KR102482534B1 - Organic light emitting display device and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 투습 불량 및 화상 품질 저하를 방지할 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법을 제공하는 것으로, 화소들이 배치된 표시영역, 및 상기 표시영역을 둘러싸는 비 표시영역을 포함하는 제1 기판, 제1 기판 상에 배치된 제1 전극, 제1 전극 상에 배치된 유기 발광층, 및 유기 발광층 상에 배치된 제2 전극을 포함하고, 제1 기판은 일단에 관통 홀을 가지며, 제2 전극은 관통 홀의 내 측면까지 마련된다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an organic light emitting display device capable of preventing poor moisture permeation and deterioration in image quality, and a method for manufacturing the same, and a first substrate including a display area in which pixels are disposed and a non-display area surrounding the display area. , a first electrode disposed on the first substrate, an organic light emitting layer disposed on the first electrode, and a second electrode disposed on the organic light emitting layer, wherein the first substrate has a through hole at one end, and the second electrode is provided to the inner side of the through hole.

Description

유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Organic light emitting display device and manufacturing method thereof

본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a manufacturing method thereof.

정보화 사회가 발전함에 따라 영상을 표시하기 위한 표시 장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 따라, 최근에는 액정 표시 장치(LCD: Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 장치(PDP: Plasma Display Panel), 유기 발광 표시 장치(OLED: Organic Light Emitting Display)와 같은 여러 가지 표시 장치가 활용되며, 특히 스마트 기기에도 다양하게 적용되고 있다.As the information society develops, demands for display devices for displaying images are increasing in various forms. Accordingly, recently, various display devices such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting display (OLED) are being utilized. It is also applied to various smart devices.

표시 장치들 중에서 유기 발광 표시 장치는 자체 발광형으로서, 액정 표시 장치(LCD)에 비해 시야각, 대조비 등이 우수하며, 별도의 백라이트가 필요하지 않아 경량 박형이 가능하며, 소비전력이 유리한 장점이 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 특히 제조비용이 저렴한 장점이 있다.Among display devices, an organic light emitting display device is a self-luminous type, and has excellent viewing angle and contrast ratio compared to a liquid crystal display (LCD), is lightweight and thin as it does not require a separate backlight, and has advantages in power consumption. . In addition, the organic light emitting display device can be driven at a low DC voltage, has a fast response speed, and has low manufacturing cost.

유기 발광 표시 장치는 전자(electron)를 주입하는 음극(cathode)과 정공(hole)을 주입하는 양극(anode) 사이에 발광층이 구비된 구조를 가지며, 음극에서 발생된 전자 및 양극에서 발생된 정공이 발광층 내부로 주입되면 주입된 전자 및 정공이 결합하여 액시톤(exciton)이 생성되고, 생성된 액시톤이 여기상태(excited state)에서 기저상태(ground state)로 떨어지면서 발광하는 원리를 이용한 표시 장치이다. 여기서, 음극은 공통 전극으로서, 발광층 상에 공통적으로 형성된다.An organic light emitting display device has a structure in which an emission layer is provided between a cathode for injecting electrons and an anode for injecting holes, and electrons generated from the cathode and holes generated from the anode are When injected into the light emitting layer, the injected electrons and holes are combined to generate exciton, and the generated exciton falls from the excited state to the ground state and emits light. A display device using the principle to be. Here, the cathode is a common electrode and is commonly formed on the light emitting layer.

이러한 유기 발광 표시 장치가 스마트 기기에 적용되는 경우, 유기 발광 표시 장치의 일단에 카메라 홀(Camera Hole)이 형성될 수 있다. 유기 발광 표시 장치는 영상이 표시되는 표시영역과 영상이 표시되지 않는 비 표시영역을 포함한다. 이때, 공통층으로 형성되는 음극의 특성에 의해, 카메라 홀 부분에만 음극을 제거하는 것이 어려워, 카메라 홀은 비 표시영역에 형성되었다.When such an organic light emitting display device is applied to a smart device, a camera hole may be formed at one end of the organic light emitting display device. The organic light emitting display device includes a display area in which an image is displayed and a non-display area in which an image is not displayed. At this time, due to the characteristics of the cathode formed of the common layer, it is difficult to remove the cathode only from the camera hole portion, so the camera hole is formed in the non-display area.

그러나, 스마트 기기가 발전함에 따라, 비 표시영역이 감소하고 영상이 표시되는 표시영역이 증가하면서, 카메라 홀을 표시영역에 형성하는 유기 발광 표시 장치의 개발이 이루어지고 있다.However, with the development of smart devices, as the non-display area decreases and the display area in which images are displayed increases, organic light emitting display devices having a camera hole formed in the display area are being developed.

이와 같이 카메라 홀을 유기 발광 표시 장치의 표시영역에 형성하기 위해서, 음극이 형성된 영역을 레이저 커팅(laser cutting)하여 홀을 형성하는 경우, 음극의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생할 수 있다.When the hole is formed by laser cutting the area where the cathode is formed to form the camera hole in the display area of the organic light emitting display device, the end surface of the cathode may be exposed to the outside, resulting in poor moisture permeability.

또한, 카메라 홀을 유기 발광 표시 장치의 표시영역에 형성하기 위해서, 카메라 홀 영역을 마스크(mask)로 가린 뒤에 음극을 형성하는 경우, 마스크를 고정하기 위해서 가려진 부분에 음극을 2회 증착 형성하게 되는데, 이때 음극의 두께가 불 균일해짐으로 화상 품질이 저하되는 문제점이 있다.In addition, in order to form the camera hole in the display area of the organic light emitting display device, when the cathode is formed after covering the camera hole area with a mask, the cathode is deposited twice on the covered portion to fix the mask. , At this time, there is a problem in that image quality is deteriorated because the thickness of the cathode becomes non-uniform.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 투습 불량 및 화상 품질 저하를 방지할 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and has as a technical task to provide an organic light emitting display device capable of preventing moisture permeation failure and image quality deterioration, and a manufacturing method thereof.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 화소들이 배치된 표시영역, 및 상기 표시영역을 둘러싸는 비 표시영역을 포함하는 제1 기판, 제1 기판 상에 배치된 제1 전극, 제1 전극 상에 배치된 유기 발광층, 및 유기 발광층 상에 배치된 제2 전극을 포함하고, 제1 기판은 일단에 관통 홀을 가지며, 제2 전극은 관통 홀의 내 측면까지 마련되는 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법을 제공한다.The present invention for achieving the above technical problem is a first substrate including a display area in which pixels are disposed and a non-display area surrounding the display area, a first electrode disposed on the first substrate, and a first electrode on the first substrate. An organic light emitting display device including an organic light emitting layer disposed on the organic light emitting layer and a second electrode disposed on the organic light emitting layer, the first substrate having a through hole at one end, and the second electrode extending to an inner side of the through hole, and a manufacturing method thereof provides

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 관통 홀을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극을 제1 기판의 표시영역 상에 전체적으로 형성함으로써, 제2 전극이 관통 홀의 내 측면까지 연장되어 마련되며, 제2 전극을 1회만 증착 형성함으로써, 제2 전극의 두께가 불 균일하여 발생하는 화상 품질 저하를 방지할 수 있으며 공정 증가 또한 방지할 수 있다.In the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention, the second electrode is formed entirely on the display area of the first substrate without a process of covering the through hole with a mask, so that the second electrode extends to the inner side of the through hole. And, by depositing and forming the second electrode only once, deterioration in image quality caused by non-uniform thickness of the second electrode can be prevented, and process increase can also be prevented.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 무기막이 관통 홀의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀의 내 측면에 마련된 제2 전극의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention, the inorganic film extends to the inner side of the through hole, thereby preventing the occurrence of poor moisture permeability due to the cross section of the second electrode provided on the inner side of the through hole being exposed to the outside. can do.

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects obtainable in the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below. .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 표시패널을 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 제1 기판을 보여주는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 일 측을 개략적으로 보여주는 단면도로서, 도 2의 I-I'의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 관통 홀을 보여주는 단면도로서, 도 3의 II-II'의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다.
도 7a 내지 도 7g는 본 발명의 일 실시예에 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
1 is an exploded perspective view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing a display panel of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing the first substrate of FIG. 2 .
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of one side of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention, taken along the line II′ of FIG. 2 .
5 is a cross-sectional view showing a through hole of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention, which is a cross-sectional view taken along line II-II′ of FIG. 3 .
6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
7A to 7G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.

본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. The meaning of terms described in this specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제 1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. "적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다. "상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.Singular expressions should be understood to include plural expressions unless the context clearly defines otherwise, and terms such as “first” and “second” are used to distinguish one component from another, The scope of rights should not be limited by these terms. It should be understood that terms such as "comprise" or "having" do not preclude the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. The term “at least one” should be understood to include all possible combinations from one or more related items. For example, "at least one of the first item, the second item, and the third item" means not only the first item, the second item, or the third item, respectively, but also two of the first item, the second item, and the third item. It means a combination of all items that can be presented from one or more. The term "on" means not only the case where a certain component is formed directly on top of another component, but also the case where a third component is interposed between these components.

이하에서는 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조방법의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.Hereinafter, preferred examples of an organic light emitting display device and a manufacturing method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to components of each drawing, the same components may have the same numerals as much as possible even if they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description may be omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 표시패널(10), 편광판(20), 프레임(30), 및 커버부재(40)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment includes a display panel 10 , a polarizer 20 , a frame 30 , and a cover member 40 .

