KR102460392B1 - Continuous automated manufacturing system of photomask storage and protective case - Google Patents

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KR102460392B1 KR1020220066533A KR20220066533A KR102460392B1 KR 102460392 B1 KR102460392 B1 KR 102460392B1 KR 1020220066533 A KR1020220066533 A KR 1020220066533A KR 20220066533 A KR20220066533 A KR 20220066533A KR 102460392 B1 KR102460392 B1 KR 102460392B1
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박주현
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Abstract

The present invention relates to a continuous automated manufacturing system for photomask storage and protective cases, capable of minimizing bonding defects occurred in a bonding process during a manufacturing process of protective cases, and at the same time, significantly increasing the daily production. After a cover (A) and a main body (B) constituting a photomask storage and protection case processed on a CNC or MCT machine tool are divided into groups, each part divided by group is gripped by a multi-axis robot (31) for assembly that rotates 360° and is bonded and fixed in a room (32) having a constant temperature and humidity room function, to complete the cover (A) and the main body (B), wherein a series of processes are controlled through a control unit (300) and are continuously and repeatedly performed.

Description

포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템{Continuous automated manufacturing system of photomask storage and protective case}Continuous automated manufacturing system of photomask storage and protective case

본 발명은 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템에 관한 것으로 더욱 상세히는 보호 케이스의 제조 과정 중 접착 공정에서 발생 되었던 접착 불량을 최소화함과 동시에 1일 생산량을 대폭 증대시킬 수 있는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a photomask storage and continuous automated manufacturing system of a protective case, and more particularly, a photomask storage that can significantly increase daily production while minimizing adhesion defects that occurred in the bonding process during the manufacturing process of the protective case and to a continuous automated manufacturing system of the protective case.

OLED, QLED 등 LCD 반도체 공정에 필수로 사용되는 핵심 소재인 포토 마스크는 엔지니어가 설계한 전자회로를 노광 시스템을 이용해 석영 기판 위에 형상화한 부품으로 회로가 새겨진 포토 마스크를 감광액이 입혀진 반도체 원판인 웨이퍼나 LCD 유리기판 위에 놓고 빛을 쪼이면 빛이 통과해 닿은 부분만 화학반응이 일어나면서 반도체 칩과 LCD 유리기판 위에 회로 패턴이 형성된다.A photomask, a core material essential for LCD semiconductor processes such as OLED and QLED, is a component that shapes an electronic circuit designed by an engineer on a quartz substrate using an exposure system. When it is placed on an LCD glass substrate and irradiated with light, a chemical reaction occurs only in the part that the light passes through and touches, forming a circuit pattern on the semiconductor chip and the LCD glass substrate.

노광 공정으로 불리는 이 과정은 기본적으로 사진을 인화하는 과정과 같기 때문에 여기서 포토 마스크라는 이름이 유래 되었고, 피사체가 담긴 필름으로 사진을 현상하는 것과 마찬가지로 포토 마스크는 반도체나 LCD를 제작할 때 필름과도 같은 역할을 한다. 그렇기 때문에, 포토 마스크의 품질은 반도체 집적도와 LCD 해상도 등을 좌우할 만큼 매우 중요하다.This process, called the exposure process, is basically the same as the process of printing a photo, so the name of the photo mask is derived from it. Just like developing a photo with a film containing a subject, a photo mask is the same as a film when manufacturing semiconductors or LCDs. play a role Therefore, the quality of the photomask is very important enough to influence the degree of semiconductor integration and LCD resolution.

이러한 포토 마스크 한 장의 가격은 수억 원대이기 때문에 보관 및 운반하는 과정이 만만치 않을뿐더러 수출을 할 때에는 더욱 주의를 해야 함에 따라 포토 마스크는 이송 시스템에서 물리적으로 운반을 하며, 이 과정에서 과도한 접촉이 발생할 수 있고 이탈되어 나온 나노 크기의 파티클(particle)이 수율을 하락시키는 원인이 될 수 있다.Since the price of one such photo mask is in the hundreds of millions of won, the process of storage and transport is not easy, and as we need to be more careful when exporting, the photo mask is physically transported in the transport system, and excessive contact may occur during this process. Nano-sized particles that come out and come out may cause a decrease in the yield.

상기와 같은 부품의 특성에 따라 포토 마스크는 전용 케이스에 포장된 상태로 운반 및 보관을 하였으며, 지금까지의 운반 및 보관 케이스는 전체 공정을 숙련공의 수작업에 의존하였기 때문에 불량률이 높을 뿐 아니라, 1일 생산량이 현저히 낮아 공급이 수요를 따라갈 수 없는 등 여러 복합적인 문제점이 발생 되었다.According to the characteristics of the parts as described above, the photomask was transported and stored in a state of being packaged in a dedicated case. In the case of transport and storage so far, the entire process relied on the manual work of skilled workers, so the defect rate was high and one day Due to the remarkably low production volume, several complex problems occurred, such as supply unable to keep up with demand.

1. 공개실용신안 제20-2000-0006949호(고안의 명칭 : 반도체 포토 마스크 보관 케이스)1. Public Utility Model No. 20-2000-0006949 (Name of design: semiconductor photomask storage case) 2. 공개특허 제10-2009-0113393호(발명의 명칭 : 포토 마스크 케이스의 구조)2. Patent Publication No. 10-2009-0113393 (Title of the Invention: Structure of Photo Mask Case) 3. 특허등록 제10-1700092호(발명의 명칭 : 포토 마스크 운반 트레이용 케이스의 제조방법)3. Patent Registration No. 10-1700092 (Title of the invention: Manufacturing method of case for photo mask transport tray) 4. 특허등록 제10-2301059호(발명의 명칭 : 포토 마스크 제조방법 및 그 시스템, 그리고 상기 제조방법에 따라 제조된 포토 마스크)4. Patent Registration No. 10-2301059 (Title of the invention: photomask manufacturing method and system, and photomask manufactured according to the manufacturing method)

