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 척 세정 장치의 동작 관계를 보여주는 후면도이다.
도 4는 도 3(b)에서의 척 세정 장치 내 기류 흐름을 보여주는 후단면도이다.
도 5(a)와 도 5(b)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 척 세정 장치의 동작 관계를 보여주는 후면도이다.
도 6은 도 5(b)에서의 척 세정 장치 내 기류 흐름을 보여주는 후단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 척 상의 커버 안착면을 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 척 세정 방법을 나타낸 순서도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 크기는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 방향은 직교 좌표계의 Y축을 지칭하고, 제2 방향은 직교 좌표계의 Z축을 지칭하며, 제3 방향은 직교 좌표계의 X축을 지칭하기로 한다. 이때 제1 방향은 제2 방향과 직교한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 시스템(1)을 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린트 시스템(1)을 개략적으로 보여주는 평면도이고, 도 3(a)와 도 3(b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 척 세정 장치(20)의 동작 관계를 보여주는 후면도이고, 도 4는 도 3(b)에서의 척 세정 장치(20) 내 기류 흐름을 보여주는 후단면도이고, 도 5(a)와 도 5(b)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 척 세정 장치(20)의 동작 관계를 보여주는 후면도이고, 도 6은 도 5(b)에서의 척 세정 장치(20) 내 기류 흐름을 보여주는 후단면도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 척(10) 상의 커버 안착면(13)을 보여주는 도면이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 척 세정 장치(20)는, 석션 방식에 의해 기류를 형성해 비접촉식으로 척(10) 상의 이물질을 탈락, 흡기해 세정할 수 있다. 척 세정 장치(20)는, 후술할 갠트리(40)의 제1 단부(410) 상에 지지될 수 있다. 척 세정 장치(20)는, 제2 방향으로 승강 이동할 수 있다.
척 세정 장치(20)는, 커버(100)를 포함하고, 나아가 승하강 구동부(200)와 흡기관(300), 커플러(400)를 더 포함할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 6을 참조하면 커버(100)는, 척(10)의 일면을 감싸며 임의 닫힌 공간을 형성할 수 있다. 커버(100)는, 흡기부(110)와 지지부(120)를 포함할 수 있다. 커버(100)는, 척(10)에 단부 접촉시, 척(10)을 감싸는 내부에 중공부(130)를 형성할 수 있다.
일 실시예에 따른 커버(100)는, 척(10)의 사양에 따라 교체될 수 있다. 바람직하게, 척(10)의 크기에 대응되도록 커버(100)의 XY방향의 길이가 달라질 수 있다.
흡기부(110)는, 척(10) 상에 일정 방향의 기류를 형성하기 위해 감압을 제공할 수 있는 흡기 영역일 수 있다. 흡기부(110)에는, 흡기홀(111)이 형성될 수 있다.
흡기홀(111)은, 후술할 흡기관(300)과 연통된 채로 연결될 수 있다. 흡기홀(111)은, 적어도 하나 이상이 흡기부(110)에 형성될 수 있다.
지지부(120)는, 커버(100)의 프레임을 이루며 척 상부에 안착되는 단턱을 제공할 수 있다. 지지부(120)는, 흡기부에 연장 마련될 수 있다.
지지부(120)는, 척(10)에 단부 접촉할 수 있다. 지지부(120)는, 척(10)과 접촉 면적을 좁게 하기 위해 단부가 얇은 두께로 이뤄질 수 있다.
일 실시예에 따른 지지부(120)는, 기류에 의한 집진 효과를 극대화하기 위해 일단부에 경사면(121)을 가질 수 있다. 지지부(120)는, 흡기부(110)과의 경계면이 내측방향에서 경사지도록 마련될 수 있다. 경사면(121)은, 내측 상단으로 갈수록 좁아질 수 있다. 경사면(121)에 의해, 끝단부에서 기류의 방향이 흡기부(110)의 흡기홀(111)로 향할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3(b), 도 5(a)와 도 5(b), 도 7을 참조하면 척(10)은, 기판(S)을 지지 할 수 있다. 일 실시예에 따르면 척(10)은, 정전기력에 의해 기판(S)을 지지하는 정전 척이거나 진공 감압에 의해 기판(S)을 지지하는 진공 척(11)일 수 있다.