상기 표시패널(10)은 제1 기판 및 제2 기판을 포함한다. 상기 제2 기판과 마주하는 상기 제1 기판의 일면 상에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 배치된다. 화소들은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 구조에 의해 정의되는 영역에 마련된다. 표시패널(10)에 대한 자세한 설명은 도 2 및 도 3에서 후술하기로 한다.The display panel 10 includes a first substrate and a second substrate. Gate lines, data lines, and pixels are disposed on one surface of the first substrate facing the second substrate. Pixels are provided in an area defined by a cross structure of gate lines and data lines. A detailed description of the display panel 10 will be described later with reference to FIGS. 2 and 3 .

상기 편광판(20)은 표시패널(10) 상에 배치된다. 편광판(20)은 표시패널(10)과 커버부재(40) 사이에 하나 이상 배치될 수 있으며, 생략될 수도 있다. 이러한 편광판(20)은 외광 반사 등으로 인하여 표시패널(10)에서 표시되는 영상의 시인성이 저하되는 것을 방지한다.The polarizer 20 is disposed on the display panel 10 . One or more polarizers 20 may be disposed between the display panel 10 and the cover member 40 or may be omitted. The polarizer 20 prevents deterioration in visibility of an image displayed on the display panel 10 due to external light reflection or the like.

상기 프레임(30)은 표시패널(10), 편광판(20), 및 커버부재(40)를 수납한다. 일 예에 따른 프레임(30)은 커버부재(40)의 바닥면을 지지하도록 내측벽에 단차가 마련될 수 있다.The frame 30 accommodates the display panel 10 , the polarizer 20 , and the cover member 40 . In the frame 30 according to an example, steps may be provided on an inner wall to support the bottom surface of the cover member 40 .

상기 커버부재(40)는 프레임(30)에 결합되어 프레임(30)과 함께 유기 발광 표시 장치의 외면을 구성한다. 커버부재(40)는 하면에 접착부재가 마련되어 하부의 구성과 결합될 수 있다. 일 예에 따른 커버부재(40)는 편광판(20)과 결합될 수 있다.The cover member 40 is coupled to the frame 30 and forms an outer surface of the organic light emitting display device together with the frame 30 . An adhesive member is provided on the lower surface of the cover member 40 to be coupled with the lower part. The cover member 40 according to an example may be combined with the polarizer 20 .

커버부재(40)는 플라스틱 또는 유리(glass)일 수 있다. 일 예에 따른 커버부재(40)는 표시패널(10)에서 생성된 영상이 투과되는 투과영역(TA), 및 상기 투과영역(TA)의 외곽에서 영상이 투과되지 않는 비 투과영역(NTA)을 포함한다. 상기 투과영역(TA)은 표시패널(10)의 표시영역과 중첩되며, 상기 비 투과영역(NTA)은 표시패널(10)의 비 표시영역과 중첩될 수 있다. 투과영역(TA)에는 홀(CH)이 형성되는데, 일 예로 카메라 홀(Camera Hole)일 수 있다. 비 투과영역(NTA)에는 불투명한 패턴층이 형성될 수 있다.The cover member 40 may be plastic or glass. The cover member 40 according to an example includes a transmissive area TA through which an image generated by the display panel 10 is transmitted, and a non-transmissive area NTA outside the transmissive area TA through which the image is not transmitted. include The transmissive area TA may overlap the display area of the display panel 10 , and the non-transmissive area NTA may overlap the non-display area of the display panel 10 . A hole CH is formed in the transmission area TA, which may be, for example, a camera hole. An opaque pattern layer may be formed in the non-transmissive area NTA.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 표시패널을 보여주는 사시도이고, 도 3은 도 2의 제1 기판을 보여주는 평면도이다.FIG. 2 is a perspective view of a display panel of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment, and FIG. 3 is a plan view of a first substrate of FIG. 2 .

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널(10)은 게이트 구동부(11), 소스 드라이브 집적회로(integrated circuit, 이하 "IC"라 칭함)(12), 연성필름(13), 회로보드(14), 및 타이밍 제어부(15)를 포함한다.Referring to FIGS. 2 and 3 , a display panel 10 according to an embodiment of the present invention includes a gate driver 11, a source drive integrated circuit (hereinafter referred to as "IC") 12, and a flexible film. (13), a circuit board (14), and a timing controller (15).

상기 표시패널(10)은 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)을 포함한다. 제2 기판(S2)은 봉지 기판일 수 있다. 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)은 플라스틱 또는 유리(glass)일 수 있다.The display panel 10 includes a first substrate S1 and a second substrate S2. The second substrate S2 may be an encapsulation substrate. The first substrate S1 and the second substrate S2 may be plastic or glass.

상기 제2 기판(S2)과 마주보는 제1 기판(S1)의 일면 상에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성된다. 화소들은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 구조에 의해 정의되는 영역에 마련된다.Gate lines, data lines, and pixels are formed on one surface of the first substrate S1 facing the second substrate S2. Pixels are provided in an area defined by a cross structure of gate lines and data lines.

화소들 각각은 박막 트랜지스터와 애노드 전극, 유기 발광층, 및 캐소드 전극을 구비하는 유기발광소자를 포함할 수 있다. 화소들 각각은 박막 트랜지스터를 이용하여 게이트 라인으로부터 게이트 신호가 입력되는 경우 데이터 라인의 데이터 전압에 따라 유기발광소자에 소정의 전류를 공급한다. 이로 인해, 화소들 각각의 유기발광소자는 소정의 전류에 따라 소정의 밝기로 발광할 수 있다. 화소들 각각의 구조에 대한 자세한 설명은 도 5에서 후술하기로 한다.Each of the pixels may include an organic light emitting device including a thin film transistor, an anode electrode, an organic light emitting layer, and a cathode electrode. Each of the pixels uses a thin film transistor to supply a predetermined current to the organic light emitting device according to the data voltage of the data line when a gate signal is input from the gate line. Due to this, the organic light emitting device of each of the pixels may emit light with a predetermined brightness according to a predetermined current. A detailed description of the structure of each of the pixels will be described later with reference to FIG. 5 .

표시패널(10)은 도 3과 같이 화소들이 형성되어 화상을 표시하는 표시영역(DA)과 화상을 표시하지 않는 비 표시영역(NDA)으로 구분될 수 있다. As shown in FIG. 3 , the display panel 10 may be divided into a display area DA in which pixels are formed to display an image and a non-display area NDA in which an image is not displayed.

상기 표시영역(DA)에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 화상을 표시하는 표시영역(DA)을 증가시키기 위해서, 종래에 카메라 홀(Camera Hole)이 형성되었던 비 표시영역(NDA)까지 표시영역(DA)을 확장시킨다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 일 예로, 카메라 홀일 수 있는 관통 홀(CH)이 표시패널(10)의 표시영역(DA)에 형성된다. 상기 관통 홀(CH)에 대한 자세한 설명은 도 5에서 후술하기로 한다.Gate lines, data lines, and pixels may be formed in the display area DA. In order to increase the display area DA for displaying an image, the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention extends the display area DA up to the non-display area NDA where a camera hole was conventionally formed. expand That is, in the organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention, a through hole CH, which may be, for example, a camera hole, is formed in the display area DA of the display panel 10 . A detailed description of the through hole CH will be described later with reference to FIG. 5 .

상기 비 표시영역(NDA)에는 게이트 구동부(11)와 패드들이 형성될 수 있다. 상기 게이트 구동부(11)는 타이밍 제어부(15)로부터 입력되는 게이트 제어신호에 따라 게이트 라인들에 게이트 신호들을 공급한다. 게이트 구동부(11)는 표시패널(10)의 표시영역(DA)의 일측 또는 양측 바깥쪽의 비 표시영역(DA)에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성될 수 있다. 또는, 게이트 구동부(11)는 구동 칩으로 제작되어 연성필름에 실장되고 TAB(tape automated bonding) 방식으로 표시패널(10)의 표시영역(DA)의 일측 또는 양측 바깥쪽의 비 표시영역(NDA)에 부착될 수도 있다.A gate driver 11 and pads may be formed in the non-display area NDA. The gate driver 11 supplies gate signals to gate lines according to a gate control signal input from the timing controller 15 . The gate driver 11 may be formed in the non-display area DA outside one or both sides of the display area DA of the display panel 10 in a gate driver in panel (GIP) method. Alternatively, the gate driver 11 is manufactured as a driving chip and mounted on a flexible film, and the non-display area NDA outside one or both sides of the display area DA of the display panel 10 is formed by a tape automated bonding (TAB) method. may be attached to

상기 소스 드라이브 IC(12)는 타이밍 제어부(15)로부터 디지털 비디오 데이터와 소스 제어신호를 입력 받는다. 소스 드라이브 IC(12)는 소스 제어신호에 따라 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터전압들로 변환하여 데이터 라인들에 공급한다. 소스 드라이브 IC(12)가 구동 칩으로 제작되는 경우, COF(chip on film) 또는 COP(chip on plastic) 방식으로 연성필름(13)에 실장될 수 있다.The source drive IC 12 receives digital video data and a source control signal from the timing controller 15. The source driver IC 12 converts digital video data into analog data voltages according to a source control signal and supplies them to data lines. When the source drive IC 12 is manufactured as a driving chip, it may be mounted on the flexible film 13 in a chip on film (COF) or chip on plastic (COP) method.

표시패널(10)의 비 표시영역(NDA)에는 데이터 패드들과 같은 패드들이 형성될 수 있다. 연성필름(13)에는 패드들과 소스 드라이브 IC(12)를 연결하는 배선들, 패드들과 회로보드(14)의 배선들을 연결하는 배선들이 형성될 수 있다. 연성필름(13)은 이방성 도전 필름(anisotropic conducting film)을 이용하여 패드들 상에 부착되며, 이로 인해 패드들과 연성필름(13)의 배선들이 연결될 수 있다.Pads such as data pads may be formed in the non-display area NDA of the display panel 10 . Wires connecting the pads and the source drive IC 12 and wires connecting the pads and the wires of the circuit board 14 may be formed on the flexible film 13 . The flexible film 13 is attached on the pads by using an anisotropic conducting film, so that the pads and wires of the flexible film 13 can be connected.