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 보호 케이스의 제조 과정 중 접착 공정에서 발생 되었던 접착 불량을 최소화함과 동시에 1일 생산량을 대폭 증대시킬 수 있는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.Therefore, the present invention has been devised to solve the above problems, and it is possible to minimize the adhesion failure that occurred in the bonding process during the manufacturing process of the protective case and at the same time to greatly increase the daily production volume and the continuous storage of the protective case. An object of the present invention is to provide an automated manufacturing system.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본원 발명의 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템은 CNC 또는 MCT 공작 기계에서 가공된 포토 마스크 보관 및 보호 케이스 중 커버(A)를 구성하는 커버 베이스 패널(A-1)이 제1이송 컨베이어(11)를 통해 순차적으로 커버 어셈블리부(30)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치되는 커버 베이스 패널 공급부(10)와, 상기 커버 베이스 패널(A-1)의 상단에 접착 고정되는 그룹별 부품이 제2이송 컨베이어(62)를 통해 순차적으로 커버 어셈블리부(30)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치되는 그룹별 부품 공급부(20)와,
항온항습기능이 설치된 룸(32)이 마련되며, 그 내부에 설치된 360°로 회전하는 조립용 다축 로봇(31)이 그룹별 부품 공급부(20)에 안착 된 부품을 파지하여 커버 베이스 패널(A-1)의 상단에 접착제로 순차 접착고정하면서 커버(A)를 조립 완성 시키고 완성 후에는 제3이송 컨베이어(33)에 안착시켜 양생부(40)로 이송시키는 커버 어셈블리부(30)와, 상기 커버 어셈블리부(30)에서 완성된 보호 케이스 커버(A)를 소정의 시간동안 양생을 시키는 커버 양생부(40)와, 양생 된 커버를 제3이송 컨베이어(33)를 통해 배출시키는 배출부(50)와, CNC 또는 MCT 공작 기계에서 가공된 포토 마스크 보관 및 보호 케이스 중 본체(B)를 구성하는 본체 베이스 패널(B-1)이 제1이송 컨베이어(111)를 통해 순차적으로 본체 어셈블리부(130)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치되는 베이스 패널 공급부(110)와, 상기 본체 베이스 패널(B-1)의 상단에 접착 고정되는 그룹별 부품이 제2이송 컨베이어(162)를 통해 순차적으로 본체 어셈블리부(130)로 이송공급되며, 항온항습기능이 설치된 룸(32)이 마련되며, 그 내부에 설치된 360°로 회전하는 조립용 다축 로봇(31)이 그룹별 부품 공급부(120)에 안착 된 부품을 파지하여 본체 베이스 패널(B-1)의 상단에 접착제로 순차 접착고정하면서 본체(B)를 조립 완성 시키고 완성 후에는 제3이송 컨베이어(133)에 안착시켜 본체 양생부(140)로 이송시키는 본체 어셈블리부(130)와, 상기 본체 어셈블리부(130)에서 완성된 보호 케이스 본체(B)를 소정의 시간 동안 양생을 시키는 본체 양생부(140)와, 양생 된 본체를 제3이송 컨베이어(133)를 통해 배출시키는 배출부(150)와, 상기 상기 베이스 패널 공급부(10)와, 그룹별 부품 공급부(20)와, 커버 어셈블리부(30)와, 커버 양생부(40)와, 배출부(50)와, 베이스 패널 공급부(110)와, 그룹별 부품 공급부(120)와, 본체 어셈블리부(130)와, 본체 양생부(140)와, 배출부(150) 간에는 하나 이상의 센서(200)가 장착고정되며, 센서(200)와 연계하여 각 공정의 동작을 일괄적으로 제어하는 제어부(300)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The continuous automated manufacturing system of the photomask storage and protection case of the present invention for achieving the above object is a cover base panel (A) constituting the cover (A) of the photomask storage and protection case processed in a CNC or MCT machine tool -1) is sequentially transferred and supplied to the cover assembly unit 30 through the first transfer conveyor 11, and a cover base panel supply unit 10 disposed inside a room 32 having a constant temperature and humidity room function; The parts for each group that are adhesively fixed to the upper end of the cover base panel (A-1) are sequentially transferred and supplied to the cover assembly unit 30 through the second transfer conveyor 62, and a room 32 having a constant temperature and humidity room function. A component supply unit 20 for each group disposed therein, and
A room 32 equipped with a constant temperature and humidity function is provided, and a multi-axis robot 31 for assembling that rotates at 360° installed therein grips the parts seated in the parts supply unit 20 for each group and covers the base panel (A- 1) The cover assembly part 30 is transferred to the curing part 40 by being seated on the third transfer conveyor 33 after completion of assembling the cover (A) while sequentially bonding and fixing it with an adhesive on the top of 1), and the cover A cover curing unit 40 for curing the protective case cover (A) completed in the assembly unit 30 for a predetermined time, and a discharging unit 50 for discharging the cured cover through the third transfer conveyor 33 . And, the main body base panel (B-1) constituting the main body (B) of the photomask storage and protection case processed in the CNC or MCT machine tool sequentially through the first transfer conveyor 111 to the body assembly unit 130 The base panel supply unit 110 which is transported and supplied to the room 32 having a constant temperature and humidity room function, and the group-specific parts that are adhesively fixed to the upper end of the main body base panel B-1 are transferred to the second conveyor. It is sequentially transferred and supplied to the body assembly unit 130 through 162, and a room 32 with a constant temperature and humidity function is provided, and a multi-axis robot 31 for assembling 360 degrees installed therein rotates by group. Gripping the parts seated in the parts supply unit 120 and sequentially bonding and fixing them with an adhesive on the top of the main body base panel (B-1), complete the assembly of the main body (B), and after completion, it is seated on the third transfer conveyor 133 The main body assembly unit 130 for transferring to the main body curing unit 140, the body curing unit 140 for curing the protective case body (B) completed in the main body assembly unit 130 for a predetermined time, and curing. A discharging unit 150 for discharging the main body through the third transfer conveyor 133 , the base panel supply unit 10 , the group component supply unit 20 , the cover assembly unit 30 , and the cover curing A unit 40, a discharge unit 50, a base panel supply unit 110, and a group-specific component supply unit 120, One or more sensors 200 are mounted and fixed between the body assembly unit 130, the body curing unit 140, and the discharge unit 150, and the operation of each process is collectively controlled in connection with the sensor 200. It is characterized in that it is configured to include a control unit (300).

이때 상기 그룹별 부품 공급부(20) 일측에는 커버(A)를 구성하는 부품이 그룹별로 트레이(61)에 정렬 배치된 상태로 제2이송 컨베이어(62)를 통해 부품 접착 고정부(20)로 이송 공급될 수 있도록 정렬 배치부(60)가 마련되며, 상기 제2이송 컨베이어(62)의 일측에는 트레이(61)에 안착 된 상태로 제2이송 컨베이어(62)를 통해 이송된 그룹별 부품을 360°로 회전하는 커버 접착용 다축 로봇(71)이 파지하여 그룹별 부품을 하나의 부품으로 접착 고정 시키는 부품 접착 고정부(70)가 구성되는 것을 특징으로 한다.At this time, the parts constituting the cover (A) on one side of the part supply unit 20 for each group are transferred to the part adhesion fixing part 20 through the second transfer conveyor 62 in a state in which they are aligned and arranged on the tray 61 for each group. An alignment arrangement unit 60 is provided so as to be supplied, and on one side of the second transfer conveyor 62, the parts for each group transferred through the second transfer conveyor 62 in a state of being seated on the tray 61 are 360 It is characterized in that the part adhesion fixing part 70 for fixing the parts for each group as one part by gripping the multi-axis robot 71 for adhering the cover which rotates at ° is configured.

또한, 상기 그룹별 부품 공급부(120) 일측에는 본체(B)를 구성하는 부품이 그룹별로 트레이(161)에 정렬 배치된 상태로 제2이송 컨베이어(162)를 통해 부품 접착 고정부(170)로 이송 공급될 수 있도록 정렬 배치부(160)가 마련되며, 상기 제2이송 컨베이어(162)의 일측에는 트레이(161)에 안착 된 상태로 제2이송 컨베이어(162)를 통해 이송된 그룹별 부품을 360°로 회전하는 본체 접착용 다축 로봇(171)이 파지하여 그룹별 부품을 하나의 부품으로 접착 고정 시키는 부품 접착 고정부(170)가 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, on one side of the parts supply unit 120 for each group, the parts constituting the main body B are aligned and arranged on the tray 161 for each group, and the parts are attached to the fixing unit 170 through the second transfer conveyor 162 . An alignment arrangement unit 160 is provided so as to be transferred and supplied, and on one side of the second transfer conveyor 162, the parts for each group transferred through the second transfer conveyor 162 in a state of being seated on the tray 161 are placed on one side of the second transfer conveyor 162. The multi-axis robot 171 for body bonding rotated by 360° is gripped and the component bonding fixing unit 170 for bonding and fixing the parts for each group as one component is characterized in that it is configured.

또한, 상기 커버(A)를 구성하는 부품 그룹은 좌, 우 측면판(A-7), 핸들베이스(A-11), 상부핸들(A-14)로 구성되는 1그룹과, 코너 브라켓 지지대(A-6)으로 구성되는 2그룹과, 상기 1그룹과 2그룹이 접착 고정된 3그룹과, 상, 하 측면 판(A-8), 상부베이스(A-9), 상부 좌, 우 보강대(A-12)로 구성되는 4-1그룹과, 상, 하 측면 판(A-8), 캐스트 베이스(A-10), 하부 보강대(A-13)로 구성되는 4-2그룹과, 내부 보강대(A-2)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-1그룹과, 내부 보강대(A-4)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-2그룹과, 내부 보강대(A-5)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-3그룹과, 커버 베이스 패널(A-1)로 구성되는 6그룹으로 구분되어 그룹별로 접착 고정된 후 커버 베이스 패널(A-1)과, 5-1그룹, 5-2그룹, 5-3그룹은 베이스 패널 공급부로 이송 공급되며, 3그룹, 4-1그룹, 4-2그룹은 그룹별 부품 공급부(20)로 이송 공급되도록 구성한 것을 특징으로 한다.In addition, the group of parts constituting the cover (A) includes one group consisting of left and right side plates (A-7), a handle base (A-11), and an upper handle (A-14), and a corner bracket support ( 2 groups consisting of A-6), 3 groups in which groups 1 and 2 are adhesively fixed, upper and lower side plates (A-8), upper base (A-9), upper left and right reinforcing bars ( 4-1 group consisting of A-12), 4-2 group consisting of upper and lower side plates (A-8), cast base (A-10), and lower reinforcement (A-13), and internal reinforcement 5-1 group consisting of (A-2) and reinforcing piece (A-3), 5-2 group consisting of inner reinforcing bar (A-4) and reinforcing piece (A-3), and inner reinforcing bar (A) -5) and the reinforcing piece (A-3), divided into 5-3 groups and the cover base panel (A-1), divided into 6 groups, and after adhesive fixing for each group, the cover base panel (A-1) And, 5-1 group, 5-2 group, and 5-3 group are transferred and supplied to the base panel supply unit, and the 3 group, 4-1 group, and 4-2 group are transferred and supplied to the parts supply unit 20 for each group. characterized in that

