KR102448823B1 - Pre-coated COF manufacturing method and COF structure produced by the method - Google Patents

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KR102448823B1 KR1020220004754A KR20220004754A KR102448823B1 KR 102448823 B1 KR102448823 B1 KR 102448823B1 KR 1020220004754 A KR1020220004754 A KR 1020220004754A KR 20220004754 A KR20220004754 A KR 20220004754A KR 102448823 B1 KR102448823 B1 KR 102448823B1
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강지훈
최준호
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주식회사 엠시스
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Abstract

The present invention relates to a pre-coated chip on film (COF) structure. A pre-coated COF structure and a manufacturing process of the COF structure are disclosed. In the above structure, a first adhesive is applied only on a wiring lead on a COF film. The conductive ball is fixed by B-stage curing of the first adhesive after transfer adhesion. Both the upper part of an area where the conductive ball is attached and the wiring lead is pressurized and filled with a second adhesive. The first adhesive and the second adhesive maintain the semi-cured state of a B-Stage.

Description

프리코팅된 COF(Chip on film) 제조방법 및 이 제조 방법에 의하여 제조된 COF 구조{Pre-coated COF manufacturing method and COF structure produced by the method}Pre-coated COF (Chip on film) manufacturing method and COF structure manufactured by the manufacturing method {Pre-coated COF manufacturing method and COF structure produced by the method}

본 발명은 프리코팅된 COF(Chip on film) 제조방법 및 이 제조 방법에 의하여 제조된 COF 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a pre-coated COF (Chip on Film) and a COF structure manufactured by the manufacturing method.

반도체 패키지를 기판에 접합하는 기술에 있어 에폭시와 같은 수지에 필러(도전볼; 솔더볼)를 넣어 이 필러가 전기적인 접속 단자 역할을 하게 하는 필름 형상의 ACF(An-isotropic Conductive Film)를 접착제로 적용하거나 또는 겔(Gel)상의 수지에 도전볼이 함유된 페이스트 타입의 ACP(An-isotropic Conductive Paste)를 적용하는 접합기술이 있다. 그리고, 수지가 반도체 패키지의 외부 접속 단자와 기판 사이에서 언더필(Under Fill)처럼 단자 간 공간을 채워 접합 신뢰성을 향상하는 목적으로 사용되는 필름 형상의 NCF(Non Conductive Film) 또는 페이스트 타입의 NCP(Non Conductive Paste)를 형성하는 접합 기술이 있다. ACF 또는 ACP에서 도전성의 필러, 즉 도전볼은 반도체 패키지와 기판 사이에서 수직 방향으로 전기적으로 통전하는 역할을 한다.In the technology of bonding a semiconductor package to a substrate, a film-shaped ACF (An-isotropic Conductive Film) is applied as an adhesive by putting a filler (conductive ball; solder ball) in a resin such as epoxy so that the filler acts as an electrical connection terminal. Alternatively, there is a bonding technology that applies an ACP (An-isotropic Conductive Paste) of a paste type containing conductive balls to a gel-like resin. In addition, a film-shaped NCF (Non Conductive Film) or a paste-type NCP (Non Conductive Film) or paste-type NCP (Non Conductive Film) used for the purpose of improving bonding reliability by filling the space between the terminals like underfill between the external connection terminal of the semiconductor package and the substrate There is a bonding technology that forms a conductive paste). In the ACF or ACP, a conductive filler, that is, a conductive ball, serves to conduct electricity in a vertical direction between the semiconductor package and the substrate.

디스플레이 패널에 ACF를 접착제로 COF를 접합하는 공정은 도 11에서와 같이, ITO(Indium Tin Oxide)박막과 같은 패턴이 형성된 디스플레이 패널(P')을 준비하고, 도전볼을 함유하며 후면이 보호 또는 이형필름과 같은 커버필름에 의하여 지지되는 ACF를 절단하여 패널(P')과 정렬시키고, ACF를 패널(P')과 가접합한다. 이어 커버필름을 제거하고, 예를 들어 하면에 구리 배선(이하 배선 혹은 리드 혹은 배선리드)이 형성된 폴리이미드(PI) 재질의 COF를 정렬시킨 다음 패널(P')에 열압착한다. The process of bonding the COF to the display panel with the ACF adhesive is as shown in FIG. 11, preparing a display panel (P') having a pattern such as an ITO (Indium Tin Oxide) thin film, containing conductive balls, and protecting or The ACF supported by a cover film such as a release film is cut and aligned with the panel P', and the ACF is temporarily bonded to the panel P'. Then, the cover film is removed, for example, the COF made of polyimide (PI) with copper wiring (hereinafter, wiring or lead or wiring lead) formed on the lower surface is aligned and then thermocompression-bonded to the panel P'.

이와 달리, 프리코팅된 COF를 패널(P')에 부착하는 공정은 도 12에 도시한 것과 같이, 도전볼이 COF의 배선위에만 제1접착제로 고착되어 있고 제2접착제가 도전볼이 고착되어 있는 배선 위 및 배선과 배선사이에 B-stage상태로 접합 코팅되어 있는 형상의 COF 즉 이방전도 접착층을 사전에 COF에 형성시켜 준 프리코팅된 COF를, ITO 박막 패턴이 형성된 디스플레이 패널(P')과 정렬시키고, 두 부재를 열압착하는 더욱 간단한 공정을 거친다. 즉 COF상에 이방전도성 접착층을 미리 형성하여 주는 대신에 ACF를 디스플레이 패널에 가접합하는 공정이 생략된 공정이다. On the other hand, in the process of attaching the pre-coated COF to the panel P', as shown in FIG. 12, the conductive ball is fixed only on the wiring of the COF with the first adhesive and the second adhesive is the conductive ball is fixed. A display panel (P') on which an ITO thin film pattern is formed on a pre-coated COF in which an anisotropic conductive adhesive layer is formed in advance on the COF in a B-stage state and between the wires and between the wires. and a simpler process of aligning the two members with thermocompression bonding. That is, instead of forming an anisotropically conductive adhesive layer on the COF in advance, the process of temporarily bonding the ACF to the display panel is omitted.

출원인은 프리코팅된 COF의 제조방법으로 2021년 4월 13일 특허출원한 10-2021-0047757호에서, COF의 전기적 금속배선 즉 리드표면 위에만 필러를 함유한 B-stage Epoxy를 ACP(An-Isotropic Conductive Paste)접착제로 1차 도포하고 이를 1차 B-stage 상태로 가경화후에 리드표면 및 리드와 리드 사이에는 필러를 함유하지 않은 밀착용 B-stage 에폭시인 NCP(Non-Conductive Paste))를 2차 도포하여 접착한 후 B-stage 경화 상태(B-stage cured Epoxy)로 만들어 주는 공정을 개시하였다. In No. 10-2021-0047757, which was applied for a patent on April 13, 2021 as a manufacturing method of pre-coated COF, the applicant applied ACP (An- Isotropic Conductive Paste) Adhesive is applied first, and after temporary curing to the first B-stage state, NCP (Non-Conductive Paste), a B-stage epoxy for close contact that does not contain filler, is applied between the lead surface and between the leads. After secondary coating and adhesion, a process for making a B-stage cured epoxy was started.

본 발명은 상기 특허출원을 한층 더 개량한 것이다. The present invention is a further improvement of the above patent application.

본 발명은 배선리드 위에만 도전볼이 위치하고 나머지 공간은 반경화 상태의 NCF 혹은 NCP가 충전하도록 하여 COF의 전체적인 물성이 개량되고 기존의 ACF를 이용한 공정을 모두 대체할 수 있는 새로운 방식의 프리코팅된 COF(Chip on film) 제조방법 및 이 제조 방법에 의하여 제조된 COF 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.In the present invention, the conductive ball is located only on the wiring lead and the rest of the space is filled with NCF or NCP in a semi-cured state, so that the overall physical properties of the COF are improved and a new pre-coated method that can replace all processes using the existing ACF. An object of the present invention is to provide a COF (Chip on Film) manufacturing method and a COF structure manufactured by the manufacturing method.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 프리코팅(Pre coated)된 COF(Chip on Film) 구조로서, 상기 구조는 COF필름상의 배선리드 위에만 제1접착체를 통하여 도전볼이 접착, 경화에 의해 고착되고, 도전볼이 접착된 영역의 상부와, 배선리드의 사이 모두에는 제2접착제가 도포 충전되며, 제2접착제는 B-Stage의 반경화 상태를 유지하는, 프리코팅된 COF구조를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a pre-coated COF (Chip on Film) structure, wherein the structure is formed by bonding and curing conductive balls through a first adhesive only on the wiring leads on the COF film. A second adhesive is applied and filled in both the upper part of the area to which the conductive ball is adhered and the wiring leads, and the second adhesive provides a pre-coated COF structure that maintains the semi-cured state of the B-Stage. .