상기 회로보드(14)는 연성필름(13)들에 부착될 수 있다. 회로보드(14)는 구동 칩들로 구현된 다수의 회로들이 실장될 수 있다. 예를 들어, 회로보드(14)에는 타이밍 제어부(15)가 실장될 수 있다. 회로보드(14)는 인쇄회로보드(printed circuit board) 또는 연성 인쇄회로보드(flexible printed circuit board)일 수 있다.The circuit board 14 may be attached to flexible films 13 . A plurality of circuits implemented as driving chips may be mounted on the circuit board 14 . For example, the timing controller 15 may be mounted on the circuit board 14 . The circuit board 14 may be a printed circuit board or a flexible printed circuit board.

상기 타이밍 제어부(15)는 회로보드(14)의 케이블을 통해 외부의 시스템 보드로부터 디지털 비디오 데이터와 타이밍 신호를 입력 받는다. 타이밍 제어부(15)는 타이밍 신호에 기초하여 게이트 구동부(11)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호와 소스 드라이브 IC(12)들을 제어하기 위한 소스 제어신호를 발생한다. 타이밍 제어부(15)는 게이트 제어신호를 게이트 구동부(11)에 공급하고, 소스 제어신호를 소스 드라이브 IC(12)들에 공급한다.The timing controller 15 receives digital video data and timing signals from an external system board through a cable of the circuit board 14 . The timing controller 15 generates a gate control signal for controlling the operation timing of the gate driver 11 and a source control signal for controlling the source drive ICs 12 based on the timing signal. The timing controller 15 supplies a gate control signal to the gate driver 11 and supplies a source control signal to the source drive ICs 12 .

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 일 측을 개략적으로 보여주는 단면도로서, 도 2의 I-I'의 단면도이다.FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of one side of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention, taken along the line II′ of FIG. 2 .

도 4를 참조하면, 표시패널(10)은 제1 기판(S1), 제2 기판(S2), 제1 및 제2 기판들(S1, S2) 사이에 배치된 박막 트랜지스터층(100), 유기발광소자층(200), 및 봉지층(300)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4 , the display panel 10 includes a first substrate S1 , a second substrate S2 , a thin film transistor layer 100 disposed between the first and second substrates S1 and S2 , organic A light emitting device layer 200 and an encapsulation layer 300 may be included.

상기 제1 기판(S1)은 플라스틱 필름 또는 유리 기판일 수 있다.The first substrate S1 may be a plastic film or a glass substrate.

제1 기판(S1) 상에는 상기 박막 트랜지스터층(100)이 배치된다. 박막 트랜지스터층(100)은 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 박막 트랜지스터들을 포함할 수 있다. 박막 트랜지스터들 각각은 게이트 전극, 반도체층, 소스 및 드레인 전극들을 포함한다. 게이트 구동부가 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성되는 경우, 게이트 구동부는 박막 트랜지스터층(100)과 함께 형성될 수 있다. The thin film transistor layer 100 is disposed on the first substrate S1. The thin film transistor layer 100 may include gate lines, data lines, and thin film transistors. Each of the thin film transistors includes a gate electrode, a semiconductor layer, and source and drain electrodes. When the gate driver is formed using a gate driver in panel (GIP) method, the gate driver may be formed together with the thin film transistor layer 100 .

박막 트랜지스터층(100) 상에는 상기 유기발광소자층(200)이 배치된다. 유기발광소자층(200)은 애노드 전극, 유기 발광층, 캐소드 전극, 및 뱅크를 포함한다. 유기 발광층들 각각은 정공 수송층(hole transporting layer), 발광층(organic light emitting layer), 및 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 이 경우, 애노드 전극과 캐소드 전극에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 발광층으로 이동되며, 발광층에서 서로 결합하여 발광하게 된다. 유기발광소자층(200)이 배치된 영역에는 화소들이 마련되므로, 유기발광소자층(200)이 배치된 영역은 표시영역으로 정의될 수 있다. 표시영역의 주변 영역은 비 표시영역으로 정의될 수 있다. The organic light emitting device layer 200 is disposed on the thin film transistor layer 100 . The organic light emitting diode layer 200 includes an anode electrode, an organic light emitting layer, a cathode electrode, and a bank. Each of the organic light emitting layers may include a hole transporting layer, an organic light emitting layer, and an electron transporting layer. In this case, when a voltage is applied to the anode electrode and the cathode electrode, holes and electrons move to the light emitting layer through the hole transport layer and the electron transport layer, respectively, and combine with each other in the light emitting layer to emit light. Since pixels are provided in the area where the organic light emitting diode layer 200 is disposed, the area where the organic light emitting diode layer 200 is disposed may be defined as a display area. An area around the display area may be defined as a non-display area.

유기발광소자층(200) 상에는 상기 봉지층(300)이 배치된다. 봉지층(300)은 유기발광소자층(200)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다. 봉지층(300)은 적어도 하나의 유기막 및 무기막을 포함할 수 있다.The encapsulation layer 300 is disposed on the organic light emitting diode layer 200 . The encapsulation layer 300 serves to prevent penetration of oxygen or moisture into the organic light emitting device layer 200 . The encapsulation layer 300 may include at least one of an organic layer and an inorganic layer.

이하에서는 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에 대하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIG. 5 .

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 관통 홀을 보여주는 단면도로서, 도 3의 II-II'의 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a through hole of a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention, which is a cross-sectional view taken along line II-II′ of FIG. 3 .

도 5를 참조하면, 제1 기판(S1)은 표시영역(DA)의 일단에 관통 홀(CH)을 가지며, 제1 기판(S1)의 관통 홀(CH)을 제외한 영역에, 박막 트랜지스터층(100), 유기발광소자층(200), 및 봉지층(300)이 형성된다.Referring to FIG. 5 , the first substrate S1 has a through hole CH at one end of the display area DA, and the thin film transistor layer ( 100), an organic light emitting device layer 200, and an encapsulation layer 300 are formed.

상기 박막 트랜지스터층(100)은 박막 트랜지스터(120)들, 게이트 절연막(130), 층간 절연막(140), 및 평탄화막(150) 을 포함한다.The thin film transistor layer 100 includes thin film transistors 120 , a gate insulating film 130 , an interlayer insulating film 140 , and a planarization film 150 .

제1 기판(S1)의 일면 상에는 버퍼막(110)이 배치될 수 있다. 상기 버퍼막(110)은 투습에 취약한 제1 기판(S1)을 통해 침투하는 수분으로부터 박막 트랜지스터(120)들과 유기발광소자(210)들을 보호하기 위해 제1 기판(S1)의 일면 상에 배치된다. 제1 기판(S1)의 일면은 제2 기판(S2)과 마주보는 면일 수 있다. 버퍼막(110)은 교번하여 적층된 복수의 무기막들로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 버퍼막(110)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), SiON 중 하나 이상의 무기막이 교번하여 적층된 다중막으로 형성될 수 있다. 버퍼막(110)은 생략될 수 있다.A buffer layer 110 may be disposed on one surface of the first substrate S1 . The buffer film 110 is disposed on one surface of the first substrate S1 to protect the thin film transistors 120 and the organic light emitting diodes 210 from moisture penetrating through the first substrate S1, which is vulnerable to moisture permeation. do. One surface of the first substrate S1 may be a surface facing the second substrate S2. The buffer layer 110 may include a plurality of inorganic layers alternately stacked. For example, the buffer layer 110 may be formed of a multilayer in which one or more inorganic layers of silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), and SiON are alternately stacked. The buffer layer 110 may be omitted.

버퍼막(110) 상에는 상기 박막 트랜지스터(120)가 배치된다. 박막 트랜지스터(120)는 액티브층(121), 게이트 전극(122), 소스 전극(123) 및 드레인 전극(124)을 포함한다. 도 6에서는 박막 트랜지스터(120)가 게이트 전극(122)이 액티브층(121)의 상부에 위치하는 상부 게이트(탑 게이트, top gate) 방식으로 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않음에 주의하여야 한다. 즉, 박막 트랜지스터(120)들은 게이트 전극(122)이 액티브층(121)의 하부에 위치하는 하부 게이트(보텀 게이트, bottom gate) 방식 또는 게이트 전극(122)이 액티브층(121)의 상부와 하부에 모두 위치하는 더블 게이트(double gate) 방식으로 형성될 수 있다.The thin film transistor 120 is disposed on the buffer layer 110 . The thin film transistor 120 includes an active layer 121 , a gate electrode 122 , a source electrode 123 and a drain electrode 124 . In FIG. 6 , it is illustrated that the thin film transistor 120 is formed in a top gate (top gate) method in which the gate electrode 122 is positioned above the active layer 121, but it should be noted that it is not limited thereto. That is, the thin film transistor 120 is a bottom gate (bottom gate) method in which the gate electrode 122 is positioned below the active layer 121 or the gate electrode 122 is located above and below the active layer 121. It may be formed in a double gate method located in both.

버퍼막(110) 상에는 상기 액티브층(121)이 배치된다. 액티브층(121)은 실리콘계 반도체 물질 또는 산화물계 반도체 물질로 형성될 수 있다. 버퍼막(110)과 액티브층(121) 사이에는 액티브층(121)으로 입사되는 외부광을 차단하기 위한 차광층이 배치될 수 있다.The active layer 121 is disposed on the buffer layer 110 . The active layer 121 may be formed of a silicon-based semiconductor material or an oxide-based semiconductor material. A light blocking layer may be disposed between the buffer layer 110 and the active layer 121 to block external light incident on the active layer 121 .