또한, 상기 본체(B)를 구성하는 부품 그룹은 내부 좌, 우 측면판(B-11), 외부 좌, 우 측면판(B-12), 핸들 베이스(B-16), 핸들(B-19)로 구성되는 1그룹과, 제1그룹 및 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6)로 구성되는 2그룹과, 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6), 하부 슬라이드 지지대(B-9)로 구성되는 3그룹과, 상부 코너 브라켓(B-7), 하부 코너 브라켓(B-8)로 구성되는 4그룹과, 내부 상, 하 측면판(B-10), 외부 상, 하 측면판(B-13), 상부 베이스(B-14), 상부 좌, 우 보강대(B-17), 상부 코너 브라켓(B-7)로 구성되는 5-1그룹과, 내부 상, 하 측면판(B-10), 외부 상, 하 측면판(B-13), 캐스트 베이스(B-15), 하부 보강대(B-18), 하부 코너 브라켓(B-8)로 구성되는 5-2그룹과, 5-1그룹, 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6)로 구성되는 6-1그룹과, 5-2그룹, 하부 슬라이드 지지대(B-9)로 구성되는 6-2그룹과, 내부 보강대(B-2), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-1그룹과, 내부 보강대(B-4), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-2그룹과, 내부 보강대(B-5), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-3그룹으로 구분되어 그룹별로 접착 고정된 후 본체 베이스 패널(B-1)과, 7-1그룹, 7-2그룹, 7-3그룹은 본체 베이스 패널 공급부로 이송 공급되며, 2그룹, 6-1그룹, 2그룹, 6-2그룹은 그룹별 부품 공급부(120)로 이송 공급되도록 구성한 것을 특징으로 한다.In addition, the group of parts constituting the main body (B) includes an inner left and right side plate (B-11), an outer left and right side plate (B-12), a handle base (B-16), and a handle (B-19). ), 2 groups consisting of the first group and the lower slide bracket support (B-6), and 3 consisting of the lower slide bracket support (B-6) and the lower slide bracket support (B-9) 4 groups consisting of a group, upper corner bracket (B-7), lower corner bracket (B-8), inner upper and lower side plates (B-10), outer upper and lower side plates (B-13) , upper base (B-14), upper left and right reinforcing bars (B-17), upper corner bracket (B-7), 5-1 group, inner upper and lower side plates (B-10), outer 5-2 group consisting of upper and lower side plates (B-13), cast base (B-15), lower reinforcement bar (B-18), and lower corner bracket (B-8), 5-1 group, lower 6-1 group consisting of slide bracket support (B-6), 5-2 group, 6-2 group consisting of lower slide support (B-9), internal reinforcement (B-2), reinforcement piece ( 7-1 group consisting of B-3), 7-2 group consisting of internal reinforcement (B-4) and reinforcement piece (B-3), internal reinforcement (B-5), reinforcement piece (B-) After being divided into 7-3 groups consisting of 3) and fixed by group, the main body base panel (B-1) and the 7-1 group, 7-2 group, and 7-3 group are transferred and supplied to the main body base panel supply unit. and 2 groups, 6-1 groups, 2 groups, and 6-2 groups are configured to be transferred and supplied to the parts supply unit 120 for each group.

상기와 같은 특징을 갖는 본원 발명의 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템은 보호 케이스의 제조 공정이 연속 자동화 공정으로 진행됨에 따라 기존 발생 되었던 접착 불량을 차단 내지 최소화할 수 있으며, 특히, 1일 생산량을 대폭 증대시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The continuous automated manufacturing system of the photomask storage and protective case of the present invention having the above characteristics can block or minimize the adhesion failure that has previously occurred as the manufacturing process of the protective case proceeds as a continuous automated process, and in particular, 1 It is possible to significantly increase the daily output, which has the effect of improving productivity.

도 1은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 보인 시스템 구성도
도 2는 본 발명의 시스템 중 커버 정렬 배치부 및 부품 접착 고정부를 도시한 평면 구성도
도 3은 본 발명의 시스템 중 본체 정렬 배치부 및 부품 접착 고정부를 도시한 평면 구성도
도 4는 본 발명의 보호 케이스 중 커버를 도시한 사시도
도 5는 도 4의 분해사시도
도 6은 본 발명의 커버를 구성하는 부품 중 1그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 7은 본 발명의 커버를 구성하는 부품 중 2그룹을 도시한 정면도
도 8은 본 발명의 커버를 구성하는 부품 중 3그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 9는 본 발명의 커버를 구성하는 부품 중 4-1, 4-2그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 10은 본 발명의 커버를 구성하는 부품 중 5-1 내지 5-3그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 11은 본 발명의 커버를 구성하는 부품 중 커버 베이스 패널이 접착 고정된 상태를 도시한 평면도
도 12는 본 발명의 보호 케이스 중 본체를 도시한 사시도
도 13은 도 12의 분해 사시도
도 14는 본 발명의 본체를 구성하는 부품 중 1그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 15는 본 발명의 본체를 구성하는 부품 중 2그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 16은 본 발명의 본체를 구성하는 부품 중 3그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 17은 본 발명의 본체를 구성하는 부품 중 4그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 18은 본 발명의 본체를 구성하는 부품 중 5-1, 5-2그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 19는 본 발명의 본체를 구성하는 부품 중 6-1, 6-2그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 20은 본 발명의 본체를 구성하는 부품 중 7-1 내지 7-3그룹이 접착 고정된 상태를 도시한 정면도
도 21 본 발명의 본체를 구성하는 부품 본체 베이스 패널의 접착 고정된 상태를 도시한 평면도1 is a system configuration diagram showing a preferred embodiment of the present invention;
2 is a plan view showing a cover alignment arrangement part and a part adhesion fixing part of the system of the present invention;
3 is a plan view showing a body alignment arrangement part and a part adhesion fixing part of the system of the present invention;
4 is a perspective view showing a cover of the protective case of the present invention;
5 is an exploded perspective view of FIG. 4
6 is a front view showing a state in which one group of the parts constituting the cover of the present invention is adhesively fixed;
7 is a front view showing two groups of parts constituting the cover of the present invention;
8 is a front view showing a state in which three groups of the parts constituting the cover of the present invention are adhesively fixed;
9 is a front view showing a state in which 4-1 and 4-2 groups are adhesively fixed among the parts constituting the cover of the present invention;
10 is a front view showing a state in which 5-1 to 5-3 groups of the parts constituting the cover of the present invention are adhesively fixed;
11 is a plan view showing a state in which the cover base panel is adhesively fixed among the components constituting the cover of the present invention;
12 is a perspective view showing the main body of the protective case of the present invention;
13 is an exploded perspective view of FIG. 12 ;
14 is a front view showing a state in which one group of parts constituting the main body of the present invention is adhesively fixed;
15 is a front view showing a state in which two groups of parts constituting the main body of the present invention are adhesively fixed;
16 is a front view showing a state in which three groups of parts constituting the main body of the present invention are adhesively fixed;
17 is a front view showing a state in which 4 groups of the parts constituting the main body of the present invention are adhesively fixed;
18 is a front view showing a state in which 5-1 and 5-2 groups of the parts constituting the main body of the present invention are adhesively fixed;
19 is a front view showing a state in which 6-1 and 6-2 groups of the parts constituting the main body of the present invention are adhesively fixed;
20 is a front view showing a state in which 7-1 to 7-3 groups of the parts constituting the main body of the present invention are adhesively fixed;
Figure 21 is a plan view showing the adhesive fixing state of the component body base panel constituting the main body of the present invention

이하, 첨부된 도면 및 바람직한 실시 예에 따라 본 발명에서 제공하는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템에 대해 설명한다.Hereinafter, a continuous automated manufacturing system of a photomask storage and protective case provided by the present invention according to the accompanying drawings and preferred embodiments will be described.