척(10)은, 제1 방향으로 위치 이동될 수 있다. 척(10)은, 위치 이동에 따라 척 세정 장치(20)의 하면 또는 후술할 잉크젯 프린트 헤드(30)의 하면에 제2 방향에서 마주하도록 위치 이동될 수 있다.
척(10)은, 기판(S)의 사양에 따라 교체될 수 있다.
다시 도 7을 참조하면 커버 안착면(13)은, 척의 가장자리를 따라 마련되고, 커버(100)와 면 접촉해 컨택할 수 있는 영역을 제공할 수 있다.
일 실시예에 따라 척(10)이 진공 척(11)인 경우, 흡기관(300)에 의해 형성되는 제2 (+) 방향의 기류를 강화할 수 있다. 이를 위해 척(10)이 진공 척(11)인 경우, 척(10)에는 임의 간격으로 기공(11a)이 형성될 수 있다. 기공(11a)은, 가압 밸브(12) 또는 감압 밸브와 연결되어, 선택적으로 가압 밸브(12) 또는 감압 밸브와 연통될 수 있다.
가압 밸브(12)는, (+) 제2 방향의 척(10) 내부로 기체를 배기하도록 가압관을 개페할 수 있다.
감압 밸브는, (-) 제2 방향의 척(10) 내부에서 척(10) 외부로 기체를 흡기해 배출하도록 감압관을 개폐할 수 있다.
다시 도 1, 도 3(a) 내지 도 6을 참조하면 승하강 구동부(200)는, 척 세정 공정 전후로 커버(100)를 제2 방향에서 위치 이동시킬 수 있다. 승하강 구동부(200)는, 제2 방향에서 커버(100)를 지지 하며 이동하는 이동 축일 수 있다.
승하강 구동부(200)는, 갠트리(40)의 제1 단부(41)에 마련될 수 있다. 승하강 구동부(200)는, 승하강 구동에 의해 제2 방향에서 커버(100)의 위치를 이동시킬 수 있다. 승하강 구동부(200)는, 커버(100)가 척(10)에 대면하도록 하강 구동할 수 있다. 승하강 구동부(200)는, 커버(100)가 척(10)과 이격되도록 상승 구동할 수 있다.
승하강 구동부(200)의 일단은 갠트리(40)의 제1 단부(41)에 고정 연결되고, 타단은 커버(100), 보다 구체적으로 흡기부(110)에 연결 마련될 수 있다.
일 실시예에 따른 승하강 구동부(200)는, 정밀한 위치 이동이 조절 가능한 서보 모터(servo motor)일 수 있다.
일 실시예에 따른 승하강 구동부(200)는, 안정적인 위치 이동을 위해 복수개가 서로 대칭을 이루도록 마련될 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3(b), 도 5(a), 도 5(b)를 참조하면 갠트리(40)는, 제1 단부(41)에서 승하강 구동부(200)를 비롯해 흡기관(300)을 고정 지지할 수 있다고, 제2 단부(42)에서 후술할 잉크젯 프린트 헤드(30)를 제3 방향으로 위치 이동이 가능하게 지지할 수 있다.
제1 단부(41)는, 제2 단부(42)와 서로 다른 면일 수 있다. 또한 잉크제 프린트 헤드(30)와 척 세정 장치(20)는 갠트리(40) 상 서로 다른 면에 지지되도록 마련됨으로써, 물리적 간섭과 충돌이 일어나지 않을 수 있다.
다시 도 3(a) 내지 도 6을 참조하면 흡기관(300)은, 커버(100)의 중공부(130)에 감압 환경을 제공하는 석션(미도시)와 연결마련된 배관일 수 있다. 석션(미도시)은, 중공부(130)에 임의 기류를 형성하기 위해 흡기관(300)의 단부에 연결되어 감압을 제공할 수 있다. 석션(미도시)는, 중공부(130)에 진공압을 형성할 수 있다.
흡기관(300)은, 형상 변형이 용이할 수 있다. 일 실시예에 따른 흡기관(300)은, 유연한 재질로 이루어질 수 있다. 흡기관(300)은, 길이의 신장이 가능하도록 주름관 구조를 가질 수 있다. 흡기관(300)은, 커버(100)의 위치 이동시, 일단부가 커버(100)에 고정되어 있어, 커버(100)의 위치 이동에 따라 흡기관(300)은 길이 신장이 가능할 수 있다.