액티브층(121) 상에는 상기 게이트 절연막(130)이 배치될 수 있다. 게이트 절연막(130)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다.The gate insulating layer 130 may be disposed on the active layer 121 . The gate insulating layer 130 may be formed of an inorganic layer, for example, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a multilayer thereof.

게이트 절연막(130) 상에는 상기 게이트 전극(122)과 게이트 라인이 배치될 수 있다. 게이트 전극(122)과 게이트 라인은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.The gate electrode 122 and the gate line may be disposed on the gate insulating layer 130 . The gate electrode 122 and the gate line may be made of any one of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). It may be formed as a single layer or multiple layers made of one or an alloy thereof.

게이트 전극(122)과 게이트 라인 상에는 상기 층간 절연막(140)이 배치될 수 있다. 층간 절연막(140)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다.The interlayer insulating layer 140 may be disposed on the gate electrode 122 and the gate line. The interlayer insulating layer 140 may be formed of an inorganic layer, for example, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a multilayer thereof.

층간 절연막(140) 상에는 상기 소스 전극(123), 드레인 전극(124), 및 데이터 라인(125)이 배치될 수 있다. 소스 전극(123)과 드레인 전극(124) 각각은 게이트 절연막(130)과 층간 절연막(140)을 관통하는 콘택홀을 통해 액티브층(121)에 접속될 수 있다. 소스 전극(123), 드레인 전극(124), 및 데이터 라인(125)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.The source electrode 123 , the drain electrode 124 , and the data line 125 may be disposed on the interlayer insulating layer 140 . Each of the source electrode 123 and the drain electrode 124 may be connected to the active layer 121 through a contact hole passing through the gate insulating layer 130 and the interlayer insulating layer 140 . The source electrode 123, the drain electrode 124, and the data line 125 are molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium It may be formed of a single layer or multiple layers made of any one of (Nd) and copper (Cu) or an alloy thereof.

소스 전극(123), 드레인 전극(124), 및 데이터 라인(125) 상에는 박막 트랜지스터(120)를 절연하기 위한 보호막(미도시)이 배치될 수 있다. 보호막은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다. 보호막은 생략될 수 있다.A protective layer (not shown) may be disposed on the source electrode 123 , the drain electrode 124 , and the data line 125 to insulate the thin film transistor 120 . The passivation layer may be formed of an inorganic layer, for example, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a multilayer thereof. The protective film may be omitted.

층간 절연막(140) 상에는 박막 트랜지스터(120)로 인한 단차를 평탄하게 하기 위한 상기 평탄화막(150)이 배치될 수 있다. 평탄화막(150)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다.The planarization layer 150 may be disposed on the interlayer insulating layer 140 to flatten a level difference caused by the thin film transistor 120 . The planarization layer 150 may be formed of an organic layer such as acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, or polyimide resin. there is.

박막 트랜지스터층(100) 상에는 상기 유기발광소자층(200)이 배치된다. 유기발광소자층(200)은 유기발광소자(210) 및 뱅크(220)를 포함한다.The organic light emitting device layer 200 is disposed on the thin film transistor layer 100 . The organic light emitting diode layer 200 includes an organic light emitting diode 210 and a bank 220 .

상기 유기발광소자(210)와 뱅크(220)는 박막 트랜지스터(120) 및 평탄화막(150) 상에 배치된다. 유기발광소자(210)는 제1 전극(211), 유기 발광층(212), 및 제2 전극(213)을 포함한다.The organic light emitting device 210 and the bank 220 are disposed on the thin film transistor 120 and the planarization layer 150 . The organic light emitting device 210 includes a first electrode 211 , an organic light emitting layer 212 , and a second electrode 213 .

상기 제1 전극(211)은 평탄화막(150) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극(211)은 평탄화막(150)을 관통하는 콘택홀을 통해 박막 트랜지스터(120)의 소스 전극(123)에 접속된다. 제1 전극(211)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), APC 합금, 및 APC 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/APC/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다. APC 합금은 은(Ag), 팔라듐(Pd), 및 구리(Cu)의 합금이다.The first electrode 211 may be disposed on the planarization layer 150 . The first electrode 211 is connected to the source electrode 123 of the thin film transistor 120 through a contact hole passing through the planarization layer 150 . The first electrode 211 includes a stacked structure of aluminum and titanium (Ti/Al/Ti), a stacked structure of aluminum and ITO (ITO/Al/ITO), an APC alloy, and a stacked structure of APC alloy and ITO (ITO/APC /ITO) may be formed of a metal material with high reflectivity. An APC alloy is an alloy of silver (Ag), palladium (Pd), and copper (Cu).

상기 뱅크(220)는 평탄화막(150) 및 제1 전극(211) 상에 배치될 수 있다. 뱅크(220)는 화소들을 구획하기 위해 평탄화막(150) 상에서 제1 전극(211)의 가장자리를 덮도록 배치될 수 있다. 즉, 뱅크(220)는 화소들을 정의하는 화소 정의막으로서 역할을 한다. 뱅크(220)는 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다.The bank 220 may be disposed on the planarization layer 150 and the first electrode 211 . The bank 220 may be disposed to cover an edge of the first electrode 211 on the planarization layer 150 to partition pixels. That is, the bank 220 serves as a pixel defining layer defining pixels. The bank 220 may be formed of an organic layer such as acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, or polyimide resin. .

제1 전극(211)과 뱅크(220) 상에는 상기 유기 발광층(212)이 배치된다. 유기 발광층(212)은 정공 수송층(hole transporting layer), 적어도 하나의 발광층(light emitting layer), 및 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 전극(211)과 제2 전극(213)에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 발광층으로 이동하게 되며, 발광층에서 서로 결합하여 발광하게 된다.The organic emission layer 212 is disposed on the first electrode 211 and the bank 220 . The organic light emitting layer 212 may include a hole transporting layer, at least one light emitting layer, and an electron transporting layer. In this case, when a voltage is applied to the first electrode 211 and the second electrode 213, holes and electrons move to the light emitting layer through the hole transport layer and the electron transport layer, respectively, and combine with each other in the light emitting layer to emit light.

유기 발광층(212)은 백색 광을 발광하는 백색 발광층으로 이루어질 수 있다. 이 경우, 유기 발광층(212)은 제1 전극(211)과 뱅크(220)를 덮도록 배치될 수 있다. 또한, 제2 기판(S2) 상에는 컬러 필터(미도시)가 배치될 수 있다.The organic light emitting layer 212 may be formed of a white light emitting layer emitting white light. In this case, the organic emission layer 212 may be disposed to cover the first electrode 211 and the bank 220 . Also, a color filter (not shown) may be disposed on the second substrate S2.

또는, 유기 발광층(212)은 적색 광을 발광하는 적색 발광층, 녹색 광을 발광하는 녹색 발광층, 또는 청색 광을 발광하는 청색 발광층으로 이루어질 수 있다. 이 경우, 유기 발광층(212)는 제1 전극(211)에 대응되는 영역에 배치될 수 있으며, 제2 기판(S2) 상에는 컬러 필터가 배치되지 않을 수 있다.Alternatively, the organic light emitting layer 212 may include a red light emitting layer emitting red light, a green light emitting layer emitting green light, or a blue light emitting layer emitting blue light. In this case, the organic emission layer 212 may be disposed in an area corresponding to the first electrode 211, and the color filter may not be disposed on the second substrate S2.

상기 제2 전극(213)은 유기 발광층(212) 상에 배치된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 전극(213)은 유기 발광층(212) 상부에서 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련된다.The second electrode 213 is disposed on the organic light emitting layer 212 . The second electrode 213 according to an embodiment of the present invention extends from the top of the organic light emitting layer 212 to the inner side of the through hole CH.

종래에는 관통 홀을 유기 발광 표시 장치의 표시영역에 형성하기 위해서, 관통 홀 형성 영역을 마스크(mask)로 가린 뒤에 제2 전극을 제1 기판 상에 전체적으로 형성하고, 마스크를 고정하기 위해서 가려진 부분에 제2 전극을 다시 형성하였다. 즉, 종래의 유기 발광 표시 장치는 관통 홀이 형성된 주변 영역에 제2 전극을 2회 증착 형성하게 되는데, 공정 상 제2 전극을 1회 증착할 때와 2회 증착할 때에 영역이 겹치도록 형성된다. 따라서, 종래의 유기 발광 표시 장치는 제2 전극의 두께가 불 균일해져 화상 품질이 저하되는 문제점이 있었다.Conventionally, in order to form a through hole in the display area of an organic light emitting display device, after covering the through hole formation area with a mask, the second electrode is formed entirely on the first substrate, and in order to fix the mask, the through hole formation area is covered with a mask. A second electrode was formed again. That is, in a conventional organic light emitting display device, the second electrode is deposited and formed twice in the peripheral area where the through hole is formed. In terms of the process, the second electrode is formed so that the area overlaps when the second electrode is deposited once and deposited twice. . Therefore, in the conventional organic light emitting display device, the thickness of the second electrode is non-uniform, resulting in deterioration in image quality.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 제1 기판(S1)의 일단에 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸는 홈을 형성한 뒤에, 관통 홀 형성 영역(CHA)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 형성한다. 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸는 홈 영역에서 제1 기판(S1)이 끊기게 되므로, 제2 전극(213) 또한 홈 영역에서 끊기게 된다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제2 전극(213)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성에 의해 홈 영역의 내 측면까지 연장되어 마련되며, 관통 홀 형성 영역(CHA)의 제1 기판(S1)을 제거하게 되면, 제2 전극(213)은 관통 홀(CH)의 내 측면까지 마련된다.In order to solve this problem, the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention forms a groove surrounding the through-hole forming area CHA on one end of the first substrate S1, and then forms the through-hole forming area. The second electrode 213 is entirely formed on the display area DA of the first substrate S1 without a process of covering (CHA) with a mask. Since the first substrate S1 is disconnected in the groove area surrounding the through-hole formation area CHA, the second electrode 213 is also disconnected in the groove region. At this time, the second electrode 213 of the organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention extends to the inner side surface of the groove area due to a step coverage characteristic, and extends to the through-hole forming area CHA. When the first substrate S1 is removed, the second electrode 213 is provided up to the inner side of the through hole CH.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 관통 홀 형성 영역(CHA)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 1회만 증착 형성함으로써, 제2 전극(213)의 두께가 불 균일하여 발생하는 화상 품질 저하를 방지할 수 있으며 공정 증가 또한 방지할 수 있다.As described above, the organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention places the second electrode 213 on the display area DA of the first substrate S1 without a process of covering the through hole formation area CHA with a mask. By depositing only once on the entire surface, it is possible to prevent deterioration in image quality caused by non-uniform thickness of the second electrode 213 and also to prevent an increase in the process.