먼저, 도 1 내지 3에서 도시된 바와 같이 본 발명에서 제공하는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템은 항온항습 기능이 구비된 룸(32) 내부에서 보호 케이스를 구성하는 커버(A)와, 본체(B)의 구성품을 접착 고정하되, 360°로 회전하는 조립용 다축 로봇(31)이 파지를 하면서 정량의 접착제를 고정 시키고자 하는 부위에 도포하면서 고정을 하게 되는 것이며, 도 1에서는 양생 시간이 있어 커버(A)와, 본체(B)를 교차로 작업을 하는 구성이나 양생 공간이 확보되면 각각의 라인별로 다축 로봇을 설치하여 지속적으로 작업을 할 수도 있다.First, as shown in FIGS. 1 to 3, the continuous automated manufacturing system of the photomask storage and protective case provided by the present invention includes a cover (A) constituting a protective case in a room 32 equipped with a constant temperature and humidity function and , The components of the main body (B) are adhered and fixed, but the assembly multi-axis robot 31 rotating at 360° is held and fixed while applying a fixed amount of adhesive to the area to be fixed. If there is time and a configuration for cross-working the cover (A) and the body (B) or a curing space is secured, a multi-axis robot may be installed for each line to continuously work.

이러한 구성의 연속자동화 제조 시스템은 베이스 패널 공급부(10), 그룹별 부품 공급부(20), 커버 어셈블리부(30), 커버 양생부(40), 배출부(50), 베이스 패널 공급부(110), 그룹별 부품 공급부(120), 본체 어셈블리부(130), 본체 양생부(140), 배출부(150), 상기 상기 베이스 패널 공급부(10)와, 그룹별 부품 공급부(20)와, 커버 어셈블리부(30)와, 커버 양생부(40)와, 배출부(50)와, 베이스 패널 공급부(110)와, 그룹별 부품 공급부(120)와, 본체 어셈블리부(130)와, 본체 양생부(140)와, 배출부(150) 간 하나 이상 설치되는 다수 개의 센서(200) 및 각각의 센서(200)와 연계하여 각 공정의 동작을 일괄적으로 제어하는 제어부(300)로 구성된다.The continuous automated manufacturing system of this configuration includes a base panel supply unit 10, a group component supply unit 20, a cover assembly unit 30, a cover curing unit 40, a discharge unit 50, a base panel supply unit 110, Group component supply unit 120 , body assembly unit 130 , body curing unit 140 , discharge unit 150 , the base panel supply unit 10 , group component supply unit 20 , and cover assembly unit 30 , the cover curing unit 40 , the discharge unit 50 , the base panel supply unit 110 , the group component supply unit 120 , the body assembly unit 130 , and the body curing unit 140 . ) and a plurality of sensors 200 installed between the discharge unit 150 and the control unit 300 for collectively controlling the operation of each process in connection with each sensor 200 .

이때 상기 커버(A) 라인용 베이스 패널 공급부(10)는 CNC 또는 MCT 공작 기계에서 가공된 포토 마스크 보관 및 보호 케이스 중 커버(A)를 구성하는 베이스 패널(A-1)이 제1이송 컨베이어(11)를 통해 순차적으로 커버 어셈블리부(30)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치된다.At this time, the base panel supply unit 10 for the cover (A) line is the first transfer conveyor ( 11) is sequentially transferred and supplied to the cover assembly unit 30, and is disposed inside the room 32 having a constant temperature and humidity room function.

이송되는 베이스 패널(A-1)에는 도 1 및 11에서 도시된 바와 같이 내부 보강대(A-2)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-1그룹과, 내부 보강대(A-4)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-2그룹 및 내부 보강대(A-5)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-3그룹이 접착 고정된 상태로 이송공급되는 것이다.As shown in FIGS. 1 and 11, the base panel (A-1) to be transported includes a group 5-1 consisting of an inner reinforcing bar (A-2) and a reinforcing piece (A-3), and an inner reinforcing bar (A-4) and the 5-2 group consisting of the reinforcing piece (A-3) and the 5-3 group consisting of the inner reinforcing bar (A-5) and the reinforcing piece (A-3) are transferred and supplied in an adhesively fixed state.

상기 그룹별 부품 공급부(20)는 베이스 패널(A-1)의 상단에 접착 고정되는 그룹별 부품이 제2이송 컨베이어(62)를 통해 순차적으로 커버 어셈블리부(30)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치되는 것으로, 도 1 및 도 6 내지 10에서 도시된 바와 같이 좌, 우 측면판(A-7), 핸들베이스(A-11), 상부핸들(A-14)로 구성되는 1그룹, 코너 브라켓 지지대(A-6)으로 구성되는 2그룹이 접착 고정된 3그룹과, 상, 하 측면 판(A-8), 상부베이스(A-9), 상부 좌, 우 보강대(A-12)로 구성되는 4-1그룹 및 상, 하 측면 판(A-8), 캐스트 베이스(A-10), 하부 보강대(A-13)로 구성되는 4-2그룹이 접착 고정된 상태로 이송공급되는 것이다.In the group-specific component supply unit 20, the group-specific components, which are adhesively fixed to the upper end of the base panel A-1, are sequentially transferred and supplied to the cover assembly unit 30 through the second conveying conveyor 62, and a constant temperature and humidity chamber. It is disposed inside the room 32 having a function, and as shown in FIGS. 1 and 6 to 10 , the left and right side plates (A-7), the handle base (A-11), the upper handle (A-) 1 group consisting of 14), 2 groups consisting of corner bracket support (A-6), 3 groups fixed by adhesive, upper and lower side plates (A-8), upper base (A-9), upper left , the 4-1 group consisting of the right reinforcement (A-12) and the 4-2 group consisting of the upper and lower side plates (A-8), the cast base (A-10) and the lower reinforcement (A-13) It is transported and supplied in a state where it is glued and fixed.

상기 커버 어셈블리부(30)는 항온항습기능이 설치된 룸(32)이 마련되며, 그 내부에 설치된 360°로 회전하는 조립용 다축 로봇(31)이 그룹별 부품 공급부(20)에 안착 된 부품을 파지하여 커버 베이스 패널(A-1)의 상단에 접착제로 순차 접착고정하면서 커버(A)를 조립 완성 시키고 완성 후에는 제3이송 컨베이어(33)에 안착시켜 양생부(40)로 이송시킨다.The cover assembly unit 30 is provided with a room 32 installed with a constant temperature and humidity function, and a multi-axis robot 31 for assembling that rotates 360° installed therein is seated in the component supply unit 20 for each group. After gripping and fixing the cover (A) sequentially with adhesive on the top of the cover base panel (A-1), the assembly is completed. After completion, it is seated on the third transfer conveyor 33 and transferred to the curing unit 40.

상기 조립용 다축 로봇(31)은 360°로 회전하면서 커버(A) 라인과 본체(B) 라인 모두 접착 고정작업이 진행되며, 부품을 파지한 상태에서 접착제를 정량 도포하기 때문에 정확하고 신속한 접착 고정작업이 용이하게 되는 것이다.The assembling multi-axis robot 31 rotates 360° and performs adhesive fixing work on both the cover (A) line and the main body (B) line. It will make work easier.

커버(A) 라인 1회 공정 완료 후 양생 시간에 본체(B) 라인의 공정이 진행되어 구성으로 도시되어 있으나, 양생 장소가 확보된다면 각각의 라인에 조립용 다축 로봇(31)을 설치하여 양 라인 동시 작업이 용이하다.After completing the cover (A) line once process, the process of the main body (B) line progresses at the curing time and is shown as a configuration, but if a curing place is secured, a multi-axis robot 31 for assembling is installed in each line to install both lines Simultaneous work is easy.

상기 커버 양생부(40)는 커버 어셈블리부(30)에서 완성된 보호 케이스 커버(A)를 소정의 시간동안 양생을 시키며, 양생 된 커버는 제3이송 컨베이어(33)를 통해 배출함으로써 커버(A)의 제조는 완성되는 것이다.The cover curing unit 40 cures the protective case cover (A) completed in the cover assembly unit 30 for a predetermined time, and the cured cover is discharged through the third transfer conveyor 33, thereby discharging the cover (A). ) production is complete.