흡기관(300)은, 갠트리(40)의 제1 단부(41)와 커버(100)의 흡기부(110) 사이에 개재될 수 있다. 즉 흡기관(300)의 일단은 갠트리(40)의 가압 밸브(미도시)와 연결되고, 흡기관(300)의 타단은 커버(100)의 흡기부(110)와 연통되도록 연결될 수 있다.
일 실시예에 따른 흡기관(300)은, 집진 효과를 극대화하기 위해 일단부에 경사면(310)을 가질 수 있다. 즉 흡기관(300)에서 커버(100) 측 단부가 내측방향에서 경사지도록 마련될 수 있다. 경사면(310)은, 내측 상단으로 갈수록 좁아질 수 있다. 흡기관(300)은, 레듀샤(reducer)일 수 있다.
다시 도 3(a) 내지 도 6을 참조하면 커플러(400)는, 척(10)의 사양에 따라 커버(300) 교체시, 커버(100)와 흡기관(300)의 체결을 용이하게 할 수 있다. 커플러(400)는, 서로 다른 기판에 대응되도록 교체 가능한 커버(100)의 탈착을 용이하게 하도록 커버 중 흡기부(110)의 상부에 안착되도록 마련될 수 있다. 커플러(400)는, 흡기부(110)로부터 착탈 가능한 흡기관(300)을 지지 고정할 수 있다.
커플러(400)는, 결합구(미도시)로 커버(100)의 흡기부(110) 상에 안착되어 체결 고정될 수 있다. 일 실시예에 따른 결합구(미도시)는, 볼트일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
다시 도 1 내지 도 3(b), 도 5(a), 도 5(b)를 참조하면 잉크젯 프린트 헤드(30)는, 기판(S)에 잉크를 토출할 수 있다. 잉크젯 프린트 헤드(30)는, 갠트리(40)의 제2 단부(41)에 이동 가능하게 지지 마련될 수 있다. 잉크젯 프린트 헤드(30)는, 제3 방향으로 위치 이동할 수 있다. 잉크젯 프린트 헤드(30)는, 제3방향으로 위치 이동 중, 제1 방향에서 척에 나란한 위치에 위치될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 척 세정 방법을 나타낸 순서도이다.
도 8을 참고하여 척 세정 장치(20)를 이용한 척 세정 방법의 각 단계를 시계열에 따라 설명하기로 한다.
척 세정 방법은, 세정 구역으로 척의 이동 (a) 단계(S10)와 척 세정 (c) 단계(S30)를 포함하고, 나아가 척 세장 장치 위치 이동 (b) 단계(S20)를 더 포함할 수 있다.
세정 구역으로 척의 이동 (a) 단계(S10)에서는, 기판을 지지 가능한 척이 제1 방향에서 세정 구역으로 위치 이동할 수 있다. 이‹š 세정 구역은, 척 세정 장치와 제2 방향으로 나란한 위치에 놓인 것을 의미한다.
척 세장 장치 위치 이동 (b) 단계(S20)에서는, 척에 대면하도록 제2 방향에서 척 세정 장치를 하향 위치 이동시킬 수 있다. 척 세장 장치 위치 이동 (b) 단계(S20)에서는, 승하강 구동부의 구동력에 의해 커버는 제2 방향으로 위치 이동해 척에 대면하고, 흡기관은 제2 방향에서 신장될 수 있다.
척 세정 (c) 단계(S30)에서는, 척에 진공압을 형성해 티끌과 먼지를 흡기해 척을 세정할 수 있다.
척 세정 (c) 단계(S30)에서는, 일 방향의 기류 형성시, 척에 형성된 기공으로 기체를 감압하여 상단으로의 기체 흐름을 증대시킬 수 있다.