제1접착제는 도전볼을 함유하지 않는 겔(Gel)상의 NCP(Non-Conductive Paste)이며, 제2접착제는 도전볼을 함유하지 않는 NCP(Non-Conductive Paste) 혹은 NCF(Non-Conductive Paste)일 수 있다. The first adhesive is NCP (Non-Conductive Paste) on a gel that does not contain conductive balls, and the second adhesive is NCP (Non-Conductive Paste) or NCF (Non-Conductive Paste) that does not contain conductive balls. can

또한, 본 발명은 프리코팅된 COF(Chip on Film) 구조의 제조 공정으로서, 상기 공정은: 배선리드가 상면에 형성된 COF필름을 준비하는 단계; 배선리드 위에 겔(Gel)상의 제1접착제를 도포하여 코팅하는 단계; 제1접착제상에 도전볼을 전사하고, 가경화(혹은 B-stage 상태로의 경화), 고착시키는 단계; 제2접착제를 준비하여 COF필름과 정렬시키는 단계; 및 제1접착제가 코팅되고 도전볼이 고착되어 있는 COF 필름의 접합부를 덮도록 제2접착제를 타발(blanking)과 약한 열압착으로 가압착하여 제2접착제도 반경화(혹은 B-stage상태로의 경화) 상태를 유지하면서, 제2접착제가 도전볼이 부착된 배선리드 상부를 포함하여 배선리드와 배선리드 사이의 공간을 밀착하여 채우도록 하는 단계를 포함하는, 공정을 제공한다.In addition, the present invention provides a manufacturing process of a pre-coated COF (Chip on Film) structure, the process comprising: preparing a COF film having wiring leads formed on its upper surface; coating the wiring leads by applying a first adhesive on a gel; transferring the conductive ball onto the first adhesive, provisionally curing (or curing to a B-stage state), and fixing the conductive ball; aligning with the COF film by preparing a second adhesive; and press-bonding the second adhesive by blanking and weak thermocompression bonding so as to cover the joint of the COF film to which the first adhesive is coated and the conductive ball is fixed, so that the second adhesive is also semi-cured (or to a B-stage state). curing) state, and allowing the second adhesive to closely fill the space between the wiring lead and the wiring lead, including the upper portion of the wiring lead to which the conductive ball is attached.

배선리드 위에 겔(Gel)상의 제1접착제를 도포하여 코팅하는 단계는, 전사도구에 제1접착제를 일정두께로 코팅(혹은 도포)한 후 이것을 COF 필름의 배선리드와 정렬, 밀착시켜 전사도구에 묻어 있는 접착제가 배선위에 옮겨 전사되도록 하는 단계를 포함할 수 있다.
통상의 20~50um의 피치(pitch)를 갖는 COF, TCP(Tape Carrier Package), FPC(Flexible Printed Circuit) 혹은 PCB(Printed Circuit Board)의 배선리드는 8~18um 정도의 두께로 수지기판 위에 형성되는데 상기 제1접착제 전사도구는 다양한 형상, 소재와 장치 적용이 가능하나 배선위에만 접착제가 전사되고 배선과 배선 사이에는 접착제가 묻지 않도록 하기 위해 밀착 순간에 평행접촉이 되도록 하는 전사기구로 설계하는 것이 중요하다.
전사도구에 제1접착제를 코팅(혹은 도포)하여 줄 때에도 코팅된 접착제에 뭉침이 없도록 균질두께로 코팅해 주는 것이 중요하고 이를 전사한 후에도 전사된 접착제의 두께가 일정하게 유지되어 흘러내리지 않도록 코팅 량과 접착제 점도, 코팅 방법을 선정하는 것이 중요하다.
본 발명에서는 높은 수평도를 갖는 정밀 막대 형상의 유리나 금속을 제작, 적용한 경우에서 양호한 결과를 얻었고 이를 우선하여 서술한다.
전사도구의 표면에 겔(Gel)상의 제1접착제를 수백nm~수um 두께로 균질하게 코팅(혹은 도포)하여 주는 도구는 다양한 형상의 주사기와 토출 팁(tip)을 장착한 정량 토출장치 이거나 롤(roll)코팅, 잉크 스템핑(ink stamping) 등 통상의 겔(Gel)소재 혹은 고점도 액상소재의 박막 코팅 장치중의 하나일 수 있다. 다만 접착제의 공기노출을 최소화한 용기 및 토출장치 구조를 적용하여 장시간 연속작업에도 접착제의 변질이나 점성의 변화를 최소화한 코팅장치구조가 바람직하다.
상기 전사도구는 주사기에 연결된 토출장치를 이용한 정량 토출 기구, 또는 균질한 두께와 분포의 코팅에 사용되는 주사바늘(Needle)이나 멀티 도터(dotter) 또는 유리 혹은 금속막대(Bar)나 전사용 스템프(Stamp) 또는 롤러를 이용한 코팅 장치 또는 스크린 마스크를 포함하는 프린팅 장치 중의 하나일 수 있다.
In the step of coating by applying the first adhesive on the gel on the wiring lead, after coating (or applying) the first adhesive to a certain thickness on the transfer tool, align and close it with the wiring lead of the COF film to attach it to the transfer tool. It may include a step of transferring the adhered adhesive onto the wiring to be transferred.
The wiring leads of COF, TCP (Tape Carrier Package), FPC (Flexible Printed Circuit) or PCB (Printed Circuit Board) having a pitch of 20-50um are formed on a resin substrate with a thickness of about 8-18um. The first adhesive transfer tool can be applied in various shapes, materials and devices, but it is important to design a transfer mechanism that makes parallel contact at the moment of close contact so that the adhesive is transferred only on the wiring and the adhesive does not stick between the wiring and the wiring. do.
Even when coating (or applying) the first adhesive to the transfer tool, it is important to coat the coated adhesive with a homogeneous thickness so that there is no clumping. It is important to select the adhesive viscosity and coating method.
In the present invention, good results were obtained in the case of manufacturing and applying a precision bar-shaped glass or metal having high horizontality, which will be described first.
A tool that uniformly coats (or applies) the first adhesive in gel to a thickness of several hundred nm to several um on the surface of the transfer tool is a quantitative dispensing device equipped with various shapes of syringes and dispensing tips or rolls. (roll) coating, ink stamping (ink stamping), such as a conventional gel (Gel) material or high-viscosity liquid material may be one of the thin film coating device. However, by applying the structure of the container and the discharge device that minimizes the exposure of the adhesive to the air, it is desirable to have a coating device structure that minimizes the deterioration of the adhesive or the change of the viscosity even for a long continuous operation.
The transfer tool is a quantitative dispensing device using a dispensing device connected to a syringe, or a needle or multi-daughter used for coating of uniform thickness and distribution, or a glass or metal bar or stamp ( Stamp) or a coating device using a roller, or a printing device including a screen mask.

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상기 도전볼은 수 um 혹은 수십 um 내외의 미세 분말의 전도성 분말 소재이거나 이 분말의 표면에 일정한 절연막이 도포되어 있는 절연막 코팅 분말소재(Insulation Layer Coated Powder) 또는 비전도성 폴리머, 테프론(teflon), 실리콘수지에 금속막을 입힌 분말 형상의 도전볼 및 그 표면에 다시 비전도성 절연막을 형성해준 도전볼을 포함할 수 있다.The conductive ball is a conductive powder material of several um or several tens of um in size, or an insulation layer coated powder material with a certain insulating film applied to the surface of the powder, or a non-conductive polymer, Teflon, silicone It may include a powder-shaped conductive ball coated with a metal film on a resin and a conductive ball having a non-conductive insulating film formed on the surface again.

또한, 본 발명은 이상의 프리코팅된 COF구조를 포함하는 반도체 디바이스를 제공한다.In addition, the present invention provides a semiconductor device including the above pre-coated COF structure.

또한, 본 발명은 이상의 반도체 디바이스를 포함하는 전자기기를 제공한다.In addition, the present invention provides an electronic device including the above semiconductor device.

본 발명에 의하면 디스플레이 패널 제조공정에서 생산성을 향상하고, 비용을 절감할 수 있다. 즉, 디스플레이 패널에 COF를 접합하는 공정에서 ACF를 가접합하는 시간과 공정을 생략하게 되므로 패널 제조 시간을 단축하게 되어 시간당 생산량이 많아지며 수백, 수천 억원이 소요되는 신규 라인 증설 시 투자 비용을 절감할 수 있다. 프리코팅된 COF를 제작하는 비용, 투자보다 패널 조립라인 생산성 향상에 따른 투자 비용을 줄이는 것이 이익이 된다. According to the present invention, productivity can be improved and costs can be reduced in a display panel manufacturing process. In other words, in the process of bonding COF to the display panel, the time and process of temporary bonding of ACF are omitted, thereby shortening the panel manufacturing time, increasing production per hour, and reducing investment costs when expanding new lines that cost tens or hundreds of billions of dollars. can do. It is beneficial to reduce the investment cost due to the improvement of panel assembly line productivity rather than the cost of manufacturing the pre-coated COF.