상기 본체 베이스 패널 공급부(110)는 CNC 또는 MCT 공작 기계에서 가공된 포토 마스크 보관 및 보호 케이스 중 본체(B)를 구성하는 본체 베이스 패널(B-1)이 제1이송 컨베이어(111)를 통해 순차적으로 본체 어셈블리부(130)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치된다.The main body base panel supply unit 110 is the main body base panel (B-1) constituting the main body (B) of the photo mask storage and protection case processed in the CNC or MCT machine tool sequentially through the first transfer conveyor 111. is transferred and supplied to the body assembly unit 130, and is disposed inside the room 32 having a constant temperature and humidity room function.

이송되는 본체 베이스 패널(B-1)에는 도 1 및 21에서 도시된 바와 같이 내부 내부 보강대(B-2), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-1그룹과, 내부 보강대(B-4), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-2그룹과, 내부 보강대(B-5), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-3그룹이 접착 고정된 상태로 이송공급되는 것이다.As shown in FIGS. 1 and 21, the body base panel (B-1) to be transported has a 7-1 group consisting of an inner inner reinforcing bar (B-2) and a reinforcing piece (B-3), and an inner reinforcing bar (B-). 4), the 7-2 group consisting of the reinforcing piece (B-3) and the 7-3 group consisting of the inner reinforcing bar (B-5) and the reinforcing piece (B-3) are transferred and supplied in a fixed state will be.

상기 그룹별 부품 공급부(120)는 본체 베이스 패널(B-1)의 상단에 접착 고정되는 그룹별 부품이 제2이송 컨베이어(162)를 통해 순차적으로 본체 어셈블리부(130)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치된다.In the group-by-group component supply unit 120, the group-specific components, which are adhesively fixed to the upper end of the body base panel B-1, are sequentially transferred and supplied to the body assembly unit 130 through the second conveying conveyor 162, and the constant temperature It is arranged inside a room 32 having a humidity room function.

도 1 및 도 14 내지 21에서 도시된 바와 같이 내부 좌, 우 측면판(B-11), 외부 좌, 우 측면판(B-12), 핸들 베이스(B-16), 핸들(B-19)로 구성되는 1그룹과, 제1그룹 및 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6)로 구성되는 2그룹과, 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6), 하부 슬라이드 지지대(B-9)로 구성되는 3그룹과, 상부 코너 브라켓(B-7), 하부 코너 브라켓(B-8)로 구성되는 4그룹과, 내부 상, 하 측면판(B-10), 외부 상, 하 측면판(B-13), 상부 베이스(B-14), 상부 좌, 우 보강대(B-17), 상부 코너 브라켓(B-7)로 구성되는 5-1그룹과, 내부 상, 하 측면판(B-10), 외부 상, 하 측면판(B-13), 캐스트 베이스(B-15), 하부 보강대(B-18), 하부 코너 브라켓(B-8)로 구성되는 5-2그룹과, 5-1그룹, 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6)로 구성되는 6-1그룹과, 5-2그룹, 하부 슬라이드 지지대(B-9)로 구성되는 6-2그룹이 접착 고정된 상태로 이송공급되는 것이다.1 and 14 to 21, the inner left and right side plates (B-11), the outer left and right side plates (B-12), the handle base (B-16), and the handle (B-19) 1 group consisting of, 2 groups consisting of the first group and the lower slide bracket support (B-6), and 3 groups consisting of the lower slide bracket support (B-6) and the lower slide bracket support (B-9) and 4 groups consisting of the upper corner bracket (B-7), the lower corner bracket (B-8), the inner upper and lower side plates (B-10), the outer upper and lower side plates (B-13), 5-1 group consisting of upper base (B-14), upper left and right reinforcing bars (B-17), upper corner bracket (B-7), inner upper and lower side plates (B-10), outer upper , lower side plate (B-13), cast base (B-15), lower reinforcement bar (B-18), lower corner bracket (B-8), 5-2 group, 5-1 group, lower slide The 6-1 group consisting of the bracket support (B-6), the 5-2 group, and the 6-2 group consisting of the lower slide support (B-9) are transferred and supplied in an adhesively fixed state.

상기 본체 어셈블리부(130)는 항온항습기능이 설치된 룸(32)이 마련되며, 그 내부에 설치된 360°로 회전하는 조립용 다축 로봇(31)이 그룹별 부품 공급부(120)에 안착 된 부품을 파지하여 본체 베이스 패널(B-1)의 상단에 접착제로 순차 접착고정하면서 본체(B)를 조립 완성 시키고 완성 후에는 제3이송 컨베이어(133)에 안착시켜 본체 양생부(140)로 이송시킨다.The body assembly unit 130 is provided with a room 32 installed with a constant temperature and humidity function, and a multi-axis robot 31 for assembling that rotates 360° installed therein is seated in the component supply unit 120 for each group. After gripping and fixing the main body (B) sequentially with adhesive on the upper end of the main body base panel (B-1), the assembly is completed.

상기 본체 양생부(140)는 본체 어셈블리부(130)에서 완성된 보호 케이스 본체(B)를 소정의 시간 동안 양생을 시키며 양생 된 본체를 제3이송 컨베이어(133)를 통해 배출시킴으로써 본체(B)의 제조까지 완성되는 것이며, 상기 베이스 패널 공급부(10)와, 그룹별 부품 공급부(20)와, 커버 어셈블리부(30)와, 커버 양생부(40)와, 배출부(50)와, 베이스 패널 공급부(110)와, 그룹별 부품 공급부(120)와, 본체 어셈블리부(130)와, 본체 양생부(140)와, 배출부(150)간에는 하나 이상의 센서(200)가 장착고정되며, 각각의 센서(200)와 연계하여 각 공정의 동작을 일괄적으로 제어하는 제어부(300)가 구성되어 보호 케이스의 연속 자동화가 용이하게 된다.The main body curing unit 140 cures the protective case main body (B) completed in the main body assembly unit 130 for a predetermined time, and discharges the cured main body through the third transfer conveyor 133 to the main body (B). The base panel supply unit 10, the group component supply unit 20, the cover assembly unit 30, the cover curing unit 40, the discharge unit 50, and the base panel are completed until the manufacture of One or more sensors 200 are mounted and fixed between the supply unit 110 , the group component supply unit 120 , the body assembly unit 130 , the body curing unit 140 , and the discharge unit 150 , and each In connection with the sensor 200, the control unit 300 for collectively controlling the operation of each process is configured to facilitate continuous automation of the protective case.

상기 그룹별 부품 공급부(20) 일측에는 도 2에서 도시된 바와 같이 커버(A)를 구성하는 부품이 그룹별로 트레이(61)에 정렬 배치된 상태로 제2이송 컨베이어(62)를 통해 부품 접착 고정부(20)로 이송 공급될 수 있도록 정렬 배치부(60)가 마련되며, 상기 제2이송 컨베이어(62)의 일측에는 트레이(61)에 안착 된 상태로 제2이송 컨베이어(62)를 통해 이송된 그룹별 부품을 360°로 회전하는 커버 접착용 다축 로봇(71)이 파지하여 그룹별 부품을 하나의 부품으로 접착 고정 시키는 부품 접착 고정부(70)가 구성된다.As shown in FIG. 2, on one side of the parts supply unit 20 for each group, the parts constituting the cover (A) are aligned and arranged on the tray 61 for each group, and the parts are adhered through the second transfer conveyor 62. An alignment arrangement unit 60 is provided so that it can be transferred and supplied to the government 20, and one side of the second transfer conveyor 62 is transferred through the second transfer conveyor 62 while seated on the tray 61. A multi-axis robot 71 for attaching a cover that rotates 360° rotates the grouped parts for each group, and a part adhesive fixing part 70 for bonding and fixing the parts for each group as a single part is configured.

상기 그룹별 부품 공급부(120) 일측에는 도 3에서 도시된 바와 같이 본체(B)를 구성하는 부품이 그룹별로 트레이(161)에 정렬 배치된 상태로 제2이송 컨베이어(162)를 통해 부품 접착 고정부(120)로 이송 공급될 수 있도록 정렬 배치부(160)가 마련되며, 상기 제2이송 컨베이어(162)의 일측에는 트레이(161)에 안착 된 상태로 제2이송 컨베이어(162)를 통해 이송된 그룹별 부품을 360°로 회전하는 본체 접착용 다축 로봇(171)이 파지하여 그룹별 부품을 하나의 부품으로 접착 고정 시키는 부품 접착 고정부(170)가 구성된다.As shown in FIG. 3, on one side of the parts supply unit 120 for each group, the parts constituting the main body B are aligned and arranged on the tray 161 for each group, and the parts are adhered through the second transfer conveyor 162. An alignment arrangement unit 160 is provided so as to be transferred and supplied to the government 120 , and one side of the second transfer conveyor 162 is transported through the second transfer conveyor 162 while seated on the tray 161 . A multi-axis robot 171 for main body bonding that rotates 360° rotates the grouped parts for each group, and a part adhesive fixing part 170 for bonding and fixing the parts for each group as a single part is configured.