한편, 유기 발광 표시 장치가 상부 발광(top emission) 구조로 형성되는 경우, 제2 전극(213)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material), 또는 마그네슘(Mg), 은(Ag), 또는 마그네슘(Mg)과 은(Ag)의 합금과 같은 반투과 금속물질(Semi-transmissive Conductive Material)로 형성될 수 있다. 제2 전극(213) 상에는 캡핑층(capping layer)이 배치될 수 있다.Meanwhile, when the organic light emitting display device has a top emission structure, the second electrode 213 is a transparent conductive material (TCO) such as ITO or IZO capable of transmitting light, or magnesium. It may be formed of a semi-transmissive conductive material such as (Mg), silver (Ag), or an alloy of magnesium (Mg) and silver (Ag). A capping layer may be disposed on the second electrode 213 .

유기발광소자층(200) 상에는 상기 봉지층(300)이 배치된다. 본 발명의 일 예에 따른 봉지층(300)은 봉지막(310), 및 댐(DAM)을 포함한다.The encapsulation layer 300 is disposed on the organic light emitting diode layer 200 . The encapsulation layer 300 according to an example of the present invention includes an encapsulation film 310 and a dam (DAM).

상기 봉지막(310)은 제2 전극(213) 상에 배치되며, 유기발광소자층(200)을 덮도록 배치되어 유기 발광층(212)과 제2 전극(213)에 산소 또는 수분이 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이를 위해, 봉지막(310)은 적어도 하나의 무기막과 적어도 하나의 유기막을 포함할 수 있다. 예를 들어, 봉지막(310)은 제1 무기막(311), 유기막(312), 및 제2 무기막(313)를 포함할 수 있다.The encapsulation film 310 is disposed on the second electrode 213 and is disposed to cover the organic light emitting diode layer 200 to prevent oxygen or moisture from permeating the organic light emitting layer 212 and the second electrode 213. serves to prevent To this end, the encapsulation layer 310 may include at least one inorganic layer and at least one organic layer. For example, the encapsulation film 310 may include a first inorganic film 311 , an organic film 312 , and a second inorganic film 313 .

제2 전극(213) 상에는 상기 제1 무기막(311)이 배치될 수 있다. 제1 무기막(311)은 제2 전극(213)을 덮도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 무기막(311)은 제2 전극(213) 및 뱅크(220)를 덮으며, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮는다. 제1 무기막(311)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성이 좋기 때문에, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장된 제2 전극(213)을 상부 및 측부를 덮도록 마련된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 무기막(311)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The first inorganic layer 311 may be disposed on the second electrode 213 . The first inorganic layer 311 may be disposed to cover the second electrode 213 . Specifically, the first inorganic layer 311 covers the second electrode 213 and the bank 220 and extends to the inner side of the through hole CH to cover the upper and side portions of the second electrode 213 . Since the first inorganic layer 311 has good step coverage characteristics, it is provided to cover the upper and side portions of the second electrode 213 extending to the inner side of the through hole CH. Therefore, in the organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention, the first inorganic layer 311 extends to the inner side of the through hole CH, so that the second electrode is provided on the inner side of the through hole CH. It is possible to prevent the occurrence of poor moisture permeability due to the cross section of 213 being exposed to the outside.

제1 무기막(311)에서 발생할 수 있는 결함 및 단차를 보상하기 위해서, 제1 무기막(311) 상에는 상기 유기막(312)이 배치된다. 유기막(312)은 이물들(particles)이 제1 무기막(311)을 뚫고 유기 발광층(212)과 제2 전극(213)에 투입되는 것을 방지하며, 단차를 보상하기 위해서 충분한 두께로 형성될 수 있다. 유기막(312)은 잉크젯(inkjet) 공정을 통해서 액상 형태로 기판 상에 도포된 후 경화 공정을 거쳐 형성될 수 있다.In order to compensate for defects and steps that may occur in the first inorganic layer 311 , the organic layer 312 is disposed on the first inorganic layer 311 . The organic layer 312 may be formed to a thickness sufficient to prevent particles from penetrating the first inorganic layer 311 and being injected into the organic light emitting layer 212 and the second electrode 213 and to compensate for the step difference. can The organic layer 312 may be formed through a curing process after being coated on a substrate in a liquid form through an inkjet process.

유기막(312) 상에는 상기 제2 무기막(313)이 배치될 수 있다. 제2 무기막(313)은 유기막(312)을 덮도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 제2 무기막(313)은 유기막(312)을 덮으며, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 제1 무기막(311) 및 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮는다. 제2 무기막(313)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성이 좋기 때문에, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장된 제2 전극(213)을 상부 및 측부를 덮도록 마련된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제2 무기막(313)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The second inorganic layer 313 may be disposed on the organic layer 312 . The second inorganic layer 313 may be disposed to cover the organic layer 312 . Specifically, the second inorganic layer 313 covers the organic layer 312 and extends to the inner side of the through hole CH to form upper and side portions of the first inorganic layer 311 and the second electrode 213. cover Since the second inorganic layer 313 has good step coverage characteristics, it is provided to cover the upper and side portions of the second electrode 213 extending to the inner side of the through hole CH. Therefore, in the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention, the second inorganic layer 313 extends to the inner side of the through hole CH, so that the second electrode is provided on the inner side of the through hole CH. It is possible to prevent the occurrence of poor moisture permeability due to the cross section of 213 being exposed to the outside.

제2 무기막(313)은 하부에 배치되는 유기막(312)에 의해서 결함(defect) 또는 단차가 발생하지 않으며, 따라서 외부의 수분이 장치 내부로 투습되는 경로가 형성되지 않아 표시 장치(10)의 신뢰성 및 품질 저하되는 것을 방지할 수 있다. The second inorganic layer 313 does not have a defect or a level difference due to the organic layer 312 disposed below, and therefore, a path through which external moisture penetrates into the device is not formed, and thus the display device 10 Reliability and quality degradation of can be prevented.

제1 및 제2 무기막들(311, 313) 각각은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 유기막(312)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다.Each of the first and second inorganic layers 311 and 313 may be formed of silicon nitride, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, silicon oxide, aluminum oxide, or titanium oxide. The organic layer 312 may be formed of acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, or polyimide resin.

상기 댐(DAM)은 제1 기판(S1)의 표시영역(DA)에 배치되어 봉지막(310)을 구성하는 유기막(312)의 흐름을 차단한다. 보다 구체적으로, 댐(DAM)은 관통 홀(CH)의 외곽을 둘러싸도록 배치되어 봉지막(310)을 구성하는 유기막(312)의 흐름을 차단할 수 있다. 또한, 댐(DAM)은 유기막(312)의 측면에 배치되어 봉지막(310)을 구성하는 유기막(312)이 관통 홀(CH)로 침범하지 못하도록 유기막(312)의 흐름을 차단할 수 있다. 이를 통해, 댐(DAM)은 유기막(312)이 관통 홀(CH) 내부로 침범하는 것을 방지할 수 있다.The dam DAM is disposed in the display area DA of the first substrate S1 to block the flow of the organic layer 312 constituting the encapsulation layer 310 . More specifically, the dam DAM may be disposed to surround the perimeter of the through hole CH to block the flow of the organic layer 312 constituting the encapsulation layer 310 . In addition, the dam DAM is disposed on the side of the organic film 312 to block the flow of the organic film 312 so that the organic film 312 constituting the encapsulation film 310 does not invade the through hole CH. there is. Through this, the dam DAM may prevent the organic layer 312 from penetrating into the through hole CH.

이러한 본 발명의 일 예에 따른 댐(DAM)은 내부댐(ID) 및 외부댐(OD)을 포함할 수 있다.The dam DAM according to one example of the present invention may include an internal dam ID and an external dam OD.

상기 내부댐(ID)은 유기막(312)에 인접하여 배치되며, 봉지막(310)을 구성하는 유기막(312)의 흐름을 1차적으로 차단할 수 있다.The internal dam ID is disposed adjacent to the organic layer 312 and may primarily block the flow of the organic layer 312 constituting the encapsulation layer 310 .

상기 외부댐(OD)은 내부댐(ID)의 외곽을 둘러싸도록 배치되며, 내부댐(ID)과 서로 이격되어 나란히 배치된다. 이때, 외부댐(OD)과 내부댐(ID) 사이의 간격은 약 30~40um 정도로 매우 좁은 간격을 가질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 외부댐(OD)은 내부댐(ID)의 외곽으로 흘러 넘치는 유기막(312)을 2차적으로 차단할 수 있다. 본 발명의 일 예에 따른 댐(DAM)은 평탄화막(150), 뱅크(220), 및 스페이서를 형성할 때 동시에 형성될 수 있으며, 따라서 별도의 추가 공정 없이 형성될 수 있다.The external dam (OD) is disposed to surround the outer periphery of the internal dam (ID), and is spaced apart from each other and disposed side by side with the internal dam (ID). At this time, the distance between the external dam OD and the internal dam ID may have a very narrow distance of about 30 to 40 μm, but is not limited thereto. The external dam OD may secondarily block the organic film 312 overflowing to the outside of the internal dam ID. The dam (DAM) according to an example of the present invention may be formed simultaneously when the planarization film 150, the bank 220, and the spacer are formed, and thus may be formed without a separate additional process.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이고, 도 7a 내지 도 7g는 본 발명의 일 실시예에 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an exemplary embodiment, and FIGS. 7A to 7G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display according to an exemplary embodiment.