본 발명에 의하면, 낮은 접합 저항에 따른 접합 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 즉, 배선위에 배치되는 도전볼의 수를 획기적으로 높일 수 있으므로 접합 저항에 있어서 높은 신뢰성을 확보할 수 있다.
ACF의 경우는 접착제에 함유된 도전볼의 개수를 많게 하여 도전 접속저항을 감소시킬 수 있으나 배선과 배선사이의 단락 위험이 높아져 그 도전볼 함량에 제한을 갖게 되고 장기 신뢰성에도 한계를 갖게 된다.
본 발명에 의하면 디스플레이 패널에 COF를 접속, 접합하는 조립공정에서의 직진율을 향상시킬 수 있다. 즉, ACF를 적용한 패널과 COF 접합의 경우 ACF에 함유된 도전볼이 패널상의 배선과 배선사이 및 COF 상의 배선과 배선 사이에서 전기적 단락(Electrical Bridging or Short) 불량을 발생시켜 패널의 일관 연속작업에서 직진하지 못하고 일시 제외 될 수 있으나 프리코팅된 COF의 경우는 배선위에만 도전볼이 배치되어 있으므로 배선간 단락의 위험이 극히 감소되어 단락불량감소 및 재작업 감소, 직진율의 향상 효과를 얻게 되며 생산성 또한 향상된다.
According to the present invention, bonding reliability due to low bonding resistance can be improved. That is, since the number of conductive balls disposed on the wiring can be dramatically increased, high reliability in junction resistance can be secured.
In the case of ACF, the conductive connection resistance can be reduced by increasing the number of conductive balls contained in the adhesive, but the risk of a short circuit between the wiring increases, which limits the content of the conductive balls and also limits the long-term reliability.
According to the present invention, it is possible to improve the straightness rate in the assembly process of connecting and bonding the COF to the display panel. In other words, in the case of ACF-applied panel and COF bonding, the conductive balls contained in ACF cause electrical short circuit (Electrical Bridging or Short) defects between wirings on the panel and between wirings on the COF. It cannot go straight and may be temporarily excluded, but in the case of pre-coated COF, since conductive balls are placed only on the wiring, the risk of short circuit between wiring is extremely reduced, resulting in reduction of short circuit defects, reduction of rework, improvement of straightness rate, and productivity. It is also improved.

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도 1은 본 발명의 프리 코팅된 COF의 제조 공정의 순서도;
도 2는 도 1은 본 발명의 COF의 제조 공정을 이해하기 쉽도록 도시한 도면;
도 3은 전극이 없는 투명 글래스에 28um pitch의 상용 COF에 상용 ACF를 접착제로 적용하여 열압착 후 배선 위 및 배선과 배선사이에 놓인 도전볼 분산 형태를 관찰한 사진의 도면;
도 4는 도 3의 28um 피치(pitch)의 COF에 본 발명의 프리코팅된 제조공정을 적용하여 만든 Pre-Coated COF를 도3의 전극이 없는 투명 글래스에 열압착한 후 배선위에만 놓인 도전볼의 배치를 투명 글래스쪽에서 바라본 상태의 사진의 도면;
도 5는 도전볼 함량에 따른 접촉저항이 신뢰성 시험 시간에 따라 증가하는 모양을 도시한 그래프;
도 6은 COF의 배선 피치가 작아질수록 도전볼에 의한 전기적 단락(Short) 발생율이 높아진다는 것을 도시한 그래프
도 7은 상용 COF를 투명 글래스에 상용 ACF 접착제로 접합한 후 COF의 배선과 배선사이를 투과 현미경으로 관찰 시 배선과 배선 사이에도 ACF에 함유되어 있는 도전볼이 분산되어 있게 된다는 것을 확인해주는 사진의 도면;
도 8은 도7의 상용 COF에 본 발명의 프리코팅된 COF 기술을 적용하여 제작한 Pre-Coated COF를 투명 글래스에 열압착한 후 배선과 배선사이를 관찰 시 배선과 배선사이에는 도전볼이 위치하지 않다는 것을 확인해 주는 사진의 도면;
도 9는 제1접착제를 도포하는 공정을 도시한 도면; 그리고
도 10은 제1접착제의 도포를 위한 전사도구 형상의 한가지로 적용한 실제 사진의 도면;
도 11은 디스플레이 패널에 ACF를 접착제로 COF를 접합하는 공정을 도시한 도면; 그리고
도 12는 프리코팅된 COF를 패널(P')에 부착하는 공정을 도시한 도면이다.
1 is a flow chart of the manufacturing process of the pre-coated COF of the present invention;
Figure 2 is a view showing the manufacturing process of the COF of the present invention to be easily understood;
3 is a photograph of observing the dispersion of conductive balls placed on and between wires after thermocompression bonding by applying commercial ACF to commercial COF of 28 μm pitch on transparent glass without electrodes;
4 is a conductive ball placed only on the wiring after thermocompression bonding the pre-coated COF made by applying the pre-coated manufacturing process of the present invention to the 28um pitch COF of FIG. 3 to the transparent glass without the electrode of FIG. A drawing of a photograph of the arrangement viewed from the transparent glass side;
5 is a graph showing an increase in contact resistance according to the content of conductive balls according to the reliability test time;
6 is a graph showing that the smaller the wiring pitch of the COF, the higher the rate of occurrence of an electrical short caused by the conductive ball.
7 is a photograph confirming that the conductive balls contained in the ACF are dispersed even between the wires and the wires when the commercial COF is bonded to the transparent glass with a commercial ACF adhesive and observed with a transmission microscope between the wires of the COF. drawing;
8 is a diagram showing the location of a conductive ball between the wiring and the wiring after thermocompression bonding the pre-coated COF manufactured by applying the pre-coated COF technology of the present invention to the commercial COF of FIG. 7 to transparent glass. A drawing of a photograph confirming that it is not;
9 is a view showing a process of applying a first adhesive; and
10 is a view of an actual photograph applied as one of the transfer tool shapes for application of the first adhesive;
11 is a view showing a process of bonding the ACF to the COF with an adhesive to the display panel; and
12 is a view showing a process of attaching the pre-coated COF to the panel (P').

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조로 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 프리 코팅된 COF의 제조 공정에 대하여 설명한다.The manufacturing process of the pre-coated COF of the present invention will be described.

도 1은 본 발명의 COF의 제조 공정을 도시한 순서도이고, 도 2는 이 제조 공정을 이해하기 쉽도록 도시한 도면이다.1 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a COF of the present invention, and FIG. 2 is a diagram illustrating the manufacturing process for easy understanding.

두 도면을 같이 참조하면 먼저, 도전라인(12)이 상면에 형성된 COF필름(1)을 준비한다(S10 및 도 2a). 수십 um 두께의 COF필름(1)은 예를 들어 폴리이미드(Polyimide)가 주성분일 수 있다. 도전라인(12)은 구리 재질의 배선에 주석이나 금이 도금된 것일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. Referring to the two drawings, first, a COF film 1 having a conductive line 12 formed thereon is prepared (S10 and FIG. 2A). The COF film 1 having a thickness of several tens of um may be, for example, polyimide as a main component. The conductive line 12 may be a copper wire plated with tin or gold, but is not limited thereto.

다음, 도전라인(12)위에 겔(Gel)상의 제1접착제(20)를 도포하여 코팅한다(S12 및 도 2b). 제1접착제(20)는 도전볼을 함유하지 않은 B-stage 에폭시 수지인 것이 바람직하며, NCP(Non Conductive Paste)라는 명칭으로 상용화되고 있는 절연, 접합소재를 포함한다. 제1잡착제(20)는 에폭시 수지에 한정되지 않으며, 반도체 패키지 및 실장 공정에서 반경화후에 완전 경화과정을 거치는 접착제로 사용되는 겔(Gel)상의 어떤 단일 혹은 복합수지소재도 사용할 수 있다. Next, the first adhesive 20 on the gel is applied on the conductive line 12 and coated (S12 and FIG. 2B). The first adhesive 20 is preferably a B-stage epoxy resin that does not contain a conductive ball, and includes an insulating and bonding material commercially available under the name of NCP (Non Conductive Paste). The first adhesive 20 is not limited to an epoxy resin, and any single or composite resin material on a gel used as an adhesive that undergoes a complete curing process after semi-curing in the semiconductor package and mounting process may be used.