또한, 상기 커버(A)를 구성하는 부품 그룹은 좌, 우 측면판(A-7), 핸들베이스(A-11), 상부핸들(A-14)로 구성되는 1그룹과, 코너 브라켓 지지대(A-6)으로 구성되는 2그룹과, 상기 1그룹과 2그룹이 접착 고정된 3그룹과, 상, 하 측면 판(A-8), 상부베이스(A-9), 상부 좌, 우 보강대(A-12)로 구성되는 4-1그룹과, 상, 하 측면 판(A-8), 캐스트 베이스(A-10), 하부 보강대(A-13)로 구성되는 4-2그룹과, 내부 보강대(A-2)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-1그룹과, 내부 보강대(A-4)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-2그룹과, 내부 보강대(A-5)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-3그룹과,커버 베이스 패널(A-1)로 구성되는 6그룹으로 구분되어 그룹별로 접착 고정된 후 커버 베이스 패널(A-1)과, 5-1그룹, 5-2그룹, 5-3그룹은 베이스 패널 공급부로 이송 공급되며, 3그룹, 4-1그룹, 4-2그룹은 그룹별 부품 공급부(20)로 이송 공급되도록 구성한 것을 특징으로 한다.In addition, the group of parts constituting the cover (A) includes one group consisting of left and right side plates (A-7), a handle base (A-11), and an upper handle (A-14), and a corner bracket support ( 2 groups consisting of A-6), 3 groups in which groups 1 and 2 are adhesively fixed, upper and lower side plates (A-8), upper base (A-9), upper left and right reinforcing bars ( 4-1 group consisting of A-12), 4-2 group consisting of upper and lower side plates (A-8), cast base (A-10), and lower reinforcement (A-13), and internal reinforcement 5-1 group consisting of (A-2) and reinforcing piece (A-3), 5-2 group consisting of inner reinforcing bar (A-4) and reinforcing piece (A-3), and inner reinforcing bar (A) -5) and the reinforcing piece (A-3), divided into 6 groups, consisting of the cover base panel (A-1), and the cover base panel (A-1) And, 5-1 group, 5-2 group, and 5-3 group are transferred and supplied to the base panel supply unit, and the 3 group, 4-1 group, and 4-2 group are transferred and supplied to the parts supply unit 20 for each group. characterized in that

또한, 상기 본체(B)를 구성하는 부품 그룹은 내부 좌, 우 측면판(B-11), 외부 좌, 우 측면판(B-12), 핸들 베이스(B-16), 핸들(B-19)로 구성되는 1그룹과, 제1그룹 및 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6)로 구성되는 2그룹과, 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6), 하부 슬라이드 지지대(B-9)로 구성되는 3그룹과, 상부 코너 브라켓(B-7), 하부 코너 브라켓(B-8)로 구성되는 4그룹과, 내부 상, 하 측면판(B-10), 외부 상, 하 측면판(B-13), 상부 베이스(B-14), 상부 좌, 우 보강대(B-17), 상부 코너 브라켓(B-7)로 구성되는 5-1그룹과, 내부 상, 하 측면판(B-10), 외부 상, 하 측면판(B-13), 캐스트 베이스(B-15), 하부 보강대(B-18), 하부 코너 브라켓(B-8)로 구성되는 5-2그룹과, 5-1그룹, 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6)로 구성되는 6-1그룹과, 5-2그룹, 하부 슬라이드 지지대(B-9)로 구성되는 6-2그룹과, 내부 보강대(B-2), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-1그룹과, 내부 보강대(B-4), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-2그룹과, 내부 보강대(B-5), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-3그룹으로 구분되어 그룹별로 접착 고정된 후 본체 베이스 패널(B-1)과, 7-1그룹, 7-2그룹, 7-3그룹은 본체 베이스 패널 공급부로 이송 공급되며, 2그룹, 6-1그룹, 2그룹, 6-2그룹은 그룹별 부품 공급부(120)로 이송 공급되도록 구성된다.In addition, the group of parts constituting the main body (B) includes an inner left and right side plate (B-11), an outer left and right side plate (B-12), a handle base (B-16), and a handle (B-19). ), 2 groups consisting of the first group and the lower slide bracket support (B-6), and 3 consisting of the lower slide bracket support (B-6) and the lower slide bracket support (B-9) 4 groups consisting of a group, upper corner bracket (B-7), lower corner bracket (B-8), inner upper and lower side plates (B-10), outer upper and lower side plates (B-13) , upper base (B-14), upper left and right reinforcing bars (B-17), upper corner bracket (B-7), 5-1 group, inner upper and lower side plates (B-10), outer 5-2 group consisting of upper and lower side plates (B-13), cast base (B-15), lower reinforcement bar (B-18), and lower corner bracket (B-8), 5-1 group, lower 6-1 group consisting of slide bracket support (B-6), 5-2 group, 6-2 group consisting of lower slide support (B-9), internal reinforcement (B-2), reinforcement piece ( 7-1 group consisting of B-3), 7-2 group consisting of internal reinforcement (B-4) and reinforcement piece (B-3), internal reinforcement (B-5), reinforcement piece (B-) After being divided into 7-3 groups consisting of 3) and fixed by group, the main body base panel (B-1), and the 7-1 group, 7-2 group, and 7-3 group are transported and supplied to the body base panel supply unit. and 2 groups, 6-1 groups, 2 groups, and 6-2 groups are configured to be transferred and supplied to the component supply unit 120 for each group.

상기 그룹별로 부품을 구분한 것은 효율적인 자동화 라인이 되도록 구분한 것이나 여기에 한정될 필요는 없으며, 다른 보호 케이스를 제조할 경우에는 또 다른 형태의 그룹으로 구분할 수가 있는 것이다.The division of parts for each group is to make an efficient automation line, but it is not necessary to be limited thereto, and in the case of manufacturing another protective case, it can be divided into another type of group.

본 발명의 실시 예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 구성 요소의 부가, 변경 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described, those of ordinary skill in the art can use the present invention by adding, changing, deleting or adding components within the scope that does not depart from the spirit of the present invention described in the claims. Various modifications and changes may be made, and this will also be included within the scope of the present invention.

A: 커버 A-1: 커버 베이스 패널
A-2, A-4, A-5: 내부 보강대
A-3: 보강편 A-6: 코너 브라켓 지지대
A-7: 좌, 우 측면판 A-8: 상, 하 측면 판
A-9: 상부 베이스 A-10: 캐스트 베이스
A-11: 핸들 베이스 A-12: 상부 좌, 우 보강대
A-13: 하부 보강대 A-14: 상부핸들
B: 본체 B-1: 본체 베이스 패널
B-2, B-4, B-5: 내부 보강대 B-3: 보강편
B-6: 하부 슬라이드 브라켓 지지대
B-7: 상부 코너 브라켓 B-8: 하부 코너 브라켓
B-9: 하부 슬라이드 지지대 B-10: 내부 상, 하 측면판
B-11: 내부 좌, 우 측면판 B-12: 외부 좌, 우 측면판
B-13: 외부 상, 하 측면판 B-14: 상부 베이스
B-15: 캐스트 베이스 B-16: 핸들 베이스
B-17: 상부 좌, 우 보강대 B-18: 하부 보강대
B-19: 핸들
10, 110: 베이스 패널 공급부 11, 111: 제1이송컨베이어
20, 120: 그룹별 부품 공급부 30: 커버 어셈블리부
31: 조립용 다축 로봇 32: 룸
33, 133: 제3이송 컨베이어 40: 커버 양생부
50, 150: 배출부 60, 160: 정렬 배치부
61, 161: 트레이 62, 162: 제2이송컨베이어
70, 170: 부품 접착 고정부 71: 커버 접착용 다축 로봇
171: 본체 접착용 다축 로봇
130: 본체 어셈블리부 140: 본체 양생부
200: 센서 300: 제어부A: Cover A-1: Cover base panel
A-2, A-4, A-5: Inner Reinforcement
A-3: Reinforcement piece A-6: Corner bracket support
A-7: Left and right side panels A-8: Top and bottom side panels
A-9: Upper base A-10: Cast base
A-11: Handle base A-12: Upper left and right reinforcing bars
A-13: Lower reinforcement A-14: Upper handle
B: body B-1: body base panel
B-2, B-4, B-5: Inner reinforcing bar B-3: Reinforcing piece
B-6: Lower slide bracket support
B-7: Upper corner bracket B-8: Lower corner bracket
B-9: Lower slide support B-10: Inner upper and lower side plates
B-11: Inner left, right side plate B-12: Outer left, right side plate
B-13: External upper and lower side plates B-14: Upper base
B-15: Cast base B-16: Handle base
B-17: Upper left and right reinforcing bars B-18: Lower reinforcing bars
B-19: handle
10, 110: base panel supply unit 11, 111: first transfer conveyor
20, 120: parts supply unit for each group 30: cover assembly unit
31: multi-axis robot for assembly 32: room
33, 133: third transfer conveyor 40: cover curing part
50, 150: discharge part 60, 160: alignment arrangement part
61, 161: tray 62, 162: second transfer conveyor
70, 170: part adhesion fixing part 71: multi-axis robot for cover adhesion
171: multi-axis robot for body bonding
130: body assembly unit 140: body curing unit
200: sensor 300: control unit