도 6 내지 도 7g에 도시된 단면도들은 전술한 도 5에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 관한 것으로, 동일한 구성에 대해 동일한 도면부호를 부여하였다. 이하에서는 도 6 및 도 7a 내지 도 7g를 결부하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명한다.The cross-sectional views of FIGS. 6 to 7G relate to the manufacturing method of the organic light emitting display device according to the exemplary embodiment of the present invention shown in FIG. Hereinafter, a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7A to 7G .

첫 번째로, 도 7a와 같이, 제1 기판(S1) 상에 박막 트랜지스터(120)를 형성한다. (S601)First, as shown in FIG. 7A , the thin film transistor 120 is formed on the first substrate S1 . (S601)

구체적으로 설명하면, 우선, 제1 기판(111) 상에 버퍼막(110)을 형성하고, 박막 트랜지스터(120)의 액티브층(121)을 형성한다. 보다 구체적으로, 스퍼터링법(Sputtering) 또는 MOCVD법(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 등을 이용하여 제1 기판(111) 상의 전면에 액티브 금속층을 형성한다. 그리고 나서, 포토 레지스트 패턴을 이용한 마스크 공정으로 액티브 금속층을 패터닝하여 액티브층(121)을 형성한다. 액티브층(121)은 실리콘계 반도체 물질 또는 산화물계 반도체 물질로 형성될 수 있다.Specifically, first, the buffer film 110 is formed on the first substrate 111 and the active layer 121 of the thin film transistor 120 is formed. More specifically, an active metal layer is formed on the entire surface of the first substrate 111 using a sputtering method or a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) method. Then, the active metal layer is patterned through a mask process using a photoresist pattern to form the active layer 121 . The active layer 121 may be formed of a silicon-based semiconductor material or an oxide-based semiconductor material.

그런 다음, 액티브층(121) 상에 게이트 절연막(130)을 형성한다. 게이트 절연막(130)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다.Then, a gate insulating layer 130 is formed on the active layer 121 . The gate insulating layer 130 may be formed of an inorganic layer, for example, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a multilayer thereof.

그런 다음, 게이트 절연막(130) 상에 박막 트랜지스터(120)의 게이트 전극(122) 및 게이트 라인을 형성한다. 구체적으로, 스퍼터링법 또는 MOCVD법 등을 이용하여 게이트 절연막(130) 상의 전면(全面)에 제1 금속층을 형성한다. 그 다음, 포토 레지스트 패턴을 이용한 마스크 공정으로 제1 금속층을 패터닝하여 게이트 전극(122) 및 게이트 라인을 형성한다. 게이트 전극(122) 및 게이트 라인은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.Then, the gate electrode 122 and the gate line of the thin film transistor 120 are formed on the gate insulating layer 130 . Specifically, a first metal layer is formed on the entire surface of the gate insulating layer 130 by using a sputtering method or an MOCVD method. Then, the gate electrode 122 and the gate line are formed by patterning the first metal layer through a mask process using a photoresist pattern. The gate electrode 122 and the gate line may be made of any one of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). It may be formed as a single layer or multiple layers made of one or an alloy thereof.

그런 다음, 게이트 전극(122) 상에 층간 절연막(140)을 형성한다. 층간 절연막(140)은 무기막, 예를 들어 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 또는 이들의 다중막으로 형성될 수 있다.Then, an interlayer insulating film 140 is formed on the gate electrode 122 . The interlayer insulating layer 140 may be formed of an inorganic layer, for example, a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a multilayer thereof.

그런 다음, 게이트 절연막(130)과 층간 절연막(140)을 관통하여 액티브층(121)을 노출시키는 컨택홀들과 층간 절연막(140)을 관통하여 게이트 라인을 노출시키는 컨택홀들을 형성한다.Then, contact holes exposing the active layer 121 through the gate insulating layer 130 and the interlayer insulating layer 140 and contact holes exposing the gate line through the interlayer insulating layer 140 are formed.

그런 다음, 층간 절연막(140) 상에 박막 트랜지스터(120)의 소스 및 드레인 전극들(123, 124)을 형성한다. 구체적으로, 스퍼터링법 또는 MOCVD법 등을 이용하여 층간 절연막(140) 상의 전면에 제2 금속층을 형성한다. 그 다음, 포토 레지스트 패턴을 이용한 마스크 공정으로 제2 금속층을 패터닝하여 소스 및 드레인 전극들(123, 124)을 형성한다. 소스 및 드레인 전극들(123, 124) 각각은 게이트 절연막(130)과 층간 절연막(140)을 관통하는 컨택홀을 통해 액티브층(121)에 접속될 수 있다. 소스 및 드레인 전극들(123, 124)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층으로 형성될 수 있다.Then, source and drain electrodes 123 and 124 of the thin film transistor 120 are formed on the interlayer insulating film 140 . Specifically, a second metal layer is formed on the entire surface of the interlayer insulating film 140 by using a sputtering method or an MOCVD method. Next, source and drain electrodes 123 and 124 are formed by patterning the second metal layer through a mask process using a photoresist pattern. Each of the source and drain electrodes 123 and 124 may be connected to the active layer 121 through a contact hole passing through the gate insulating layer 130 and the interlayer insulating layer 140 . The source and drain electrodes 123 and 124 are made of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd), and copper (Cu). It may be formed as a single layer or multiple layers made of any one or an alloy thereof.

두 번째로, 도 7b와 같이, 제1 기판(S1)의 일단에 관통 홀 형성 영역(CHA) 주변을 둘러싸는 홈(SH)을 형성한다. (S602)Second, as shown in FIG. 7B , a groove SH surrounding the through-hole formation region CHA is formed on one end of the first substrate S1. (S602)

세 번째로, 도 7c와 같이, 박막 트랜지스터(120)와 전기적으로 연결되는 제1 전극(211)을 형성한다. (S603)Thirdly, as shown in FIG. 7C , a first electrode 211 electrically connected to the thin film transistor 120 is formed. (S603)

우선, 박막 트랜지스터(120)의 소스 및 드레인 전극들(123, 124) 상에 박막 트랜지스터(120)로 인한 단차를 평탄화하기 위한 평탄화막(150)을 형성한다. 평탄화막(150)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다.First, a planarization film 150 is formed on the source and drain electrodes 123 and 124 of the thin film transistor 120 to flatten a level difference caused by the thin film transistor 120 . The planarization layer 150 may be formed of an organic layer such as acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, or polyimide resin. there is.

그런 다음, 평탄화막(150) 상에 평탄화막(150) 상에 유기발광소자(210)의 제1 전극(211)을 형성한다. 구체적으로, 스퍼터링법 또는 MOCVD법 등을 이용하여 평탄화막(150) 상의 전면에 제3 금속층을 형성한다. 그리고 나서, 포토 레지스트 패턴을 이용한 마스크 공정으로 제3 금속층을 패터닝하여 제1 전극(211)을 형성한다. 제1 전극(211)은 평탄화막(150)을 관통하는 컨택홀을 통해 박막 트랜지스터(120)의 소스 전극(213)에 접속될 수 있다. 제1 전극(211)은 알루미늄과 티타늄의 적층 구조(Ti/Al/Ti), 알루미늄과 ITO의 적층 구조(ITO/Al/ITO), APC 합금, 및 APC 합금과 ITO의 적층 구조(ITO/APC/ITO)과 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성될 수 있다.Then, the first electrode 211 of the organic light emitting device 210 is formed on the planarization layer 150 . Specifically, a third metal layer is formed on the entire surface of the planarization layer 150 using a sputtering method or an MOCVD method. Then, the first electrode 211 is formed by patterning the third metal layer through a mask process using a photoresist pattern. The first electrode 211 may be connected to the source electrode 213 of the thin film transistor 120 through a contact hole passing through the planarization layer 150 . The first electrode 211 includes a stacked structure of aluminum and titanium (Ti/Al/Ti), a stacked structure of aluminum and ITO (ITO/Al/ITO), an APC alloy, and a stacked structure of APC alloy and ITO (ITO/APC /ITO) may be formed of a metal material having high reflectivity.

네 번째로, 도 7d와 같이, 제1 전극(211) 상에 유기 발광층(212)을 형성한다. (S604)Fourth, as shown in FIG. 7D , an organic emission layer 212 is formed on the first electrode 211 . (S604)

우선, 화소들을 구획하기 위해 평탄화막(150) 상에서 제1 전극(211)의 가장자리를 덮도록 뱅크(220)를 형성하고, 이와 함께 댐(DAM)을 형성한다. 이때, 댐(DAM)은 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸도록 형성된다. 댐(DAM) 및 뱅크(220) 각각은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin) 등의 유기막으로 형성될 수 있다.First, a bank 220 is formed to cover the edge of the first electrode 211 on the planarization film 150 to partition pixels, and a dam DAM is formed therewith. At this time, the dam DAM is formed to surround the through-hole forming area CHA. Each of the dam (DAM) and the bank 220 is an organic resin such as acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, or polyimide resin. It can be formed into a film.