다음, 제1접착제(20) 상에 도전볼(30)을 전사한다(S14 및 도 2c). 이때 도전볼(30)은 전사도구의 표면에서 제1접착제의 점성에 의해 제1접착제에 전사, 점착하게 되고 이후 B-stage 상태로의 가경화를 통해 도전볼(30)이 제1접착제(20)에 고착되고 제2접착제를 도포하는 과정에 옆으로 밀려 내리지 않고 안정되게 고착된 상태를 유지한다(S16). 이상의 단계에 의하여, 도전볼(30)은 도전라인(12) 상부에만 존재하는 셈이 된다.Next, the conductive ball 30 is transferred onto the first adhesive 20 (S14 and FIG. 2C). At this time, the conductive ball 30 is transferred and adhered to the first adhesive by the viscosity of the first adhesive on the surface of the transfer tool. ) and maintains a stably fixed state without being pushed aside in the process of applying the second adhesive (S16). By the above steps, the conductive ball 30 is present only in the upper portion of the conductive line 12 .

본 발명에 적용되는 도전볼은 패널과 COF간의 전기 통전을 위한 것으로 전도성을 갖는 수 um혹은 수십 um 내외의 미세 분말의 형상(Conductive Powder)은 물론, 전도성 소재에 일정한 절연막이 도포되어 있는 소재(Insulation Layer Coated Powder) 혹은 비전도성 폴리머, 테프론, 실리콘수지 등에 금속막을 입힌 분말 형상의 도전볼(Plastic Cored Conductive Ball) 및 그 표면에 다시 비전도성 절연막을 형성해준 도전볼 등 반도체 패키지 및 디스플레이 패널의 전기적 접속에 있어 통전용으로 실장 작업에 사용되고 이방 전도성의 역할을 수행하는 모든 도전볼을 포함한다. The conductive ball applied to the present invention is for electric conduction between the panel and the COF, and has a conductive powder shape of several um or several tens of um having conductivity, as well as a material having a certain insulating film applied to the conductive material (Insulation). Electrical connection of semiconductor packages and display panels, such as a powder-type conductive ball coated with a layer coated powder) or a non-conductive polymer, Teflon, silicone resin, etc. and a conductive ball with a non-conductive insulating film formed on the surface again It includes all conductive balls that are used for mounting work for current and play the role of anisotropic conductivity.

다음, 커버필름(42)에 의하여 후면이 지지되는 제2접착제(40)를 준비하여 단계(S16)를 거친 COF필름(1)과 정렬시킨다(S18 및 도 2d). 제2접착제(40)는 B-stage 에폭시 수지이거나 페놀(Phenol)수지이거나 여기에 고무 소재를 포함한 열가소성 플라스틱(Thermoplastic) 수지가 혼합된 복합 수지 일 수 있으며 제1접착제(20)와 상이한 성분이라도 좋으며, 도전볼을 함유하지 않으므로 반도체 패키징(Packaging)이나 SMT(Surface Mounting Technology)공정에 적용되는 통상의 NCF(Non Conductive Film) 나 NCP(Non Conductive Paste)로 분류되는 접착제들 중에 B-stage 경화특성을 갖는 접착제들을 포함한다.
본 발명에서 서술한 도1, 도2의 공정도는 제2접착제로 커버필름이 있는 NCF를 적용한 공정도를 나타낸 것이나 액상의 NCP를 적용시 도포 방법만 변경하면 되는 것으로 일반적으로 알려진 겔(Gel)상의 접착제를 일정 폭과 두께로 일정영역에 도포하고 가경화로 B-stage 상태를 유지하는 소재면 적용 가능하다. 다만 본 발명은 제2접착제로 겔(Gel)상의 NCP를 도포하는 것보다는 필름(Film)상의 NCF를 타발, 가압착 하는 것이 바람직하며 적용시 우선한다.
Next, prepare the second adhesive 40, the back of which is supported by the cover film 42, and align it with the COF film 1 that has been subjected to step S16 (S18 and FIG. 2D). The second adhesive 40 may be a B-stage epoxy resin, a phenol resin, or a composite resin in which a thermoplastic resin including a rubber material is mixed therein, and may be a different component from the first adhesive 20 , it does not contain conductive balls, so it has a B-stage curing characteristic among adhesives classified as normal NCF (Non Conductive Film) or NCP (Non Conductive Paste) applied to semiconductor packaging or SMT (Surface Mounting Technology) process. adhesives with
The process diagrams of FIGS. 1 and 2 described in the present invention show a process diagram of applying NCF with a cover film as the second adhesive, but when applying liquid NCP, it is generally known that only the application method needs to be changed. It can be applied to a material that is applied to a certain area with a certain width and thickness and maintains the B-stage state by temporary curing. However, in the present invention, it is preferable to punch and press-bond the NCF on the film rather than applying the NCP on the gel with the second adhesive, and it takes precedence when applying.

NCF를 우선하는 이유에는 몇 가지 있으나 그 중 첫째는 최근의 COF처럼 수십 um수준의 미세 피치에 적용되는 ACF의 경우 그 폭이 1.0, 1.2, 1.5mm인 것이 주로 사용되고 있는데 이를 겔(Gel)상으로 대체 도포할 경우 그 폭을 일정하게 형성, 유지하게 도포하는 방법이 필름에서 보다 용이하지 않다. There are several reasons for prioritizing NCF, but the first is that, in the case of ACF applied to a fine pitch of several tens of um like recent COF, those with widths of 1.0, 1.2, and 1.5 mm are mainly used. In the case of alternative application, the method of forming and maintaining the width of the film is not easier than that of the film.

둘째, 소재별 물질적 특성의 차이가 있으나 겔(Gel)상의 NCP를 제2접착제로 도포하여 B-stage 상태로 유지하게 하여 제작된 Pre-coated COF를 패널에 본압착 즉 열압착 하는 경우는 NCF를 제2접착제로 열압착 하는 경우 보다 기포발생이 많을 수 있다. Second, although there are differences in the material properties of each material, NCF is applied to the panel by applying NCP on gel as a second adhesive to maintain it in a B-stage state. In the case of thermocompression bonding with the second adhesive, more bubbles may be generated.

다음, 제2접착제(40)를 타발(blanking)하여 배선리드가 배열되어 있는 COF필름(1)의 접합부에 밀착시킨 상태로 열과 압력을 가하여 가압착한다(S20 및 도 2e). 제2접착제(40)는 도전볼(30)이 부착된 도전라인(12)을 포함하여 도전라인(12)과 도전라인(12) 사이의 공간을 채운다. 제2접착제(40)가 겔(Gel)상인 경우는 B-stage전 상태에서 COF의 접합부에 도포한 직후 B-stage상태로의 반경화를 진행하여 Pre-Coated COF가 완성되게 하는 것이고 필름(film)상인 경우는 이 자체가 B-stage화 되어 있는 것으로 이를 가압하여 COF의 접합부에 밀착시켜 줌으로서 Pre-Coated COF의 제품화가 완성되게 하는 것으로 이 두 가지 방법으로 도포된 약한 점성을 갖는 제2접착제는 디스플레이 패널과의 열 압착시 고온에서 짧은 시간에 B-stage에서 C-stage로 완전 경화되거나 순간적으로 열경화성 수지에 함유되어 있는 열가소성 수지 등의 기능으로 일시적으로 다시 녹았다가 완전 경화되는 열압착 경화를 진행하게 된다. Next, by blanking the second adhesive 40, heat and pressure are applied to the bonding portion of the COF film 1 on which the wiring leads are arranged, and press-bonding is applied (S20 and FIG. 2E). The second adhesive 40 fills the space between the conductive line 12 and the conductive line 12 including the conductive line 12 to which the conductive ball 30 is attached. When the second adhesive 40 is in the gel phase, it is applied to the junction of the COF in the pre-B-stage state and semi-cured to the B-stage state to complete the pre-coated COF. In the case of the ) phase, it is itself B-staged, and it is pressed and adhered to the junction of the COF to complete the commercialization of the pre-coated COF. A second adhesive with weak viscosity applied by these two methods is fully cured from B-stage to C-stage in a short time at high temperature when thermally compressed with a display panel will proceed with

다음, 단계(S20)를 거친 제품에서 커버필름(42)을 분리하여 제거한다(S22). 단계(S22)는 단계(S20)와 동시에 실행해도 좋다.Next, the cover film 42 is separated and removed from the product that has undergone step S20 (S22). Step S22 may be executed simultaneously with step S20.