Claims (5)

CNC 또는 MCT 공작 기계에서 가공된 포토 마스크 보관 및 보호 케이스 중 커버(A)를 구성하는 커버 베이스 패널(A-1)이 제1이송 컨베이어(11)를 통해 순차적으로 커버 어셈블리부(30)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치되는 베이스 패널 공급부(10); 와,
상기 커버 베이스 패널(A-1)의 상단에 접착 고정되는 그룹별 부품이 제2이송 컨베이어(62)를 통해 순차적으로 커버 어셈블리부(30)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치되는 그룹별 부품 공급부(20); 와,
항온항습기능이 설치된 룸(32)이 마련되며, 그 내부에 설치된 360°로 회전하는 조립용 다축 로봇(31)이 그룹별 부품 공급부(20)에 안착 된 부품을 파지하여 커버 베이스 패널(A-1)의 상단에 접착제로 순차 접착고정하면서 커버(A)를 조립 완성 시키고 완성 후에는 제3이송 컨베이어(33)에 안착시켜 양생부(40)로 이송시키는 커버 어셈블리부(30); 와,
상기 커버 어셈블리부(30)에서 완성된 보호 케이스 커버(A)를 소정의 시간동안 양생을 시키는 커버 양생부(40); 와,
양생 된 커버를 제3이송 컨베이어(33)를 통해 배출시키는 배출부(50); 와,
CNC 또는 MCT 공작 기계에서 가공된 포토 마스크 보관 및 보호 케이스 중 본체(B)를 구성하는 본체 베이스 패널(B-1)이 제1이송 컨베이어(111)를 통해 순차적으로 본체 어셈블리부(130)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치되는 베이스 패널 공급부(110); 와,
상기 본체 베이스 패널(B-1)의 상단에 접착 고정되는 그룹별 부품이 제2이송 컨베이어(162)를 통해 순차적으로 본체 어셈블리부(130)로 이송공급되며, 항온항습실 기능을 구비하는 룸(32) 내부에 배치되는 그룹별 부품 공급부(120); 와,
항온항습기능이 설치된 룸(32)이 마련되며, 그 내부에 설치된 360°로 회전하는 조립용 다축 로봇(31)이 그룹별 부품 공급부(120)에 안착 된 부품을 파지하여 본체 베이스 패널(B-1)의 상단에 접착제로 순차 접착고정하면서 본체(B)를 조립 완성 시키고 완성 후에는 제3이송 컨베이어(133)에 안착시켜 본체 양생부(140)로 이송시키는 본체 어셈블리부(130); 와,
상기 본체 어셈블리부(130)에서 완성된 보호 케이스 본체(B)를 소정의 시간동안 양생을 시키는 본체 양생부(140); 와,
양생 된 본체를 제3이송 컨베이어(133)를 통해 배출시키는 배출부(150); 와,
상기 베이스 패널 공급부(10)와, 그룹별 부품 공급부(20)와, 커버 어셈블리부(30)와, 커버 양생부(40)와, 배출부(50)와, 베이스 패널 공급부(110)와, 그룹별 부품 공급부(120)와, 본체 어셈블리부(130)와, 본체 양생부(140)와, 배출부(150) 간에는 하나 이상의 센서(200)가 장착고정되며, 센서(200)와 연계하여 각 공정의 동작을 일괄적으로 제어하는 제어부(300);
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템.
The cover base panel (A-1) constituting the cover (A) of the photomask storage and protection case processed by the CNC or MCT machine tool is sequentially transferred to the cover assembly unit 30 through the first transfer conveyor 11 . It is supplied, the base panel supply unit 10 disposed inside the room 32 having a constant temperature and humidity room function; Wow,
The parts for each group that are adhesively fixed to the upper end of the cover base panel A-1 are sequentially transferred and supplied to the cover assembly unit 30 through the second transfer conveyor 62, and a room 32 having a constant temperature and humidity room function. ) group-by-group parts supply unit 20 disposed therein; Wow,
A room 32 equipped with a constant temperature and humidity function is provided, and a multi-axis robot 31 for assembling that rotates at 360° installed therein grips the parts seated in the parts supply unit 20 for each group and covers the base panel (A- 1) the cover assembly part 30, which completes the assembly of the cover (A) while sequentially bonding and fixing it with an adhesive on the top of the step, and is seated on the third transfer conveyor 33 and transferred to the curing part 40 after completion; Wow,
a cover curing unit 40 for curing the protective case cover (A) completed in the cover assembly unit 30 for a predetermined time; Wow,
Discharge unit 50 for discharging the cured cover through the third transfer conveyor 33; Wow,
The main body base panel (B-1) constituting the main body (B) of the photomask storage and protection case processed in the CNC or MCT machine tool is sequentially transferred to the body assembly unit 130 through the first transfer conveyor 111 . It is supplied, the base panel supply unit 110 disposed inside the room 32 having a constant temperature and humidity room function; Wow,
The parts for each group, which are adhesively fixed to the upper end of the main body base panel B-1, are sequentially transferred and supplied to the main assembly unit 130 through the second transfer conveyor 162, and a room 32 having a constant temperature and humidity room function. ) Group-by-group parts supply unit 120 disposed therein; Wow,
A room 32 equipped with a constant temperature and humidity function is provided, and a multi-axis robot 31 for assembling that rotates 360° installed therein grips the parts seated in the parts supply unit 120 for each group, and the main body base panel (B- 1) the body assembly unit 130, which completes the assembly of the main body B while sequentially bonding and fixing it with an adhesive on the upper end of the step, and transfers it to the body curing unit 140 by seating it on the third transfer conveyor 133 after completion; Wow,
a body curing unit 140 for curing the protective case body B completed in the body assembly unit 130 for a predetermined time; Wow,
Discharge unit 150 for discharging the cured body through the third transfer conveyor 133; Wow,
The base panel supply unit 10 , the group component supply unit 20 , the cover assembly unit 30 , the cover curing unit 40 , the discharge unit 50 , the base panel supply unit 110 , and the group One or more sensors 200 are mounted and fixed between the separate component supply unit 120 , the body assembly unit 130 , the body curing unit 140 , and the discharge unit 150 , and each process in connection with the sensor 200 . a control unit 300 for collectively controlling the operation of ;
Continuous automated manufacturing system of photomask storage and protective case, characterized in that it comprises a.
 제1항에 있어서,
상기 그룹별 부품 공급부(20) 일측에는 커버(A)를 구성하는 부품이 그룹별로 트레이(61)에 정렬 배치된 상태로 제2이송 컨베이어(62)를 통해 부품 접착 고정부(70)로 이송 공급될 수 있도록 정렬 배치부(60)가 마련되며,
상기 제2이송 컨베이어(62)의 일측에는 트레이(61)에 안착 된 상태로 제2이송 컨베이어(62)를 통해 이송된 그룹별 부품을 360°로 회전하는 커버 접착용 다축 로봇(71)이 파지하여 그룹별 부품을 하나의 부품으로 접착 고정 시키는 부품 접착 고정부(70)가 구성되는 것을 특징으로 하는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템.
According to claim 1,
On one side of the part supply unit 20 for each group, the parts constituting the cover A are transported and supplied to the part adhesion fixing part 70 through the second transport conveyor 62 in a state in which the parts constituting the cover A are arranged on the tray 61 for each group. An alignment arrangement unit 60 is provided so that it can be
On one side of the second transfer conveyor 62, a multi-axis robot 71 for attaching a cover that rotates 360° the parts for each group transferred through the second transfer conveyor 62 in a state of being seated on the tray 61 is gripped. A continuous automated manufacturing system of photomask storage and protective case, characterized in that the part adhesive fixing part 70 for bonding and fixing the parts by group to one part is configured.