한편, 댐(DAM)이 뱅크(220)와 동시에 형성되는 것으로 설명하고 있으나, 이에 한정되지 않으며, 댐(DAM)은 평탄화막(150)과 동시에 형성될 수도 있다.Meanwhile, although it has been described that the dam DAM is formed simultaneously with the bank 220 , it is not limited thereto, and the dam DAM may be formed simultaneously with the planarization film 150 .

그런 다음, 제1 전극(211)과 뱅크(220) 상에 유기 발광층(212)을 증착 공정 또는 용액 공정으로 형성한다.Then, the organic emission layer 212 is formed on the first electrode 211 and the bank 220 by a deposition process or a solution process.

네 번째로, 도 7e와 같이, 관통 홀 형성 영역(CHA) 및 유기 발광층(212) 상에 제2 전극(213)을 형성한다. (S605)Fourth, as shown in FIG. 7E , the second electrode 213 is formed on the through hole formation region CHA and the organic emission layer 212 . (S605)

제2 전극(213)은 화소들에 공통적으로 형성되는 공통층일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 전극(213)은 유기 발광층(212) 상부에서 홈(SH)의 내 측면, 즉, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련된다.The second electrode 213 may be a common layer commonly formed in pixels. The second electrode 213 according to an embodiment of the present invention extends from the top of the organic light emitting layer 212 to the inner side of the groove SH, that is, to the inner side of the through hole CH.

종래에는 관통 홀을 유기 발광 표시 장치의 표시영역에 형성하기 위해서, 관통 홀 형성 영역을 마스크(mask)로 가린 뒤에 제2 전극을 제1 기판 상에 전체적으로 형성하고, 마스크를 고정하기 위해서 가려진 부분에 제2 전극을 다시 형성하였다. 즉, 종래의 유기 발광 표시 장치는 관통 홀이 형성된 주변 영역에 제2 전극을 2회 증착 형성하게 되는데, 공정 상 제2 전극을 1회 증착할 때와 2회 증착할 때에 영역이 겹치도록 형성된다. 따라서, 종래의 유기 발광 표시 장치는 제2 전극의 두께가 불 균일해져 화상 품질이 저하되는 문제점이 있었다.Conventionally, in order to form a through hole in the display area of an organic light emitting display device, after covering the through hole formation area with a mask, the second electrode is formed entirely on the first substrate, and in order to fix the mask, the through hole formation area is covered with a mask. A second electrode was formed again. That is, in a conventional organic light emitting display device, the second electrode is deposited and formed twice in the peripheral area where the through hole is formed. In terms of the process, the second electrode is formed so that the area overlaps when the second electrode is deposited once and deposited twice. . Therefore, in the conventional organic light emitting display device, the thickness of the second electrode is non-uniform, resulting in deterioration in image quality.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 제1 기판(S1)의 일단에 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸는 홈(SH)을 형성한 뒤에, 관통 홀 형성 영역(CHA)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 형성한다. 관통 홀 형성 영역(CHA)을 둘러싸는 홈(SH) 영역에서 제1 기판(S1)이 끊기게 되므로, 제2 전극(213) 또한 홈 영역에서 끊기게 된다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제2 전극(213)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성에 의해 홈 영역의 내 측면까지 연장되어 마련되며, 관통 홀 형성 영역(CHA)의 제1 기판(S1)을 제거하게 되면, 제2 전극(213)은 관통 홀(CH)의 내 측면까지 마련된다.In order to solve this problem, the organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention forms a groove SH surrounding the through-hole formation area CHA on one end of the first substrate S1, and then penetrates the first substrate S1. The second electrode 213 is entirely formed on the display area DA of the first substrate S1 without a process of covering the hole formation area CHA with a mask. Since the first substrate S1 is disconnected in the groove SH area surrounding the through hole forming area CHA, the second electrode 213 is also disconnected in the groove area. At this time, the second electrode 213 of the organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention extends to the inner side surface of the groove area due to a step coverage characteristic, and extends to the through-hole forming area CHA. When the first substrate S1 is removed, the second electrode 213 is provided up to the inner side of the through hole CH.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 관통 홀 형성 영역(CHA)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 1회만 증착 형성함으로써, 제2 전극(213)의 두께가 불 균일하여 발생하는 화상 품질 저하를 방지할 수 있으며 공정 증가 또한 방지할 수 있다.As described above, the organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention places the second electrode 213 on the display area DA of the first substrate S1 without a process of covering the through hole formation area CHA with a mask. By depositing only once on the entire surface, it is possible to prevent deterioration in image quality caused by non-uniform thickness of the second electrode 213 and also to prevent an increase in the process.

제2 전극(213)은 광을 투과시킬 수 있는 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질(TCO, Transparent Conductive Material)로 형성될 수 있다. 제2 전극(213)은 스퍼터링법과 같은 물리적 기상 증착법(physics vapor deposition)으로 형성될 수 있다. 제2 전극(213) 상에는 캡핑층(capping layer)이 형성될 수 있다.The second electrode 213 may be formed of a transparent conductive material (TCO) such as ITO or IZO capable of transmitting light. The second electrode 213 may be formed by physical vapor deposition such as sputtering. A capping layer may be formed on the second electrode 213 .

다섯 번째로, 도 7f와 같이, 제2 전극(213)을 덮는 봉지막(310)을 형성한다. (S606)Fifthly, as shown in FIG. 7F , an encapsulation film 310 covering the second electrode 213 is formed. (S606)

유기발광소자층(200) 상에 봉지층(300)을 형성한다. 구체적으로 설명하면, 유기발광소자층(200)을 덮도록 제1 무기막(311), 유기막(312), 및 제2 무기막(313)을 차례로 형성한다.An encapsulation layer 300 is formed on the organic light emitting diode layer 200 . Specifically, a first inorganic layer 311 , an organic layer 312 , and a second inorganic layer 313 are sequentially formed to cover the organic light emitting device layer 200 .

우선, 평탄화막(150), 뱅크(220), 및 제2 전극(213)을 덮도록 제1 무기막(311)을 형성한다. 구체적으로, 제1 무기막(311)은 제2 전극(213) 및 뱅크(220)를 덮으며, 관통 홈(SH)의 내 측면까지 연장되어 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮는다. 제1 무기막(311)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성이 좋기 때문에, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장된 제2 전극(213)을 상부 및 측부를 덮도록 마련된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 무기막(311)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.First, a first inorganic layer 311 is formed to cover the planarization layer 150 , the bank 220 , and the second electrode 213 . Specifically, the first inorganic layer 311 covers the second electrode 213 and the bank 220 and extends to the inner side of the through groove SH to cover the upper and side portions of the second electrode 213 . Since the first inorganic layer 311 has good step coverage characteristics, it is provided to cover the upper and side portions of the second electrode 213 extending to the inner side of the through hole CH. Therefore, in the organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention, the first inorganic layer 311 extends to the inner side of the through hole CH, so that the second electrode is provided on the inner side of the through hole CH. It is possible to prevent the occurrence of poor moisture permeability due to the cross section of 213 being exposed to the outside.

그런 다음, 제1 무기막(311) 상에 유기막(312)을 형성한다. 유기막(312)은 제1 무기막(311)을 덮도록 형성된다. 유기막(312)은 이물들(particles)이 제1 무기막(311)을 뚫고 유기 발광층(212)과 제2 전극(213)에 투입되는 것을 방지하기 위해 충분한 두께로 형성되는 것이 바람직하다.Then, an organic layer 312 is formed on the first inorganic layer 311 . The organic layer 312 is formed to cover the first inorganic layer 311 . The organic layer 312 is preferably formed to a thickness sufficient to prevent particles from penetrating the first inorganic layer 311 and being injected into the organic emission layer 212 and the second electrode 213 .

그런 다음, 제2 무기막(313)은 유기막(312)을 덮도록 형성된다. 구체적으로, 제2 무기막(313)은 유기막(312)을 덮으며, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 제1 무기막(311) 및 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮는다. 제2 무기막(313)은 스탭 커버리지(step coverage) 특성이 좋기 때문에, 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장된 제2 전극(213)의 상부 및 측부를 덮도록 마련된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제2 무기막(313)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Then, the second inorganic layer 313 is formed to cover the organic layer 312 . Specifically, the second inorganic layer 313 covers the organic layer 312 and extends to the inner side of the through hole CH to form upper and side portions of the first inorganic layer 311 and the second electrode 213. cover Since the second inorganic layer 313 has good step coverage characteristics, it is provided to cover the upper and side portions of the second electrode 213 extending to the inner side of the through hole CH. Therefore, in the organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention, the second inorganic layer 313 extends to the inner side of the through hole CH, so that the second electrode is provided on the inner side of the through hole CH. It is possible to prevent the occurrence of poor moisture permeability due to the cross section of 213 being exposed to the outside.

제1 및 제2 무기막들(311, 313) 각각은 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘옥시나이트라이드, 알루미늄 산화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 또는 티타늄 산화물로 형성될 수 있다. 유기막(312)은 아크릴 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드 수지(polyamide resin) 또는 폴리이미드 수지(polyimide resin)로 형성될 수 있다.Each of the first and second inorganic layers 311 and 313 may be formed of silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, aluminum oxide, aluminum nitride, zirconium nitride, titanium nitride, hafnium nitride, tantalum nitride, or titanium oxide. can The organic layer 312 may be formed of acrylic resin, epoxy resin, phenolic resin, polyamide resin, or polyimide resin.