이와 같이 본 발명은 도전볼을 함유하지 않은 제1 접착제(NCP)를 배선 리드위에만 도포하고, 이 위에만 도전볼을 전사, 접합되게 한 후에 열경화 혹은 UV조사등으로 가경화(혹은 B-stage로의 경화), 고착시키고, 도전볼이 고착된 배선리드를 포함하여 배선리드와 배선리드 사이에 겔(Gel)상이거나 필름(Film)상의 제2접착제가 도포, 반경화 혹은 약한 열에 의한 가 접합 상태가 되게 한 프리 코팅된 COF 제조 방법에 특징이 있다.As described above, in the present invention, the first adhesive (NCP) that does not contain conductive balls is applied only on the wiring leads, and the conductive balls are transferred and bonded only on this, and then temporarily cured (or B-) by thermal curing or UV irradiation. Temporary bonding by applying, semi-hardening, or weak heat between the wiring leads and the wiring leads, including the wiring leads to which conductive balls are fixed. The pre-coated COF preparation method is characterized by being brought to the state.

본 발명은 도전볼(30)의 형태에 관계없이 COF의 도전라인(12)위에만 고착되므로 도전라인(12)과 도전라인(12) 사이에는 도전볼(30)이 위치하지 않아 도전볼(30)에 절연막 코팅이나 기타 도전볼(30) 사이에 간격 유지 절연 기술을 적용하지 않더라도 전기적 절연성이 매우 양호하며, 기존의 절연막 코팅 도전볼 제작 비용 대비 저렴한 도전볼의 제작 및 적용이 가능하다.In the present invention, regardless of the shape of the conductive ball 30, the conductive ball 30 is not positioned between the conductive line 12 and the conductive line 12 because it is fixed only on the conductive line 12 of the COF. ), the electrical insulation is very good even if the insulating film coating or other insulating technology for maintaining the gap between the conductive balls 30 is not applied, and it is possible to manufacture and apply a conductive ball that is inexpensive compared to the manufacturing cost of the conventional insulating film coated conductive ball.

본 발명은 기존의 LDI(LCD Driver IC)를 실장하는 COF, TCP등의 패키지 제조후에 패키지 필름 배선 위에 이방전도성 접합부를 미리 형성해 주는 것 이외에도 Flip Chip 패키지를 PCB나 FPCB 기판에 ACF를 이용하여 실장할 때 ACF를 대체하여 기판의 단자 위에만 도전볼이 배치되도록 이방전도성 접착층을 형성해주는 경우 본 기술이 적용된다 할 수 있다. 즉, 본 발명의 프리 코팅된 COF는 이방 전도성 도전볼을 적용하여 COF, TCP, FPCB IC, FC(Flip Chip) FPCB, FC CSP(Chip Scale Package 등의 반도체 Package를 PCB, ITO(Indium Tin Oxide) Glass와 같은 기판에 전기적으로 접속되게 하기 위해 ACF나 ACP를 적용하는 모든 공정에 있어 기존 ACF, ACP 코팅, 도포 공정을 포괄적으로 대체할 수 있다. 즉, COF 패키지를 ITO Glass나 PCB (Printed Circuit Board) 기판에 접합할 때 ACP나 ACF 접착제를 적용하여 이에 함유된 도전볼이 상하 이방성으로만 통전하게 하는 접합방식을 포함하여 SMT형 반도체 패키지의 하부 접속단자와 기판상의 접합 배선부에 ACP나 ACF를 적용하여 이에 함유된 도전볼을 이용하여 상하 이방성으로만 전기접속 되게 하는 방법을 대체, 개선하여 패키지 하부 단자 위에만 도전볼을 배치하거나 기판의 접합부 위에만 선별적으로 도전볼을 배치하게 하여 접합, 통전하게 하는 대부분의 SMT(Surface Mounting Technology)형 패키지 실장에 응용, 적용이 가능하다.The present invention provides a way to mount a flip chip package on a PCB or FPCB board using ACF in addition to forming an anisotropic conductive junction on the package film wiring in advance after manufacturing a package such as COF, TCP, etc. for mounting the existing LDI (LCD Driver IC). When replacing the ACF and forming an anisotropic conductive adhesive layer so that conductive balls are placed only on the terminals of the board, the present technology can be applied. That is, the pre-coated COF of the present invention applies an anisotropic conductive conductive ball to semiconductor packages such as COF, TCP, FPCB IC, FC (Flip Chip) FPCB, and FC CSP (Chip Scale Package) to PCB, ITO (Indium Tin Oxide) In all processes of applying ACF or ACP in order to be electrically connected to a substrate such as glass, it can comprehensively replace the existing ACF, ACP coating, and coating processes, that is, a COF package with ITO Glass or Printed Circuit Board (PCB) ) When bonding to the substrate, ACP or ACF is applied to the lower connection terminal of the SMT-type semiconductor package and the bonding wiring part on the board, including the bonding method in which the conductive balls contained therein are energized only in an anisotropic manner by applying ACP or ACF adhesive. By applying and improving the method of making electrical connection only up and down anisotropy using the conductive balls contained therein, the conductive balls are arranged only on the lower terminal of the package, or the conductive balls are selectively placed only on the junction of the board for bonding, It can be applied and applied to most SMT (Surface Mounting Technology) type package mounting that conducts electricity.

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본 발명의 프리 코팅된 COF는 가접합 상태로 제공되므로 어떤 반도체 디바이스나 패키지의 부품과도 결합할 수 있다.Since the pre-coated COF of the present invention is provided in a temporary bonding state, it can be combined with any semiconductor device or component of a package.

다음 표 1은 기존의 ACF 접합 방식과 본 발명의 프리코팅 COF를 적용한 경우 COF 패키지의 물성을 비교한 것이다. COF는 20um pitch FPC를 제작하여 측정, 평가한 결과값이다. Table 1 below compares the physical properties of the COF package when the conventional ACF bonding method and the pre-coated COF of the present invention are applied. COF is the result of measurement and evaluation of 20um pitch FPC.

표 1에서 ACF에 대한 물성은 상용 ACF에 대해 공개된 자료를 반영하였고 본 발명기술인 Pre-Coated COF에 대한 기계적, 전기적 특성값은 상용의 ACF의 특성 측정방법으로 알려진 방법들과 유사한 측정 규격에 따라 측정된 값이다. 표1은 본 기술개발 결과물을 완성하는 조건 수준이 아니라 결과물의 측정된 수준을 나타낸다. In Table 1, the physical properties of ACF reflect the published data for commercial ACF, and the mechanical and electrical property values for Pre-Coated COF, which is the present invention technology, are measured according to the measurement standards similar to methods known as commercially available methods for measuring properties of ACF. It is the measured value. Table 1 shows the measured level of the result, not the condition level for completing the result of this technology development.

특성항목characteristic item 단위unit ACFACF 프리코팅 COFPre-coated COF 초기 전단강도(Shear Strength)Initial Shear Strength N/Cm2N/cm2 37이상37 or more 45 이상45 or more 필강도(Peel Strength)Peel Strength Kg/Cmkg/cm 1.01.0 1.21.2 초기 접촉저항initial contact resistance 500 이하500 or less 450 이하450 or less 전기절연특성Electrical Insulation Characteristics ΩΩ 109 이상10 9 or more 1010 이상10 10 or more 적용 피치Applicable pitch umum 25 이상 25 or more 20 이상 20 or more 포획율catch rate %% 10 ~ 4010 to 40 90 이상over 90

첫째 항목인 초기 전단 강도(Shear Strength)는 25mmw x 100mml x 0.7mmt 크기의 PCB기판 2개를 준비하여 하나의 PCB 끝단의 일정면적(25mmw x 12.5mml)에 Pre-Coated COF제작에 적용한 기술과 동일한 공정을 적용하여 제1접착제 도포 및 도전볼전사 그리고 제2접착제를 도포, 가경화후 다른 PCB의 끝단과 열압착한 후 인장강도 시험기로 전단강도를 측정한 것이다. 적용된 규격은 “KS M 3705:2020, 접착제의 일반 시험방법”이다. The first item, the initial shear strength, is the same as the technology applied to the pre-coated COF production on a certain area (25mmw x 12.5mml) of one PCB end by preparing two PCB boards with the size of 25mmw x 100mml x 0.7mmt. After applying the process, applying the first adhesive, conductive ball transfer, and applying the second adhesive, temporary curing, and thermocompression bonding with the end of another PCB, and then measuring the shear strength with a tensile strength tester. The applied standard is “KS M 3705:2020, General Test Method of Adhesive”.