척 세정 방법은, 잉크젯 프린트 헤드에 의한 잉크젯 프린팅 공정과 병렬로 선택적 진행될 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
1 : 잉크젯 프린트 시스템
10 : 척 11 : 진공 척
11a : 기공 12 : 가압 밸브
13 : 커버 안착면
20 : 척 세정 장치 100 : 커버
110 : 흡기부 111 : 흡기홀
120 : 지지부 121 : 경사면
130 : 중공부
200 : 승하강 구동부
300 : 흡기관 310 : 경사면
400 : 커플러
30 : 잉크젯 프린트 헤드
40 : 갠트리 41 : 제1 단부
42 : 제2 단부
f1 : 제1 기류 흐름 f2 : 제2 기류 흐름
S : 기판

Claims (11)

  1. 전자 장치를 구성하는 기판을 지지 가능한 척의 오염을 제거하기 위한 척 세정 장치에 있어서,
    상기 척의 일면에 면접촉하여 닫힌 공간을 형성 가능한 커버;
    갠트리의 일단부에 지지 마련되고 상기 커버를 지지하며 상기 커버를 상하 방향으로 위치 이동시키는 승하강 구동부; 및
    상기 커버의 승하강에 따라 길이의 신축이 가능하도록 유연한 재질의 주름관 구조를 가지는 복수개로 분기된 흡기관을 포함하고,
    상기 커버는,
    기판을 면접촉하여 지지 가능한 상기 척의 기판 지지 영역이 수용되도록 상기 기판 지지 영역보다 큰 너비를 가지는 테두리부;
    상기 테두리부의 일단에 연장 마련되고, 상기 닫힌 공간 내의 내부 흐름을 임의 방향으로 유도하기 위해 상단으로 갈수록 좁아지는 경사면을 가지는 지지부; 및
    복수개의 유동 경로를 갖도록 상기 흡기관과 연결 가능한 복수개의 흡기홀이 서로 이격 마련된 흡기부를 포함하는, 척 세정 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡기부의 상부에 안착되고, 상기 흡기홀에 인입 가능한 상기 흡기관이 착탈 가능하도록 지지 고정하는 커플러를 더 포함하는, 척 세정 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡기관의 일단부는 상단으로 갈수록 좁아지는 경사면을 가지는, 척 세정 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 척은,
    기공이 형성된 진공 척이고,
    상기 기공은 상기 척 상부로 기체를 배기하는 가압 밸브 또는 기체를 흡기하는 감압 밸브와 선택적으로 연통 가능한, 척 세정 장치.
  8. 기판을 지지 가능하고, 제1 방향으로 이동 가능한 척;
    갠트리의 제1 단부 상에 지지되어, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 승강 이동하며 상기 척을 세정 가능한 척 세정 장치; 및
    상기 갠트리 상의 제2 단부에서 지지되어 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직교하는 제3 방향으로 이동 가능하고, 상기 기판에 잉크를 토출 가능한 잉크젯 프린트 헤드를 포함하고,
    상기 척 세정 장치는 제 1 항, 제 4 항, 제 6 항, 또는 제 7 항 중 적어도 어느 한 항의 특징을 가지는, 잉크젯 프린트 시스템.
  9. 전자 장치를 구성하는 기판을 지지 가능한 척의 오염을 제거하기 위한 척 세정 장치를 이용한 척 세정 방법에 있어서,
    상기 척을 제1 방향에서 세정 구역으로 이동하는 (a) 단계(S10);
    상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향에서 상기 척 세정 장치를 하향 위치 이동해, 상기 척의 일면에 면접촉하여 닫힌 공간을 형성하는 (b) 단계(S20); 및
    상기 척에 진공압을 형성하여 티끌과 먼지를 흡기해 상기 척을 세정하는 (c) 단계(S30)를 포함하고,
    상기 척 세정 장치는,
    상기 닫힌 공간을 형성 가능한 커버;
    갠트리의 일단부에 지지 마련되고 상기 커버를 지지하며 상기 커버를 상하 방향으로 위치 이동시키는 승하강 구동부; 및
    상기 커버의 승하강에 따라 길이의 신축이 가능하도록 유연한 재질의 주름관 구조를 가지는 복수개로 분기된 흡기관을 포함하고,
    상기 커버는,
    상기 기판을 면접촉하여 지지 가능한 상기 척의 기판 지지 영역이 수용되도록 상기 기판 지지 영역보다 큰 너비를 가지는 테두리부;
    상기 테두리부의 일단에 연장 마련되고, 상기 닫힌 공간 내의 내부 흐름을 유도하기 위해 상단으로 갈수록 좁아지는 경사면을 가지는 지지부; 및
    복수개의 유동 경로를 갖도록 상기 흡기관과 연결 가능한 복수개의 흡기홀이 서로 이격 마련된 흡기부를 포함하는, 척 세정 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 (c) 단계(S30)에서는,
    상기 척에 형성된 기공으로 기체를 가압하여 일 방향의 기류를 형성 가능한, 척 세정 방법.
  11. 삭제
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