여섯 번째로, 도 7g와 같이, 관통 홀 형성 영역(CHA) 내에 제1 기판(S1)을 제거하여 관통 홀(CH)을 형성한다. (S607)Sixthly, as shown in FIG. 7G , the through hole CH is formed by removing the first substrate S1 in the through hole formation region CHA. (S607)

관통 홀 형성 영역(CHA)의 제1 기판(S1) 상에는 제2 전극(213), 제1 무기막(311), 및 제2 무기막(313)이 형성될 수 있다. 홈(SH) 안쪽에 형성된 제1 기판(S1)을 제거함으로써, 관통 홀 형성 영역(CHA) 내에 관통 홀(CH)을 형성한다.A second electrode 213 , a first inorganic layer 311 , and a second inorganic layer 313 may be formed on the first substrate S1 of the through hole formation area CHA. The through hole CH is formed in the through hole forming region CHA by removing the first substrate S1 formed inside the groove SH.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 관통 홀(CH)을 마스크로 가리는 공정 없이, 제2 전극(213)을 제1 기판(S1)의 표시영역(DA) 상에 전체적으로 형성함으로써, 제2 전극(213)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련되며, 제2 전극(213)을 1회만 증착 형성함으로써, 제2 전극(213)의 두께가 불 균일하여 발생하는 화상 품질 저하를 방지할 수 있으며 공정 증가 또한 방지할 수 있다.In the organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment of the present invention, the second electrode 213 is entirely formed on the display area DA of the first substrate S1 without a process of covering the through hole CH with a mask. The second electrode 213 extends to the inner side of the through hole CH, and by depositing the second electrode 213 only once, image quality caused by non-uniform thickness of the second electrode 213 Deterioration can be prevented, and process increase can also be prevented.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 제1 및 제2 무기막(311, 313)이 관통 홀(CH)의 내 측면까지 연장되어 마련됨으로써, 관통 홀(CH)의 내 측면에 마련된 제2 전극(213)의 단면이 외부로 노출되어 투습 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention, the first and second inorganic layers 311 and 313 extend to the inner side of the through hole CH, so that the inner side of the through hole CH Poor moisture permeability may be prevented from being exposed to the outside of the second electrode 213 provided thereon.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구 범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and may be variously modified and implemented without departing from the technical spirit of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. The protection scope of the present invention should be construed according to the scope of the claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

10: 표시 패널 11: 게이트 구동부
12: 소스 드라이브 IC 13: 연성필름
14: 회로보드 15: 타이밍 제어부
S1: 제1 기판 S2: 제2 기판
20: 편광판 30: 프레임
40: 커버부재 100: 박막 트랜지스터층
110: 버퍼막 120: 박막 트랜지스터
121: 액티브층 122: 게이트 전극
123: 소스 전극 124: 드레인 전극
130: 게이트 절연막 140: 층간 절연막
150: 평탄화막 200: 유기발광소자층
210: 유기발광소자 211: 제1 전극
212: 유기 발광층 213: 제2 전극
220: 뱅크 300: 봉지층
310: 봉지막 311: 제1 무기막
312: 유기막 313: 제2 무기막
DAM: 댐 ID: 내부댐
OD: 외부댐
10: display panel 11: gate driver
12: source drive IC 13: flexible film
14: circuit board 15: timing control unit
S1: first substrate S2: second substrate
20: polarizer 30: frame
40: cover member 100: thin film transistor layer
110: buffer film 120: thin film transistor
121: active layer 122: gate electrode
123: source electrode 124: drain electrode
130: gate insulating film 140: interlayer insulating film
150: planarization film 200: organic light emitting element layer
210: organic light emitting device 211: first electrode
212: organic light emitting layer 213: second electrode
220: bank 300: encapsulation layer
310: encapsulation film 311: first inorganic film
312: organic layer 313: second inorganic layer
DAM: Dam ID: Internal Dam
OD: external dam

Claims (10)

화소들이 배치된 표시영역, 및 상기 표시영역을 둘러싸는 비 표시영역을 포함하는 제1 기판;
상기 제1 기판 상에 배치된 제1 전극;
상기 제1 전극 상에 배치된 유기 발광층;
상기 유기 발광층 상에 배치된 제2 전극; 및
상기 제1 전극, 상기 유기 발광층, 및 상기 제2 전극을 덮는 봉지막을 포함하고,
상기 제1 기판은 일단에 관통 홀을 가지며, 상기 제2 전극은 상기 관통 홀의 내 측면까지 형성되고,
상기 봉지막은 상기 관통 홀의 내 측면까지 형성된 상기 제2 전극을 덮도록 형성된 유기 발광 표시 장치.
a first substrate including a display area in which pixels are disposed, and a non-display area surrounding the display area;
a first electrode disposed on the first substrate;
an organic light emitting layer disposed on the first electrode;
a second electrode disposed on the organic light emitting layer; and
An encapsulation film covering the first electrode, the organic light emitting layer, and the second electrode,
The first substrate has a through hole at one end, and the second electrode is formed to an inner side of the through hole,
The encapsulation film is formed to cover the second electrode formed up to the inner side of the through hole.
제 1 항에 있어서,
상기 관통 홀은 상기 제1 기판의 표시영역에 마련된 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The through hole is provided in the display area of the first substrate.
제 1 항에 있어서,
상기 관통 홀을 둘러싸는 상기 제 1 기판은 벤딩되지 않는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The organic light emitting display device of claim 1 , wherein the first substrate surrounding the through hole is not bent.
제 1 항에 있어서,
상기 봉지막은 제1 무기막, 상기 제1 무기막 상에 배치되는 유기막, 및 상기 유기막을 덮는 제2 무기막을 포함하며,
상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막은 상기 제2 전극의 상부 및 측부를 덮는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The encapsulation film includes a first inorganic film, an organic film disposed on the first inorganic film, and a second inorganic film covering the organic film,
The first inorganic layer and the second inorganic layer cover upper and side portions of the second electrode.
제 1 항에 있어서,
상기 봉지막은 제1 무기막, 상기 제1 무기막 상에 배치되는 유기막, 및 상기 유기막을 덮는 제2 무기막을 포함하며,
상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막은 상기 관통 홀의 내 측면까지 마련된 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The encapsulation film includes a first inorganic film, an organic film disposed on the first inorganic film, and a second inorganic film covering the organic film,
The first inorganic layer and the second inorganic layer are provided up to inner side surfaces of the through hole.
제 1 항에 있어서,
상기 봉지막은 제1 무기막, 상기 제1 무기막 상에 배치되는 유기막, 및 상기 유기막을 덮는 제2 무기막을 포함하며,
상기 유기막 측면에 배치되며, 상기 관통 홀을 둘러싸는 댐을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.
According to claim 1,
The encapsulation film includes a first inorganic film, an organic film disposed on the first inorganic film, and a second inorganic film covering the organic film,
The organic light emitting diode display further includes a dam disposed on a side surface of the organic layer and surrounding the through hole.
제 6 항에 있어서,
상기 댐은 상기 제1 기판의 표시영역에 마련된 유기 발광 표시 장치.
According to claim 6,
The dam is provided in the display area of the first substrate.
제1 기판 상에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;
상기 제1 기판의 일단에 관통 홀 형성 영역 주변을 둘러싸는 홈을 형성하는 단계;
상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되는 제1 전극을 형성하는 단계;
상기 제1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계;
상기 관통 홀 형성 영역 및 상기 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계;
상기 제2 전극을 덮는 봉지막을 형성하는 단계; 및
상기 홈에 의해 둘러싸인 상기 관통 홀 형성 영역의 상기 제1 기판을 제거하여 관통 홀을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 관통 홀 형성 영역 및 상기 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계는 상기 제2 전극이 상기 홈의 내 측면에서 끊기도록 상기 관통 홀 형성 영역을 마스크로 가리는 공정 없이 상기 제2 전극을 상기 제1 기판 상에 1회만 전체적으로 형성하는 단계를 포함하고,
상기 제2 전극을 덮는 봉지막을 형성하는 단계는 상기 홈의 내 측면에서 끊긴 상기 제2 전극을 덮도록 상기 봉지막이 상기 홈의 내 측면까지 연장되어 형성되는 단계를 포함하고,
상기 제2 전극은 상기 관통 홀의 내 측면까지 형성되고,
상기 봉지막은 상기 관통 홀의 내 측면까지 형성된 상기 제2 전극을 덮도록 형성된 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
Forming a thin film transistor on a first substrate;
forming a groove surrounding a through-hole forming region on one end of the first substrate;
forming a first electrode electrically connected to the thin film transistor;
forming an organic light emitting layer on the first electrode;
forming a second electrode on the through-hole forming region and the organic light emitting layer;
forming an encapsulation film covering the second electrode; and
forming a through hole by removing the first substrate in the through hole forming region surrounded by the groove;
The step of forming the second electrode on the through-hole forming region and the organic light-emitting layer may include the second electrode being cut off at the inner side of the groove without a process of covering the through-hole forming region with a mask. Including the step of entirely forming only once on one substrate,
Forming the encapsulation film covering the second electrode includes forming the encapsulation film extending to the inner side surface of the groove so as to cover the second electrode disconnected from the inner side surface of the groove,
The second electrode is formed to the inner side of the through hole,
The method of claim 1 , wherein the encapsulation film is formed to cover the second electrode formed up to the inner side of the through hole.
삭제delete 제 8 항에 있어서,
상기 봉지막은 제1 무기막, 상기 제1 무기막 상에 배치되는 유기막, 및 상기 유기막을 덮는 제2 무기막을 포함하며,
상기 관통 홀을 형성하는 단계 이전에,
상기 관통 홀 형성 영역의 제1 기판 상에는 상기 제2 전극, 상기 제1 무기막, 및 상기 제2 무기막이 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
According to claim 8,
The encapsulation film includes a first inorganic film, an organic film disposed on the first inorganic film, and a second inorganic film covering the organic film,
Before forming the through hole,
The method of claim 1 , wherein the second electrode, the first inorganic layer, and the second inorganic layer are formed on the first substrate in the through-hole forming region.
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