둘째 항목인 필강도(Peel Strength)경우 FPC의 배선 접합부에 본 발명기술인 Pre-Coated COF제조공정을 적용하여 제1접착제 도포 및 도전볼 전사 후 폭 1.2mm, 길이 40mm, 두께 20um인 제2접착제를 가접한 후 투명 Glass에 본 압착 조건인 290도 10초~15초 열경화 조건으로 열압착한 시료를 제작하여 Dage-4000 모델의 필측정기(Peel Tester)로 그 한 쪽을 잡아 90도의 각도를 유지하게 하면서 당긴 인장강도 값을 접합부 폭의 길이(Cm)당의 필링강도(Peel Strength)로 환산하여 나타낸 값이다. In the case of the second item, Peel Strength, the pre-coated COF manufacturing process of the present invention is applied to the wiring joint of the FPC, and after applying the first adhesive and transferring the conductive ball, a second adhesive with a width of 1.2mm, a length of 40mm, and a thickness of 20um is applied. After temporary welding, prepare a sample that is thermocompressed on transparent glass under the compression condition of 290 degrees for 10 to 15 seconds, which is the main compression condition, and hold one side with a peel tester of Dage-4000 model to maintain a 90 degree angle. It is a value expressed by converting the tensile strength value pulled while making it into the peeling strength per length (Cm) of the width of the joint.

초기 접촉저항은 4-point Probing을 위해 하나의 배선을 전압과 전류특성측정을 위한 2개 배선으로 갈라지게 한 패턴을 특별히 제작하여 측정한 것으로 FPC와 Glass에 각각 20um pitch 배선을 포토공정과 Additive Plating 공정으로 제작 후 FPC에는 당사 Pre-Coated COF공정을 진행하여 B-stage 접착제가 도포, 형성되게 한 후 Glass와 열압착한 후에 FPC의 하나의 배선이 하단의 Glass의 배선과 도전볼로 압착, 통전하게 연결 후 4-pint Probing Test를 하여 얻은 값이고((4-point probing) 절연저항은 20um pitch의 Pre-Coated COF방식으로 제작한 FCP를 동일 패턴의 Glass에 열압착하여 통전하게 한 후에 FPC 상의 두 개 배선간의 전기절연값을 측정한 것이다. The initial contact resistance was measured by specially manufacturing a pattern in which one wire was split into two wires for measuring voltage and current characteristics for 4-point probing, and 20um pitch wires were applied to FPC and Glass respectively through photo processing and additive plating. After manufacturing with the process, our Pre-Coated COF process is applied to the FPC to apply and form the B-stage adhesive, and after thermocompression bonding with the glass, one wire of the FPC is compressed and energized with the wire of the lower glass and the conductive ball. It is a value obtained by performing a 4-pint probing test after connecting The electrical insulation value between two wires is measured.

넷째 항목인 Pre-coated COF의 적용 피치의 의미는 20um pitch 로 제작한 FPC에 본 발명기술인 Pre-coated COF 공정을 적용, 제작하고 이를 20um Pitch의 Glass Pattern과 열압착 하였을 때 전기적, 기계적인 문제가 없이 양호한 결과를 나타냈다는 것을 의미한다는 것으로 피치(Pitch)는 FPC 및 Glass Pattern의 배선폭(line)과 배선간격(space)을 더한 값이다. The fourth item, the meaning of the application pitch of pre-coated COF, is that when the pre-coated COF process, which is the present invention technology, is applied and manufactured to FPC manufactured with a 20um pitch, and when it is thermocompressed with a glass pattern of 20um pitch, electrical and mechanical problems are eliminated. It means that good results were obtained without the need for a pitch.

포획율은 상용의 ACF를 이용하여 상용 30um pitch의 COF와 투명 Glass를 열압착 접합한 것과 동일 30um pitch COF에 본 발명의 Pre-Coated COF 기술을 적용하여 투명 Glass에 열압착 접합한 시료를 각각 Glass쪽에서 관찰하여 배선과 배선 사이 간격을 포함한 1500um2의 일정 면적에서 배선 위에 놓인 도전볼의 개수와 배선사이 간격에 위치한 도전볼의 개수를 비율로 나타낸 값이다. The capture rate is the same as that of thermocompression bonding of commercial 30um pitch COF and transparent glass using commercial ACF. By applying the Pre-Coated COF technology of the present invention to 30um pitch COF, each sample that is thermocompression bonded to transparent glass is glass. Observed from the side, it is a value expressing the ratio of the number of conductive balls placed on the wiring to the number of conductive balls located in the space between the wiring in a certain area of 1500um 2 including the gap between the wiring.

Figure 112022004174015-pat00003
Figure 112022004174015-pat00003

이 결과에 나타난 것처럼 Pre-Coated COF 기술에서는 배선위에만 도전볼을 배치하게 되므로 도전볼 포획율이 상용의 ACF에서 보다 현격히 높다는 것을 알 수 있다. As shown in this result, it can be seen that in the pre-coated COF technology, the conductive balls are placed only on the wiring, so the catch rate of the conductive balls is significantly higher than in the commercial ACF.

도 3은 피치 28um, Line/Space = 10um/20um인 상용 COF에 상용 ACF 접착제로 투명 Glass에 열압착한 상태를 투명 Glass쪽에서 관찰한 것으로 1500um2의 배선면적 위에 접합된 도전볼의 개수는 3-4개로 확인되었다. 본 실험에 적용한 상용 ACF는 폭이 1.2mm이고 두께가 18um인 것으로 ACF에 함유된 도전볼은 평균 직경은 3um수준이고 Ni/Au가 도금되어 있는 것으로 수십um 피치 수준의 미세 피치 COF의 열압착에 사용되고 있는 것으로 알려져 있다.3 is an observation from the transparent glass side of a commercial COF with a pitch of 28um, Line/Space = 10um/20um and a commercial ACF adhesive to the transparent glass. The number of conductive balls bonded on the wiring area of 1500um 2 is 3- 4 were confirmed. The commercial ACF applied in this experiment has a width of 1.2mm and a thickness of 18um. The conductive balls contained in the ACF have an average diameter of 3um and are Ni/Au plated. known to be used.

이에 대하여 동일한 COF에 본 발명의 프리코팅된 COF 제조 공정을 적용하여 이를 투명 Glass에 열압착한 후 투명 Glass쪽에서 바라본 상태의 사진은 도 4와 같다. 열압착 전의 프리 코팅된 COF에는 도전볼이 배선 위에만 접합되어 있고 접착제는 배선 위와 배선사이 모두 도포되어 있으며 이 접착제는 COF에 가접한 상태로 B-stage상태를 유지하고 있다. In contrast, a photograph of a state viewed from the transparent glass side after applying the pre-coated COF manufacturing process of the present invention to the same COF and thermocompression bonding it to the transparent glass is shown in FIG. 4 . In the pre-coated COF before thermocompression bonding, the conductive ball is bonded only on the wiring, and the adhesive is applied on both the wiring and between the wirings.

투명 Glass에 프리 코팅된 COF가 열압착된 배선 주변을 관찰하면 다수의 도전볼이 배선 위에만 배치되어 있음을 확인할 수 있다. 배선면적 1500um2에 접합된 도전볼의 개수는 22~28개 수준으로 상용 ACF대비 8배 정도의 높은 도전볼 밀집도를 나타낸다. 도전볼의 밀집도는 COF 제조공정에서 조절이 가능하다. 실험에 적용된 투명 Glass는 0.7mm두께로 LCD, OLED 제작 시 사용되는 디스플레이 패널의 두께와 유사한 두께를 갖는 것이다. If you observe the periphery of the wire where the COF pre-coated on the transparent glass is thermocompression bonded, it can be confirmed that a large number of conductive balls are placed only on the wire. The number of conductive balls joined to the wiring area of 1500um 2 is 22~28, which shows the density of conductive balls 8 times higher than that of commercial ACF. The density of conductive balls can be adjusted in the COF manufacturing process. The transparent glass applied in the experiment is 0.7mm thick and has a thickness similar to the thickness of the display panel used in manufacturing LCD and OLED.

프리 코팅된 COF에 적용한 제2접착제는 ACF와 유사한 필름 형상으로 ACF와 동일한 폭 1.2mm, 두께 20um인 것을 적용하였고 도전볼은 직경 크기도 3um로 유사한 것을 적용하였다. 다만 본 발명자들은 3um인 플라스틱 코어에 Ni을 진공 증착하고 이 위에 Au를 도금한 자체 특허 기술 도전볼을 적용하였는데 상용 ACF에 적용되는 Ni/Au 무전해 도금 도전볼에 비해 플라스틱 분말(혹은 폴리머분말 혹은 Plastic Powder, Plastic Core)와의 밀착력이 매우 우수한 특성을 갖는다.
상용의 ACF나 본 발명의 공정의 열압착 조건은 동일하며, 압착 도구의 세팅 온도는 290도, 열압착 시간은 10~15초로 작업한 것이다. 도전볼의 높은 밀집도에도 불구하고 열압착 후 COF의 필강도(Peel Strength)는ACF 접합의 경우 1kg/Cm 내외 수준이고 본 발명의 경우 1.2~1.6kg/Cm 수준을 나타냈다.
The second adhesive applied to the pre-coated COF had a film shape similar to that of ACF, and had the same width as ACF of 1.2 mm and a thickness of 20 μm, and a conductive ball was applied with a diameter of 3 μm. However, the inventors of the present inventors applied their own patented conductive ball that vacuum-deposited Ni on a 3um plastic core and plated Au on it. Compared to the Ni/Au electroless plating conductive ball applied to commercial ACF, It has very good adhesion with plastic powder and plastic core).
The thermocompression bonding conditions of the commercial ACF and the process of the present invention are the same, the setting temperature of the crimping tool is 290 degrees, and the thermocompression bonding time is 10 to 15 seconds. Despite the high density of conductive balls, the peel strength of the COF after thermocompression bonding was about 1 kg/Cm in the case of ACF bonding and 1.2 to 1.6 kg/Cm in the case of the present invention.