 제1항에 있어서,
상기 그룹별 부품 공급부(120) 일측에는 본체(B)를 구성하는 부품이 그룹별로 트레이(161)에 정렬 배치된 상태로 제2이송 컨베이어(162)를 통해 부품 접착 고정부(170)로 이송 공급될 수 있도록 정렬 배치부(160)가 마련되며,
상기 제2이송 컨베이어(162)의 일측에는 트레이(161)에 안착 된 상태로 제2이송 컨베이어(162)를 통해 이송된 그룹별 부품을 360°로 회전하는 본체 접착용 다축 로봇(171)이 파지하여 그룹별 부품을 하나의 부품으로 접착 고정 시키는 부품 접착 고정부(170)가 구성되는 것을 특징으로 하는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템.
According to claim 1,
On one side of the part supply unit 120 for each group, the parts constituting the main body B are transported and supplied to the part adhesion fixing part 170 through the second transport conveyor 162 in a state in which the parts constituting the main body B are arranged on the tray 161 for each group. An alignment arrangement unit 160 is provided so that it can be
On one side of the second transfer conveyor 162, a multi-axis robot 171 for body adhesion that rotates 360° the parts for each group transferred through the second transfer conveyor 162 in a state of being seated on the tray 161 is gripped. A continuous automated manufacturing system of photomask storage and protective case, characterized in that the part adhesive fixing part 170 for adhesively fixing the parts by group to one part is configured.
 제1항에 있어서,
상기 커버(A)를 구성하는 부품 그룹은 좌, 우 측면판(A-7), 핸들베이스(A-11), 상부핸들(A-14)로 구성되는 1그룹; 과,
코너 브라켓 지지대(A-6)으로 구성되는 2그룹; 과,
상기 1그룹과 2그룹이 접착 고정된 3그룹; 과,
상, 하 측면 판(A-8), 상부베이스(A-9), 상부 좌, 우 보강대(A-12)로 구성되는 4-1그룹; 과,
상, 하 측면 판(A-8), 캐스트 베이스(A-10), 하부 보강대(A-13)로 구성되는 4-2그룹; 과,
내부 보강대(A-2)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-1그룹; 과,
내부 보강대(A-4)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-2그룹; 과,
내부 보강대(A-5)와 보강편(A-3)으로 구성되는 5-3그룹; 과,
커버 베이스 패널(A-1)로 구성되는 6그룹;
으로 구분되어 그룹별로 접착 고정된 후 커버 베이스 패널(A-1)과, 5-1그룹, 5-2그룹, 5-3그룹은 베이스 패널 공급부로 이송 공급되며, 3그룹, 4-1그룹, 4-2그룹은 그룹별 부품 공급부(20)로 이송 공급되도록 구성한 것을 특징으로 하는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템. According to claim 1,
A group of parts constituting the cover (A) includes one group consisting of left and right side plates (A-7), a handle base (A-11), and an upper handle (A-14); class,
2 groups consisting of corner bracket supports (A-6); class,
3 groups in which the 1st and 2nd groups are adhesively fixed; class,
4-1 group consisting of upper and lower side plates (A-8), upper base (A-9), upper left and right reinforcing bars (A-12); class,
4-2 group consisting of upper and lower side plates (A-8), cast base (A-10), and lower reinforcement (A-13); class,
5-1 group consisting of an inner reinforcing bar (A-2) and a reinforcing piece (A-3); class,
5-2 group consisting of an inner reinforcing bar (A-4) and a reinforcing piece (A-3); class,
5-3 group consisting of an inner reinforcing bar (A-5) and a reinforcing piece (A-3); class,
6 groups consisting of a cover base panel (A-1);
After being classified and fixed by group, the cover base panel (A-1), group 5-1, group 5-2, and group 5-3 are transported and supplied to the base panel supply unit, and group 3, group 4-1, Continuous automated manufacturing system of photomask storage and protective case, characterized in that the 4-2 group is configured to be transferred and supplied to the component supply unit 20 for each group. 제1항에 있어서,
상기 본체(B)를 구성하는 부품 그룹은 내부 좌, 우 측면판(B-11), 외부 좌, 우 측면판(B-12), 핸들 베이스(B-16), 핸들(B-19)로 구성되는 1그룹; 과,
제1그룹 및 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6)로 구성되는 2그룹; 과,
하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6), 하부 슬라이드 지지대(B-9)로 구성되는 3그룹; 과,
상부 코너 브라켓(B-7), 하부 코너 브라켓(B-8)로 구성되는 4그룹; 과,
내부 상, 하 측면판(B-10), 외부 상, 하 측면판(B-13), 상부 베이스(B-14), 상부 좌, 우 보강대(B-17), 상부 코너 브라켓(B-7)로 구성되는 5-1그룹; 과,
내부 상, 하 측면판(B-10), 외부 상, 하 측면판(B-13), 캐스트 베이스(B-15), 하부 보강대(B-18), 하부 코너 브라켓(B-8)로 구성되는 5-2그룹; 과,
5-1그룹, 하부 슬라이드 브라켓 지지대(B-6)로 구성되는 6-1그룹; 과,
5-2그룹, 하부 슬라이드 지지대(B-9)로 구성되는 6-2그룹; 과,
내부 보강대(B-2), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-1그룹; 과,
내부 보강대(B-4), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-2그룹; 과,
내부 보강대(B-5), 보강편(B-3)으로 구성되는 7-3그룹;
으로 구분되어 그룹별로 접착 고정된 후 본체 베이스 패널(B-1)과, 7-1그룹, 7-2그룹, 7-3그룹은 본체 베이스 패널 공급부로 이송 공급되며, 2그룹, 6-1그룹, 2그룹, 6-2그룹은 그룹별 부품 공급부(120)로 이송 공급되도록 구성한 것을 특징으로 하는 포토 마스크 보관 및 보호 케이스의 연속 자동화 제조 시스템. According to claim 1,
The group of parts constituting the main body (B) consists of an inner left and right side plate (B-11), an outer left and right side plate (B-12), a handle base (B-16), and a handle (B-19). 1 group consisting of; class,
2 groups consisting of a first group and a lower slide bracket support (B-6); class,
3 groups consisting of a lower slide bracket support (B-6) and a lower slide support (B-9); class,
4 groups consisting of an upper corner bracket (B-7) and a lower corner bracket (B-8); class,
Upper and lower inner side plates (B-10), outer upper and lower side plates (B-13), upper base (B-14), upper left and right reinforcing bars (B-17), upper corner bracket (B-7) ) group 5-1 consisting of; class,
Consists of inner upper and lower side plates (B-10), outer upper and lower side plates (B-13), cast base (B-15), lower reinforcement bar (B-18), and lower corner bracket (B-8) 5-2 groups to be; class,
5-1 group, 6-1 group consisting of lower slide bracket support (B-6); class,
5-2 group, 6-2 group consisting of lower slide support (B-9); class,
7-1 group consisting of inner reinforcing bar (B-2) and reinforcing piece (B-3); class,
7-2 group consisting of inner reinforcing bar (B-4) and reinforcing piece (B-3); class,
7-3 group consisting of inner reinforcing bar (B-5) and reinforcing piece (B-3);
After being classified and fixed by group, the main body base panel (B-1) and the 7-1 group, 7-2 group, and 7-3 group are transported and supplied to the main body base panel supply unit, and the 2 group, 6-1 group , 2 groups, and 6-2 groups are continuously automated manufacturing system of photomask storage and protection case, characterized in that it is configured to be transferred and supplied to the component supply unit 120 for each group.
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