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이상의 평가 결과를 종합하면 본 발명의 프리코팅 COF가 초기 접합 강도, 초기 접합 저항, 적용 피치, 전기 절연 특성 및 포획율 등 모든 면에서 우수함을 확인할 수 있다.Combining the above evaluation results, it can be confirmed that the pre-coated COF of the present invention is excellent in all aspects such as initial bonding strength, initial bonding resistance, application pitch, electrical insulation properties, and capture rate.

특히 포획율의 차이는 COF와 디스플레이 Panel 간의 초기접촉저항과 신뢰성, 전기적인 단락, 협피치에 따른 디스프레이 패널의 화소수 증대 즉 화면의 선명성 등과도 밀접한 관계를 한다. In particular, the difference in the capture rate is closely related to the initial contact resistance and reliability between the COF and the display panel, electrical short circuit, and the increase in the number of pixels of the display panel according to the narrow pitch, that is, the clarity of the screen.

도 5는 상용의 ACF에 함유되는 도전볼의 함량이 작으면 장시간의 신뢰성 평가에서 도전볼의 함량이 높은 것들에 대비하여 초기 접촉저항이 급격히 높아진다는 것을 나타낸다. 물론 상용의 ACF내에 함유된 도전볼 함량(%)을 많게 하여 초기 접촉저항을 낮추고 신뢰성을 높이는 방안이 있을 수는 있으나 배선사이에 위치하는 도전볼의 수가 증가하고 도전볼과 배선사이의 간격이 좁아져 단락(Short)의 위험이 높아지고 접착력을 약화시키는 문제가 있어 함량을 높이는데 한계를 갖게 된다.5 shows that when the content of the conductive balls contained in the commercial ACF is small, the initial contact resistance is sharply increased compared to those with a high content of the conductive balls in the long-term reliability evaluation. Of course, there may be a way to lower the initial contact resistance and increase the reliability by increasing the content (%) of the conductive balls contained in the commercial ACF. There is a problem in that the risk of short circuit increases and the adhesive strength is weakened, so there is a limit in increasing the content.

상용 ACF에서 도전볼의 함량을 높이면 접착제의 함량(부피비중)이 작아져 접착력이 약화되는 약점을 갖게 되는데 비해서 본 기술의 Pre-Coated COF에서는 배선과 배선사이에는 도전볼이 배치되지 않으므로 충분한 량의 접차제가 밀착, 충진되어 접착력도 약화시키지 않는다는 강점을 갖는다. In commercial ACF, if the content of conductive balls is increased, the adhesive content (volume specific gravity) decreases and the adhesive strength is weakened. Adhesive is closely adhered and filled, so it has the strength of not weakening the adhesive force.

도 6은 COF의 배선 피치가 작아지면 작을수록 도전볼로 인한 배선간 전기적 단락(Short) 발생율이 높아진다는 것을 나타내는데 도전볼에 절연막을 입힌 경우에도 피치가 작아지면 단락의 위험이 증가하게 된다는 것을 나타낸다. 즉 상용의 ACF는 배선과 배선 사이에도 절연 도전볼이 위치하게 되므로 이에 따른 단락의 위험이 잔존한다는 것을 의미한다.6 shows that the smaller the wiring pitch of the COF, the higher the rate of occurrence of an electrical short between wires due to conductive balls. . That is, commercial ACF means that the risk of a short circuit remains because an insulating conductive ball is also located between the wiring and the wiring.

COF의 배선 피치는 디스플레이 패널에 적용되는 경우 화소수의 증가, 밀집도 증가 경향에 따라 나날이 작아 지고 있고 이것이 디스플레이 핵심기술중의 하나가 된다. 도 5와 도 6은 현재의 배선 피치를 더 줄이는데 있어 상용 ACF 적용기술의 한계를 보여주는데 반해서 본 발명의 Pre-Coated COF기술은 배선위에만 도전볼을 배치하므로 상용의 ACF적용 COF 피치 보다 더 미세한 피치의 COF 적용에 더욱 유리하고 효과적일 것이라는 것을 알 수 있다. When applied to a display panel, the wiring pitch of COF is getting smaller as the number of pixels increases and density increases day by day, and this becomes one of the core display technologies. 5 and 6 show the limitations of the commercial ACF application technology in further reducing the current wiring pitch, whereas the Pre-Coated COF technology of the present invention arranges conductive balls only on the wiring. It can be seen that it will be more advantageous and effective for the COF application of

현재 상용화 중인 ACF의 필러 함량은 10%내외이며, 발명자들이 상용의 ACF접합을 Glass에 열압착 한 후 확인한 샘플의 경우 5%이내의 매우 낮은 함량을 보였다. 이에 대하여, 본 발명의 프리코팅된 COF의 경우는 거의 모든 도전볼을 라인과 정렬시켜 배치하므로 그 배선상에 배치된 도전볼의 개수(밀집도)는 상용의 ACF에서의 개수 대비 도 3과 도 4의 분석결과만 보아도 8배 이상 높게 나타났다. The filler content of ACF currently commercialized is around 10%, and the sample confirmed by the inventors after thermocompression bonding of commercial ACF bonding to glass showed a very low content within 5%. On the other hand, in the case of the pre-coated COF of the present invention, since almost all conductive balls are arranged in alignment with the line, the number (density) of the conductive balls disposed on the wiring is compared to the number in the commercial ACF in FIGS. 3 and 4 In the analysis results alone, it was found to be more than 8 times higher.

따라서 도 5와 도 6의 그래프를 통해 본 개발기술로 적용한 Pre-Coated COF는 상용의 ACF적용 접합방식 대비 매우 낮은 수준의 초기 접촉저항 뿐만 아니라 장시간의 신뢰성평가에서도 매우 높은 신뢰성을 확보할 수 있을 것으로 충분히 예측할 수 있다.Therefore, through the graphs of FIGS. 5 and 6, the Pre-Coated COF applied with this developed technology can secure very high reliability not only in the initial contact resistance at a very low level compared to the commercial ACF applied bonding method, but also in the long-term reliability evaluation. sufficiently predictable.

도 7과 도 8은 배선과 배선 사이에 놓이게 되는 도전볼을 관찰하기 위해 투과 모드로 현미경 관찰한 사진으로 도 7은 상용 ACF로 접합 후 투과 현미경으로 관찰 시 배선과 배선 사이에도 Ni/Au 도전볼이 분산되어 있는 것을 확인할 수 있다. ACF는 도전볼이 필름 전체에 균질 분산되게 제작한 것이라 배선사이에도 배선 위에서와 동일한 수의 도전볼이 위치하게 된다. 7 and 8 are photos obtained under a microscope in transmission mode to observe conductive balls placed between wirings. It can be seen that this is dispersed. ACF is manufactured so that the conductive balls are uniformly dispersed throughout the film, so the same number of conductive balls are located between the wires as on the wires.

도 8은 본 발명의 프리코팅된 COF를 동일 패널에 적용하여 열압착한 후의 관찰 사진으로 배선과 배선사이에는 도전볼이 거의 배치되어 있지 않은 것을 확인할 수 있다.8 is an observation photograph after applying the pre-coated COF of the present invention to the same panel and thermocompression bonding, and it can be seen that almost no conductive balls are disposed between the wiring and the wiring.

다음, 도전라인(12)위에 겔(Gel)상의 제1접착제(20)를 도포하는 방법으로서는, 도 9에 도시한 것과 같이 금속이나 유리 막대의 폭과 길이를 도포하고자 하는 면적에 맞게 가공하여 준비한 도구(100)에 제1접착제(20)를 도포한 후 이것을 COF 필름(1)의 접합부위에 정렬하고 전사하는 방법을 이용하는 것이 좋다. Next, as a method of applying the first adhesive 20 in gel form on the conductive line 12, as shown in FIG. 9, the width and length of the metal or glass rod are processed according to the area to be applied After applying the first adhesive 20 to the tool 100, it is preferable to use a method of aligning it to the bonding portion of the COF film 1 and transferring it.

도 10은 도포를 위한 전사도구(100)의 실제 사진으로, 하부의 제2글래스 홀더(102)와 상부의 제1글래스홀더(104)를 포함하며, 제1글래스 홀더(104)에 접착제 전사용 막대(106)가 설치된다.10 is an actual photo of the transfer tool 100 for application, including a lower second glass holder 102 and an upper first glass holder 104, for adhesive transfer to the first glass holder 104 A rod 106 is installed.

이상은 전사도구(100)의 일례이며, 제1접착제 전사도구는 통상 8~12um 내외 두께의 배선위에만 접착제가 전사되고 배선과 배선 사이에는 접착제가 묻지 않도록 즉 전사되지 않도록 높은 수평도를 갖는 경질의 유리 혹은 금속막대 형상이고 그 표면에 겔(Gel)상의 제1접착제를 수백nm~수um 두께로 균질하게 코팅(혹은 도포)하여 주는 도구는 다양한 형상의 주사기와 토출 팁(tip)을 장착한 정량 토출장치 이거나 롤(roll)코팅, 잉크 스템핑(ink stamp) 등 통상의 겔(Gel)소재 혹은 고점도 액상소재의 박막 코팅 장치중의 하나일 수 있다. 다만 접착제의 공기노출을 최소화한 용기와 토출장치 구조로 장시간 연속작업에도 접착제의 변질이나 점성의 변화를 최소화한 코팅장치구조가 바람직하다.The above is an example of the transfer tool 100, and the first adhesive transfer tool has a high level of horizontality so that the adhesive is transferred only on the wiring with a thickness of about 8 to 12 μm, and the adhesive is not attached between the wiring and the wiring, that is, it is not transferred. A tool that is in the shape of a glass or metal rod and uniformly coats (or applies) the first adhesive on the surface to a thickness of several hundred nm to several um. It may be a quantitative discharge device, or it may be one of a thin film coating device of a conventional gel material or a high-viscosity liquid material such as roll coating and ink stamping. However, it is desirable to have a structure of a container and a discharge device that minimizes the exposure of the adhesive to the air, and a coating device structure that minimizes the deterioration of the adhesive or the change in viscosity even for a long continuous operation.

이상 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명에 대해서는 다양한 변경과 수정이 가능하며 본 발명의 권리범위는 이하 기술하는 청구범위와 동일 또는 균등한 영역에까지 미침은 자명하다.Although the preferred embodiment of the present invention has been described above, various changes and modifications are possible with respect to the present invention, and it is obvious that the scope of the present invention extends to the same or equivalent scope as the claims described below.

Claims (11)

프리코팅된 COF(Chip on Film) 구조로서, 상기 구조는 COF필름상의 배선리드 위에만 제1접착체를 통하여 도전볼이 접착, 경화되고, 도전볼이 고착된 영역의 상부와, 배선리드의 사이 모두에는 제2접착제가 충전되며, 제2접착제는 B-Stage의 반경화 상태를 유지하는, 프리코팅된 COF구조.A pre-coated COF (Chip on Film) structure, wherein the conductive ball is adhered and cured only on the wiring lead on the COF film through the first adhesive, and between the upper portion of the area to which the conductive ball is fixed and the wiring lead All of them are filled with a second adhesive, and the second adhesive maintains the semi-cured state of the B-Stage, pre-coated COF structure. 제 1항에 있어서,
제1접착제는 도전볼을 함유하지 않은 NCP(Non-Conductive Paste)이며, 제2접착제는 도전볼을 함유하지 않은 NCP 혹은 NCF(Non-Conductive Film)인, 프리코팅된 COF구조.
The method of claim 1,
The first adhesive is NCP (Non-Conductive Paste) that does not contain conductive balls, and the second adhesive is NCP or NCF (Non-Conductive Film) that does not contain conductive balls, pre-coated COF structure.
프리코팅된 COF(Chip on Film) 구조의 제조 공정으로서, 상기 공정은:
배선리드가 상면에 형성된 COF필름을 준비하는 단계;
배선리드 위에 겔(Gel)상의 제1접착제를 도포하여 코팅하는 단계;
제1접착제상에 도전볼을 전사하고, 반경화, 고착시키는 단계;
제2접착제를 준비하여 COF필름과 정렬시키는 단계; 및
COF의 전기접속, 접합부 배선상의 제1접착제와 도전볼이 도포, 고착된 영역을 포함한 기판과의 접합부를 제2접착제가 덮도록 제2접착제를 타발(blanking)하고 열과 압력을 가하면서 가압착하여 제1접착제와 제2접착제의 반경화 상태를 유지하고, 제2접착제가 도전볼이 부착된 배선리드 상부를 포함하여 배선리드와 배선리드 사이의 공간을 채우도록 하는 단계를 포함하는, 공정
A process for manufacturing a pre-coated chip on film (COF) structure, the process comprising:
preparing a COF film on which wiring leads are formed;
coating the wiring leads by applying a first adhesive on a gel;
transferring, semi-curing, and fixing the conductive ball on the first adhesive;
aligning with the COF film by preparing a second adhesive; and
The second adhesive is blanked so that the second adhesive covers the junction with the substrate including the area where the first adhesive and conductive ball are applied and adhered to the electrical connection of the COF and the joint wiring and press-bonded while applying heat and pressure. A process comprising: maintaining a semi-cured state of the first adhesive and the second adhesive, and allowing the second adhesive to fill the space between the wiring lead and the wiring lead, including the upper part of the wiring lead to which the conductive ball is attached
제 3항에 있어서,
제1접착제와 제2접착제의 B-stage 경화 혹은 반경화는 열에 의한 것이거나 접착 소재가 UV반응 소재인 경우 UV조사에 의한 반경화를 포함하는 공정.
4. The method of claim 3,
B-stage curing or semi-curing of the first and second adhesives is by heat or a process that includes semi-curing by UV irradiation when the adhesive material is a UV-reactive material.
제 3항에 있어서,
배선리드 위에 겔(Gel)상의 제1접착제를 도포하여 코팅하는 단계는, 전사도구에 제1접착제를 도포한 후 이것을 COF 필름의 배선리드와 정렬하여 전사하는 단계를 포함하는, 공정.
4. The method of claim 3,
The step of coating by applying the first adhesive on the gel on the wiring lead comprises applying the first adhesive to the transfer tool and then aligning it with the wiring lead of the COF film and transferring the same.
삭제delete 제 5항에 있어서,
제1접착제 전사도구는 경질의 유리 혹은 금속막대 형상이고 그 표면에 제1접착제를 코팅하여 주는 도구는 다양한 형상의 주사기와 토출 팁(tip)을 장착한 정량 토출장치 이거나 롤(roll)코팅, 잉크 스템핑(ink stamp) 등 통상의 겔(Gel)소재 혹은 고점도 액상소재의 박막 코팅 장치중의 하나를 적용한 공정.
6. The method of claim 5,
The first adhesive transfer tool is in the shape of a hard glass or metal rod, and the tool that coats the first adhesive on the surface is a quantitative dispensing device equipped with various shapes of syringes and dispensing tips, or roll coating, ink A process that applies one of the thin film coating devices of common gel materials or high-viscosity liquid materials, such as ink stamping.
제 1항에 있어서,
상기 도전볼은 수 um 혹은 수십 um 내외의 전도성 미세 분말의 형상 또는 전도성 미세 분말 소재위에 일정한 절연막이 도포되어 있는 소재(Insulation Layer Coated Powder) 또는 비전도성 폴리머, 테프론, 실리콘수지에 금속막을 입힌 분말 형상의 도전볼이거나 이 위에 다시 절연막을 도포한 것을 포함하는, 프리코팅된 COF구조.
The method of claim 1,
The conductive ball is in the shape of a conductive fine powder of several um or several tens of um, or a material in which a certain insulating film is applied on the conductive fine powder material (Insulation Layer Coated Powder), or in the form of a powder coated with a metal film on a non-conductive polymer, Teflon, or silicone resin A pre-coated COF structure comprising a conductive ball of or an insulating film applied thereon again.
제 1항의 프리코팅된 COF구조를 포함하는 반도체 디바이스.A semiconductor device comprising the precoated COF structure of claim 1 . 제 8항의 반도체 디바이스를 포함하는 전자기기.An electronic device comprising the semiconductor device of claim 8 . 제 3항의 프리코팅된 COF구조의 제조 공정을 포함하는 반도체 패키지 제조 공정.


A semiconductor package manufacturing process comprising the manufacturing process of the pre-coated COF structure of claim 3 .


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